CN101256408A - 基板处理装置的设定操作支援装置及其方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种基板处理装置的设定操作支援装置及其方法。该基板处理装置的设定操作支援装置中设置有：基板处理装置的结构物中能够进行动作的设定的动作对象物；执行该动作的模拟的模拟器；触摸屏式的运行操作显示部和模拟操作显示部；以及功能设定按钮，预先使动作对象物和与其动作设定有关的画面相关联并存储在画面存储部中。在运行操作显示部中显示动作对象物的动画时，当按下功能设定按钮，通过触摸操作特定动作对象物时，从画面存储部中检索与其相关联的设定画面并在运行操作显示部中进行显示。据此，在进行基板处理装置的设定操作时，能够通过简单的操作立即显示希望的画面。由此能够消除繁琐的设定操作，提高使用的便利性。

Description

基板处理装置的设定操作支援装置及其方法
技术领域
本发明涉及一种基板处理装置的设定操作支援装置、设定操作支援方法、存储程序的存储介质。
背景技术
为了进行基板处理装置的运转需要进行各种设定和操作等，通常通过由操作者操作基板处理装置的操作部，进行这些设定和操作等。操作部包括由软件程序管理的触摸屏式的操作显示部和由硬件构成的多个按钮等，它们例如设置在基板处理装置的前面。
在上述操作部的操作显示部中显示设定画面、操作画面等多个画面。这些画面预先按种类进行分类，成为多个组，并且各组画面分别成为层次结构，通过按下在某一种类的组的画面中显示的按钮，能够显示该组内的下一层次的画面。操作者看着这样的操作显示部的画面，通过选择与之后应该进行的设定、操作对应的按钮并反复进行触摸操作，能够一个一个地切换画面，找出希望的画面，并进行必要的设定、操作(例如参照日本特开平8-227835号公报)。通常，在使基板处理装置运转时，先找出必需的设定画面进行各种设定，再找出必需的操作画面进行操作，按照设定使基板处理装置运转。
但是，像基板处理装置这样各种设定项目涉及多个分支的装置中，设定画面的数量非常多。例如，必须进行由硬件构成的按钮等的设定操作、气体流量、压力等工艺条件的设定操作、半导体晶片等的基板搬送系统的设定操作、构成装置的多个部件的型号、种类等的设定操作等各种设定操作。
此外，近年来随着基板处理装置的多功能化，在追加新的功能时，会追加用于设定该功能的设定画面，所以设定画面的数量也有日益增加的倾向。而且，由于这些新的设定画面一个一个地地追加在相关联的画面组的已经存在的层次(階
Figure A20081008817600081
)中，而且还在其中追加有新设置的更深的层次，所以各层次的画面数增加，并且层次的数量也日益增加。
这样画面的层次越深，操作者通过画面操作直至到达希望的设定画面越耗费时间和人力。此外，因为根据画面的分类方法的不同，相同对象物的设定画面也可能包括在不同的画面组的层次中，因此在这样的情况下找出希望的设定画面非常耗费人力。此外，在操作画面和设定画面为不同的画面组的情况下，在设定操作中还存在下述这种繁琐的情况，例如，一度根据设定画面进行设定操作之后，结束设定并切换到操作画面进行装置的运转时，在希望变更该操作对象物的设定的情况下，必须再次切换到设定画面，通过一个一个地切换设定画面找出操作对象物的希望的设定项目，并重新进行设定。
此外，因为为了这样找出希望的设定画面，必须具有包括各种设定画面、设定项目的设定操作的知识和经验，所以还存在由于操作者的不同，不知道在哪里具有哪种功能，不能够把握该功能本身是否存在，此外在希望对功能进行设定时不知道在哪里存在希望的设定项目的担忧。
发明内容
鉴于这样的问题提出本发明，其目的在于提供设定操作支援装置等，在进行基板处理装置的设定操作时，通过简单的操作就能够立即显示希望的画面，从而没有繁琐的设定操作，能够提高使用的便利性。
为了解决上述课题，根据本发明的一个观点，一种支援基板处理装置的设定操作的设定操作支援装置，其特征在于，包括：用于操作上述基板处理装置的操作对象物；至少能够显示与上述操作对象物的设定有关的画面的触摸屏式的操作显示部；存储根据与上述操作对象物的设定有关的画面设定的事项的设定存储部；设定支援按钮；存储预先使上述操作对象物和与该操作对象物的设定有关的画面相关联的操作对象物设定关联画面信息的画面存储部；和当上述设定支援按钮被按下，进行上述操作对象物的操作时，从上述画面存储部中检索与该操作对象物相关联的画面并使之在上述操作显示部中显示的控制部。
上述操作对象物例如是在上述操作显示部中显示的操作按钮或相对上述操作显示部另外设置的操作按钮，上述设定支援按钮例如是在上述操作显示部中显示的功能设定按钮或相对上述操作显示部另外设置的功能设定按钮，与上述操作对象物的设定有关的画面例如是功能设定画面。
根据这样的本发明，操作者按下设定支援按钮，仅进行操作对象物的操作这样极为简单的操作，与该操作对象物的设定有关的画面就立即且自动地显示在操作显示部中。由此，能够大幅缩短设定操作所需的时间。而且，只要能够进行操作对象物的操作，即使没有例如设定画面在哪里等的设定操作的知识和经验，仅通过按下设定支援按钮，就能够在操作显示部中立即显示与操作对象物的设定有关的画面。此外，因为与操作对象物的设定有关的画面是自动显示的，所以能够简单地找出必需的功能。此外，因为不需要像现有技术那样一个一个地切换希望的设定画面找出设定画面的操作，所以没有繁琐的设定操作，能够提高使用的便利性。
此外也可以是，上述设定支援按钮包括上述功能设定按钮和功能解说按钮，在上述画面存储部中存储有预先使上述操作对象物的功能设定画面和功能解说画面与该操作对象物相关联的操作对象物设定关联画面信息；上述控制部，当上述功能设定按钮被按下，进行上述操作对象物的操作时，从上述画面存储部中检索与该操作对象物相关联的功能设定画面并在上述操作显示部中进行显示，当上述功能解说按钮被按下，进行上述操作对象物的操作时，从上述画面存储部中检索与该操作对象物相关联的功能解说画面并在上述操作显示部中进行显示。
据此，操作者按下功能解说按钮，仅进行操作对象物的操作这样极为简单的操作，该操作对象物的功能解说画面就立即并且自动地显示在操作显示部中。由此，能够节省找出功能解说画面的人力，能够确认显示的解说并进行设定操作，从而能够可靠地进行设定操作。
进而也可以是，设置有能够执行根据上述操作对象物的操作进行动作的动作对象物的模拟的模拟器，当根据在上述操作显示部中显示的画面进行设定操作时，上述控制部在上述设定存储部中存储该设定事项，之后对于根据该操作对象物的操作进行动作的动作对象物，在上述模拟器中执行根据存储在上述设定存储部中的设定事项的模拟，在上述操作显示部中显示该模拟的图像。
据此，由于能够在根据在操作显示部中显示的画面进行设定操作之后，立即在操作显示部中显示根据该操作的动作的模拟，所以能够立即确认依据设定的动作。由此，能够可靠地按照设定进行实际的操作。此外，由于能够节省在设定后实际使基板处理装置运转，确认根据该操作的动作等的确认操作的人力，所以能够提高使用的便利性。
为了解决上述课题，根据本发明的另一观点，提供一种支援基板处理装置的设定操作的设定操作支援装置，其特征在于，包括：上述基板处理装置的结构物中能够进行动作设定的动作对象物；执行对上述动作对象物的动作的模拟的模拟器；至少能够显示与上述动作对象物的动作设定有关的画面和上述动作对象物的上述模拟的动画的触摸屏式的操作显示部；存储根据与上述动作对象物的动作设定有关的画面设定的事项的设定存储部；设定支援按钮；存储预先使上述动作对象物和与该动作对象物的动作设定有关的画面相关联的动作对象物设定关联画面信息的画面存储部；和在上述操作显示部中显示上述模拟的动作对象物的动画时，当上述设定支援按钮被按下，通过上述操作显示部的触摸操作进行模拟执行中的动作对象物的特定时，从上述画面存储部中检索与该动作对象物相关联的画面并使之在上述操作显示部中显示的控制部。
上述设定支援按钮例如是在上述操作显示部中显示的功能设定按钮或相对上述操作显示部另外设置的功能设定按钮，与上述动作对象物的动作设定有关的画面例如是对于该动作对象物的动作的功能设定画面。
