TWI324582B - Substrate carrier handler that unloads substrate carriers directly from a moving conveyor - Google Patents

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TWI324582B
TWI324582B TW092124033A TW92124033A TWI324582B TW I324582 B TWI324582 B TW I324582B TW 092124033 A TW092124033 A TW 092124033A TW 92124033 A TW92124033 A TW 92124033A TW I324582 B TWI324582 B TW I324582B
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r elliott Martin
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Description

1324582 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本申請案主張美國臨時專利申請案第60/407,463號， 申請曰20 02年8月31曰和美國臨時專利申請案第 6 0/4 43,004號，申請日2003年1月27日之優先權。本文 併呈於此以供參考。 本發明大體上係關於半導體裝置製造系統，並尤指關 於在一個製造設備内基材承載件之輸送。 【先前技術】 本申請案係相關於下列共同讓與 '共同申請之美國專 利申請案，本文併呈於此以供參考。 美國臨時專利申請案第60/407,45 1號，申請曰2002 年 8 月 31 曰，案件名稱"System For Transporting Wafer Carriers"; 美國臨時專利申請案第60/407,339號，申請曰2002 年 8 月 31 日，案件名稱"Method and Apparatus for Using Wafer Carrier Movement to Actuate Wafer Carrier Door Opening/Closing"； 美國臨時專利申請案第60/407,474號，中請日2002 年 8 月 31 曰，案件名稱"Method and Apparatus for Unloading Wafer Carriers from Wafer Carrier Transport System"； 美國臨時專利申請案第60/407,336號，申請日2002 5 1324582 年 8 月 31 日，案件名稱"Method and Apparatus for Supplying Wafers to a Processing Tool"； 美國臨時專利申請案第60/407,452號，申請曰2002 年 8 月 31 日，案件名稱"End Effector Having Mechanism For Reorienting A Wafer Carrier Between Vertical And Horizontal Orientations"; 美國臨時專利申請案第60/407,337號，申請曰2002 年 8 月 31 日，案件名稱"Wafer Loading Station with Docking Grippers at Docking Stations"； 美國臨時專利申請案第60/407,340號，申請曰2002 年 8 月 31 日，案件名稱"Wafer Carrier having Door Latching and Wafer Clamping Mechanisms"； 美國臨時專利申請案第60/443,087號，申請曰2003 年 1 月 27 日，案件名稱"Methods and Apparatus for Transporting Wafer Carriers"; 美國臨時專利申請案第60/443,1 53號，申請曰2003 年 1 月 27 日，案件名稱"Overhead Transfer Flange and Support for Suspending Wafer Carrier"； 美國臨時專利申請案第60/443,001號，申請曰2003 年 1 月 27 日，案件名稱"Systems and Methods for Transferring Wafer Carriers Between Processing Tools"；及 美國臨時專利申請案第60/443,1 1 5號，申請曰2003 年 1 月 27 日，案件名稱”Apparatus and Method for 6 1324582
Storing and Loading Wafer Carriers'1 〇 典型的半導體裝置的製造係包含完成一系列關於 的程序’例如’矽基材、玻璃板等等。（也可以把這樣 材稱作晶圓’不論其上是否已形成圖案。）這些步驟可 括研磨、沉積、蝕刻、微影、熱處理、及諸如此類者 常可以在一個單一處理系統或者「工具」中完成不同 理步驟，其中包括多個處理室。然而，通常會有一種情 其他製程亦需要在一製造設備中的其他處理位置進行 此需要在製造設備内從一個處理位置輸送基材到另一 位置。依據所製造的半導體裝置的類型，可能有相對 的處理程序需要在製造設備之内的許多不同處理位 成。 傳統上’基材承載件利用諸如密閉的莢式容器、 匣盒、容器及諸如此類者，輸送基材從一個處理位置 一處理位置。亦有一種傳統方法，使用自動化操作的 承載件輸送裝置，例如自動導引車輛、懸吊式輸送系 基材承載件控制手臂等等，以使基材承載件在製造設 内移動，或者自基材承載件輸送裝置傳輸或傳輸至基 載件輸送裝置β 對於一個個別的基材’從原始基材的形成或接收 從凡成的基材切割半導體裝置為止，全部的製造過程 費的時間可能需要以週計或以月計。在一個典裂製造 中，因此大量基材的數量可能以任何給定的時間來呈 基材 的基 以包 。通 的處 況， ，因 處理 多數 置完 晶圓 到另 基材 統、 備之 材承 乃至 所花 設備 現為 7 處理進展」（wip)。以wip存在於製造設備中的基材代 表所投資的工作成本’其值愈大則單一基材的生產成本愈 大。因此，對製造設備之給定的基材生產量，人們希望降 低Wip值。為達成此一目的，處理每一個基材的總耗費時 間必須減少。 L發明内容】 本發明的第一態樣，提供適於供應基材至處理工具之 一設備。第一設備包括一適用的基材承載件搬運裝置， 截用以輸送基材承載件至處理卫具的第—承料。基材承 器。争趣運裝置包括用以支樓這個基材承載件的終端受動 控制器被連接至基材承載件搬運裝置並且在基材 :輸送裝置移動和輸送該基材承載件肖操作控制基 材2件撤運裝置的終端受動器，使基材承載件脫離該基 何承載件輸送裝置。 理工：發明的第二態樣’第二設備提供用於供應基材至處 '、第一设備包括一基材承載件搬運裝置， 基材承栽件$盧理τ曰 用於輸送 置包括⑴ 具的第一承載埠》基材承載件搬運裝 導引；和(3) ::1()一與上述垂直導引連接之水平 材承載件相針於垂“ 牙基材承載件且使該基 引進行水平蔣動。一 相對於水平導 g ^ . I制器與基材承栽件搬運裝置連接並 且操作控条丨%衣罝迩接亚 裝置的终端AEf 灸侍該基材承載件搬運 …將基材承載件自鄰接於基材承載件搬運 裝置的基材承載件輪送裝置脫離。 卫具本：明的第三態樣，第三設備提供供應基材至-處理 工具的第ί設借包括—基材承載件搬運裝置，用以向處理 包括一終瑞輪送基材承載件。基材承載件搬運裝置 係連接至基2"，用以支樓上述基材承載件。一控制器 材承裁件搬運裝置，並且操作控制 搬運裝置以⑴右其“ ㈣控制基材承載件 水平方向w 件輸送裝置傳送基材承载件時 合基材承载件的土 2載件搬運裝置的終端受動器以實質配 件並自基材“ (2)昇起終端受動器以連接基材承载 材承載件至第—件輪送裝置脫離該基材承載件，·（3)傳送基 系統、方法和:承裁痒。依據本發明之上述或其他態樣之 橡。 _式產品，本發明亦提供許多其他的態 /本發明之方法和設備提供有效並且可靠之安轴 在交換中保持弒私 另双亚且了靠之文排，以與 方法和設傷特送裝置交換基材承載件。本發明之 基材裝載站台的―：’因為基材承載件搬運裝置(通常作為 農置移動時，不愛。分)可以依據本發明操作，因此當輸送 之附加設備。要任何用來和輸送裝置交換基材承載件 月的其他特徵和態樣將 之不例性實施例 足至現於下文中所詳述 本文之後的申請專利範圍和附圖。 【實施方式】 先前併呈$ 美國專利申請案第60/407,45 1號申請日 9 1324582 2002年8月31日，申嗜垒 與a 素名稱「用以輪送半導俨B面 載件之系統」，揭示一基材系 導體日日圓承 吞材承載件輸送系統，苴 支援之製造設備操作期間內 M ''匕括在其所 P功間内，供需要持續移動 件所用之輸送裝置。該持續 基材承載 設備中達成基材之傳送，龙丨# t 1係用以在製造 ^ 並減少製造設備中备— 頓時間；籍以減少WIP，t分， 基材之停 / ’和減少資本及生產 上述方式操作一製造設備， 。為了以 輸送裝置卸載基材承載件和 移動時，自 方法和設借。 主輸送裝置之 依據本發明之至少-個態樣，在基材裝載站二 承載件搬運裝置包含-個可延著平行的垂直 的水平導引，知—彻-Γ 靈直移動 十泽5丨和個可以延著水平導引水平移飭 as ^ ^ , 杼劫的終端受 動器》為了從移動的輸送 取置（暴材承載件輸送裝 基材承載件，該輸送裝置龄 ）卸載 站台’終端受動器以一速户眘晳 裝載 沿著水&度實質上配合基材承載件的速度 如同它是由基材承載件輸送裝置所輸 (】如’在水平方向實質配合基材承載件之速度卜 此外’當輪送基材承載件時，終端受動器可以維持在一個 與基材承載件相鄰接的位置。因為大致與基材承載件的速 度相當，終端受動器可 維得在貫質配合基材承載件的一 個位置上》同樣地，可 W大致上相s於輸送裝置位置和/ 或速度。 ¥终端受動器大致相者於美好a 置） ^ 相田於基材承載件的速度（和/或位 ’籍由向上延著垂直莫士亚播 導引移動水平導引，該终端受動器 10 被昇起’所以該'終端受動器接觸基材承載件並使基材承載 件自基材承載件輸送裝置脫離。同樣地，一基材承載件可 以籍由在裝載期間與終端受動器和輸送裝置相當之速度 (和/或位置）’裝載至移動的基材承載件輸送裝置。本發明 之至少一個實施例中，在终端受動器和基材承載件輸送裝 置間的此類基材承載件傳送，係在終端受動器和基材承載 件間以幾近於零之速度和/或加速度進行。本發明亦提供許 ^其他的態樣’將進一步詳述於後。 第1圖係一俯視圖，圖示一個裝配在連接習知處理工 具u3的習知裝載和儲存設備ιη。圖示之一個工廠介面 (FI)115裝配於裝載和儲存設備ιη以及處理工具Η〗之 間。該裝載和儲存設備u丨係裝配於連接潔淨室牆丨丨7之 第一面’而工廠介面115係裝配於連接潔淨室牆117之第 二面。工廠介面1丨5包含一個FI機器手臂119,其可以延 著—個平行於潔淨室牆117之軌道（未見於圖示）水平移 動’並可以自一或多個出現在裝載和儲存設備U1之中的 基材承載件丨20取得基材（未見於圖示）eFi機器手臂119 可以傳送基材至處理工具113的裝載閉鎖室。 如第1圖所示之裝載閉鎖室係連接至處理工具113的 傳送室123。而處理室ι25和輔助處理室ι27亦連接至傳 送至123。每一個處理室125和輔助處理室127可以被裝 置為執行傳統上之半導體元件製造過程，諸如，氧化、薄 膜沉積 '蝕刻 '熱處理 '去氣、冷卻、等等。處理室123 中的基材搬運機器手臂129係用作在處理室125、127和裝 11 載4鎖& 121之中傳送基材’例如基材131。 裝載和儲存設備⑴包含_或多個基材承載件儲存架 3用以在戶斤容納的基材承載件被處理工# 1134理之俞 或之後儲存基材承載件。裝載和儲存設備ln亦包含一或 户個停靠站台(未見於圖示，但可能，例如，在儲存架二 的:面）。一個基材承載件可以停靠於停靠站台以經由Η 機器手臂Π9自該處取得基材。裝載和儲存設備"1亦可 :包含工廢裝載位£ 135，該處基材承載件輸送裝置（例 ,自走型運輸車）可以放下或拿起一個基材承載件。 裝載和儲存設備1U進一步包含一個基 …-用以在工廢裝載位置⑴'儲存架133== 台間移動基材承載件。 為符合上述在製造運輸設備間達成運輪之目的，可能 需要利用持續移動的基材承載件輸送裝置，傳送基材承Z :至基材裝載站台’或自基材裝載站台傳送出基材承載 ，諸如，裝載及儲存設備11 1(例如，為了減少停頓時間 :因此造成的處理工作和生產成品)。因此，本發明提供； -個創新的基材裝載系統’其可以自基材承載件輸送裝置 卸載基材承載件’亦可以在基村承載件輪送裝置移動的時 候’裝載基材承載件至基材承載件輸送裝置。 本發明之一實施例將參照第2A-6E圖詳述於後。第2八 圖係本發明基材裝載站台201之前視圖。雖然未見於第2八 圖之圖示，應了解本發明之基材裝載站台2〇1相關於第^ 圖所述之處理工具和/或工廠介面。 12 ^24582 基材裝載站台201可以白 L含一或多個裝載埠或相似位 置，其為基材或基材承載件為於、 马輸送至處理工具和/戋自處理 工具輪送過來所放置之處（例〜 〆 、』如，一或多個停靠站台203， 即便是沒有採取向埠口停靠/触& 罪/離開移動之輸送位置亦可採 用）。在第2A圖所示之實施例 牲 他例之特例中，基材裝載站台201 包括全部八個停靠站台203 配置於兩订205中，每行205 具有四個停靠站台。其他數量之行列和/或停靠站台亦可以 採用。每一個停靠站台203係用以支樓和/或將一基材承栽 件207停靠於停靠站台2〇3,以及允許一個基材（未圖示） 自停靠站台203的基材承載件2〇7處取出，並傳送至如第 1圖之處理工具113(例如，經由一個工廠介面，諸如第^ 圖所示工廠介面機器手臂119)β本發明之一實施例中，基 材承載件207係為單一基材承載件，可理解的是「單一基 材承載件」意指構造及尺寸為一次僅包含一個基材之基材 承載件。亦可能採用載有多於一個基材的基材承載件（例 如’ 25或任何其他的數目(尚有其他選擇地可不用基 材承载件而使用一或多個停靠站台2〇3直接承載基材）。每 個停罪站台203是可以設定的，例如，先前的共同申节 案’美國專利申請案第60/407,337號，申請曰2002年8 月31日’申請案名稱「停靠站台中具有接合夾鉗之晶圓駿 載站台j。亦可採用其他停靠站台設定。 母一停靠站台203可以包含一個皡α 209，可經由其 中輸送至工廠介面（例如，第1圖之工廠介面η 5)。鄰接每 一個崞口 209者係一個接合夾鉗211’用以在停靠和没停 13 1324582 罪的位置間’胃吊基材承載件2〇7及移動該懸吊的基材承 載件 個可移動的站台或其他的支撐架（未圖示）可替代 在停靠站0 203中，用以支援（例如，自其下或其他的） 和或停靠/未停靠的每一個基材承載件每一個埠口 209亦可以包括—個基材承載件開啟器2 1 3，其一個態樣係 用以在基材承載件2〇 7在如先前的共同申請案美國專利 申請案第6〇/407,339號，申請日2〇〇2年8月31日，申請 案名稱利用晶圓承載件的移動開啟/開閉晶圓承載件閘門 之方法及設備」中，自一個非停靠位置移動到一個停靠位 置時，開啟停靠的基材承載件2〇7。每一個基材承載件2〇7 可以具有，例如，承載件門問和/或基材夾鉗特徵（揭示於 先前的共同申請案，美國專利申請案第6〇/4〇7 34()號，申 請日2002年8月31曰’申請案名稱「具有門閃和晶圓爽 鉗機構的晶圓承載件J)e亦可採用其他的基材承载件開啟 器、門閂和/或基材失鉗設定。 基材裝載站台201亦包含一個依據本發面的—個態樣 操作之基材承載件搬運裝置215。在本發明一或多個實施 例中，基材承載件搬運裝置2丨5包含一對垂直導引2 i 7、 219和一個為了在垂直導引217和219上垂直移動而裝配 的水平導引221。一個皮帶驅動機或一個導程螺椁和相關 的一個或多個馬達（未圖示）或其他適合的機制用作驅動水 平導引22 1’供其延著垂直導引217和219垂直移動。一 個支撑223被裝配在水平導引221’供延著水平導引221 的水平移動之用。使用一個皮帶驅動機或導程螺桿和相關 14 1324582 的一個或多個馬達（未圖示）或其他適合的機制以使支撐 架223延著水平導引221水平地移動。 本發明之至少一個實施例中，每一個垂直導引2丨7、 219可以包含一個整合的導引/驅動機構，例如，可自B〇sch inc_ 獲得的 Part No. 1140-260-10，1768 mm。相同地，水平 導引22 1可能包含一個整合的導引/驅動機構，例如同樣可 自 B〇Schinc•獲得的 Part No. 1140-260-10，1468mm» 亦可 以採用其他的導引/驅動機構系統。 個終端受動器225係裝配於 器225可以是，例如，具有水平方向之平台227之型式， 用以支撐一個基材承載件（例如，一個基材承载件2〇7)。 在至少一個實施例中，平台227可以具有可動栓或其他可 移動位置的特徵229(第2A圖所示，雖然只有二個可動特 徵，仍可採用其他數量之可動拴或特徵，例如，3或多個）。 