CN1957436A - 等离子显示屏用保护膜及其制造方法、等离子显示屏及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明的等离子显示屏(1)的维持电极(15)与地址电极(16)上的保护膜(14)的主成分均含有CaO和SrO，而该保护膜(14)中的CaO浓度为20mol％以上、90mol％以下。由于此种保护膜(14)的功函数比以往的MgO膜小，故可用比以往更低的放电电压来发光。当放电电压低时，保护膜(14)被溅射的速度也会变慢，因此等离子显示器(1)可长寿命化。并且，因为等离子气体含有Xe气体，所以本发明的等离子显示器的亮度也高。

Description

等离子显示屏用保护膜及其制造方法、等离子显示屏及其制造方法
技术领域
本发明涉及等离子显示屏，尤其是涉及其保护膜与保护膜的制造方法。
背景技术
以往，PDP(等离子显示屏)在显示装置的领域被广泛使用，近年来，逐渐要求大画面、高品质且低价格的PDP。
一般而言，PDP是以3电极面放电型为主流，该3电极面放电型是将玻璃基板上形成有维持电极及扫描电极的前面基板，与玻璃基板上形成有地址电极的背面板贴合所构成。
在前面板与背面板之间封入密封气体，且在扫描电极与地址电极之间施加电压而产生放电时，被封入的密封气体会等离子化，而放射紫外线。若在被所放射的紫外线照射的位置配置荧光体膜，荧光体膜会透过紫外线而发光，而射出着色光。
一般而言，在维持电极及扫描电极上形成有电介质膜，并且，于其上形成有MgO保护膜，用以保护电介质膜。
为了维持放电，在扫描电极与维持电极施加交流电压时，通过密封气体的等离子化所产生的阳离子会入射至扫描电极侧及维持电极侧，然而，维持电极及扫描电极与这两个电极上的电介质膜会受到保护膜保护，可避免被阳离子破坏。
因此，等离子不会造成电介质膜损伤，不仅维持电极与扫描电极通过电介质膜绝缘的绝缘状态可保持，电介质膜的静电电容也不会改变，所以可维持等离子显示屏的电气特性。
近年来，因应高功能化的要求，为了提升PDP的亮度，有提出将一般作为密封气体使用的Ne与Xe的混合气体中的Xe浓度从以往的5％左右提升到10％以上，以提升发光强度的方法。
然而，在保护膜为MgO的情况下若将密封气体中的Xe浓度提高，放电电压会提升，耐溅射性会降低，而造成保护膜的功能降低，所以会产生面板寿命变短的问题。此外，用以使PDP驱动的驱动电路亦需要对应更高电压的规格，会产生PDP驱动控制系统的制造成本变高的问题。
PDP的放电电压依存于保护膜的2次电子放射系数。有提出使用功函数小于MgO的碱土类金属的氧化物作为保护膜，将放电电压低电压化。
例如，日本特开2002-231129中介绍以SrO、CaO、BaO、SrO+BaO、BaO+CaO、SrO+GaO+BaO作为保护膜。
这些保护膜，对于放电中阳离子所产生的溅射的抵抗性比MgO弱，对PDP的寿命较为不利，所以有公开不仅在PDP的前面面板设有保护膜，至少在形成荧光体膜的背面面板亦形成保护膜，来克服寿命问题的技术。
专利文献1：日本特开2002-231129号公报
发明内容
然而，上述公知技术的实施中，随着保护膜形成工序的增加，会有PDP制造成本变高的问题。并且，上述保护膜如MgO一样甚至更多地存有在放电初期必需长时间熟化处理的问题。本发明的目的在于提供一种放电电压比MgO膜低且耐溅射性优良的保护膜及其形成方法，以及可显著缩短使用该保护膜的PDP的放电初期熟化处理时间的PDP制造方法。
为了解决上述课题，本发明是一种保护膜，位于第一、第二电极中的任一个或两个电极表面，当在上述第一、第二电极间施加电压时，被曝露于上述第一、第二电极间所形成的等离子，其中：含有SrO和CaO，上述CaO的含有率为20mol％以上、90mol％以下。
