JP5268740B2

JP5268740B2 - 角形基板の４角割れ欠け検出装置

Info

Publication number: JP5268740B2
Application number: JP2009081061A
Authority: JP
Inventors: 直樹武田; 和弘川田; 信夫奥
Original assignee: Japan Steel Works Ltd
Current assignee: Japan Steel Works Ltd
Priority date: 2009-03-30
Filing date: 2009-03-30
Publication date: 2013-08-21
Anticipated expiration: 2029-03-30
Also published as: JP2010230622A

Description

本発明は、角形基板の４角割れ欠け検出装置に関し、さらに詳しくは、角形基板の４角の割れ欠けを簡単な構成で検査することが出来る角形基板の４角割れ欠け検出装置に関する。

従来、角形ガラス基板の一辺縁に沿って透過型フォトセンサを直線移動し、当該辺縁に割れ欠けが発生していないかを検査し、次いで角形ガラス基板を９０度回転させ、隣接辺縁について先と同様に割れ欠けが発生していないかを検査するガラス基板の欠け検知装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。

特開平１０−２１３５５１号公報

上記従来のガラス基板の欠け検知装置では、角形ガラス基板の４つの辺縁に割れ欠けが発生していないかを検査することが出来た。
しかし、透過型フォトセンサを直線移動するための機構および角形ガラス基板を９０度回転させるための機構が必要であり、構成が複雑になる問題点があった。
他方、角形基板に発生する割れ欠けは、ほとんどが４角の割れ欠けであるため、４角の割れ欠けだけを検査できれば十分実用的である。
そこで、本発明の目的は、角形基板の４角の割れ欠けを簡単な構成で検査することが出来る角形基板の４角割れ欠け検出装置を提供することにある。

第１の観点では、本発明は、角形基板（Ｐ）の向きを所定の角度（ｎ）変えるための角度変更機構（８，９）と、角形基板（Ｐ）の対角線上の２つの角（ａ，ｃ）で割れ欠けが発生してるか否かを角形基板（Ｐ）の向きを所定の角度（ｎ）変える前の状態で検出するための２つの検出器（２，３）と、角形基板（Ｐ）の前記２つの角（ａ，ｃ）とは異なる対角線上の２つの角（ｂ，ｄ）で割れ欠けが発生してるか否かを角形基板（Ｐ）の向きを所定の角度（ｎ）変えた後の状態で検出するための２つの検出器（４，５）とを具備したことを特徴とする角形基板の４角割れ欠け検出装置（１００）を提供する。
上記構成において、所定の角度（ｎ）は、角形基板（Ｐ）の辺長が決まれば一意に決まる。
上記第１の観点による角形基板の４角割れ欠け検出装置（１００）では、角形基板（Ｐ）の向きを所定の角度（ｎ）変える前の状態において角形基板（Ｐ）の２つの角（ａ，ｂ）に割れ欠けが発生していないかを検出できる。また、角形基板（Ｐ）の向きを所定の角度（ｎ）変えた後の状態において他の２つの角（ｃ，ｄ）に割れ欠けが発生していないかを検出できる。そして、角形基板（Ｐ）の向きを所定の角度（ｎ）変えるための角度変更機構（８，９）は必要であるが、検出器（２，３，４，５）を移動する機構は不要であり、構成を簡単化できる。

なお、角形基板（Ｐ）の向きを変える代わりに検出器（２，３，４，５）の配置を所定の角度（ｎ）変えても４角の割れ欠けを検出できるが、次の工程のために角形基板（Ｐ）の向きを変えるのにも利用できるから、角形基板（Ｐ）の向きを変える機構とするのがよい。

また、角形基板（Ｐ）の向きを大きく変えれば２つの検出器（２，３）だけでも４角の割れ欠けを検出できるが、角形基板の位置ずれを検出することも可能になるため、４つの検出器（２，３，４，５）を設けるのがよい。