可動特徵229可以在基材承載件2〇7的底部中，與凹的或 其他形狀的特徵共同作用（未見於第2八圖），用以導引基材 =载件207進入平台227中的正確位置。在本發明之至少 :個實施例中，終端受動器225可以包含如同先前的共同 明案’美國專利申請案第6〇/4〇7,452號， 二:月 '曰’申請案名稱「具有用以在垂直和水件方向間 %載件重新導向的機構之终端受動器」@ —個能夠 ㈣材承載件的方向自垂直改為水平及反之亦然的終端受 任何其他適合的終端受動器亦可以採用。 -個以箭頭叫簡略地圖示的連續移動或其他的輸送 15 裝置’係位於基絲键番 裝載站台201和基材承載件 之上。輸送裝置23 搬運裝置215 置231破用作輸送如基材承栽件 承載件至基材裝載站Α ό β 戰件207之基材 衣戰站台2〇1和自基材裝載站台 基材承載件207之基Μ $ # Α 1輪送如 之基材承載件。本發明之一個實祐& 續移動的輸送#署h , 卿貫靶例，連 铷廷裝置231可以不銹鋼帶或如同 請案，美國專利申嗜安想 引的共同申 月27曰Η、 _43,087號，申請曰2〇〇3年i 似的材料。相同地，本發明可以採 型式之連續的或其他的移動的輸送裝置。 其他 基材裝載站台201可以包含-或多個檢測器233、 235,用以偵測下列裝置的移動和/或位置，⑴輸送裝置： (2)輸送裝置231的元件（例如，用以支樓被輪送裝置叫 所輸送的基材承載件的元件’將進_步詳述於帛W4E、 6A-6E和7C-7D圖）；和/或（3)由輸送裝置231所輸送之基 材承載件。例如，檢測器233可以裝配於基材裝載站台 2(H，而檢測器23 5可以裝配於終端受動器225。任何檢阀 器亦可採用其他適合的檢測器位置（例如，經由光束檢測 器、以反射為基礎的檢測器等等）。 第2B圖係基材裝載站台201之部份側視圖，其有助 於敛述檢測器2 3 3之一個示例性實施例。參照第2 b圖， 檢測器23 3包含第一檢測器對23 3a、233a，，用以偵測輪 送裝置231速度和/或位置；和/或基材承載件之彳立置（和/ 或被輸送裝置231輸送的基材承載件207之速度，將： 文中論及）。檢測器2 3 3亦可以包含第二偵測對2 3 3 b、 2 3 3b’’用以偵測是否一個基材承載件2 0 7正為輸送裝置 16 1324582 2 3 1所輸送。例如，第一檢測器對2 3 3 a、2 3 3 a ’可以裝配於 輸送裝置231之高度’而第二檢測器對233b、233b，可以 裝配於輸送裝置23 1所傳送之基材承載件的高度，如第2B 圖所示（例如，利用裝配架B連接至基材裝載站台2〇1之框 架F ’或利用其他合適的裝配機制）。每一個檢測器對可以 包含’例如，可自Banner Inc.獲得之光源模組No. M126E2LDQ，和接收器模組第q23SN6RMHsQDP。亦可採 用其他的檢測器配置/型態，檢測器2 3 5之示例性實施例將 進一步參照第2C-E圖和第3圓敘述之。 一控制器237(第2A圖）可以連接至檢測器233、235 和基材承載件搬運裝置215以自檢測器233和235接收輸 入，以及將詳論於下文中之控制操作基材承載件搬運裝置 2。1 5可以提供多於或少於2個檢測器2 3 3、2 3 5 ’而檢測 器23 3、235可以裝配於第2A圖和第2b圖之外的那些位 置。控制Is 2 3 7可以县田r/ 4^； it. j以疋用以控制細作為基材裝載站台2〇1 所支援的處理工具之知内快土丨α ^ 、之相同控制|§，或者一個不同的控制器。 在本發明之至少— y 個實細•例中，可以直接量測輸送裝 置（和/或由輸送裝詈所蚀，玄々U π 置所傳送之基材承載件）的速度（而非 用檢測器 2 3 3對蚣、主壯$ A l «送裝置作非直接的量測）。例如，如 2A圖所示，一劣夕加 ^ -夕個編碼器240a和240b(將詳述於後）可 以連接至輸送裝置^ 1並直接量測輸送裝置231的速度（和 任何籍此傳送的美抖 土材承載件）’並且提供速度的資訊給 器237。可採用容剌 或 >、於二個編碼器。每一個編碼器可以 包含，例如’一個了丨ς;也， • S ·數位編碼器（例如，一個H D s 6相位 17 差編碼器）, 可ο他適合的編瑪器。亦 器'解析器或農伸的— 亦可採用線性编碼 置。 、疋位裝置以測量輸送裝置逮度和/或位 第3圖係一流程圖， 據本發明，基括“用乂解釋-個示例性過程，其依 丞材襄載站台2〇1 載件。第4Α-4ε圈“ 〇Ι自輸达裝置叫卸載基材承 圏為敘述第3圖過程之側視示意圖。 執行時，茗：輪送裝置231卸載一基材承載件207的择作 =’基材承載件搬運裝置2ί5的水平導引 = 在垂直導弓I 2Π、219之上 導引221破疋位 223被定位在水平導引終端…、⑽’而支標架 千導引221的上游側22U附近（從第2八圖 有來為左側，伸如要絡 右至左）。C如果輸送裝置231自右移動至左，則採用 第3圖之程序自第301步驟開始並進行至第3〇3 驟。在第303步驟中，控制 ’ 径制Is 237接收一個訊號（例如，白 檢測器2 3 3或2 3 5 , 目 )以心不基材承載件207之出現，其為銓 送裝置231所僖误，并达好 … 、並為基材裝載站台2〇1自輸送裝置 卸载（一個「目；其 標基材承載件207」）。例如，參照第2B圖 當相關於檢測器對233,和2別，之光束l被目標基’ 件所遮斷’則檢測器對23 3b、233b，可以偵測到目標基持 承載件207。直到接收到檢測器的訊號，控制器237技制 基材承載件搬運裝置215，使得支撐架223(其為終端受動 益225所附）在輸送裝置運動的相同方向上⑷如，向第2八 圖的右邊）加速’用以大致配合目標基材裝載# 2〇7的位置 和速度（第3圖，第3〇5步驟卜第4A圖圖示第3圖之程 18 1324582 Λ » 序的這個階段。 在本發明的至少一個實施例中，加速終端受動器 225 ’因此其與目標基材承載件207的位置和速度能實質 上配合（第305步驟），又在該步驟之前，控制器237使用 檢測器23 3 (或一或多個编碼器24〇a、24〇b)以決定輸送裝 置231的速度。亦可以決定輸送裝置23 1的位置。如上所 述，檢測器233可以包括第一檢測器對233a、23 3a，(第2B 圖）用以探查探查輸送裝置231的速度（和/或由輸送裝置 231所輸送的基材承載件207的速度），和第二檢測器對 23 3b、23 3 b'的速度’用以偵測是否一個基材承載件2〇 7係 由輸送裝置231所傳送。這樣的速度和/或位置的決定，可 以在每一個目標基材承載件2〇7的卸載期間，或者之前， 定期地，持續地或以一些其他的間隔完成。 依據輪送裝置231的速度，控制器237可以決定终端 受動器225的運作行程，並依據運作行程指引終端受動器 225的運作，以使終端受動器225和目標基材承載件2叨 的速度和位置充分配合，運作行程可以是「預定的」，如果 輸送裝置231的速度在預定的速度範圍之内（例如，如果终 端又動2S 22 5加速、移動和/或依據預定的運作行程放置 時使終端受動器225與目標基材承載件2〇7能適當排列 =範固）’控制器2 3 7只允許终端受動器2 2 5開始執行卸載 操作（例％，開始加速）；否則，3的過程結束。即使輸 送裝置23 1之速度沒有測量，則可能採用預設的速度規劃 J如假疋輪送裝置231的速度維持在預設的時間範圍之 19 内，其確保如果終端受動 225 &據預定的運作行程加 速’终端受動器225將與目標基材承載件207適當地排列）。 控制器237可以利用輸送裝置231的速度決定終端受 動器225的一個運作行程，例如，使用預定的運作行程的 查詢表1演算法計算出運作行程，等等。人們將了解是 基材承載件的速度，而非輸送裝置的迷度可以測量到，並 據此決卜個運作行程，或是否為終端受動器⑵使用_ 個預定的運作行程。每—個運作❹都可以包括卸載操作 期間由終端受動器225使用的所有加速度、減速度舉起 和放下（將詳述於下文）。 如上所述，在本發明的至少—個實施例中，輸送裝置 231可以包括一個帶狀物帶（例如，不鏽鋼或者其他合適的 材料），如先前共同申請之美國專利中請案第6〇/443 〇87 號’申請日2003年】月27曰。在這樣的一個實施例中， 輸送裝置231可以提供插槽或者其他的開啟器（例如，第 2B圖中的插槽2 3 1 a)沿著輸送骏置2 3 1以預設的間距間 隔’當輸送裝置經過檢測器對233 a、23 3&，時，會通過檢測 器對233a、233a，（第2B圖）的光束。透過測量兩個連續傳 輸之檢測器對233a、233a'光束間的時間，因為輸送裝置 23 1(透過輸送裝置中的兩個連續插槽）和知道兩個連續插 槽間之距離’可以決定輸送裝置的速度。每_個基材承載 件207(第2C圖）上之插槽231a的也置提供輸送裝置231 和/或基材的承載件2〇7位置的資訊給控制器23 7。
在本發明又—個實施例中’編碼器24〇a、24〇b(第2A 20 圖）可用以直接讀取銓 240a ^ 240b ^ ^ 廷裝置速度。例如，每—個編碼器 都可以對控制器237提供輸送裝置迷 而控制器237可以屮私， 疋设貧讯， c匕較從蝙碼器240a、240b得到的资1 以作為錯誤修正或例杆k 仔幻的資訊， 飞例仃性的可靠性檢查的_部分。 週期性地、連續地或 ^ I了以 任何其他間距進行此類迷度e抟。 透過直接測量輪送裳置 哽度|控。 者其他的定位裝置)，和透過一或多個編碼器或 位置(例如，和…31、由透過檢測器233所決定之帶子 焚動器225和輪送裝 ^ ，、秭 如Τ β M m u 〗之間的基材承載件的傳遞，將 如下文所述般地精確執行。 霉將 在第4A圖中，gg _ ^ _ 不之目標基材承載件207俜由輪这 裝置23 1借助於使用 係由輸送 頂端法簡402的基材承載件2〇7所仏 送。可以使用能支援A Μ # 枣戰件207所輸 ,基材承栽件斯的其他設定（例如，一 或夕個利用匕的側邊、 承載件207的機制先前：二 '相似者’以供應該基材 第—3號，：^ 兀件的此類設定。 f戰讦接口 箭頭403指示輸送贺罟〇>3ι ^ ^ -運作的方向。在第4a圖圖 不之基材承載件搬運裝置 .,^ ^ 〇 衮置215的終端受動器225在目標基 承载件207下面的_個位置 # 置中並在輪送裝置23 1與目 杜基材承載件207的充分配合的 私谈 口的速度下’以相同的方向移 „ . 質上配°目標基材承載件207 的連度（例如，速声知 又 ")。此外，终端受動器225實質 上配合目標基材承載件 刃位置。更普通的說，终端受 21 1324582. 動器225實質上配合目標基材承載件207的移 或位置）》當使用於此處時，「實質上配合」提 合基材承載件，使得基材承載件可以自移動的 載和/或承载件接合元件，和/或裝載至移動的考 或承載件接合元件，而不會損害包含於基材承 和/或產生可能損害的粒子。 如第4A圖所示之實施例，目標基材承載 送裝置23 1-同移動。因此，終端受動器22 5 置231的速度，移動和/或位置能實質上配合 例，其中輸送裝置231以一個與目標基材承載 的、或者根本不同的速度移動。例如，承載件接 本身可以沿著輸送裝置23丨使目標基材承載件 在之後的實施例中，終端受動器225者可能無 置23 1的速度’速度和/或位置實質上配合。 在本發明的一或多個實施例中，不可以把 225置於與啟動的檢測器相同的位置（例如，第 測器對233b，233b，），又該檢測器對在輸送裝 查目標基材承載件207出現與否。在此類的例 以需要在第305步驟中，延遲終端受動器225 補償終端受動器225和啟動的檢測器的位置差 動補秘」可以依據，例如，終端受動器2 2 5和 之間的距離，輸送裝置231的速度等等。可以 器25從運作行程中分離出一個啟動補償， 補償建入運作行程中。 動（速度和/ 的是充分配 輪送裝置卸 命送裝置和/ 載件的基材 件207與輸 者與輸送裝 。亦有實施 件2 07不同 合元件401 207移動。 法與輸送裝 終端受動器 2B圖之檢 置23 1上探 子中，這可 的加速’以 異。該「啟 啟動檢測器 為終端受動 或者將啟動 22 再人提到第3圖，在第307步驟，與終端受動器225 相關的目標基材承載件位置被偵知（例如，透過自檢測器 235所發出之一或多個訊號（第2A圖））。例如，如果檢測 器235包括光源/檢測器對，例如，可自獲得 之第QS30模組或其他類似者，則檢測器235向目標基材 承載件207發射光束，又其僅在終端受動器225能相對於 目標基材承載件207恰當地定位時，被檢測器235所偵知。 (例如，籍由提供基材承載件2〇7 一個適當反射的表面和/ 或表面圖，比如缺角，又該缺角只在终端受動器225相對 於基材承載件207恰當地定位時，才能向檢測器235反 射）第2C圖係一個終端受動器225之局部透視圖，說明 一個示例性的檢測器23 5被設置以偵測光束241(第2D 圖）’當終端受動器能相對於目標基材承載件2〇7恰當地定 位時’該光束從部份目標基材承載件2〇7所形成的缺口反 射出來。第2D圖係第2C圖局部之放大透視圖。如第2c2D 圖所示，檢測器235可以透過合適的托架或者其他的支撐 架構247與終端受動器225連接。亦可以使用其他設定。 在本發明的至少一個實施例中，如果終端受動器225 未能相對於目標基材承載件2G7相對地定位時，則第3圖 之程序結纟。可替代地，在本發明的其他實施例中需要 调整终端受動n 225相對於目標基材承載件2〇7之定位。 225加速和/或減速， 訊號，以確保可動栓 2〇7之適當排列特徵 例如’控制器2 3 7可以將終端受動器 直到從檢測器2 3 5那裡得到適當排列 229(第4A圖）被置於目標基材承载件 23 之下（例如，特徵4〇7的凹處或者其他形狀”人們將了解， 田目^基材承載件207和终端受動器225移動時，會執行 第3 07和3 09步驟’並在當速度實質上配合時執行，以將 終動器225置於目標基材承載件2〇7之下。因此’當 目標基材承栽件207移動時，使終端受動器移動，以保持 相接並在目標基材承載件207之下。人們將了解可以多次 (或持續地）偵測和調整2終端受動器225和目標基材承載 件207的相對位置，並可使用回饋控制迴路（未圖示），以 確保终端受動器225的速度和/或位置充分保持與目標基 材承載件207配合。在本發明尚有另一實施例，可以略去 第307和309步驟（例如，如果使用一個預設的運作行程， 其相關於輸送裝置231的速度和終端受動器225的啟動時 間/位置）。在此類實施例中，可以省略檢測器2 3 5。 除了或代替檢測器235，可以使用编碼器240a和/或 240b，以監控卸載操作期間的輸送裝置速度。為了處理卸 載操作期間輸送裝置速度上的偏差總量，控制器2 3 7可以 使卸載操作中jh (例如’透過其他運作行程，以確保終端受 動Is 225不妨礙輸送裝置231 ’或者據以輸送的基材的承 載件）。可替代地’為了輸送裝置速度之小量變化，控制器 237可以調整終端受動器位置（例如，透過加逮度或者減速 度）以確保適當的卸載（或者裝載）操作。個封閉的迴路系 統包括終端受動器225 ’檢測器23 3，編碼器24〇a和/或 240b和/或控制器237，可以從而確保適當卸載（或者裝 載）’儘管輸送裝置的速度有了變化。 24 假設終端受動器225相 相對於目標基材承載件207 地定位，在第3圖的渦 扪過程中，第307步驟和/或第309 之後的是第311步驟。力 在第311步騾，當持續地將终 動器225的水平速彦n 士 、 度（和7或即時位置）實質上配合目標 承載件207速度（和/哎Ερ蛀&要、π+ _ 4即時位置）時，控制器237控制 承載件搬運裝置215,傕撂欲唑典私怒 便侍終紐受動器225升起（例如 平導引221在垂直導引？17 〇1〇 u也& 守5丨217、219上升起，以升起終端 器225)。終端受動器«ί < 225的升起導致可動栓229因此 目標基材承載件207底部的凹面特徵4〇7中。因此， 受動器22 5移動至輸送裝置231輸送基材承載件2〇7 度。在這個方法中，終端受動器225接觸目標基材承 207的底部（如第4Β圖所示卜當終端受動器225持續 (當終端受動器持續實質上與目標基材承載件2〇7的 速度和/或位置配合），目標基材承載件2〇7(和尤其是 頂部法蘭402)與輸送裝置231的承載件接合元件4〇1 合位置提起，如第4C圖所示。 而後’在第3圖的第313步驟，控制器237控制 承載件搬運裝置215以略使終端受動器225的水平移 速，從而使目標基材承載件2〇7減速。減速度的程度 目標基材承載件207能持續向箭頭403所指示的方 動’但是速度上低於輪送裝置231的速度。如此允許 件接合元件401(其使用目標基材承載件2〇7的法蘭 向法蘭402移動’如第4D圖中所示。一旦承載件接 件401自法蘭402之下移出（如第4D圖所示），則終端 適當 步驟 端受 基材 基材 ，水 受動 嵌入 終端 的高 載件 升起 水平 它的 自接 基材 動減 是使 向移 承載 402) 合元 受動 25 1324582. % · 器225可以再次加 支撐的目標基材承 231的水平速度， 輸送（例如，第4D 載件207相衝突。 