TWI330253B - - Google Patents

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1330253 v 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於端面部份被研磨為略圓的圓弧狀，或 具有接合部的玻璃基板的端面’以及研磨面和玻璃面間的 境界線部份的各種的缺陷，特別是被稱為瑕疵、蛤狀的破 片（以下稱為蛤狀邊緣缺陷[η γ ])、破片、研磨殘餘、未 研磨、或燒傷缺陷之測出裴置及測出方法。 【先前技術】 被成形以帶（ribbon)狀被搬送的玻璃板係在以矩形 狀切斷為所需要的尺寸的狀態下，藉由盤（plate)等的保 管谷器被保管、或被出貨。此時，根據使用用途目的，將 切斷後的玻璃板的端面邊緣部藉由鑽石輪（diam〇nd wheei) 作去角加工（接合），或端面的剖面成為圓弧狀般作研磨加 工，以成為半透明的磨砂玻璃狀的方式研磨端面。此結果 使玻璃板的處理作業時的傷害的發生被防止，安全被確 保’又，根據玻璃板的端面的強度降低造成的破損和商品 價值降低被防止。 進行此接合加工和端面加工時，在玻璃板的端緣部 伤’有因為藉由鑽石輪的損耗造成的研磨不良和由於缺點 造成的瑕疫和破片的發生。 特別是液晶顯示器用玻璃基板和電漿顯示器用玻璃 基板、場放射（field emissi〇n)顯示器基板、有機el等 的平面顯示器面板等的顯示用基板等的玻璃基板的製造 7042-7711-PF 5 1330253 ’將該玻璃基板作南溫加熱處理時 理時’存在玻璃板的 會有玻璃基板破損的 製程中 面接合部的微細的瑕疲或破片時、 問題發生。 作為此玻璃板的端面部的缺陷的測出方法，各種的方

在邊緣的缺陷照明，將此藉由照相機拍攝，處理此影像， 調查缺陷的有無的玻璃板的邊緣缺陷測出方法被揭露。上 述光源由於係在照相機的視野之外，自照相機所見，在玻 璃板的陰暗處被配置。在上述影像中，在玻璃板的表面並 列的邊緣的一般面係變暗，在邊緣存在的缺陷變亮般，藉 由將自光源到照相機的光量縮小調整，光學地測出破片。 又’在由本申請人申請的曰本特開平6_258 231號公 報中，在將邊緣部份被去角且具有接合面的玻璃以水平載 置的狀‘4下，將該邊緣部份的缺陷測出的裝置被揭露。此 測出裝置係具有在該邊緣部份，自將和板玻璃相反側的上 下傾斜方向的兩方向照射光的光源，以及在玻璃邊緣被照 射的光路的延長領域的範圍之外’將板玻璃面以及接合面 的光源側的角落部份自和光的照射方向相反側，經由板玻 璃透明部份’拍攝邊緣部份的至少兩台照相機。根據該照 相機拍攝的影像信號的亮信號的大小，邊緣部份的缺點被 識別。 又’在日本特開2003-247953號公報中，液晶面板的 7042-7711-PF 6 1330253 v 外觀檢查方法、和裝置被揭露。在液晶面板的外觀檢查裝 置方面，較液晶面板的外型大的口徑的環狀照明燈在該液 晶面板的外週被配置。又，液晶面板的外觀檢查方法係包 括：在該液晶面板的正上方配置拍攝裝置的製程；將亮燈 . 的環狀照明燈的照明光向液晶面板的端面照射，將以照明 光被照射的液晶面板的侧面的反射光藉由拍攝裝置拍攝 的製程；影像處理裝置將藉由拍攝裝置拍攝的影像放入作 為二值化，由在影像中呈現的框狀的白影像測出液晶面板 φ 的外形形狀，由此以外的白影像的有無測出液晶面板的端 面的破片、破損的製程。 在上述日本特開2001-153816號的缺陷測出方法中， 對於玻璃板的略圓的端面，藉由自傾斜下方的照明，玻璃 板下面被照射，只有在玻璃板的邊緣出現的破片會發生， 玻璃板的其他部份全變暗。因此，各種缺陷中，雖然可測 出有關發光的破片，但有無法測出稱為瑕疵、未研磨、和 燒傷的其他缺陷的問題點。 ® 又，在日本特開平6-258231號的裝置中，將板玻璃 的表裏兩面的邊緣的稜線部份傾斜，對於研削切割的接合 部’照明光係自斜上方、和斜下方的兩方向被照射。因此， 可測出某程度玻璃板的接合部的瑕疵、燒傷。然而，在玻 璃板的端面為略圓的液晶顯示器用玻璃基板和電漿顯示 器用玻璃基板等的平面顯示器面板等的玻璃基板的製造 製程中’由於該玻璃基板被高溫加熱處理，即使在玻璃板 的端面和接合部具有微細的瑕疵和破片時，玻璃板的破裂 7

7042-7711-PF 1330253 發生的疑慮大。因此，在電漿顯示器面板等的玻璃基板的 製造製程中，必須較包含以瑕疵和燒傷為宜，破片、未研 磨等的缺陷以較曰本特開平6-258231號的裝置更高性能 的方式進行微細的缺陷的檢測。 又’在日本特開2〇〇 3-247953號的裝置和方法中，較 液晶面板的外型大口徑的環狀照明燈在該液晶面板的外 週被配置，照相機僅被設置在液晶面板的中心部的上方， 同時地檢查液晶面板表面的瑕疫、破裂、破片以及端面的 破裂、破片的兩方。因此，對應液晶面板的尺寸變化，環 狀照明燈也必須變更。 且，液SS面板通常為矩形狀，由於在其外週部配置環 狀的照明光，液晶面板和環狀照明間的間隔不是一定，在 液晶面板的端面被照射的照度不是一定。 又，因為伴隨著液晶面板的大型化，環狀照明也大型 化，所以設備的大型化無法避免，因為照相機也僅在液晶 面板的中心部的上方設置，拍攝端面部的角度會變化而有 籲端面的微細的瑕疲、研磨殘留、未研磨、燒傷等高精度的 缺陷檢測恐怕不行的問題點。 其他在玻璃基板的端面全週藉由圓形狀以略圓的形 狀被研磨加工的情形中，例如，將環狀照明在玻璃基板的 一面側配置，自其中心拍攝端面部的影像的話，端面表面 係部份地變得很亮，使端面的照度均勻而一定化係困難， 又，將端面的缺陷、以及研磨面和玻璃面的境界線部的缺 陷，以同一光學系統測出係困難。 、 7042-7711-PF 8 1330253 本發明的一或一以上的實施例係有關於在液晶顯示 器用玻璃基板和電毁顯示器用玻璃基板、場放射顯示器基 板、有機EL等的平面顯示器面板等的顯示用基板等的玻 .璃基板的略圓的端面部’提供將瑕疫、破片、研磨殘留、 . 未研磨、以及燒傷等的各種缺陷，且藉由上述研削或研磨 將略圓的端面和玻璃板的上下兩面之間的境界線部份的 給狀邊緣缺陷和破片，可同時且確實地高精度地測出的玻 • 璃板之缺陷測出裝置及測出方法。 根據本發明的一或一以上的實施例，玻璃板之端面缺 ’則出裝置係包括：拍攝裝置’包括較玻璃板的端面外側 且由表裡兩面的傾斜兩方向將玻璃板的端面部份拍攝的 至少兩台的CCD照相機；照明裂置，其中至少包括藉由在 中〜軸方向可照射照明光，且具有狹縫狀的缺口部的約略

