TWI399790B - 基板處理設備用之設定操作支援裝置、設定操作支援方法及儲存有程式之記錄媒體 - Google Patents

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Description

基板處理設備用之設定操作支援裝置、設定操作支援方法及儲存有程式之記錄媒體
本發明係關於基板處理設備用之設定操作支援裝置、設定操作支援方法及儲存有程式之儲存媒體。
本申請案主張2007年2月13日申請的日本專利申請案第2007-032486號的優先權，該優先權申請案之全文以引用之方式併入本文中。
當使一基板處理設備操作時必須選擇的各種設定與必須執行的各種操作通常係藉由使用者操作該基板處理設備之一操作單元來選擇與執行。該操作單元包括基於一軟體程式管理之一觸摸面板型操作顯示單元、複數個硬體按鈕及類似者，並且可將此等部件佈置於(例如)該基板處理設備之前表面處。
許多螢幕(例如設定螢幕與操作螢幕)係顯示於構成該操作單元之部分之操作顯示單元處。此等螢幕係歸類成各對應於一特定分類的複數個群組，其中各群組中之螢幕係以階層方式組織。當按下顯示於屬於一給定分類群組之一螢幕上之一按鈕時，可顯示該群組中下一階層中的螢幕。操作者在該操作顯示單元處顯示之螢幕中選擇對應於要選擇之一設定或要執行之一操作的按鈕並觸摸該按鈕。當操作者重複執行此觸摸操作時，他能夠從一螢幕至另一螢幕地切換該顯示直至顯示所需螢幕以便選擇必要設定或執行必要操作(例如參見日本特許公開專利公開案第H08-227835 號)。在正常情況下藉由首先顯示該等相關設定螢幕並選擇各種設定並接著提供該相關操作螢幕以便在對應於選定設定之條件下使用該基板處理設備來使該基板處理設備操作。
諸如一基板處理設備之一設備要求對許多各種類型之設定進行選擇並且相應地係顯示於該操作顯示單元處的設定螢幕之數目極大。換言之，此一設備要求執行各種類型的設定操作，包括經由硬體按鈕執行之設定操作、用以選擇處理條件(例如氣體流量速與壓力)而執行之設定操作、用以選擇針對透過其傳送基板(例如半導體晶圓)的基板傳送系統之設定而執行之設定操作及用以輸入構成該設備之許多零件的型號、類型及類似者而執行之設定操作。
此外，當一新功能係加入一多功能基板處理設備時，產生在其中設定該新功能之一設定螢幕，從而導致更大數目之設定螢幕。因為此類新設定螢幕係順序地加入至相關螢幕群組中之一現有階層或係加入至一新產生的更深階層，故各層中之螢幕的數目與階層的數目變得越來越大。
因而，產生一問題，因為當存在大量螢幕階層時，操作者透過螢幕操作達到所需設定螢幕變得更為耗時與勞力密集。此外，根據歸類該等螢幕之方式，可能將針對一給定目標物件之一設定螢幕包括於另一螢幕群組中之一階層。在此類情況下，找到所需設定螢幕一定會係一極複雜與耗時的程序。當操作螢幕與設定螢幕係歸類成分離螢幕群組時需要解決一額外的顧慮，因為若當在該等設定螢幕中執 行一設定操作並接著切換至該操作螢幕之後使該設備操作時需要調整針對一操作目標之設定，操作者將必須藉由首先回復至該等設定螢幕並順序地切換該等設定螢幕直至針對該操作目標之所需設定項係顯示用於該設定調整來執行一複雜設定操作。
因而，操作者需要具有關於各種設定螢幕與用以選擇特定設定而執行之設定操作的特定技術與經驗以便能夠迅速顯示所需設定螢幕。換言之，可能存在不知道如何定位一特定功能或如何定位必須係選擇以便設定一給定功能的對應設定項的操作者。
本發明之一目的(已藉由解決上述問題完成)係提供一設定操作支援裝置及類似者，使用其可立即透過一簡單操作來顯示所需螢幕並因而可執行設定操作以更容易與方便地選擇針對一基板處理設備之設定。
上述目的係在本發明之一態樣中藉由提供一設定操作支援裝置來實現，該設定操作支援裝置支援用以選擇一基板處理設備中之一設定而執行之一設定操作，其包含：一操作者介面物件，經由其操作該基板處理設備；一觸摸面板型操作顯示單元，於其可顯示與針對該操作部件之設定相關的至少一螢幕；一設定儲存單元，在該設定儲存單元中儲存與針對該操作者介面物件之設定相關的螢幕中選擇之一設定的內容；一設定支援按鈕；一螢幕儲存單元，在該螢幕儲存單元中儲存指示該操作部件及與針對該操作者介 面物件之設定相關的螢幕之間之一預定相關性的操作者介面物件設定相關螢幕資訊；以及一控制單元，其回應在按下該設定支援按鈕之後該操作者介面物件之一操作而使該操作顯示單元顯示由該螢幕儲存單元搜尋之與操作者介面物件相關的螢幕。
該操作者介面物件可以係(例如)顯示於該操作顯示單元之一操作按鈕或獨立於該操作顯示單元提供之一操作按鈕。該設定支援按鈕可以係顯示於該操作顯示單元之一功能設定按鈕或獨立於該操作顯示單元提供之一功能設定按鈕而與針對該操作者介面物件之設定相關的螢幕可以係(例如)一功能設定螢幕。
依據上述本發明，操作者僅需在按下該設定支援按鈕之後經由該操作者介面物件執行一操作來於該操作顯示單元立即與自動顯示與針對該操作者介面物件之設定相關的螢幕。因此，可大大減低該設定操作所要求的時間之長度。在按下該設定支援按鈕之後，操作者僅需經由該操作者介面物件執行一操作來迅速顯示與針對該操作者介面物件之設定相關的螢幕，即使他不具有關於設定操作的任何技術或經驗，例如即使他不知道所需設定螢幕係定位於何處。此外，因為與針對該操作者介面物件之設定相關的螢幕係自動顯示，故可容易地定位要設定的功能。因為不需要如相關技術藉由順序地切換設定螢幕來定位該最終目標設定螢幕，故可更容易與方便地執行該設定操作。
該設定支援按鈕可包括該功能設定按鈕與一功能說明按 鈕。在此一情況下，可將指示一特定功能設定螢幕與一特定功能說明螢幕對該特定操作者介面物件之預定相關性的操作者介面物件設定相關螢幕資訊儲存於該螢幕儲存單元中，並且當在按下該功能設定按鈕之後一操作係經由該操作者介面物件執行時，該控制單元可於該螢幕儲存單元搜尋與該操作者介面物件相關的功能設定螢幕並使該操作顯示單元顯示得自該搜尋的功能設定螢幕。此外，當在按下該功能說明按鈕之後一操作係經由該操作者介面物件執行時，該控制單元可於該螢幕儲存單元搜尋與該操作者介面物件相關的功能說明螢幕並使該操作顯示單元顯示得自該搜尋的與該操作部件相關的功能說明螢幕。
在此情況下，操作者僅需在按下該功能說明按鈕之後經由該操作者介面物件執行一操作來於該操作顯示單元處立即與自動地顯示對應於該操作者介面物件的功能說明螢幕。因為廣泛地搜尋該功能說明螢幕的需要係消除並且可藉由檢查顯示的說明來執行該設定操作，故該設定操作的可靠性係改良。
該設定操作支援裝置可進一步包含一模擬器，其能夠在操作該操作者介面物件時針對操作中之一動作目標物件執行一模擬。在此一情況下，當在顯示於該操作顯示單元處之一螢幕中執行一設定操作時，該控制單元可將該選定設定之內容儲存於該設定儲存單元中，接著回應該操作者介面物件之一操作使該模擬器針對動作中之動作目標物件執行對應於儲存於該設定儲存單元中之設定內容之一模擬， 並於該操作顯示單元處顯示一模擬影像。
依據上述本發明，在操作者於該操作顯示單元處顯示之螢幕中執行一設定操作之後，可隨即於該操作顯示單元處顯示與以透過該設定操作選擇之設定執行之動作相關的模擬之影像，從而使操作者能夠迅速驗證將在對應於該選定設定之條件下執行的動作。此進而確保可於已選定之最佳設定以一高位準的可靠性執行實際操作。此外，因為藉由使該基板處理設備實際操作來執行驗證以檢查於選定設定執行之動作的狀態的需要係消除，更容易的操作係確保。
上述目的亦係在本發明之另一態樣中藉由提供一種設定操作支援裝置來實現，該設定操作支援裝置支援用以選擇針對一基板處理設備之一設定而執行之一設定操作，其包含：構成該基板處理設備之部分的一動作目標物件，可選擇該動作目標物件之一動作設定；一模擬器，其執行該動作目標物件之一操作之一模擬；一觸摸面板型操作顯示單元，於其可顯示與針對該動作目標物件之動作設定相關的至少一螢幕與該動作目標物件之該模擬之一動態影像；一設定儲存單元，在該設定儲存單元中儲存與針對該動作目標物件之動作設定相關的螢幕中選擇之一設定的細節；一設定支援按鈕；一螢幕儲存單元，在該螢幕儲存單元中儲存指示該動作目標物件及與針對該動作目標物件之動作設定相關的螢幕之間之一預定相關性的動作目標物件設定相關螢幕資訊；以及一控制單元，其當在該動作目標物件之模擬之動態影像係顯示於該操作顯示單元時，在按下該設 定支援按鈕之後透過於該操作顯示單元處之一觸摸操作而指定針對其模擬執行係在進行中的動作目標物件時，於該螢幕儲存單元搜尋與該動作目標物件相關的螢幕並使該操作顯示單元顯示得自該搜尋之螢幕。
該設定支援按鈕可以係顯示於該操作顯示單元處之一功能設定按鈕或獨立於該操作顯示單元提供之一功能設定按鈕。與針對該動作目標物件之動作設定相關的螢幕可以係與該特定動作目標物件之動作相關之一功能設定螢幕。