在第3圖的芽 如，籍由沿著垂直 輸送裝置231降低 如何降低目標基材 援的目標基材承載 並被帶到一個站台 中’上面所述之終 以由為終端受動器 的運作行程將參照 在第319步驟 終端受動器225上 靠站台203中的一 2〇1包括一或多個< 2a圖所示，用以儲 件搬運裝置215可 位置之一。（可以使 圖的程序在第321 假設目標基材 其中之一，可以由 速，所以終端受動器225和在其上再次 載件207的水平速度充分配合輪送裝置 以防止其他基材承載件由輪送裝置231 圖中的基材承載件4 09)而與目標基材承 ί 315步驟，降低了終端受動器225(例 導引217、219降低的水平導弓丨221)以 目標基材承載件207。在第4Ε圓中說明 承載件。而後終端受動器225(其上具支 件207)可以減速（第3圖，第317步驟） 。如上所述，本發明之至少—個實施例 端受動器、減速度、升起和/或降下，吁 225所決定的運作行程所定義示例性 第8A-8D圖詳述於下文）。 ’基材承載件搬運裝置215可以輪送在 所支援的目標基材承載件207至多個停 各（第2Α圖）》可替代地，如果裝載站台 諸存架或者其他的儲存位置（例如，如第 存基材承載件的儲存架23 9)，基材承載 以輪送目標基材承載件207至多個儲存 -用其他和/或更多儲存位置）。此時第3 步驟結束。 承栽件207係被帶到停靠站台203中的 基材承載件搬運裝置215將該目標恭讨 26 ^24582 承載件207傳 而後目標基材 停靠站台203 標基材承載件 FI機器手臂1 至與基材裝載 理工具1 1 3)和 過程。當在處 站台203中的 2 〇 7可以從停 搬運裝置215 207至恰在輪: 件207要回到 的儲存位1 )。 件2 0 7 —道， 上的上方終端 移動至水平導 可以如下文中 依據本發 送裝置23 1之 於下文中。第 件裝載程序。 中的程序之各 第5圖的 :遞給各別的停靠站台203的停靠夾鉗2u。 承載件207可以在停靠站台2〇3停靠，並由 的基材承載件開啟器213開啟，以允許自目 207取得目標基材（例如，籍由例如第1圖的 【19的基材搬運裝置）。提取的基材可以傳送 站台201相關的處理工具（例如，第1圖的處 可以由處理工具應用於基材的一或多個製造 理工具中完成處理時，可以傳回基材給停靠 目標基材承載件207,並且目標基材承栽件 靠站〇 2 〇 3關閉並離開。而後，基材承載件 可以從停靠站台203和輸送目標基材承載件 送裝置231下面的位置（例如，假設基材承載 輸送裝置23卜而非儲存在例如儲存位置239 亦即，和終端受動器225所支援的基材承載 可以使水平導引221在垂直導引217、219 217a和219a附近移動，而支撐架223可以 引 1的上游端221a。而後’基材承載件207 第5-6E圖所示，那樣傳回至輸送裝置231。 明用以執行裝載一目標基材承載件207至輸 一個示例性過程，現在將參照第5 6E圖敘述 5圖係一個流程圖，說明所發明之基材承載 第6A-6E圖係示意性側面視圖顯示第5圖 個步刼。 程序在第501步驟開始並下接第5〇3步驟。 27 1324582 在第503步驟，控制器237接收到一個訊號（例如，從檢測 器233或者23 5)指出輸送裝置231上存在空的承載件接合 元件401。為回應該訊號，在第5〇5步驟，控制器237控 制基材承載件搬運裝置21 5，使得終端受動器225(與其上 欲傳送至輸送裝置231的目標基材承載件2〇7)沿著水平導 引221加速，以實質上與空的承載件接合元件4〇ι(和/或輸 送裝置231)的移動配合。例如，終，端受動器225者可以與 空的承載件接合元件401在水平方向的速度和位置實質上 配合》如同上文所述，在一或多個實施例中，不可以把終 端又動盗225放在與啟動檢測器相同的位置（例如，第a 圖中的檢測器對23 3b，233b，p在此類的例子中，延遲在 第505步驟中的終端受動器225的加速，以補償終端受動 器225和啟動檢測器的是位置差異。 在本發月的至少一個實施例中’加速終端受動器 225,以使其與空的承載件接合元件4〇1的位置和速度實質 上配合（第505步驟），又在該步驟之前，控制器237使用 檢測器233或者一或多個連接至輸送裝置231的編碼器 240a、240b，以決定輸送裝置231的速度。231也可以決 定輸送裝置的位置。以輸送裝置231的速度為基礎，控制 器237可以決定終端受動器225的運作行程，並依據該運 作行程指示終端受動器225移動的方向，以實質上將終端 受動器225的速度和位置（與其上的目標基材承載件2〇7) 配合空的承載件接合元件401，又該承載件接合元件4〇1 為目標基材承載件207所欲裝載之處。運作行程可以是「預 28 1324582. 設的二此類控制器23 7只在輪送裝置231的速度在預定的 速度軏圍（例如，—個範圍，其確保在終端受動器225依據 預疋的運作行程加速時，终端受動器225能與空的承載件 接合元件4〇1適當地配合)之内時，允許終端受動器225 開始執仃裝載操作(例如，開始加速）；否則 序結束。 可替代地，控制器237可以利用輸送裝置231的速度 決定终端受動胃225的運作行程，例如，使用預定的運作 行程的-個査詢表，用演算法來計算運作行程，等等。人 們將了解承載件接合元件的速度，而非輸送裝置速度是可 以測里並用以決定一個運作行程或者是否使用彡端受動器 225的:個預設的運作行程。每一個運作行程都可以包括 在裝載操作期間由終端受動器225所使用的所有加速度， 減速度，升起和下降（將詳述於下文”（示例性的運作行程 將參照第8A-8D圖詳述於下文）。 第6A圖所示為將以持續配合輸送裝置23 1和承載件 接合元件401之下並略後於它的目標基材承載件2〇7的法 欄4〇2的速度移動的終端受動器，又該承載件接合元件4〇1 係目標承載件所欲裝栽之處。在這個方法巾目標基材承 載件207可以升起，而無需在目標基材承載件207至輸送 裝置23!的#送期fe1，由承載件接合元# 4qi所設置的法 蘭402。一般而言，目標基材承載件2〇7中的法蘭憎可 以被置於允許沒有接觸承載件接合元件4〇1而升起的目標 基材承載件207的任何位置，又該承載件接合元件係目標 29 1324582 基材承載件207所欲裝載之處，而跟隨該承載件接合元件 4〇1之後的承載件接合元件（和/或置於其上的基材承載件） 係目標基材承載件207所欲裝載之處。 跟隨第505步驟之後的是第507步驟，在該步碌中镇 知目標基材承載件2〇7和承載件接合元件401的相關水平 定位（例如，第2A圖中，籍由檢測器235)。例如，如果檢 測器23 5包括光源/檢測器對，則檢測器23 5可以發射光束 至只在終端受動器22 5被適當地相對於空的承載件接合元 件401定位時能偵知的空的承載件接合元件4〇1 (或者輸送 裝置231)(如前文中第2c-2D圖所示）。 第2E圖係終端受動器的部份透視圖，其說明所裝配 的檢測器2 3 5 ’用以偵測連接承載件接合元件4 〇丨到輸送 裝置231的承載件接合元件40丨中的一部份249。尤有甚 者’承載件接合元件401中的一部份249包括一個缺口 251 ’其適當地裝配角度以向檢測器23 5反射光束241 (由 檢測器235發射）當終端受動器225為了裝載操作而被適當 地裝配在承載件接合元件4 0 1的下面。亦可以使用其他設 定。例如’一或多個編碼器240a ' 240b或者直接測量輸送 裝置速度的其他定位裝置可以對控制器2 3 7 (例如，持續地） 提供此類的資訊’使得控制器237可以追縱裝載（或卸載） 操作期間中’輸送裝置的位置。 在本發明的至少一個實施例中，如果終端受動器未相 對於空的承載件接合元件4 0 1做適當的裝配，則第5圖的 程序結束。可替代地，在本發明的另一實施例中，在第509 30 4011324582 步驟中，可以對目標基材承載件207和承载件接合元七 的相關水平定位進行必要的調整（例如，為了確保當目 材承載件207如下文所述般地升起時，法蘭402不會 載件接合元件401接觸）。例如’控制器23 7可以對终 動器2 2 5加速和/或減速，直到從檢測器2 3 5那裡得至ij 的排列訊號。在此類的位置調整期間，目標基材承載科 的水平速度和輸送裝置23 1和/或承載件接合元件4〇1 平速度可以實質上保持配合。本發明尚有另一實施例 以略去第507和509步称（例如’如果使用一個預設的 行程，其相關於輸送裝置231的速度和/或終端受動器 的啟動時間/位置）。在此類的實施例中，可以略去檢 235。 假設將終端受動器225相對於空的承載件接合 4〇1適當地裝配，在第511步驟中，如第6B圖所示， 受動器225升起，籍由沿著垂直導引217、219升起水 引221(第2A圖）’以將目標基材承載件207和尤其是 法蘭402帶到承載件接合元件4〇1的高度。如第6B 示’法蘭402被定位在略高於承載件接合元件4〇1的 (例如’如下文中所述，為了其上之裝載）。 而後’如第6C圖之第513步驟所示，目標基材 件207加速以帶動法蘭使其高出輸送裝置231的承載 合元件401。而後目標基材承載件2〇7減速，以使目 材承載件207的水平速度與輸送裝置231的水平速度 貝質上配合。而後，如第6D圖和第515步輝所示， 標基 與承 端受 適當 207 的水 ，可 運作 225 測器 元件 終端 平導 它的 圖所 位置 承載 件接 標基 再度 終端 31 1324582 受動器225降低(在持續冑質上與輸送裝4 23i的水平速度 配合時），以將目標基材承載件2Q7㈣糊4Q2 置23 1的承載件接合元件4〇1的接合位置從而將目標基 材承載件207傳遞給承載件接合元# 40H本發明的二 或夕個實施例目標基材承載件2G7傾向於以將進一步 參照第8A-8B @詳述於下文中的趨近於零的速度和/或加 速度接觸承載件接合元件4(H。基材承載件搬運裝置门卜 在控制器237持續降低终端受動器225的控制中（例如，當 持續實質上與輸送裝置231的水平速度配合時），使得終端 受動器225中的可動栓229能自目標基材承載件2〇7的底 部之特徵407脫離。第6E圖說明第517步驟的一個示例 性的結果。 在終端受動器225脫離目標基材承載件2〇7以後，在 第519步驟中，终端受動器225減速（例如，停止），而第 5圖的程序終止。同時，目標基材承載件2〇7籍由輸送裝 置231的承載件接合元件4〇1以其法蘭4〇2支撐並由輸 送裝置231送離裝載站台201。如上所述，在本發明之至 少一個實施例中，如上所述之終端受動器225的加速度， 減速度，升起和/或下降，可以由替終端受動器225決定的 運作行程來定義。 因此’依據本發明所提供基材裝載站台和特別是 在控制器2 3 7的控制下操作的基材承載件搬運裝置2丨5運 作以從~個移動的輸送裝置卸載基材承載件和裝載基材承 載件至移動的輸送裝置。在這個方法中，本發明的基材裝 32 1324582 Ί _ 載站台和基材的承載件搬運裝置可以減少工作成本、製造 費用和在一個製造設備中、工作進行中的基材停頓時間。 依據本發明，可以為控制器2 3 7編寫程式以執行一個 或兩個第3和5圖的程序。第3和5圖的程序亦可包含在 一或多個電腦程式產品中。可以由媒體可讀取的電腦執行 每一個電腦程式產品（例如，載波訊號，軟碟，硬碟，隨機 存取記憶體，等等）。 本發明之至少一個實施例中，所發明的基材裝載站台 201可能被設定為啟動失敗、緊急停機、等等的事件中， 自動自輸送裝置23 1收回終端受動器225。例如，控制器 237可能包括終端受動器收回副程式，其自動從輸送裝置 231收回終端受動器225(和/和水平導引221)以回應事先考 慮到的中斷，諸如，啟動失敗，緊急停機，或諸如此類。 尤有甚終端受動器225(和/或水平導引221)可以傾斜，因 此當將動力自基材裝載站台201移除時，終端受動器 225(和/或水平導引221)可自動地撤回。例如彈簧、重力、 汽缸、滚珠螺桿、鉛螺桿，等等的任何合適的傾斜機制皆 可使用。可以執行上述的終端受動器收回之副程式，例如， 一或多個電腦程式產品。 可能影響基材裝載站台20 1設計之示例性的參數，包 括，例如，（1)輸送裝置速度；（2)基材承載件搬運裝置215 能移動終端受動器225的水平和/或垂直速度；（3)可應用 至基材承載件搬運裝置215的終端受動器225之水平和/ 或垂直加速度和減速度；（4)基材承載件搬運裝置215的終 33 端受動 所輸送 輸送基 207的 207所 (例如， 傳送， 基材承 使用的 數。 例 載件搬 速度的 端受動 合元件 水平速 度和用 台203 個垂直 或將基 度，和 材承載 執行由 速度和 器225之水平和垂直移動的範圍；（5)輪送裝置231 的相鄰基材承載件207間的距離；（6)輸送裝置23 i 材承載件207的高度；（7)為了清空輸送基材承載件 輸送裝置231之承載件接合元件401，基材承載件 應舉起的垂直距離（8)每一個基材承載件2〇7的高度 垂直方向）；（9)允許基材承載件207由輸送裝置231 以輪送釋出的基材承載件207，而無需處理釋出的 載件，基材承載件207所必須降低的距離；（1〇)所 承載件接合元件的類型；和/或（11)其他類似的參 如，本發明之至少一個實施例中，所發明的基材承 運裝置215應能（1)為大於或等於輸送裝.置231水平 終端受動器225 ’達成最大的水平速度；（2)提升終 器22 5至一個高度，其足夠自輪送裝置的承載件接 401，脫離或清空基材承載件2〇7; (3)以二或多個 度程動，諸如用以配合輸送裝置速度之第一水平速 以輸送基材承載件207至停靠站台2〇3和自停靠站 輸送基材承載件207之第二水平速度；（4)以二或多 速度移動，諸如從輪送裝置231脫離基材承載件2〇7 材承載件207傳遞給輸送裝置231之第一垂直速 用以自停靠站台203輸送基材承載件2〇7或輸送基 件207至停Λ站台2〇3之第二垂直速度；和/或 終端受動器225所支援的基材承載件2〇7所有的加 減速度（供基材承載件接合和自輪送裝置231脫離 34 1324582 所需）而不損害差 同樣地，應 終端受動器225 台203之用。（如 的停靠站台203 步降低终端受動 平導引22 1所提 端受動器225能 平速度，自輸送. 承載件207接合 輸送之其他基材 獲得之水平移動 本發明之基 括一些或全部上 在本發明基 和/或編寫控制器 2A圖）’現將參E 本發明的基材裝 7C-7D圖係在接y 材承載件的示意 6A-6E 圖。 第7A圖所7 器225的水平範 以實線推繪於沿 材或基材承載件 秋什207所包含的基材。 操作基材承載件搬運裝置215以降低它的 個充刀低的尚度，以供最低的停靠站 果現有的儲存架或其他的儲存位置比最低 來得低，基材承載件搬運裝置215應進一 器225以供最低的儲存架/位置之用）由水 供之终端受動器之移動的水平範園應使终 夠充分加速至能夠配合輸送裝置速度之水 裝置231脫離基材承載件2〇7和/或將基材 輸送裝置231(然而避免與輪送裝置231所 承載件碰撞），和減速至停止，其中所有可 範圍係由水平導引221所提供。 材裝載站台之一或多個實施例，亦思及包 述之特徵/參數。 材裝載站台201的一個特定實施例中設計 ;237之程式時，需考慮各種因素和參數（第 第7A-7D圖進行說明。第7A和7B圖係 載站台201的前視圖，如同第2A圖。第 合和/或脫離輸送裝置231期間之簡化的基 性側視圖。又其相似於第4A-4E圖和第 片為基材承載件搬運裝置215的終端受動 圍。圖示之終端受動器225和支架223係 著基材承載件搬運裝置215的水平導引 35 22卜終端受動器225移 器225和支 之上游極限位置701。終端受動 ⑴的水平導：223亦係顯示於沿著基材承栽件搬運裝置 置7〇2。在第7α面ώ 又動15 225的移動之下游極限位 .# _ 圖中所不的Dhr表示終端受動器225移動 的最大水平範圍。 砂勒 水平移動範圍DHR(除了在上面所討論 影響外）也會被停靠站台2〇3 十因素之 恧罙千239的定位（例如，傳 靠站台或架子的叙吾& u 的數量和/或水平跨度）、基材裝載站台201 所欲之範圍、X薇界面和/或與基材裝載站台2〇1相連接之 處理的工具的尺寸及其他相似者所影響。 第7B圖中說明終端受動器225移動的垂直範圍。終 端受動器225、m23和水平導引221係以實線描繪於 终端受動器225的垂直運動範圍的上方極限7〇3。在那個 位置’終端受動器225位於一個高度eh，其高度足以從輸 送裝置23 1的承載件接合元件40 1那裡清除基材承載件 207中的法蘭402(參見第4B-4D圖）。 繼續參照第7B圖，終端受動器225、支架223和水平 導引221係顯示於終端受動器225的垂直運動範圍最低的 極限704。在那個位置，終端受動器225位於高度El，其 係供基材裝載站台201的最低的停靠站台（或儲存位置）所 用之最低高度。第7B圖中所示的DVR表示终端受動器225 的移動的最大垂直範圍（例如，Dvr = Eh-El)。亦可使用其他 移動的垂直範圍。 第7C-7D圖說明了影響操作之參數，其自輸送裝置 36 1324582. 231操合或脫離基材承載件207。第7C圖顯示 DS ’其分離由輸送裝置231所運輸之兩鄰近基 2〇7。