C子形狀的環照明；以及影像處理裝置，處理藉由上述CCD ·’、’、相機拍攝的拍攝信號以判定該端面部的良否。玻璃板的 上述端面以和上述環照明的中心轴-致般，在上述開口狹 2 内被可移動地插入’上述照明裝置係在上述端面照射 射光，上述端面藉由上述拍攝裝置被拍攝得到的影像信 號藉由上述影像處理裝置處理’以測出上述端面的缺陷。 *又，根據本發明的一或一以上的實施例，上述玻璃板 的端面被去角’具有由圓弧狀的端面或平滑的稜線部構成 的端面也可。 又，根據本發明的一或一以上的實施例上述照明裝

7042-7711-PF 9 1330253 置係具有在上述玻璃板的端面的缺陷檢查對象部份的左 右兩側附近位置被配置的兩個c字狀的環照明也可。各環 照明係照射上述缺陷檢查對象部份。 又，根據本發明的一或一以上的實施例，上述照明裝 置係又方*7具有自上述玻璃板的在表裏兩面的傾斜兩方 向在玻璃板的端面部份照射照射光的擴散透過光源。 又’根據本發明的一或一以上的實施例，上述環照明 係亦可具有以同心圓狀被配設的複數的LED元件。 又，根據本發明的一或一以上的實施例，玻璃板之端 面缺陷測出裝置更包括以玻璃板的側邊與搬送方向平行 的方式搬送玻璃板的搬送裝置也可。上述照明裝置和上述 拍攝裝置係在上述玻璃板的兩側邊的各端面附近位置分 別被配置也可〇 又根據本發明的一或一以上的實施例，上述照明裝 置和上述拍攝裝置係在機器人（robot)的把手（handle)被 文裝也可使上述把手沿著玻璃板的外周端面順序移動， 將玻璃板的端面部份順序拍攝，將拍攝的影像信號藉由影 像處理裝置順序處理也可。 又，根據本發明的一或一以上的實施例，玻璃板之端 面缺陷測出裝置包括：第一缺陷檢查裝置，將和搬送中的 玻璃板的搬送方向平行的側邊的端面檢查，對於搬送被固 疋，以及第二缺陷檢查裝置，將和搬送中的玻璃板的上述 搬送方向正交的側邊的端面檢查’對於玻璃板可移動。上 述第缺^檢查裝置和上述第二缺陷檢查裝置係分別具

7042-7711-PF 10 1330253 備上述照明裝置和上述拍攝裝置。 根據本發明的-或—以上的實施例，玻璃板之端面缺 陷測出方法，在c字形狀的環照明的開口狹縫部内，可移 動地插入於玻璃板的端部，將上述端面部的位置和環照明 的中心軸的位置重疊的端面位置作為檢查對象部份，照射 :照明的照射光’將上述端面部藉由兩台⑽照相機拍 攝，將拍攝的影像信號的濃淡水準與上限和下限的兩個設 =水準比較’藉由上端水準以上、或下端水準以下的影像 仏號的位置以下的晝素作妹 旦京^虎的位置'大小、形狀，以測出 缺陷的有無種別的步驟。 又，根據本發明的一或—以上的實施例’玻璃板之端 =陷測出方法更包括：藉由搬送裝置，以玻璃板的側邊 ”搬送方向平行的方式搬送玻璃板，在該玻璃板的兩側邊 的各端面附近位置至少具有C字狀的環照明的照明裝置， 字藉由…、明裝置被照射的端面拍攝的拍攝裝置分別配 將藉由拍攝裝置拍攝的端面㈣像藉由料處理裝置 理’测出缺陷的有無的步驟也可。 又，根據本發明的一或一以上的實施例，玻璃板之端 :缺陷树出方法更包括：將至少具有c字形狀的環照明的 上述，明裝置和拍攝藉由照明裝置被照射的端面的拍攝 裝置女裝在機器人的抵手’使上述把手沿著玻璃板的外周 :面順序：動，將玻璃板的端面部份順序拍攝，將拍攝的 號藉由衫像處理裝置順序處理，測出缺 步驟也可。 …、的 7042-7711-pp 11 丄330253 又，根據本發明#-或一以上的實施你！，玻璃板之端 面缺陷測出方法可包括：藉由對於搬送被固定的第一缺陷 檢查裝置檢查與搬送中的玻璃&的搬送方向平行的側邊 端面，藉由對於玻璃板可移動的第二缺陷檢查裝置檢查 與搬运中的玻璃板的上述搬送方向平行的側邊以外的侧 邊的端面的步驟。上述第一缺陷檢查裝置和上述第二缺陷 檢查裝置係分別包括C字型狀的環照明和兩台ccd照相 機。 根據本發明的一或一以上的實施例，作為在玻璃板的 端面照射的光源的配置，將藉由如習知般，玻璃板端面的 外周側方向、或端面的斜上方、或斜下方的限定角度照射 的光源的配置取代，因為將玻璃板的端部以正交在C字形 狀的裱照明的開口狹縫部内的方式可移動地插入，玻璃板 的端部成為該環照明的中心軸上般配置，所以自玻璃板的 端面的上面至下面，成為可均等地沒有亮暗帶地照射光源 在，剖面為圓弧狀的端面因為在此照明配置，自玻璃板的 斜上方和斜下方的兩處以CCD照相機，將上述照明光以沒 有亮暗帶被照射的端部的影像拍攝，可使該端部的瑕疵、 破片、研磨殘餘、未研磨、燒傷等的各缺陷的測出精度提 1¾ 0 又’且，將透過照明比玻璃板的上部和下部朝向上述 端部配置各一組，因為該透過照明的光學系統和上述環照 明的光學系統作為不給予相互影響的配置，即使有關藉由 研削和研磨’在剖面成為圓弧狀的端面、玻璃板的上面、 12 7042-7711-pf 丄分0253 下面之間的境界線部發生的破片和蛤狀邊緣缺陷，因為藉 由測出上述端面的CCD照相機可同時測出，所以檢查裝置 的δ又置空間以最小限度也可。 其他特徵和效果係可由實施例的記載和所附的申請 專利範圍而了解β 【實施方式】 本發明的實施例係將玻璃板的端面部份研削或研 磨’將稜線部份作為平滑的玻璃板2、或將端面部份的剖 面形狀作為圓弧狀的玻璃板2作為水平姿勢的狀態，提供 測出該端面部份的缺陷的裝置。 特別是液晶顯示器用玻璃基板和電漿顯示器用玻璃 基板等的顯示用玻璃基板等係，在其製造製程中，用以防 止根據加熱、冷卻等的過酷的條件的自爆，將玻璃板的端 面與通常的端面相比’作為略圓的剖面圓弧狀的端面的情 況多’照射與端面為圓的剖面形狀配合的形狀的照明光， 在略圓的端面部，均一地照射照明光，不遺漏缺陷的測出 係為必要。 根據本發明的缺陷檢查裝置1的測出對象缺陷係為在 玻璃板略圓的端面部發生的”瑕疵”、”破片”、，，研磨 殘留、未研磨、和燒傷等的表面缺陷8，且為 藉由上述研削或研磨，在略圓的端面和玻璃板的上下 的境界線附近發生的”蛤狀邊緣缺陷，，和”破片，，的邊 緣缺陷9。 7042-7711-PF 13 1330253 該缺陷8、9中，”破片”係如文字了解，邊緣部2b 為缺口狀態的邊緣缺陷9，在邊緣部2b發生，形狀不拘。 又，被稱為蛤狀邊緣缺陷”的缺陷係同樣發生在缺陷部 2b，缺口形狀係以蛤狀的同心半圓狀的圓弧狀缺口的邊緣 缺陷9,藉由照明裝置1〇照射照明光的話，在該部份全體 為發白光的缺陷（參考第1〇圖）。 又，瑕疵，係由擦傷和細線條的瑕疵構成的表面缺 陷8，稱為”燒傷，，的缺陷係在玻璃板2的端面部份的不 透明部份，藉由研磨時的研削具和玻璃板的摩擦熱，玻璃 板的研磨面熔融產生的看起來白白的表面缺陷8,這些的 缺陷係在玻璃板2的端面2a的表面發生。 又，有關”研磨殘餘，，、”未研磨，，的缺陷係為，研 磨不足、或由於未圖示的研磨裝置等的問題而未被研磨的 -P伤即使照射照明光，不會發生白光，相反地，反而以 照相機3拍攝的影像為拍成黑的缺陷，僅在端面部份產生 的表面缺陷8(參考第12圖）。