依據上述本發明，操作者僅需遵循一簡單的視覺上直覺程序，其中他按下該設定支援按鈕並藉由觸摸該螢幕上之動作目標物件來指定該動作目標物件(其一模擬操作係顯示於該操作顯示單元處)以便於該操作顯示單元處立即與自動地顯示與針對該動作目標物件之設定相關的螢幕。因此，可大大減低該設定操作所要求的時間之長度。當該目標物件之模擬操作在進行中時，操作者僅需按下該設定支援按鈕來迅速顯示與針對該操作者介面物件之設定相關的螢幕，即使他不具有關於設定操作的任何技術或經驗，例如即使他不知道所需設定螢幕係定位於何處。此外，因為與針對該操作者介面物件之設定相關的螢幕係自動顯示，故可容易地定位要設定的功能。因為不需要如相關技術藉由順序地切換設定螢幕來定位該最終目標設定螢幕，故可更容易與方便地執行該設定操作。
該設定支援按鈕可包括該功能設定按鈕與一功能說明按鈕。在此一情況下，可將指示一特定功能設定螢幕與一特 定功能說明螢幕對該特定動作目標物件之一預定相關性的動作目標物件設定相關螢幕資訊儲存於該螢幕儲存單元中，並且當在該動作目標物件之模擬操作之影像係顯示於該操作顯示單元時，在按下該功能設定按鈕之後指定針對其模擬執行係在進行中的動作目標物件時，該控制單元可於該螢幕儲存單元處搜尋與該動作目標物件相關的功能設定螢幕並使該操作顯示單元顯示得自該搜尋的功能設定螢幕。此外，當在該動作目標物件之模擬操作之動作影像係顯示於該操作顯示單元時，在按下該功能說明按鈕之後指定針對其模擬執行係在進行中的動作目標物件時，該控制單元可於該螢幕儲存單元處搜尋與該動作目標物件相關的功能說明螢幕並使該操作顯示單元顯示得自該搜尋的功能說明螢幕。
依據上述本發明，操作者僅需執行按下該功能說明按鈕並藉由觸摸該操作顯示單元處之該螢幕上之動作目標物件來指定該動作目標物件(其一模擬動作係在進行中)的極簡單並視覺上直覺操作程序以於該操作顯示單元處立即與自動地顯示針對該動作目標物件之功能說明螢幕。因為廣泛地搜尋該功能說明螢幕的需要係消除並且可藉由檢查顯示的說明來執行該設定操作，故該設定操作的可靠性係改良。
此外，在與針對該動作目標物件之操作設定相關的螢幕中執行之一設定操作之後，該控制單元可將設定內容儲存於該設定儲存單元中，接著使該模擬器針對該動作目標物 件執行對應於儲存於該設定儲存單元中之設定內容之一模擬，並於該操作顯示單元處顯示一模擬影像。
依據上述本發明，在操作者執行於該操作顯示單元顯示處之螢幕中之一設定操作之後，可隨即於該操作顯示單元處顯示與以透過該設定操作選擇之設定執行之操作相關的模擬之一影像，從而使操作者能夠迅速驗證將在對應於該選定設定之條件下執行的操作。此進而確保可於已選定之最佳設定以一高位準的可靠性執行該動作目標物件之實際操作。此外，因為藉由使該基板處理設備實際操作來執行驗證以檢查於選定設定執行之操作的狀態的需要係消除，更容易的操作係確保。
上述目的亦係在本發明之另一態樣中藉由提供一設定操作支援裝置來實現，該設定操作支援裝置支援用以選擇針對一基板處理設備之一設定而執行之一設定操作，其包含：一設定目標物件，其構成該基板處理設備之部分，可選擇該設定目標物件之一特定設定；一模擬器，其針對該設定目標物件執行一模擬顯示；一觸摸面板型操作顯示單元，於其可顯示與針對該設定目標物件之設定相關的至少一螢幕與透過該模擬提供的設定目標物件之一影像；一設定儲存單元，在該設定儲存單元中儲存與針對該設定目標物件之設定相關的螢幕中選擇之一設定的細節；一設定支援按鈕；一螢幕儲存單元，在該螢幕儲存單元中儲存指示該設定目標物件及與針對該設定目標物件之設定相關的螢幕之間之一預定相關性的設定目標物件設定相關螢幕資 訊；以及一控制單元，其當在透過該模擬提供的設定目標物件之影像係顯示於該操作顯示單元時，在按下該設定支援按鈕之後透過於該操作顯示單元處之一觸摸操作而指定顯示的設定目標物件時，於該螢幕儲存單元處搜尋與該設定目標物件相關的螢幕並使該操作顯示單元顯示得自該搜尋之螢幕。
設定支援按鈕可以係顯示於該操作顯示單元處之一功能設定按鈕或獨立於該操作顯示單元提供之一功能設定按鈕。與針對該設定目標物件之設定相關的螢幕可以係與該特定設定目標物件相關之一功能設定螢幕。
依據上述本發明，操作者僅需遵循一簡單的視覺上直覺程序，其中他按下該設定支援按鈕並藉由觸摸該螢幕上之設定目標物件指定該設定目標物件(其一模擬影像係顯示於該操作顯示單元處)以便於該操作顯示單元處立即與自動地顯示與針對該設定目標物件之設定相關的螢幕。因此，可大大減低該設定操作所要求的時間之長度。當該設定目標物件係透過模擬顯示時，操作者僅需按下該設定支援按鈕來迅速顯示與該設定目標物件相關的螢幕，即使他不具有關於設定操作的任何技術或經驗，例如即使他不知道所需設定螢幕係定位於何處。此外，因為與針對該操作者介面物件之設定相關的螢幕係自動顯示，故可容易地定位要設定的功能。因為不需要如相關技術藉由順序地切換設定螢幕來定位該最終目標設定螢幕，故可更容易與方便地執行該設定操作。
該設定支援按鈕可包括該功能設定按鈕與一功能說明按鈕。在此一情況下，可將指示一特定功能設定螢幕與一特定功能說明螢幕對該特定設定目標物件之一預定相關性的設定目標物件設定相關螢幕資訊儲存於該螢幕儲存單元中，並且當在該設定目標物件之模擬影像係顯示於該操作顯示單元時，在按下該功能設定按鈕之後指定其模擬影像係顯示的該設定目標物件時，該控制單元可於該螢幕儲存單元處搜尋與該設定目標物件相關的功能設定螢幕並使該操作顯示單元顯示得自該搜尋的功能設定螢幕。此外，當在該設定目標物件之模擬影像係顯示於該操作顯示單元時，在按下該功能說明按鈕之後指定其模擬影像係顯示的該設定目標物件時，該控制單元可於該螢幕儲存單元處搜尋與該設定目標物件相關的功能說明螢幕並使該操作顯示單元顯示得自該搜尋的功能說明螢幕。
依據上述本發明，操作者僅需執行按下該功能說明按鈕與藉由觸摸該螢幕上之設定目標物件來指定該設定目標物件(其一模擬影像係顯示於該操作顯示單元處)的極簡單並視覺上直覺操作程序以於該操作顯示單元處立即與自動地顯示針對該設定目標物件之功能說明螢幕。因為廣泛地搜尋該功能說明螢幕的需要係消除並且可藉由檢查顯示的說明來執行該設定操作，故該設定操作的可靠性係改良。
此外，在與針對該設定目標物件之設定相關的螢幕中執行之一設定操作之後，該控制單元可將該選定設定之內容儲存於該設定儲存單元中，接著使該模擬器針對該設定目 標物件執行對應於儲存於該設定儲存單元中之設定內容之一模擬，並於該操作顯示單元處顯示該模擬之一影像。
在操作者於該操作顯示單元處顯示之螢幕中執行一設定操作之後，可隨即於該操作顯示單元處顯示與該設定目標物件相關的模擬之影像，從而使操作者能夠迅速驗證該選定設定目標物件。因此，可以一高位準的可靠性來選擇該設定目標物件。
上述目的亦係在本發明之另一態樣中藉由提供用於支援用以選擇一基板處理設備中之一設定而執行之一設定操作的設定操作支援方法來實現，其包含：決定是否已按下佈置於該基板處理設備處之一設定支援按鈕之一程序；在決定已按下該設定支援按鈕之後隨即決定是否已執行與在構成該基板處理設備之組件之中針對其可選擇一特定設定的一目標物件相關之一操作或用於在一操作顯示單元處顯示之一模擬影像中指定一動作目標物件或一設定目標物件之一指定操作之一程序；以及在已執行決定任一操作之後隨即根據指示個別目標物件及與針對該目標物件之設定相關的螢幕之間之相關性的目標物件設定相關螢幕資訊(其係預先儲存於一螢幕儲存單元中)搜尋並於該操作顯示單元處顯示與針對其已執行該操作的目標物件相關之一螢幕之一程序。
上述之一目的進一步係在本發明之另一態樣中藉由提供一其中已儲存一程式的電腦可讀取儲存媒體來實現，該程式使一電腦能夠執行用於支援用以選擇針對一基板處理設 備之一設定而執行之一設定操作的一設定操作支援方法之步驟。藉由電腦執行之設定操作支援方法包含：決定是否已按下佈置於該基板處理設備處之一設定支援按鈕之一步驟；在決定已按下該設定支援按鈕之後隨即決定是否已執行與在構成該基板處理設備之組件之中針對其可選擇一特定設定的一目標物件相關之一操作或用於在一操作顯示單元處顯示之一模擬影像中指定一動作目標物件或一設定目標物件之一指定操作之一步驟；以及在決定已執行任一操作之後隨即根據指示個別目標物件及與針對該目標物件之設定相關的螢幕之間之相關性的目標物件設定相關螢幕資訊(其係預先儲存於一螢幕儲存單元中)搜尋並於該操作顯示單元處顯示與針對其已執行該操作的目標物件相關之一螢幕之一步驟。
依據本發明，操作者選擇針對該基板處理設備之一特定設定能夠透過一簡單與直覺操作來立即與自動顯示所需螢幕。因此，可更容易與方便地執行該設定操作。
以下參考附圖詳細說明本發明之一較佳具體實施例。應注意，在說明與圖式中，相同參考數字係指派給具有實質上相同功能與結構特性之組件以便排除其一重複說明的必要性。
首先，參考圖式說明能夠用作依據本發明之設定操作支援裝置之一基板處理設備，如一具體實施例中所實現。在下述具體實施例中，在屬於一直立式熱處理設備之一基板 處理設備中採用本發明。圖1係呈現該熱處理設備之一示意性外視圖的透視圖，而圖2以一縱向斷面圖示意性解說該熱處理設備之內部結構。在圖1中，佈置於該熱處理設備內部的組件之概述係藉由虛線指示。
如圖1與2所示，該熱處理設備100包含：一載入埠110，透過該載入埠一固持複數個(例如25個)處理目標基板(例如半導體晶圓W)的載體102係載入至一外罩104中/從其卸載；一載體台120，於其經由該載入埠110載入之複數個載體102係容納儲存；一熱處理爐140，其中固持於一晶圓載舟(固持構件)130之一多層架中的許多(例如75個)晶圓經歷一特定類型之熱處理，例如CVD處理；一FIMS(Front-opening Interface Mechanical Standard)埠150，於其放置一固持要傳送至該晶圓載舟130之晶圓W的載體102；以及一控制單元300。