分離距離Ds也相關於但少於基材接合元件 距離Dcem，並亦相關於基材承載件2〇7的水平尺 提供更大的空間和/或在負載期間使基材承載科 高、降低、加速度和/或減速，增加的距離簡 和卸載操作。然而，增加距離]〇5通常減少了輸送 所傳送之基材承載件的數量。 如第7D圖所示，在本發明之至少一個實施 了自輸送裝置231脫離基材承载件207 ,終端受 至少升高可動特徵到等於基材承載件207底^ Ecb。尤有甚者，可動特徵229被升高至大於或 ECB加上支援基材承載件207的承載件接合元件 座高度HCEM的高度（例如，為了從承載件接合元 裡清空基材承載件207的法蘭402)。先於降低脫 承載件207 ’終端受動器225減速以允許承載件 4〇1以領先基材承載件207大於法蘭長度之 動。許多其他參數亦可能影響本發明之基材裝載 和基材的搬運裝置215的設計》 先前的描述僅僅揭露本發明的一個示例性的 凡對上文中所揭露的設備和方法進行符合本發明 正，對那些習知本項技藝者而言是顯而易見的。 上所示之基材承載件搬運裝置，不使用兩個垂直 而只使用一個垂直導引。相同地，可能安排基材 一個距離 材承載件 4〇1間的 度。藉由 -207 升 化了裝載 裝置231 例t ，為 動器225 部的高度 等於高度 4〇1的基 件40 1那 離的基材 接合元件 總距離移 站台201 實施例； 範圍之修 例如，如 導引外， 承載件搬 37 1324582. 運裝置使用關聯於沿著水平導引的水平運動之垂直導引， 而不使用其關聯於沿著垂直導引的垂直運動之水平導引。 當基材承載件搬運裝置包括為了運動沿著一個水平導 弓丨安裝的一個垂直導引時，升高終端受動器以使基材承載 件脫離輪送裝置，s戈降低終端受動器以使基材承載件遞送 :輪送裝置，這些可以籍由沿著垂直導引升高或降低終端 受動器來完成(例如，而非透過升高與一對垂直導引相關的 水平導引）。一個傳動裝置（諸如皮帶驅動機或鉛螺桿，未 顯不）可以在基材承载件搬運裝置215的支架223時上提 供，以升高相關於水平導引221之終端受動器⑵，從而 使基材承載件脫離輪送裝置231，或降低終 至水平導引221以遞交基材承載件至 者不播田、,L^ 科卄芏翰达裝置231 (除了或 221),用…個或多個垂直導引升高/降低水平導引 可以使用本發明；Μ Μ 材承載件至輸送穿置S 、#載基材承載件和裝載基 基材承載件。在此類亍存1φ 置係在垂直方向中運輸 击古士 Α 、例中’終端受動器225可以句杯户 垂直方向和水平方向間重新調整 ^括在 向機制’如同先前之共同”；載件方向的重新定 6〇M〇7’452號，中請日2Q ^、、國專利中請案第 直和水平方向間對晶圓 月31曰’「具有用以在垂 器」所揭露者。®承載件重新定向機制的终端受動 就本發明在上文中所論及者 本發明亦可用於含有多於一個、 " 載件，但是 於一個基材之基材承載件。 38 在多 載站 停靠 台可 其他 懸吊 替代 動基 從下 包括 佳之 基材 圖中 上。 架上 個預 組化 諸如 載件 例如 號， 本文中所示之基材裝載站台的特定實施例，包 個垂直堆疊中的停靠站台。然、而，上文所述的基材裝 台可以包括只有一個垂直堆叠的停靠站台，只有—個 站台，或多於兩個垂直堆疊的停靠站卜基材裝載站 以包括—或乡個儲存架和/或不是錯存架的-或多個 基材承載件儲存設備。 本文中所示之示例性基材裝載站台中，停靠站台包括 基材承載件使其停靠和離開停靠位置的停靠夾鉗。可 性的停靠站台可以包括在停靠和離開停靠位置之間移 材承載件時，藉由基材承載件的底部或側邊，等等， 方支樓基材承載件的停靠滑橇或平台。 在較佳的實施例中，本發明所應用之基材裝載站台， 使垂直和水平導引與其相連接的框架。該方法中，較 基材裝載站台是模組化的並可以迅速安裝和校準。在 裝載站台包括一或多個儲存架的情況下（例如，第2A 之儲存架23 9)，也可以將每一個儲存架安裝在框架 籍由安裝基材承載件搬運裝置和一或多個儲存架在框 ’基材承載件搬運裝置和儲存架具有與彼此相關的一 設位置。其進一步有利於安裝和校準，並具有使用模 基材裝載站台的另一個優點。同樣地’其他的機制， 用於裝載和/或從一個過載工廠運輸系統卸載基材承 之專属機制’安裝在本文中所述之框裝亦具有優點， ，在先前之共同申請案，美國專利申請號第6〇/4〇7 45 i 「用以運輸晶圓承載件之系統」號，申請曰2 〇 〇 2年8 39 1324582 « · 月31曰。 本發明之一個態樣，可以在預定的安裝位置安裝框架 (例如，預先鑽好的螺栓洞，等等）在潔淨室的牆上、或在 室壁的前面（例如，工廠界面室）。在較佳的實施例中，牆 面也具有預設的安裝位置，其為停靠夾鉗或停靠的平台所 安裝之處。還有，牆面可具有預設的安裝位置，其為基材 承載件開啟機構所·安裝之處。當每一個框架、停靠機構、 和基材承載件開啟機構被安裝在相同表面之預定位置時， 都預先設定了相對的位置，並且有利於基材裝載站台的安 裝和校準。 儘管本文中所述之輸送裝置係安裝在高於基材裝載站 台201的位置，其亦替代性地思及裝設高度低於基材裝載 站台或鄰近基材裝載站台之另一個位置的輸送裝置。 本文中所示的基材裝載站台提供基材給處理工具、計 量位置、或任何基材可以傳輸到的位置。 從前面的敘述中，我們將理解本發明之基材裝載站可 以與具有 FI機器手臂之工廠介面（FI)—同安裝，又該 FI 機器手臂從基材裝載站台的停靠站台傳送基材到處理工具 的裝載閉鎖室（例如第1圖之系統）。替代性地，可略去工 廠界面，而裝載閉鎖室可以包括基材搬運裝置，其自基材 裝載站台的停靠站台直接傳送一個基材。尚有另一個選 擇，處理工具可以在大氣壓力下而非在真空中啟動，所以 可以略去裝載閉鎖室。 第8A-8D是終端受動器225的示例性運作行程。本發 40 1324582. 明之至少一個實施例中，當使用此類運作行程時，只有偵 測器23 3(例如，一個「啟動」偵測器）需要使用到（例如， 可以略去偵測器235)。關於第8八圖，曲線（^顯示在裝 載操作期間’沿著χ軸方向的終端受動器速度(輸送裝置 231移動之水平方向）。曲線C2顯示，在裝載操作期間， 沿著Ζ軸之終端受動器速度（垂直方向）。曲線c3顯示在 裝載操作期間，終端受動器的Ζ轴位置。而曲線C4顯示’ 在裝載操作期間’終端受動器之X軸位置。第8Β圖與笫 8Α圖類似，但是顯示放大之Ζ轴位置資料。第8C_D圖 第8A-B圖翻如 y e 、 ，仁疋顯示终端受動器225卸載操作期間 度（曲線Cl，）' ζ軸速度（曲線C2，）、ζ轴位 線）和X軸位置（曲線C4，）。請注意，第8A_B圖顯示， 土材承載件裝載操作開始的期間，在-個較低的Z軸 之Z轴位置咨 置 置資抖（曲線C3)(例如，以補償基材承載 寸）。 ^執件的尺
參照第 〇 A …8A-B圖和曲線C1-C4，終端受動器22<ς， 在裝載操竹如 可] 4間，執行類似參照第5圖所述的升高、 和加速。例如 # η下降、 為裝載操作 b圖，在 (第5 0 3步驟）收到啟動訊號以後，在時間τ , Τ2之間 ^间Τ1和 叫的速^ 動器225加速以在χ方向配合輪送搜置 Μ曲線C1)(第505步驟和第6Α圖）。之後 間1 3和τ 4 仅時 置231的古之間，終端受動器225(曲線C3)升高到輪送裝 n度（第5 1 1步驟和第6B圖）；例如，則欲酤此 輸送裝置2 钒裝栽至 1的基材承載件207中的法蘭術高出欲接收 41 1324.582. 基材承栽件207的承載件接合元件401。 在時間T5和T6之間，終端受動器225的述 送裝置231的速度（然後減速回到輸送裝置231白 線C1)，因此基材承載件207中的法蘭4〇2被置 載件接合元件401的位置（第513步驟和第6(：圖 T7，基材承載件2〇7中的法蘭4〇2的位置高出承 元件把401，终端受動器225降低（曲線C3), ^ 4〇2同個承載件接合元件4〇1接觸時停止（如時 示）。此時，降低終端受動器225直到時間Τ9為 材承載件207繼續在承載件接合元件4〇1上。基 2〇7據此用趨近於零的速度和/或加速度轉移到 231(例如，時間Τ8)(第515'517步驟和第6〇·ε^ 因為當法蘭402接合承載件接合元件4〇1時，終 225停止’基材承載件207的轉移以z方向趨近 度和加速度發生（曲線C2)s同樣地，因為X方向 動器速度是不變的’並在承載件交換期間配人 Ml的速度（曲線Cl)，基材承載件2〇7的轉移以 ^零的加速度發生。進-步來說’纟本發明之 實施例中，基材承載件轉移期間在Y方向 同樣地，可以以在二 ： 趨近於零的加速度和 方向以趨近於零的速度執行基材承載件的轉移 丁9之後，終端受動器225減逮(第519步驟… 參照第8C_D圖和曲線C1-C4,終端受動器 在卸载操作期間執行類似參照第3圖所述之升言 度高出輸 9速度）（曲 於高出承 )°在時間 載件接合 且在法蘭 間T8所 止，而基 材承栽件 輪送裝置 Ο °例如， 端受動器 於零的速 的终端受 輸送裝置 X方向趨 至少—個 [動發生。 在至少兩 。在時間 1 ci) 〇 2 2 5可以 '下降' 42 丄 324,582 和加速。例如’進一步參考第3和4A-e圖，在為卸載操 作枚到啟動訊號以後（第3 〇 3步驟），在時間T 1和T2之間， 終端受動器225加速以在X方向與輸送裝置231的速度相 配合（曲線C1’）（第305步驟和第4A圖）。此後，在時間T3 和T4之間，終端受動器225升高（曲線C3，），因此可動特 徵22 9接合了欲自輸送裝置231卸載的基材承載件207中 的凹面特徵407(第311步驟和第4B圖在時間T4，當可 動特徵229接合凹面特徵407時，終端受動器225停止升 高（曲線C2’和C3’）。在時間T4和T5之間，終端受動器225 進一步升高以舉起基材承載件207中的法欄402，使其離 開承載件接合元件40 1(第311步驟和第4c圖）。基材承載 件207據此以趨近於零的速度和/或加速度自承載件接合 元件401卸載下來（例如’在x、y和/或z方向，因為在自 承載件接合元件401舉起基材承載件207之前，時間T4 時z方向運動的停止’和因為終端受動器225和輸送裝置 2 3 1間相符的速度）°在時間T 5之後，終端受動器2 2 5減 速並重新加速（第313步驟和曲線cr)並且降低（第315步 驟和曲線C 3 ’）以清空承載件接合元件4 〇 1。如上文中參照 第8C-D圖所述。 同樣地，對移動的輸送裝置卸栽/裝載基材承載件，可 以發生在一成多個方向，在兩個方向尤佳，在所有方向更 佳，速度和/或力口速度趨近於零時。|垂直方向趨近於零的 速度和/或加速度為佳；而在卸載/裝載期間，零速度和/或 加速度尤佳’而非趨近於零的速度和，或加速度。如同本文 43 1 _所使用的，「零速度J或「零加诔疮 令加速度J指的是儘可能接近
零的給定系統參數，諸如，輪送萝罢A A 裒置尚度，輪送裝置速度， 傳動裝置重複性，等等。而系统之 R刺例如，控制器準 確度、傳動裝置準確度、終端受動 又劫盗位置相容性，等等， 和/或諸如此類者。「實質零速唐 + 復」或「實質零加速度 指足夠地接近零，以使基材承載件 、 ^ ^^以在一個移動的輪铥 裝置和/或承載件接合元件卸載/ 、 ^ , ^ ^ 裝載基材承載件，而不會 扣壞包含在基材承載件之内的 ,g ^ ^ v, 何和/或產生潛在可能的 知害粒子。例如，可以與基材承 .. 戰件以相對小的速度接觸。 在一實施例中，終端受動器可以 同某好系被姓址細 垂直地迅速升高，然後在 冋基材承載件接觸之前，以相 T , 相對小的或趨近於零的速度慢 下來。亦可能使用同樣小（或趨 %零的）加速度。可以執 订類似的裝載操作。在一個實 # « yc ¢.1 中，基材或基材的承載 件以不到大約〇.5G的力量在垂 .... 置方向接觸。而在另一個實 施例中，則以不到大約〇 15(5 接觸力值。 力量。亦可以使用其他的 雖然本發明所述之移 材承#輪送裝置所卸載/裝載的基 樣地含有若干圓承載件，但吾人將理解同 ό β右十暴材的基材 ^ F ^ 載件可以從移動的輸送裝置卸 戰次裝載至移動的輸送裝置。 用在運^ ^ 進—步來說，本發明可以應 仕建輸早一基材承載 * (例如，且有25個A u 右干的基材承載件的系統之内 WUd'p d、 載件的晶圓傳送盒(F一。一g
nitied P0ds))。同樣地， F 輪送F發月可以使用於從一個移動的 询迟褒置卸載個別的某 ° /或裝載個別的基材至一個移 44 1324.582. 動的輸送裝置（例如，未包含在密閉的基 材）。例如’可以透過輸送裝置利用開放 材托架’基材托盤或其他的基材運輸裝置 動器225(或其修改之機構）從使用相同的 和/或移動行程的輸送裝置上的基材傳送与 移走基材。此類個別的基材被傳送至停靠 栽淳’或直接到裝載閉鎖室裡和/或處理」 例如’可以從終端受動器225直接傳送一 具和/或工廠界面的基材控制機器· 直接 刃-對-刃，blade-to-blade」轉移或 移位置）。同樣地，可以從/在一個移動輸 若干個體基材。 因此，當使用相關之示例性實施例 ’’應了解亦包含可以.符合下述申請專利 發明的精神和範圍之其他實施例。 【圖式簡單說明】 第I圖係一俯視圖，圖示處理工具和相關 及儲存設備之習知安排； 第2A圖係一前視固，圖示依據本發明所 站台； 第2B圖係一第2A圖基材裝載站台之局旬 述基材裝載台站之第一偵測器的示 第2C圖係第2A圖之终端受動器的局部 承載件之内的基 J基材承載件，基 ’其允許終端受 終端受動器移動 t置，直接玫置或 站台或其他的裝 ^具（如果需要）。 個到基材到一個 f·臂（例如，透過 透過一個中間轉 送裝置卸載/裝載 據以揭露本發明 範圍所定義之本 基材承載件裝栽 提供之基材裝栽 5側視圖’用以敘 例性實施例； 透視圖’敘述第 45 1324582 2A圖之基材承裝載站台之示例性第二偵測器； 第2D圖係第2C圖之局部放大透視圖； 第2E圖係第2A圖之終端受動器之局部透視圖，敘述所裝 置之第二偵測器，其用以探測部份承載件接合元件； 第3圖係一流程圖，敘述一個示例性過程，其依據本發明 自移動之輸送裝置卸下基材承載件。 第4A-4E圖係用以表示第3圖程序之各步驟的側視示意 团 , 園， 第5圖係一流程圖，用以表示依據本發明在移動的輸送裝 置上載入基材承載件之示例性程序； 第6A-6E圖係用以表示第5圖程序之各步驟的側視示意 圖； 第7A-7B圖係本發明基材裝載站台相似於第2A圖之前視 不意圖， 第7C-7D圖係一側視示意圖，用以表示相似於第4A-4E圖 和6A-6E圖之移動的輸送裝置； 第8A-8D圖係以本發明的終端受動器為例的運動曲線圖。 【元件代表符號簡單說明】 1 1 1習知的裝載和儲存設備 1 1 3處理工具 1 1 5工廠介面 1 1 7潔淨室牆 1 1 9機器手臂 46 1324582, 1 2 1裝載閉鎖室 123傳送室 125處理室 127輔助處理室 129基材搬運機器手臂 131基材 133基材承載件儲存架 1 3 5工廠裝載位置 137基材承載件搬運裝置 201基材裝載站台 203停靠站台 205行列 207基材承載件 2 09 埠口 21 1接合夾鉗 2 1 3基材承載件開啟器 215基材承載件搬運裝置 217垂直導引 2 1 7 a上方終端 2 19垂直導引 2 19a上方終端 221水平導引 2 2 1 a上游側 223支撐架 47 1324.582 225終端受動器 227平台 229可動特徵 23 1指示箭頭 2 3 3檢測器 2 3 5檢測器 2 3 7控制器 239儲存架 240a編碼器 240b編碼器 3 0 1 - 3 2 1 流程步驟 401承載件接合元件 402法蘭 403指示箭頭 405指示箭頭 407底部特徵 5 0 1 - 5 2 1 流程步驟 7 0 1上游極限位置 702下游極限位置 704垂直運動範圍最低的極限 7 0 5底部特徵 48

Claims (1)

