TWI328846B - - Google Patents

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TWI328846B
TWI328846B TW095137270A TW95137270A TWI328846B TW I328846 B TWI328846 B TW I328846B TW 095137270 A TW095137270 A TW 095137270A TW 95137270 A TW95137270 A TW 95137270A TW I328846 B TWI328846 B TW I328846B
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capillary
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wire
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Inventor
Noriko Mori
Original Assignee
Shinkawa Kk
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Description

1328846 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於在未附著檢測後進行回箱 设疼理之打線梦 置、記錄有接合控制程式之記錄媒體及接合方法 x 【先前技術】 ic等之半導體組裝步驟中，有一 有種u引線連接半導體 晶片與引腳架之間的打線步驟。藉由此打線步驟，即可2 圖15所示般，以引線12連接工件14之半導體晶片「了如 烊墊3(第丨接合點）與引腳架15之引腳4(第2接合二）之 圖12係顯示習知技術之打線裝置之構成，圖丨/係顯:此 習知技術之打線裝置的接合步驟，圖14係顯示習知： 之接合步驟各步驟中的接合動作。以下，參照此等圖說明 習知技術之打線裝置與步驟。 習知技術之打線裝置1〇〇，如圖12所示於 上設置接合頭19 ’於接合頭19具備可藉由馬達移動：z 方向之接合臂13，於接合臂13前端安裝有毛細管16〇χγ 台20與接合頭19構成移動機構18，移動機構ΐ8可夢由 ΧΥ台20使接合頭19在水平面内（χγ面内）移動至任:位 置’藉由使安裝於此之接合臂13移動於ζ方向，即能使 接合臂13前端之毛細管16自由移動於ΧΥΖ之方向。引線 12插通接合臂13前端’且弓丨線12繞於線轴U。在繞於 線軸11之引線12連接有用，、，^ 有用以取得引線12與工件U間之 通電狀態的通電狀態取得_ 22。於接合頭19安裝有開 6 1328846 構22取得此時之通電狀態。所取得之資料透過通電狀態 取得機構介面42輸入控制部30(圖13，步驟S904，圖 14(c))。當對焊墊3(第1接合點）之接合成功而順利接合時， 即如圖14所示，電流流通於引線12與工件14之間。 (5)在未附著之情況下，由於在焊墊3(第1接合點）未 形成第1接合部6，且毛細管16係在毛細管16前端之引 線12未與焊墊3(第1接合點）連接之狀態下上升並移動， 因此電流不會流通於引線12與工件14之間。藉此可檢測 出引線之未附著。所取得之引線12與工件14間之通電狀 態寊料係由控制部3 0的電氣式未附著檢測機構進行處理， 以判斷是否未附著（圖13，步驟S905，圖14(c，））（例如參照 專利文獻2、3) » (6)即使由電乳式未附著檢測機構判斷為未附著時，毛
細管1 6仍保持原狀態持續移動往引腳4(第2接合點），對 引腳4(第2接合點）進行接合，並使毛細管丨6上升後切斷 引線12(圖13，步驟S906〜S908)。不過，並不進行在引 腳4(第2接合點）之無尾部檢測、或取得用以檢測引腳未 附著之通電狀態動作。 1接合點） 即停止（圖 (7)在結束引線切斷之階段，藉由焊塾3(第 未附著之訊號來進行錯誤處理，打線裝置1〇〇 13 ’ 步驟 S909)。 yj ϊβϊ 为一々w ，丁坪势 笛 、乐1仪a-勒彡您接合後， 動機構18使毛細管16移動至引腳4(第2接合 腳4(第2接合點）進行接合。 ‘·，、引 田以電乳式未附著檢測機構 8 1328846 判斷焊墊3(第1接合點）無未附著情形的情況下，在之後 使毛細管16上升時，藉由通電狀態取得機構22使電流流 動於引線12與工件14之間，由通電狀態取得機構22取 得通電狀態。當對引腳4(第2接合點)之接合成功而使尾 部引線8順利地形成於毛細管16前端時，電流即可流通 於引線12與工件14之間，相反地當在毛細管16上升之 途中引線12斷掉時，電流即不會流通於引線12與工件14 之間。藉此方式即能檢測尾部引線8是否為未達既定長度 之無尾部。所取得之資料透過通電狀態取得機構介面42 輸入控制部30(圖13，步驟S911〜S912，圖14(d)〜（e)、 (e，)）。 (9) 對引腳4(第2接合點）之接合後，爽具17即成為關 閉狀態並與毛細管16 一起上升，據此，引線12即在第2 接合部7之上被切斷(圖14(e)〜⑺)。在此引線切斷後，亦 藉由通電狀態取得機構22使電流流通於引線丨2與工件i 4 之間，由通電狀態取得機構22取得此時之通電狀態（圖i3， 步驟 S913 〜S914)。 (10) 當對引腳4(第2接合點）之接合成功而順利切斷弓丨 線12時，毛細管16上升時流通於引線12與工件14之間 之電流即停止流動（圖14(f))e另一方面，當未順利切斷引 線12，例如引線12從工件14剝離時，由於引線12如圖 14(Γ)般透過第i接合部6與工件14電氣連接，因此電^ 仍流通。X，在炎具17之關閉、上升前電流停止流動， 於切斷引線12後電流亦未流動時，雖形成有第2接合部7， 9 1328846 但亦成判斷尾部引·線8 $未達既定長度之無尾部。如此， 倉t«、控制βρ 3 〇之電氟式無尾部檢測機構來處理通電狀態 取得機構22之輸出資料，藉此來判斷對引腳4(第2接合 點）之接合後的通電狀態是否為無尾部狀態或引腳未附著狀 態（圖13 ’步驟S915, S917)(例如參照專利文獻2、3)。 (11) 當以電氣式無尾部檢測機構檢測出無尾部或引腳 未附著時，打線裝置100即藉由該訊號進行錯誤處理，並 春 停止運作（例如參照專利文獻句。 (12) 當對引腳4(第2接合點）之接合正常結束時，接合 週期即結束，使毛細管16向次一焊墊3(第L接合點）移動。 • 以上之習知技術說明中，雖係藉由以控制部3〇處理來 自通電狀態取得機構22之訊號，來檢測引線未附著或無 ' 尾部，而藉此判斷出未附著或無尾部時即停止打線裝置 100但在打線步驟中除上述情形以外，亦會產生藉由放 電來將引、線12前端形成為球體5時因放電不良而無法順 籲利形成球體等各種錯誤。以往在此種情況下檢測出不良時 亦是停止打線裝置（例如參照專利文獻4、5)。又由於產 生未附著等之錯m，有纟毛細f 16冑端未形成既定形狀 之球體5的情形，因此提出了 一種藉由拍攝此引線之前端 形狀並對該資料進行處理來使打線裝置停止或進行異常警 告的方法（例如參照專利文獻”。 .【專利文獻1】日本特開2〇〇3一 163243號公報 【專利文獻2】曰本特開平2_ 298874號公報 【專利文獻3】曰本特開平7一 94545號公報 1328846 【專利文獻4】曰本特開平6- 5651號公報 【專利文獻5】曰本特公平3 — 17376號公報 【發明内容】