根据这样的本发明，操作者按下设定支援按钮，仅通过对模拟的动作中的动作对象物由该操作显示部的画面上的触摸操作进行特定这样极为简单且视觉上容易理解的操作，与该动作对象物的设定有关的画面就立即并且自动地显示在操作显示部中。由此，能够大幅缩短设定操作所需的时间。而且，只要是在通过模拟使动作对象物动作的期间，即使没有例如设定画面在哪里等设定操作的知识和经验，只要按下设定支援按钮，在操作显示部中就能够立即显示与动作对象物的设定有关的画面。此外，因为与动作对象物的设定有关的画面是自动显示的，所以能够简单地找出所需功能。此外，因为不需要像现有技术那样一个一个地切换希望的设定画面找出设定画面的操作，所以没有繁琐的设定操作，能够提高使用的便利性。
此外也可以是，上述设定支援按钮包括上述功能设定按钮和功能解说按钮，在上述画面存储部中存储有预先使上述动作对象物的功能设定画面和功能解说画面与该动作对象物相关联的动作对象物设定关联画面信息；上述控制部，在上述操作显示部中显示上述模拟的动作对象物的动作图像时，当上述功能设定按钮被按下，特定上述模拟执行中的动作对象物时，从上述画面存储部中检索与该动作对象物相关联的功能设定画面并在上述操作显示部中进行显示，当上述功能解说按钮被按下，特定上述模拟执行中的动作对象物时，从上述画面存储部中检索与该动作对象物相关联的功能解说画面并在上述操作显示部中进行显示。
据此，操作者按下功能解说按钮，仅进行对模拟的动作中的动作对象物由该操作显示部的画面上的触摸操作进行特别这样极为简单且视觉上容易理解的操作，该动作对象物的功能解说画面就能够立即并且自动地显示在操作显示部中。由此，因为能够节省找出功能解说画面的人力，能够确认显示的解说并进行设定操作，所以能够可靠地进行设定操作。
此外也可以是，当根据与上述动作对象物的动作设定有关的画面进行设定操作时，上述控制部在上述设定存储部中存储该设定事项，之后对该动作对象物执行根据存储在上述设定存储部中的设定事项的模拟，并在上述操作显示部中显示该模拟的图像。
据此，由于能够在根据在操作显示部中显示的画面进行设定操作之后，立即在操作显示部中显示该动作对象物的动作的模拟，所以能够立即确认依据设定的动作。由此，能够可靠地按照设定进行动作对象物的实际的动作。此外，由于能够节省在设定后实际使基板处理装置运转、确认该动作对象物的动作等的确认操作的人力，所以能够提高使用的便利性。
为了解决上述课题，根据本发明的另一观点，提供一种支援基板处理装置的设定操作的设定操作支援装置，其特征在于，包括：上述基板处理装置的结构物中能够进行该结构物的设定的设定对象物；执行对上述设定对象物的模拟显示的模拟器；至少能够显示与上述设定对象物的设定有关的画面和上述设定对象物的上述模拟的图像的触摸屏式的操作显示部；存储根据与上述设定对象物的设定有关的画面设定的事项的设定存储部；设定支援按钮；存储预先使上述设定对象物和与该设定对象物的设定有关的画面相关联的设定对象物设定关联画面信息的画面存储部；和在上述操作显示部中显示上述模拟显示的上述设定对象物的图像时，当上述设定支援按钮被按下，通过上述操作显示部的触摸操作进行显示中的设定对象物的特定时，从上述画面存储部中检索与该设定对象物相关联的画面并使之在上述操作显示部中显示的控制部。
上述设定支援按钮例如是在上述操作显示部中显示的功能设定按钮或相对上述操作显示部另外设置的功能设定按钮，与上述设定对象物的设定有关的画面例如是对于该设定对象物的功能设定画面。
根据这样的本发明，操作者按下设定支援按钮，仅通过对模拟的显示中的设定对象物由该操作显示部的画面上的触摸操作进行特定这样极为简单且视觉上容易理解的操作，与该设定对象物的设定有关的画面就立即并且自动地显示在操作显示部中。由此，能够大幅缩短设定操作所需的时间。而且，只要在通过模拟对设定对象物进行显示的期间，即使没有例如设定画面在哪里等的设定操作的知识和经验，只要按下设定支援按钮，在操作显示部中就能够立即显示与设定对象物的设定有关的画面。此外，因为与设定对象物的设定有关的画面是自动显示的，所以能够简单地找出所需功能。此外，因为不需要像现有技术那样一个一个地切换希望的设定画面找出设定画面的操作，所以没有繁琐的设定操作，能够提高使用的便利性。
此外也可以是，上述设定支援按钮包括上述功能设定按钮和功能解说按钮，在上述画面存储部中存储有预先使上述设定对象物的功能设定画面和功能解说画面与该设定对象物相关联的设定对象物设定关联画面信息，上述控制部，在上述操作显示部中显示上述模拟显示的上述设定对象物的图像时，当上述功能设定按钮被按下，特定上述模拟显示中的设定对象物时，从上述画面存储部中检索与该设定对象物相关联的功能设定画面并在上述操作显示部中进行显示，当上述功能解说按钮被按下，特定上述模拟显示中的设定对象物时，从上述画面存储部中检索与该设定对象物相关联的功能解说画面并在上述操作显示部中进行显示。
据此，操作者按下功能解说按钮，仍进行对模拟的显示中的设定对象物由该操作显示部的画面上的触摸操作进行特定这样极为简单且视觉上容易理解的操作，该设定对象物的功能解说画面就能够立即并且自动地显示在操作显示部中。由此，因为能够节省找出功能解说画面的人力，能够确认显示的解说并进行设定操作，所以能够可靠地进行设定操作。
此外也可以是，当根据与上述设定对象物的设定有关的画面进行设定操作时，上述控制部在上述设定存储部中存储该设定事项，之后对该设定对象物执行根据存储在上述设定存储部中的设定事项的模拟，并在上述操作显示部中显示该模拟的图像。
据此，由于能够在根据在操作显示部中显示的画面进行设定操作之后，立即在操作显示部中模拟显示该设定对象物，所以能够立即确认已设定的设定对象物。由此，能够可靠地进行设定对象物的设定。
为了解决上述课题，根据本发明的另一观点，提供一种支援基板处理装置的设定操作的设定操作支援方法，其特征在于，包括：判断是否已按下设置于上述基板处理装置的设定支援按钮的工序；在判断为已按下上述设定支援按钮的情况下，判断是否已进行对上述基板处理装置的结构物中的能够进行设定的对象物的操作、在操作显示部中显示的模拟图像中的动作对象物或设定对象物的特定操作中的任一个操作的工序；和在判断为已进行上述操作的情况下，根据预先存储在画面存储部中的使上述各对象物和与这些对象物的设定有关的画面相关联的对象物设定关联画面信息，检索与进行上述操作的对象物相关联的画面并在上述操作显示部中进行显示的工序。
为了解决上述课题，根据本发明的另一观点，提供一种存储程序的存储介质，是存储用于在计算机中执行支援基板处理装置的设定操作的设定操作支援方法的程序的计算机能够读取的存储介质，其特征在于：由上述计算机执行的上述设定操作方法包括：判断是否已按下设置于上述基板处理装置的设定支援按钮的步骤；在判断为已按下上述设定支援按钮的情况下，判断是否已进行对上述基板处理装置的结构物中的能够进行设定的对象物的操作、在操作显示部中显示的模拟图像中的动作对象物或设定对象物的特定操作中的任一个操作的步骤；和在判断为已进行上述操作的情况下，根据预先存储在画面存储部中的使上述各对象物和与这些对象物的设定有关的画面相关联的对象物设定关联画面信息，检索与进行上述操作的对象物相关联的画面，并在上述操作显示部中进行显示的步骤。
根据本发明，在进行基板处理装置的设定操作时，因为通过简单且容易理解的操作就能够立即并且自动地显示希望的画面，所以没有繁琐的设定操作，能够提高使用的便利性。
附图说明
图1是表示能够应用本发明的实施方式的设定操作支援装置的热处理装置的外观结构的概况的立体图。
图2是表示图1所示的热处理装置的内部结构的概况的纵截面图。
图3是表示图2所示的控制部的概要结构的框图。
图4是用于说明同一实施方式中的画面的层次结构的概念图。
图5A是表示同一实施方式中的操作对象物设定关联画面数据表的一个例子的图。
图5B是表示同一实施方式中的动作对象物设定关联画面数据表的一个例子的图。
图5C是表示同一实施方式中的设定对象物设定关联画面数据表的一个例子的图。
图6是表示同一实施方式中的操作部的结构例的图。