於各載體102處，可在一容器主體內以預定間隔沿垂直方向在多個位準上堆疊複數個晶圓W，其全部以一水平狀態加以固持。其係一密封載體(FOUP：前開口晶圓盒)，其包括佈置於該容器主體之前表面之一可分開蓋(未顯示)。該載體102係經由(例如)一OHT(架空傳輸裝置)、一AGV(自動導引車輛)或一RGV(軌道導引車輛)、或一PGV(人導引車輛)來運輸。
佈置於該外罩104內側後部處之上部空間中的熱處理爐140包括：一垂直伸長反應管142，其用作一處理容器，其一開口底端用作一爐喉140A；以及一加熱器144，其封閉 該反應管142並用作一加熱機構，該加熱機構能夠透過加熱來控制填充該反應管142之大氣的溫度以使其維持於(例如)300至1200℃的範圍內。應注意，該反應管142可由(例如)石英玻璃構成，從而確保一高位準的耐熱效能與較佳的電絕緣特徵。此外，該加熱器144可由(例如)一歐姆熱產生器構成。
複數個氣體輸送管道係連接至該熱處理爐140處之反應管142，以便將一處理氣體與一惰性淨化氣體遞送至該反應管142中。一真空幫浦與一壓力控制閥(經由其調整該反應管處之內部壓力)係經由一排放管道連接至該反應管。
在該外罩104內，由(例如)不銹鋼構成之一基底板106係以一水平方位佈置並且該熱處理爐140係置於該基底板106上。於該基底板106，一開口(未顯示)係形成於對應於該熱處理爐140之爐喉140A之一位置處。該晶圓載舟130係透過此開口載入至該熱處理爐140中並接著係透過該開口從該熱處理爐140卸載。
在該熱處理爐140之下的空間中，存在一載入區域170，其係藉由該外罩104、該基底板106及一分隔壁108界定。要載入至該熱處理爐140中之晶圓載舟130在該載入區域170中等待備用。此外，佈置以下構件：一蓋部件172，其從下面密封該熱處理爐140之爐喉140A；一旋轉升降機機構174；一快門機構(未顯示)，其在該蓋部件172向下移動時遮蔽(防熱)該爐喉140A；一晶圓傳送機構176，其在該卸載的晶圓載舟130與該FIMS埠150上之載體102之間傳送 晶圓；以及一門機構178，使用其可密封形成於該分隔壁108處之一開口(未顯示)。
該晶圓載舟130係以一舟主體130A(其於一多級架處沿垂直方向以特定間隔同時使其係水平固持來支撐具有一較大直徑(例如300 mm)之晶圓W)與一支腳部分130B(其支撐該舟主體130A)構成。該晶圓載舟130可由(例如)石英玻璃構成。
該旋轉升降機機構174係附著於該蓋部件172。因而，該蓋部件172經由該旋轉升降機機構沿垂直方向來向上/向下移動以便開啟或閉合該熱處理爐140之爐喉140A。加熱該爐喉140A或保持該爐喉140A處之熱度之一機構(未顯示)係安裝於該蓋部件172處。
該晶圓載舟130處之支腳部分130B係連結至該旋轉升降機機構174之旋轉軸。此結構允許該晶圓載舟130藉由與該蓋部件172之連鎖沿垂直方向來向上/向下移動以及進行水平旋轉運動。因而，該晶圓載舟130係載入至該熱處理爐140中，其沿水平方向的旋轉角度調整。
其中儲存已被傳送於其中的載體102之一傳送/儲存區域180係呈現於該外罩104內側的前部。該傳送/儲存區域180與該載入區域170係藉由該分隔壁108分隔。
該FIMS埠150係佈置於該傳送/儲存區域180中之下部空間中。該FIMS埠150包括：一台150A，其上放置一載體102；一鎖定機構(未顯示)，其鎖定該載體102以使該載體102之容器主體之前緣與該分隔壁108接觸；以及一蓋開 啟/閉合機構(未顯示)，其開啟/閉合該載體102之蓋。應注意，該熱處理設備可包括兩個此類FIMS埠150，其係彼此並聯佈置。
該載體台120係佈置於該傳送/儲存區域180之後部處的上部空間中。該載體台120可包括(例如)第一至第三架子120A、120B及120C，於其各架子一載體102可以係放置用於儲存。
在該傳送/儲存區域180之前部處的上部空間中，佈置一載體傳送182，其載送載體102並在該載入埠110、該載體台120及該FIMS埠150之中對其進行傳送。
該載入埠110包括：一台110A，其上放置一載體102；以及一開口110B，透過其該載體102係載送至該傳送/儲存區域180中/從其載送出。該載體102可以係經由一地面傳送裝置或藉由一操作者來載送至該載入埠110中並從該載入埠110載送出。
於該載入埠110之上的前壁處，佈置一操作單元200，使用其操作者執行各種操作並選擇該熱處理設備100之功能。該操作單元200係連接至該控制單元300，其控制該熱處理設備100之各種組件。基於透過該操作單元200執行之操作，該控制單元300針對該熱處理設備100執行各種類型之控制，其包括在其控制之下傳送該等載體102的傳送控制、在其控制之下傳送晶圓W的傳送控制、熱處理程序控制及模擬顯示控制。
(控制單元之結構範例)
參考一圖式，說明該控制單元300之一結構範例。該控制單元300採用一使該熱處理設備100能夠用作一設定操作支援裝置的結構。圖3係示意性解說可在該控制單元中採用之一結構的方塊圖。如圖3所示，該控制單元300包括一CPU(中央處理單元)310，其構成該控制單元主體。該CPU 310係經由一匯流排線(例如一控制匯流排或一資料匯流排)連接至以下裝置：一模擬器330，其針對該熱處理設備100之各種組件執行模擬(例如，稍後詳細說明的一動作目標物件之一動作之一模擬、針對設定一目標物件顯示之一模擬及類似者)；一記憶體340，其係在該CPU 310執行處理時藉由該CPU 310使用；以及一儲存單元350，在該儲存單元350中儲存藉由該CPU 310執行之處理中需要的資料及類似者。
該操作單元200包括操作顯示單元，例如一操作者操作顯示單元210與一模擬操作顯示單元220，以及各種操作按鈕，其包括操作支援按鈕230(在此範例中係一功能設定按鈕232與一功能說明按鈕(說明按鈕)234)與一操作者存取按鈕(操作者存取開關)240。如圖1與6所示，可將該操作單元200佈置於(例如)該熱處理設備100之前表面。
當操作者要將一載體102設定於該載入埠110處時操作該操作者存取按鈕240。當手動設定該載體102時，可於該操作者存取按鈕240處選擇以下兩個功能設定之任一者。於該第一功能設定，在按下該操作者存取按鈕240之後該載體102係設定於該載入埠110處並且在該載體係設定之後該 操作者存取按鈕240係再次按下從而允許該熱處理設備100確認該載體102已被設定。於該第二功能設定，當在按下該操作者存取按鈕240之後該載體102係設定於該載入埠110處時，該載體102之存在係藉由該熱處理設備100自動偵測並因而該熱處理設備自動確認該載體102已被設定。可在如圖11所示之一操作者存取按鈕設定螢幕中選擇此等設定之任一者。
該等操作顯示單元(例如該操作者操作顯示單元210與該模擬操作顯示單元220)可各以一觸摸面板型操作顯示面板構成。如圖6所示，可回應該操作者操作顯示單元210處之操作者操作來顯示各種螢幕。可顯示於該操作者操作顯示單元210處之螢幕包括：一操作螢幕，其顯示操作按鈕及類似者；一設定螢幕，其顯示設定按鈕、設定項目欄及類似者；一功能說明螢幕(說明螢幕)，其顯示功能說明及類似者；以及一狀態顯示螢幕，其顯示該熱處理設備之狀態(溫度、壓力及類似者)。此外，當按下顯示於該操作者操作顯示單元210處之一特定螢幕中之一按鈕時，可執行對應操作或可選擇對應設定。
於該模擬操作顯示單元220處，顯示藉由該模擬器330針對該熱處理設備100之組件之中其動作設定可以係選擇之一目標物件(例如，圖2中之載體傳送182或晶圓傳送機構176)而執行的模擬之一動態影像。此外，藉由該模擬器330針對其類型或型號可以係選擇之一設定目標物件((例如，圖2中之晶圓載舟130)提供之一模擬影像係以一二維 顯示或一三維(3-D)顯示來顯示於該模擬操作顯示單元處。一動作目標物件或一設定目標物件可藉由操作者藉由觸摸其中該動作目標物件或該設定目標物件之影像係顯示於該模擬操作顯示單元220處的顯示區域來指定。
以(例如)一硬碟構成之儲存單元350包括一程式儲存單元351、一影像資料儲存單元352、一設定資料儲存單元353及一螢幕資料儲存單元354。
在該程式儲存單元351中，儲存基於其控制該熱處理設備100之各種組件的一程式、基於其控制於該等操作顯示單元210與220處之顯示的顯示程式、基於其選擇針對構成該熱處理設備100之個別組件之設定的一設定程式、基於其顯示該熱處理設備100之各種組件的操作之模擬之一動態影像顯示或一3-D顯示的一模擬程式、基於其執行稍後詳細說明之設定操作支援處理的一程式及類似者。此等程式係按需要藉由該CPU 310讀出與執行。
在該影像資料儲存單元352中，儲存當該模擬器330執行一模擬時用以將一動作目標物件之動作顯示為一二維動態影像或一三維動態影像所需的影像資料與當該模擬器執行一模擬時用以將一設定目標物件顯示為一二維動態影像或一三維動態影像所需的影像資料。