如第1圖所不般，在較玻璃板2的端面的外側方向， :在玻璃板2的上面、和下面的傾斜方向的兩方向分別配 。又至》由一台的CCD照相機3構成的拍攝裝置，在該上下 兩方向叹置的上述CCD照相機3、3係將玻璃& 2的端面 部份的約略同-部份拍攝的方式配置。 如此第1圖所示般，在使用兩台CCD照相機的情形 中，該CCD照相换ς认— 文裝角度係將玻璃板面在外側延县 的方向作為基準，在砉直工 仕衣義兩面侧以30〜45度程度的角度配 7042-7711-pf 14 1330253 ,希的亦即，將玻璃板以水平載置的情形係，自 水平面在上下兩方向為3〇〜45度程度或為所希望的角度。 如第5圖所示般，將具有在上述照相機3所拍攝 璃板的4^部的略圓的端面2a可照射照明光的狹縫 .·狀的缺口部的約略C字形狀的環照明11配置，將上述玻 璃板2的端面2a藉由研削或研磨作為圓弧狀的端面^、 和上述環”、、明1 1的中心轴約略一致般，在上述環照明1 1 的開口狹縫部12内使玻璃板2的端面2a可移動地插入， •自與該端面2&的剖面圓弧狀部對應的環照明11的各部份 照射照射光，在破璃板2的端部中，玻璃板2的面和環照 明11係為正交的狀態。 在如上述般配置環照明11和玻璃板2的狀態下，設 置處理以上述兩台CCD照相機3拍攝玻璃板2的端面的影 像信號，以檢測該端面2a的缺陷的有無而判定良否的影 像處理裝置4(參考第9圖）。 如第3圖所示般，將上述約略c字形狀的環照明u 籲只在玻璃板2的端面2a的一處配設，在環照明丨丨的中心 軸上，在自環照明11僅偏差些許的位置照射環照明丨丨的 照明光’將以該照明光照射的端面部份作為以CCD照相機 3拍攝的方式，如第2圖所示般，在上述玻璃板2的端面 2a的缺陷檢查對象部份的左右兩側附近位置的兩處可移 動地插入，使根據該兩處的環照明丨丨、丨丨的照射光的照 射位置約略一致，成為根據CCD照相機的拍攝對象部份般 被配置的話，玻璃板2的端面部2a的照度亮暗帶係消失 7042-7711-PF 15 1330253 疋更佳地。此情形’兩個環照明的設置間隔係由確保照相 機的視野角度’從上方為60~90mm程度的範圍是所希望的。 如上述Ac’因為在玻璃板2的略圓的端面部2a，可移 動地插入在c字形狀的環照明u的開口狹縫部12，使端 •. 面部2a的位置和環照明11的中心軸的位置約略一致，即 使該端面2a的剖面形狀係為圓弧狀，在該端面2a以沒有 亮暗帶的照明光被照射（參考第卜6圖）。 在此狀態中’上述水平姿勢的玻璃板2的上下的面、 籲和作為縱姿勢的環照明i i的圓形的假想面、亦即與藉由 環照明11的LED照明安裝側的外徑被形成的面係為正交 的位置關係，且，玻璃板2的端面部的接線和環照明i】 的圓形的假想面也為正交狀態。 藉由根據上述環照明丨丨的照明系統，有關根據在玻 璃板2的端面2a的圓弧狀面發生的研磨的缺陷，照明光 係大致均等被充分照射，可測出瑕疵、破片、研磨殘留、 未研磨、燒傷等的缺陷，有關在藉由研削和研磨，剖面成 ® 為圓弧狀的端面2a、作為玻璃板2的上面、下面之間的境 界線的稜線部2b發生的破片和蛤狀邊緣缺陷（蛤狀的破 片），照明光不旎充分被照射，測出遺漏係可能會發生。 因此，因為有關該稜線部2b的缺陷也確實地測出， 如第1、2圖所示般，在上述環照明加上，在上述玻璃板2 的上方、下方位置，且自上述玻璃板2的端部位置看，在 上下傾斜的兩方向位置設置擴散透過照明丨3、丨3，將該擴 政透過照明13、13的光軸和上述（XD照相機3的光轴作

