CN1124633C

CN1124633C - 显示装置

Info

Publication number: CN1124633C
Application number: CN99102222A
Authority: CN
Inventors: 森启; 宫原清彦; 中村末広; 川口英広
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1998-02-19
Filing date: 1999-02-15
Publication date: 2003-10-15
Anticipated expiration: 2019-02-15
Also published as: EP0938123B1; US6184620B1; DE69916353T2; EP0938123A3; EP0938123A2; JPH11233024A; DE69916353D1; CN1226739A

Abstract

在利用等离子体放电的显示装置中，可使像素变得高分辨率，可简化电极结构和简化电极形成工艺。在利用等离子体放电的交流驱动型显示装置中，在一个基板(22)上形成由多个放电保持电极(I)构成的放电保持电极组和由多个地址电极(J)构成的地址电极组，同时连续地形成通过绝缘层(27)跨过放电保持电极组的地址电极组和由多个放电启动地址电极(K)构成的包括部分地址电极组的放电启动地址电极组，在同一平面上形成放电保持电极组和放电启动地址电极组，在放电保持电极组、地址电极组和放电启动地址电极组上形成电介质层。

Description

显示装置

技术领域

本发明涉及利用等离子体放电的交流驱动型显示装置。

背景技术

至今为止，已知利用等离子体放电的交流驱动型显示装置，即所谓的AC(交流)型等离子体显示板(等离子体显示板：PDP)。作为这种AC型PDP，有可以显示由放电气体发射光的等离子体显示板和由放电产生的紫外线激发荧光材料的等离子体显示板。- 至今为止，已知用两相电极和三相电极驱动的普通彩色AC型PDP。

图1表示由三相电极驱动的彩色AC型PDP1的构造。图1是展示包括相应于一个像素部分的局部透视图。图2是沿与图1的地址电极延伸方向平行的图1中A-A线剖切的剖面图。图3是沿与图1的放电电极延伸方向平行的图1中B-B线剖切的剖面图。

该彩色AC型PDP1包括三个电极结构，其中一对放电电极2和地址电极3在矩阵显示单元发光区中彼此相对，并且在地址电极3侧形成荧光材料4[4R、4G、4B]。

亦即，在第一基板上，例如在显示表面侧的前玻璃基板5上排列多组(图中仅示出一组)成对的放电电极2。为了覆盖放电电极2形成电介质层6。此外，在电介质层6的表面上形成厚度为几千埃的MgO膜作为保护层7。参考标号8表示形成于放电电极2上的低电阻值的总线电极。

另一方面，在沿垂直于放电电极2的方向上与前玻璃基板5相对的第二基板上，例如后玻璃基板10上，例如按约200微米的节距排列地址电极3，用于产生单元发光区，以有选择地发光。此外，为了覆盖地址电极3形成电介质层12。在相邻地址电极3之间形成宽度约100微米的用于确定放电空间空间尺寸的带状隔壁11，从而在行方向上(放电电极2的延伸方向)按各单元发光区分隔放电空间。再有，通过涂敷，在相邻隔壁11之间形成红、绿和蓝三色荧光材料4R、4G、4B。顺便说明，在放电空间中，密封有例如氙和氖混合的潘宁气体(Penning gas)作为放电气体，以利用紫外线激发荧光材料4[4R、4G、4B]。

构成显示屏的各像素(图像元)由按行方向排列的相同面积的红(R)、绿(G)、蓝(B)三个单元发光区组成。

在这种彩色AC型PDP1中，在成对的放电电极2中选择的一个放电电极2与选择的地址电极3之间开始放电后，在成对的放电电极2之间维持放电，荧光材料4[4R、4G、4B]被此时产生的等离子体放电所产生的紫外线激发发光。因此，通过有选择地使各单元发光区发光，可通过红(R)、绿(G)、蓝(B)的组合进行全彩色显示。

另外，在这种彩色AC型PDP1中，为了使显示像素实现高清晰度，必须减小放电电极2之间的距离。在这方面，必须使地址电极3与放电电极2之间的距离等于放电电极2之间的距离。

但是，在减小放电电极2之间的距离上存在一定限度。因此，难以使显示像素实现高分辨率。

如果电极2之间的距离小于例如20微米，那么当形成厚度范围为20至40微米的荧光材料时，会损失图1中所示的等离子体放电空间14。因此，有在电极之间发生放电被破坏的风险。