…而，雖然此種習知技術之打線裝置 附著檢測機構、方法，但在檢測出未附著 是使打線裝置100停止或發出不良警告， 態進行處理以持續進行接合。 針對此點，亦提出_插_ ¥，π 士 # , 種裝置可在藉由檢測出電氣方 式之放電錯誤而判斷未能將引線12冑端形成為既定球體 形狀時’將被接合構件之多餘部分捨棄並進行接合以再度 形成球體’藉此來持續進行接合(例如專利文獻4)。然而， 由於此方法會使多餘引線殘留於捨棄接合位置因此有可 能導致配線短路的問題。 除上述外之焊墊3(第丨接合點）之未附著、引腳氕第
100具備各種未 等之錯誤時仍僅 並無法對錯誤狀 2接合點)之未附著、無尾部等，由於在錯誤產生時之引線 U刖端狀態有很多種’因此無法進行如上述捨棄接合般單 屯之處理而疋必須停止操作，由操作員確認引線^等 之狀況後再進行回復處理。因此，無法恢復此種錯誤來持 續進行接合。 因此’本發明之目#’係提供-種當產生焊S 3(第1 接合點）之未附著、_4(第2接合點）之未附著、無尾部、 放電錯誤等時，可在不停止打線裝置之狀態下進行回復處 理，並持續進行接合的打線裝置。 1328846 本發明之目的，可兹 了藉由下述打線裝置來達成，亦即一 種打線裝置，具備：移動 _ 栘動機構，係使插通有引線且用以 工件進行接合的毛細營銘# & 移動於ΧΥΖ方向；通電狀態取得機 構，係使引線與工件之門.s 間通電’以檢測出其通電狀態；攝 影機構，係拍攝工件.古杜边W ^ ，先路機構，係將毛細管前端附近之 立面衫像導至攝影機構；純 衣體形成機構，係將引線前端形
成為既定形狀的球體；以及接合控㈣，係以引線連接第 i接合點與第2接合點之間；其特徵在於： 接合控制部，呈右· φ ^ ^丄 八有.電耽式未附著檢測機構，係處理 以通電狀態取得機構取得之帛1接合點與引線間之通電狀 態訊號，來以電氣方式檢測第！接合點與引線間之未附著； 光學式未附著檢測機構’係處理以攝影機構取得之俯視影 像’來以光學方式檢測帛1接合點之引線的未附著；光學 式形狀檢賴構，係處_由㈣機構透過光路機構所取 得之毛細管前端附近之引線的立面影像，以檢測引線之前 端部形狀’以及未附著回復機構，當以電氣式未附著檢測 機，檢測出未附著，且以光學式未附著檢測機構檢測出未 附者時’即根據光學式形狀檢測機構檢測出之引線前端形 狀’藉由球體形成機構將引線前端再度形成為既定形狀之 球體’以對第i接合點進行再接合。χ，前述打線裝置進 一步具備用以分別開關把持引線之複數個夾具的夾具開關 機構；控制部進一步具有再抽尾機構，此機構係當以電氣 式未附著檢測機構檢測出未附著、以光學式未附著檢測機 構檢測出未附著…光學式形狀檢測機構檢測出之毛細 12 1328846 管前端之狀態非為既定狀態時，根據光學式形狀檢剛機構 檢測出之毛細管前端之引線狀態，藉由失具開關機構與透 過移動機構使毛細管上下動’來將引線抽出至毛細管前 端，直到毛細管前端之引線成為既定狀態為止。 本發明之目的，可藉由下述打線裝置來達成亦即— 種打線裝置，具備：移動機構，係使插通有引線且用以對 工件進行接合的毛細管移動於XYZ方向；通電狀態取得機 _ 構，係使引線與工件之間通電，以檢測出其通電狀態；攝 影機構，係拍攝工件；光路機構，係將毛細管前端附近之 立面影像導至攝影機構；球體形成機構，係將引線前端形 成為既定形狀的球體；夾具開關機構，係分別開關把持引 線之複數個夹具；以及接合控制部，係在以引線連接第】 ' 接合點與第2接合點之間後切斷引線；其特徵在於： 接合控制部，具有：電氣式無尾部檢測機構，係在接 合於第2接合點後且切斷引線前，處理以通電狀態取得機 φ 構取得之第2接合點與引線間之通電狀態訊號，來檢測尾 部引線未達既定長度之無尾部；光學式形狀檢測機構，係 處理藉由攝影機構透過光路機構所取得之毛細管前端附近 之引線的立面影像，以檢測引線之前端部形狀；再抽尾機 構，當以電氣式無尾部檢測機構檢測出無尾部，且以光學 式形狀檢測機構檢測出之毛細管前端之引線狀態非為既定 狀態時，即根據光學式形狀檢測機構檢測出之毛細管前端 之引線狀態，藉由夾具開關機構與透過移動機構使毛細管 上下動’來將引線柚出至毛細管前端，直到毛細管前端之 13 引線成為既定狀態為止； 及‘，·、尾°卩回復機構’係根據光 予式形狀檢測機構檢測出之引 丨綠前鳊形狀，藉由球體形成 機構將引線前端再度形成為既定形狀之球體。 本發明之目的，可藉由下述打線裝置來達成，亦即一 種打線裝置，具傷·移動機構，係使插通有引線且用以對 工件進行接合的毛細管移動於抓方向；攝影機構，係拍 攝工件，光路機構，係將毛細管前端附近之立面影像導至 攝〜機構，球體形成機才冓，係藉由放電電極與引線間之放 電來將引線則端形成為既定形狀的球體；&電狀態取得機 構，係取得放電電極與引線間之放電狀態；夾具開關機構， 係分別開關把持引線之複數個夾具；以及接合控制部，係 以引線連接第1接合點與第2接合點之間；其特徵在於： 接合控制部，具有：電氣式放電異常檢測機構，係處 理在球體形成機構放電時以放電狀態取得機構取得之放電 電極與引線間之放電狀態訊號，來以電氣方式檢測球體形 成機構之放電是否正常；光學式形狀檢測機構，係處理藉 由攝影機構透過光路機構所取得之毛細管前端附近之引線 的立面影像’以檢測引線之前端部形狀；再抽尾機構，當 以電氣式放電異常檢測機構檢測出放電異常，且以光學式 形狀檢測機構檢測出之毛細管前端之引線狀態非為既定狀 態時’即根據光學式形狀檢測機構檢測出之毛細管前端之 引線狀態’藉由夾具開關機構與透過移動機構使毛細管上 下動’來將引線抽出至毛細管前端，直到毛細管前端之引 線成為既定狀態為止；以及放電異常回復機構，當以電氣 1328846 式放電異常檢測機構檢測出放電異常，且以光學式形狀檢 測機構檢測出之毛細管前端之引線狀態為既定狀態時，即 根據光學式形狀檢測機構檢測出之引線前端形狀，藉由球 體形成機構將引線前端再度形成為既定形狀之球體。
本發明之目的，可藉由下述記錄有打線裝置之接合控 制程式的記錄媒體來達成，亦即一種記錄有打線裝置之接 合控制程式的記錄媒體，該打線裝置，係以引線連接第i 接合點與f 2接合點’其具備：移動機構，係使插通有引 線且用以對工件進行接合的毛細管移動於χγζ方向；通電 狀態取得機構，係使引線與工件之間通電，以檢測出其通 電狀態；攝影機構，係拍攝工件；光路機構，係將毛細管 前端附近之立面影像導至攝影機構；球體形成機構，係將 引線前端形成為既定形狀的以&接合控制部，係控 制接合裝置；其特徵在於： 該接合控制程式’具有：電氣式未附著檢測程式，係 處理以通電狀態取得機構取得之帛i接合點與引線間之通 電狀態訊號，來以電氣方式檢測帛i接合點與引線間之未 附著；光學式未附著檢測程式，係處理以攝影機構取得之 俯視影像’來以光學方式檢測第！接合點之引線的未附著； 光學式形狀檢測程式’係處理藉由攝影機構透過光路機構 所：得之毛細管前端附近之引線的立面影像，以檢測引線 之則端部形狀；以及未附著回復程式，#從電氣式未附著 檢測程式輸出未附著檢測，且從光學式未附著檢測程式輸 出未附著檢測時，即根據從光學式形狀檢測程式輸出之引 15 1328846