本発明の角形基板の４角割れ欠け検出装置によれば、角形基板の４角の割れ欠けを簡単な構成で検査することが出来る。

実施例１に係る角形基板の４角割れ欠け検出装置を示す構成説明図である。基板受け０度の向きを示す上面図である。基板受けの９０度の向きを示す上面図である。実施例１に係る角形基板の４角割れ欠け検出装置の検出器配置を説明するための座標図である。実施例１に係る角形基板の４角割れ欠け検出装置における処理手順を示すフロー図である。角形基板の位置ずれを示す上面図である。角形基板の０度の向きを示す上面図である。角形基板のｎ度の向きを示す上面図である。角形基板の９０度の向きを示す上面図である。

以下、図に示す実施の形態により本発明をさらに詳細に説明する。なお、これにより本発明が限定されるものではない。

−実施例１−
図１は、実施例１に係る角形基板の４角割れ欠け検出装置１００を示す構成説明図である。
この角形基板の４角割れ欠け検出装置１００は、真空及び窒素置換用の基板搬送のために設けられたロードロックチャンバー７と、ロードロックチャンバー７内に設置され角形ガラス基板Ｐを載せる逆テーブル型の基板受け９と、ロードロックチャンバー７外に設置されロードロックチャンバー７の底板を貫通するシャフトにより基板受け９を水平回転させるためのサーボモータ８と、ロードロックチャンバー７外に設置され角形ガラス基板Ｐの対角線上の２つの角の検出点（図７のａ，ｃ）で反射があるか否かを角形ガラス基板Ｐが０度の向き（図７に示す向き）の状態でロードロックチャンバー７の底板のガラス窓６を通して検出するための２つの反射型フォトセンサ２，３と、ロードロックチャンバー７外に設置され角形ガラス基板Ｐの対角線上の２つの角の検出点（図８のｂ，ｄ）で反射があるか否かを角形ガラス基板Ｐがｎ度の向き（図８に示す向き）の状態でロードロックチャンバー７の底板のガラス窓６を通して検出するための２つの反射型フォトセンサ４，５と、制御装置１２とを具備している。
なお、１０はドアバルブ、１１はゲートバルブ、Ｒは搬送ロボットである。

図２に示すように、基板受け９および角形ガラス基板Ｐが０度の向きの状態においては、反射型フォトセンサ２，３は、角形ガラス基板Ｐの対角線上の２つの角の検出点ａ，ｃでの反射を検出できる。反射型フォトセンサ４，５は、角形ガラス基板Ｐでの反射を検出できない。そこで、反射型フォトセンサ２，３を、０度用センサと呼ぶ。

図３に示すように、基板受け９および角形ガラス基板Ｐが９０度の向きの状態においては、反射型フォトセンサ２，３は、角形ガラス基板Ｐを検出できない。反射型フォトセンサ４，５は、角形ガラス基板Ｐの対角線上の２つの角の検出点ａ，ｃを検出できる。そこで、反射型フォトセンサ４，５を、９０度用センサと呼ぶ。

図４に示すように、反射型フォトセンサ２による角形ガラス基板Ｐ上の検出点ａを座標原点とし、角形ガラス基板Ｐの０度の向きにおける角形ガラス基板Ｐの直交する辺の方向をｘ軸方向，ｙ軸方向とした座標で、各反射型フォトセンサ２〜５の位置を示すと、反射型フォトセンサ２の座標は（０，０）、反射型フォトセンサ３の座標は（Ｌ，Ｗ）、反射型フォトセンサ４の座標は（（Ｌ−Ｗ）／２，（Ｗ＋Ｌ）／２）、反射型フォトセンサ５の座標は（（Ｗ＋Ｌ）／２，（Ｗ−Ｌ）／２）である。但し、Ｌは検出点ａ，ｄ間の長さ、Ｗは検出点ｂ，ａ間の長さである。
なお、ＣＯは、角形ガラス基板Ｐを０度の向きにした状態において検出点ａ，ｂ，ｃ，ｄを結んだ四角形である。ＣＲは、角形ガラス基板Ｐを９０度の向きにした状態において検出点ａ，ｂ，ｃ，ｄを結んだ四角形である。