7042-7711-PF 1330253 為若干偏移角度位置，在玻璃板的圓弧狀端面和上下兩面 的境界部份’自擴散透過照明13、13的光源被照射般配 設。 上述擴散透過照明13係如第1〜3圖所示般，在自玻 璃板2的表裏兩面分離的方向傾斜的方向，使擴散透過照 明13的照明光入射，在玻璃板2的圓弧狀的端面、以 及該端面2a和玻璃面之間的境界線部份（稜線部份）2b作 為被照射般’在擴散透過照明13的發光面分別在玻璃板2 的相反面側被配置的照相機3的視野内，以佔據1 /5〜丨/4 程度的面積的方式被設定。 作為此範圍的理由係上述擴散透過照明1 3的發光面 進入照相機3的視野的面積比1 / 4大的話，稜線部的蛤狀 邊緣缺陷和破片係和擴散透過照明同化而變得沒有區 別’又’在搬送玻璃板進行缺陷的測出的情形中，也有玻 璃板多少也有蛇行被搬送的可能性。 又’上述擴散透過照明13的發光面進入照相機3的 視野的面積比1/5少的話，稜線部2b的蛤狀邊緣缺陷和 破片係不會發光，無法測出同一缺陷。 且’藉由將玻璃板作為水平姿勢的情形詳述的話，例 如，根據在比玻璃板2上方設置的擴散透過照明丨3的照 明光係作為主要被照射在玻璃板2的端面2a、以及該端面 2a和玻璃板2的下面2c之間的境界線部份的方式，根據 在比玻璃板2下方設置的擴散透過照明1 3的照明光係作 為主要被照射在玻璃板2的端面2a、以及該端面23和玻

7042-7711-PF 1330253 璃板2的上面之間的境界線部份的方式。 —上述擴散透過照日月13係利用將遍元件（發光二極體 -件)複數個一—人元的縱橫地配列，在擴散透過照明13的 照相機側面對的寬度’亦即，在端面平行的邊係希望呈有 照相機的視野的兩倍以上的寬度，又，高度係自上述擴散 透過照明13的發光面分別在玻璃板的相反面側被配置的 照相機3的視野内，以佔據1/5〜1/4程度的面積般的關係 的大小也可。 、又，上述C字形狀的環照日月n的光源部份係跨越刚 度以上的角度的半圓以上的形狀也可，較佳的是玻璃板2 的端部可移動地插人的狹縫狀部12之外的其他部份作為 光源的廣範圍。

又，上述環照明11係將高周波螢光燈等作為C字狀 也可’考慮製作的容易性 ' 壽命、破損等的話，如第5、6 圖所示般，將多數的LED元件lla、Ua..1複數列同心圓 狀酉^各LED το件1 ia、Ua...的照射方向係作為可照射 在衣‘、’、月11 @中心軸上的大致同一部份般配列的。字形 狀的照明即可。此情形，根據多數的LED元件lla、lla··. 的各光軸的形狀成為圓錐形狀。 該環照明11的LED元件的安裝角度係使兩個環照明 11相對之時，考慮兩個環照明11、11間的所希望間 隔60 90mm的話，自水平方向作為1〇〜45度為所希望的。 如上述，如第1〜3圖所示般，藉由根據在破璃板2的 端面2a配置的環照明u的照明系統、以及根據自玻璃面

7042-7711-PF 18 1330253 2C的上下傾斜方向的擴散透過照明13的照明系統 ^ 統的照明系統，將被照射的略圓的端面部份、以、兩系 板的上面、下® 2c之間的境界附近部份同時以至坡璃 ⑽照相機3、3拍攝’將分別被得到 二兩台 理裝置料考第9圖)處理，判別缺陷的J像1^像處 又，在上述玻璃板2的傾斜上部側設置的照相機^係 將玻璃板2的端部的被研磨的略圓的端面部份、以’: 端面部份2a和玻璃板2的上面之間的境界附近部份= 部份作為拍攝對象，有關端面部份2a和玻璃板2的下面 :間的境界附近部份，因為由於略圓的端φ 2a的研磨部 份’視野被遮住而拍攝困難。 又，和上述同樣，在玻璃板2的傾斜下部側設置的照 機3係將玻璃板2的端部的被研磨的略圓的端面部份 2a、以及該端面部份2a和玻璃板2的下面之間的境界附 近部份的兩部份作為拍攝對象，有關端面部份2a和玻璃 板2上面之間的境界附近部份，因為由於略圓的端面仏 的研磨部份，視野被遮住而拍攝困難。 藉由上述CCD照相機3被拍攝的影像係如下述般被處 理。 藉由玻璃板2的端部的研削和研磨而略圓的端面2a 係，藉由研磨材的微小的磨砂瑕疵的集合體，成為磨砂玻 螭狀，以照相機3拍攝的影像係被拍出帶有灰色感。將該 端面2a以CCJ)照相機3拍攝的原影像，作為例如，以256 匕調的濃淡水準中最暗的濃淡水準為〇 ,最亮的濃淡水準 7〇42-7711-pf 19 1330253 給狀透緣缺陷 為255的話，有關，，瑕疵 y，’ ，， la 、燒傷，’等的缺陷’如第10圖所示般 水準為’，亮”側的水準“上的”亮，， 成仏 从” 土 儿乜號而破拍出白白 、’研磨”、和”研磨殘留”的缺陷係如第12圖所 示般，成為濃淡水準為”暗”侧的水準“下的”二: 號而被拍出黑黑的。 9 ° 因此’將拍攝的原影像（參考第！◦圖）藉由設定的上 限的濃淡水準作為二值化，將缺陷部份作為，，明” β伤作為冑，對於被得到的：值化影像（參考第η 圖），進行標記uabeling)，藉由作為缺陷部份的,，明” :，畫素的位置、大小，判別，’瑕疵、燒傷，，的，，表面缺 陷、以及”蛤狀邊緣缺陷、破片，，μ” j从 、 類。 您％研陷破片的邊緣缺陷，，的種 亦即，由標記後的，，” 幻月仏唬的位置以及端面加工部 的邊緣之間的距離，可分 J刀別判別缺陷的種類。例如，缺陷 係在端面加工部被包含的情 的，，表面缺陷8”，跨越端二/作瑕"傷” 跨越端面加工部的邊緣，或在比邊緣 外側的情形係，視作，，&纟$ #㈣邊緣缺陷、破片”的”邊緣缺 ra 9 〇 同樣地，將拍攝的原影像（參考第12圖）藉由設定的 下限的遺淡水準而二值化之後作反轉處理，將下限水準以 下的缺陷部份作為，，明，，，正常部份作為，，暗，，，對於被 得到的二值化影像（春者笛 考第13圖），進行標記，藉由作為 缺fc部份的”明，，的當去 —素的位置、大小，判別，，未研

