JPH0299806A - 表面欠陥の検査方法 - Google Patents
表面欠陥の検査方法Info
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- JPH0299806A JPH0299806A JP25302288A JP25302288A JPH0299806A JP H0299806 A JPH0299806 A JP H0299806A JP 25302288 A JP25302288 A JP 25302288A JP 25302288 A JP25302288 A JP 25302288A JP H0299806 A JPH0299806 A JP H0299806A
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
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- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 abstract 1
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えばマグネットなどの加工面に発生する加
工不良やかけ等の表面欠陥を検査する方法に関するもの
である。
工不良やかけ等の表面欠陥を検査する方法に関するもの
である。
検査面を照明して欠陥部からの散乱光を受光することに
よって欠陥の検査を行なう方法には、例えは特開昭５３
−７２６７９や特囲昭６１−２７１４０６などがある。
よって欠陥の検査を行なう方法には、例えは特開昭５３
−７２６７９や特囲昭６１−２７１４０６などがある。
これらの方法においては第６図に示すように、検査面６
１に対して斜め方向から照明を行なうようにしている。
１に対して斜め方向から照明を行なうようにしている。
検を面上に欠陥６２が存在すると入射光６３が散乱され
るため、赤面に垂直な方向への反射光６４が正常部より
も増加する。そこで、検査面の垂直方向に諌かれた光電
子増倍管やテレビカメラ等の九検出器６６によって検査
面からの散乱光を受光して、受光強度や角度分布から欠
陥の検査を行なうものである。
るため、赤面に垂直な方向への反射光６４が正常部より
も増加する。そこで、検査面の垂直方向に諌かれた光電
子増倍管やテレビカメラ等の九検出器６６によって検査
面からの散乱光を受光して、受光強度や角度分布から欠
陥の検査を行なうものである。
従来のこのような方法にて検査を行なうと、欠陥の形態
によっては以下に示すよりなｆ”ｉ＋題点が生じるので
ある。
によっては以下に示すよりなｆ”ｉ＋題点が生じるので
ある。
例えは、第４図に示す段差状の欠陥や直線的な加工きず
など、ある方向性を持つ欠陥を検出する場合、（ａ）の
ように欠陥４１の方向に対して入射光４２が直角付近の
角度で入射する時は欠陥部からの散乱光４３が多いため
散乱光の受光による欠陥検出に支障は無い。しかしくｂ
）のように入射光４２の方向に対して欠陥４１の方向が
平行にそろってしまった時には正反射成分４４が多い反
面、欠陥部からの散乱光が少なくなシ、散乱光の受光に
よる欠陥の検出ではコントラストが低下する。特に検査
面の形状が第４凶のように円形をしている場合には検査
自体に方向性がないため、検査時に欠陥の方向や位置か
一定になることはなく、同一の欠陥でも安定に検出でき
ないという問題点がある。
など、ある方向性を持つ欠陥を検出する場合、（ａ）の
ように欠陥４１の方向に対して入射光４２が直角付近の
角度で入射する時は欠陥部からの散乱光４３が多いため
散乱光の受光による欠陥検出に支障は無い。しかしくｂ
）のように入射光４２の方向に対して欠陥４１の方向が
平行にそろってしまった時には正反射成分４４が多い反
面、欠陥部からの散乱光が少なくなシ、散乱光の受光に
よる欠陥の検出ではコントラストが低下する。特に検査
面の形状が第４凶のように円形をしている場合には検査
自体に方向性がないため、検査時に欠陥の方向や位置か
一定になることはなく、同一の欠陥でも安定に検出でき
ないという問題点がある。
上記の問題点による欠陥の検出ミスを防ぐための手段と
して、入射光に対する欠陥の方向を変えるために検査面
あるいは光源の位置を回転させて散乱光を受光する方法
が考えられるが、少なくとも方向を９０変えて、２回以
