TWI390572B

TWI390572B - A method for forming a protective film, and a method for manufacturing a plasma display panel

Info

Publication number: TWI390572B
Application number: TW094138265A
Authority: TW
Inventors: Toshiharu Kurauchi; Muneto Hakomori; Kazuya Uchida; Shunji Misawa
Original assignee: Ulvac Inc
Priority date: 2004-11-05
Filing date: 2005-11-01
Publication date: 2013-03-21
Also published as: EP1808881B1; WO2006049121A1; US20080182034A1; US20070108905A1; EP1808881A1; CN1957436A; TW200632972A; JP4343232B2; JPWO2006049121A1; EP1808881A4; US7626337B2; KR20070085084A; KR101139662B1

Description

保護膜之形成方法及電漿顯示器面板之製造方法

本發明是關於電漿顯示器面板，尤其是關於該保護膜與保護膜的製造方法。

以往，PDP(電漿顯示器面板)在顯示裝置的領域被廣泛使用，近年來，逐漸要求大畫面、高品質且低價格的PDP。

一般而言，PDP係以3電極面放電型為主流，該3電極面放電型係將玻璃基板上形成有維持電極及掃描電極的前面基板，與玻璃基板上形成有汲極電極的背面板貼合所構成在前面板與背面板之間封入密封氣體，且在掃描電極與汲極電極之間施加電壓而產生放電時，被封入的密封氣體會電漿化，而放射紫外線。若在被所放射之紫外線照射的位置，配置螢光體膜的話，螢光體膜會透過紫外線而發光，而射出著色光。

一般而言，在維持電極及掃描電極上形成有介電體膜，又，於其上形成有MgO保護膜，用以保護介電體膜。

為了維持放電，在掃描電極與維持電極施加交流電壓時，藉由密封氣體的電漿化所產生的陽離子會入射至掃描電極側及維持電極側，然而，維持電極及掃描電極與這兩個電極上的介電體膜會受到保護膜保護，可避免被陽離子破壞。

因此，電漿不會造成介電體膜損傷，不僅維持電極與掃描電極藉由被介電體膜絕緣的絕緣狀態可保持，介電體膜的靜電電容也不會改變，所以可維持電漿顯示器面板的電性特性。

近年來，因應高功能化的要求，為了提升PDP的亮度，有提案將一般作為密封氣體使用的Ne與Xe之混合氣體中的Xe濃度，從以往的5%左右提昇到10%以上，以提昇發光強度的方法。

然而，在保護膜為MgO的情況下，若將密封氣體中的Xe濃度提高的話，放電電壓會提升，耐濺鍍性會降低，而造成保護膜的功能降低，所以會產生面板壽命變短的問題。此外，用以使PDP驅動的驅動電路亦需要對應更高電壓的規格，會產生PDP驅動控制系之製造成本變高的問題。

PDP的放電電壓係依存於保護膜的2次電子放射係數。有提案使用工作係數小於MgO之鹼土類金屬的氧化物作為保護膜，將放電電壓低電壓化。

例如，日本特開2002－231129中有介紹以SrO、CaO、BaO、SrO＋BaO、BaO＋CaO、SrO＋CaO＋BaO作為保護膜。

這些保護膜，對於放電中陽離子所產生之濺鍍的抵抗性比MgO弱，對PDP的壽命較為不利，所以有揭示不僅在PDP的前面面板設有保護膜，至少在形成螢光體膜的背面面板亦形成保護膜，來克服壽命問題的技術。

〔專利文獻1〕日本特開2002－231129號公報

然而，上述習知技術的實施中，隨著保護膜形成步驟的增加，會有PDP製造成本變高的問題。又，上述保護膜係如MgO同等以上，則存有在放電初期必需長時間老化處理的問題。本發明的目的在於提供一種放電電壓比MgO低，且濺鍍耐性優良的保護膜及其形成方法，與可大幅縮短使用該保護膜之PDP之放電初期老化處理時間的PDP製造方法。