图7是表示在同一实施方式中的运行操作显示部中显示的模式变更画面的具体例子的图。
图8是表示在同一实施方式中的运行操作显示部中显示的设定菜单画面的具体例子的图。
图9是表示在同一实施方式中的模拟操作显示部中显示的模拟画面的具体例子的图。
图10是表示同一实施方式中的操作对象物的设定操作支援处理的流程的图。
图11是用于说明用于显示操作对象物的功能设定画面的操作例的图。
图12是用于说明用于显示操作对象物的功能解说画面的操作例的图。
图13是用于说明用于显示操作对象物的功能设定画面的另一操作例的图。
图14是表示根据图13的操作而显示的操作对象物的功能设定画面的具体例子的图。
图15是表示同一实施方式中的动作对象物的设定操作支援处理的流程的图。
图16是用于说明用于显示动作对象物的功能设定画面的操作例的图。
图17是用于说明用于显示动作对象物的功能解说画面的操作例的图。
图18是表示同一实施方式中的设定对象物的设定操作支援处理的流程的图。
图19是用于说明用于显示设定对象物的功能设定画面的操作例的图。
图20是用于说明用于显示设定对象物的功能解说画面的操作例的图。
图21是表示同一实施方式中的操作显示部的另一结构例的图。
图22是表示同一实施方式中的操作部的另一结构例的图。
具体实施方式
下面参照附图详细说明本发明的适宜的实施方式。而且，在本说明书和附图中，对于实质上具有相同功能结构的构成元素标注相同的符号，省略重复说明。
首先，参照附图，说明本发明的实施方式的设定操作支援装置能够起作用的基板处理装置。此处，作为基板处理装置，举例说明将本发明应用于立式热处理装置的情况。图1是表示热处理装置的外观结构的概况的立体图，图2是表示热处理装置的内部结构的概况的纵截面图。在图1中，用虚线表示配设在热处理装置的内部的各部分的结构的概况。
如图1、图2所示，热处理装置100包括：用于将容纳有多个例如25个被处理基板例如半导体晶片W的载体102搬入搬出框体104内(装载、卸载)的装载口110；容纳、保管从该装载口110搬入的多个载体102的载物台120；容纳对多个例如75个晶片进行多层保持的晶舟(保持单元)130，并对晶片W实施规定的热处理例如CVD处理的热处理炉140；载置容纳有向晶舟130移载的晶片W的载体102的FIMS口150；和控制部300。
载体102能够在容器主体内以水平状态在上下方向上按规定间隔多层地容纳多个晶片W，是在容器主体的前面设置有能够装卸的盖(未图示)的所谓密封型搬运容器(FOUP：Front Opening Unified Pod，前开式标准片盒)。载体102例如由OHT(顶部移动型搬送装置)、AGV或RGV(底部移动型搬送装置)、PGV(手压型搬送装置)搬运。
热处理炉140包括设置在框体104内的后部上方、作为下部开口成为炉口140A的纵长的处理容器的反应管142，以覆盖反应管142的周围的方式设置、作为能够将反应管142内的气氛加热控制在规定的温度例如300～1200℃的加热机构的加热器144。而且，反应管142由例如具有高耐热性和电绝缘性的石英玻璃构成。此外，加热器144例如由电阻发热体构成。
此外，热处理炉140的反应管142与用于将处理气体、吹扫用惰性气体导入其内部的多个气体导入管连接，并且通过排气管连接有用于调整其内部压力的真空泵和压力控制阀。
在框体104内，水平设置有用于设置热处理炉140的例如不锈钢制的底板106。在底板106上，在与热处理炉140的炉口140A对应的位置形成有开口部(未图示)。晶舟130通过该开口部被装载至热处理炉140内，或从热处理炉140内卸载。
在热处理炉140的下方，设置有由框体104、底板106和隔壁108包围的装载区域170。向热处理炉140内装载的晶舟130在该装载区域170中待机。此外，在装载区域170中配置有从下方密封热处理炉140的炉口140A的盖体172、升降旋转机构174、用于在盖体172下降时遮挡(隔热)炉口140A的闸板(shutter)机构(未图示)、在被卸载的晶舟130和FIMS口150上的载体102之间进行晶片W的移载的晶片移载机构176、以及能够密封形成在隔壁108上的开口部(未图示)的门机构178。
晶舟130由以水平状态在上下方向上按规定间隔多层地支持大口径例如直径300mm的晶片W的晶舟主体130A和支承晶舟主体130A的脚部130B构成。作为此晶舟130的材料，能够采用石英玻璃等。
在盖体172上安装有升降旋转机构174。因此，盖体172能够进行沿垂直方向的升降动作，能够使热处理炉140的炉口140A成为打开状态或关闭状态。此外，在盖体172上设置有对炉口140A进行加热或保温的机构(未图示)。
晶舟130的脚部130B与升降旋转机构174的旋转轴连接。通过该结构，晶舟130能够进行与盖体172连动的沿垂直方向的升降动作，并且还能够进行水平旋转动作。因此，晶舟130能够在水平方向的旋转角度被调整的状态下装载到热处理炉140内。
在框体104内的前部设置有进行载体102的搬送和保管的搬送保管区域180。该搬送保管区域180和上述装载区域170通过隔壁108分隔。
在搬送保管区域180的下部配置有FIMS口150。该FIMS口150包括载置载体102的台150A、以载体102的容器主体的前面周边部与隔壁108抵接的方式固定载体102的固定机构(未图示)、开关载体102的盖的盖开关机构(未图示)，而且，也可以并列配置有两个该FIMS口150。
在搬送保管区域180的后方上部设置有载物台120。载物台120具有例如第一～第三载置棚120A、120B、120C，能够分别载置并保管载体102。
在搬送保管区域180的前方上部设置有在装载口110、载物台120、和FIMS口150之间进行载体102的搬送、移载的载体传送器182。
装载口110包括载置载体102的台110A和用于将载体102搬入搬出搬送保管区域180内的开口部110B。向装载口110的载体102的搬送和从装载口110的载体102的搬出例如通过底面移动型搬送装置或操作者进行。
在装载口110的上方的正面壁部设置有操作者对热处理装置100进行各种操作、功能设定等的操作部200。操作部200与控制热处理装置100的各部分的控制部300连接。控制部300根据来自操作部200的操作，进行热处理装置100的各种控制例如载体102的搬送控制、晶片W的移载控制、热处理的工艺控制、模拟显示控制等。
(控制部的结构例)
此处，参照附图说明控制部300的结构例。控制部300采用能够作为热处理装置100的设定操作支援装置起作用的结构。图3是表示控制部的概要结构的框图。如图3所示，控制部300具有构成控制部主体的CPU(中央处理装置)310。CPU310通过控制总线、数据总线等总线与上述操作部200、用于执行热处理装置100的各部分的模拟(例如后述的对动作对象物的动作的模拟、对设定对象物的显示的模拟等)的模拟器330、在CPU310的处理中使用的存储器340、和存储CPU310的处理所需的数据等的存储部350连接。
操作部200包括运行操作显示部210、模拟操作显示部220等操作显示部，并且还包括操作支援按钮230(此处是功能设定按钮232、功能解说按钮(HELP按钮)234、操作者接入按钮(操作者接入开关：operator access button)240等各种操作按钮。操作部200例如图1、图6所示，配设在热处理装置100的正面。
操作者接入按钮240是在由操作者将载体102设置在装载口110的情况下使用的按钮。该操作者接入按钮240能够进行例如作为手动设置载体102时的设定的以下两个功能设定。第一个功能设定是：按下操作者接入按钮240后，将载体102设置在装载口110，通过在进行设置之后再一次按下操作者接入按钮240，认知在热处理装置100侧已设置有载体102的状况。此外，第二个功能设定是：当按下操作者接入按钮240并将载体102设置在装载口110时，在热处理装置100侧自动地检测它，并认知已设置载体102的状况。根据图11所示的操作者接入按钮设定画面能够对这些设定进行设定变更。