  1. h(从修SL· 補充I 、申清專利範圍： -— —種用以供應基材至—虑 處理工具的設備，包含： 一基材承載件搬運步 外各 裝置’用以運送一基材承栽件5 該處理工具的第一萝 秋仵至 裒載埠，該基材承載件搬運裝置包 —用以支撐該基材承恭料 ^ 承載件的終端受動器；及 控制i§ ’其叙4A 21 、接至該基材承載件搬運裝置並操作 控制該基材承載件拋n 珉件搬運裝置，以在該基材承載件透過一 基材承載件輸送裝置蚣 置輸迭和移動時，該基材承載件搬運 裝置的該終端受動器 使該基材承載件從該基材承載件 輪送裝置脫離；此外，豊由姑地也， 其中該控制器可操作地控制該基 材承載件搬運裝置，以估 以使該基材承載件搬運裝置的該終 端受動器在該基材承栽杜白好、 何承載件自該基材承載件輸送裝置脫 離之至少一部份的„發哲mU 期間實質上配合該基材承載件的移 動。 2. 如申請專利範圍第i項所述之設備，其中該控制器操作 控制該基材承載件搬運裝置，以使該基材承載件搬運裝 置的該终端受動器在該基材承載件 送裝置脫離至少一部份的期間實質 件的速度。 自該基材承載件輸 上配合該基材承載 3.如申請專利範圍帛2項所述之設備，其令該控制器操作 控制該基材承載件搬運裝置，以使該基材承載件搬運裝 置的該終端受動器在該基材承載件自該基材承載件輸 49 1324582, 送裝置脫離至少一部份的期間實質上配合該 件在水平方向的位置和速度。 4. 如申請專利範圍第1項所述之設備，其甲當由 載件輸送裝置運輸該基材承載件時，該控制器 作控制該基材承載件搬運裝置，使該終端受動 保持鄰接並位於該基材承載件的下面。 5. 如申請專利範圍第4項所述之設備其中該控 步操作控制該基材承載件搬運裝置，使該基材 運裝置的該終端受動器在水平方向移動時升5 基材承載件脫離該基材承載件輸送裝置。 6. 如申請專利範圍第1項所述之設備，其中該控 步操作控制該基材承載件搬運裝置以使該終 在垂直方向以趨近於零或更小的速度和趨近 小的加速度中至少一者接觸該基材承載件，以 承載件自該基材承載件輸送裝置脫離。 7. 如申請專利範圍第6項所述之設備，其中該控 步操作控制該基材承載件搬運裝置以使該終 在該基材承載件輪送裝置水平方向的移動中 零或更小的加速度接觸該基材承載件，以使該 件自該基材承載件輸送裝置脫離。 基材承載 該基材承 進一步操 器移動而 制器進一 承載件搬 B ’致使該 制器進一 端受動器 於零或更 使該基材 制器進__ 端受動器 以趨近於 基材承栽 50 1324582 8. 如申請專利範圍第1項所述之設備，其中該基材承載件 搬運裝置包括一垂直導引和與該垂直導引耦接的一水 平導引。 9. 如申請專利範圍第8項所述之設備，其中： 該基対承載件搬運裝置包括一對垂直導引； 該水平導引係被安裝以沿著該垂直導引垂直移動； 及 該終端受動器係被安裝以沿著該水平導引水平移 動。 10. 如申請專利範圍第1項所述之設備，其中該基材承載 件搬運裝置係用以移動該終端受動器到至少一高度，即 該基材承載件輸送裝置運輸該基材承載件的高度。 11. 如申請專利範圍第1項所述之設備，其中該第一裝載 埠包括第一停靠站台，以及進一步包括至少一相對於該 第一停靠站台垂直配置之其他停靠站台。 1 2.如申請專利範圍第1 1項所述之設備，進一步包括兩列 停靠站台，該第一停靠站台係包含於該兩列停靠站台中 的一列。 51 1324582, 13.如申請專利範圍第1項所述之設備，進一步包括至少 一偵測器，其耦接該控制器並用於指示該基材承載件輸 送裝置之元件的位置。 14. 如申請專利範圍第1項所述之設備，其中該基材承載 件係一單一基材承載件。 15. 如申請專利範圍第1項所述之設備，其中該基材承載 件搬運裝置的該終端受動器包括一水平方向定位的平 台，其具有多個可動特徵。 16. 如申請專利範圍第1項所述之設備，其中該輸送裝置 位於該基材承載件搬運裝置之上。 17. 如申請專利範圍第1項所述之設備，進一步包括至少 一儲存架，用以儲存一基材承載件； 其中該基材承載件搬運裝置係用以在該第一裝載埠 和該至少一儲存架之間運輸該基材承載件。 1 8 ·如申請專利範圍第1項所述之設備，其中該控制器進 一步操作控制該基材承載件搬運裝置，以使該基材承載 件搬運裝置的該终端受動器在該基材承載件輸送裝置 移動時，將該基材承載件轉移至該基材承載件輸送裝 置。 52 19_如申請專利範圍第i8 作控制該基材承載件搬二之設備’其中該控制器操 至該基材承載件輸送裝置 '置，以在該基材承載件傳送 承载件搬運裝置的該終端X少：部份期間，使該基材 載件輸送裝置的移動。又器質上配合該基材承 20. 如申請專利範圍第19 作控制該基材承載件搬’^之:又備’其中該控制器操 至該基材承載件輸送裝置^置，以在該基材承載件傳送 承載件搬運# 至少一部份期間，使該基材 水m件搬運裝置的該終端 載件輪送裝置的速度。 盗質上配合該基材承 21. 如申請專利範^ 2() $ 作控制該基材承載件搬運獎…’其中該控制器操 裝置，以在該基材承載件傳详 至該基材承載件輸送裝 、 永费侔撫·重壯 至少一部份期間，使該基材 承載件搬運裝置的該终端受動器在水平方向實質上= 合該基材承載件輸送裝置的速度。 22·如申請專利範圍第1 8項所述 ^ ^之汉備，其中該控制器谁 一步操作控制該基材承載件^ 件在垂直方向以趨近於零D 以使該基材承載 、零或更小的速度和趨近於零或 加速度中至少-者接觸該基材承載件輸裝 置’以裝載該基材㈣件至該基材承載件輸送裝置上。 53 23. 如申請專利範圍第22項所述之設 —步掉作#杂丨β·» 其中該I 梯作控制該基材承載件搬運裝置，、 件在該基材承載体 从使該j 材承載件輸送裝置水平 於零或更小的加进的移動4 刃加速度接觸該基材承栽 載該基材承載件至## 輸达裝 件至該基材承載件輸送裳置上。 24. 如申請專利範圍第1 ^ 操作地自動從該輪送之设備，其中該控 預定的事件。裝置收回該终端受動器，以 25·如申請專利範圍第24項所述之設備，其中該 件包括動力失效和緊急關機中至少—者。 26.一如申請專利範圍第丨項所述之設備，其中該 2步可操作地控制該基材承載件搬運裝置以 人動器在垂直方向以趨近於零或更小的速度 材承栽件，從而使該基材承栽件自該基材 置脫離。 制器進 材承載 以趨近 t，而裝 制器可 回應一 定的事 制器進 該終端 觸該基 輪送裝 27 —種用以供應該基材至一處 ~~基材承載件搬運裝置， 該處理工具的第一裝載埠， 含： 理工具的設備，包， 用以運送一基材承 該基材承載件搬運 載件至 裝置包 54 一垂直導引； 一水平導引，連接至上述垂直導引；及 、端戈動器，用以支撐該基材承載 相對於上冲+ + . ’·垂直導引垂直移動和相對於上 平導5丨水平移動；及 φ|Ι ) ,j. 該基；bl·名、 至該基材承載件搬運裝置且操 〇 承載件搬運裝置，以 终端受動器將該茂材… 件搬運 承載件從一移動中之位於 丞材承載件搬運奘要+ — w 裝置之該基材承載件輸送裝置用 '中該控制器可操作地控制該基材承載件 置，以使該基材承載件搬 載牛搬運裝置的該終端受動器 承載件自該基材承載件輸送裝置脫離之至少 的期間實質上配合該基材承載件的移動。 .如申請專利範圍第27項所述之設備，其中該基 件搬運裝置包括-對垂直導引並且其中： 該水平導引係用以沿著該對垂直導？丨垂直移 該终端受動器係用以沿著該.水平導引水平移 9.如申請專利範圍第27項所述之設備，其中當該 栽件輸送裝置移動和運輪該基材承載件時，=控 步操作控制該基材承載件搬運裝置，使該基材 搬運裝置的該終端受動器將.該基材承栽件自該 栽件輸送裝置脫離。 以及 述水 控制 置的 近該 隹；此 運裝 該基 部份 承載 ;及 材承 器進 載件 材承 55 1324.582 30.如申請專利範圍第27項所述之設備，其中該控制器可 操作地自動從該輸送裝置收回該終端受動器，以回應一 預定的事件》 31如申明專利範圍第30項所述之設備，其中該預定的事 件包括動力失效和緊急關機中至少—者。 —·，厂外"〜々成，巴含： 在基材承載件輸送裝置上輸送該基材承載件，該 土材承載件輸送裝置係鄰接—基材裝載站台，該基材裝 載站台包含-基材承載件搬運裝置，用以運送該基材承 載件至-處理工具的一裝載埠；及 ★曰~基材承載件輸送彡動和輸送該基材承 載料’使用該基材裝載站台的該基材承載件搬運裝置 F置脫^動^’將該基材承載件從該基材承載件輸送 裝置脫離；此外 其中使用該基封裝載站台的該基材承 載件搬運裝置的該 ^ 終端受動^將該基材承載件脫離， 包含移動該終端受 承載件輪送裝置脫：承載件自該基材 ^, 之至部份的期間實質上配合 該基材承載件的移動。 33·如申請專利範圍第 32項所述之方法 其令移動該終端 56 丄：>Ζ4·：)δΖ 受動器以使Α普 貫質上配合該基材承載件的移動之步驟 包括移動該1 %觉動器’使其在該基材承載件自該基材 承載件輪送步番 、罝脫離之至少一部份期間實質上配合該 基材承載件的迷度。 34.如申請專利 一 固第32項所述之方法’其中移動該终端 受動器以實暂L 上配合該基材承載件的移動之步驟包括 移動該终端总& &動器使其在該基材承載件脫離該基材承 栽件輪送裝眘, 置的至少一部份期間實質上配合該基材承 栽件沿著水平方向的速度和位置。 3 5 j -如申請專利範圍第32項所述之方法，其中使該基材承 裁件脫離之步驟包括升高該終端受動器以接觸該基材 承栽件的底部。 如申請專利範圍第32項所述之方法，其中使該基材承 裁件脫離之步驟包括沿著一水平導引移動該終端受動 器’該水平導引係該基材承載件搬運裝置之一部件。 37·如申請專利範圍第36項所述之方法，其中使該基材承 栽件脫離之步驟包括沿著至少一垂直導引升起該水平 導5丨，該垂直導引係該基材承栽件搬運裝置的一部件。 3 8·如申請專利範圍第32項所述之方法，其中使該基材承 57 1324582, 載件脫離之步驟 承載件的南度。 包括 移動該终端受 動器至輸 "成，φ 裝載站台的該基材承载件搬運、 該基材承載件脫離之步驟包括在垂直：： 動器以趨近於零或更小的速度及趨近於： 速度中至少一者接觸該基材承戴件，以使該 自該基材承載件輪送裝置脫離。 4 0.如申請專利範圍第39項所述之方法，其中 裝載站台的該基材承載件搬運裝置的該終 該基材承載件脫離之步驟包括在該基材承 置之水平方向的移動中，使該终端受動器以 更小的加速度接觸該基材承載件，以使該基 該基材承載件輸送裝置脫離。 41.如申請專利範圍第32項所述之方法，其中輸 承載件之步驟包括在該基材裝載站台上方輸 承載件。 42.如申請專利範圍第32項所述之方法，進一步 基材承載件輸送裝置移動時，使用該終端受動 材承載件轉移到該基材承載件輪送裝置。 送該基材 用該基材 受動器使 該終端受 更小的加 材承載件 用該基材 受動器使 件輸送裝 近於零或 承載件自 送該基材 送該基材 i括當該 5將該基 58 43·如申請專利範圍第42項所述之方法，其中使用 受動器將該基材承載件轉移到該基*承載件輪 之步绳包括#動該終端受動器，以使其 轉移至該基材承載件輪送裝置至少材 . 邯份的期 。該基材承載件輸送裝置的移動0 44· 申請專利範圍第43項所述之方法，其中移動 2動器以使其實質配合該基材承載件輪送裝置 之步驟包括移動該终端受動器使其實質上配合 承載件輸送裝置的速度。 45.如申請專利範圍第43項所述之方法，其中移動 又動器以使其實質上配合該基材承栽件輸送裝 動之步驟包括移動該終端受動器使其沿著水平 質上配合該基材承載件輸送裝置的速度。 如申請專利範圍第42項所述之方法，其中將該 栽件轉移到該基材承載件輸送裝置之步驟包括 s端叉動器，而將該基材承栽件傳遞给該基材承 送裝置的一承載件接合元件。 47. rb ^ 甲5月專利範圍第46項所述之方法，其中該终 35係藉由降低一水平導引而降低。 該終端 送裝置 承載件 g，實質 該終端 的移動 該基材 該终端 置的移 方向實 基材承 降低該 載件輸 端受動 59 48·如申請專利範圍第46項所 载件轉移到哕其法，其中將該基材承 得秒幻該基材承載件輪 终端受動器至該其好备共 f置之步驟包括移動該 件的高度。 承栽件輸送裝置運輪該基材承載 如申請專利範圍第42項 載件輸送裝置移動時，使…：“當該基材承 栽件至#使用該終端党動器傳送該基材承 取件至該基材承載件輸送 載件輸送裝置在垂直方/ 包括使該基材承 趨近於η 趨近於零或更小的速度和 近於零或更小的加速度中至少 件，以裝截哕其从名也 使觸該基材承栽 D 载件至該基材承載件輸送裝置上。 ”硬寻利範圍帛49@所述之方法中當該基材承 載件輸送裝置移動時，使用該终端受動器將該基材承載 件轉移到該基材承載件輸送裝置之步^包括使該基材 承載件輸送裝置在該基材承載件輸送裝置移動的水平 向以趨近於零或更小的加速度與該基材承載件接 觸 乂裝載該基材承載件至該基材承載件輪送裝置上。 51如申請專利範圍第32項所述之方法，進一步包括自動 從該輸送裝置收回該終端受動器，以回應一預定的事 件。 60 52.1324582 « % 中該預定的事 如申請專利範圍第51項所述之方法，其 件包括動力失效和緊急關機中至少一者。 53. —種輸送一基材承載件至 含： 一基材裝載站台 之方法 包 ·>仏料 輸送該基材承載件’該基材裝載站台具7 一基材承載件搬運裝 載件至一處理工具的第一 搬運裝置包含： 置，用以運送該基材承 裝載淳’該基材承載件 一垂直導引； —水平導引，連接至該垂直導引；及 一終端受動器，用以支撐該基材承載件以 相對於該垂直導引垂直地移動和相對於該水 平導引水平移動；及 WSX基材承載件輸送裝置係移動時，使用該基材裝 載站台的1^基材承載件搬運裝i的該終端受動器，以使 i基材承載件從該基材承載件輸送裝置脫離；此外，其 使用該基材裝載站台的該基材承載件搬運裝置的該 終受動§§，、. ’以使該基材承載件脫離，包含移動該終端 受動器，使直,丨 '、在該基材承載件自該基材承載件輸送裝置 脫離之至，|、— ^ —部份的期間實質上配合該基材承載件的 移動。 61 4·如申請專利範圍第53項所述之方法 件搬運裝置包括一對垂直導引且其中·/、中該基材承載 及該水平導引係用以沿著該對垂直導引垂直地移動； 該终端受動器係用以沿著該水平導引水平移動。. 55.如申請專利範圍第53項所述之方法，其中使用該终端 受動器使該基材承載件自該基材承栽件輸送裝置脫離 之步驟包含當該基材承載件移動時，使該基材承載件自 該基材承載件輸送裝置脫離。 56.如申請專利範圍第53項所述之方法進一步包括自動 從該輸送裝置收回該終端受動器，以回應一預定的事件 之步驟。 57. 如申請專利範圍第56項所述之方法，其中該預定的事 件包括動力失效和緊急關機中至少一者。 58. —種用以供應基材至處理工具之設備包括： 一基材承載件搬運裝置’用以運送一基材承載件至 該處理工具的第一裝載埠，該基材承載件搬運裝置包含 一終端受動器，用以支撐該基材承載件；及 一控制器，其連接至該基材承載件搬運裝置且操作 控制該基材承載件搬運裝置，使： 62 1324582 當該基材承載件籍由一基材承載件輸送裝置輸 送時，在水平方向移動該基材承載件搬運裝置的該 終端受動器以實質配合該基材承載件的移動； 舉起該終端受動器以接合該基材承載件且使該 基材承載件從該基材承載件輸送裝置脫離；及 運送該基材承載件至該第一裝載埠。 59. 如申請專利範圍第58項所述之設備，其中該控制器操 作控制該基材承載件搬運裝置，以使該終端受動器在該 升高步驟之後的水平移動減速。 60. 如申請專利範圍第59項所述之設備，其中該控制器操 作控制該基材承載件搬運裝置，以在該減速步驟之後降 低該終端受動器。 61. 如申請專利範圍第60項所述之設備，其中該控制器操 作控制該基材承載件搬運裝置以在該減速步驟之後和 在該降低步驟之前，加速該終端受動器之水平移動。 62. 如申請專利範圍第60項所述之設備，其中該控制器操 作控制該基材承載件搬運裝置，以在該降低步驟之後， 使該終端受動器的水平移動停止。 63. 如申請專利範圍第58項所述之設備，其t該控制器操 63 作控制該基材承載件搬運裝置以在該運送步驟之後， 將該基材承載件傳遞至該第一裝載埠。 。申仴專利範圍第58項所述之設備，其中該控制器可 操作地自動從該輸送裝置收回該終端受動器以回應一 預定的事件。 如申請專利範圍第64項所述之設備，其中該預定的事 件包括動力失效和緊急關機中至少一者。 •—種操作-基材承載件搬運裝置之方法，包括： 當由一基材承载件輸送裝置運輸該基材承載件時， 在水平方向移動該基材承載件搬運裝置的一終端受動 盗，以實質配合該基材承載件的移動； 使該基材 升高該終端受動器以接合該基材承載件和 承載件自該基材承載件輸送裝置脫離；及 運輸該基材承載件至一裝載蜂。 其中上述移動步 一水平導引移動 67,如申請專利範圍第66項所述之方法， 驟包括沿著該基材承載件搬運裝置的 該終端受動器。 如申請專利範圍 升高步驟之後， 第66項所述之方法，進—步包括在該 使該終端受動器的水平移動減速。 64 68. 1324582, 69. 如申請專利範圍第68項所述之方法，進一步包括在該 減速步驟之後，降低該終端受動器。 70. 如申請專利範圍第69項所述之方法，進一步包括在該 減速步驟之後和在該降低步驟之前，加速該終端受動器 的水平移動。 71. 如申請專利範圍第69項所述之方法，進一步包括在該 降低步驟之後，使該終端受動器的水平移動停止。 7 2.如申請專利範圍第66項所述之方法，進一步包括在該 運輸步驟之後，將該基材承載件傳遞至該裝載淳。 73. 如申請專利範圍第66項所述之方法，其中該升高步驟 包括升高該基材承載件搬運裝置的一水平導引。 74. 如申請專利範圍第66項所述之方法，進一步包括自動 從該輸送裝置收回該终端受動器，以回應一預設的事 件0 75.如申請專利範圍第74項所述之方法，其中該預設的事 件包括動力失效和緊急關機中至少一者。 65 76. 種用以供應該基材至一處理工具的設備，包. 土材承載件搬運裝置，用以運送一基材承 該處理工直& & /、的第一裝裁埠，該基材承載件搬運裝 用以支撐該基材承載件之終端受動器：及 控制器’連接至該基材承載件搬運裝置且 制該基材承載件搬運裝置，以在該基材承載件移 s基材承載件搬運裝置的該終端受動器將該 栽件從—基材承載件輪送裝置脫離，其係籍由： 決定該基材承栽件輸送裝置的速度； 依據該基材承載件輸送裝置的速度，為該 動器決定一第一運作行程；及 在該基材承载件從該基材承栽件輸送裝 之至少一部分期間，使用該第一運作行程控 端受動器的移動；此外，其中使用該第—運竹 包含控制該终端受動器的移動，使其在該基 件自該基材承載件輸送裝置脫離之至少一部 間實質上配合該基材承載件的移動。 