本发明是一种保护膜，其中，上述第一电极配置于第一面板的表面，上述第二电极配置于第二面板的表面。
本发明是一种等离子显示屏，具有第一电极配置于表面的第一面板和第二电极配置于表面的第二面板，在上述第一、第二面板间，封入密封气体，在上述第一、第二电极中的任一个或两个表面上配置保护膜，上述保护膜曝露于上述第一、第二面板间所形成的等离子，其中，上述保护膜含有SrO和CaO，上述保护膜中上述CaO的含有率为20mol％以上、90mol％以下。
本发明是一种等离子显示屏，其中，在上述第一面板的表面上，配置第三电极。
本发明是一种等离子显示屏，其中，上述密封气体含有Ne与Xe，且上述Xe的含有率为10％体积以上。
本发明是一种保护膜的形成方法，形成含有SrO和CaO的保护膜，其中，将以SrO为主成分的第一蒸镀材料和以CaO为主成分的第二蒸镀材料分别配置于同一真空槽内部，控制上述第一、第二蒸镀材料的蒸气产生量，以上述保护膜中上述CaO的含有率成为20mol％以上、90mol％以下的方式，使上述第一、第二蒸镀材料蒸发。
本发明是一种保护膜的制造方法，在表面形成有第一电极的第一面板和表面形成有第二电极的第二面板上，形成上述保护膜，其中，在上述第一、第二电极中的任一个或两个电极上，配置电介质膜，令上述第一、第二蒸镀材料的蒸气分别到达上述电介质膜上，以在上述电介质膜表面形成上述保护膜。
本发明是一种等离子显示屏的制造方法，具有：保护膜形成工序，将含有SrO的第一蒸镀材料，和含有CaO的第二蒸镀材料分别配置于同一真空槽内部，且一边控制蒸气产生量，一边加热上述第一、第二蒸镀材料，在第一、第二面板的表面，形成含有SrO和CaO且上述CaO的含有率为20mol％以上、90mol％以下；和贴合上述第一、第二面板的密封工序，其中，至少从上述保护膜的形成工序至上述密封工序在真空气氛中进行。
本发明以上述方式构成，本发明的保护膜所使用的显示装置具有第一、第二电极。在该装置内事先封入形成等离子的密封气体，且在第一、第二电极间施加电压时，装置的内部会形成密封气体的等离子，等离子中的阳离子会靠近第一、第二电极中位于负电位侧的电极。
在第一、第二电极间施加直流电压时，至少在被施加负电位的电极上配置本发明的保护膜，在第一、第二电极间施加交流电压时，若在一边或两边的电极上配置本发明的保护膜，则该保护膜可保护电极与其周围的构件，免于受到阳离子破坏。
在第一面板上配置维持电极与扫描电极以及在第二面板上配置地址电极的上述等离子显示屏中，第一、第二电极成为维持电极与地址电极的组合、或扫描电极与地址电极的组合。
尤其在上述等离子显示屏中，因为在维持电极与扫描电极之间施加高的交流电压而形成等离子，所以可将本发明的保护膜配置在维持电极与扫描电极这两者上。
一般而言，在等离子显示屏中，因为维持电极上与扫描电极上配置有电介质膜，所以可将本发明保护膜配置于维持电极上的电介质膜表面上与扫描电极上的电介质膜表面上，来保护电介质膜。
使用于本发明的保护膜含有SrO与CaO两者，将本发明保护膜中的CaO浓度设在20mol％以上、90mol％以下，相较于以往的保护膜(MgO膜)，对放电中阳离子所致溅射的耐溅射性优良，且可使PDP的放电电压降低，因此，具有可使面板寿命提升并降低PDP的驱动电路的成本的效果。
为了提高等离子显示屏的亮度，使用Ne与Xe的混合气体，即含10％体积以上的Xe的密封气体时，放电电压会上升，保护膜容易被蚀刻，但因本发明保护膜的耐溅射性较高，故面板寿命不会变短。
(发明的效果)
根据本发明，可稳定地形成由含有SrO与CaO两者的本发明保护膜所构成的电子放射特性优良的PDP保护膜。并且，可提高封入PDP内的Ne与Xe的混合气体中的Xe浓度，以使亮度提升，从而可制造寿命长且制造成本低的PDP。