在該設定資料儲存單元353中，儲存對應於透過在個別設定螢幕中執行之設定操作選擇之設定的設定資料。該設定資料包括對應於要作為處理條件(溫度、壓力及類似者)選擇之設定的設定資料與指示用於該熱處理設備中之組件 (例如質量流量控制器，其控制供應至該爐、該舟升降機及類似者中的氣體之氣體流量速)之大小與類型的設定資料。
在該螢幕資料儲存單元354中，儲存對應於各種螢幕之螢幕資料，各種螢幕包括上述操作螢幕、功能設定螢幕及說明螢幕，其係顯示於該操作者操作顯示單元210處。如圖4中之概念圖所解說，各種螢幕係歸類成複數個群組，每一群組中之螢幕係組織成階層。例如，當按下圖4中之選單螢幕中顯示之一按鈕時，顯示該第一階層中之一螢幕A1、B1或C1。當按下該第一階層中之螢幕(例如，螢幕A1)中之一按鈕時，顯示該第二階層中之一螢幕A11、A12...或類似者，而當按下該第二階層中之螢幕(例如，螢幕A11)中顯示之一按鈕時，顯示該第三階層中之一螢幕A111、A112...或類似者。即，所顯示螢幕係從一螢幕至另一螢幕順序地切換。
因為一基板處理設備(例如該熱處理設備100)具有多種功能，故可顯示的功能設定螢幕與顯示功能說明之功能說明螢幕(說明螢幕)的數目極大。每次將一新功能加入具有多個現今功能之一基板處理設備中，產生用以選擇要進行選擇的特定功能之一功能設定螢幕與一說明螢幕，從而導致越來越大數目的功能設定螢幕。換言之，每次將一新功能引入一基板處理設備中，可顯示於該基板處理設備處的螢幕之數目增加。新功能設定螢幕與說明螢幕係順序地加入相關螢幕群組中之現有層中或係加入對應螢幕群組中新 建立的更深階層中，從而導致各階層中之螢幕之數目的增加與階層之數目的增加。
因而，產生一問題，因為螢幕階層之數目正在變得更大，故操作者透過螢幕操作達到一更深階層中之所需設定螢幕變得更為耗時與勞力密集。此外，根據歸類該等螢幕之方式，可能將針對一給定目標之一設定螢幕包括於另一螢幕群組中之一階層。在此類情況下，找到所需設定螢幕一定會係一極複雜與耗時的程序。當操作螢幕與設定螢幕係歸類成分離螢幕群組時要解決一額外的顧慮，因為若當在一設定螢幕中執行設定操作之後使用顯示之一設定螢幕來使該設備操作時需要調整針對一目標物件之設定，操作者將必須藉由首先回復至該設定螢幕並透過多個設定螢幕順序地切換直至針對該目標物件之所需設定項係顯示用於該設定調整來執行一複雜設定操作。
操作者需要具有關於各種設定螢幕與用以選擇特定設定而執行之設定操作的特定技術與經驗以便能夠迅速顯示所需設定螢幕。換言之，可能存在不知道如何定位一特定功能或如何定位必須係選擇以便設定一給定功能的對應設定項的操作者。
因此，在構成該熱處理設備100之組件之中關於其可選擇設定的目標物件(例如，稍後詳細說明的操作者介面物件、動作目標物件及設定目標物件)之功能設定螢幕與說明螢幕係預先與特定目標物件相關而個別設定並且操作支援按鈕(例如，該功能設定按鈕232與該說明按鈕234)係提 供以使得可立即顯示(設定操作支援處理)預先與一特定目標物件相關而設定的功能設定螢幕或說明螢幕，該特定目標物件可以係在按下一操作支援按鈕之後操作之一操作者介面物件或在按下一操作支援按鈕之後在一模擬影像中指定之一動作目標物件或一設定目標物件。因此，操作者能夠透過一簡單操作來迅速顯示所需功能設定螢幕或說明螢幕並且該設定操作可以係容易與方便地執行。
將該等功能設定螢幕與該等說明螢幕與特定目標物件相關的資料可以係儲存於(例如)該螢幕資料儲存單元354中。即，在該螢幕資料儲存單元354中，保持以下螢幕資料表：一操作者介面物件設定相關螢幕資料表352A，其中已預先儲存將各操作者介面物件與一特定功能設定螢幕及一特定功能說明螢幕(說明螢幕)相關的操作者介面物件設定相關螢幕資訊，如圖5A所示；一動作目標物件設定相關螢幕資料表352B，其中已預先儲存將各動作目標物件與一特定功能設定螢幕及一特定功能說明螢幕(說明螢幕)相關的動作目標物件設定相關螢幕資訊，如圖5B所示；以及一設定目標物件設定相關資料表螢幕352C，其中已預先儲存將各設定目標物件與一特定功能設定螢幕及一特定功能說明螢幕(說明螢幕)相關的設定目標物件設定相關螢幕資訊，如圖5C所示。應注意，可將該等說明螢幕中顯示的功能說明連同該等說明螢幕一起儲存於該螢幕資料儲存單元354中或一分離說明資料儲存單元(未顯示)中，該分離說明資料儲存單元係特別安裝以便各與一特定說明螢幕相關而儲 存該等功能說明。
術語"操作者介面物件"表示使用其操作該熱處理設備100之一操作按鈕或類似者，針對其可選擇一特定操作設定。此一操作者介面物件可以係(例如)圖1中所示之操作者存取按鈕240。應注意，一操作按鈕可如該具體實施例係包括於該操作單元200中之一硬體按鈕或其可以係顯示於該操作者操作顯示單元210處之一按鈕。
術語"動作目標物件"係用於表示構成該熱處理設備100之組件之中的一目標物件，針對其可選擇一特定操作設定。此類動作目標物件包括(例如)圖2中所示之載體傳送182與晶圓傳送機構176。術語"設定目標物件"係用於表示構成該熱處理設備100之組件之中的一目標物件，針對其可選擇一特定類型或型號。此一設定目標物件可以係(例如)圖2所示之晶圓載舟130。應注意，一給定組件可以係一動作目標物件與一設定目標物件兩者。換言之，可針對其選擇一特定類型或型號(設定目標物件)的構成該熱處理設備100之部分的一組件亦可以係可針對其選擇一特定操作設定之一動作目標物件。
上述包括該等功能設定螢幕、該等說明螢幕及該等操作螢幕的各種螢幕可以係顯示於該操作者操作顯示單元210處，如圖6所示。在圖6中，顯示表示一操作螢幕之一範例的操作選單螢幕。在該操作選單螢幕中，除一氣體按鈕、一溫度按鈕及一處理按鈕以外還顯示一模式切換按鈕212。當按下該模式切換按鈕212時，如圖7所示之一螢幕 係顯示以允許操作者選擇任一模式，其具有：一規則操作模式按鈕，其用以當藉由實際使該熱處理設備100操作來處理晶圓時加以選擇；及一模擬器模式按鈕，其用以當使該模擬器330模擬(例如，一動作目標物件之動作之一模擬或設定目標物件顯示之一模擬)並於該模擬操作顯示單元220處顯示該模擬影像而不實際使該熱處理設備100操作時加以選擇。
此外，一設定按鈕214係顯示於圖6所示之操作選單螢幕中並且當按下此設定按鈕時，如圖8所示之一設定選單螢幕係顯示於該操作者操作顯示單元210處。當按下此設定選單螢幕中顯示之一給定按鈕時，下層中的功能設定螢幕係顯示並且按下該功能設定螢幕中之一按鈕以在該階層結構中進一步向下之一層中顯示功能設定螢幕的螢幕操作係重複執行直至所需功能設定螢幕係顯示。
於圖6中之模擬操作顯示單元220處，藉由該模擬器330回應經由操作螢幕(未顯示)執行之一操作者操作而提供之一動作目標物件之一模擬影像係顯示為一動態影像，如圖9中在模擬器模式中所示。此外，操作者觸摸其一模擬操作在進行中之一動作目標物件(例如，該載體傳送182)或模擬顯示之一設定目標物件(例如，一晶圓載舟130)以便指定該特定目標物件。
(設定操作支援處理)
現說明如上所述結構化的該熱處理設備100中執行之設定操作支援處理。該設定操作支援處理係藉由該控制單元 300基於一特定程式來執行。可針對一操作者介面物件(例如一操作按鈕)、一模擬動作針對其在進行中之一動作目標物件或其一模擬影像係顯示之一設定目標物件來執行該設定操作支援處理。現個別說明三個不同類型之設定操作支援處理。
(操作者介面物件設定支援處理)
現參考圖式說明該操作者介面物件設定操作支援處理。圖10呈現該操作者介面物件設定操作支援處理之一特定範例的流程圖。如圖10所示，首先在步驟S110中決定是否已按下一操作支援按鈕230。因為該功能設定按鈕232與該說明按鈕234皆如該具體實施例中圖11所示係用作操作支援按鈕230，故在步驟S110中決定是否已按下此等按鈕之任一者。接著，在步驟S120中決定已按下何特定按鈕並且若決定已按下該功能設定按鈕232，則在步驟S130中決定是否已操作一操作者介面物件。例如，可在步驟S130中決定是否已操作佈置於該操作單元200處作為一操作者介面物件之一操作按鈕(例如，圖11所示之操作者存取按鈕240)或是否已操作作為一操作者介面物件顯示於該操作螢幕中之一按鈕。
若在步驟S130中決定已操作一操作者介面物件，則由保持於該螢幕資料儲存單元354中的如圖5A所示之操作者介面物件設定相關螢幕資料表352A來搜尋與該特定操作者介面物件相關的功能設定螢幕並且在步驟S140中於該操作者操作顯示單元210處顯示透過該搜尋獲得之功能設定螢 幕。
在步驟S140中可於該操作者操作顯示單元210處顯示如圖11所示之一設定螢幕。在顯示針對該操作者存取按鈕240之設定的此設定螢幕中，可藉由觸摸該螢幕上之對應設定來選擇針對該操作者存取按鈕240之一特定功能設定(例如，用於手動設定一載體102之一設定，如前所述)。此外，操作者在完成該設定操作之後隨即觸摸以儲存已被選擇的特定設定之一設定結束按鈕218、操作者觸摸以模擬於該選定設定之操作之一模擬按鈕216及類似者係顯示於該設定螢幕中。還用於其他功能設定螢幕的設定結束按鈕218、模擬按鈕216及類似者需要係顯示於在所有功能設定螢幕中保持不變的位置處，例如朝向圖11所示之螢幕的底部。