再有，即使考虑保持等离子体放电空间14的构造，但将形成荧光材料的部分也受限制。如果减少荧光材料4，那么亮度会变低。此外，存在因离子轰击使荧光材料劣化的缺点。

发明内容

鉴于上述情况，本发明的目的在于提供高分辨率的显示装置。

此外，本发明的目的在于提供可以简化结构和可以简化制造工艺的显示装置。

按照本发明的方案，提供一种利用等离子体放电的交流驱动型显示装置，在一个基板上形成由多个放电保持电极组成的放电保持电极组和由多个地址电极组成的地址电极组，同时连续地形成通过绝缘层跨过所述放电保持电极组的所述地址电极组和由多个放电启动地址电极构成的包括部分所述地址电极组的放电启动地址电极组，在同一平面上形成所述放电保持电极组和所述放电启动地址电极组，在所述放电保持电极组、所述地址电极组和所述放电启动地址电极组上形成电介质层，和在与所述一个基板相对的另一基板上形成的荧光层。

在上述的显示装置中，所述放电保持电极组由Cr和Al的叠层构成。优选地，由Cr和Al的所述叠层构成的所述放电保持电极组有从其上除去表面氧化膜的接线端部分。

在本发明的显示装置中，由于在同一基板上形成放电保持电极组、地址电极组和放电启动地址电极组，所以即使当地址电极与放电保持电极之间的距离减少过多时，也可以由隔板充分地保持等离子体放电空间。因此，使显示像素达到高分辨素成为可能。

当由等离子体产生的紫外线使相对基板侧上的荧光层受激发光时，可以充分地保持等离子体产生的紫外线，使荧光层能够高亮度地发光。再有，由于将荧光层配置在等离子体的外部并防止荧光层暴露于等离子体，所以还可以防止荧光材料受等离子体离子轰击引起的劣化。

由于在同一基板上形成放电保持电极组、地址电极组和放电启动地址电极组，所以在形成电极的工艺处理中，可以按高定位精度放置各电极。因此，在对电极一侧的基板和相对基板进行的密封工艺处理中，可以充分地增加对准和空间间隔的裕间。再有，由于在相同的平面上形成放电保持电极组和放电启动地址电极组，所以可以高精度地设定成对的放电保持电极之间的距离和一个放电保持电极与放电启动地址电极之间的距离。

由于同时连续地形成地址电极和放电启动地址电极，所以与单独形成地址电极和放电启动地址电极后再连接它们的构造相比，可以简化电极结构，和可靠地连接这两个电极。此外，可以简化电极制造工艺。因此，可以增加显示装置的生产率，降低其成本。