77·如申請專利範圍第76項所述之設備，其中如果 承栽件輪送裝置的速度在預設的範圍外’該控制 步操作使該基材承載件停止自該基材承載件輸 脫離。 78.如申請專利範圍第76項所述之設備，其中該控 載件至 置包含 操作控 動時， 基材承 終端受 置脫離 制該终 行程， 材承載 份的期 該基材 器進一 送裝置 制器進 66 包括： 件搬運裝£的—終端受動器決定第-運作行程；及 在該基材承载件從該基材承載件輸送裝置脫離 少一部分期間，使用兮货 S Afc < 用該第一運作仃程以控制該終端 步操作控制該基材承載件搬運裝置，當該美 輪送裝置移動時’使該基材承載件搬運二二 動器輪送該基材承載件至該基材承载件輪送裝置 籍由： 依據該基材承載件輸送裝 I您度為該終端. 決疋一第二運作行程；及 在傳送該基材承載件至马# 戟仟至a基材承載件輸送裝j 少·部份期間，該使用笛-·富从P , X便用第一運作行程控制該终 的移動。 79·如f請專利範圍第78項所述之設備，其中Μ 栽件輸送裝置的速度在預設的範圍外該控制器 操作以停止傳送該基材承載件至該基材承載件 置〇 80·—種輸送基材承载件之方法 在鄰接一基材梦„ ,, 屐載站口的一基材承載件輪送裝 輪送該基材承載件，兮^ Μ 1干π基材裝載站台包含一基材承 拖運裝置，用以 %运孩基材承載件至一裝載皡； 決定該基材承载件輸送裝置的速度； 依據該基材承載件輪送裝置的速度，為該基材 I载件 卜端受 ，其係 動器 之至 動器 材承 一步 送裝 置上 載件 承載 的至 受動 67 35的移動：此外，复ώ a /、使用該第一運作行程，包含控制 該終端受動器的移動， 使其在該基材承載件自該基材承 載件輸送裝置脫離之5 , A I 至少一部份的期間實質上配合該 暴材承載件的移動。 81‘如申請專利範圍第8〇瑁拼.+. + + ▲ υ項所述之方法，進一步包括： 依據該基材承載株私^ 牛輪运裝置的速度，決定該終端受 動器的第二運作行程；及 傳送該基材承載件至該基材承載件輸送裝置的至 少一部份期間，使用該第二運作行程控制該終端受動器 的移動》 種電腦程式產品，用以控制—基材承載件從一鄰接 基材裝載站台之基材承載件輸送裝置脫離，該基材裝載 站台包含一基材承載件搬運裝置，用以運送該基材承載 件至—裝載埠，該電腦程式產品包含： 電腦可讀取媒體’該電腦可讀取媒體具有電腦程 式碼’用以： 決定該基材承載件輸送裝置的速度； 依據該基材承載件輪送裝置的速度，為該基材承 栽件搬運裝置的一終端受動器決定第一運作行程； 及 在從該基材承載件輪送裝置脫離該基材承載件 的至少一部份期間，使用該第一運作行程以控制該 68 1324582 終端受動器的移動；此外，其中使用該第 程，包含控制該終端受動器的移動，使其 承載件自該基材承載件輸送裝置脫離之至 的期間實質上配合該基材承載件的移動。 83. 如申請專利範圍第82項所述之電腦程式產品 包括電腦程式碼，用以： 依據該基材承載件輸送裝置的速度，決定 動器的第二運作行程；及 在該基材承載件傳送至該基材承載件輸送 少一部分期間，使用該第二運作行程以控制該 器的移動。 84. —種供應一基材至一處理工具之設備，包括 一終端受動器，用以支撐一基材及傳送該 處理工具的第一裝載埠；及 一控制器，其連接該終端受動器且當一輸 動和傳送該基材時，操作控制該终端受動器， 端受動器將該基材從移動的該輸送裝置脫離； 中該控制器操作控制該終端受動器，使其在該 輸送裝置脫離之至少一部份的期間實質上配 的移動。 85_如申請專利範圍第84項所述之設備，其中當 一運作行 在該基材 少一部份 ，進-—步 該終端受 裝置的至 終端受動 基材至該 送裝置移 以使該终 此外，其 基材自該 合該基材 該輸送裝 69 1324582、 置移動時’該控制器進一步操作控制該終端受動器，以 使該终端受動器將該基材傳送到該輸送裝置。 86 —種輸送一基材的方法，包括： 在連接一基材裝載站台之一輸送裝置上傳送該基 材，該基材裝載站台包括一終端受動器’用以支撐該基 材和傳送該,基材至一處理工具的裝載埠.；及 當該輸送裝置移動和運輸該基材時，使用該基材裝 載站台的該終端受動器將該基材自該輪送裝置脫離；此 外，其中使用該终端受動器，包含控制該終端受動器的 移動，使其在該基材自該輪送裝置脫離之至少_部份的 期間實質上配合該基材的移動。 87. 如申請專利範圍第86項所述之方法，進一步包括當該 輸送裝置移動時，使用該終端受動器，將該基材傳送到 該輸送裝置。 88. —種設備，包含： 一基材承載件搬運裝置’用以傳送一基材承載件至 一處理工具的第一裝載埠，該基材承載件搬運裝置包含 一终端受動器，用以支撐該基材承載件；及 一控制器，連接至該基材承載件搬運裝置的和操作 控制該基材承载件搬運裝置，當該基材承載件輪送裝置 移動時，使該基材承載件搬運裝置的該終端受動器傳送 70 1324582, 該基材承載件至一基材承載件輸送裝置；此外，其中該 控制器係適於控制該終端受動器的移動，使其在該基材 承載件自該基材承載件輸送裝置轉移之至少一部份的 期間實質上配合該基材承載件的移動。 71
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Families Citing this family (67)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6283692B1 (en) 1998-12-01 2001-09-04 Applied Materials, Inc. Apparatus for storing and moving a cassette
US20020090282A1 (en) * 2001-01-05 2002-07-11 Applied Materials, Inc. Actuatable loadport system
US20030031538A1 (en) * 2001-06-30 2003-02-13 Applied Materials, Inc. Datum plate for use in installations of substrate handling systems
US7930061B2 (en) 2002-08-31 2011-04-19 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for loading and unloading substrate carriers on moving conveyors using feedback
US7506746B2 (en) 2002-08-31 2009-03-24 Applied Materials, Inc. System for transporting substrate carriers
EP1394840B1 (en) * 2002-08-31 2008-11-19 Applied Materials, Inc. System for transporting substrate carriers
US7243003B2 (en) * 2002-08-31 2007-07-10 Applied Materials, Inc. Substrate carrier handler that unloads substrate carriers directly from a moving conveyor
US20050095110A1 (en) * 2002-08-31 2005-05-05 Lowrance Robert B. Method and apparatus for unloading substrate carriers from substrate carrier transport system
US7234584B2 (en) * 2002-08-31 2007-06-26 Applied Materials, Inc. System for transporting substrate carriers
US20040081546A1 (en) * 2002-08-31 2004-04-29 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for supplying substrates to a processing tool
US7684895B2 (en) * 2002-08-31 2010-03-23 Applied Materials, Inc. Wafer loading station that automatically retracts from a moving conveyor in response to an unscheduled event
US7221993B2 (en) * 2003-01-27 2007-05-22 Applied Materials, Inc. Systems and methods for transferring small lot size substrate carriers between processing tools
US7611318B2 (en) * 2003-01-27 2009-11-03 Applied Materials, Inc. Overhead transfer flange and support for suspending a substrate carrier
US7778721B2 (en) * 2003-01-27 2010-08-17 Applied Materials, Inc. Small lot size lithography bays
US7578647B2 (en) * 2003-01-27 2009-08-25 Applied Materials, Inc. Load port configurations for small lot size substrate carriers
JP4447279B2 (ja) * 2003-10-15 2010-04-07 キヤノンアネルバ株式会社 成膜装置
US20050209721A1 (en) * 2003-11-06 2005-09-22 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for enhanced operation of substrate carrier handlers
US7218983B2 (en) * 2003-11-06 2007-05-15 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for integrating large and small lot electronic device fabrication facilities
US7720557B2 (en) * 2003-11-06 2010-05-18 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for enhanced operation of substrate carrier handlers
US20080134076A1 (en) * 2003-11-10 2008-06-05 Pannese Patrick D Methods and systems for controlling a semiconductor fabrication process
US8639365B2 (en) 2003-11-10 2014-01-28 Brooks Automation, Inc. Methods and systems for controlling a semiconductor fabrication process
US10086511B2 (en) 2003-11-10 2018-10-02 Brooks Automation, Inc. Semiconductor manufacturing systems
US8639489B2 (en) 2003-11-10 2014-01-28 Brooks Automation, Inc. Methods and systems for controlling a semiconductor fabrication process
US20070282480A1 (en) * 2003-11-10 2007-12-06 Pannese Patrick D Methods and systems for controlling a semiconductor fabrication process
CN1669892B (zh) * 2003-11-13 2011-11-16 应用材料股份有限公司 高速载入器相对于基片传送系统的校准
CN1640797A (zh) * 2003-11-13 2005-07-20 应用材料有限公司 具有剪切构件的动态销和使用该动态销的衬底载体
TWI348450B (en) * 2003-11-13 2011-09-11 Applied Materials Inc Break-away positioning conveyor mount for accommodating conveyor belt bends
KR101106869B1 (ko) * 2003-11-13 2012-01-19 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 예정되지 않은 이벤트에 반응하여 이동하는컨베이어로부터 자동으로 회수하는 웨이퍼 로딩 스테이션
TWI316044B (en) 2004-02-28 2009-10-21 Applied Materials Inc Methods and apparatus for material control system interface
US7413069B2 (en) * 2004-02-28 2008-08-19 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for transferring a substrate carrier within an electronic device manufacturing facility
US7274971B2 (en) * 2004-02-28 2007-09-25 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for electronic device manufacturing system monitoring and control
WO2005122241A1 (ja) * 2004-06-14 2005-12-22 Hirata Corporation 容器開閉装置及びその容器載置位置調整方法
US7611319B2 (en) 2004-06-16 2009-11-03 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for identifying small lot size substrate carriers
US7409263B2 (en) * 2004-07-14 2008-08-05 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for repositioning support for a substrate carrier
CN100358096C (zh) * 2004-10-21 2007-12-26 力晶半导体股份有限公司 定位套件与定位方法
US7314808B2 (en) * 2004-12-23 2008-01-01 Applied Materials, Inc. Method for sequencing substrates
US8303233B2 (en) * 2005-08-01 2012-11-06 Worthwhile Products Storage and retrieval system
TW200717689A (en) * 2005-09-14 2007-05-01 Applied Materials Inc Methods and apparatus for a band to band transfer module
US7661919B2 (en) 2005-09-28 2010-02-16 Muratec Automation Co., Ltd. Discontinuous conveyor system
ES2323964T3 (es) * 2005-10-05 2009-07-28 Bobst S.A. Procedimiento para el posicionamiento de elementos en forma de placa en una maquina de tratamiento.