上検査する必要があるため、検査時間が長くなるという
欠点がある。
して、入射光に対する欠陥の方向を変えるために検査面
あるいは光源の位置を回転させて散乱光を受光する方法
が考えられるが、少なくとも方向を９０変えて、２回以
上検査する必要があるため、検査時間が長くなるという
欠点がある。
さらに第６図の構成で斜方から比較的広い検査面全体を
照明した場合、正常面であっても明るさが一様ではなく
、坤明装置から離れるに従って徐々に暗くなっていくた
め、画像の２値化などの処理の上で不利になる。
照明した場合、正常面であっても明るさが一様ではなく
、坤明装置から離れるに従って徐々に暗くなっていくた
め、画像の２値化などの処理の上で不利になる。
本発明の目的は、段差状の欠陥や直線的な加工きず等方
向性を有する欠陥に対しても、その方向によらず安定に
検出することができる表面欠陥の検査方法を提供するこ
とである。
向性を有する欠陥に対しても、その方向によらず安定に
検出することができる表面欠陥の検査方法を提供するこ
とである。
本発明は、検査面と同じ高さで検査面を取り囲むように
構成された発光部を持つ照明装置によって、検査面に対
して平行に周囲から均一に照明し、検査面からの散乱光
を検査面に対して垂直な方向からテレビカメラやライン
センサ等の撮像装置によって受光し、撮像された検査面
の原ｉＩｋ！像に対して微分処理および２値化処理を行
なうことにより、欠陥部分を抽出１判定することを特徴
とする表面欠陥の検査方法である。
構成された発光部を持つ照明装置によって、検査面に対
して平行に周囲から均一に照明し、検査面からの散乱光
を検査面に対して垂直な方向からテレビカメラやライン
センサ等の撮像装置によって受光し、撮像された検査面
の原ｉＩｋ！像に対して微分処理および２値化処理を行
なうことにより、欠陥部分を抽出１判定することを特徴
とする表面欠陥の検査方法である。
本発明において検査面への照明はその帆面方向に照射さ
れるため、検査面に欠陥が存在するとその部分で入射光
が散乱され、検査面の垂直方向から検査面を撮像すると
欠陥部が明るく光って撮像される。さらに検査面の周囲
から照明されているために、段差やきすのような方向性
のある形態の欠陥に対しても、欠陥の向きによらず散乱
光を得ることができる。
れるため、検査面に欠陥が存在するとその部分で入射光
が散乱され、検査面の垂直方向から検査面を撮像すると
欠陥部が明るく光って撮像される。さらに検査面の周囲
から照明されているために、段差やきすのような方向性
のある形態の欠陥に対しても、欠陥の向きによらず散乱
光を得ることができる。
撮像きれた検査面の原画像に対して微分処理を行なうこ
とによシ、正常部と欠陥部の境界の明るさの変化が急激
な部分が強調されるので、照明や検査面の汚れ等による
検査面の明るさむらの影響が減少され、この微分画像を
２値化することにより欠陥部を安定に抽出することがで
きる。
とによシ、正常部と欠陥部の境界の明るさの変化が急激
な部分が強調されるので、照明や検査面の汚れ等による
検査面の明るさむらの影響が減少され、この微分画像を
２値化することにより欠陥部を安定に抽出することがで
きる。
本発明を用いて円形ワーク′ｇ＠面の検査を行なう場合
の実施例を第１図に示す。１１ヒ検査面１３を照明する
リング状の照明装置（以下１リング照明ｌと称す）、１
２はリング照明１１の内周に並べられたクラスファイバ
等の発光部、１４は検査面１６上に発生した欠陥、１５
は検査面１３の垂直方向から撮像を行なうテレビカメラ
、１６は画像処理装置である。
の実施例を第１図に示す。１１ヒ検査面１３を照明する
リング状の照明装置（以下１リング照明ｌと称す）、１
２はリング照明１１の内周に並べられたクラスファイバ
等の発光部、１４は検査面１６上に発生した欠陥、１５
は検査面１３の垂直方向から撮像を行なうテレビカメラ
、１６は画像処理装置である。
リング照明１１は検査面１６を取り囲み、発光部１２の
位置が検査面１６と同じ高さになるように設置されてお
り、検査面１３は周囲から水平方向に発光部１２から照
明される。検査面が円形であったり、欠陥形態が線状の
場合には、検査面１３上での欠陥１４の方向や位置が不
定であるが、リング照明１１を使用することによって欠
陥１４の方向や位置とは無関係な照明条件となる。テレ
ビカメラ１５は検査面１６を垂直方向から撮像するが、
欠陥部１４では散乱光が増加するために原画像上では欠
陥が明るく撮像される。
