TWI373806B - - Google Patents

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TWI373806B
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Daisuke Shiraishi
Shoji Ikuhara
Akira Kagoshima
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    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
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    • H01J37/32917Plasma diagnostics
    • H01J37/32935Monitoring and controlling tubes by information coming from the object and/or discharge
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