7042-7711-PF 20 1330253 磨、和研磨殘留，’的缺陷和判別、缺陷的有無和種類。 上述叹疋的上限水準、下限水準係每玻璃板2的品種 經驗地設定，可對應必要自由地設定變更。 又’在上述”表面缺陷8”和”邊緣缺陷9”的判定 *基準以外，每以各⑽照相機拍攝的玻璃板的端面的影像 -@視野進行玻璃板的研磨面的粗度等的畫質的檢查。此情 形將視野内的輝度的積算值以視野内的畫素（面積值）除 算，求得平均濃度，將該平均濃度和設定輸入的基準值比 籲較，配合將基準以上作為缺陷的判定基準以進行。 此情形’研磨面的紋理而照出白白的情形，因為畫質 不佳而作為缺陷處理，研磨面的紋理照 形，畫質在基準值内，判定為良品。 … 上述CCD照相機3係至少設置兩台，將在各CCD照相 機3拍攝的原影像放入在影像處理装置4，有關該放入的 原影像，分別對於，，明”側的上限水準、以及，，暗，，側的 下限水準的兩個設定水準個別地作二值化處理以判別缺 癱陷的有無。 >濃淡水準為由下限水準至上限水準内的中間的畫素 係認知為沒有缺陷的正常範圍，即使在超過上限水準的情 形、成為下限水準以下的情形中，也有藉由位置、大小， 而視為在正常範圍，基於在每一品種預先設定的上限水 準、下限水準、以及其他的判定基準，判別良否即可。 上述CCD照相機3係作為二次元的區域（area)照相 機’也可使用線照相機。此情形，必要的話，藉由線照相 7042-7711-pp 21 1330253 機使掃描的影像資料在演算處理裝置5 (參考第9圖）記 憶，在二次元的區域組裝處理般也可。 成為上述對象的玻璃板2係將在端緣部施加去角加工 和端面研磨的玻璃板全體作為對象，特別是對於端面略圓 的剖面形狀的液晶顯示器用玻璃基板和電漿顯示器用玻 璃基板、場放射顯示器基板、有機EL等的平板顯示器等 的矩形狀的各種顯示器基板為有效，且，車輛用的窗玻璃 板般的不同形狀的玻璃板也可。

又’作為將玻璃板2的端面2a的缺陷檢查在全周圍 橫跨進行的方法係如第8圖所示般，在和被搬送的玻璃板 2的搬送方向平行的兩邊的各位置，將至少上述環照明】】 和至少兩個CCD照相機3、3構成的缺陷測出裝置！夾持 玻璃板2般固設，玻璃板2通過該缺陷測出裝置！時，將 玻璃板2的兩邊的端面2a順序檢查之後，玻璃板2的未 檢查的兩邊和搬送方向平行般，將搬送方向變換9〇度，

在該未檢查的兩邊的各位置，將由和上述同樣的照明系統 以及照相冑3構成的缺陷測出裝置1分別配設，玻璃板2 通過該缺陷測出裝f i之時，將玻璃板的兩邊的端面h 順序檢查即可。 或者，將由具備上述至少環照明u的照明裝置1〇和 二相冑3構成的拍攝裝置在未圖示的多關節機器人的 圖丁把手女裝’使該把手沿著玻璃板2的外周端面順序 :動’將玻璃板2的端面全周順序拍攝，將各拍攝的影像 號藉由々像處理裝置4進行端面部2a的缺陷的判別即 7042-7711-pf 22 1330253 tfj- 〇 > 0S HH ifct ，、，、月裝置和拍攝裝置係為可使照明裝置和拍攝裝 置移動的方式的話，即使不是多關節機器人的把手也可， 即使在通常的機器人（例如，直動系統）把手安裝也可。 又，將破螭板搬送中與搬送方向平行的兩邊的端面藉 由第缺陷測出裝置檢查，在玻璃板停止時，將和上述兩 邊正乂的殘留的兩邊的端面藉由第二缺陷測出裝置檢查 般也可* ~

邊將上述玻璃板搬送一邊進行缺陷的測出的情形 係希望將搬送線上以水平姿勢搬送，但—邊將傾斜輸送機 ( yer)上以傾斜姿勢搬送一邊進行缺陷的測出也可。 又在上述詳細的說明中，在將玻璃板以水平姿勢搬 送的情形’關於玻璃板的上下位置、上下方向的記載，在 以傾斜姿勢搬送的情形中，換讀為玻璃板的表裏位置、表 裏方向、或前後位置、前後方向。 又，作為拍攝裝置，將CCD照相機3配置三台的情形 方面’如第4 ®所示般’以將玻璃板以水平載置的例子說 明的話’一台CCD照相機3係配置在外側延長玻璃板面的 角度0的水平方向、且在和玻璃板2的檢查對象邊正交的 方向以拍攝端面的檢查對象部份，其他兩台亦可在玻璃板 面的該端部的正上方向、和正下方向配置。 向配置的CCD照相機3進行玻 的檢查，藉由在上下配置的兩 此情形係藉由在水平方 璃板的圓弧狀的端面的缺陷 台CCD照相機3、3分別推a ★九山τ* * 刀別進仃在端面部2a和玻璃板面之間 的境界線部2b的附近的缺陷的檢查即可。