运行操作显示部210、模拟操作显示部220等操作显示部，由例如触摸屏式的操作显示面板构成。如图6所示，运行操作显示部210能够根据操作者的操作显示各种画面。作为在运行操作显示部210中显示的画面，例如能够列举显示操作按钮等的操作画面，显示设定按钮、设定输入栏等的设定画面，显示功能的解说等的功能解说画面(HELP画面)，显示热处理装置的状态(温度、压力等)等的状态显示画面等。此外，通过按下在运行操作显示部210的各画面中显示的按钮，能够进行各种操作和设定。
在模拟操作显示部220中，用动画显示对例如热处理装置100的结构物中能够进行动作的设定的对象物(例如图2所示的载体传送器182、晶片移载机构176等)由模拟器330进行的模拟的图像。此外，二维或三维显示(立体显示)对能够进行种类、型号等的设定的设定对象物(例如图2所示的晶舟130等)由模拟器330进行的模拟的图像。这样，通过用手指等触摸在模拟操作显示部220中显示的动作对象物、设定对象物的图像的显示区域，能够特定该动作对象物、设定对象物。
存储部350例如由硬盘等构成，包括程序存储部351、图像数据存储部352、设定数据存储部353、画面数据存储部354等。
在程序存储部351中存储有，用于控制例如热处理装置100的各部分的程序，进行上述操作显示部210、220的显示控制的显示程序，用于进行热处理装置100的各部分的设定的设定程序，用于动画显示、立体显示热处理装置100的各部分的动作模拟的模拟程序，执行后述的设定操作支援处理的程序等的各种程序。这些程序根据需要通过CPU310读出并执行。
在图像数据存储部352中存储有用于利用模拟器330执行由二维或三维的动画对动作对象物的动作进行显示的模拟的图像数据、用于执行对设定对象物进行二维或三维显示的模拟的图像数据等必需的图像数据。
在设定数据存储部353中存储有由根据各设定画面的设定操作设定的设定数据。在该设定数据中包括工艺处理的条件(温度、压力等)的设定数据、在热处理装置中使用的各部分(控制向炉内供给的气体流量的质量流量控制器、晶舟升降机等)的尺寸或种类等的设定数据。
在画面数据存储部354中存储有上述操作画面、功能设定画面、HELP画面等在运行操作显示部210中显示的各种画面数据。例如图4中的概念性显示的，各画面由多个组构成，这些各组的画面分别成为层次结构。例如通过按下图4所示的菜单画面中显示的按钮，第一层次的画面A1、B1、C1、…被显示，进而通过按下在第一层次的画面例如画面A1中显示的按钮，第二层次的画面A11、A12、…被显示，通过按下在第二层次的画面例如画面A11中显示的按钮，第三层次的画面A111、A112、…被显示，从而能够一个一个地切换显示的画面。
在热处理装置100等的基板处理装置中，由于其功能也涉及多个分支，所以功能设定画面、显示其功能的解说的功能解说画面(HELP画面)的数量也非常多。随着近年来的基板处理装置的多功能化，在追加新的功能时，逐步追加用于设定该功能的功能设定画面、HELP画面，所以存在功能设定画面的数量也日益增加的倾向。此外，在每次追加新的功能时，存在这些画面的数量日益增加的倾向。而且，这些新的功能设定画面、HELP画面一个一个地追加在相关联的画面组的已经存在的层次中，而且还在其中追加有新设置的更深的层次，所以各层次的画面数也增加，并且层次的数量也日益增加。
这样画面的层次越深，操作者通过画面操作直至到达希望的设定画面越耗费时间和人力。此外，因为根据画面的分类方法的不同，相同对象物的设定画面也可能包括在不同的画面组的层次中，因此在这样的情况下找出希望的设定画面非常耗费人力。此外，在操作画面和设定画面为不同的画面组的情况下，在设定操作中还存在下述这种繁琐的情况，例如，一度根据设定画面进行设定操作之后，结束设定并切换到操作画面进行装置的运转时，在希望变更该操作对象物的设定的情况下，必须再次切换到设定画面，通过一个一个地切换设定画面找出操作对象物的希望的设定项目，并重新进行设定。
此外，因为为了这样找出希望的设定画面，必须具有包括各种设定画面、设定项目的设定操作的知识和经验，所以还存在由于操作者的不同，不知道在哪里具有哪种功能，不能把握该功能本身是否存在，此外在希望对功能进行设定时不知道在哪里存在希望的设定项目的担忧。
因此，在本发明中，使构成热处理装置100的结构物中能够进行设定的对象物(例如后述的操作对象物、动作对象物、设定对象物)的功能设定画面和HELP画面分别与这些对象物预先相关联，并且设置有操作支援按钮(例如功能设定按钮232、HELP按钮234)，在按下操作支援按钮并进行上述操作对象物的操作、模拟图像的动作对象物的特定或设定对象物的特定的情况下，能够立即显示与这些对象物相关联的功能设定画面、HELP画面(设定操作支援处理)。由此，操作者能够通过简单的操作尽快显示希望的功能设定画面、HELP画面，没有繁琐的设定操作，能够提高使用的便利性。
将使功能设定画面和HELP画面与规定的对象物相关联的数据例如存储在画面数据存储部354中。即，在画面数据存储部354中设置有：例如图5A所示，预先存储使各个功能设定画面和功能解说画面(HELP画面)与规定的操作对象物相关联的操作对象物设定关联画面信息的操作对象物设定关联画面数据表352A；例如图5B所示，预先存储使功能设定画面和功能解说画面(HELP画面)与规定的动作对象物相关联的动作对象物设定关联画面信息的动作对象物设定关联数据表352B；例如图5C所示，预先存储使功能设定画面和功能解说画面(HELP画面)与规定的设定对象物相关联的设定对象物设定关联画面信息的设定对象物设定关联数据表352C。而且，在HELP画面中显示的功能解说可以如上所述与HELP画面一起存储在画面数据存储部354中，也可以另外设置HELP数据存储部(未图示)，在其中存储与各HELP画面相关联的功能解说。
此处，所谓操作对象物是指用于操作热处理装置100的操作按钮等中能够进行其操作的设定的对象物。作为操作对象物，例如能够列举图1所示的操作者接入按钮240。而且，作为操作按钮，如本实施方式所示，可以是作为硬件设置在操作部200中的按钮，此外也可以是在运行操作显示部210中显示的按钮。
此外，所谓动作对象物是指构成热处理装置100的结构物中能够进行动作的设定的对象物。作为动作对象物，例如能够列举图2所示的载体传送器182、晶片移载机构176等。此外，所谓设定对象物是指构成热处理装置100的结构物中能够进行种类、型号等的设定的对象物。作为设定对象物，例如能够列举图2所示的晶舟130等。而且，动作对象物和设定对象物不一定必须是不同的结构物，也可以是相同的结构物。在构成热处理装置100的结构物中能够进行种类、型号等的设定的设定对象物中，也包括还能够进行动作设定的动作对象物。
于是，包括上述这样的功能设定画面、HELP画面、操作画面的各画面例如图6所示，在运行操作显示部210中进行显示。在图6中表示作为操作画面的操作菜单画面的显示例。在操作菜单画面中除显示气体、温度、工艺(process)的按钮之外，还显示模式变更按钮212。当按下模式变更按钮212时，例如图7所示，显示实际运转热处理装置100、进行晶片的处理的通常运转模式的按扭，和不实际运转热处理装置100、由模拟器330进行模拟(例如动作对象物的动作模拟、设定对象物的显示模式)，在模拟操作显示部220中显示该模拟图像的模拟器模式的按钮，通过操作者的操作能够选择这些模式。
此外，在图6所示的操作菜单画面中显示设定按钮214，按下该设定按钮214时，在运行操作显示部210中显示例如图8所示的作为设定画面的设定菜单画面。当按下在该设定菜单画面中显示的按钮时显示下位的层次的功能设定画面，进一步按下在此显示的按钮时，显示更下位的层次的功能设定画面，通过反复进行上述这样的画面操作，能够显示希望的功能设定画面。
在图6所示的模拟操作显示部220中，在设定为上述模拟器模式的情况下，例如图9所示，根据来自操作者的对未图示的操作画面的操作，由模拟器330执行的动作对象物的模拟图像以动画显示。此外，通过用手指等触摸模拟的动作中的动作对象物(例如载体传送器182)、模拟的显示中的设定对象物(例如晶舟130)，能够特定各对象物。