為了解決上述課題，本發明係一種保護膜，係位於第一、第二電極中之任一者或兩者的電極表面上，當在上述第一、第二電極間施加電壓時，被曝露於上述第一、第二電極間所形成的電漿，其中：含有SrO和CaO，上述CaO的含有率為20 mol%以上，90 mol%以下。

本發明係一種保護膜，其中，上述第一電極係配置於第一面板的表面上，上述第二電極係配置於第二面板的表面上。

本發明係一種電漿顯示器面板，係以具有第一電極配置於表面上的第一面板，和第二電極配置於表面上的第二面板，且在上述第一、第二面板間，封入密封氣體，且在上述第一、第二電極中之任一者或兩者的表面上配置保護膜，且上述保護膜係曝露於上述第一、第二面板間所形成的電漿的方式所構成，其中，上述保護膜含有SrO和CaO，且上述保護膜中上述CaO的含有率係20 mol%以上，90 mol%以下。

本發明係一種電漿顯示器面板，其中，在上述第一面板的表面上，配置第三電極。

本發明係一種電漿顯示器面板，其中，上述密封氣體含有Ne與Xe，且上述Xe的含有率係10體積%以上。

本發明係一種保護膜的形成方法，係形成含有SrO和CaO的保護膜，其中，將以SrO為主成分的第一蒸鍍材料，和以CaO為主成分的第二蒸鍍材料分別配置於相同的真空槽內部，且控制上述第一、第二蒸鍍材料的蒸氣產生量，且以上述保護膜中上述CaO的含有率成為20 mol%以上，90 mol%以下的方式，使上述第一、第二蒸鍍材料予以蒸發。

本發明係保護膜的製造方法，係在表面形成有第一電極的第一面板，和表面形成有第二電極的第二面板上，形成上述保護膜，其中，在上述第一、第二電極中之任一者或兩者的電極上配置介電體膜，且令上述第一、第二蒸鍍材料的蒸氣分別到達上述介電體膜上，以在上述介電體膜表面形成上述保護膜。

本發明係電漿顯示器面板之製造方法，具有：保護膜形成步驟，係將含有SrO的第一蒸鍍材料，和含有CaO的第二蒸鍍材料分別配置於相同的真空槽內部，且一邊控制蒸氣產生量，一邊加熱上述第一、第二蒸鍍材料，且在第一、第二面板的表面，形成含有SrO和CaO，且上述CaO的含有率為20 mol%以上，90 mol%以下；和密封步驟，貼合上述第一、第二面板，其中，在真空環境中至少進行從上述保護膜的形成步驟至上述密封步驟。

本發明係以上述方式構成，本發明之保護膜所使用的顯示裝置具有第一、第二電極。在該裝置內事先封入形成電漿的密封氣體，且在第一、第二電極間施加電壓時，裝置的內部會形成密封氣體的電漿，電漿中的陽離子會靠近第一、第二電極中位於負電位側的電極。

在第一、第二電極間施加直流電壓時，至少在被施加負電位的電極上配置本發明的保護膜，在第一、第二電極間施加交流電壓時，若在一邊或兩邊的電極上配置本發明之保護膜的話，則該保護膜可保護電極與其周圍的構件，免於受到陽離子破壞。

在第一面板上配置維持電極與掃描電極，與在第二面板上配置汲極電極的上述電漿顯示器面板中，第一、第二電極係成為維持電極與汲極電極的組合、或掃描電極與汲極電極的組合。

尤其，在上述電漿顯示器面板中，因為在維持電極與掃描電極之間施加高的交流電壓而形成電漿，所以將本發明的保護膜配置在維持電極上與掃描電極上兩者即可。

一般而言，在電漿顯示器面板中，因為維持電極上與掃描電極上配置有介電體膜，所以將本發明保護膜配置於維持電極上的介電體膜表面上與掃描電極上的介電體膜表面上，來保護介電體膜即可。

使用於本發明的保護膜含有SrO與CaO兩者，將本發明保護膜中的CaO濃度設在20 mol%以上，90 mol%以上，相較於以往的保護膜(MgO膜)，放電中陽離子所致之濺鍍耐性優良，且可使PDP的放電電壓降低，因此，具有可使面板壽命提升，同時可降低用以使PDP驅動之驅動電路之成本的效果。