線前端形狀，藉由球體形成機構將既定形狀之球體再度形 成於引線前端，以對第1接合點進行再接合。又，接合控 制程式所控制之打線裝置，可進一步具備用以分別開關把 持引線之複數個夾具的夾具開關機構；接合控制程式進一 f具有再抽尾程式，當從電氣式未附著檢測程式輸出未附 著松劂以光學式未附著檢測程式輸出未附著檢測，且從 光學式形狀檢測程式進行毛細管前端之引線狀態非為既定 ::的輸出時’即根據從光學式形狀檢測程式輸出之毛細 官前端之引線狀態’藉由夾具開關機構與透過移動機構使 =細管上下動’來將引線抽出至毛細管前端，直到毛細管 前端之引線成為既定狀態為止。 發月之目的，可藉由下述記錄有打線裝置之接合控 制程式的記錄媒體來達成，亦即一種記錄有打線裝置之接 合控制程式的記錄媒體，該打線裝置，係在以引線連接第 1接合點與第2接合點之間後切斷引線，其具備：移動機 構，係使插通有引線且用以對工件進行接合的毛細管移動 於xyz方向；通電狀態取得機構，係使引線與工件之間通 電，以檢測出其通電狀態；攝影機構，係拍攝工件；光路 機構，係將毛細管前端附近之立面影像導至攝影機構·球 體形成機構，係將引線前端形成為既定形狀的球體；夹且 開關機構’係分別開關把持引線之複數個夹具，·以及接I 控制部’係㈣接合裝置，·其⑽在於：該接合控制程/ 具有.電氣式無尾部檢測程式，係在接合於第2接 且切斷引線前’處理以通電狀態取得機構取得之第2接入 16 1328846 點與引線間之通電狀態訊號，來檢測尾部引線未達既定 度之無尾部；光學式形狀檢測程式’係處理藉由攝影機: 透過光路機構所取得之毛細管前端附近之引線的立面影 像，以檢測引線之前端部形狀；再柚尾程式，當從電氣式 無尾部檢測程式輸出無尾部檢測，且從光學式形狀檢測= 式輸出毛細管前端之引線狀態非為既定狀態時，即根據從 光學式形狀檢測程式輸出之毛細管前端之引線狀態，藉由 夾具開關機構與透過移動機構使毛細管上下動，來將引線 抽出至毛細管前端，直到毛細管前端之引線成為既定狀態 為止；以及無尾部回復程式，係根據從光學式形狀檢測程 式輸出之引線前端形狀，藉由球體形成機構將引線前端再 • 度形成為既定形狀之球體。 本發明之目的，可藉由下述記錄有打線裝置之接合控 制程式的記錄媒體來達成，亦即一種記錄有打線裝置之接 合控制程式的記錄媒體，該打線裝置，係以引線連接第i # 接合點與第2接合點之間，其具備：移動機構，係使插通 有引線且用以對工件進行接合的毛細管移動於χγΖ方向； 攝影機構，係拍攝工件；光路機構，係將毛細管前端附近 之立面影像導至攝影機構；球體形成機構，係藉由放電電 極與引線間之放電來將引線前端形成為既定形狀的球體； 放電狀態取得機構，係取得放電電極與引線間之放電狀 態；以及夾具開關機構，係分別開關把持引線之複數個夾 具；其特徵在於： 該接合控制程式，具有：電氣式放電異常檢測程式 17 1328846 係處理在球體形成機構放電時以放電狀態取得機構取得之 放電電極與引線間之放電狀態訊號，來以電氣方式檢測球 體形成機構之放電是否正常；光學式形狀檢測程式，係處 理藉由攝影機構透過光路機構所取得之毛細管前端附近之 引線的立面影像，以檢測引線之前端部形狀；再抽尾程式， 當從電氣式放電異常檢測機構輸出放電異常，且從光學式 形狀檢測程式輸出毛細管前端之引線狀態非為既定狀態 時，即根據從光學式形狀檢測程式輸出之毛細管前端之引 線狀態，藉由夾具開關機構與透過移動機構使毛細管上下 動，來將引線抽出至毛細管前端’直到毛細管前端之引線 成為既定狀態為止；以及放電異常回復程式，當從電K ^電異常檢測程式輸出放電異常，且從光學式形狀檢測程 2出毛細管前端之引線狀態為既定狀態_，即根據從光 =形㈣測程式輸出之引線前端形狀，#由球體形成機 .引線别端再度形成為既定形狀之球體。 本發明之目的，可藉由下述接合方法來達成，亦即一 ::線裝置之接合方法’該打線裝置，係以引線連接第丨 接δ點與第2接合點之間，豆 具備.移動機構，係使插通 用以對工件進行接合的毛細管移動於ΧΥΖ方向. =狀態取得機構，係使引線與工件之間通電，以檢測出 -通電狀態，攝影機構，係拍攝工件；光路機 細管前端附近之立面影 ’、將毛 ^ ^ ai ^ . 像導至攝影機構，球體形成機構， ------ 丄⑽846 電氣式未附著檢測步驟 取得之第1姐入 … 队您取得機構 第接合點與引線間之通電狀態訊號，來以電氣方 ::測第1接合點與引線間之未附著；光學式未附著檢測 ^ ，係處理以攝影機構取得之俯視影像，來以光學方★ =第U合點之引線的未㈣；光學式形狀檢測步驟: 斤、理#由攝影機構透過光路機構所取得之毛細管前端附 近2弓丨線的立面影像，以檢測引線之前端部形狀；以及未
:著回復步驟，當以電氣式未附著檢測步驟檢測出未附 者風且以光學式未附著檢測步驟檢測出未附著時，即根據 光予式形狀檢測步驟檢測出之引線前端形狀，藉由球體形 成機構將引線前端再度形成為既定形狀之球體，以對第i 接。點進行再接合。又，使用接合方法之打線裝置，進一 爐了備用以刀另㈣關把持引線之複數個爽具的夹具開關機 ;接合方法進一 #具有再抽尾㈣，當氣式未附著 檢叫步驟檢測出未附著、以光學式未附著檢測步驟檢測出 未附著，且以光學式形狀檢測步驟檢測出之毛細管前端之 狀^非為既定狀態時，即根據光學式形狀檢測步驟檢測出 之毛細管前端之引線狀態，藉由失具開關機構與透過移動 機構=毛細管上下動，來將引線抽出至毛細管前端，直到 毛細管前端之引線成為既定狀態為止。 本發明之目的，可藉由下述接合方法來達成，亦即一 種打線裝置之接合方法，該打線裝置，係在以引線連接第 接〇點與第2接合點之間後切斷引線，其具備：移動機 構，係使插通有引線且用以對工件進行接合的毛細管移動 1328846 於xyz方向；通電狀態取得機構，係使引線與工件之間通 電，以檢測出其通電狀態；攝影機構，係拍攝工件；光路 機構係將毛細官則端附近之立面影像導至攝影機構；球 體形成機構，係將引線前端形成為既定形狀的球體；夹具 開關機構，係分別開關把持引線之複數個夾具；以及接合 控制部，係控制接合裝置；其特徵在於，具有： 電氣式無尾部檢測步驟，係在接合於第2接合點後且 切斷引線前，處理以通電狀態取得機構取得之第2接合點 與引線間之通電狀態訊號，來檢測尾部引線未達既定長度 之無尾部；光學式形狀檢測步驟，係處理藉由攝影機構透 過光路機構所取得之毛細管前端附近之引線的立面影像， 以檢測引線之前端部形狀；再抽尾步驟，當以電氣式益尾 部檢測步驟檢測出無尾部，且以光學式形狀檢測步驟檢測 出之毛細管前端之引線狀態非為既定狀態時，即根據光學 式形狀檢測步驟檢測出之毛細管前端之引線狀態，藉由夾 具開關機構與透過移動機構使毛細管上下動，來將引線抽 出至毛細管前端’直到毛細管前端之引線成為既定狀態為 止，以及無尾部回復步驟，係根據光學式形狀檢測步驟檢 測出之引線前㈣狀’藉由球體形成機構將引線前端再度 形成為既定形狀之球體。 