接下來，在步驟S150中決定是否已完成在顯示於該操作者操作顯示單元210處之功能設定螢幕中執行的設定操作並且若決定已完成該設定操作，則將選定設定儲存於該設定資料儲存單元353中。當(例如)按下顯示於圖11中之功能設定螢幕中的設定結束按鈕218時可判斷該設定操作已被完成，並接著儲存該選定設定。
在步驟S160中，決定是否執行一模擬。若按下顯示於圖11中之功能設定螢幕中的模擬按鈕218，則可決定要執行一模擬。另一方面，若另一按鈕係選擇或另一操作係執行而不按下該模擬按鈕216，則決定不執行一模擬並且該設定操作支援處理之序列結束。隨後，執行對應於已按下的 其他按鈕或已執行的操作之處理。
若在步驟S160中決定要執行一模擬，則在步驟S170中模擬該操作者介面物件之操作。更明確地說，若將該熱處理設備設定為規則操作模式，則其首先自動切換成該模擬器模式以執行該模擬並且一旦該模擬結束該熱處理設備便係切換回該初始規則操作模式。另一方面，若該熱處理設備已處於該模擬器模式，則執行該模擬而無需切換該模式。當在該模擬器模式中操作該選定操作者介面物件時，該操作者介面物件之操作的模擬係藉由該模擬器330基於指示該設定已被選擇的設定資料來執行並且(例如)該模擬之一動態影像係顯示於該模擬操作顯示單元220處。一旦該模擬結束，該設定操作支援處理之序列便亦結束。
若在步驟S120中決定已按下該說明按鈕234，則在步驟S180中決定是否已操作一操作者介面物件，如前述步驟S130。若在步驟S180中決定已操作一操作者介面物件，則在該設定操作支援處理之序列結束之前，在步驟S190中由保持於該螢幕資料儲存單元354中的如圖5A所示之操作者介面物件設定相關螢幕資料表352A來搜尋與該特定操作者介面物件相關的說明螢幕並且於該操作者操作顯示單元210處顯示透過該搜尋獲得之說明螢幕。
上述操作者介面物件設定操作支援處理使希望選擇針對該操作者介面物件之一功能設定的操作者能夠僅藉由執行按下該功能設定按鈕232與操作該特定操作者介面物件之一容易與直覺操作來於該操作者操作顯示單元213處迅速 顯示針對該操作者介面物件之功能設定螢幕。換言之，藉由從該設定選單螢幕開始從一螢幕至另一螢幕重複切換該顯示來定位針對該操作者介面物件之功能設定螢幕的需要係消除。因此，程序性勞動係大大減低並且更加的使用容易性係確保。
現參考圖式說明藉由操作者透過該設定操作支援處理而執行之操作者介面物件功能設定操作的特定範例。圖11解說表示一操作者介面物件之一範例的操作者存取按鈕240之功能設定操作，而圖12解說執行以顯示針對該操作者存取按鈕240之功能說明的功能說明顯示操作。圖13與14解說以顯示於一操作螢幕中之一按鈕構成的一操作者介面物件之一功能設定操作。
希望透過該具體實施例中的設定操作支援處理選擇針對(例如)該操作者存取按鈕240之一功能設定的操作者首先手動按下該功能設定按鈕232。接著，操作者手動按下該操作者存取按鈕240以立即將該操作者存取按鈕設定螢幕顯示於該操作者操作顯示單元210，如圖11所示，而無經由該操作者存取按鈕240執行之任何實際處理。因而，操作者能夠迅速選擇針對該操作者存取按鈕之一設定。
在調整針對該操作者存取按鈕240之設定之後，操作者可按下該模擬按鈕216並操作該操作者存取按鈕240以於模擬操作顯示單元220處顯示要經由該操作者存取按鈕240於該調整設定執行之處理之一動態模擬影像。
希望顯示針對該操作者存取按鈕240之說明螢幕的操作 者首先手動按下該說明按鈕234。接著，操作者手動按下該操作者存取按鈕240以立即將該操作者存取按鈕說明螢幕顯示於該操作者操作顯示單元210，如圖12所示，而無經由該操作者存取按鈕240執行之任何實際處理。因而，操作者能夠迅速檢視該操作者存取按鈕240之設定與功能的說明。
接下來，參考圖13與14說明用以選擇針對以顯示於一操作螢幕中之一按鈕構成的一操作者介面物件之一功能設定而執行的操作。當操作者手動按下該功能設定按鈕232並接著按下他希望的氣體按鈕來選擇顯示於該操作者操作顯示單元210處之表示一操作螢幕之一範例的一氣體手動選擇螢幕(其中可透過一按鈕操作手動選擇要使用之氣體)時，如圖13所示，如圖14所示之一設定螢幕(其中可結合該特定氣體選擇一功能)係顯示於該操作者操作顯示單元210而不實際執行選擇該氣體以使用的處理。因而，可在實際選擇該氣體之前設定要在該氣體手動選擇螢幕中選擇之氣體的功能。因為此消除藉由切換至該設定選單螢幕來定位該氣體設定螢幕的需要並允許操作者在他希望的任何時候選擇一設定，故確保更佳的使用容易性。
上述操作者介面物件設定操作支援處理僅要求操作者在按下該功能設定按鈕232之後經由該操作者介面物件(例如一操作按鈕)來執行一操作以於該操作者操作顯示單元210處立即與自動顯示與針對該操作者介面物件之設定相關的螢幕。因此，可大大減低該設定操作所要求的時間之長 度。在按下該功能設定按鈕232之後，操作者僅需經由該操作者介面物件執行一操作來迅速顯示與針對該操作者介面物件之設定相關的螢幕，即使他不具有關於設定操作的任何技術或經驗，例如所需設定螢幕係定位於何處。此外，因為與針對該操作者介面物件之設定相關的螢幕係自動顯示，故可容易地定位要設定的功能。因為不需要如相關技術藉由透過設定螢幕順序地切換來定位該最終目標設定螢幕，故可更容易與方便地執行該設定操作。
此外，操作者僅需執行按下該說明按鈕234之一極簡單操作並操作該操作者介面物件來立即與自動顯示針對該特定操作者介面物件之說明螢幕。因此，定位該說明螢幕會涉及的勞動係消除並且操作者能夠藉由檢視顯示的說明來以改良的可靠性執行一設定操作。
此外，一旦在顯示於該操作者操作顯示單元210處的螢幕中執行該設定操作，會回應該操作者介面物件之一操作而執行的操作之模擬便可以係立即顯示於該模擬操作顯示單元220處，從而允許操作者迅速驗證要於該選定設定處執行之操作。因而，可於該選定設定處以一高位準的可靠性來執行實際操作。此外，因為藉由在該設定操作之後實際使該熱處理設備100操作來檢查回應該操作者介面物件之一操作執行之動作的需要係消除，故確保更佳的使用容易性。
(動作目標物件操作設定支援處理)
接下來，參考圖式說明該動作目標物件操作設定支援處 理。圖15呈現該動作目標物件設定操作支援處理之一特定範例的流程圖。在圖15中之步驟S200中，決定該模擬器模式是否係開啟的，因為可在該模擬器模式中在顯示於該模擬操作顯示單元220處之螢幕上指定一動作目標物件。接著，在步驟S210中，決定是否已按下一操作支援按鈕230。在該具體實施例中，在步驟S210中藉由決定是否已按下皆構成操作支援按鈕230的功能設定按鈕232與說明按鈕234之任一者來進行決定。接著，在步驟S220中，已按下的特定按鈕係決定並且若決定已按下該功能設定按鈕232，則在步驟S230中決定是否已指定針對其一動作模擬係在進行中之一動作目標物件。
如前所述，一動作目標物件係於該模擬操作顯示單元220處指定。更明確地說，匹配顯示一特定動作目標物件之一模擬動作之顯示範圍的該模擬操作顯示單元220之觸摸面板處的座標之範圍係指定為針對該特定動作目標物件之一規格範圍並且此類針對各種動作目標物件之規格範圍係預先儲存於該影像資料儲存單元352中。接著，當其模擬動作係顯示於該模擬操作顯示單元220處的一動作目標物件之規格範圍係手動觸摸時，如圖16所示，判斷該動作目標物件已被指定。應注意，可以除上述方式以外的方式來指定該動作目標物件。
在步驟S230中判斷已指定一動作目標物件(針對其一模擬動作係在進行中)之後，在步驟S240中隨即由該螢幕資料儲存單元354中的圖5B中之動作目標物件設定相關螢幕 資料表352B搜尋與該動作目標物件相關的功能設定螢幕並且將透過該搜尋獲得的功能設定螢幕顯示於該操作者操作顯示單元210處。顯示於該操作者操作顯示單元210處的功能設定螢幕可以係(例如)圖16所示之設定螢幕。圖16顯示一載體傳送操作設定螢幕，其中可選擇針對要藉由該載體傳送182執行以傳送一載體102的傳送動作之一特定設定。
接下來，在步驟S250中決定是否已完成在顯示於該操作者操作顯示單元210處之功能設定螢幕中執行的設定操作並且若決定已完成該設定操作，則將選定設定儲存於該設定資料儲存單元353中。當(例如)按下顯示於圖16中之功能設定螢幕中的設定結束按鈕218時可判斷該設定操作已被完成，並接著儲存該選定設定。
在步驟S260中，決定是否執行一模擬。若按下顯示於圖16中之功能設定螢幕中的模擬按鈕218，則可決定要執行一模擬。另一方面，若另一按鈕係選擇或另一操作係執行而不按下該模擬按鈕216，則決定不執行一模擬並且該設定操作支援處理之序列結束。隨後，執行對應於已按下的其他按鈕或已執行的操作之處理。
若在步驟S260中決定要執行一模擬，則在步驟S270中模擬該動作目標物件之動作。應注意，因為該熱處理設備已處於該模擬器模式，故可執行該模擬而不必切換模式。在該模擬器模式中，該動作目標物件之動作之一模擬係藉由該模擬器330基於指示該設定已被選擇的設定資料來執行並且(例如)該模擬之一動態影像係顯示於該模擬操作顯示 單元220處。一旦該模擬結束，該設定操作支援處理之序列便亦結束。