為了提高電漿顯示器面板的亮度，故使用Ne與Xe的混合氣體，即，雖然使用含10體積%以上之Xe的密封氣體時，放電電壓會上昇，保護膜容易被蝕刻，但因本發明保護膜的濺鍍耐性較高，故面板壽命不會變短。

根據本發明，可穩定地形成由含有SrO與CaO兩者之本發明保護膜所構成之電子放射特性優良的PDP保護膜。又，可提高封入PDP內之Ne與Xe之混合氣體中的Xe濃度，以使亮度提升，而可製造壽命長且製造成本低的PDP。

第1圖的符號1係表示本發明之電漿顯示器面板的一例。

該電漿顯示器面板1具有第一、第二面板10、20。

第一面板10具有第一玻璃基板11，且在第一玻璃基板11的表面上分別配置有複數維持電極15和掃描電極16。此外，第1圖中，各顯示一條維持電極15和掃描電極16。

在此，各維持電極15與各掃描電極16分別為細長形，維持電極15與掃描電極16在第一玻璃基板11表面上係保持預定間隔交互排列。

在第一玻璃基板11配置有維持電極15和掃描電極16之一側的面上，配置有由絕緣材料所構成的介電體膜12。相互鄰接的維持電極15和掃描電極16係彼此分離，介電體膜12係以覆蓋維持電極15和掃描電極16之表面及側面的方式形成，且彼此鄰接的維持電極15與掃描電極16之間係以介電體膜12充填，故維持電極15和掃描電極16係成為彼此絕緣的狀態。

在介電體膜12的表面上，主成分含有SrO和CaO兩者的保護膜14係配置於整面，因此，成為各維持電極15上和各掃描電極16上配置有保護膜14的狀態。

第二面板20具有第二玻璃基板21。在第二玻璃基板21表面上，複數條直線狀汲極電極25係彼此保持預定間隔而平行配置。

在第二玻璃基板21表面上的汲極電極25與汲極電極25之間，細長的隔牆23係沿著汲極電極25的長度方向配置。

在彼此鄰接的隔牆23間，配置有1個分別含有不同顏色之螢光色素的螢光體膜(紅色的螢光體膜22R、綠色的螢光體膜22G、藍色的螢光體膜22B)中的任一者，且各汲極電極25係形成被任一色的螢光體膜22R、22G、22B覆蓋的狀態。

第一、第二面板10、20係以露出保護膜14的面與形成有隔牆23之一側的面彼此相對，且維持電極15與掃描電極16相對於汲極電極25係形成垂直相交的方式，在對準的狀態下貼合，並且，由於第二玻璃基板21表面至隔牆23前端的高度，大於第二玻璃基板21表面至汲極電極25表面的高度，所以隔牆23的前端係抵接於第一面板10的保護膜14，且螢光體膜22R、22G、22B與保護膜14之間的空間，係成為被隔牆23區分的狀態。

第1圖的符號29係表示被隔牆23所區分之各螢光體膜22R、22G、22B上的空間之發光空間，且各發光空間29中充滿了Ne與Xe的混合氣體，即，充滿含10體積%以上之Xe氣體的密封氣體。

繼之，說明關於將該電漿顯示器面板1點亮的步驟。

在所選擇的掃描電極16與汲極電極25之間施加電壓時，在這些電極交差的發光單元，會引起寫入放電。

接著，在施加電壓的掃描電極16和與該掃描電極16對應的維持電極15之間施加交流電壓時，會引起維持放電。

如上所述，保護膜14係以挟著介電體膜12的方式位於維持電極15、掃描電極16上，且該保護膜14的主成分含有SrO和CaO兩者，且該CaO濃度係設在20 mol%，90 mol%以下，而構成本發明的保護膜。

因為本發明保護膜的電子放射特性比以往的保護膜(MgO膜)高，所以即便將密封氣體的Xe濃度提高時，亦可以較低的放電電壓產生維持放電，且藉由維持放電，使密封氣體電漿化，產生紫外線。