本發明之目的’可藉由下述接合方法來達成，亦即_ 種打線裝置之接合方法，該打線裝置，係以引線連接第1 ^合點與第2接合點之間，其具備：移動機構係使插通 有引線且用以對X件進行接合的毛細管移動於χγζ方向 20 1328846 攝影機構，係拍攝工件；光路機構，係將毛細管前端附近 之立面影像導至攝影機構；球體形成機構，係藉由放電電 極/、引線間之放電來將引線前端形成為既定形狀的球體； 放電狀態取得機構，係取得放電電極與引線間之放電狀 態；以及夾具開關機構，係分別開關把持引線之複數個夾 具；其特徵在於，具有： 電氣式放電異常檢測步冑，係處理在球體形成機構放 電時以放電狀態取得機構取得之放電電極與引線間之放電 狀態訊號，來以電氣方式檢測球體形成機構之放電是否正 常；光學式形狀檢測㈣，係4理藉由攝影機構透過光路 機構所取得之毛細管前端附近之引線的立面影像，以檢測 引線之前端部形狀；再抽尾步驟，當以電氣式放電異常檢 測步驟檢測出放電異常，且以光學式形狀檢測步驟檢測出 之毛細管前端之引線狀態非為既定狀態時，即根據光學式 形狀檢測步驟檢測出之毛細管前端之引線狀態，藉由夹且 開關機構與透過移動機構使毛細管上下動，來將引線抽出 至毛細管前端，直到毛細管前端之引線成為既定狀態為
止，以及放電異常回復步驟，當以電氣式放電異常檢測步 驟檢測出放電里當，B 光學式形狀檢測步驟檢測出之毛 細管前端之引線狀態為既定狀態時，即根據光學式形狀檢 IJt驟檢測出之引線前端形狀，藉由球體形成機構將引線 别端再度形成為既定形狀之球體。 點）之本未Γ著可發揮如下效果，亦即當產生痒塾3(第1接合 點）之未附者、引腳4(第2接合點）之未附著、無尾部放 21 電錯誤等時，可在不停止打線裝 不1疋狀態下進行回復處 理’並持續進行接合。 【實施方式】 n以下說明本發明之實施形態。說明中，與習知技術相 同之部分係賦予相同符號，省略其說明。 【實施例1】 % 本發明之第1實施形態之打線裝置1〇示於圖 明之打線裝置，係取代習知技術之打線裝置⑽的位置 檢測攝影機，而具備了不僅能檢測仅置且亦 影的攝影機構28，又，具偌讦兹山+ 件攝 備了藉由失具開關機構27來開 % 關之第！夾具17a、第2夹具17b之兩個夾具，進一步地， =毛細管16前端附近之立面影像導至攝影機構28的 機構24、以及取得放電電極與間之放電狀離 的放電狀態取得…，攝影機構28連接於攝影機構： 面40，夹具開關機構27連接於夹# „ # ^ 48 q 態取得機構29連接於放電狀態介面5〇,各介面透 ^排—32連接於控制部30。此處，第1夹具m與毛細 s 起移動於Z方向，第2夾具m固定於接合頭。 此方式構成之打線裝置丨〇由控制部3 〇控制， 驟來進行打線與焊塾3(第i接合點)未附著產； 之通常回復動作。 ^ ⑴以與習知技術所述者相同之方法與步驟來進行對缚 3(第1接合點)之接合、未附著檢測(圖2,步驟si〇i〜 22 1328846 S 105，圖 6(a)〜（c))。 (2) 即使在以電氣式未附著檢測機構（藉由控制部處 理通電狀態取得機構22之訊號）檢測出焊墊3(第丨接合點） 之未附著時，毛細管16亦持續往引腳4(第2接合點）移動， 而對引腳4(第2接合點）進行接合（圖2,步驟Μ%，圖 6(d))。不過，並不進行為了檢測引腳4(第2接合點）之無 尾部狀態、引腳未附著狀態的通電狀態取得動作。 (3) 在接合至引腳4(第2接合點）後，使毛細管16上升 並伸長尾部引線8，接著關閉第1夾具17a來使其與毛細 管16 —起上升，以切斷引線12(圖2 ,步驟si〇6〜Si〇8， 圖6(e)〜（f))。藉由對此引腳4(第2接合點）之接合動作， 來於毛細管16前端作出可形成為球體的尾部？丨線8。 (4) 當以電氣式未附著檢測機構檢測出焊墊3(第丨接合 點）之未附著時，控制部30即發出進行焊墊未附著回復處 之♦曰令根據此指令’開始焊塾未附著回復處理si 〇9。 (5) 當開始焊墊未附著回復處理Sl09時，控制部3〇即 错由移動機構18將由CCD攝影機等構成之攝影機構28移 動至焊墊3(第i接合點）會進入其視野6〇的位置（圖3，步 驟S2〇2)。接著，取得檢測出未附著之焊墊3(第1接合點） 周圍的俯視影像（圖3，步驟S2〇3，圖6(g))。所取得之俯 視影像透過攝影機構介面40輸入控制部30,並分析該影 像（圖3，步鄉S2〇4)。所取得之俯視影像例如圖1〇所示。 圖10(a)係顯示已正常接合之狀態，圖l〇(b)係顯示未附著 狀態。圖10(a)，（b)均顯示從視野6〇之下方向上方進行接 23 1328846
合，下焊墊為已經正常結束接合之焊墊，中央焊墊3為接 合中之焊墊’最上方之焊墊為未接合之焊墊。圓ι〇⑷中， 雖可看到於中央焊塾麼接球體5所形成之第1接合部6(壓 接球），但圖10(b)中，於焊塾3上則看不到第J接合部唱 接球)。藉由以_"〇之光學式未附著檢測機構來處理 此種俯視影像，即可檢測實際上於焊墊3是否已進行第1 接合部6(屋接球）之形成、接合。未附著之檢測方式，可 藉由控制部3〇之光學式未附著檢測機構來判斷第1接合 部(壓接球)之有無’亦可先將可容許之第i接合部(壓接球。 之形狀資料儲存於記㈣34，再藉由以光學式未附著檢測 機構與該資料進行比較來進行未附著檢測處理。 (6)當以光學式未附著檢測機構判斷焊墊3(第丨接合點） 為未附著時’控制部30即藉由移動機構18，使毛細； 移動至可藉由放電再度進行球體形成的放電位置（圖3， 驟 S206，圖 6(h))。 , ⑺當移動至放電位置後，即於球體形成機構％(電氣 炬）之放電電極與尾部引線8之間進行放電，藉此將尾部引 線8前端形成為球體形狀。藉放電所形成之球體形狀，係 取決於透過放電賦予尾部㈣8之帶電量。例如，可求出 帶電量作為放電電流之積分值’當該值成為既定之值時即 可檢測放電是否已適切地進行。玫電狀態檢測機構Μ取 知此種放電電流等放電時之電流狀態。該取得之資料藉由 放電狀態取得介面50輸人控制部3()，並以電氣式放電異 常檢測機構來與記憶部34之資料進行比較處理，以判斷 24 1328846 是否產生放電異常（圖3,步驟S2〇7〜S2〇9)。 (8) 當電氣式放電異常檢測機構未檢測出放電異常、而 判斷為已正常進行放電時，控制部3〇,即藉由移動機構18 使毛細管16前端移動錢有光路機構24之立面影像取得 位置（圖3 ’步驟S210)。於立面影像取得位置之基板^安 裝有基準構件25。 (9) 在立面影像取得位置中藉由發光二極體等之發光 器從毛細管16側面共同照明毛細管16之前端部與基 ^構件25，以形成其立面影像。所形成之立面影像，透過 媒鏡24a、稜鏡24b之光路機構24而被導至攝影機構28。 ”機構28取得該毛細管16前端之立面影像，並從攝影 機構介面4〇輸入控制部3〇(圖3,步驟S211…⑴ .之立面影像由控制部30之光學式形狀檢測機構進行 x判斷所形成之球體5直徑是否為既定直徑 步驟 S219、· v 。當已形成球體5時，所取得之立面影像即如 圆 11 (d)，fe、# - 不於視野62中包含毛細管16、球體5、 尾部引線8、美Μ 你主& 土平構件25。控制部30，可根據預先求出之 像素數與視野中 之球體5 〒之球體長度之關係的校正結果，來從影像 之部分像素數求出球體直徑，亦可求出與一起拍 攝於視野62 ψ τ, ^ 甲之基準構件的相對長度，再從該關係求出 球體直徑。接 ^ 你ώ μ 考’將以光學式形狀檢測機構取得之球體直 4興儲存於纪 ^ ° U邵34之既定基準範圍資料進行比較’判 斷球體直徑是 〜货在既定基準範圍（圖3,步驟S212,圖6(i))。 (10)當以光風4' %予式形狀檢測機構所檢測出之球體5形狀 25 丄 在容許範圍内時， S214) 〇 即結束焊墊未附著回復程式（圖3 步驟 ⑴）焊塾未附著處理S1()9結束後，控 移動機構1 R你ί > υ即藉由 吏毛細管16之位置再度移動至焊墊 δ點）（圖2，步驟接 7鄉S109至步驟sl〇2，圖扣））。 (12)接著，再度對焊墊3(第丨接合點）進 步驟S102,圖6(k))。 订接。（圖2,