附图说明
图1是说明本发明的等离子显示屏的一例的透视图。
图2是说明本发明的等离子显示面板的制造方法的透视图。
图3是说明使用SrO与CaO的混合蒸镀材料时，保护膜的组成的曲线图。
图4是说明放电电压与熟化时间的关系的曲线图。
符号说明
1 等离子显示屏    11 第一基板    14 保护膜    15 维持电极
16 扫描电极       21 第二基板    25 地址电极
具体实施方式
图1的标记1是表示本发明的等离子显示屏的一例。
该等离子显示屏、具有第一、第二面板10、20。
第一面板10具有第一玻璃基板11，且在第一玻璃基板11的表面上分别配置有多个维持电极15和扫描电极16。此外，图1中，各显示一条维持电极15和扫描电极16。
在此，各维持电极15与各扫描电极16分别为细长形，维持电极15与扫描电极16在第一玻璃基板11表面上保持预定间隔地交互排列。
在第一玻璃基板11配置有维持电极15和扫描电极16的一侧的面上，配置有由绝缘材料所构成的电介质膜12。相互邻接的维持电极15和扫描电极16彼此分离，电介质膜12以覆盖维持电极15和扫描电极16的表面及侧面的方式形成，且彼此邻接的维持电极15与扫描电极16之间以电介质膜12填充，因此维持电极15和扫描电极16成为彼此绝缘的状态。
在电介质膜12的表面上，主成分含有SrO和CaO两者的保护膜14配置于整面，因此，成为各维持电极15上和各扫描电极16上配置有保护膜14的状态。
第二面板20具有第二玻璃基板21。在第二玻璃基板21表面上，多条直线状地址电极25彼此保持预定间隔地平行配置。
在第二玻璃基板21表面上的地址电极25与地址电极25之间，细长的障壁23沿着地址电极25的长度方向配置。
在彼此邻接的障壁23间，配置有分别含有不同颜色的荧光色素的荧光体膜(红色的荧光体膜22R、绿色的荧光体膜22G、蓝色的荧光体膜22B)中的任一个，且各地址电极25形成被任一色的荧光体膜22R、22G、22B覆盖的状态。
第一、第二面板10、20以露出保护膜14的面与形成有障壁23的一侧的面彼此相对，且维持电极15与扫描电极16相对于地址电极25形成垂直相交的方式，在对准的状态下贴合，并且，由于第二玻璃基板21表面至障壁23前端的高度，大于第二玻璃基板21表面至地址电极25表面的高度，所以障壁23的前端与第一面板10的保护膜14对接，且荧光体膜22R、22G、22B与保护膜14之间的空间成为被障壁23划分的状态。
图1的标记29表示被障壁23所划分的各荧光体膜22R、22G、22B上的空间即发光空间，且各发光空间29中充满了Ne与Xe的混合气体，即，充满含10％体积以上的Xe气体的密封气体。
接着，说明将该等离子显示屏1点亮的步骤。
在所选择的扫描电极16与地址电极25之间施加电压时，在这些电极交差的发光单元，会引起写入放电。
接着，在施加电压的扫描电极16和与该扫描电极16对应的维持电极15之间施加交流电压时，会引起维持放电。
如上所述，保护膜14隔着电介质膜12的地位于维持电极15、扫描电极16上，且该保护膜14的主成分含有SrO和CaO两者，且该CaO浓度设在20mol％、90mol％以下，而构成本发明的保护膜。
因为本发明保护膜的电子放射特性比以往的保护膜(MgO膜)高，所以即使将密封气体的Xe浓度提高时，也可以较低的放电电压产生维持放电，且通过维持放电，使密封气体等离子化，产生紫外线。
此时，密封气体的等离子化，会使第一、第二面板10、20的表面曝露于等离子，但因电介质膜12表面上配置有保护膜14，因此电介质膜12不会被等离子蚀刻而会受到保护。