7042-7711-PF 23 丄）观53 以下說明有關本發明的作用。 如第5、6圖所示般，將環照明u的一部份作為切開 為開縫狀的c字狀的環照明，藉由在該開縫㈣12内， 將上述玻璃;2 @端面告p 2a 4乍為可移動地插入，自配列 為圓弧狀的各LED元件lla的照明光以比較同一條件均等 地照射在將剖面形狀作為約略圓弧狀的端面形狀的各部 份0 亦即，如第6圖所示般，因為上述環照明丨丨係如圓 錐形狀般’朝由環照明U的中心軸偏移一些方向，根據 LED元件11 a的照明光集中照射的方式，所以藉由lED元 件11 a被照射的端面部份2a係沒有照射亮暗帶，在良好 的照明條件下，因為可將該部份以CCD照相機3拍攝，缺 陷的測出遺漏少的檢查為可能。 又’環照明11的照射位置方向係在環照明丨丨的中心 軸上，自環照明11的中心照射在偏移一些的位置也可， 作為環照明11的中心位置也可。此情形係迴避照相機的 %照明，自傾斜橫向看的方式，將端面自傾斜方向拍攝的 話即可。 又’此照明的照射位置有必要和CCD照相機3的拍攝 的視野作為一致的位置。又，因為該位置使玻璃板2端部 的剖面成為圓弧狀的端面2a位置，在玻璃板2的圓弧狀 的端面2a方面’可藉由環狀照明u均等地照射照明。 又’如第2、3圖所示般，自環照明u的中心偏移一 些的上述端面2a位置照射光源的話，因為可將照相機3 7042-7711-PF 24 1330253 對於玻璃板的端面部2a的接線方向自直角方向拍攝，所 以測出精度局而較佳。 在成為環照明u的大致中心的上述端面2讀置照射 光源的情形’因為將玻璃板2的端面部2a藉由環照明11 的安裝構件遮蔽，不可對於端面部2a的接線方向在直角 方向配置照相機3’必須迴避環照明u，自傾斜橫向看的 方式’將端面自傾斜方而：½姐 AtL· % 計方向拍攝，所以測出條件下降而不佳。 如第3圖所示般’即使在玻璃板2的端面部23將上 述環照明11只在一個場所s 政古、… ％所配狄的情形’可將端面2a的缺 陷充分測出’如第2圖所示炉，你甘 面的缺陷檢杳對象的左右兩,, 在上述玻璃板的端 插入… 的左右兩侧附近位置的兩處可移動地 插，該兩處的各環照明的照射光的 陷檢查對象約略一致般使昭 …、’、和上述缺 m 3 ^ ^ 、、、先…、射，成為根據CCD照相 機3的拍攝對象部份般配置 的照度亮暗帶更加沒有而較佳。為朝玻璃板2的端部 中，：與：第二3圖所示般，在本發明的缺陷測出裝置1 中，由與至少藉由C字形狀的環 扣衮罝1 的端面邊緣邻正夺的古1破照射的板玻璃2 _透緣。p正乂的方向朝向⑽照 面邊緣部和玻璃面2c之間的境 在上述端 照明光照射，藉由上述⑽照相使根據透過光的 中沒有缺陷的話，因為研磨部份為攝’在拍攝的影像 射在照相冑3的光亮降低，成為灰色明部份而散亂，入 陷的話，表示稜鏡（lens)效果，哀有破片，，等的缺 捕捉，可進行良否的判別。 〜光，作為亮信號可 7042-7711-pp 25 1330253 [第一實施例] 檢查對象的玻璃板2係為自小尺.寸的玻璃板到大尺寸 的玻璃板，例如，一邊的尺寸為300ππη程度到2000mm程 度的矩形狀的玻璃板，玻璃板2的端面部2a係被端面加 工為略圓的剖面圓弧形狀。 如第8圖所示般，在玻璃板的搬送線26的兩側，設 置如第7圖所示般的玻璃板的端面檢查裝置作為拍攝 裝置的照相機3係使用兩台二次元的CCD區域照相機，各 照相機3的視野係具有自20mn] x 20mm到5〇mni χ 5〇mm程 度的視野尺寸，照相機3的安裝角度係自水平面在上下兩 方向為3 0 4 5度，照相機3係將基板的邊緣作為視野的中 心般，在縱框20經由安裝構件21定位（setting)，安裝 角度自由調整。

如第2圖所示般，作為上述照明裝置1〇的環照明u 係將市售的環照明11的一部份以開縫狀加工，作為c字 形狀的物品，藉由將複數個LED元件Ua、ιι&、…以2d 列，等間距並列為同心圓狀’各LED元件的照射方向係對 於中心軸，例如，傾斜15度，各LED元件lla、lla、... 的光軸成為圓錐形狀…將兩個環照明n、u間的間 隔，例如’作為80mm。 又’如第7圖所示般，將和上述縱框20正交、在水 :方向延伸的兩個橫框23、23在破璃板的上下兩場所固 定，上述環照明11係經由安 23安裝。 女裝構件24，在上方側的橫框 7 04 2-7711-pp 26 在上述玻璃板2的端部略圓的端面2a方向，配置具 有可均一地照射根據環照明丨丨的照明光的開縫狀的缺口 部的約略C字形狀的環照明U，將上述玻璃板2的端面 2 a在上述環照明11的開縫狀部12内可移動地插入，作為 端面部2 a在環照明11的中心轴上被配置。 如第8圖所示般，玻璃板2係一邊藉由搬送線26被 搬送’一面以端面部可移動插入方式通過在搬送線26的 兩側部設置的上述環照明11的開口開縫部12内，在可移 動地插入時，將藉由環照明11的各LED元件11 a、11 a、... 被照射的玻璃板2的端部藉由CCD照相機3拍攝，在每一 台照相機處理影像’基於濃淡水平，進行缺陷的判別。 又’將擴散透過照明13在玻璃板2的上下兩方向， 在自水平面15度的角度，作為透過照明光的照明在玻璃 板的圓弧狀的端面、以及該端面和玻璃板之間的邊界線部 份被照射的方式’擴散透過照明13的發光面佔據照相機3 的視野的1/5〜1/4程度般配置。 又’如第7圖所示般，上述擴散透過照明13、13係 分別經由安裝構件25、25在玻璃板2的端部的上下設置 的橫框23、23被安裝。 上述擴散透過照明13係在將LED元件以二次元縱橫 地複數個配列的物件上，為了防止照明亮暗帶，又安裝乳 白色的擴散板。又’並不限定LED元件，營光燈等的照明 也可。 又’該玻璃板2係將搬送線2 6上，例如，以一定速 7042-7711-PF 27 度破搬送，將玻璃板2的端部以對應於照相機的視野寬度 的間距單位區隔，藉由CCD照相機3拍攝，在每一拍攝= 各影像進行缺陷檢查》 又，因為在本實施例中使用區域照相機3，拍攝的視 野係在作為上述被區隔的領域的每一間距寬度拍攝，照相 機^拍攝的領域係作為比間距寬度大—些的領域，將得到 的影像的境界附近重S ’不會發生檢查遺漏般進行連 端面檢查。 以下具體說明有關玻璃板2的檢查流程。 首先，如第8圖所示般，矩形狀的玻璃板2係藉由 送線26被搬送，接近該缺陷測出裝置1的話，由未圖示 的控制裝置使照明裝置J 〇的環照明"和擴散透過照明13 點燈。玻璃板2係被搬入在CCD照相機3所拍攝的視野， 測出破㈣2的端面2a的前端角落部的話，將該角落部 作為端面2a的檢查區域的起始位置，自角落部偏移些許 的位置，將影像放入於影像處理裝置4。 如第9圖所示般，對於自CCD照相機被放入在影像處 裝置4的衫像，由預先設定登錄的玻璃板2的板厚情報 和一個的照相機3所拍攝的邊緣2b的一側，將另一方的 邊緣2b算出’將量測對象區域決定。對於該量測對象區 域的原影像的濃淡256階調的影像，預先被設定輸入的” 壳側的上限水準，例如，藉由濃淡水準的上限水準，對 於將拍攝的原％像作為二值化的影冑，進行標富己，自被寫 出的π “號的位置和端面加工部2a的邊緣2b之間的 7042-7711-PF 28 1330253 距離，判別缺陷種類。 例如，缺陷被包含在端面加工部2a的情形係，視作” 瑕疵、燒傷”的”表面缺陷8” ，跨越端面加工部23的邊 緣2b，或在比邊緣2b外側的情形係’視作，，蛤狀邊緣缺 • 陷、破片”的”邊緣缺陷9” ，在演算處理裝置（電腦）5 記憶。 同樣地，設定的下限水準，例如，在濃淡水準的下端 水準，將拍攝的原影像二值化後作反轉處理，將下限水準 _ 以下的缺陷部份作為”明，，，將正常部份作為”暗，，，而 被得到的二值化影像進行標記，藉由作為缺陷部份的” 明”的畫素的位置、大小，判別為，，未研磨”、和”研磨 殘餘”的缺陷，將缺陷的有無和種類判別。 即使有關在另一方設置的照相機3,進行和上述相同 的處理。 又，上述玻璃板2係在搬送線26上以一定速度被搬