若在步驟S220中決定已按下該說明按鈕234，則在步驟S280中決定是否已指定針對其一模擬動作在進行中的一動作目標物件，如前述步驟S230。若在步驟S280中決定已指定一動作目標物件，則在該設定操作支援處理之序列結束之前，在步驟S290中由保持於該螢幕資料儲存單元354中的如圖5B所示之動作目標物件設定相關螢幕資料表352B來搜尋與該特定目標操作設定相關的說明螢幕並且於該操作者操作顯示單元210處顯示透過該搜尋獲得之說明螢幕。
上述動作目標物件設定操作支援處理使希望選擇針對該動作目標物件之操作之一功能設定的操作者能夠首先模擬該動作目標物件之動作並於該模擬動作顯示單元220處顯示該動作目標物件之模擬動作之一動態影像。操作者僅需執行按下該功能設定按鈕232與藉由在該模擬操作顯示單元220處之螢幕上觸摸其來指定針對其該模擬動作在進行中的動作目標物件之一簡單與直覺操作來立即於該操作者操作顯示單元210處顯示針對該動作目標物件之功能設定螢幕。換言之，消除藉由以該設定選單螢幕開始從一螢幕至另一螢幕多次切換該等顯示來定位針對該特定動作目標物件之功能設定螢幕的需要。因此，大大減低程序性勞動並且確保更加的使用容易性。此外，因為可透過該模擬來驗證該選定設定，故完全消除使該熱處理設備100實際操 作以便驗證該設定的需要。
現參考圖式說明藉由操作者透過在該具體實施例中實現的設定操作支援處理而執行的一動作目標物件功能設定操作之一特定範例。圖16解說要藉由表示一動作目標物件之一範例的載體傳送182執行的載體傳送操作之功能設定操作，而圖17解說用以顯示針對該載體傳送182之功能說明而執行的功能說明顯示操作。
希望選擇要藉由該載體傳送182結合上述設定操作支援處理執行的載體傳送操作之一功能設定的操作者首先手動按下該功能設定按鈕232並接著手動觸摸該載體傳送182，在用於藉由該載體傳送182(即，該動作目標物件)傳送一載體102的載體傳送動作之模擬係在進行中時其模擬動作係顯示於該模擬操作顯示單元220處(如圖16所示)，以便立即於該操作者操作顯示單元210處顯示該載體傳送動作設定螢幕。因而，操作者能夠立即選擇要藉由該載體傳送182執行之一特定載體傳送動作。
在調整針對該載體傳送動作之設定之後，操作者可按下該模擬按鈕216以於該模擬操作顯示單元220處顯示會於該調整設定處藉由該載體傳送182執行的模擬傳送動作之一動態影像。
希望顯示藉由該載體傳送182的載體傳送動作之說明螢幕的操作者僅需首先按下該說明按鈕234並接著手動觸摸該載體傳送182，當用於藉由該載體傳送182傳送一載體102的載體傳送動作之模擬係在進行中時其模擬動作係顯 示於該模擬操作顯示單元220處(如圖17所示)，以迅速於該操作操作者操作顯示單元210處顯示該載體傳送動作說明螢幕。因而，操作者能夠立即驗證可不必退出該模擬模式中之操作來針對該載體傳送動作選擇的設定與功能之說明。
上述動作目標物件設定操作支援處理僅要求操作者遵循一視覺上直覺程序，其中他按下該功能設定按鈕232並藉由觸摸該螢幕上之動作目標物件來指定該動作目標物件(其一模擬操作係顯示於該模擬操作顯示單元220處)，以立即與自動於該操作者操作顯示單元210處顯示與針對該動作目標物件之設定相關的螢幕。因此，可大大減低該設定操作所要求的時間長度。當該動作目標物件之模擬操作在進行中時，操作者僅需按下該功能設定按鈕232來迅速顯示與針對該操作者介面物件之設定相關的螢幕，即使他不具有關於設定操作的任何技術或經驗，例如即使他不知道所需設定螢幕係定位於何處。此外，因為與針對該操作者介面物件之設定相關的螢幕係自動顯示，故可容易地定位要設定的功能。因為不需要如相關技術藉由透過設定螢幕順序地切換來定位該最終目標設定螢幕，故可更容易與方便地執行該設定操作。
此外，操作者僅需執行按下該說明按鈕234與接著藉由觸摸在該模擬操作顯示單元220處之螢幕上的動作目標物件來指定該動作目標物件(其模擬動作係在進行中)之一極簡單與視覺上直覺操作來立即與自動於該操作者操作顯示 單元210處顯示該動作目標物件功能說明螢幕。因此，定位該功能說明螢幕會涉及的勞動係消除並且操作者能夠藉由檢視顯示的說明來以改良的可靠性執行一設定操作。
此外，一旦在顯示於該操作者操作顯示單元210處的螢幕中執行該設定操作，要藉由該動作目標物件執行的動作之模擬便可以係立即顯示於該模擬操作顯示單元220，從而允許操作者迅速驗證要於該選定設定執行之動作。因而，可於該選定設定處以一高位準的可靠性來執行藉由該動作目標物件之實際操作。此外，因為藉由在該設定操作之後實際使該熱處理設備動作來檢查該動作目標物件之動作的需要係消除，故確保更佳的使用容易性。
(設定目標物件設定操作支援處理)
接下來，參考圖式說明該設定目標物件設定操作支援處理。圖18呈現該設定目標物件設定操作支援處理之一特定範例的流程圖。在圖18中之步驟S300中，決定該模擬器模式是否係開啟的，因為可在該模擬器模式中在顯示於該模擬操作顯示單元220處之螢幕上指定一設定目標物件。接著，在步驟S310中，決定是否已按下一操作支援按鈕230。在該具體實施例中，在步驟S310中藉由決定是否已按下皆構成操作支援按鈕230的功能設定按鈕232或說明按鈕234之任一者(如圖19所示)來進行決定。接著，在步驟S320中，已按下的特定按鈕係決定並且若決定已按下該功能設定按鈕232，則在步驟S330中決定是否已指定一設定目標物件，其一模擬影像係顯示於該模擬操作顯示單元 220處。
如前所述，一設定目標物件係於該模擬操作顯示單元220處指定。更明確地說，匹配顯示一特定設定目標物件之一模擬影像之顯示範圍的該模擬操作顯示單元220之觸摸面板處的座標之範圍係指定為針對該特定設定目標物件之規格範圍並且此類針對各種設定目標物件之規格範圍係預先儲存於該影像資料儲存單元352中。接著，當其模擬影像係顯示於該模擬操作顯示單元220處的一設定目標物件之規格範圍係手動觸摸時，如圖19所示，判斷該設定目標物件已被指定。應注意，可以除上述方式以外的方式來指定該設定目標物件。
在步驟S330中判斷已指定一設定目標物件(針對其模擬影像係在顯示)之後，在步驟S340中隨即由該螢幕資料儲存單元354中的圖5C中之動作目標物件設定相關螢幕資料表352C搜尋與該設定目標物件相關的功能設定螢幕並且將透過該搜尋獲得的功能設定螢幕顯示於該操作者操作顯示單元210處。顯示於該操作者操作顯示單元210處的功能設定螢幕可以係(例如)圖19所示之設定螢幕。圖19所示之設定螢幕係一晶圓載舟設定螢幕，其中可選擇針對該晶圓載舟130之一設定。
接下來，在步驟S350中決定是否已完成經由顯示於該操作者操作顯示單元210處之功能設定螢幕執行的設定操作並且若決定已完成該設定操作，則將選定設定儲存於該設定資料儲存單元353中。當(例如)按下顯示於圖19中之功能 設定螢幕中的設定結束按鈕218時可判斷該設定操作已被完成，並接著儲存該選定設定。
在步驟S360中，決定是否執行一模擬。若按下顯示於圖19中之功能設定螢幕中的模擬按鈕218，則可決定要執行一模擬。另一方面，若另一按鈕係選擇或另一操作係執行而不按下該模擬按鈕216，則決定不執行一模擬並且該設定操作支援處理之序列結束。隨後，執行對應於已按下的其他按鈕或已執行的操作之處理。
若在步驟S360中決定要執行一模擬，則在步驟S370中顯示該設定目標物件之一模擬顯示。應注意，因為該熱處理設備已處於該模擬器模式，故可執行該模擬而不必切換模式。在此步驟中，在相對於該設定目標物件之一設定改變之後(即，在切換該設定目標物件大小、形狀或類似者之後)，該設定目標物件之一模擬影像係顯示於該模擬操作顯示單元220處。一旦該模擬顯示結束，該設定操作支援處理之序列便亦結束。
若在步驟S320中決定已按下該說明按鈕234，則如前述之步驟S330在步驟S380中決定是否已指定一設定目標物件，其一模擬影像係在顯示。若在步驟S380中決定已指定一設定目標物件，則在該設定操作支援處理之序列結束之前，在步驟S390中由保持於該螢幕資料儲存單元354中的如圖5C所示之設定目標物件設定相關螢幕資料表352C來搜尋與該特定操作者介面物件相關的說明螢幕並且於該操作者操作顯示單元310處顯示透過該搜尋獲得之說明螢 幕。
上述設定目標物件設定操作支援處理使希望選擇針對一設定目標物件之一設定的操作者能夠首先於該模擬操作顯示單元220處顯示該設定目標物件之一模擬影像。接著，操作者僅執行按下該功能設定按鈕232與藉由在該模擬操作顯示單元220處之螢幕上觸摸其來指定該設定目標物件(其模擬影像係在顯示)之一簡單與直覺操作，以便立即於該操作者操作顯示單元210處顯示針對該特定設定目標物件之功能設定螢幕。換言之，藉由以該設定選單螢幕開始從一螢幕至另一螢幕透過許多顯示螢幕切換來定位針對該特定設定目標物件之功能設定螢幕的需要係消除。因此，程序性勞動係大大減低並且更加的使用容易性係確保。此外，透過該模擬，可驗證該選定設定並因而可使該熱處理設備100以一高位準的可靠性於最佳設定處操作。