“（13)當球體形狀未成既定形狀時，即判斷為焊 著回復失敗’進行錯誤停止處理（圖3，步驟如3)。
“如以上所述’本發明帛丨㈣形態之可進行焊塾未附 著回復處理的打線裝置，由於在根據通電狀態以電氣式未 附著2測機構檢測出未附著後，透過俯視影像，以光學式 未附耆檢測機構來檢測、判斷未附著之狀況，並以兩者檢 測機構共同檢測出未附著時，即視為產生未附著，因此與 僅以電氣式未附著檢測機構之結果來判斷未附著並進行停 止處理之s知打線裝置相較，可減少因經常進行未附著之 錯誤檢測而停止之情形，謀求運轉率之提高。 又，由於當藉由根據通電狀態之電氣式未附著檢測機 構與根據俯視影像之光學式未附著檢測機構檢測出焊墊未 附著時，即藉由再度放電來形成球體，當以光學式未附著 檢測機構檢測、判斷其形狀成為既定形狀時，即返回焊塾 3(第1接合點）再度進行接合而可持續接合動作因此可確 實地進行焊墊未附著回復處理。藉此即可發揮下述效果， 亦即當產生焊墊未附著時’操作員即使不暫時停止打線裝 26 1328846 置來檢查狀況，仍能持續打線動作。特別是由於打線裝 置係同時使數十台裝置運轉，因此藉由回復處理，在不使 打線裝置停止之狀態下持續接合動作，可發揮使設傷運轉 效率有跳躍性提升之顯著效果。 【實施例2】 述中說明了第1實施形態中之焊塾未附著回復處 理係在接口引腳4(第2接合點）後良好地形成尾部引線8， 鲁且在球體形成機構26(電氣炬）不產生放電異常之—般的情 形4然而，當在打線裝置l0之料3 (第1接合點）產生未 ί著錯誤時’有時會有未附著後之引線前端形狀亦因異常 而再放電、導致無法將球體形成為既定形狀的情形。以下， 說月關於焊墊未附著回復處理€包含上述情形之放電異常回 I 之第2 ^施形態。說明中’對與上述—般焊塾未附 著回復處理之情形相同的步驟係賦予相同符號，省略其說 明。 Μ • (Ο與一般之焊墊未附著回復處理之流程同樣地，當對 焊墊3(第丨接合點）進行接合時，以電氣式未附著檢測機 構從通電狀態取得機構22之訊號檢測出焊墊3(第1接合 點）的未附著（圖2，S101〜S105〜S108)後，即進入焊墊未 7著回復處理（S109)，當以光學式未附著檢測機構檢測出 (第1接合點）之未附著時，即與一般之谭塾未附著 ^復處理同樣地，移動至放電位置藉由球體形成機構26(電 氣牮）來進行球體的再形成。（圖3,步驟S201〜步驟S207， 圖 7(a)〜（h))。 27 1328846 (2)不過’當在對引腳4(第2接合點）之接合步驟中未 形成良好的引線8、或尾部引線8之長度較既定長度短時（圖 7(e)〜（f))’球體形成機構26(電氣炬）之電極與尾部引線8 之距離即過長’導致無法進行既定放電而不能良好地形成 球體。放電之異常可以電氣式放電異常檢測機構來檢測’ 該電氣式放電異常檢測機構，可藉由放電狀態取得介面50 從放電狀態取得機構29將資料擷取至控制部3〇，並進行 處理。
(1) 當以電氣式放電異常檢測機構檢測出放電異常時， 控制卩0即藉由移動機構1 8使毛細管1 6前端移動至設 有光路機構24之立面影像取得位置（圖3，步驟S215)。 (4) 在立面影像取得位置中，係與一般之未附著回復處 理同樣地，拍攝毛細管16前端部之立面影像，攝影機構28 再將該毛細管16前端之立面影像透過攝影機構介面輸 入控制部30 (圖3’步驟S216, 7⑴)。所輸入之立面影 像由控制冑3G之光學式形狀檢測機構進行處理，以取得 毛細管16前端之尾部引線之長度、傾斜、彎曲等狀態（圖 3,步驟S216)。所取得之立面影像即如圖 於視野62中包含毛細管16、尾部引線8、基準 控制部30’以光學式形狀檢測機構求出尾部 :傾斜、彎曲的程度。接著，將所取得之尾部引線： …基準資料進行比較後非為既定形狀時： 仃將引線12抽出至毛細管16前端之再抽尾 28 1 ，步驟 S217〜S218，圖 7(〇)。 18(圖 1328846 (5)再抽尾處理S218如圓5、圖9所示，係藉由第ι、 第2之兩個夾具m，m之開關動作、與毛細管16及第】 央具m之上下移動來進行。夾具之開關動作，係使來自 控制部30之訊號透過夾具開關介面48來輸入夹具開關機 構27,藉此來進行。以下，說明再抽尾處理s2i8。 0)確#忍第1夹具17a，第2夹具17b均為關閉狀態（圖 5 ’ 步驟 S402，圖 9(a))。 (b)開啟第2夾具17b(圖5，步驟S403，圖9(b))。 0)以第1夾具17a —邊挾持引線12 一邊與毛細管一 起往下移動，使其停止於既定位置（圖5，步驟s4〇4,圖9⑷ 〜（d))。第1夾具i7a，藉由此動作來將繞於線轴n之引 線12抽出。 (d) 關閉第2夾具17b，並開啟第1夾具i7a(圖5，步 驟 S406，圖 9(e))。 (e) 在此狀態下使毛細管16、第1夾具i 7a往上移動。 如此，由於引線12被第2夾具17b固定，因此從毛細管16 前端送出（圖5，步驟S407，圖9(f))。 (f) 當毛細管16及第1炎具17a返回既定位置後，即 關閉第1夾具17a，並確認第1、第2夾具17a，17b之關 閉（圖5，步驟S409〜S410，圖9(g))。再抽尾處理S218並 非一次將引線抽出至成為既定長度，而是一點一點地重複 數次來陸續抽出。接著，以光學式形狀檢測機構檢測、測 定逐次抽出至毛細管前端的引線長度，並判斷成為既定長 度、形狀後，即結束再抽尾處理S218(圖3，步驟S218〜 29 1328846' 步驟S220)。 (6) 當以再抽尾處理 g1 , ^ 吏尾部引線8成為既定狀態 時’控制部3 0即以移動機播 ^ m ^ . 構18使毛細管16移動至放電 位置（圖3 ’步驟S22〇〜S2〇6，圖7⑴）。 (7) 移動至放電位置後， 於诂胁& α、& P興先刖之放電步驟同樣地， 雄v蕾、構26(電虱炬）之放電電極與尾部引線8之間 :订放電’藉此將尾部引線8前端形成為球體形狀。當放