位置が検査面１６と同じ高さになるように設置されてお
り、検査面１３は周囲から水平方向に発光部１２から照
明される。検査面が円形であったり、欠陥形態が線状の
場合には、検査面１３上での欠陥１４の方向や位置が不
定であるが、リング照明１１を使用することによって欠
陥１４の方向や位置とは無関係な照明条件となる。テレ
ビカメラ１５は検査面１６を垂直方向から撮像するが、
欠陥部１４では散乱光が増加するために原画像上では欠
陥が明るく撮像される。
検査面１６の画像に対してはテレビカメラ１５に接続さ
れた画像処理装置１６によって画像処理される。第２図
に端面の原画像（ａ）の直線Ａ−Ａ上での濃度分布（ａ
）を示し、（ｂ）には原画像（ａ）に対してＸ方向に微
分を行なった結果の直線Ａ−Ａ上での濃度分布を示す。
れた画像処理装置１６によって画像処理される。第２図
に端面の原画像（ａ）の直線Ａ−Ａ上での濃度分布（ａ
）を示し、（ｂ）には原画像（ａ）に対してＸ方向に微
分を行なった結果の直線Ａ−Ａ上での濃度分布を示す。
（ａ）の原画像において欠陥部は正常部と比較して明る
くなるが、欠陥の程度によって明るさが異なったり、検
査面の汚れや照明状態によシ正常面においても明るさむ
らが生じる場合がある。そこで原画像に対して微分処理
を行なうことによシ、（ｂ）のように欠陥部と正常部の
間の♂度変化が急檄な部分が強調されるため、適当なス
ライスレベルＳＬで２値イＬすることにより、２値画像
上で欠陥部を安定に抽出することができる。
くなるが、欠陥の程度によって明るさが異なったり、検
査面の汚れや照明状態によシ正常面においても明るさむ
らが生じる場合がある。そこで原画像に対して微分処理
を行なうことによシ、（ｂ）のように欠陥部と正常部の
間の♂度変化が急檄な部分が強調されるため、適当なス
ライスレベルＳＬで２値イＬすることにより、２値画像
上で欠陥部を安定に抽出することができる。
この２値画像から欠陥の大きさ等の特徴を求めて検査を
行なう。
行なう。
原画像の微分処理を行なうにあたシ、微分の方向として
一般にＸ方向とＸ方向が考えられる。本発明においては
、Ｘ方向、Ｘ方向の微分画像に対してそれぞれ２値化処
霧を行ない、両方の２値画像のＯＲ画像を作成すること
により、どちらの方向の画像に対しても検査できる。
一般にＸ方向とＸ方向が考えられる。本発明においては
、Ｘ方向、Ｘ方向の微分画像に対してそれぞれ２値化処
霧を行ない、両方の２値画像のＯＲ画像を作成すること
により、どちらの方向の画像に対しても検査できる。
また照明装置として、上記の実施例で使用したグラス７
アイパを並べたリンク胛明の他に、リング状の螢光灯で
不用部分をカバーで徨った照明装置も使用できる。
アイパを並べたリンク胛明の他に、リング状の螢光灯で
不用部分をカバーで徨った照明装置も使用できる。
本発明によれは、検査面上に発生する欠陥を安定に検出
することができ、特に従来は検出が不安定であった段差
や加工きずなどの方向性を有する欠陥に対しても、欠陥
の方向とは無関係に検出が可能となる。また、照明に対
する欠陥の方向を変えるために必要とされたワーク又は
照明位置の回転が不用となシ、検査時間の短縮を図るこ
とができる。
することができ、特に従来は検出が不安定であった段差
や加工きずなどの方向性を有する欠陥に対しても、欠陥
の方向とは無関係に検出が可能となる。また、照明に対
する欠陥の方向を変えるために必要とされたワーク又は
照明位置の回転が不用となシ、検査時間の短縮を図るこ
とができる。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図は本発
明の実施例における検査面上での濃度分布を表わす図、
第３図は従来例を示す構成図、第４図は従来例における
欠陥の方向による散乱光の違いを示す図である。 １１：リング照明、１３：検査面、１４：欠陥、１５：
テレビカメラ、１６：画像処理装置。
明の実施例における検査面上での濃度分布を表わす図、
第３図は従来例を示す構成図、第４図は従来例における
欠陥の方向による散乱光の違いを示す図である。 １１：リング照明、１３：検査面、１４：欠陥、１５：
テレビカメラ、１６：画像処理装置。
Claims (2)
- （１）検査面と同じ高さで検査面を取り囲むように構成
された発光部を持つ照明装置によって、検査面の周囲か
ら延面方向に均一に照明し、検査面からの散乱光を検査
面に垂直な方向から撮像装置によって受光し、撮像され