US7591624B2 (en) * 2006-01-09 2009-09-22 International Business Machines Corporation Reticle storage pod (RSP) transport system utilizing FOUP adapter plate
FR2898880B1 (fr) * 2006-03-22 2008-05-30 Datacard Corp Machine lineaire de traitement d'objets portables et procede de traitement d'objets portables
US20070258796A1 (en) * 2006-04-26 2007-11-08 Englhardt Eric A Methods and apparatus for transporting substrate carriers
US20090314607A1 (en) * 2006-07-27 2009-12-24 Advantest Corporation Electronic device conveying method and electronic device handling apparatus
WO2008045375A2 (en) * 2006-10-04 2008-04-17 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for loading and unloading substrate carriers on moving conveyors using feedback
US8776391B1 (en) * 2007-04-13 2014-07-15 Align Technology, Inc. System for post-processing orthodontic appliance molds
TWI533394B (zh) * 2007-06-21 2016-05-11 尼康股份有限公司 Conveying method and conveying device
JP5369419B2 (ja) * 2007-10-18 2013-12-18 村田機械株式会社 保管庫、保管庫セット及び保管庫付き搬送システム
US7984543B2 (en) * 2008-01-25 2011-07-26 Applied Materials, Inc. Methods for moving a substrate carrier
JP5256810B2 (ja) * 2008-03-24 2013-08-07 村田機械株式会社 保管庫装置及び保管庫付き搬送システム
US8886354B2 (en) * 2009-01-11 2014-11-11 Applied Materials, Inc. Methods, systems and apparatus for rapid exchange of work material
JP5288339B2 (ja) * 2009-06-02 2013-09-11 村田機械株式会社 無限駆動媒体を備えた搬送システムとそのキャリブレーション方法、及びキャリアとキャリブレーションユニット
WO2010140219A1 (ja) * 2009-06-02 2010-12-09 村田機械株式会社 無限駆動媒体を備えた搬送システムと、搬送方法
KR101310131B1 (ko) 2009-06-02 2013-09-23 무라다기카이가부시끼가이샤 무한 구동 매체를 구비한 반송 시스템과 여기에서의 물품 전달 방법
CN102405519B (zh) * 2009-06-02 2014-08-20 村田机械株式会社 具有无限驱动介质的搬送系统、其搬运器的识别方法以及搬运器
US8285418B2 (en) * 2009-07-23 2012-10-09 Kla-Tencor Corporation Dual scanning stage
TWI496732B (zh) * 2009-07-31 2015-08-21 Murata Machinery Ltd 供工具利用之緩衝儲存和運輸裝置
US9901210B2 (en) * 2012-01-04 2018-02-27 Globalfoundries Singapore Pte. Ltd. Efficient transfer of materials in manufacturing
US9846415B2 (en) 2012-01-19 2017-12-19 Globalfoundries Singapore Pte. Ltd. Efficient transfer of materials using automated guided vehicles in semiconductor manufacturing
US9748125B2 (en) * 2012-01-31 2017-08-29 Applied Materials, Inc. Continuous substrate processing system
WO2015108065A1 (ja) * 2014-01-15 2015-07-23 東京エレクトロン株式会社 成膜方法及び熱処理装置
JP6310803B2 (ja) * 2014-07-29 2018-04-11 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置の製造方法
CN108292589B (zh) 2015-11-23 2023-05-16 应用材料公司 在处理工具中的板载计量(obm)设计与影响
JP7111816B2 (ja) * 2018-07-30 2022-08-02 アルバックテクノ株式会社 基板リフト装置及び基板搬送方法
JP7212558B2 (ja) * 2019-03-15 2023-01-25 キヤノン株式会社 基板処理装置、決定方法及び物品の製造方法
CN112389970B (zh) * 2020-11-20 2022-02-25 昆山鸿仕达智能科技有限公司 双进双出式产品自动转换载具的转换机
CN115091249B (zh) * 2022-06-15 2023-03-21 深圳市久久犇自动化设备股份有限公司 一种数控机床生产线控制系统及方法

Family Cites Families (202)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1639758A (en) 1925-02-12 1927-08-23 Jervis B Webb Overhead loading mechanism
US1906036A (en) 1930-05-28 1933-04-25 Moore Co Conveying mechanism
US2153071A (en) 1938-01-24 1939-04-04 Mechanical Handling Sys Inc Conveyer
US2949996A (en) 1957-07-08 1960-08-23 Radio Steel & Mfg Co Article conveyor and transfer mechanism
US3058604A (en) 1959-10-22 1962-10-16 Hauson Van Winkle Munning Co Article treating machine and loadunload mechanism therefor
US3131801A (en) 1960-04-09 1964-05-05 Buehler Ag Geb Vertical type endless conveyor
US3184032A (en) 1962-06-26 1965-05-18 Lecab Rullbanor Aktiebolag Arrangement in paternoster elevators
DE1632196A1 (de) 1967-03-25 1970-05-14 Hauni Werke Koerber & Co Kg Zigarettenschragenfoerderanlage
FR1532401A (fr) 1967-05-17 1968-07-12 Seita Procédé de transfert entre transporteurs en mouvement
JPS5014015B1 (zh) 1969-10-18 1975-05-24
NL151955B (nl) 1970-06-10 1977-01-17 Leidsche Apparatenfabriek Nv Selecteerinrichting voor aan een zijde open holle voorwerpen.
US3722656A (en) 1971-06-23 1973-03-27 Rexham Corp System for handling and accumulating articles
US3734263A (en) 1971-07-02 1973-05-22 A Dirks Revolvable station for processing a movable procession of factory-work pieces such as animal carcasses
US3815723A (en) 1971-11-05 1974-06-11 Cutler Hammer Inc Method and apparatus for transferring and storing articles
IT968102B (it) 1972-12-18 1974-03-20 Acma Spa Apparato per ordinare a passo oggetti provenienti disordina tamente da una linea erogatrice e per trasferirli quindi ad una linea ricevitrice
US3845286A (en) 1973-02-05 1974-10-29 Ibm Manufacturing control system for processing workpieces
FR2225363B1 (zh) 1973-04-10 1977-09-02 Remy & Cie E P
CH553709A (de) 1973-07-09 1974-09-13 Sig Schweiz Industrieges Foerderanlage mit vorrichtung zum trennen von in gegenseitiger beruehrung auf einem eingangsfoerderer zulaufenden gegenstaenden.
US4029194A (en) 1974-05-13 1977-06-14 Pemco, Inc. Automatic indexing and transferring apparatus
US4040302A (en) 1975-01-03 1977-08-09 Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha Chain drive for a transfer machine
US4033403A (en) 1975-09-17 1977-07-05 Seaton Engineering Company Synchronizing velocity and position control
US4033448A (en) * 1975-10-24 1977-07-05 Whirlpool Corporation Conveyor transfer apparatus pickup and dropoff sensor
US4044886A (en) 1975-12-29 1977-08-30 Sender Wilfred E System for handling structural members
US4027246A (en) 1976-03-26 1977-05-31 International Business Machines Corporation Automated integrated circuit manufacturing system
US4166527A (en) 1977-08-01 1979-09-04 Stelron Cam Company Device for picking up and placing articles on movable conveyors and assembly lines and to an endless construction and to an article pickup and deposit device therefor
FR2417455A1 (fr) 1978-02-20 1979-09-14 Arenco Decoufle Sa Fse Dispositif pour transferer transversalement des objets cylindriques en forme de tiges, se deplacant longitudinalement
US4340137A (en) 1978-03-27 1982-07-20 Opcon, Inc. Cant movement and aligning mechanism
NL172429C (nl) 1978-09-21 1983-09-01 Tevopharm Schiedam Bv Inrichting voor het tussen de meenemers van een sleeptransporteur toevoeren van voorwerpen.
DE2848773A1 (de) 1978-11-10 1980-05-22 Schmermund Maschf Alfred Vorrichtung zum queraxialen foerdern und speichern von zigaretten
US4222479A (en) 1978-11-13 1980-09-16 Coors Container Company Container conveying and transfer system
US4401522A (en) 1980-09-29 1983-08-30 Micro-Plate, Inc. Plating method and apparatus
IT1188972B (it) 1980-12-12 1988-01-28 Gd Spa Dispositivo di trasferimento per articoli a forma di barretta
US4450950A (en) 1981-05-12 1984-05-29 Eastman Kodak Company Work piece transfer mechanism
US4653630A (en) 1981-11-16 1987-03-31 Anna Bravin Method of and device for controlling the transfer of articles from a first conveyor belt to predetermined locations on a second conveyor belt
FR2524436B1 (fr) 1982-04-02 1985-09-27 Nantaise Biscuiterie Dispositif regulateur de transfert de produits solides identiques entre des machines amont et aval de vitesses differentes
US4534843A (en) 1983-01-28 1985-08-13 Technic, Inc. Apparatus for electroplating and chemically treating contact elements of encapsulated electronic components and their like
US4538720A (en) 1983-03-25 1985-09-03 Pet, Incorporated Apparatus for transferring articles between conveyors
US4524858A (en) 1983-05-24 1985-06-25 Maxey Carl W Edger transport and position apparatus
US4540088A (en) 1983-06-20 1985-09-10 Wheelabrator-Frye Inc. Component conveyor apparatus
JPS6034311A (ja) 1983-07-28 1985-02-21 日本たばこ産業株式会社 停止待機運転制御式集積包装機の製品受渡搬送装置
US4667809A (en) 1983-10-19 1987-05-26 Trimmer Machine Co., Inc. Apparatus for aligning signatures
EP0139775B1 (en) 1983-10-20 1987-09-30 Ab Tetra Pak An article conveying and accumulating device
US4585126A (en) 1983-10-28 1986-04-29 Sunkist Growers, Inc. Method and apparatus for high speed processing of fruit or the like
US4650264A (en) 1983-12-12 1987-03-17 Spacesaver Corporation Control system for vertical storage equipment
US4552261A (en) 1983-12-27 1985-11-12 Standard-Knapp, Inc. Article grouper for case packer
US4603770A (en) 1984-01-18 1986-08-05 Hartness Thomas Signor Rake conveyor apparatus
US4584944A (en) 1984-04-25 1986-04-29 Jervis B. Webb Company Conveyor system with automatic load transfer
US4702365A (en) 1984-09-10 1987-10-27 Pak Chong Il Apparatus for removing individual wafer segments from a framed carrier
IT1181265B (it) 1984-12-06 1987-09-23 Gd Spa Dispositivo per il trasferimento di articoli a forma di barretta
JPS61146690A (ja) * 1984-12-19 1986-07-04 Honda Motor Co Ltd 被組立て本体両側への部品組立て方法
FR2580262B1 (fr) 1985-04-12 1987-05-22 Efcis Installation de manutention d'objets fragiles en atmosphere a empoussierement controle
US4750605A (en) 1985-08-07 1988-06-14 Lamb Technicon Corp. Workpiece transfer system
IT1196605B (it) 1985-09-06 1988-11-16 Murata Machinery Ltd Apparecchiatura per inoltrare ed ispezionare rotoli di filati
DE3673307D1 (de) 1985-10-09 1990-09-13 Sig Schweiz Industrieges Vorrichtung zum vereinzeln und zum zufuehren von laenglichen nahrungsmittelprodukten zu einer verpackungsmaschine.
CA1261368A (en) 1985-10-28 1989-09-26 Donald C. Crawford Computer controlled non-contact feeder
US4775046A (en) 1986-01-17 1988-10-04 Future Automation, Inc. Transport belt for production parts
CA1289346C (en) 1986-02-27 1991-09-24 Takeo Yoshiji System for installing parts on workpiece
US4901843A (en) 1986-04-02 1990-02-20 Minnesota Automation, Inc. Advancing motion rotary apparatus
US4898373A (en) 1986-07-03 1990-02-06 Newsome John R High speed signature manipulating apparatus
US4869637A (en) 1986-08-27 1989-09-26 Bud Antle, Inc. Plant transfer mechanism
US5110249A (en) 1986-10-23 1992-05-05 Innotec Group, Inc. Transport system for inline vacuum processing
US4852717A (en) 1986-11-12 1989-08-01 Fmc Corporation Computer controlled light contact feeder
US4708727A (en) 1986-11-14 1987-11-24 Vitro Tec Fideicomiso Method and apparatus for synchronizing the velocity of a 90 degree push-out apparatus and of the carrier converyor in an I.S. glassware forming machine
JPS63168801A (ja) 1986-12-29 1988-07-12 Ozen Corp 再生針・レコ−ド盤衝突防止装置を備えた簡易音響再生機
US4759439A (en) 1987-01-29 1988-07-26 Dominion Chain Inc. Drive mechanism
DE3702775A1 (de) * 1987-01-30 1988-08-11 Leybold Ag Vorrichtung zum quasi-kontinuierlichen behandeln von substraten
US4813528A (en) 1987-02-06 1989-03-21 Dominion Chain Inc. Conveyor loading system
US4765453A (en) 1987-04-27 1988-08-23 Westinghouse Electric Corp. Pellet-press-to-sintering-boat nuclear fuel pellet loading system
WO1988009303A1 (en) 1987-05-21 1988-12-01 Hine Design Inc. Method and apparatus for aligning silicon wafers
DE3724693C2 (de) 1987-07-25 1996-10-17 Bosch Gmbh Robert Verfahren und Vorrichtung zum Überführen von Gegenständen in eine Fördereinrichtung einer Verpackungsmaschine
JP2503555B2 (ja) * 1987-12-07 1996-06-05 三菱電機株式会社 半導体ウエ―ハ搬送移載装置
US4830180A (en) 1988-01-15 1989-05-16 Key Technology, Inc. Article inspection and stabilizing system
JPH01203106A (ja) * 1988-02-04 1989-08-15 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 昇降装置
IT1217694B (it) * 1988-05-23 1990-03-30 Francesco Canziani Metodo per il controllo dell'esatto posizionamento degli oggetti da smistare in un impianto di smistamento automatico
US4936438A (en) 1988-05-31 1990-06-26 Welduction Automation Inc. Conveyor loading and unloading apparatus
US5086909A (en) 1988-09-23 1992-02-11 Powell Machinery, Inc. Gentle handling of fruit during weight sizing and other operations
JP2905857B2 (ja) 1989-08-11 1999-06-14 東京エレクトロン株式会社 縦型処理装置
US5135102A (en) 1989-09-19 1992-08-04 Quipp, Incorporated Sorting conveyor
JPH03106721A (ja) 1989-09-21 1991-05-07 Mitsubishi Electric Corp 縦型ウエーハ搬送装置
JPH03154751A (ja) * 1989-11-08 1991-07-02 Hitachi Ltd 多品種搬送方法及び装置
DE3938719A1 (de) 1989-11-23 1991-05-29 Rovema Gmbh Verfahren und vorrichtung zur foerderung und synchronisierung der bewegung von gegenstaenden
US5052544A (en) 1989-12-29 1991-10-01 Apv Douglas Machine Corporation Tray loading machine
US5261935A (en) 1990-09-26 1993-11-16 Tokyo Electron Sagami Limited Clean air apparatus
US5668056A (en) 1990-12-17 1997-09-16 United Microelectronics Corporation Single semiconductor wafer transfer method and manufacturing system
US5332013A (en) 1991-03-15 1994-07-26 Shinko Electric Co., Ltd. Unmanned conveying device in clean room
DE4111899A1 (de) 1991-04-12 1992-10-15 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zum transportieren von gegenstaenden in eine foerdereinrichtung einer verpackungsmaschine
US5099896A (en) 1991-04-24 1992-03-31 Harvey Industries, Inc Rotary board pick/store/place method and apparatus
IT1252458B (it) 1991-07-29 1995-06-16 Gd Spa Metodo per il trasferimento di prodotti fra trasportatori dotati di moto continuo
US5231926A (en) 1991-10-11 1993-08-03 Sequa Corporation Apparatus and method for substantially reducing can spacing and speed to match chain pins
US5123518A (en) 1991-12-12 1992-06-23 Pfaff Ernest H Apparatus for properly positioning vials
US5256204A (en) 1991-12-13 1993-10-26 United Microelectronics Corporation Single semiconductor water transfer method and manufacturing system
JP2867194B2 (ja) * 1992-02-05 1999-03-08 東京エレクトロン株式会社 処理装置及び処理方法
US5364225A (en) * 1992-06-19 1994-11-15 Ibm Method of printed circuit panel manufacture
JPH069048A (ja) * 1992-06-24 1994-01-18 Suzuki Motor Corp ワーク把持装置
US5320208A (en) 1992-07-02 1994-06-14 Utica Enterprises, Inc. Reciprocating lift mechanism
CA2074789C (en) 1992-07-28 1995-12-05 Joel W. Jones Precision guided transfer fixture
DE69205571T2 (de) 1992-08-04 1996-06-13 Ibm Unter Druck stehende Koppelsysteme zum Transferieren von einem Halbleiterwafer zwischen einem tragbaren abdichtbaren unter druckstehenden Behälter und einer Bearbeitungsanlage.