此時，密封氣體的電漿化，會使第一、第二面板10、20的表面被曝露於電漿，但因介電體膜12表面上配置有保護膜14，故介電體膜12不會被電漿蝕刻而會受到保護。

如上所述，本發明之電漿顯示器面板1可以較低的放電電壓來驅動，若可以低放電電壓驅動的話，即便保護膜14曝露於密封氣體的電漿，被蝕刻的速度也很慢。因此，本發明之電漿顯示器面板1的壽命比以往的長。

如上所述，維持電極15和掃描電極16係以垂直相交於汲極電極25的方式配置，並且在所選擇的掃描電極16與汲極電極25交差的發光單元，會產生發光。

發光單元會產生紫外線的發光，當紫外線入射至位於該發光單元的螢光體膜22R、22G、22B時，可從螢光體膜22R、22G、22B放射紅色、綠色、藍色之任一色的可視光。

此外，想要將發光單元熄滅時，則在所選擇的掃描電極16和與該掃描電極16鄰接的維持電極15之間，施加比維持放電時更弱的電壓，而產生比維持放電更弱的放電(消去放電)時，發光空間29內的壁電荷會被中和，發光單元會變暗。

接著，說明關於形成本發明之保護膜14的步驟之一例。

第2圖的符號2係表示成膜裝置的一例。該成膜裝置2具有兩台電子束槍(EB槍)5a、5b；和各具有4個第一、第二平爐(hearth)3、4，而第一平爐3分別配置有SrO所構成的第一蒸鍍材料，第二平爐4分別配置有CaO所構成的第二蒸鍍材料。

第一平爐3係在真空槽內部排列成一行，第二平爐4係位在與第一平爐3相同的真空槽內部，且沿著第一平爐3的排列方向排列。

將該真空槽內部預先真空排氣，各第一平爐3與各第二平爐4分別被設置在相同的真空環境，一邊維持該真空環境，一邊從電子束槍5a、5b將電子束6a、6b照射到各平爐3、4內時，第一平爐3內的SrO與第二平爐4內的CaO會蒸發，SrO的蒸氣和CaO的蒸氣會被放到真空環境中將表面形成有維持電極15和掃描電極16和介電體膜12之狀態的第一玻璃基板11搬入該真空環境中，在形成有維持電極15和掃描電極16之一側的面向下的狀態下，使其經由第一、第二平爐3、4的上方，沿著這些平爐的排列方向行走。

由於第一平爐3的行與第二平爐4的行係接近配置，故當第一玻璃基板11通過第一、第二平爐3、4的上方位置時，SrO的蒸氣與CaO的蒸氣兩者會到達第一玻璃基板11上。

藉由束軌跡變更調整之束照射對象平爐3、4的變更，束照射在各平爐3、4的時間，束照射強度的調整，將SrO的蒸氣產生量與CaO的蒸氣產生量控制在預定比例時，即可獲得在第一玻璃基板11上形成有以預定比例含有SrO與CaO之保護膜14的第一面板10。

此外，本發明之保護膜的形成方法中，第一、第二平爐3、4的數量並不限定為各四個，第一、第二平爐3、4的數量亦可分別為1個以上、3個以下，亦可分別為5個以上。又，亦可在真空槽內配置相同數量的第一、第二平爐3、4，亦可配置不同數量的第一、第二平爐3、4。總之，只要第一、第二平爐3、4可在相同的真空槽內將SrO和CaO分別配置的話，則其數量、形狀並沒有特別限定。

再者，電子束槍5a、5b的台數並不限定為兩台，只要可將電子束照射在第一、第二平爐3、4兩者的話，則其台數亦可為1台，亦可為3台以上。

於真空環境中搬運形成有保護膜14的第一面板10，使之不會曝露於大氣，並將第一面板10與上述第二面板20搬入相同的加熱用真空槽，在將加熱用真空槽內維持真空環境的狀態下，令第一面板10形成有維持電極15與掃描電極16的面，與第二面板20形成有汲極電極的面相對，且以維持電極與掃描電極相對於汲極電極在預定位置交差的方式對準。