送，將玻璃板2的端部以照相機的視野寬度的間距單位區 隔，以CCD照相機3拍攝檢查给狀邊緣缺陷，使拍攝的各 影像的前端、後端的境界附近重疊—些，直到後端側的端 面角落被測出，進行檢查。 玻璃板2的兩邊的端面的檢查終了的話，玻璃板2的 未檢查的兩邊和搬送方向成為平行般，將搬送方向變換90 度’在該未檢查的兩邊的各位置分別配設和上述相同的照 明系統以及照相機3構成的缺陷測出裝置1，玻璃板2 一 邊通過缺陷測出裝置 ’ 一面依序檢查玻璃板2的兩邊的

7042-7711-PF 29 1330253 端面2a即可。 措此，3隹圾埤板的四邊進杆 仃缺陷的測出，使被得到 的資料在上位電腦記憶，管理容易。 [第二實施例] 第二實施例係使照明裝置和拍攝裝置等的檢杳裝置 沿著玻璃板的全周圍驅動，將固定的玻璃板2的外周端面 的缺陷的檢查連續進行般的點係和第一實施例不同。 對於玻璃板2的照明裝置1〇和拍攝裝置的方

等的配置條件等係作為和第一實摊 X 實施例相同條件般，有關被 得到的影像的處理裝置等的其他，和第_實施例幾 相同。 沿著玻璃板的全周圍被驅動的裝置係將照明裝置和 拍攝裝置在未圖示的多關節機器人的未圖示把手上安 裝，使該把手沿著玻璃板的外周端面順序移動，以拍攝玻 璃板的端面部份，將拍攝的影像藉由影像處理裝置作判別 處理，以測出缺陷的有無。 又，在搬送線的途卜進行檢查的情形’使玻璃板暫 時靜止’由於在玻璃板的全周圍’上述照明裝置和拍攝裝 置等的檢查裝置有確保可移動空間的必要，在玻璃板的中 心附近，設置支持上升等的機構即可。 [第三實施例] 第14圖表示有關第三實施例的玻璃板的端面的缺陷 測出裝置。缺陷測出裝置係具備用以檢查移動的玻璃板 102的第一邊和第三邊的端面而被固定的第一缺陷檢查裝

7042-7711-PF 30 1330253 安裝’可平行地移動在玻璃板102的第二邊和第四邊。第 二缺陷檢查裝置201R、201L係沿著玻璃板102的第二邊 和第四邊移動’檢查第二邊和第四邊的端面。又，玻璃板 102以傾斜姿勢被搬送，以傾斜姿勢停止的情形係，對應 於第二邊為右邊，第四邊為左邊，第二檢查裝置2〇1R、2〇1L 係在傾斜方向的上下移動。又，搬送終了時，將玻璃板1 〇2 自搬送裝置120朝具備第二缺陷檢查裝置201R、201L的 檢查裝置上移動也可。 又’在第三實施例中，照明裝置1 i i、211和拍攝裝 置103、203係和第一實施例、第二實施例的照明裝置u、 拍攝裝置3相同，和第一實施例、第二實施例相同，使用 照明裝置111、211和拍攝裝置1〇3、203，測出玻璃板的 端面的缺陷。 雖然將本發明參照詳細且特定的實施態樣說明，在不 脫離本發明的精神和範圍下，可加入各種的變更和修正係 為熟習此技藝者所熟知。 本申請係基於2005年2月10日申請的日本專利申請 (特願2005-034238) ’其内容在此作為參考被放入。 本發明的一或一個以上的實施例的缺陷測出裝置、和 缺陷測出方法係’測出端面部分被研磨且具有圓弧狀的端 面或接合面的玻璃板的端面部份的缺陷。 【圖式簡單說明】 第1圖係表示照明裝置和拍攝裝置的配置的概略側面 7042-7711-pp 32 1330253 圖 置的配置，配設兩個 置的配置，將環照明 配設三個CCD照相機 第2圖係表示照明裝置和拍攝襞 環照明的概略平面圖； 第3圓係表示照明裝置和拍攝裝 作為一個的概略平面圖； 第4圖係表示照明裝置的配置， 的概略側面圖； 第5圖係為環照明的平面圖；

體圖 第6圖係為環照明的縱剖面圖； 置的正面圖； 裝置的概要的全 第7圖係為第一實施例的缺陷測出裝 第8圖係說明第一實施例的缺陷測出 第9圖係表示本發明的缺陷測出裝置的全體構成的概 要圖； 第10圖係為藉由CCD照相機被拍攝的，，破片，，缺陷 的原影像；