現參考圖式說明藉由操作者針對一設定目標物件透過在該具體實施例中實現的設定操作支援處理而執行的一功能設定操作之一特定範例。圖19解說用以選擇針對一設定目標物件(例如，晶圓載舟130)之一設定而執行之一操作，而圖20解說用以顯示針對該晶圓載舟130之功能說明而執行之一操作。
希望輸入指示具有一不同型號之一晶圓載舟130之一設定以取代當前晶圓載舟130的操作者僅需手動按下該功能設定按鈕232並接著在當前晶圓載舟130之模擬影像係顯示於該模擬操作顯示單元220處時藉由在該螢幕上觸摸其來 指定顯示於該模擬操作顯示單元220處之晶圓載舟130(如圖19所示)以便立即於該操作者操作顯示單元210顯示一晶圓載舟設定螢幕。一旦該晶圓載舟設定螢幕係顯示，操作者便立即能夠關於該晶圓載舟130選擇必要設定。
在選擇針對具有不同型號的晶圓載舟130之設定之後，操作者可按下該模擬按鈕216以於該模擬操作顯示單元220處顯示對應於該新設定的晶圓載舟130之一模擬影像。
此外，操作者僅藉由可如圖20所示手動按下該說明按鈕234並接著觸摸顯示於該模擬操作顯示單元220處的晶圓載舟130來顯示針對該晶圓載舟130之說明螢幕。因為該晶圓載舟說明螢幕係回應此簡單直覺操作而立即顯示於該操作操作者顯示單元210處，故操作者能夠立即檢視該晶圓載舟設定與功能之說明而不必退出該模擬模式。
上述設定目標物件設定操作支援處理僅要求操作者遵循一視覺上直覺程序，其中他按下該功能設定按鈕232並藉由觸摸該螢幕上之設定目標物件來指定該設定目標物件(其一模擬影像係顯示於該模擬操作顯示單元220處)，以立即與自動於該操作者操作顯示單元210處顯示與針對該設定目標物件之設定相關的螢幕。因此，可大大減低該設定操作所要求的時間之長度。當該目標物件之模擬影像係在顯示時，操作者僅需按下該功能設定按鈕232來迅速於該操作顯示單元處顯示與針對該目標物件之設定相關的螢幕，即使他不具有關於設定操作的任何技術或經驗，例如即使他不知道所需設定螢幕係定位於何處。此外，因為與 針對該設定目標物件之設定相關的螢幕係自動顯示，故可容易地定位要設定的功能。因為不需要如相關技術藉由透過設定螢幕順序地切換來定位該最終目標設定螢幕，故可更容易與方便地執行該設定操作。
此外，操作者僅需執行按下該說明按鈕234與藉由觸摸該該螢幕上之設定目標物件來指定該設定目標物件(其一模擬影像係顯示於該模擬操作顯示單元220處)的極簡單並視覺上直覺操作程序以立即與自動於該操作者操作顯示單元210處顯示針對該設定目標物件之功能說明螢幕。因為廣泛地搜尋該功能說明螢幕的需要係消除並且可藉由檢查顯示的說明來執行該設定操作，故該設定操作的可靠性係改良。
此外，一旦在於該操作者操作顯示單元210處顯示之螢幕中執行該設定操作，便可立即於該模擬操作顯示單元220處顯示該目標物件之一模擬影像，從而使操作者能夠迅速確認針對其已選擇該設定的設定目標物件。因而，能夠可靠地設定正確的目標物件。
應注意，除首先按下一操作支援按鈕230並接著操作該操作者介面物件或指定該動作目標物件或該設定目標物件，可藉由在保持按下一操作支援按鈕230時操作該操作者介面物件或指定該動作目標物件或該設定目標物件而透過該具體實施例中實現的設定操作支援處理來顯示針對一特定目標物件(一操作者介面物件、一動作目標物件或一設定目標物件)之設定螢幕。換言之，在任一情況下，都 應在圖10之步驟S110、圖15之步驟S210及圖18之步驟S310中判斷已按下一操作支援按鈕230。
此外，雖然上面關於其中該操作者操作顯示單元210與該模擬操作顯示單元220係以分離的操作面板構成之一範例上的具體實施例給出說明，但本發明並不限於此範例並且該等操作顯示單元可以一單一操作面板構成，如圖21所示。
此外，雖然在上述具體實施例中該等操作支援按鈕230(功能設定按鈕232與說明按鈕234)係提供為硬體按鈕，但本發明並不限於此範例並且此等操作支援按鈕230可以係顯示於一操作面板處之螢幕上的按鈕。在此一情況下，可在獨立於構成該操作者操作顯示單元210與該模擬操作顯示單元220之該些顯示單元之一操作面板處顯示該等操作支援按鈕230，或可在與該操作者操作顯示單元210及一模擬操作顯示單元220共用之一單一操作面板中顯示該等操作支援按鈕230，如圖22所示。
若將該熱處理設備100連接至一主機電腦或一資料處理設備(例如一先進群組控制器(AGC))，則可將該等操作支援按鈕230連同該操作者操作顯示單元210與該模擬操作顯示單元220一起顯示於該主機電腦或構成該資料處理設備之電腦的顯示裝置處，如圖22所示，以便於該主機電腦或該資料處理設備處執行該設定操作支援處理。在此類情況下，該主機電腦或該資料處理設備之控制單元應採用類似於圖3之方塊圖所示之一結構。
顯然可藉由提供一媒體(例如一儲存媒體)來實施本發明，該媒體中已儲存一軟體程式，其用於滿足對於一系統或一設備之具體實施例的功能並因而使該系統或該設備之一電腦(一CPU或一MPU(Micro Processing Unit))能夠讀出與執行儲存於該媒體(例如一儲存媒體)中的程式。
在此一情況下，由該媒體(例如一儲存媒體)讀出的程式本身體現上述具體實施例之功能而其中已儲存該程式的媒體(例如一儲存媒體)體現本發明。透過其提供該程式的媒體(例如一儲存媒體)可以係(例如)一軟(註冊商標)碟、一硬碟、一光碟、一磁光碟、一CD-ROM、一CD-R、一CD-RW、一DVD-ROM、一DVD-RAM、一DVD-RW、一DVD+RW、磁帶、一非揮發性記憶卡或一ROM。或者，可經由一網路來分配此一程式。
應注意，本發明之範疇包括其中在一電腦上操作之一OS或類似者回應藉由該電腦讀出之程式中的指令整體或部分地執行實際處理並且該具體實施例之功能係透過如此執行之處理來實現的應用，以及其中當該電腦執行其已讀出之程式時該具體實施例之功能係實現的應用。
本發明之範疇進一步包括一應用，其中由該媒體(例如一儲存媒體)讀出之程式首先係寫入至載入該電腦中的一功能擴充板或連接至該電腦的一功能擴充單元中之一記憶體，該功能擴充板或該功能擴充單元中之一CPU或類似者回應該程式中之指令整體或部分地執行實際處理並且上述具體實施例之功能係透過該處理來實現。
雖然已藉由參考附圖相對於其一較佳具體實施例特定顯示與說明本發明，但本發明並不限於此範例並且熟習此項技術者將明白其中可進行形式與細節的各種改變而不脫離本發明之精神、範疇及教導。
雖然上面參考其中採用本發明之基板處理設備係熱處理設備100的具體實施例給出說明，但本發明並不限於此範例並且可在各種基板處理設備(包括蝕刻設備與膜形成設備)之任一者中同等有效地採用本發明。
100‧‧‧熱處理設備
102‧‧‧載體
104‧‧‧外罩
106‧‧‧基底板
108‧‧‧分隔壁
110‧‧‧載入埠
110A‧‧‧台
110B‧‧‧開口
120‧‧‧載體台
120A‧‧‧第一架子
120B‧‧‧第二架子
120C‧‧‧第三架子
130‧‧‧晶圓載舟(固持構件)
130A‧‧‧舟主體
130B‧‧‧支腳部分
140‧‧‧熱處理爐
140A‧‧‧爐喉
142‧‧‧反應管
144‧‧‧加熱器
150‧‧‧FIMS埠
150A‧‧‧台
170‧‧‧載入區域
172‧‧‧蓋部件
174‧‧‧旋轉升降機機構
176‧‧‧晶圓傳送機構
178‧‧‧門機構
180‧‧‧傳送/儲存區域
182‧‧‧載體傳送
200‧‧‧操作單元
210‧‧‧操作者操作顯示單元
212‧‧‧模式切換按鈕
214‧‧‧設定按鈕
216‧‧‧模擬按鈕
218‧‧‧設定結束按鈕
220‧‧‧模擬操作顯示單元
230‧‧‧操作支援按鈕
232‧‧‧功能設定按鈕
234‧‧‧功能說明按鈕(說明按鈕)
240‧‧‧操作者存取按鈕(操作者存取開關)
300‧‧‧控制單元
310‧‧‧CPU(中央處理單元)
330‧‧‧模擬器
340‧‧‧記憶體
350‧‧‧儲存單元
351‧‧‧程式儲存單元
352‧‧‧影像資料儲存單元
352A‧‧‧操作者介面物件設定相關螢幕資料表
352B‧‧‧動作目標物件設定相關螢幕資料表
352C‧‧‧設定目標物件設定相關螢幕資料表
353‧‧‧設定資料儲存單元
354‧‧‧螢幕資料儲存單元
W‧‧‧晶圓
圖1係呈現可採用在本發明之一具體實施例中實現的設定操作支援裝置之一熱處理設備之一示意性外視圖的透視圖；圖2係示意性解說圖1中之熱處理設備之內部結構的縱向斷面圖；圖3係示意性解說圖2中之控制單元之結構的方塊圖；圖4係解說在該具體實施例中歸類成階層之螢幕的概念圖；圖5A呈現在該具體實施例中可使用之一操作者介面物件設定相關螢幕資料表的範例；圖5B呈現在該具體實施例中可使用之一動作目標物件設定相關螢幕資料表的範例；圖5C呈現在該具體實施例中可使用之一設定目標物件設定相關螢幕資料表的範例；圖6呈現在該具體實施例中可在該操作單元中採用的結 構範例；圖7呈現在該具體實施例中可於該操作者操作顯示單元處顯示之一模式切換螢幕的特定範例；圖8呈現在該具體實施例中可於該操作者操作顯示單元處顯示之一設定選單螢幕的特定範例；圖9呈現在該具體實施例中可於該模擬操作顯示單元處顯示之一模擬螢幕的特定範例；圖10呈現在該具體實施例中執行之操作者介面物件設定操作支援處理的流程圖；圖11解說可執行以顯示一操作者介面物件功能設定螢幕之一操作的範例；圖12解說可執行以顯示一操作者介面物件功能說明螢幕之一操作的範例；圖13解說可執行以顯示一操作者介面物件功能設定螢幕之一操作的另一範例；圖14呈現可透過圖13所示之操作顯示之一操作者介面物件功能設定螢幕的特定範例；圖15呈現在該具體實施例中執行之動作目標物件設定操作支援處理的流程圖；圖16解說可執行以顯示一動作目標物件功能設定螢幕之一操作的範例；圖17解說可執行以顯示一動作目標物件功能說明螢幕之一操作的範例；圖18呈現在該具體實施例中執行之設定目標物件設定操 作支援處理的流程圖；圖19解說可執行以顯示一設定目標物件功能設定螢幕之一操作的範例；圖20解說可執行以顯示一設定目標物件功能說明螢幕之一操作的範例；圖21呈現可在該具體實施例中在該操作顯示單元中採用的另一結構範例；以及圖22呈現可在該具體實施例中在該操作單元中採用的另一結構範例。