在加熱用真空槽內，一邊加熱第一、第二面板10、20，一邊進行貼合後，將第一、第二面板10、20在真空環境中搬運，將其搬入形成有真空環境的冷卻室’使之不會曝露於大氣，並且，一邊維持該冷卻室的真空環境，一邊將貼合的第一、第二面板冷卻。接著，在真空環境中，將上述密封氣體注入第一、第二面板10、20之間，注入密封氣體後，再加以密封，即可獲得電漿顯示面板1。

如上所述，本發明的製造方法中，至少從在第一面板10形成保護膜14的步驟，至貼合第一、第二面板10、20的步驟，與各步驟間的搬運，均是真空環境中進行，所以第一、第二面板10、20不會曝露於大氣。

亦即，在保護膜14形成後，至貼合第一、第二面板10、20而使保護膜14密閉的期間，保護膜14不會曝露於大氣，所以即便保護膜14的主成分是由SrO和CaO等吸水性高的材料所構成，亦可防止水分的吸收。

當SrO和CaO吸收水分時，會變質成氫氧化物等，使用於電漿顯示器面板的保護膜時，其變質會造成放電延遲的惡化或放電電壓上昇等，同時也是用以使放電特性穩定化之初期老化(aging)時間增長化的原因。進入保護膜14中的水分，會移動於螢光體膜22R、22G、22B，而使螢光體膜22R、22G、22B改質，造成電漿顯示器面板的顯示能力降低，然而，如上述所述，本發明的製造方法中，可防止製造步驟中保護膜14的水分吸收，所以可進行放電電壓的低電壓驅動，而可獲得顯示功能優良的電漿顯示器面板1。

〔實施例〕 <SrO－CaO濃度>

改變SrO與CaO的濃度，製作第一、第二面板的保護膜14，而獲得在面內具有300個發光單元的電漿顯示器面板1。此外，各電漿顯示器面板1之隔牆23的高度為150μm，從汲極電極25上的螢光體膜22R、22G、22B表面至維持電極15及掃描電極16上的保護膜14表面的高度之放電空間的高度為80μm，密封氣體係Ne與Xe的混合氣體(由Ne與Xe所構成的混合氣體)，其中，含有12體積%的Xe氣體，其密封壓力是400Torr。

下述表1中，記載保護膜14中的CaO濃度(mol%)。

繼之，使用各電漿顯示器面板1，相對於300個發光單元，測定最初第一個單元在放電開始時所需的第一單元點亮電壓，與在所有的單元都點亮後使PDP的驅動電壓逐漸下降時，最後單元熄滅的最後單元熄滅電壓，並將其測定結果記載於上述表1。此外，替換含有上述SrO與CaO兩者之本發明的保護膜，將以MgO構成保護膜14時的測定結果也一併記載於表1。

接著，將與使用於各電漿顯示器面板1相同的保護膜14，在上述密封氣體(Ne與Xe的混合氣體，含有12體積%的Xe)的電漿中曝露2000小時，並測定保護膜14被蝕刻的深度(膜厚減少量)，將其結果也記載於表1。

如上述表1清楚地表示，僅由SrO所構成的保護膜，和具有SrO與CaO兩者的保護膜，任一者的放電電壓皆比MgO膜低。

又，若以表1所示之預定放電之蝕刻速度的倒數，來定義濺鍍耐性的話，設MgO膜的濺鍍耐性為1時，CaO濃度為10 mol%以下的範圍，含SrO與CaO兩者之本發明保護膜的濺鍍耐性未滿1時為不良，但在20 mol%以上，90 mol%以下的範圍，超過1則為良好。

含有CaO濃度為20 mol%之SrO與CaO兩者之本發明保護膜的濺鍍耐性約為1.34，當CaO濃度為60 mol%時，濺鍍耐性約為1.54，當CaO濃度為90 mol%時，濺鍍耐性約為1.37，本發明保護膜的濺鍍耐性在CaO濃度為60 mol%時，最優良。