ATE129359T1 (de) 1992-08-04 1995-11-15 Ibm Verteilungseinrichtung mit gaszufuhr- abgabevorrichtung zum handhaben und speichern von abdichtbaren tragbaren unter druck stehenden behältern.
ES2101070T3 (es) 1992-08-04 1997-07-01 Ibm Recipientes portatiles estancos a presion para almacenar una rebanada de semiconductor en un ambiente gaseoso protector.
EP0582019B1 (en) 1992-08-04 1995-10-18 International Business Machines Corporation Fully automated and computerized conveyor based manufacturing line architectures adapted to pressurized sealable transportable containers
US5207309A (en) 1992-08-18 1993-05-04 Simpkin Steven W Concomitant motion control device
JPH06114759A (ja) * 1992-09-30 1994-04-26 Canon Inc 往復直線駆動装置
KR100303075B1 (ko) * 1992-11-06 2001-11-30 조셉 제이. 스위니 집적회로 웨이퍼 이송 방법 및 장치
US5341915A (en) 1992-11-06 1994-08-30 Kliklok Corporation Article phasing, transfer and squaring system for packaging line
JPH06255758A (ja) * 1993-03-05 1994-09-13 Shibuya Kogyo Co Ltd 容器の整列装置
US5269119A (en) 1993-03-12 1993-12-14 Ossid Corporation Linearly reciprocating conveyor apparatus
KR100221983B1 (ko) * 1993-04-13 1999-09-15 히가시 데쓰로 처리장치
US5350050A (en) 1993-09-09 1994-09-27 Donald L. Collver Continuous vertical conveyor
US5565034A (en) * 1993-10-29 1996-10-15 Tokyo Electron Limited Apparatus for processing substrates having a film formed on a surface of the substrate
US5570990A (en) 1993-11-05 1996-11-05 Asyst Technologies, Inc. Human guided mobile loader stocker
EP0735927B1 (de) * 1993-12-23 1999-11-03 Siemens Aktiengesellschaft Übergabeeinrichtung für stückgut, insbesondere für postgut
EP0663686B1 (en) 1994-01-14 1997-06-18 International Business Machines Corporation Automatic assembler/disassembler apparatus adapted to pressurized sealable transportable container
JP3167246B2 (ja) * 1994-06-09 2001-05-21 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置のカセット搬入／搬出方法及びその装置
JPH0817894A (ja) 1994-06-27 1996-01-19 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板表面処理装置
JPH0819985A (ja) * 1994-07-04 1996-01-23 Mitsubishi Electric Corp ロボット装置
US5560471A (en) 1994-09-28 1996-10-01 Tetra Laval Holdings & Finance S. A. Apparatus for transferring containers to a moving conveyor
US5653327A (en) 1994-10-21 1997-08-05 Electrocom Gard Ltd. Inserter device and a method for transposing a stream of products using the same
IT1267468B1 (it) 1994-10-27 1997-02-05 Hitech Systems Srl Macchina perfezionata per il raggruppamento, a scopo di confezionamento, di prodotti convogliati singolarmente,
US5588282A (en) 1994-11-10 1996-12-31 Hartness International, Inc. Continuous motion case packing apparatus and method
US5884392A (en) * 1994-12-23 1999-03-23 International Business Machines Corporation Automatic assembler/disassembler apparatus adapted to pressurized sealable transportable containers
TW297910B (zh) 1995-02-02 1997-02-11 Tokyo Electron Co Ltd
US5628614A (en) 1995-03-16 1997-05-13 Douglas Machine Limited Liability Company Continuous motion stacking apparatus and methods
US5612886A (en) 1995-05-12 1997-03-18 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. Method and system for dynamic dispatching in semiconductor manufacturing plants
US5667056A (en) 1995-06-06 1997-09-16 Sears, Roebuck And Co. Hanger transport system
US5617944A (en) 1995-06-15 1997-04-08 Valiant Machine & Tool, Inc. Shuttle transfer assembly
DK0790947T3 (da) 1995-09-08 2003-06-10 Siemens Schweiz Ag Fremgangsmåde og indretning til indslusning af stykgodsdele
US5558198A (en) 1995-09-18 1996-09-24 Juarez; Ramiro O. Band transportation system
JPH0991015A (ja) * 1995-09-26 1997-04-04 Central Motor Co Ltd 同期作業ロボット
US5762544A (en) * 1995-10-27 1998-06-09 Applied Materials, Inc. Carrier head design for a chemical mechanical polishing apparatus
IT1285453B1 (it) * 1996-01-25 1998-06-08 Ima Spa Metodo ed apparecchiatura per il prelievo e l'impilaggio di prodotti alimentari in file multiple e per il convogliamento delle pile di
US6036426A (en) * 1996-01-26 2000-03-14 Creative Design Corporation Wafer handling method and apparatus
US6227348B1 (en) * 1996-01-26 2001-05-08 Elpatronic Ag Method and apparatus for separating and bringing together series of container bodies
US5681597A (en) * 1996-02-06 1997-10-28 Liquid Container L.P. Vacuum conveyor picker for blow bottle container
NL1003057C2 (nl) * 1996-05-07 1997-11-10 Greefs Wagen Carrosserie Inrichting en werkwijze voor het aan-, afvoeren en overbrengen van voorwerpen, zoals vruchten.
IT1285694B1 (it) * 1996-05-08 1998-06-18 Azionaria Costruzioni Acma Spa Metodo ed unita' per la formazione ed il convogliamento di gruppi di prodotti
US5823319A (en) 1996-05-10 1998-10-20 The Buschman Company Control system for the drop-out zone of a constant speed accumulating conveyor
CA2259121A1 (en) * 1996-05-13 1997-11-20 Thomas Muller Method for the suspended conveying of containers and device for carrying out said method
JPH1011503A (ja) 1996-06-21 1998-01-16 Tec Corp Ｐｏｓシステム
US6203582B1 (en) * 1996-07-15 2001-03-20 Semitool, Inc. Modular semiconductor workpiece processing tool
US5827118A (en) 1996-08-28 1998-10-27 Seh America, Inc. Clean storage unit air flow system
JPH10112490A (ja) * 1996-10-03 1998-04-28 Nidek Co Ltd 半導体ウェハ搬送装置
FR2754525B1 (fr) * 1996-10-14 1998-12-31 Eurocri Soc Nouv Procede et dispositif de transport de produits selon un pas determine
US5818716A (en) 1996-10-18 1998-10-06 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. Dynamic lot dispatching required turn rate factory control system and method of operation thereof
US5957648A (en) * 1996-12-11 1999-09-28 Applied Materials, Inc. Factory automation apparatus and method for handling, moving and storing semiconductor wafer carriers
JPH10189682A (ja) * 1996-12-20 1998-07-21 Daikin Ind Ltd 真空処理装置
JPH10256346A (ja) 1997-03-13 1998-09-25 Tokyo Electron Ltd カセット搬出入機構及び半導体製造装置
US6068668A (en) * 1997-03-31 2000-05-30 Motorola, Inc. Process for forming a semiconductor device
US5980183A (en) 1997-04-14 1999-11-09 Asyst Technologies, Inc. Integrated intrabay buffer, delivery, and stocker system
US6280134B1 (en) * 1997-06-17 2001-08-28 Applied Materials, Inc. Apparatus and method for automated cassette handling
US6579052B1 (en) * 1997-07-11 2003-06-17 Asyst Technologies, Inc. SMIF pod storage, delivery and retrieval system
US6183186B1 (en) * 1997-08-29 2001-02-06 Daitron, Inc. Wafer handling system and method
US6235634B1 (en) * 1997-10-08 2001-05-22 Applied Komatsu Technology, Inc. Modular substrate processing system
JP3546217B2 (ja) * 1997-11-21 2004-07-21 株式会社ダイフク 物品移載装置
AT405775B (de) * 1998-01-13 1999-11-25 Thallner Erich Verfahren und vorrichtung zum ausgerichteten zusammenführen von scheibenförmigen halbleitersubstraten
JPH11204615A (ja) * 1998-01-19 1999-07-30 Speedfam Co Ltd ローディングロボットのウェーハローディング、アンローディング機構
JP3446598B2 (ja) * 1998-03-23 2003-09-16 株式会社村田製作所 チップ部品の移載装置
US6186331B1 (en) 1998-04-06 2001-02-13 Dainichi Shoji K.K. Container
US6083566A (en) * 1998-05-26 2000-07-04 Whitesell; Andrew B. Substrate handling and processing system and method
KR100646906B1 (ko) * 1998-09-22 2006-11-17 동경 엘렉트론 주식회사 기판처리장치 및 기판처리방법
JP3462405B2 (ja) 1998-10-29 2003-11-05 東京エレクトロン株式会社 処理装置
US6283692B1 (en) 1998-12-01 2001-09-04 Applied Materials, Inc. Apparatus for storing and moving a cassette
US6309279B1 (en) * 1999-02-19 2001-10-30 Speedfam-Ipec Corporation Arrangements for wafer polishing
JP3632490B2 (ja) * 1999-03-24 2005-03-23 トヨタ自動車株式会社 ウインドガラス自動貼付装置
SE514070C2 (sv) 1999-04-30 2000-12-18 Norden Pac Dev Ab Förfarande och anordning för överförande av förpackningar från en första intermittent arbetande enhet andra kontinuerligt arbetande enhet
US6195619B1 (en) * 1999-07-28 2001-02-27 Brooks Automation, Inc. System for aligning rectangular wafers
US6460369B2 (en) 1999-11-03 2002-10-08 Applied Materials, Inc. Consecutive deposition system
US6506009B1 (en) * 2000-03-16 2003-01-14 Applied Materials, Inc. Apparatus for storing and moving a cassette
US6919001B2 (en) * 2000-05-01 2005-07-19 Intevac, Inc. Disk coating system
US6581750B1 (en) * 2000-07-26 2003-06-24 Carl Strutz & Co., Inc. Method and apparatus for changing the orientation of workpieces about an angled axis for a decorator
WO2002019392A1 (en) 2000-09-01 2002-03-07 Motorola Inc. A method and device for docking a substrate carrier to a process tool
JP2002192487A (ja) * 2000-12-25 2002-07-10 Seiko Epson Corp ピックアンドプレイス装置の制御方法及び該方法を適用したピックアンドプレイス装置
US20020090282A1 (en) * 2001-01-05 2002-07-11 Applied Materials, Inc. Actuatable loadport system
US6435331B1 (en) 2001-03-16 2002-08-20 Lockheed Martin Corporation Dynamic gap establishing synchronous product insertion system
US6826986B2 (en) * 2001-05-05 2004-12-07 Ah Beng Lim Bi-directional singulation system and method
US6699329B2 (en) * 2001-05-25 2004-03-02 George Koch Sons, Llc Coating and curing system
US20030031538A1 (en) * 2001-06-30 2003-02-13 Applied Materials, Inc. Datum plate for use in installations of substrate handling systems
US6524463B2 (en) * 2001-07-16 2003-02-25 Technic, Inc. Method of processing wafers and other planar articles within a processing cell
US20030010449A1 (en) * 2001-07-16 2003-01-16 Gramarossa Daniel J. Automatic wafer processing and plating system
US6511065B1 (en) * 2001-08-28 2003-01-28 Heidelberger Druckmaschinen Ag Method for transferring signatures and gripper assembly for a matched velocity transfer device
US20030110649A1 (en) * 2001-12-19 2003-06-19 Applied Materials, Inc. Automatic calibration method for substrate carrier handling robot and jig for performing the method
US20030202865A1 (en) * 2002-04-25 2003-10-30 Applied Materials, Inc. Substrate transfer apparatus
US7684895B2 (en) * 2002-08-31 2010-03-23 Applied Materials, Inc. Wafer loading station that automatically retracts from a moving conveyor in response to an unscheduled event
US7930061B2 (en) * 2002-08-31 2011-04-19 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for loading and unloading substrate carriers on moving conveyors using feedback
US20050095110A1 (en) * 2002-08-31 2005-05-05 Lowrance Robert B. Method and apparatus for unloading substrate carriers from substrate carrier transport system
US7234584B2 (en) * 2002-08-31 2007-06-26 Applied Materials, Inc. System for transporting substrate carriers
US7506746B2 (en) * 2002-08-31 2009-03-24 Applied Materials, Inc. System for transporting substrate carriers
US7243003B2 (en) 2002-08-31 2007-07-10 Applied Materials, Inc. Substrate carrier handler that unloads substrate carriers directly from a moving conveyor
US6955197B2 (en) * 2002-08-31 2005-10-18 Applied Materials, Inc. Substrate carrier having door latching and substrate clamping mechanisms
US20040081546A1 (en) * 2002-08-31 2004-04-29 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for supplying substrates to a processing tool
US7258520B2 (en) * 2002-08-31 2007-08-21 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for using substrate carrier movement to actuate substrate carrier door opening/closing
US7221993B2 (en) * 2003-01-27 2007-05-22 Applied Materials, Inc. Systems and methods for transferring small lot size substrate carriers between processing tools
US7077264B2 (en) * 2003-01-27 2006-07-18 Applied Material, Inc. Methods and apparatus for transporting substrate carriers
US7611318B2 (en) * 2003-01-27 2009-11-03 Applied Materials, Inc. Overhead transfer flange and support for suspending a substrate carrier
US7778721B2 (en) * 2003-01-27 2010-08-17 Applied Materials, Inc. Small lot size lithography bays
US7107125B2 (en) * 2003-10-29 2006-09-12 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for monitoring the position of a semiconductor processing robot
US7168553B2 (en) * 2003-11-13 2007-01-30 Applied Materials, Inc. Dynamically balanced substrate carrier handler
CN1669892B (zh) * 2003-11-13 2011-11-16 应用材料股份有限公司 高速载入器相对于基片传送系统的校准
CN1640797A (zh) * 2003-11-13 2005-07-20 应用材料有限公司 具有剪切构件的动态销和使用该动态销的衬底载体
US7230702B2 (en) * 2003-11-13 2007-06-12 Applied Materials, Inc. Monitoring of smart pin transition timing
US7409263B2 (en) * 2004-07-14 2008-08-05 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for repositioning support for a substrate carrier
US20070258796A1 (en) * 2006-04-26 2007-11-08 Englhardt Eric A Methods and apparatus for transporting substrate carriers
US7984543B2 (en) * 2008-01-25 2011-07-26 Applied Materials, Inc. Methods for moving a substrate carrier

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