附图说明

图1是表示普通AC型三相电极PDP的图；

图2是沿图1中A-A线剖切的剖面图；

图3是沿图1中B-B线剖切的剖面图；

图4是表示本发明实施例的显示装置结构的图；

图5是表示本发明实施例的显示装置的剖面；

图6是表示本发明实篱例的显示装置的电极结构的平面图；

图7是表示图6的电极结构的主要部分的透视图；

图8A是表示在本发明另一实施例的显示装置中采用的Al/Cr两层薄膜结构的放电保持电极的剖面图；

图8B是表示在本发明另一实施例的显示装置中采用的Cr/Al/Cr三层薄膜结构的放电保持电极的剖面图；

图9是用于说明放电保持电极和放电启动地址电极之间的电极距离的图；

图10A和图10B是用于说明放电电极之间的电极距离与电介质层厚度之间关系的图；

图11是表示本发明实施例的荧光表面结构的透视图；

图12是本发明另一实施例的显示装置的电极基板的制造工艺图，其中图12A是平面图，图12B是沿图12A中C-C线剖切的剖面图；

图13是本发明另一实施例的显示装置的电极基板的制造工艺图；其中图13A是平面图，图13B是沿图13A中C-C线剖切的剖面图；

图14是本发明另一实施例的显示装置的电极基板的制造工艺图，其中图14A是平面图，图14B是沿图14A中D-D线剖切的剖面图；

图15是本发明另一实施例的显示装置的电极基板的制造工艺图，其中图15A是平面图，图15B是沿图15A中D-D线剖切的剖面图；

图16是本发明另一实施例的显示装置制造工艺的图，其中图16A是平面图，图16B是主要部分的侧视图；

图17是本发明另一实施例的显示装置制造工艺的图(主要部分的侧视图)；和

图18是本发明另一实施例的显示装置制造工艺的图，其中图18A是平面图，图18B是主要部分的侧视图。

具体实施方式

首先，概要说明本发明。

根据本发明的显示装置，在利用等离子体放电的交流驱动型显示装置中，这样配置显示装置，即在一个基板上形成由多个放电保持电极组成的放电保持电极组和由多个地址电极组成的地址电极组，同时连续地形成通过绝缘层跨过放电保持电极组的地址电极组和由多个放电启动地址电极组成的包括部分地址电极组的放电启动地址电极组，放电保持电极组和放电启动地址电极组在同一平面上形成，并在放电保持电极组、地址电极组和放电启动地址电极且上形成电介质层。

可以在与该一个基板相对的另一个基板上形成受等离子体放电产生的紫外线激发发光的荧光层。可以由透明导电膜或Al、Cr、Au、Ag、以及Cr和Al的叠层例如Al/Cr两层结构、Cr/Al/Cr三层结构等构成放电保持电极组。

当由Cr和Al的叠层构成放电保持电极组时，可以从其接线端部分除去表面氧化膜。

地址电极组和放电启动地址电极组可以由金属例如Al、Ag等构成。

在电介质层的表面上，可以形成保护电介质层和降低功函数的MgO膜。

可以在每个单元放电区中形成一个基板侧上的放电启动地址电极，在另一基板上形成隔板，在相邻隔板之间形成荧光层，并以各隔板和各地址电极相互对应的方式把一个基板和另一个基板密封。

在放电保持电极中，可以将成对形成的第一放电保持电极和第二放电保持电极之间的距离设定得小于50μm，例如5μm至20μm，还可小于5μm和小于1μm。

可以将成对形成放电保持电极组的第一放电何持电极与第二放电保持电极之间的距离和放电启动地址电极与放电保持电极(即成对形成的一个放电保持电极)之间的距离设定得大体相互相等，即彼此相等或距离相互接近。

在放电保持电极即成对形成的一个放电保持电极和放电启动地址电极之间的距离可以在成对形成放电保持电极组的第一放电保持电极和第二放电保持电极之间距离的±30％内。

再有，成对形成的放电保持电极组的第一放电保持电极与第二放电保持电极之间的距离和一个放电保持电极与放电启动地址电极之间的距离都可以在最佳值的±30％内。

在对一个基板和另一个基板进行密封所形成的气密容器即放电空间中，可以密封气体压力达到0.8至3.0atm的方式密封He、Ne、Ar、Xe、Kr中的多于一种的气体。

在放电保持电极上的电介质层的厚度和在放电启动地址电极上电介质层的厚度最好选择小于电极之间的距离，即成对形成的第一放电保持电极与第二放电保持电极之间的距离和成对形成的一个放电保持电极与放电启动地址电极之间的距离。

本发明的显示装置可以用于任何彩色显示装置和单色显示装置。

在彩色显示装置的情况下，例如将一组红、绿、蓝单元放电区(所谓像点)形成一个像素(图像元)。在单色显示装置的情况下，一个单元放电区形成一个像素(图像元)。

图4至图6表示本发明实施例的显示装置。在该实施例中，本发明用于彩色AC型显示装置。

在该显示装置21中，通过形成由多个带状放电保持电极I[I₁、I₂、...I_m]构成的放电保持电极组、由多个带状地址电极J[J₁、J₂、...J_n]构成的地址电极组和由在作为一个基板的第一绝缘基板(例如，玻璃基板)上形成各地址电极的一部分的多个放电启动地址电极K[K₁₁、K₂₁、...K_n1、K₁₂、...K_n2、...K_1m、...I_nm]构成的放电启动地址电极组，构成所谓的电极基板23。形成所谓的荧光基板26，在该基板26中，在作为与电极基板23相对的另一基板的第二绝缘基板(例如，玻璃基板)24上形成荧光层25。气密性密封该电极基板23和荧光基板26，形成显示装置。