(设定操作支援处理)
对由该结构的热处理装置100进行的设定操作支援处理进行说明。设定操作支援处理通过控制部300根据规定的程序执行。由于设定操作支援处理主要分为操作按钮等的操作对象物的设定操作支援处理、模拟动作中的动作对象物的设定操作支援处理和模拟显示中的设定对象物的设定操作支援处理，所以以下分开说明。
(操作对象物的设定操作支援处理)
首先，参照附图说明操作对象物的设定操作支援处理。图10是表示操作对象物的设定操作支援处理的具体例子的流程图。如图10所示，首先，在步骤S110判断是否已按下操作支援按钮230。在本实施方式中，例如图11所示设置有作为操作支援按钮230的功能设定按钮232和HELP按钮234，因此判断是否已按下它们中的任意一个。然后，在步骤S120判断已按下哪一个按钮，判断为已按下功能设定按钮232的情况下，在步骤S130判断是否已进行操作对象物的操作。例如，判断是否已进行作为在操作部200中设置的操作对象物的操作按钮的操作(例如图11所示的操作者接入按钮240的操作等)、作为在运行画面中显示的操作对象物的按钮的操作。
当在步骤S130判断为已进行操作对象物的操作时，在步骤S140从画面数据存储部354的例如图5A所示的操作对象物设定关联画面数据表352A中检索与该操作对象物相关联的功能设定画面，并在运行操作显示部210中进行显示。
例如，在运行操作显示部210中显示图11所示的设定画面。该设定画面是对操作者接入按钮240的设定画面，例如能够看着画面通过触摸操作进行操作者接入按钮240的功能设定(例如手动设置上述载体102时的设定等)。此外，在该设定画面中显示有设定结束后用于存储该设定的设定结束按钮218、用于通过模拟执行设定后的操作的模拟按钮216等。而且，因为设定结束按钮218、模拟按钮216等在其他的功能设定画面中也会使用，所以优选如图11所示，配置在画面下方等在各功能设定画面中共同显示的部位。
接着，在步骤S150判断是否已结束运行操作显示部210中显示的功能设定画面的设定，当判断为已结束设定的情况下，将该设定存储在设定数据存储部353中。例如在按下图11所示的功能设定画面中显示的设定结束按钮218的情况下判断为设定结束，存储该设定。
接着，在步骤S160判断是否进行模拟。例如当按下图11所示的功能设定画面中显示的模拟按钮216时，判断为进行模拟。当未按下模拟按钮216而按下其他按钮或进行其他操作时，判断为不进行模拟。结束一系列的设定操作支援处理。然后，进行对应其它的按钮或操作的处理。
此外，在步骤S160判断为进行模拟的情况下，在步骤S170通过模拟进行该操作对象物的操作。具体而言，在通常运转模式的情况下，暂时自动地切换成模拟器模式并进行模拟，在结束模拟之后，将模式还原。在已经是模拟器模式的情况下，不切换模式地进行模拟。在模拟中，当进行设定的操作对象物的操作时，通过模拟器330根据先前设定的设定数据执行该操作的模拟，在模拟操作显示部220中例如显示该模拟的动画。当模拟结束时，结束一系列的设定操作支援处理。
此外，在步骤S120判断为已按下HELP按钮234的情况下，与上述步骤S130同样，在步骤S180判断是否已进行操作对象物的操作。在步骤S180判断为已进行操作对象物的操作时，则在步骤S190从画面数据存储部354的例如图5A所示的操作对象物设定关联画面数据表352A中检索与该操作对象物相关联的HELP画面，并在运行操作显示部210中进行显示，结束一系列的设定操作支援处理。
根据这样的操作对象物的设定操作支援处理，在操作者希望进行操作对象物的功能设定的情况下，仅通过按下功能设定按钮232并进行该操作对象物的操作这样简单且容易理解的操作，一次就能够在运行操作显示部210中显示该操作对象物的功能设定画面。由此，不需要像现有技术那样多次切换、显示画面，以从设定菜单画面中寻找该操作对象物的功能设定画面。由此，消除了繁琐的操作，能够提高使用的便利性。
此处，参照附图说明通过上述设定操作支援处理，操作者进行操作对象物的功能设定操作时的具体的操作例。图11是用于说明进行作为操作对象物的一个例子的操作者接入按钮240的功能设定的操作的图。图12是用于说明显示操作者接入按钮240的功能解说的操作的图。图13、图14是用于说明将操作画面中显示的按钮作为操作对象物进行其功能设定的操作的图。
在希望利用本实施方式的设定操作支援处进行例如操作者接入按钮240的功能设定的情况下，操作者用手指等按下功能设定按钮232后，如图11所示，用手指等按下操作者接入按钮240时，不进行实际的操作者接入按钮240的处理，在运行操作显示部210中一次性显示操作者接入按钮设定画面。由此，操作者能够立刻进行操作者接入按钮的设定。
然后，在变更操作者接入按钮240的设定之后，按下模拟按钮216，并进行操作者接入按钮240的操作时，在模拟操作显示部220中，用动画模拟显示依据已变更的设定的操作者接入按钮240的操作的处理。
此外，在希望显示操作者接入按钮240的HELP画面的情况下，操作者在用手指等按下HELP按钮234后，如图12所示，用手指等按下操作者接入按钮240时，不进行实际的操作者接入按钮240的处理，在运行操作显示部210中一次性显示操作者接入按钮HELP画面。由此，操作者能够立刻确认操作者接入按钮240的设定、功能的说明。
接着，参照图13、图14说明将在操作画面中显示的按钮作为操作对象物进行其功能设定的操作。如图13所示，在运行操作显示部210中，作为操作画面，例如显示通过按钮操作手动选择使用的气体的气体手动选择画面时，在用手指等按下功能设定按钮232后，按下选择的气体的按钮时，不进行将该气体选择为使用的气体的处理，而如图14所示，在运行操作显示部210中显示用于设定关于该气体的功能的设定画面。据此，能够对希望通过气体手动选择画面选择的气体，在选择前进行关于该气体的功能设定。由此，不需要切换到设定菜单画面找出气体的设定画面，能够在希望设定时立即进行设定，所以能够提高使用的便利性。
这样，根据对上述操作对象物的设定操作支援处理，操作者按下功能设定按钮232，仅进行操作按钮等的操作对象物的操作这样极为简单的操作，就能够在运行操作显示部210中立即并且自动地显示与该操作对象物的设定有关的画面。由此能够大幅缩短设定操作所需的时间。而且，只要能够进行操作对象物的操作，即使没有例如设定画面在哪里等设定操作的知识和经验，仅通过按下功能设定按钮232，也能够在运行操作显示部210中立即显示与操作对象物的设定有关的画面。此外，因为与操作对象物的设定有关的画面是自动显示的，所以能够简单地找到所需功能。此外，因为不需要像现有技术那样一个一个地切换希望的设定画面找出设定画面的操作，所以没有繁琐的设定操作，能够提高使用的便利性。
此外，操作者按下HELP按钮234，仅进行操作对象物的操作这样极为简单的操作，就能够在操作显示部中立即并且自动地显示该操作对象物的HELP画面。由此，能够节省找出HELP画面的人力，因为能够确认显示的解说并进行设定操作，所以能够可靠地进行设定操作。
此外，在根据在运行操作显示部210中显示的画面进行设定操作之后，因为能够立即在模拟操作显示部220中显示根据该操作的动作的模拟，所以能够立即确认依据该设定的动作。由此，能够按照设定可靠地进行实际的操作。此外，因为能够节省在设定后实际运转热处理装置100以确认根据该操作的动作等确认操作的人力，所以能够提高使用的便利性。
(动作对象物的设定操作支援处理)
接着，参照附图说明动作对象物的设定操作支援处理。图15是表示动作对象物的设定操作支援处理的具体例子的流程图。如图15所示，首先，在步骤S200判断是否为模拟器模式。这是因为如果是模拟器模式，则能够在模拟操作显示部220的显示画面上进行动作对象物的特定。接着，在步骤S210判断是否已按下操作支援按钮230。在本实施方式中判断是否已按下例如图16所示的设置为操作支援按钮230的功能设定按钮232和HELP按钮234中的任意一个。然后，在步骤S220判断已按下哪一个按钮，判断为按下功能设定按钮232的情况下，在步骤S230判断是否已特定动作模拟中的动作对象物。