如上所述，本发明的等离子显示屏1可以较低的放电电压来驱动，若可以低放电电压驱动，即使保护膜14曝露于密封气体的等离子，被蚀刻的速度也很慢。因此，本发明的等离子显示屏1的寿命比以往长。
如上所述，维持电极15和扫描电极16以垂直相交于地址电极25的方式配置，并且在所选择的扫描电极16与地址电极25交差的发光单元产生发光。
发光单元会产生紫外线的发光，当紫外线入射至位于该发光单元的荧光体膜22R、22G、22B时，可从荧光体膜22R、22G、22B放射红色、绿色、蓝色之任一色的可见光。
此外，想要将发光单元熄灭时，则在所选择的扫描电16和与该扫描电极16邻接的维持电极15之间，施加比维持放电时更弱的电压，而产生比维持放电更弱的放电(消去放电)时，发光空间29内的壁电荷会被中和，发单元会变暗。
接着，说明形成本发明的保护膜14的工序的一例。
图2的标记2是表示成膜装置的一例。该成膜装置2具有两个电子束枪(EB枪)5a、5b；和各具有4个第一、第二炉膛(hearth)3、4，其中第一炉膛3分别配置有SrO所构成的第一蒸镀材料，第二炉膛4分别配置有CaO所构成的第二蒸镀材料。
第一炉膛3在真空槽内部排列成一行，第二炉膛4位于与第一炉膛4同一的真空槽内部，且沿着第一炉膛3的排列方向排列。
将该真空槽内部预先真空排气，各第一炉膛3与各第二炉膛4分别被设置在相同的真空气氛，一边维持该真空气氛，一边从电子束枪5a、5b将电子束6a、6b照射到各炉膛3、4内时，第一炉膛3内的SrO与第二炉膛4内的CaO会蒸发，SrO的蒸气和CaO的蒸气会被释放到真空气氛中。
将表面形成有维持电极15、扫描电极16以及电介质膜12的状态的第一玻璃基板11传送到该真空气氛中，在形成有维持电极15和扫描电极16的一侧的面向下的状态下，使其经由第一、第二炉膛3、4的上方，沿着这些炉膛的排列方向行进。
由于第一炉膛3的列与第二炉膛4的列接近配置，因此当第一玻璃基板11通过第一、第二炉膛3、4的上方位置时，SrO的蒸气与CaO的蒸气两者会到达第一玻璃基板11上。
通过调节由束轨迹变更调整进行的束照射对象炉膛3、4的变更、束照射在各炉膛3、4的时间、束照射强度，若将SrO的蒸气产生量与CaO的蒸气产生量控制在预定比例时，则可获得在第一玻璃基板11上形成有以预定比例含有SrO与CaO的保护膜14的第一面板10。
此外，本发明的保护膜的形成方法中，第一、第二炉膛3、4的数量并不限定为各四个，第一、第二炉膛3、4的数量亦可分别为1个以上、3个以下，亦可分别为5个以上。并且，亦可在真空槽内配置相同数量的第一、第二炉膛3、4，亦可配置不同数量的第一、第二炉膛3、4。总之，只要第一、第二炉膛3、4可在同一真空槽内将SrO和CaO分别配置，则其数量、形状并没有特别限定。
再者，电子束枪5a、5b的台数并不限定为两台，只要可将电子束照射在第一、第二炉膛3、4两者，则其台数亦可为1台，亦可为3台以上。
于真空气氛中传送形成有保护膜14的第一面板10，使之不会曝露于大气，并将第一面板10与上述第二面板20传送入相同的加热用真空槽，在将加热用真空槽内维持真空气氛的状态下，令第一面板10形成有维持电极15与扫描电极16的面，与第二面板20形成有地址电极的面相对，且以维持电极与扫描电极相对于地址电极在预定位置交差的方式对准。
在加热用真空槽内，一边加热第一、第二面板10、20，一边进行贴合后，将第一、第二面板10、20在真空气氛中传送，将其传送入形成有真空气氛的冷却室，使之不会曝露于大气，并且，一边维持该冷却室的真空气氛，一边将贴合的第一、第二面板冷却。接着，在真空气氛中，将上述密封气体注入第一、第二面板10、20之间，注入密封气体后，再加以密封，即可获得等离子显示屏1。