如图6所示在基板22的表面上排列放电保持电极组，以使在开始放电后，形成维持放电的成对的放电保持电极I₁和I₂、I₃和I₄、...、I_m-1和I_m。

地址电极组的各地址电极J₁、...、J_n是用于指示显示地址的电极，沿放电保持电极I[I₁、I₂、...I_m]的纵长方向以预定间隔跨过放电保持电极组排列该电极。

放电启动地址电极组的各放电启动地址电极K[K₁₁、...K_nm]是使地址电极与放电保持电极(I₁、I₂)、(I₃、I₄)、...(I_m-1、I_m)的一个电极例如放电保持极I₂、I₄、...I_m之间开始放电的电极，按照各单元发光区排列放电启动地址电极。

由各个相应的地址电极J[J₁、...J_n]连续和一体地形成放电启动地址电极K[K₁₁、...I_nm]。

亦即，地址电极J₁和放电启动地址电极K₁₁、K₁₂、...K_1m共同形成为一体，地址电极J₂和放电启动地址电极K₂₁、K₂₂、...I_2m共同形成为一体，...，地址电极J_n和放电启动地址电极K_n1、K_n2、...K_nm共同形成为一体。

如图6和图7所示，形成地址电极J[J₁、...J_n]，以便通过带状绝缘层27按地址电极与放电保持电极I[I₁、...I_m]电绝缘的方式，跨过例如垂直于放电保持电极I[I₁、...I_m]。在基板22的表面上延伸与地址电极J[J₁、...J_n]形成为一体的放电启动地址电极K[K₁₁、...K_nm]，使其沿绝缘层27的侧表面与相应的放电保持电极I₂、I₄、...I_m相对。

因此，在基板22的同一表面上形成放电保持电极I[I₁、...I_m]和放电启动地址电极K[K₁₁、...K_m]。

在包括放电保持电极I[I₁、...I_m]、地址电极J[J₁、...J_n]和放电启动地址电极K[K₁₁、...K_nm]的整个表面上形成有预定厚度的电介质层28。在作为保护膜的电介质层28的表面上，形成可通过降低功函数来降低放电启动电压的氧化镁(MgO)膜29。在这种情况下，可以将MgO膜29形成在除带状地址电极J₁、...J_n之外的电介质层表面上，以保护地址电极J₁、...J_n不受放电侵害。

接着，如图9所示，将形成各对的放电保持电极之间的距离d₁和放电保持电极的其中之一与相对于该电极的放电启动地址电极之间的距离d₂设定为大体相互相等(即彼此距离相等或距离相互接近)。

放电保持电极的其中之一与放电启动地址之间的距离d₂可以在成对形成的放电保持电极之间的距离d₁的±30％内。

如下式(1)所示，将在以后说明的密封气体压力可按这样的方式设定，即，根据帕邢定律(Paschen’s law)使密封气体压力P和放电电极距离d的积变为常数。

Pd＝常数 ...(1)

距离d₂可以在当密封气体压力为常数和放电启动电压设定成帕邢最小值时的距离的±30％内。

再有，电极距离d₁和d₂都可以在最佳值(等价于将放电启动电压设定成帕邢最小值时获得的距离)的±30％裕度内。

可以将成对的放电保持电极I₁和I₂、I₃和I₄、...、I_m-1和I_m之间的距离d设定得小于50μm，例如设定成5μm至20μm，还可设定得小于5μm、小于1μm。根据该距离d₁确定距离d₂。

当起电介质层作用的膜的厚度，即MgO膜29的厚度过薄并因此被忽略时，应该将电介质层28的膜厚度t₁选择得小于同一表面上放电启动地址电极与放电保持电极的其中之一之间的距离d₂和成对的放电保持电机有之间的距离d₁。

亦即，如图10A所示，当在基板41上形成成对的放电电极42和43和在放电电极42和43上形成电介质层44时，如果假设放电电极42和43之间的距离为d。假设相应的放电电极42和43上的电介质层44的厚度为t，并满足2t＜d，那么在两个电极42和43之间的放电可出现的电介质层44上。