这样的动作对象物的特定通过上述模拟操作显示部220进行。具体而言，例如在模拟操作显示部220的触摸屏的坐标中，以动作对象物通过模拟进行动作的显示范围的坐标作为动作对象物的特定范围，预先设定各动作对象物的特定范围并存储在例如图像数据存储部352中。然后，例如图16所示，模拟操作显示部220中显示的动作对象物在模拟的动作中被手指等触摸该动作对象物的特定范围的情况下，判断该动作对象物被特定。而且，动作对象物的特定的方法并不限于上述的内容。
然后，当在步骤S230中判断为已特定动作模拟中的动作对象物时，在步骤S240，从画面数据存储部354的例如图5B所示的动作对象物设定关联画面数据表352B中检索与该动作对象物相关联的功能设定画面，并在运行操作显示部210中进行显示。例如在运行操作显示部210中显示图16所示的设定画面。该设定画面是用于进行载体传送器182的载体102的搬送动作的设定的载体搬送动作设定画面。
接着，在步骤S250判断是否已结束根据运行操作显示部210中显示的功能设定画面的设定，在判断为设定已结束的情况下，将该设定存储在设定数据存储部353中。例如，在按下图16所示的功能设定画面中显示的设定结束按钮218的情况下判断为设定结束，存储该设定。
接着，在步骤S260判断是否进行模拟。例如当按下图16所示的功能设定画面中显示的模拟按钮216时，判断为进行模拟。当未按下模拟按钮216而按下其他按钮或进行其他操作时，判断为不进行模拟。结束一系列的设定操作支援处理。然后，进行对应其他的按钮或操作的处理。
此外，在步骤S260中判断为进行模拟的情况下，在步骤S270通过模拟进行该动作对象物的动作。而且，此处，因为已经是模拟器模式，所以不切换模式就能够进行模拟。在模拟中，通过模拟器330根据先前设定的设定数据执行该动作对象物的动作的模拟，在模拟操作显示部220中例如显示该模拟的动画。当模拟结束时，结束一系列的设定操作支援处理。
此外，在步骤S220判断为按下HELP按钮234的情况下，与上述步骤S230同样，在步骤S280判断是否已进行动作模拟中的动作对象物的特定。在步骤S280判断为已进行动作对象物的特定时，在步骤S290从例如画面数据存储部354的例如图5B所示的动作对象物设定关联画面数据表352B中检索与该动作对象物相关联的HELP画面，并在运行操作显示部210中进行显示，结束一系列的设定操作支援处理。
根据这样的动作对象物的设定操作支援处理，在操作者希望进行对动作对象物的动作的功能设定的情况下，首先进行该动作对象物的动作模拟，在模拟操作显示部220中显示该动作对象物的模拟的动画。然后，仅通过在按下功能设定按钮232后，在模拟操作显示部220的画面上用手指等特定动作模拟中的动作对象物这样简单且容易理解的操作，一次就能够在运行操作显示部210中显示该动作对象物的功能设定画面。由此，不需要像现有技术那样多次切换、显示画面，以从设定菜单画面中找出该动作对象物的功能设定画面。由此，消除了繁琐的操作，能够提高使用的便利性。此外，因为能够通过模拟确认设定，所以能够避免为了确认设定而使热处理装置100实际运转的繁琐的情况。
此处，参照附图说明利用本实施方式的设定操作支援处理，操作者进行动作对象物的功能设定操作时的具体的操作例。图16是用于说明进行作为动作对象物的一个例子的载体传送器182的载体搬送动作的功能设定的操作的图，图17是用于说明显示载体传送器182的载体搬送动作的功能解说的操作的图。
在希望利用上述设定操作支援处进行例如关于载体传送器182的载体搬送动作的功能设定的情况下，在进行作为动作对象物的载体传送器182的载体102的搬送动作的模拟的过程中，操作者用手指等按下功能设定按钮232后，仅通过在图16所示的模拟操作显示部220中用手指等触摸、特定动作中的载体传送器182，一次就能够在运行操作显示部210中显示载体搬送动作设定画面。由此，操作者能够立刻设定关于载体传送器182的载体搬送动作。
然后，在变更载体搬送动作的设定之后，按下模拟按钮216时，在模拟操作显示部220中动画显示依据已变更的设定的载体传送器182的搬送动作模拟。
此外，在希望显示关于载体传送器182的载体搬送动作的HELP画面的情况下，在进行载体传送器182的载体102的搬送动作的模拟的过程中，操作者用手指等按下HELP按钮234后，如图17所示，仅通过在模拟操作显示部220中用手指等触摸、特定动作中的载体传送器182，一次就能够在运行操作显示部210中显示载体搬送动作HELP画面。由此，操作者不结束模拟器模式的操作，能够立刻确认载体搬送动作的设定、功能的说明。
根据这样的对动作对象物的设定操作支援处理，操作者按下功能设定按钮232，仅进行通过在模拟操作显示部220的画面上的触摸操作对该模拟操作显示部220中显示的模拟动作中的动作对象物进行特定，这样极为简单且视觉上容易理解的操作，在运行操作显示部210中就立即并且自动地显示与该动作对象物的设定有关的画面。由此，能够大幅缩短设定操作所需的时间。而且，只要是在通过模拟使动作对象物动作的过程中，即使没有例如设定画面在哪里等设定操作的知识和经验，仅通过按下功能设定按钮232，就能够在运行操作显示部210中立即显示与动作对象物的设定有关的画面。此外，因为与动作对象物的设定有关的画面是自动显示的，所以能够简单地找出所需功能。此外，因为不需要像现有技术那样一个一个地切换希望的设定画面找出设定画面的操作，所以没有繁琐的设定操作，能够提高使用的便利性。
此外，操作者按下HELP按钮234，仅进行通过在模拟操作显示部220的画面上的触摸操作对该模拟操作显示部220中显示的模拟的动作中的动作对象物进行特定，这样极为简单且视觉上容易理解的操作，就能够在运行操作显示部210中立即并且自动地显示该动作对象物的功能解说画面。由此，能够节省找出功能解说画面的人力，因为能够确认显示的解说并进行设定操作，所以能够可靠地进行设定操作。
此外，在根据在运行操作显示部210中显示的画面进行设定操作之后，因为能够立即在模拟操作显示部220中显示对该动作对象物的动作的模拟，所以能够立即确认依据设定的动作。由此，能够按照设定可靠地进行动作对象物的实际的动作。此外，因为能够节省在设定后实际运转热处理装置、确认该动作对象物的动作等的确认操作的人力，所以能够提高使用的便利性。
(设定对象物的设定操作支援处理)
接着，参照附图说明设定对象物的设定操作支援处理。图18是表示设定对象物的设定操作支援处理的具体例子的流程图。如图18所示，首先，在步骤S300判断是否为模拟器模式。这是因为如果是模拟器模式，则能够在模拟操作显示部220的显示画面上进行设定对象物的特定。接着，在步骤S310判断是否已按下操作支援按钮230。在本实施方式中，判断是否已按下图19所示的作为操作支援按钮230设置的功能设定按钮232和HELP按钮234中的任意一个。然后，在步骤S320判断已按下哪一个按钮，判断为已按下功能设定按钮232的情况下，在步骤S330判断是否已特定在模拟操作显示部220中模拟显示的设定对象物。
这样的设定对象物的特定通过上述模拟操作显示部220进行。具体而言，例如在模拟操作显示部220的触摸屏的坐标中，以模拟显示设定对象物的范围的坐标作为设定对象物的特定范围，预先设定各设定对象物的特定范围，并存储在例如图像数据存储部352中。然后，例如图19所示，在模拟操作显示部220中模拟显示的设定对象物的特定范围被手指等触摸的情况下，判断为已特定该设定对象物。而且，设定对象物的特定的方法并不限于上述的内容。
于是，当在步骤S330判断为已特定模拟显示的设定对象物时，在步骤S340从画面数据存储部354的例如图5C所示的设定对象物设定关联画面数据表352C中检索与该设定对象物相关联的功能设定画面，并在运行操作显示部210中进行显示。例如在运行操作显示部210中显示图19所示的设定画面。该设定画面是用于进行晶舟130的设定的晶舟设定画面。