此外，也具有當CaO濃度為20 mol%以上，60 mol%以下時，第一單元點亮電壓是安定在160V左右，最後單元熄滅電壓是安定在100V左右，且在該CaO濃度的範圍中，因CaO濃度的不同所導致之放電特性的偏差不均較小，故即使多樣濃度的偏差不均在單元間，亦不會在驅動控制上造成影響的效果。

本實施型態的保護膜中，在CaO濃度為20 mol%以上，90 mol%以下的範圍，為了提昇亮度，即便使用Ne與Xe的混合氣體作為密封氣體，即，使用含有12體積%之Xe的密封氣體，相較於使用MgO膜的情況，本發明之保護膜的放電電壓比較低，且濺鍍耐性也比較優良，可形成長壽命的PDP。因此，相對於習知的MgO膜，即便所提案的Xe濃度為10體積%以上，亦可期待充分的效果，毋庸贅述。

又，藉由PDP的設計樣式，使放電空間的高度或密封氣體壓力成為預定的設定，也可期待達到效果，更且，將PDP面板形成對角42”以上的尺寸，亦可期待達到效果。

<蒸鍍材料濃度>

使用混合有SrO與CaO的混合材料作為蒸鍍材料，並在該混合材料照射電子束，而形成含有SrO與CaO兩者的本發明保護膜，並調查以此方法所形成之保護膜的組成分析。

第3圖係表示其組成分析之結果的曲線圖，由於SrO與CaO的蒸氣壓不同，故使SrO與CaO的混合材料蒸發時，混合材料的組成和保護膜的組成會產生偏差不均，如第3圖所示，蒸鍍材料中之CaO濃度與保護膜中之CaO濃度的關係成為具有變位點的預定關係。

雖未圖示，但可確認該關係會隨著蒸鍍材料的減少，而明顯地變化。因此，可推測所形成之保護膜的組成在成膜開始時，經常地變化。

相對於此，本發明之保護膜的形成方法係如第2圖所示使SrO與CaO個別蒸發，如上所述，藉由束照射對象平爐的變更、束照射於各平爐的時間、束照射強度等的調整，可使各蒸發源的蒸發速度最適當化。因此，使SrO與CaO個別蒸發的本發明中，SrO與CaO之比例的控制較容易，而可形成組成比例穩定的保護膜。

此外，欲形成含有利用電子束蒸鍍所產生之SrO與CaO兩者的本發明保護膜時，一般是使用在大氣中穩定的SrCO₃ 與CaCO₃ 作為蒸鍍材料，但是，以這些蒸鍍材料形成保護膜時，PDP的放電電壓不會降低。

分析所獲得之保護膜之組成的結果，可以想到保護膜中含有多量的碳，2次電子放射特性降低。得知使用在大氣中不穩定之蒸鍍材料的SrO與CaO，使之獨立蒸發，即可穩定地獲得放電電壓較低的保護膜。

<真空環境連續處理>

為了比較評估在真空中連續進行從保護膜14的形成、利用加熱的密封(第一、第二面板10、20的貼合)、到之後的冷卻所獲致的效果，故以下列表2的步驟進行處理。

在實施例及比較例的電漿顯示器面板1中，繼續進行放電，測定放電電壓的經常變化，並將其結果記載於第4圖的曲線圖(graph)。

如上述表2與第4圖明確地表示，得知利用本發明之製造方法製造的PDP在初期放電1小時的老化(aging)中，放電電壓得以穩定化。

相對於此，如日本特開2002－231129號所記載，得知將從保護膜的形成後，至第一、第二面板10、20之貼合步驟間在乾燥氣體(N₂ 氣體)的乾燥環境中進行的比較例中，即便經過10小時，放電電壓也不穩定，至放電電壓穩定為止的時間會變長。

獲知使用SrO與CaO的混合膜作為保護膜時，相較於乾燥環境的製造製程，真空連續製程對於初期老化時間的縮短非常地有效。

以上，雖以面放電型PDP為例，但本發明的保護膜也可適用於在專利文獻1所示之第二面板20側配置介電體膜的PDP、或相對放電型PDP等需要保護膜的PDP，與PDP的製造方法。