電良好地進行，電氣式放 、 電異常檢測機構未檢測出放電異 吊時’控制部3 0，即藉由銘叙拖姐 、 你 猎由移動機構18使其移動至立面影 像取得位置，以取得球體5之 之立面衫像，並以光學式形狀 檢測機構檢測球體形狀是否忐Α 疋金成為既疋开>狀（圖3，步驟S209 〜S212，圖 7(j)〜（k)) 〇 1 (8)當成為既^球體形狀時，包含放電異常回復處理之 焊墊未附著回復處理即結束（圖3，步驟S2i4)。 (9)當焊墊未附著回復處理結束時，控制部3〇即藉由 移動機構18使毛細管16之位置再度移動至焊墊3(第i接 合點）（圖2，步驟S109〜S102，圖7(1))。 (1〇)接著，再度對焊墊3(第i接合點）進行接合（圖2, 步驟 SS102，圖 7(b))。 (11)當球體形狀未成為既定形狀時，即判斷焊墊未附 著回復失敗而進行錯誤停止處理（圖3,步驟S213)e此時， 亦可判定球體形狀，一邊以光學式形狀檢測機構確認形 狀，一邊再度進行再抽尾處理、進行再放電來反覆回復週 期’直到球體形成為既定形狀為止，或亦可在進行數次此 工328846 種處理後進行錯誤停止處理。 如上所述’本發明之第2實施形態’即使在焊塾未附 著回復處理中因放電異常而無法形成既定球體時，亦可使 用以立面影像進行㈣之光學式形狀㈣機構來檢測其尾 部引線狀態’可在進行再抽尾處理後再度放電，並進行球 體形成進而進行放電異常回復處理，持續接合動作，而能 形士既定球體。從此點來看，與如先前第！實施形態所述、 對早純產生未附著狀態而僅透過再放電之球體形成處理的 回復處理相較，即使係發生更多種之錯誤狀態，亦能適切 地進行再抽尾、形成球體來進行回復處理◊藉此，與先前 所述之第1實施形態相較，更能在不停止接合動作之狀態 下持續接合動作。特別是，此效果會在同時運轉之打線裝 置台數越多時越顯著地出現。 【實施例3】 以下，說明關於在引腳4(第2接合點）檢測出無尾部時 • 之回復處理的第3實施形態。對與先前所述之焊墊未附著 回復處理、放電時之回復處理、再抽尾處理相同的部分係 賦予相同符號，省略其說明。 (1)與通常之焊墊未附著回復處理之流程同樣地，在對 焊墊3 (第1接合點）之接合時以電氣式未附著檢測機構從 通電狀態取得機構22之訊號檢測出焊墊3(第〗接合點）之 未附著時’係當作對焊㉟3(第i接合點）之接合已良好地 進行而進行對引腳4(第2接合點）之接合。在對引腳4(第2 接合點）之接合後、引線切斷前之毛細管16上升中，與在 31 1328846. 引線切斷動作後藉由通電狀態取得機冑22取得通電狀態 訊號。其後，以電氣式無尾部檢測機構從引線切斷前之= 電狀態訊號檢測出無尾部。當檢測出無尾部時，控制部別 即輸出開始無尾部回復處理S116之指令（圖2，步驟_ 〜S115 ,圖 8(a)〜（〇))。 ⑺當無尾部回復處理S116開始時，控制部3〇,即藉 由移動機構18使毛細管16前端移動至設有光路機構2: 之立面影像取得位置，以取得毛細管前端的立面影 4，步驟 S302〜S303，圖 8(d))。 (3)在立面影像取得位置中，係與先前所述之包含放電 :吊回復處理的未附著回復處理同樣地，拍攝毛細管b :端：：立面影像’並透過攝影機構介面4〇輸入控制部 所輸入之立面影像在控制部30中進行處理以光學 3Γ=Γ毛細管16前端之尾部51線8之長度 飞傾斜、彎曲等的狀態（圖4,步驟S304)。 邊⑷當所取得之尾部引線8之狀態非為既定狀態時，即 邊以光學式形狀檢測機構檢測尾部引線8之形狀 進仃前述再抽尾處理S305，直 逻 定形狀為止（圖4,步驟咖，圖8(°d))/之形狀成為既 ⑺當藉由再抽尾處理S305使尾部引線8成為既定狀 :’控制部30即藉由移動機構18使毛細管16移動至 位置（圖4，步驟S306，圓8(e))。 地，(進)J:電動至：電位置後，即與先前之放電步驟同樣 猎此將尾部引線8前端形成為球體形狀。 32 1328846 電良好地進行，電氣式放電異常檢測機構未檢測出放 電”常時’控制部30 ’即藉由移動機構18使其移動至立 面影像取得位置，以取得球體5之立面影像並以光學式 形狀檢測機構檢測球體形狀是否成為既^形狀（圖4，步驟 S309〜S312，圖 8(f))。 (7) 當成為既定球體形狀時，無尾部回復處理即結束(圖 4，步驟 S314)。 (8) 當無尾部回復處輯料，接合㈣即結束（圖2, 步驟S116〜步驟S119)。 ⑼控制部30藉由移動機構18使毛細管16之位置移 動至次-焊塾3(第！接合點），持續進行次—接合動作。 (1〇)當球體形狀未成為既定形狀時，即判斷無尾部回 復失敗而進行錯誤停止處理（圖4,步驟s3i3)。此時，亦 可判定球體形狀，一邊以光學式形狀檢測機構確認形狀， 一邊再度進行再減處理、進行再放f來反覆回復週期， 直到球體形成為既定形狀為止，或亦可在進行數次此種處 理後進行錯誤停止處理。 如上所述，本發明之第3實施形態，即使在引腳4(第 2接合點)中’產生尾部引線未成為既定長度之無尾部錯誤 時’亦可使用以立面影傻推 丁判斷之光學式形狀檢測機構 來檢測其尾部引線狀態，可在進行再抽尾處理後再度放 電，並進行球體形成進而進行錯㈣復，㈣接合動作， 而能形成既定球體。從此點來看，與如先前第！、第2實 施形態所說明之焊塾未附著回復處理相辅相乘，可對應更 33 1328846 多樣之錯誤狀態，且能在不停止接合動作之狀態下持續接 合動作。特別是，此效果會在同時運轉之打線裝置台數越 多時越顯著地出現。 【圖式簡單說明】 圖1 ’係本發明之打線裝置的控制系統圖。 圖2 ’係顯示本發明之回復處理整體步驟的流程圖。 圖3，係顯示本發明之焊墊未附著回復處理的流程圖。 圖4 ’係顯示本發明之無尾部回復處理的流程圖。 圖5’係顯示本發明之再抽尾回復處理的流程圖。 圖6，係顯示本發明之通常之焊墊未附著處理動作的 圖。 圖7，係顯示包含本發明之放電異常 未附著回復處理動作的圖。 ¥塾 圖8，係顯示本發明之無尾部回復處理動作的圖。 圖9，係顯示本發明之再抽尾處理之動作的圖。 圖1〇,係顯示藉由俯視影像取得機構所取得之焊墊部 之俯視影像的圖。 係'顯示引線前端附近之立面影像的圖。 圖12 ’係習知技術之打線裝置的構成圖。 圖13，係顯示習知技術之整體打線動作的流程圖。 pg飞 1 Λ " ’係顯示習知技術之打線動作的動作圖。 15係顯示半導體晶片打線接合於引腳架之狀態的 34 1328846
主要元件符號說明 2 半導體晶片 3 第1接合點（焊墊） 4 第2接合點（引腳） 5 球體 6 第1接合部（壓接球） 7 第2接合部 8 尾部引線 10 打線裝置 11 線轴 12 引線 13 接合臂 14 工件 15 引腳架 16 毛細管 17 夾具 17a 第1夾具 17b 第2夾具 18 移動機構 19 接合頭 20 XY台 21 發光器 22 通電狀態取得機構 35 1328846
23 基板 24 光路機構 24a 透鏡 24b 稜鏡 25 基準構件 26 球體形成機構（電氣炬） 27 夾具開關機構 28 攝影機構 29 放電狀態取得機構 30 控制部（CPU) 32 資料匯流排 34 記憶部（記憶體） 40 攝影機構介面 42 通電狀態取得機構介面 44 移動機構介面 46 球體形成機構介面 48 夾具開關介面 50 放電狀態取得機構介面 100 打線裝置 128 位置檢測攝影機 140 位置檢測攝影機介面 36

Claims (1)