如上所述，本发明的制造方法中，至少从在第一面板10形成保护膜14的工序，至贴合第一、第二面板10、20的工序，以及各工序间的传送，均是真空气氛中进行，所以第一、第二面板10、20不会曝露于大气。
即，在保护膜14形成后，至贴合第一、第二面板10、20而使保护膜14密闭的期间，保护膜14不会曝露于大气，所以即使保护膜14的主成分是由SrO和CaO等吸水性高的材料所构成，也可防止水分的吸收。
当SrO和CaO吸收水分时，会变质成氢氧化物等，用于等离子显示屏的保护膜时，其变质会造成放电延迟的恶化或放电电压上升等，同时也是造成稳定放电特性的初期熟化时间增长的原因。进入保护膜14中的水分，会移动到荧光体膜22R、22G、22B，而使荧光体膜22R、22G、22B性质改变，造成等离子显示屏的显示能力降低，然而，如上述所述，本发明的制造方法中，可防止制造工序中保护膜14的水分吸收，所以可进行放电电压的低电压驱动，而可获得显示功能优良的等离子显示屏1。
(实施例)
(SrO-CaO浓度)
改变SrO与CaO的浓度，制作第一、第二面板的保护膜14，而获得在面内具有300个发光单元的等离子显示屏1。此外，各等离子显示屏1的障壁23的高度为150μm，从地址电极25上的荧光体膜22R、22G、22B表面至维持电极15及扫描电极16上的保护膜14表面的高度即放电空间的高度为80μm，密封气体是Ne与Xe的混合气体(由Ne与Xe所构成的混合气体)，其中，含有12％体积的Xe气体，其密封压力是400Torr。
下述表1中，记载保护膜14中的CaO浓度(mol％)。
表1：SrO-CaO复合氧化膜的放电电压及耐溅射性测定结果
膜中的CaO浓度(mol％) 第一单元点亮电压(V) 最后单元熄灭电压(V) 2000小时熟化后的蚀刻深度(埃)
0 155 103 7960
10 160 98 3440
20 165 103 2010
40 162 103 1790
60 165 105 1750
80 182 122 1870
90 196 134 1970
MgO 225 145 2700
接着，使用各等离子显示屏1，相对于300个发光单元，测定最初第一个单元在放电开始时所需的第一单元点亮电压，与在所有的单元都点亮后使PDP的驱动电压逐渐下降时，最后单元熄灭的最后单元熄灭电压，并将其测定结果记载于上述表1。此外，替换含有上述SrO与CaO两者的本发明的保护膜，而以MgO构成保护膜14时的测定结果也一并记载于表1。
接着，将与使用于各等离子显示屏1的保护膜相同的保护膜14，在上述密封气体(Ne与Xe的混合气体，含有12％体积的Xe)的等离子中曝露2000小时，并测定保护膜14被蚀刻的深度(膜厚减少量)，将其结果也记载于表1。
如上述表1清楚地表示，仅由SrO所构成的保护膜，和具有SrO与CaO两者的保护膜，任一个的放电电压皆比MgO膜低。
并且，若以表1所示预定放电的蚀刻速度的倒数来定义耐溅射性，设MgO膜的耐溅射性为1时，CaO浓度为10mol％以下的范围，含SrO与CaO两者的本发明保护膜的耐溅射性不足1时为不良，但在20mol％以上、90mol％以下的范围，超过1则为良好。
含有CaO浓度为20mol％的SrO与CaO两者的本发明保护膜的耐溅射性约为1.34，当CaO浓度为60mol％时，耐溅射性约为1.54，当CaO浓度为90mol％时，耐溅射性约为1.37，本发明保护膜的耐溅射性在CaO浓度为60mol％时为最佳。
此外，也具有当CaO浓度为20mol％以上、60mol％以下时，第一单元点亮电压是稳定在160V左右，最后单元熄灭电压是稳定在100V左右，且在该CaO浓度的范围中，由于CaO浓度的不同所导致的放电特性的偏差较小，因此，即使单元间存在多样浓度的偏差，也具有不会在驱动控制上造成影响的效果。