在第二面板20也形成本發明的保護膜時，係以將從形成保護膜的步驟至與第一面板10貼合的步驟，在真空環境中進行，使之不會曝露於大氣為佳。

第一、第二基板並不限定於玻璃基板，亦可用塑膠基板或陶瓷等各種材料來構成，但至少光放射側的基板係以透明為佳。

再者，只要可分別產生CaO的蒸氣與SrO的蒸氣，則保護膜的成膜方法並不限定於EB蒸鍍法，例如，亦可用電熱線圈等加熱機構來加熱收容SrO的平爐3和收容CaO的平爐4，而分別產生CaO的蒸氣和SrO的蒸氣。

以上，就將本發明之保護膜14經由介電體膜12配置於維持電極15上與掃描電極16上的情形加以說明，但本發明並不限定於此，亦可以將保護膜14接觸維持電極15表面與掃描電極16表面的方式來配置。

又，若將本發明的保護膜14形成於螢光體膜22R、22G、22B表面上的話，則汲極電極25及螢光體膜22R、22G、22亦可受到保護，免於被電漿破壞。

以上，係就在配置於同一面板上的維持電極與掃描電極之間施加電壓，而形成電漿的情形加以說明，但本發明並不限定於此。例如，亦可在分別配置於不同面板的電極之間施加直流或交流電壓，而形成電漿；在不同面板上的電極間施加直流電壓時，只要將本發明的保護膜配置於至少設置於負電位側的電極上即可；在不同面板上的電極間施加交流電壓時，只要在任一者或兩者的電極上，配置本發明的保護膜即可。

1．．．電漿顯示器面板

11．．．第一基板

14．．．保護膜

15．．．維持電極

16．．．掃描電極

21．．．第二基板

25．．．汲極電極

第1圖係說明本發明之電漿顯示器面板的一例之斜視圖。

第2圖係說明本發明之電漿顯示面板的製造方法之斜視圖。

第3圖係說明使用SrO與CaO之混合蒸鍍材料時，保護膜的組成之曲線圖。

第4圖係說明放電電壓與老化時間的關係之曲線圖。

1．．．電漿顯示器面板

10．．．第一面板

11．．．第一玻璃基板

12．．．介電體膜

14．．．保護膜

15．．．維持電極

16．．．掃描電極

20．．．第二面板

21．．．第二玻璃基板

23．．．隔牆

22R．．．紅色螢光體膜

22G．．．綠色螢光體膜

22B．．．藍色螢光體膜

25．．．汲極電極

29．．．發光空間

Claims

一種保護膜之形成方法，係形成含有SrO和CaO的保護膜，其特徵為：將以SrO為主成分的第一蒸鍍材料，和以CaO為主成分的第二蒸鍍材料分別配置於相同的真空槽內部，控制上述第一、第二蒸鍍材料的蒸氣產生量，以上述保護膜中上述CaO的含有率成為20 mol%以上，90 mol%以下的方式，使上述第一、第二蒸鍍材料予以蒸發。
如申請專利範圍第1項之保護膜之形成方法，係在表面形成有第一電極的第一面板，和表面形成有第二電極的第二面板上，形成上述保護膜，其中，在上述第一、第二電極中之任一者或兩者的電極上，配置介電體膜，令上述第一、第二蒸鍍材料的蒸氣分別到達上述介電體膜上，以在上述介電體膜表面形成上述保護膜。
一種電漿顯示器面板之製造方法，具有：保護膜形成步驟，係將含有SrO的第一蒸鍍材料，和含有CaO的第二蒸鍍材料分別配置於相同的真空槽內部，且一邊控制蒸氣產生量，一邊加熱上述第一、第二蒸鍍材料，在第一、第二面板的表面，形成含有SrO和CaO ，且上述CaO的含有率為20 mol%以上，90 mol%以下；和密封步驟，貼合上述第一、第二面板，其特徵為：在真空環境中至少進行從上述保護膜的形成步驟至上述密封步驟。