  1. 十、申請專利範困： 1.一種打線裝置，具備： 移動機構，係使插通有引線且用以對工件進行接合的 毛細管移動於ΧΥΖ方向； L電狀態取得機構，係使引線與工件之間通電，以檢 測出其通電狀態； 攝影機構，係拍攝工件； 機構； 光路機構，係將毛細管前端附近之立面影像導至攝影 體； 以及 球體形成機構，係將引線前端形成為既定形狀的球 之間 接合控制部，係以引線連接第i接合點與第2接合點 其特徵在於： 接合控制部，具有： 取得2式未附著檢測機構，係處理以通電狀態取得機構 ,^ 1接合點與引線間之通電狀態訊號，來以電氣方 式檢測S 1接合點與引線間之未附著； 視影ί學Ϊ未附著檢測機構’係處理以攝影機構取得之俯 ^與光學方式檢測第1接合點之引線的未附著； 機構係處理藉由攝影機構透過光路 未附著回復機構，係當以電氣式未附著檢測機構檢挪 37 1328846 出未附著，且以光學式未附著檢測機構檢測出未附著時， 根據光學式形狀檢測機構檢測出之引線前端形狀，藉由球 體形成機構將引線前端再度形成為既定形狀之球體，以對 第1接合點進行再接合》 2.如申請專利範圍第丨項之打線裝置，其進一步具備 用以分別開關把持引線之複數個夹具的夾具開關機構； 控制部進一步具有再抽尾機構，此機構係在以電氣式 φ 未附著檢測機構檢測出未附著、以光學式未附著檢測機構 檢測出未附著，且以光學式形狀檢測機構檢測出之毛細管 前端之狀態非為既定狀態時，根據光學式形狀檢測機構檢 測出之毛細管前端之引線狀態，藉由夾具開關機構與透過 移動機構使毛細管上下動，來將引線抽出至毛細管前端， •直到毛細管前端之引線成為既定狀態為止。 3.—種打線裝置，具備： 移動機構，係使插通有引線且用以對工件進行接合的 • 毛細管移動於XYZ方向； 通電狀態取得機構，係使引線與工件之間通電，以檢 測出其通電狀態； .攝影機構，係拍攝工件； 光路機構，係將毛細管前端附近之立面影像導至攝影 機構； 球體形成機構，係將引線前端形成為既定形狀的球體； 夾具開關機構，係分別開關把持引線之複數個夾具； 以及 38 1328846 接合控制部，係在以引線連接第i接合點與 點之間後切斷引線； 0 其特徵在於： 接合控制部，具有： 電氣式無尾部檢測機構，係在接合於第2接人點後 切斷引線前，處理以通電狀態取得機構取得之第2接^點 與引線間之通電狀態訊號，來檢測尾部引線未達：·: 之無尾部； &
    光學式形狀檢測機構，係處理藉由攝影機構透過光路 機構所取得之毛細管前端附近之引線的立面影像，以檢測 引線之前端部形狀； 再抽尾機構，係在以電氣式無尾部檢測機構檢測出無 尾部，且以光學式形狀檢測機構檢測出之毛細管前端之引 線狀態非為既定狀態時，根據光學式形狀檢測機構檢測出 之毛細官前端之引線狀態，藉由夹具開關機構與透過移動 機構使毛細管上下動，來將引線抽出至毛細管前端直到 毛細管前端之引線成為既定狀態為止；以及 無尾部回復機構，係根據光學式形狀檢測機構檢測出 之引線前端形狀，藉由球體形成機構將引線前端再度形成 為既定形狀之球體。 4. 一種打線裝置，具備： 移動機構’係使插通有引線且用以對工件進行接合的 也細管移動於XYZ方向； 攝影機構，係拍攝工件； 39 1328846 光路機構，係將毛細管前端附近之立面影像導至攝影 機構； 球體形成機構，係藉由放電電極與引線間之放電來將 引線前端形成為既定形狀的球體； 放電狀態取得機構，係取得放電電極與引線間之放電 狀態； 夾具開關機構，係分別開關把持引線之複數個夾具； 以及 接合控制部，係以引線連接第丨接合點與第2接合點 之間； 其特徵在於： 接合控制部，具有： 電氣式放電異常檢測機構’係處理球體形成機構放電 時以放電狀態取得機構取得之放電電極與引線間之放電狀 態訊號’來以電氣方式檢測球體形成機構之放電是否正 常； 光學式形狀檢測機構，係處理藉由攝影機構透過光路 機構所取得之毛細管前端附近之引線的立面影像，以檢測 引線之前端部形狀； 再抽尾機構’係在以電氣式放電異常檢測機構檢測出 放電異常’且以光學式形狀檢測機構檢測出之毛細管前端 之引線狀態非為既定狀態時，根據光學式形狀檢測機構檢 測出之毛細管前端之引線狀態，藉由夾具開關機構與透過 移動機構使毛細管上下動，來將引線抽出至毛細管前端， U28846 直到毛細管刖端之引線成為既定狀態為止；以及 放電異常回復機構，係在以電氣式放電異常檢測機構 其：出放電異f ’且以光學式形狀檢測機構檢測出之毛細 二：知之引線狀態為既定狀態時’根據光學式形狀檢測機 構檢測出之引蝻^ρ d y線削柒形狀，藉由球體形成機構將引線前端 再度形成為既定形狀之球體。 5· 一種記錄有打線裝置之接合控制程式的記錄媒體，
    ^ 丁線裝置，係、以引線連接帛工接合點與第2接合點，其 具備： 移動機構’係使插通有引線且用以對工件進行接合的 毛細管移動於XYZ方向； 通電狀‘4取得機構，係使引線與工件之間通電，以檢 測出其通電狀態； 攝影機構，係拍攝工件； 機構光路機構’係將毛細管前端附近之立面影像導至攝影 m體形成機構係、將引線前端#成為既定形狀的球體； 接合控制部，係控制接合裝置； 其特徵在於： 該接合控制程式，具有： 取得電氣式未附著檢測程式，係處理以通電狀態取得機構 第1接合點與引線間之通電狀態訊號，來以電氣方 ^測第1接合點與引線間之未附著； 光干式未附著檢測程式，係處理以攝影機構取得之俯 景/像戽來以光學方式檢測第1接合點之引線的未附著； 光干式形狀檢測程式，係處理藉由攝影機構透過光路 機構所取得之毛細管前端附近之引線的立面影像，以檢測 引線之前端部形狀；以及 j附著回復程式，係當從電氣式未附著檢測程式輸出 未附著檢測’且從光學式未附著檢測程式輸出未附著檢測 時根據從光學式形狀檢測程式輸出之引線前端形狀，藉 由球體^/成機構將定形狀之球體再度形成於引線前端， 以對第1接合點進行再接合。 6·如申研專利範圍帛5項之記錄有打線裝置之接合控 制私式的6己錄媒體，其中，接合控制程式所控制之打線裝 置，進一步具備用以分別開關把持引線之複數個夾具的夾 具開關機構； 接合控制程式進一步具有再抽尾程式，此程式係當從 電氣式未附著檢測程式輸出未附著檢測、以光學式未附著 檢測程式輸出纟附著檢測，職光學式形㈣測程式輸出 毛細官則端之引線狀態非為既定狀態時，根據從光學式形 狀檢測程式輪出之毛細管前端之引線狀態，藉由夾具開關 機構與透過移動機構使毛細管上下動，來將引線抽出至毛 細管前端，直到毛細管前端之引線成為既定狀態為止。 7·—種§己錄有打線裝置之接合控制程式的記錄媒體， 該打線裝置，係在以引線連接第丨接合點與第2接合點之 間後切斷引線，其具備： 42 1328846 以對工件進行接合 的 移動機構，係使插通有引線且用 毛細管移動於XYZ方向； 電，以檢 攝影機構’係拍攝工件； 光路機構’係將毛細管前端附近之立面影像導至 通電狀態取得機構，係使引線與工 測出其通電狀態； B 機構； 一 W丨务导主攝影 • 球體形成機構’係將引線前端形成為既定形狀的球體. 以及失具開關機構’係分別開關把持?|線之複數個夹具: - 接合控制部，係控制接合裝置，· 其特徵在於： 該接合控制程式，具有： 切斷2式無尾部檢測程式，係在接合於第2接合點後、 2=前，處理以通電狀態取得機構取得之第2接合點 •之| 通電狀態訊號，來檢測物,線未達既定長度 '^無尾部； 光學式形狀檢測程式，係處理藉由__透過光路 2所取得之毛細管前端料之5|線的立面料，以檢測 5丨線之前端部形狀，· 邻铪：抽尾程式’係當從電氣式無尾部檢測程式輸出無尾 2測’且從光學式形狀檢測程式輸出毛細管前端之引線 也非錢定狀糾，根據從光學式形狀檢測程式輸出之 毛細管前端之引線狀態，藉由夹具開關機構與透過移動機 43 丄⑽846 構使毛細管上下動 B别端之引線成為