130‧‧‧晶圓載舟(固持構件)
140‧‧‧熱處理爐
176‧‧‧晶圓傳送機構
182‧‧‧載體傳送
220‧‧‧模擬操作顯示單元

Claims (11)

  1. 一種基板處理設備用之設定操作支援裝置，其支援該基板處理設備之設定操作，其包含：構成該基板處理設備之部分的一動作目標物件，可選擇該動作目標物件之一動作設定；一模擬器，其執行該動作目標物件之一動作的一模擬；一觸摸面板型操作顯示單元，於其可顯示與針對該動作目標物件之動作設定相關的至少一螢幕與該動作目標物件之該模擬的一動態影像；一設定儲存單元，其中儲存有在與針對該動作目標物件之該等動作設定相關的該螢幕中選擇的一設定之內容；一設定支援按鈕；一螢幕儲存單元，其中儲存有動作目標物件設定相關螢幕資訊，其指示該動作目標物件及與針對該動作目標物件之該等動作設定相關的該螢幕之間之一預定相關性；一控制單元，其當在該動作目標物件之動態模擬影像係顯示於該操作顯示單元時，在按下該設定支援按鈕之後，透過於該操作顯示單元處之一觸摸操作而指定針對其模擬執行係在進行中的該動作目標物件時，於該螢幕儲存單元搜尋與該動作目標物件相關之該螢幕，並使該操作顯示單元顯示得自該搜尋之該螢幕。
  2. 如請求項1之基板處理設備用之設定操作支援裝置，其中：該設定支援按鈕係顯示於該操作顯示單元之一功能設定按鈕或獨立於該操作顯示單元提供之一功能設定按鈕；以及與針對該動作目標物件之該等動作設定相關的該螢幕係與該動作目標物件之動作相關之一功能設定螢幕。
  3. 如請求項2之基板處理設備用之設定操作支援裝置，其中：該設定支援按鈕更包括一功能說明按鈕；指示一特定功能設定螢幕與一特定功能說明螢幕對該動作目標物件之一預定相關性的動作目標物件設定相關螢幕資訊係儲存於該螢幕儲存單元中；以及當在該動作目標物件之該模擬操作之一影像係顯示於該操作顯示單元時，在按下該功能設定按鈕之後指定針對其該模擬執行係在進行中的該動作目標物件時，該控制單元於該螢幕儲存單元搜尋與該動作目標物件相關之該功能設定螢幕並使該操作顯示單元顯示得自該搜尋之該功能設定螢幕，而當在該動作目標物件之該模擬操作之該影像係顯示於該操作顯示單元時，在按下該功能說明按鈕之後指定針對其該模擬執行係在進行中的該動作目標物件時，該控制單元於該螢幕儲存單元搜尋與該動作目標物件相關之該功能說明螢幕並使該操作顯示單元顯示得自該搜尋之該功能說明螢幕。
  4. 如請求項3之基板處理設備用之設定操作支援裝置，其中：在於與針對該動作目標物件之該等動作設定相關的該螢幕中執行一設定操作之後，該控制單元將一選定設定之內容儲存於該設定儲存單元中，接著使該模擬器針對該動作目標物件執行對應於儲存於該設定儲存單元中之該等設定內容的一模擬並使該操作顯示單元顯示一模擬影像。
  5. 一種基板處理設備用之設定操作支援裝置，其支援一執行以選擇針對一基板處理設備之一設定的設定操作，其包含：構成該基板處理設備之部分的一設定目標物件，可選擇該設定目標物件之一設定；一模擬器，其執行針對該設定目標物件之一模擬顯示；一觸摸面板型操作顯示單元，於其可顯示與針對該設定目標物件之該等設定相關的至少一螢幕與透過該模擬提供的該設定目標物件之一影像；一設定支援按鈕；一螢幕儲存單元，其中儲存有設定目標物件設定相關螢幕資訊，其指示該設定目標物件及與針對該設定目標物件之設定相關的該螢幕之間之一預定相關性；以及一控制單元，其當在該設定目標物件之該模擬影像係顯示於該操作顯示單元時，在按下該設定支援按鈕之後 透過於該操作顯示單元處之一觸摸操作而指定該設定目標物件時，於該螢幕儲存單元搜尋與該設定目標物件相關之該螢幕並使該操作顯示單元顯示得自該搜尋之該螢幕。
  6. 如請求項5之基板處理設備用之設定操作支援裝置，其中：該設定支援按鈕係顯示於該操作顯示單元之一功能設定按鈕或獨立於該操作顯示單元提供之一功能設定按鈕；以及與針對該設定目標物件之該等設定相關的該螢幕係與該設定目標物件相關之一功能設定螢幕。
  7. 如請求項6之基板處理設備用之設定操作支援裝置，其中：該設定支援按鈕更包括一功能說明按鈕；指示一特定功能設定螢幕與一特定功能說明螢幕對該設定目標物件之預定相關性的設定目標物件設定相關螢幕資訊係儲存於該螢幕儲存單元中；以及當在該設定目標物件之該模擬影像係顯示於該操作顯示單元時，在按下該功能設定按鈕之後指定其模擬影像係在顯示的該設定目標物件時，該控制單元於該螢幕儲存單元搜尋與該設定目標物件相關之該功能設定螢幕並使該操作顯示單元顯示得自該搜尋之該功能設定螢幕，而當在該設定目標物件之該模擬影像係顯示於該操作顯示單元時，在按下該功能說明按鈕之後指定其模擬影像 係在顯示的該設定目標物件時，該控制單元於該螢幕儲存單元搜尋與該設定目標物件相關之該功能說明螢幕並使該操作顯示單元顯示得自該搜尋之該功能說明螢幕。
  8. 如請求項7之基板處理設備用之設定操作支援裝置，其進一步包含：一設定儲存單元，其中儲存有在與針對該設定目標物件之該等設定相關的該螢幕中選擇的一設定之內容，其中：在於與針對該設定目標物件之該等設定相關的該螢幕中執行一設定操作之後，該控制單元將設定內容儲存於該設定儲存單元中，接著使該模擬器針對該設定目標物件執行對應於儲存於該設定儲存單元中之該等設定內容的一模擬並使該操作顯示單元顯示該模擬之一影像。
  9. 一種設定操作支援方法，其係用於基板處理設備以支援針對該基板處理設備執行之設定操作，其包含：其中決定是否已按下佈置於該基板處理設備處之一設定支援按鈕的一程序；其中在決定已按下該設定支援按鈕之後隨即決定是否已執行與在構成該基板處理設備之組件之中針對其可選擇一特定設定的一目標物件相關之一操作或用於在顯示於一操作顯示單元處之一模擬影像中指定一動作目標物件或一設定目標物件之一指定操作的一程序；以及其中在決定已執行任一操作之後隨即基於指示個別目標物件及與針對該等目標物件之設定相關的螢幕之間之 相關性的目標物件設定相關螢幕資訊，來搜尋並於該操作顯示單元處顯示與針對其已執行該操作的該目標物件相關之一螢幕的一程序，該目標物件設定相關螢幕資訊係預先儲存於一螢幕儲存單元中。
  10. 一種電腦可讀取記錄媒體，其中儲存有一程式，該程式使一電腦能夠執行一用於支援執行以選擇針對一基板處理設備之一設定的一設定操作的設定操作支援方法之步驟，其中：藉由該電腦執行之該設定操作支援方法包含：其中決定是否已按下佈置於該基板處理設備處之一設定支援按鈕的一步驟；其中在決定已按下該設定支援按鈕之後隨即決定是否已執行與在構成該基板處理設備之組件之中針對其可選擇一特定設定的一目標物件相關之一操作或用於在顯示於一操作顯示單元處之一模擬影像中指定一動作目標物件或一設定目標物件之一指定操作的一步驟；以及其中在決定已執行任一操作之後隨即基於指示個別目標物件及與針對該等目標物件之設定相關的螢幕之間之相關性的目標物件設定相關螢幕資訊，來搜尋並於該操作顯示單元處顯示與針對其已執行該操作的該目標物件相關之一螢幕的一步驟，該目標物件設定相關螢幕資訊係預先儲存於一螢幕儲存單元中。
  11. 一種基板處理設備用之設定操作支援裝置，其支援一執行以選擇該基板處理設備中之一設定的設定操作，其包 含：一操作者介面物件，經由其操作該基板處理設備；一觸摸面板型操作顯示單元，於其可顯示與針對該操作者介面物件之設定相關的至少一螢幕；一設定儲存單元，其中儲存有在與針對該操作者介面物件之該等設定相關的該螢幕中選擇的一設定之內容；一設定支援按鈕；一螢幕儲存單元，其中儲存有操作者介面物件設定相關螢幕資訊，其指示該操作者介面物件及與針對該操作者介面物件之該等設定相關的該螢幕之間之一預定相關性；一控制單元，其回應在按下該設定支援按鈕之後的該操作者介面物件之一操作來使該操作顯示單元顯示由該螢幕儲存單元搜尋的與該操作者介面物件相關之該螢幕；以及一模擬器，其能夠在操作該操作者介面物件時執行針對動作之一動作目標物件的一模擬；且在顯示於該操作顯示單元之一螢幕中執行一設定操作之後，該控制單元將一選定設定之內容儲存於該設定儲存單元中，接著回應該操作者介面物件之該操作使該模擬器針對動作中之該動作目標物件執行對應於儲存於該設定儲存單元中之該等設定內容的一模擬，並於該操作顯示單元處顯示一模擬影像。
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