図５は、制御装置１２による処理の要部を示すフロー図である。
ステップＳ１では、ドアバルブ１０を開き、搬送ロボットＲにより角形ガラス基板Ｐをロードロックチャンバー７内に入れ、基板受け９上に角形ガラス基板Ｐを０度の向きで置く。そして、ドアバルブ１０を閉じる。

ステップＳ２では、９０度用センサ４，５で角形ガラス基板Ｐからの反射を検出したならエラー処理へ進む。これは例えば図６に示すように、角形ガラス基板Ｐが位置ずれしていると推定できるからである。９０度用センサ４，５で角形ガラス基板Ｐからの反射を検出しないならステップＳ３へ進む。

ステップＳ３では、図７に示すように、０度用センサ２，３で角形ガラス基板Ｐの検出点ａ，ｃからの反射を検出できたか検査する。

ステップＳ４では、図８に示すように、サーボモータ８により角形ガラス基板Ｐの向きをｎ度回転させる。そして、９０度用センサ４，５で角形ガラス基板Ｐの検出点ｂ，ｄからの反射を検出できたか検査する。なお、ｎの値は、角形ガラス基板Ｐの寸法が決まれば一意に決まる。

ステップＳ５では、角形ガラス基板Ｐの検出点ａ，ｂ，ｃ，ｄでの反射が検出できたらステップＳ６へ進み、１カ所でも反射が検出できなかったら割れ欠けがあると判定してエラー処理へ進む。

ステップＳ６では、次工程が角形ガラス基板Ｐの向きを０度にしての処理か９０度にしての処理かを判定し、０度にしての処理ならステップＳ７へ進み、９０度にしての処理ならステップＳ８へ進む。

ステップＳ７では、角形ガラス基板Ｐの向きを０度に戻す。そして、次工程の処理へ進む。

ステップＳ８では、図９に示すように、角形ガラス基板Ｐの向きを９０度にする。そして、次工程の処理へ進む。

実施例１に係る角形基板の４角割れ欠け検出装置１００によれば、次の効果が得られる。
（１）角形ガラス基板Ｐの４つの角ａ，ｂｃ，ｄに割れ欠けが発生していないかを検出できる。
（２）反射型フォトセンサ２，３，４，５を移動する機構が不要であり、構成を簡単化できる。
（３）角形ガラス基板Ｐの位置ずれを検出できる。

本発明の角形基板の４角割れ欠け検出装置は、例えば液晶表示器用のガラス基板のアニール処理前の検査に利用できる。

２，３０度用センサ
４，５９０度用センサ
６ガラス窓
７ロードロックチャンバー
８サーボモータ
９基板受け
１０ドアバルブ
１１ゲートバルブ
１２制御装置
１００角形基板の４角割れ欠け検出装置
Ｐ角形ガラス基板
Ｒ搬送ロボット

Claims

長方形の角形基板（Ｐ）の中心における法線を回転軸とする向きを所定の角度（ｎ）変えるための角度変更機構（８，９）と、角形基板（Ｐ）の対角線上の２つの角（ａ，ｃ）で割れ欠けが発生してるか否かを角形基板（Ｐ）の向きを所定の角度（ｎ）変える前の状態で検出するための２つの検出器（２，３）と、角形基板（Ｐ）の前記２つの角（ａ，ｃ）とは異なる対角線上の２つの角（ｂ，ｄ）で割れ欠けが発生してるか否かを角形基板（Ｐ）の向きを所定の角度（ｎ）変えた後の状態で検出するための２つの検出器（４，５）とを具備したことを特徴とする角形基板の４角割れ欠け検出装置（１００）。