另一方面，如图10B所示，如果电介质层44的厚度t大并满足2t＞d，那么在两个电极42和43之间的放电在电介质层44内出现，电介质击穿出现在两个电极42和43之间。因此，在本实施例中，将电介质层28的膜厚度t₁设定得小于距离d₁和d₂，即满足不等式2t₁＜d₂t₁＜d₁。

另一方面，如图5和图11所示，与第二绝缘基板24一体地形成多个带状隔板30，以便划分各相邻的单元放电区，荧光层25淀积于相邻的隔板30内。亦即，按顺序重复地形成红(R)荧光层25R、绿(G)荧光层G和蓝(B)荧光层25B。将隔板30的宽度形成得大于图5中所示的地址电极[J₁、...J_n]的宽度。

然后，将在第二绝缘基板24上形成荧光层25的所谓荧光基板26和在第一绝缘基板22上形成放电保持电极组、地址电极组和放电启动地址电极组的所谓电极基板23按这样的方式密封在一起，即各隔板30被放置在相应的地址电极J₁、...J_n上。把预定的气体封入由两个基板26和23构成的气密性容器即放电空间中。

作为密封的气体，可以使用He、Ne、Ar、Xe、Kr中的多于一种的气体。例如，主要采用例如氖(Ne)/氙(Xe)/氩(Ar)/氙(Xe)等混合气体制成的潘宁气体。

隔板30的表面可制成黑色，以增加图像显示时的对比度。

下面说明这种显示装置的工作。

当把保持放电的放电保持电压施加给成对的放电保持电极I₁和I₂，以及将用于启动放电的、高于放电保持电压的放电启动电压通过地址电极J₁施加给放电启动地址电极K₁₁和一个放电保持电极I₂时，在一个放电保持电极I₂和放电启动地址电极K₁₁之间开始放电后，通过在成对的放电保持电极I₁和I₂之间产生的放电产生等离子体，由等离子体产生的紫外线激发相应部分的荧光层25[25R、25G、25B]发光。因此，通过按顺序地选择相应的地址电极J₁、J₂、...J_n，和施加放电启动电压，以及将放电保持电压按所述顺序施加给成对的放电保持电极I₁和I₂、I₃和I₄、...I_m-1和I_m列，就可以进行预定的彩色显示。

亦即，在一个像素的放电区中，利用基于等离子体放电产生的紫外线照射，使设置在隔板30之间的红(R)、绿(G)和蓝(B)三个荧光层25R、25G和25B被激发，发出各颜色光，从而产生彩色显示。

其中，为了使放电发生在预定地址部分的像素上，使该像素发光，例如将脉冲施加给地址电极[J₁、...J_n]，从而在该位置的像素的放电启动地址电极[K₁₁、...J_nm]与一个放电保持电极[I₂、I₄、...I_m]之间开始放电。

当从显示装置212中的电极基板23侧观察显示时，期望放电保持电极I₁、I₂、...I_m应该由透明的导电膜构成。再有，当从荧光基板26侧观察显示时，放电保持电极I₁、I₂、...I_m可以由具有低阻值的金属等构成以反射光。

在显示装置21中，在基板23上形成放电保持电极[I₁、...I_m]之后，当通过焙烧例如玻璃膏形成带状绝缘层27时，有放电保持电极[I₁、...I_m]在焙烧温度(约600℃)下被氧化的危险。

因此，鉴于上述方面，按照本发明的另一实施例，期望放电保持电极[I₁、...I_m]由Cr或Al的叠层构成，例如Al/Cr两层膜结构，如图5A所示，其中下层是Al膜47，上层是Cr膜48，或例如Cr/Al/Cr三层膜结构，如图5B所示，其中Al膜47被上下Cr膜48夹持。

下面将说明显示装置21的制造方法例，在该显示装置21中放电保持电极I₁、...I_m由Cr和Al的叠层构成。

图12至图15表示电极基板23的制造工艺。

首先，如图12A和图12B所示，在第一基板例如玻璃板22的一个表面上，形成例如Al/Cr两层膜结构或Cr/Al/Cr三层膜结构的放电保持电极[I₁、...I_m]。