た検査面の画像に対して画像処理を行ない検査面上に存
在する欠陥の検査、判定を行なうことを特徴とする表面
欠陥の検査方法。 - （２）検査面の原画像を微分処理した後に２値化するこ
とによって欠陥部分を抽出することを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の表面欠陥の検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25302288A JPH0299806A (ja) | 1988-10-07 | 1988-10-07 | 表面欠陥の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25302288A JPH0299806A (ja) | 1988-10-07 | 1988-10-07 | 表面欠陥の検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0299806A true JPH0299806A (ja) | 1990-04-11 |
Family
ID=17245397
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25302288A Pending JPH0299806A (ja) | 1988-10-07 | 1988-10-07 | 表面欠陥の検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0299806A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0534508U (ja) * | 1991-10-16 | 1993-05-07 | 富士写真光機株式会社 | 光学測定器 |
| JP2006023123A (ja) * | 2004-07-06 | 2006-01-26 | Hokkai Can Co Ltd | 不良検査方法及びその装置 |
| JP2008131025A (ja) * | 2006-11-21 | 2008-06-05 | Nippon Electro Sensari Device Kk | ウエーハ裏面検査装置 |
| US8120654B2 (en) * | 2005-02-10 | 2012-02-21 | Central Glass Co., Ltd. | Device and method for detecting defect on end face of glass sheet |
| CN110376203A (zh) * | 2019-06-26 | 2019-10-25 | 阳程科技股份有限公司 | 玻璃纤维丝检测机台及其检测方法 |
-
1988
- 1988-10-07 JP JP25302288A patent/JPH0299806A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0534508U (ja) * | 1991-10-16 | 1993-05-07 | 富士写真光機株式会社 | 光学測定器 |
| JP2006023123A (ja) * | 2004-07-06 | 2006-01-26 | Hokkai Can Co Ltd | 不良検査方法及びその装置 |
| JP4516788B2 (ja) * | 2004-07-06 | 2010-08-04 | 北海製罐株式会社 | 不良検査方法及びその装置 |
| US8120654B2 (en) * | 2005-02-10 | 2012-02-21 | Central Glass Co., Ltd. | Device and method for detecting defect on end face of glass sheet |
| JP2008131025A (ja) * | 2006-11-21 | 2008-06-05 | Nippon Electro Sensari Device Kk | ウエーハ裏面検査装置 |
| CN110376203A (zh) * | 2019-06-26 | 2019-10-25 | 阳程科技股份有限公司 | 玻璃纤维丝检测机台及其检测方法 |
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