本实施形态的保护膜中，在CaO浓度为20mol％以上、90mol％以下的范围，为了提升亮度，即使使用Ne与Xe的混合气体作为密封气体，即，使用含有12％体积的Xe的密封气体，相较于使用MgO膜的情况，本发明的保护膜的放电电压也比较低，且耐溅射性也比较优良，可形成长寿命的PDP。因此，相对于公知的MgO膜，即使所提出的Xe浓度为10％体积以上，也可期待充分的效果。
并且，即使按照PDP的设计规格，使放电空间的高度或密封气体压力成为预定的设定，也可期待达到效果，而且，即使将PDP面板形成对角42″以上的尺寸，亦可期待达到效果。
(蒸镀材料浓度)
使用混合有SrO与CaO的混合材料作为蒸镀材料，并在该混合材料照射电子束，而形成含有srO与CaO两者的本发明保护膜，并调查以此方法所形成的保护膜的组成分析。
图3是表示其组成分析的结果的曲线图，由于SrO与CaO的蒸气压不同，故使SrO与CaO的混合材料蒸发时，混合材料的组成和保护膜的组成会产生偏差，如图3所示，蒸镀材料中CaO浓度与保护膜中CaO浓度的关系成为具有变位点的预定关系。
虽未图示，但可确认该关系会随着蒸镀材料的减少，而明显地变化。因此，可推测所形成保护膜的组成在成膜开始时，随着时间而变化。
相对于此，本发明的保护膜的形成方法是如图2所示使SrO与CaO个别蒸发，如上所述，通过束照射对象炉膛的变更、束照射于各炉膛的时间、束照射强度等的调节，可使各蒸发源的蒸发速度最佳化。因此，使SrO与CaO个别蒸发的本发明中，SrO与CaO的比例的控制较容易，而可形成组成比例稳定的保护膜。
此外，要形成含有利用电子束蒸镀所产生的SrO与CaO两者的本发明保护膜时，一般是使用在大气中稳定的SrCO3与CaCO3作为蒸镀材料，但是，以这些蒸镀材料形成保护膜时，PDP的放电电压不会降低。
分析所获得保护膜的组成的结果，可以想到由于保护膜中含有多量的碳，2次电子放射特性降低。由此得知，通过使用在大气中不稳定的蒸镀材料的SrO与CaO并使之独立蒸发，即可稳定地获得放电电压较低的保护膜。
(真空气氛连续处理)
为了比较评估在真空中连续进行从保护膜14的形成、加热密封(第一、第二面板10、20的贴合)、到之后的冷却所获到的效果，以下列表2的工序进行处理。
表2：真空中的连续处理方法与干燥气氛中的连续处理方法的比较顺序
实施例 比较例
方式 真空中的连续处理 干燥气氛中的连续处理
1 SrO-20mol％CaO膜的蒸镀 SrO-20mol％CaO膜的蒸镀
2 在真空中以450℃加热30分钟后密封 不曝露于大气中在露点-40℃的干燥氮气中加热30分钟后密封
3 在真空中冷却至室温 不曝露于大气中在露点-40℃的干燥氮气中冷却至室温后真空排气
4 将Ne-12％Xe放电气体导入至53.2kPa为止，加以密封 将Ne-12％Xe放电气体导入至53.2kPa为止，加以密封
5 测定放电电压 测定放电电压
在实施例及比较例的等离子显示屏1中，继续进行放电，测定放电电压随时间的变化，并将结果记载于图4的曲线中。
从上述表2与图4可明白，利用本发明制造方法制造的PDP在初期放电1小时的熟化中，放电电压得以稳定。
与此相比，如日本特开2002-231129所记载，从保护膜形成后到第一、第二面板10、20的贴合工序为止期间在干燥气体(N2)的干燥气氛中进行的比较例中，即使经过10小时，放电电压也不稳定，至放电电压稳定为止的时间变长。
由此得知，使用SrO与CaO的混合膜作为保护膜时，相较于干燥气氛的制造制程，真空连续制程对于初期熟化时间的缩短非常地有效。
以上，虽以面放电型PDP为例，但本发明的保护膜也可适用于在专利文献1所示的第二面板20侧配置电介质膜的PDP、或相对放电型PDP等需要保护膜的PDP，以及PDP的制造方法。