接着，在步骤S350判断是否已结束根据运行操作显示部210中显示的功能设定画面的设定，当判断为设定已结束的情况下，将该设定存储在设定数据存储部353中。例如，在按下图19所示的功能设定画面中显示的设定结束按钮218的情况下判断为设定结束，存储该设定。
接着，在步骤S360判断是否进行模拟。例如当按下图19所示的功能设定画面中显示的模拟按钮216时，判断为进行模拟。未按下模拟按钮216而按下其他按钮或进行其他操作时，判断为不进行模拟，结束一系列的设定操作支援处理。然后，进行对应其他按钮、操作的处理。
此外，在步骤S360判断为进行模拟的情况下，在步骤S370进行对该设定对象物的模拟显示。而且，此处，因为已经是模拟器模式，所以不切换模式就能够进行模拟。此处，在例如将设定对象物的尺寸、形状等设定变更为不同的尺寸、形状等的情况下，在模拟操作显示部220中模拟显示该设定变更后的设定对象物。当模拟显示结束时，结束一系列的设定操作支援处理。
此外，在步骤S320判断为按下HELP按钮234的情况下，与上述步骤S330同样，在步骤S380判断是否已进行模拟显示的设定对象物的特定。在步骤S380判断为已进行设定对象物的特定时，在步骤S390从画面数据存储部354的例如图5C所示的设定对象物设定关联画面数据表352C中检索与该设定对象物相关联的HELP画面，并在运行操作显示部210中进行显示，结束一系列的设定操作支援处理。
根据这样的设定对象物的设定操作支援处理，在操作者希望进行对设定对象物的设定的情况下，首先进行该设定对象物的模拟显示，在模拟操作显示部220中显示该设定对象物。然后，仅通过在按下功能设定按钮232之后，在模拟操作显示部220的画面上用手指等特定模拟显示的设定对象物这样简单且容易理解的操作，一次就能够在运行操作显示部210中显示该设定对象物的功能设定画面。由此，不需要像现有技术那样多次切换、显示画面，从设定菜单画面中找出该设定对象物的功能设定画面。由此，消除了繁琐的操作，能够提高使用的便利性。此外，因为能够通过模拟确认设定，所以能够可靠地根据该设定使热处理装置100运转。
此处，参照附图说明利用本实施方式的设定操作支援处理，操作者进行设定对象物的功能设定操作时的具体的操作例。图19是用于说明进行作为设定对象物的一个例子的晶舟130的设定的操作的图，图20是用于说明显示晶舟130的功能解说的操作的图。
在希望利用上述设定操作支援处理进行例如将晶舟130变更为另一型号的晶舟130的设定的情况下，在模拟操作显示部220中模拟显示晶舟130时，用手指等按下功能设定按钮232之后，如图19所示，仅通过用手指等触摸、特定模拟操作显示部220中显示的晶舟130，一次就能够在运行操作显示部210中显示晶舟设定画面。由此，操作者能够立刻进行对晶舟130的设定。
然后，在将晶舟130设定变更为另一型号的晶舟130之后，当按下模拟按钮216时，在模拟操作显示部220中模拟显示依据已变更的设定的晶舟130。
此外，在希望显示关于晶舟130的HELP画面的情况下，在模拟操作部220中模拟显示晶舟130时，在操作者用手指等按下HELP按钮234之后，如图20所示，仅通过用手指等触摸、特定模拟操作显示部220中显示的晶舟130，一次就能够在运行操作显示部210中显示晶舟HELP画面。由此，操作者不结束模拟模式的操作，能够立刻确认晶舟的设定、功能的说明。
根据这样的对设定对象物的设定操作支援处理，操作者按下功能设定按钮232，仅进行通过在模拟操作显示部220的画面上的触摸操作对该模拟操作显示部220中模拟显示中的设定对象物进行特定，这样极为简单且视觉上容易理解的操作，就能够在运行操作显示部210中立即并且自动地显示与该设定对象物的设定有关的画面。由此，能够大幅缩短设定操作所需的时间。而且，只要是在通过模拟对对象物进行显示的过程中，即使没有例如设定画面在哪里等设定操作的知识和经验，仅通过按下功能设定按钮232，就能够在操作显示部中立即显示与对象物的设定有关的画面。此外，因为与设定对象物的设定有关的画面是自动显示的，所以能够简单地找出所需功能。此外，因为不需要像现有技术那样一个一个地切换希望的设定画面找出设定画面的操作，所以没有繁琐的设定操作，能够提高使用的便利性。
此外，操作者按下HELP按钮234，仅进行通过在模拟操作显示部220的画面上的触摸操作对该模拟操作显示部220中模拟显示中的对象物进行特定，这样极为简单且视觉上容易理解的操作，就能够在运行操作显示部210中立即并且自动地显示该对象物的功能解说画面。由此，能够节省找出功能解说画面的人力，因为能够确认显示的解说并进行设定操作，所以能够可靠地进行设定操作。
此外，在根据在运行操作显示部210中显示的画面进行设定操作之后，因为能够立即在模拟操作显示部220中模拟显示该对象物，所以能够立即确认设定的对象物。由此，能够可靠地进行对象物的设定。
而且，在用于显示上述实施方式的各设定操作支援处理中的各对象物(操作对象物、动作对象物、设定对象物)的设定画面的操作中，不仅包括在一度按下操作支援按钮230之后接着进行操作对象物的操作、动作对象物或设定对象物的特定的操作，还包括在按下操作支援按钮230的同时进行操作对象物的操作、动作对象物或设定对象物的特定的操作。即，在这些中的任一情况下，在图10所示的步骤S110、图15所示的步骤S210、图18所示的步骤S310中都判断为已按下操作支援按钮230。
此外，在上述实施方式中，虽然说明了由不同的操作面板构成运行操作显示部210和模拟操作显示部220的情况，但并不限定于此，也可以如图21所示，由一个操作面板构成。
此外，在上述实施方式中，虽然说明了设置操作支援按钮230(功能设定按钮232、HELP按钮234)的情况，但并不限定于此，也可以在操作面板的画面上显示这些操作支援按钮230。在该情况下，对操作支援按钮230而言，可以与运行操作显示部210和模拟操作显示部220由不同的操作面板构成，此外，例如图22所示，操作支援按钮230也可以与运行操作显示部210和模拟操作显示部220一起由一个操作面板构成。
此外，在热处理装置100上连接有主计算机、前组控制器(AGC：Advance Group Controller)等数据处理装置的情况下，也可以例如图22所示，在构成它们的计算机的显示器中与运行操作显示部210和模拟操作显示部220一起显示操作支援按钮230，在主计算机、数据处理装置侧进行本发明的设定操作支援处理。在该情况下，主计算机、数据处理装置的控制部采用例如图3所示的框图所示的结构。
此外，将存储实现上述实施方式的功能(例如上述各设定支援处理功能)的软件的程序的存储介质等的介质供给至系统或装置，该系统或装置的计算机(或是CPU、MPU)读出保存在存储介质等的介质中的程序，并加以执行，从而也能够实现本发明。
在该情况下，从存储介质等介质中读出的程序本身实现上述实施方式的功能，存储该程序的存储介质等的介质构成本发明。作为用于供给程序的存储介质等的介质，例如能够使用软(注册商标)盘、硬盘、光盘、光磁盘、CD-ROM、CD-R、CD-RW、DVD-ROM、DVD-RAM、DVD-RW、DVD+RW、磁带、非易失性的存储卡、ROM等。此外，也能够通过网络供给程序。
而且，本发明不仅包括通过计算机执行读出的程序，实现上述实施方式的功能的情况，还包括根据该程序的指示，在计算机上运行的OS等进行实际处理的一部分或全部，通过该处理实现上述的实施方式功能的情况。
而且，在从存储介质等的介质中读出的程序被写入插入计算机的功能扩展口、与计算机连接的功能扩展单元所具有的存储器中之后，根据该程序的指示，该功能扩展口、功能扩展单元中具有的CPU等进行实际处理的一部分或全部，通过该处理实现上述实施方式的功能的情况也包括在本发明中。
以上，虽然参照附图说明了本发明的适宜的实施方式，但显然本发明并不限定于上述例子。可以明确的是本邻域的技术人员能够在专利请求的范围所记载的范畴内推想出各种变更例或修正例，应该理解的是它们显然也属于本发明的技术范围。
例如，在上述实施方式中，虽然作为基板处理装置举例说明了热处理装置100，但并不限定于此，在蚀刻装置、成膜装置等各种基板处理装置中均能够应用本发明。