第11圖係為將藉由CCD照相機被拍攝的”破片”缺 陷的影像藉由”明，，信號側的上限水準作為二值化的影 像； 第12圖係為藉由ccD照相機被拍攝的”研磨殘留” 缺陷的原影像； 第13圖係為將藉由CCD照相機被拍攝的，，研磨殘 留缺陷的影像藉由”暗，，信號側的下限水準作為二值 化的影像；以及 33

7042-7711-PF 1330253 第14圖係為第三實施例的缺陷測出裝置的側面圖。 【主要元件符號說明】 1缺陷測出裝置、 . 2玻璃板、 2a端面部、 2b稜線部（邊緣部）、 2c玻璃面、 # 3 CCD照相機、 4影像處理裝置、 5演算處理裝置（電腦）、 6上位電腦、 8表面缺陷、 9邊緣缺陷、 1 0照明裝置、 11環照明、 Φ 11a LED 元件、 1 2狹縫部、 13擴散透過照明、 20縱框、 21安裝構件、 22、23橫框、 24、25安裝構件、 26搬送線。 7042-7711-PF 34

Claims (1)

1330253 第095103457號中文申請專利範圍修正本 修正日 年月日修正替換頁 十、申請專利範園： 1 _ 一種破璃板之端面缺陷測出裝置，包括： 拍攝裝置，其中具有較玻璃板的端面外側且由表裡兩 面的傾斜兩方向將破璃板的端面部份拍攝的至少兩台的 • CCD照相機； • 照明裝置，在中心軸方向可照射照明光，且至少包括 具有開口狹縫部的約略c字形狀的環照明；以及 φ 影像處理裝置，處理藉由上述CCD照相機拍攝的拍攝 信號以判定上述端面部的良否； 玻璃板的上述端面以和上述環照明的中心軸一致 般’在上述開口狹縫部内被可移動地插入； 上述照明裝置係在上述端面照射照射光； . 上述端面藉由上述拍攝裝置被拍攝得到的影像信號 藉由上述影像處理装置處理，以測出上述端面的缺陷。 2. 如申請專利範圍第1項所述之玻璃板之端面缺陷測 Φ 出裝置’其中上述玻璃板的端面被去角，具有由圓弧狀的 端面或平滑的稜線部構成的端面。 3. 如申請專利範圍第1項所述之玻璃板之端面缺陷測 出裝置’其中上述照明裝置係具有在上述玻璃板的端面的 缺陷檢查對象部份的左右兩側附近位置被配置的兩個C字 狀的環照明； 各環照明係照射上述缺陷檢查對象部份。 4·如申請專利範圍第1項所述之玻璃板之端面缺陷測 出裝置’其中上述照明裝置更具有自上述玻璃板的表襄兩 7042-7711-PF1 35 1330253 面的傾斜兩方向在玻璃板的端面部份照射照射光的擴散 透過光源。 5 ·如申請專利範圍第3項所述之玻璃板之端面缺陷測 出裝置’其中上述照明裝置更具有自上述玻璃板的表裏兩 面的傾斜兩方向在玻璃板的端面部份照射照射光的擴散 透過光源》 6.如申請專利範圍第1項所述之玻璃板之端面缺陷測 出裝置’其中上述環照明係具有被配設為同心圓狀的複數 的LED元件。 7·如申請專利範圍第3項所述之玻璃板之端面缺陷測 出裝置’其中上述環照明係具有被配設為同心圓狀的複數 的L.ED元件。 8. 如申請專利範圍第1項所述之玻璃板之端面缺陷測 出裝置’更包括使玻璃板的侧邊在搬送方向成為平行般搬 送玻璃板的撤送裝置； 上述照明裝置和上述拍攝裝置係在上述玻璃板的兩 側邊的各端面附近位置分別被配置。 9. 如申請專利範圍第1項所述之玻璃板之端面缺陷測 出裝置’其中上述照明裝置和上述拍攝裝置係在機器人的 把手被安裝； 上述把手沿著玻璃板的外周端面順序移動，玻璃板的 端面部份被順序拍攝，拍攝的影像信號藉由影像處理裝置 被順序處理。 10_如申請專利範圍第1項所述之玻璃板之端面缺陷 7042-7711-PF1 36 1330253 測出裝置，更包括： 第一缺陷檢查裝置，檢查和搬送_的玻璃板的搬送方 向平行的侧邊的端面，對於搬送被固定；以及 第二缺陷檢查裝置，檢查和搬送中的玻璃板的上述搬 送方向正交的侧邊的端面，對於玻璃板可移動； 上述第一缺陷檢查裝置和上述第二缺陷檢查裝置係 分別具備上述照明裝置和上述拍攝裝置。 11. 一種玻璃板之端面缺陷測出方法，在c字形狀的 環照明的開口狭缝部内，可將玻璃板的端部移動地插入； 將上述端面部的位置和環照明的中心軸的位置重疊 的端面位置作為檢查對象部份’照射環照明的照射光； 將上述端面部藉由兩台CCD照相機拍攝； 拍攝的影像信號的濃淡水準與上限和下限的兩個設 定水準比較； 藉由上端水準以上、或下端水準以下的晝素信號的位 置、大小、形狀，測出缺陷的有無種別。 12. 如申請專利範圍第丨丨項所述之玻璃板之端面缺陷 測出方法，其中藉由搬送裝置，玻璃板的側邊與搬送方向 成為平行般搬送玻璃板； 在該破璃板的兩側邊的各端面附近位置至少具有c字 狀的環照明的照明裝置，及將藉由照明裝置被照射的端面 分別配設拍攝的拍攝裝置； 將藉由拍攝裝置拍攝的端面的影像藉由影像處理裝 置處理，測出缺陷的有無。 7042-7711-PF1 37 1330253 13. 如申請專利範圍第u項所述之玻璃板之端面缺陷 測出方法，其中將至少具有c字形狀的環照明的上述照明 裝置、和將藉由照明裝置照射的端面拍攝的拍攝裝置在機 器人的把手安裝； 使上述把手沿著玻璃板的外周端面順序移動； 將玻璃板的端面部份順序拍攝； 將拍攝的影像信號藉由影像處理裝置順序處理，測出 缺陷的有無。 14. 如申請專利範圍第〗〗項所述之破璃板之端面缺陷 測出方法，其中藉由對於搬送被固定的第一缺陷檢查裝置 檢查和搬送中的破璃板的搬送方向平行的側邊的端面； 藉由對於破璃板可移動的第二缺陷檢查裝置檢查和 搬送中的玻璃板的上述搬送方向正交的侧邊的端面； 上述第一缺陷檢查裝置和上述第二缺陷檢查裝置係分 別包括c字形狀的環照明和兩台cCD照相機。 刀

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