然后，如图13A和图13B所示，在地址电极形成位置上形成带状绝缘层27。使其跨过放电保持电极[I₁、...I_m]。

按这样的方式形成该绝缘层27，即，将例如光敏玻璃膏涂敷在整个表面上[80℃，20分钟]，曝光，显影和在约600℃焙烧。

在绝缘层27的焙烧处理中，仅使放电保持电极[I₁、...I_m]上层的Cr膜28的表面氧化。因此不存在导致整个放电保持电极[I₁、...I_m]被氧化以产生不良导体的缺点。

接着，如图14A和图14B所示，在绝缘层27上和玻璃基板22的部分表面上，形成例如Al膜的地址电极[J₁、...I_n]和按同样的工艺同时在其上连续地形成放电启动地址电极[K₁₁、...K_nm]。

亦即，在带状绝缘层27上形成带状地址电极J₁、...J_n，在沿绝缘层侧表面从地址临时性极J₁、...J_n至相对放电保持电极I₂、I₄、...的位置的玻璃基板表面上形成放电启动地址电极J₁₁、...J_nm。

随后，如图15A和图15B所示，除了至少放电保持电极[I₁、...I_m]接线端部分(未示出)和地址电极[J₁、...J_m]接线端部分(未示出)外，在显示区的整个表面上形成电介质层28。此外，在电介质层上形成MgO膜29作为保护膜，从而形成电极基板23。

另一方面，尽管未示出，但在第二基板例如玻璃板24上形成隔板30，并形成荧光基板26，在该基板26中，在各隔板30内形成荧光层25[25R、25G、25B]。

接着，如图16A和图16B所示，精确地放置电极基板23和荧光基板26，使各隔板30与相应的地址电极J₁、...J_m的位置一致，并按这样的方式用玻璃熔料气密性密封其周边部分，即放电保持电极[I₁、...I_m]的接线端部分51和地址电极[J₁、...J_m]的接线端部分52面朝外部。随后，对气密容器内部中的放电空间抽真空，将上述放电气体封入抽过真的放电空间，并封口。

在用玻璃熔料密封周边部分后，如图17所示，除去面向外部的放电保持电极[I₁、...I_m]接线端部分51表面上的氧化膜53。

这样，如图18A和图18B所示，可以获得预定显示装置21，其中放电保持电极[I₁、...I_m]由Cr和Al叠层构成，和进行密封，然后除去接线端部分51表面上的氧化膜53。

在图18的显示装置21中，观看显示的方向是荧光基板26侧。在这种情况下，如果在电极基板23侧形成由Al膜等构成的反射膜，例如将Al膜(反射膜)淀积在玻璃基板22的整个内表面上，和通过绝缘膜在该Al膜上形成电保持电极[I₁、...I_m]等，那么发射光中朝向电极基板23侧传送的光由反射膜反射，并被导向荧光基板26侧，使观看者可以荧光基板26侧观看亮度增加的显示图像。

按照上述显示装置21，由于在同一基板上形成放电保持电极组[I₁、I₂、...I_m]、放电启动地址电极组[K₁₁、...K_nm]和地址电极组[J₁、J₂、...J_n]，即在与该第一基板22相对的第二基板24上形成第一基板22和荧光层25，所以即使在相应的成对放电保持电极I₁和I₂、I₃和I₄、...I_m-1和I_m之间的距离d₁和在放电启动地址电极[K₁₁、...K_nm]与一个放电保持电极[I₁、I₄、...I_m]之间的电极距离d₂相差很远，也可以通过第二基板24侧的隔板30维持等离子体放电空间。亦即，由于在远离等离子体的位置上形成荧光层25，所以可以防止由放电产生的等离子体与荧光层25接触，因此，可以防止等离子体中的电荷粒子的轰击荧光层25，可以防止荧光层25劣化。因此，可以获得很薄和高分辨率的等离子体显示装置。

由于在同一基板即第一基板22上形成放电保持电极组[I₁、...I_m]、地址电极组[J₁、...J_n]和放电启动地址电极组[K₁₁、...K_m]，在第二基板24侧形成隔板30和荧光层25，和密封两个基板22和24，从而可以获得这样的显示装置21，在该显示装置21中可确定排列的电极之间的精确位置，可获得密封两个基板22和24时所需要的精确定位，可获得空间间隔的大裕度范围，可以充分的自由度进行形成电极的工艺和密封两个基板的工艺。因此，可以提高显示装置21的生产率，降低其成本。