Claims (14)

1.一种支援基板处理装置的设定操作的设定操作支援装置，其特征在于，包括：
用于操作所述基板处理装置的操作对象物；
至少能够显示与所述操作对象物的设定有关的画面的触摸屏式的操作显示部；
存储根据与所述操作对象物的设定有关的画面设定的事项的设定存储部；
设定支援按钮；
存储预先使所述操作对象物和与该操作对象物的设定有关的画面相关联的操作对象物设定关联画面信息的画面存储部；和
当所述设定支援按钮被按下，进行所述操作对象物的操作时，从所述画面存储部中检索与该操作对象物相关联的画面并使之在所述操作显示部中显示的控制部。
2.如权利要求1所述的基板处理装置的设定操作支援装置，其特征在于：
所述操作对象物是在所述操作显示部中显示的操作按钮或相对所述操作显示部另外设置的操作按钮，
所述设定支援按钮是在所述操作显示部中显示的功能设定按钮或相对所述操作显示部另外设置的功能设定按钮，
与所述操作对象物的设定有关的画面是功能设定画面。
3.如权利要求1所述的基板处理装置的设定操作支援装置，其特征在于：
所述设定支援按钮包括所述功能设定按钮和功能解说按钮，
在所述画面存储部中存储有预先使所述操作对象物的功能设定画面和功能解说画面与该操作对象物相关联的操作对象物设定关联画面信息，
所述控制部，当所述功能设定按钮被按下，进行所述操作对象物的操作时，从所述画面存储部中检索与该操作对象物相关联的功能设定画面并在所述操作显示部中进行显示，当所述功能解说按钮被按下，进行所述操作对象物的操作时，从所述画面存储部中检索与该操作对象物相关联的功能解说画面并在所述操作显示部中进行显示。
4.如权利要求1所述的基板处理装置的设定操作支援装置，其特征在于：
还设置有能够执行根据所述操作对象物的操作进行动作的动作对象物的模拟的模拟器，
当根据在所述操作显示部中显示的画面进行设定操作时，所述控制部在所述设定存储部中存储该设定事项，之后对于根据该操作对象物的操作进行动作的动作对象物，在所述模拟器中执行根据存储在所述设定存储部中的设定事项的模拟，在所述操作显示部中显示该模拟的图像。
5.一种支援基板处理装置的设定操作的设定操作支援装置，其特征在于，包括：
所述基板处理装置的结构物中能够进行动作设定的动作对象物；
执行对所述动作对象物的动作的模拟的模拟器；
至少能够显示与所述动作对象物的动作设定有关的画面和所述动作对象物的所述模拟的动画的触摸屏式的操作显示部；
存储根据与所述动作对象物的动作设定有关的画面设定的事项的设定存储部；
设定支援按钮；
存储预先使所述动作对象物和与该动作对象物的动作设定有关的画面相关联的动作对象物设定关联画面信息的画面存储部；和
在所述操作显示部中显示所述模拟的动作对象物的动画时，当所述设定支援按钮被按下，通过所述操作显示部的触摸操作进行模拟执行中的动作对象物的特定时，从所述画面存储部中检索与该动作对象物相关联的画面并使之在所述操作显示部中显示的控制部。
6.如权利要求5所述的基板处理装置的设定操作支援装置，其特征在于：
所述设定支援按钮是在所述操作显示部中显示的功能设定按钮或相对所述操作显示部另外设置的功能设定按钮，
与所述动作对象物的动作设定有关的画面是对于该动作对象物的动作的功能设定画面。
7.如权利要求5所述的基板处理装置的设定操作支援装置，其特征在于：
所述设定支援按钮包括所述功能设定按钮和功能解说按钮，
在所述画面存储部中存储有预先使所述动作对象物的功能设定画面和功能解说画面与该动作对象物相关联的动作对象物设定关联画面信息；
所述控制部，在所述操作显示部中显示所述模拟的动作对象物的动作图像时，当所述功能设定按钮被按下，特定所述模拟执行中的动作对象物时，从所述画面存储部中检索与该动作对象物相关联的功能设定画面并在所述操作显示部中进行显示，当所述功能解说按钮被按下，特定所述模拟执行中的动作对象物时，从所述画面存储部中检索与该动作对象物相关联的功能解说画面并在所述操作显示部中进行显示。
8.如权利要求5所述的基板处理装置的设定操作支援装置，其特征在于：
当根据与所述动作对象物的动作设定有关的画面进行设定操作时，所述控制部在所述设定存储部中存储该设定事项，之后对该动作对象物执行根据存储在所述设定存储部中的设定事项的模拟，并在所述操作显示部中显示该模拟的图像。
9.一种支援基板处理装置的设定操作的设定操作支援装置，其特征在于，包括：
所述基板处理装置的结构物中能够进行该结构物的设定的设定对象物；
执行对所述设定对象物的模拟显示的模拟器；
至少能够显示与所述设定对象物的设定有关的画面和所述设定对象物的所述模拟的图像的触摸屏式的操作显示部；
设定支援按钮；
存储预先使所述设定对象物和与该设定对象物的设定有关的画面相关联的设定对象物设定关联画面信息的画面存储部；和
在所述操作显示部中显示所述模拟显示的所述设定对象物的图像时，当所述设定支援按钮被按下，通过所述操作显示部的触摸操作进行显示中的设定对象物的特定时，从所述画面存储部中检索与该设定对象物相关联的画面并使之在所述操作显示部中显示的控制部。
10.如权利要求9所述的基板处理装置的设定操作支援装置，其特征在于：
所述设定支援按钮是在所述操作显示部中显示的功能设定按钮或相对所述操作显示部另外设置的功能设定按钮，
与所述设定对象物的设定有关的画面是对于该设定对象物的功能设定画面。
11.如权利要求9所述的基板处理装置的设定操作支援装置，其特征在于：
所述设定支援按钮包括所述功能设定按钮和功能解说按钮，
在所述画面存储部中存储有预先使所述设定对象物的功能设定画面和功能解说画面与该设定对象物相关联的设定对象物设定关联画面信息，
所述控制部，在所述操作显示部中显示所述模拟显示的所述设定对象物的图像时，当所述功能设定按钮被按下，特定所述模拟显示中的设定对象物时，从所述画面存储部中检索与该设定对象物相关联的功能设定画面并在所述操作显示部中进行显示，当所述功能解说按钮被按下，特定所述模拟显示中的设定对象物时，从所述画面存储部中检索与该设定对象物相关联的功能解说画面并在所述操作显示部中进行显示。
12.如权利要求9所述的基板处理装置的设定操作支援装置，其特征在于：
还设置有存储根据与所述设定对象物的设定有关的画面设定的事项的设定存储部，
当根据与所述设定对象物的设定有关的画面进行设定操作时，所述控制部在所述设定存储部中存储该设定事项，之后对该设定对象物执行根据存储在所述设定存储部中的设定事项的模拟，并在所述操作显示部中显示该模拟的图像。
13.一种支援基板处理装置的设定操作的设定操作支援方法，其特征在于，包括：
判断是否已按下设置于所述基板处理装置的设定支援按钮的工序；
在判断为已按下所述设定支援按钮的情况下，判断是否已进行对所述基板处理装置的结构物中的能够进行设定的对象物的操作、在操作显示部中显示的模拟图像中的动作对象物或设定对象物的特定操作中的任一个操作的工序；和
在判断为已进行所述操作的情况下，根据预先存储在画面存储部中的使所述各对象物和与这些对象物的设定有关的画面相关联的对象物设定关联画面信息，检索与进行所述操作的对象物相关联的画面并在所述操作显示部中进行显示的工序。
14.一种存储程序的存储介质，是存储用于在计算机中执行支援基板处理装置的设定操作的设定操作支援方法的程序的计算机能够读取的存储介质，其特征在于：
由所述计算机执行的所述设定操作方法包括：
判断是否已按下设置于所述基板处理装置的设定支援按钮的步骤；
在判断为已按下所述设定支援按钮的情况下，判断是否已进行对所述基板处理装置的结构物中的能够进行设定的对象物的操作、在操作显示部中显示的模拟图像中的动作对象物或设定对象物的特定操作中的任一个操作的步骤；和
在判断为已进行所述操作的情况下，根据预先存储在画面存储部中的使所述各对象物和与这些对象物的设定有关的画面相关联的对象物设定关联画面信息，检索与进行所述操作的对象物相关联的画面，并在所述操作显示部中进行显示的步骤。
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