在第二面板20也形成本发明的保护膜时，以将从形成保护膜的工序至与第一面板10贴合的工序在真空气氛中进行，使之不会曝露于大气为佳。
第一、第二基板并不限定于玻璃基板，亦可用塑料基板或陶瓷等各种材料来构成，但至少光发射侧的基板以透明为佳。
再者，只要可分别产生CaO的蒸气与SrO的蒸气，则保护膜的成膜方法并不限定于EB蒸镀法，例如，亦可用电热线圈等加热部件来加热容纳SrO的炉膛3和容纳CaO的炉膛4，而分别产生CaO的蒸气和SrO的蒸气。
以上，就将本发明的保护膜14隔着电介质膜12配置于维持电极15上与扫描电极16上的情形加以说明，但本发明并不限定于此，亦可以将保护膜14配置成接触维持电极15表面与扫描电极16表面。
并且，若将本发明的保护膜14形成于荧光体膜22R、22G、22B表面上，则地址电极25及荧光体膜22R、22G、22B亦可受到保护，免于被等离子破坏。
以上，说明了在配置于同一面板上的维持电极与扫描电极之间施加电压，而形成等离子的情况，但本发明并不限定于此。例如，亦可在分别配置于不同面板的电极之间施加直流或交流电压，而形成等离子，或在不同面板上的电极间施加直流电压时，只要将本发明的保护膜配置于至少设置于负电位侧的电极上即可，或在不同面板上的电极间施加交流电压时，只要在任任一个或两个电极上配置本发明的保护膜即可。

Claims (8)

1.一种保护膜，位于第一、第二电极中的任一个或两个电极表面，当在上述第一、第二电极间施加电压时，被曝露于上述第一、第二电极间所形成的等离子，其中，
含有SrO和CaO，
上述CaO的含有率为20mol％以上、90mol％以下。
2.如权利要求1所述的保护膜，其中，上述第一电极配置于第一面板的表面，上述第二电极配置于第二面板的表面。
3.一种等离子显示屏，
具有第一电极配置于表面的第一面板和第二电极配置于表面的第二面板，
在上述第一、第二面板间，封入密封气体，
在上述第一、第二电极中的任一个或两个表面上，配置保护膜，
上述保护膜曝露于上述第一、第二面板间所形成的等离子，
其中
上述保护膜含有SrO和CaO，
上述保护膜中上述CaO的含有率为20mol％以上、90mol％以下。
4.如权利要求2所述的等离子显示屏，其中，在上述第一面板的表面上，配置第三电极。
5.如权利要求3所述的等离子显示屏，其中，上述密封气体含有Ne与Xe，且上述Xe的含有率为10％体积以上。
6.一种保护膜的形成方法，形成含有SrO和CaO的保护膜，其中，
将以SrO为主成分的第一蒸镀材料，和以CaO为主成分的第二蒸镀材料分别配置于同一真空槽内部，
控制上述第一、第二蒸镀材料的蒸气产生量，以上述保护膜中上述CaO的含有率成为20mol％以上、90mol％以下的方式，使上述第一、第二蒸镀材料蒸发。
7.如权利要求6所述的保护膜的制造方法，在表面形成有第一电极的第一面板，和表面形成有第二电极的第二面板上，形成上述保护膜，其特征在于，
在上述第一、第二电极中的任一个或两个电极上，配置电介质膜，
使上述第一、第二蒸镀材料的蒸气分别到达上述电介质膜上，以在上述电介质膜表面形成上述保护膜。
8.一种等离子显示屏的制造方法，具有：
保护膜形成工序，将含有SrO的第一蒸镀材料和含有CaO的第二蒸镀材料分别配置于同一真空槽内部，且一边控制蒸气产生量，一边加热上述第一、第二蒸镀材料，在第一、第二面板的表面，形成含有SrO和CaO且上述CaO的含有率为20mol％以上、90mol％以下；以及
密封工序，贴合上述第一、第二面板，
其中，至少从上述保护膜的形成工序至上述密封工序在真空气氛中进行。
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