    無尾部回復程式， 之引線前端形狀，藉由 為既定形狀之球體。 式’係根據從光學式形狀檢測程式輪出 藉由球體形成機構將引線前端再度形成 種記錄有打線裝置之接合控制程式的記錄媒體 。亥打線裝置，係以引線連接第 其具備： 1接合點與第2接合點之間， 移動機構，係使插通有引線且用以對工件進行接合的 毛細管移動於xyz方向； ° .攝影機構，係拍攝 工件； 光路機構，係將毛細管前端附近之立面影像導至攝影 機構； 球體形成機構，係藉由放電電極與引線間之放電來將 引線前端形成為既定形狀的球體； 放電狀態取得機構，係取得放電電極與引線間之放電 狀態；以及 夹具開關機構，係分別開關把持引線之複數個夾具； 其特徵在於： ~ 該接合控制程式，具有： 電氣式放電異常檢測程式，係處理球體形成機構放電 時以放電狀態取得機構取得之放電電極與引線間之放電狀 態訊號，來以電氣方式檢測球體形成機構之放電是否正 光予式形狀檢測程式，係處理藉由攝影機構透過光路 機構所取得之毛細管前端附近之引線的立面影像，以檢測 引線之前端部形狀； 尾程式係备從電氣式放電異常檢測機構輸出放 電”常i攸光學式形狀檢測程式輸出毛細管前端之引線 狀態非為既定狀態時，根據從光學式形狀檢測程式輸出之 毛細管前端之引線狀態，藉由爽具開關機構與透過移動機
    構使ί細管上下動，來將引線抽出至毛細管前端，直到毛 細管刚端之引線成為既定狀態為止；以及 電異常回復程式，係當從電氣式放電異常檢測程式 月1放電異常，且從光學式形狀檢測程式輸出毛細管前端 :引線狀：為既定狀態時，根據從光學式形狀檢測程式輸 ,^ 猎由衣體形成機構將引線前端再度形 成為既定形狀之球體。
    該打線裝置，係以引線 ’其具備： 用以對工件進行接合的 9. 一種打線裝置之接合方法， 連接第1接合點與第2接合點之間 移動機構，係使插通有引線且 毛細管移動於XYZ方向； 係使引線與工件之間通電，以檢 通電狀態取得機構， 測出其通電狀態； 攝影機構， .光路機構， 機構； 係拍攝工件； 係將毛細管前端附近之立面影像導至攝影 球體形成機構， 係於引線前端形成既定形狀的球體 45 1328846 以及 接合控制部，係控制接合裝置； 其特徵在於，具有： 電氣式未附著檢測步驟，係處理以通電狀態取得機構 取得之第1接合點與引線間之通電狀態訊號，來以電氣方 式檢測第1接合點與引線間之未附著； 光學式未附著檢測步驟，係處理以攝影機構取得之俯 視影像’來以光學方式檢測第1接合點之引線的未附著； 光學式形狀檢測步驟，係處理藉由攝影機構透過光路 機構所取得之毛細管前端附近之引線的立面影像，以檢測 引線之前端部形狀；以及 未附著回復步驟，係當以電氣式未附著檢測步驟檢測 出未附著’且以光學式未附著檢測步驟檢測出未附著時， 根據光學式形狀檢測步驟檢測出之引線前端形狀，藉由球 體形成機構將引線前端再度形成為既定形狀之球體，以對 第1接合點進行再接合。 10.如申請專利範圍第9項之接合方法，其中，使用接 合方法之打線裝i ’進一步具備用以分別帛關把持引線之 複數個炎具的夾具開關機構； 接合方法進一步具有再抽尾步驟，係當以電氣式未附 著檢測步驟檢測A未附著、以光學式未附著㈣步驟檢測 出未附S ’且以光學式形狀檢測步㈣測出之毛細管前端 之狀態非為既定狀態時，根據光學式形狀檢測步驟檢測出 之毛細管前端之引線狀態，藉由夾具開關機構與透過移動 46 1328846· 機構,毛細管上下動，來將引線抽出至毛細管前端，直到 毛細管前端之引線成為既定狀態為止。 11.一種打線裝置之接合方法，該打線裝置，係在以引 線連接第1接合點與第2接合點之間後切斷引線，其具備： 移動機構，係使插通有引線且用以對工件進行接合的 毛細管移動於XYZ方向； 通電狀態取得機構，係使引線與工件之間通電，以檢 測出其通電狀態； 攝影機構，係拍攝工件； 光路機構，係將毛細管前端附近之立面影像導至攝影 機構； 球體形成機構，係將引線前端形成為既定形狀的球體； 夾具開關機構，係分別開關把持引線之複數個夾具； 以及 接合控制部，係控制接合裝置； 其特徵在於，具有： .電氣式無尾部檢測步驟，係處理在接合於第2接合點 後' 切斷引線前以通電狀態取得機構取得之第2接合點與 引，線間之通電狀態訊號，來檢測尾部引線未達既定長度之 無尾部； . 光學式形狀檢測步驟，係處理藉由攝影機構透過光路 機構所取得之毛細管前端附近之引線的立面影像，以檢測 引線之前端部形狀； 再抽尾步驟’係當以電氣式無尾部檢測步驟檢測出無 47 1328846. 尾部’且以光學式形狀檢測步驟檢測出之毛細管前端之引 、二非為既疋狀態時’根據光學式形狀檢測步驟檢測出 之毛細皆前端之引線狀態，藉由夾具開關機構與透過移動 機構使毛細管上下動，來將引線抽出至毛細管前端，直到 毛細管前端之引線成為既定狀態為止；以及 無尾部回復步驟，係根據光學式形狀檢測步驟檢測出 之引線前端形狀，藉由球體形成機構將引線前端再度形成 為既定形狀之球體。 12.—種打線裝置之接合方法，該打線裝置，係以引線 連接第1接合點與第2接合點之間，其具備： 移動機構，係使插通有引線且用以對工件進行接合的 毛細管移動於XYZ方向； 攝影機構，係拍攝工件； 光路機構，係將毛細管前端附近之立面影像導至攝影 機構； 球體形成機構，係藉由放電電極與引線間之放電來將 引線前端形成為既定形狀的球體； 放電狀態取得機構，係取得放電電極與引線間之放電 狀態；以及 夾具開關機構，係分別開關把持引線之複數個夾具； 其特徵在於，具有： 電氣式放電異常檢測步驟’係處理球體形成機構放電 時以放電狀態取得機構取得之放電電極與引線間之放電狀 態訊號，來以電氣方式檢測球體形成機構之放電是否正 48 1328846 常； 光學式形狀檢測步驟，係處理藉由攝影機構透過光路 機構所取得之毛細管前端附近之引線的立面影像，以檢測 引線之前端部形狀； 再抽尾步驟’係當以電氣式放電異常檢測步驟檢測出 放電異常’且以光學式形狀檢測步驟檢測出之毛細管前端 之引線狀態非為既定狀態時，根據光學式形狀檢測步驟檢 測出之毛細管前端之引線狀態，藉由失具開關機構與透過 移動機構使毛細管上下動，來將引線抽出至毛細管前端， 直到毛細管前端之引線成為既定狀態為止；以及 放電異常回復步驟，係當以電氣式放電異常檢測步驟 檢測出放電異f，且以光學式形狀檢測步驟檢測出之毛細 管前端之引線狀態為既定狀態時’根據光學式形狀檢測步 驟檢測出之引線前端形狀’藉由球體形成機構將引線前端 再度形成為既定形狀之球體。 十一、圖式： 如次頁 49
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