由于在第一基板22的同一表面上形成放电保持电极组[I₁、...I_m]和放电启动地址电极组[K₁₁、...I_nm]、所以可以高精度地设定在成对的放电保持电极组之间的距离d₁和在一个放电保持电极I与放电启动地址电极K之间的距离d₂。

由于同时连续地形成地址电极J和放电启动地址电极K，所以与单独形成地址电极J和放电启动地址电极K然后将两者连接起来的构造相比，可以简化电极结构，可以使地址电极昨放电启动地址电极K高可靠地导通。此外，可以简化电极制造工艺。

接着，当放电保持电极[I₁、...I_m]由Cr和Al的叠层例如Al/Cr两层结构或Cr/Al/Cr三层结构构成时，由于在形成地址电极J之前的焙烧处理中形成带状绝缘层27，所以仅氧化上Cr膜28的表面，从而可以避免氧化和升华放电保持电极[I₁、...I_m]。

在这方面，例如为了防止放电保持电极[I₁、...I_m]被氧化和在约600℃下焙烧绝缘膜27的处理中变成不良导体，当放电保持电极[I₁、...I_m]由Al单层膜构成时，考虑这种构造，即在形成放电保持电极I和放电启动地址电极K之后，在整个表面上形成由SiO₂等构成报废止氧化的绝缘膜，形成绝缘层27，然后再形成地址电极J。在这种情况下，需要形成穿过绝缘层的接触孔，以便使地址电极J和放电启动地址电极K之间导通的工艺。但是，按照本实施例，每个放电保持电极I由Cr和Al的叠层构成，不需要形成这种绝缘膜，所以不必进行形成穿过绝缘膜的接触孔的工艺处理，从而简化了工艺。

此外，当放电保持电极I由Cr和Al的叠层构成时，在将基板23和荧光基板26密封在一起后，如果除去放电保持电极I的接线端部分51表面上的氧化膜53，那么可以高可靠地进行接线端部分51和外部连接之间的成功互连，即高可靠性地互连接线端部分和外部。

因此，可以提供高清晰度和高可靠性的显示装置。

由于高精度设定各成对的放电保持电极I之间和与放电启动地址电极K之间的距离d₁、d₂，所以可以防止因组装电极基板23和荧光基板26时引起的误差所产生的光发射的波动。

亦即，即使倾斜地组装荧光基板26与电极基板23并且在单元放电区中电极和荧光层之间的间隔有波动，在各单元放电区中电极距离d₁、d₂仍是相同的，和保持放电条件相同。此外，由于在密封气体中紫外线的透射率令人满意，所以可以防止发射光亮度波动，可以使整个显示区以均匀亮度发光。因此，实际的优点在于可以容易地制造这种显示装置21。

由于氧化镁(MgO)膜29起到降低功函数的作用，所以如果在电介质层28的表面上形成氧化镁膜，那么可以容易地产生放电。

由于使电极距离d₁、d₂小于50μm，例如5μm至20μm，还可以降低至小于5μm和小于1μm，所以可以获得更高分辨率的显示装置。

如果使电极距离d₁、d₂小于50μm，例如5μm至20μm，还可以降低至小于5μm和小于1μm，和使密封气体压力增加到0.8至3.0atm.，结果，产生大量的紫外线，使荧光层35以高亮度发光。

如果放电保持电极与放电启动地址电极之间的距离d₂在成对的放电保持电极之间距离d₁±30％内，那么可以根据距离d₂平滑地改变放电启动电压，可以按增加的自由度设定驱动条件。

再有，如果电极距离d₁和电极距离d₂都在最佳值的±30％内，那么可以将放电电压的波动抑制得很小。因此，在制造上，可以按充分的自由度形成放电保持电极[I₁、...I_m]和放电启动地址电极[K₁₁、...K_nm]。

由于通过由电介质层28构成的绝缘层在放电保持电极[I₁、...I_m]上形成地址电极[J₁、...J_n]，所以可使放电保持电极[I₁、...I_m]和跨过放电保持电极的地址电极[J₁、...J_n]相互高可靠地绝缘并可防止它们之间的短路。

由于电介质层28的厚度t₁小于电极距离d₁和d₂，所以可以在电介质层以上产生放电。亦即，在电介质层28内的电极之间不产生放电，因此，可以在电介质层之上产生放电，而不会造成成对的放电保持电极之间或一个放电保持电极与放电启动地址电极之间的电介质击穿。

由于在第二基板24侧的隔板30被形成在相对于第一基板22侧的地址电极[J₁、...J_n]的位置上，和隔板30的宽度形成得宽于地址电极[J₁、...J_n]的宽度，所以可以增大单元放电区的开口，使放电变得难以直接在地址电极[J₁、...J_n]上产生，因而可防止交优(cross-talk)。再有，利用隔板30，可以充分地保持放电空间。

由于利用电极基板23和其上形成隔板30及荧光层25的对置荧光基板26，可以保持等离子体放电空间，所以可以辐射足够的紫外线，在相邻的隔板30内可以整个地形成荧光层25，可以获得高亮度的显示，以及获得大面积的荧光层25。

本发明可用于上述实施例的彩色AC型PDP，同时本发明还可用于单色AC型PDP。

再有，尽管本发明被用于上述实施例中使荧光层激发光的显示装置，但本发明并不限于此，本发明还可用于不形成荧光层和通过等离子体放电发光的显示装置。

按照本发明的显示装置，在利用等离子体放电的交流驱动型显示装置中，由于在一个相同的基板上形成放电保持电极组和地址电极组，所以即使当地址电极与放电保持电极之间的电极距离减小得过多时，也可以保持等离子体放电空间。因此，可以使显示装置变得很薄和使像素分辨率变高。

由于可以同时连续地形成通过绝缘层距过放电保持电极组的地址电极组和放电启动地址电极组，从而可简化电极结构，并可简化电极形成工艺。

而且，由于在一个基板的同一表面上形成放电保持电极组和放电启动地址电极组，所以可以高精度地设定各成对的放电保持电极之间的距离和一个放电保持电极与放电启动地址电极之间的距离。

因此，可以较大自由度进行形成电极的工艺处理和将一个基板与另一相对的基板等密封的工艺处理。因此，可以增加利用等离子体放电的显示装置的生产率，降低其成本。

由于相互交叉地形成放电保持电极组和地址电极组并在它们之间形成绝缘层，所以可以防止放电保持电极且和地址电极组短路。

由于在一个基板上形成放电保持电极组、放电启动地址电极组和地址电极组，在与其相对的另一基板上形成荧光层，所以即使当电极距离减小得过多时，也可以保持等离子体放电空间，通过由等离子体产生的紫外线使荧光层受激发光。

而且，由于防止荧光层与放电产生的等离子体接触，所以防止荧光层劣化，因此适合基于荧光材料发光且很薄和使像素为高分辨率的显示装置。

当放电保持电极组由Cr和Al的叠层构成时，在形成绝缘层时所需的焙烧工艺处理中，仅氧化叠层的表面，从而防止整个放电保持电极被氧化。同时，可防止放电保持电极组的整个接线端被氧化。因此，可以提供高可靠的显示装置。

当放电保持电极组由Cr和Al的叠置膜构成并除去接线端表面上的氧化膜时，可以高可靠进行放电保持电极组的接线端部分和外部的互连。

尽管参照附图已经说明了本发明的优选实施例，但应该明白，本发明并不限于上述实施例，本领域的技术人员可以进行各种变化和变更，而不脱离如所附权利要求书限定的本发明的精神或范围。

Claims

1.一种利用等离子体放电的交流驱动型显示装置，其中，在一个基板上形成由多个放电保持电极组成的放电保持电极组和由多个地址电极组成的地址电极组，同时连续地形成通过绝缘层跨过所述放电保持电极组的所述地址电极组和由多个放电启动地址电极构成的包括部分所述地址电极组的放电启动地址电极组，其特征在于：

在同一平面上形成所述放电保持电极组和所述放电启动地址电极组，

在所述放电保持电极组、所述地址电极组和所述放电启动地址电极组上形成电介质层，和

在与所述一个基板相对的另一基板上形成的荧光层。

2.如权利要求1的显示装置，其特征在于，所述放电保持电极组由Cr和Al的叠层构成。

3.如权利要求2的显示装置，其特征在于，由Cr和Al的所述叠层构成的所述放电保持电极组有从其上除去表面氧化膜的接线端部分。