JP3167246B2 - 基板処理装置のカセット搬入/搬出方法及びその装置 - Google Patents
基板処理装置のカセット搬入/搬出方法及びその装置Info
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Description
れた2個のカセット(第1、第2カセット)を、基板処
理装置の前工程から第1、第2カセット受渡し位置、第
1、第2カセット搬入/搬出位置を経て基板処理装置内
へ搬入、または、基板処理装置内から第1、第2カセッ
ト搬入/搬出位置、第1、第2カセット受渡し位置を経
て基板処理装置の後工程へ搬出するための基板処理装置
のカセット搬入/搬出方法及び装置に係り、特に、第
1、第2カセット受渡し位置と第1、第2カセット搬入
/搬出位置との間の第1、第2カセットの搬送方法及び
その装置に関する。
搬入/搬出装置の構成を、図30を参照して説明する。
図30は、従来例に係る基板処理装置のカセット搬入/
搬出装置の概略構成を示す平面図である。
内部の図示を省略しているが、この基板処理装置1は、
2個のカセット(第1カセットC1、第2カセットC
2)を受入れ、これら第1、第2カセットC1、C2に
それぞれ収納された複数枚の基板に対して所定の処理
(例えば、洗浄、乾燥処理)を行なう装置である。
示すように、Uエンド面UとHエンド面Hとを有し、各
カセットC1、C2に収納される各基板(半導体ウエ
ハ)Wは、処理面SPの向きが、Uエンド面U側を向く
ように収納されている。
は、インターフェースステージ2が付設されている。こ
のインターフェースステージ2には、第1カセットC1
を載置するための位置i1、I/O1、o1と、第2カ
セットC2を載置するための位置i2、I/O2、o2
が設けられている。
各カセットC1、C2を、後述する手順で受け取り載置
しておくための位置である。
置1の搬入/搬出口3の前に設けられ、上記i1、i2
から搬送されてきた、本装置1での処理前の第1、第2
カセットC1、C2を装置1内に搬入、または、装置1
内から処理済の第1、第2カセットC1、C2を搬出す
るための位置である。なお、基板処理装置1には、I/
O1、I/O2の第1、第2カセットC1、C2を同時
に装置1内に搬入するとともに、装置1内からI/O
1、I/O2に第1、第2カセットC1、C2を同時に
搬出するための、図示しないカセット受渡し装置が設け
られている。
2から搬送されてきた処理済の第1、第2カセットC
1、C2を、後工程に搬送するために各カセットC1、
C2を引き渡す位置である。
ーフェースステージ2の各位置間で第1、第2カセット
C1、C2を搬送するための、図示しない搬送装置が備
えられている。この搬送装置は、i1の第1カセットC
1をI/O1に、i2の第2カセットC2をI/O2
に、I/O1の第1カセットC1をo1に、I/O2の
第2カセットC2をo2にそれぞれ搬送することがで
き、1回の搬送で1個のカセットの搬送が行なえる構成
である。
C2のUエンド面Uの向きの転換も行なえるように構成
されている。これは、通常、図30に示すように、i
1、i2、o1、o2における各カセットC1、C2の
Uエンド面Uの向きは、後述する自動搬入/搬出時のカ
セット自動搬送装置(Auto Guided Vehicle :以下「A
GV」という)のカセット搬送動作の都合上、基板処理
装置1と反対側に向けられ、一方、I/O1、I/O2
における各カセットC1、C2のUエンド面Uの向き
は、基板処理装置1内での処理の都合上、例えば、図3
0に示すように、上記i1、i2、o1、o2における
各カセットC1、C2のUエンド面Uの向きに対して9
0°転換されている必要があり、これら各位置間のUエ
ンド面Uの向きを転換する必要があるからである。
搬出の方法(手順)を自動時と手動時とに分けて以下に
説明する。
フェースステージ2のi1、i2への各カセットC1、
C2の搬送と、本装置1のインターフェースステージ2
のo1、o2から後工程への各カセットC1、C2の搬
送とをAGVにより行なう。また、このAGVは、第
1、第2カセットC1、C2をi1、i2に略同時に載
置するとともに、o1、o2の第1、第2カセットC
1、C2を略同時に受け取るように構成されている。
1、C2がi1、i2に略同時に載置される。 搬送装置により、i2の第2カセットC2がI/O
2に搬送されるとともに、第2カセットC2のUエンド
面Uの向きが転換される。 搬送装置により、i1の第1カセットC1がI/O
1に搬送されるとともに、第1カセットC1のUエンド
面Uの向きが転換される。 カセット受渡し装置により、I/O1、I/O2の
第1、第2カセットC1、C2が装置1内に略同時に搬
入される。
2カセットC1、C2がI/O1、I/O2に略同時に
搬出される。 搬送装置により、I/O2の第2カセットC2がo
2に搬送されるとともに、第2カセットC2のUエンド
面Uの向きが(装置1と反対側を向くように)転換され
る。 搬送装置により、I/O1の第1カセットC1がo
1に搬送されるとともに、第1カセットC1のUエンド
面Uの向きが(装置1と反対側を向くように)転換され
る。 o1、o2の第1、第2カセットC1、C2がAG
Vに略同時に受け取られ、後工程に搬送される。
り、第1、第2カセットC1、C2の、i1、i2への
載置と、o1、o2からの第1、第2カセットC1、C
2の取り出しを作業者が行なう。ここで、ラインの工程
管理上、本装置1内に搬入/搬出されるカセットの並び
は、図30のように、第1カセットC1がR側、第2カ
セットC2がL側である必要がある。従って、I/O1
には第1カセットC1が、I/O2には第2カセットC
2が載置されている必要がある。よって、i1には第1
カセットC1が、i2には第2カセットC2が載置され
る必要がある。上述した自動時の処理では、ラインを制
御するホストコンピュータにより、各装置が制御される
ので、i1には第1カセットC1が、i2には第2カセ
ットC2が間違いなく載置される。しかし、手動時に
は、i1、i2へのカセットC1、C2の載置は、人手
で行なわれるので、間違いが生じ易くなる。そこで、手
動時の搬入は、例えば、i1を介して、カセットを1個
ずつ載置するように作業を簡単にしている。また、搬出
時においても、後工程へ第1、第2カセットC1、C2
を間違えずに渡すために、例えば、o2を介して、カセ
ットを1個ずつ取り出すように作業を簡単にしている。
1に載置される。 搬送装置により、i1の第2カセットC2がi2に
搬送される。 作業者により、前工程からの第1カセットC1がi
1に載置される。 搬送装置により、i2の第2カセットC2がI/O
2に搬送されるとともに、第2カセットC2のUエンド
面Uの向きが転換される。 搬送装置により、i1の第1カセットC1がI/O
1に搬送されるとともに、第1カセットC1のUエンド
面Uの向きが転換される。 カセット受渡し装置により、I/O1、I/O2の
第1、第2カセットC1、C2が装置1内に略同時に搬
入される。
2カセットC1、C2がI/O1、I/O2に略同時に
搬出される。 搬送装置により、I/O2の第2カセットC2がo
2に搬送されるとともに、第2カセットC2のUエンド
面Uの向きが(装置1と反対側を向くように)転換され
る。 搬送装置により、I/O1の第1カセットC1がo
1に搬送されるとともに、第1カセットC1のUエンド
面Uの向きが(装置1と反対側を向くように)転換され
る。 作業者により、o2の第2カセットC2が取り出さ
れる。 搬送装置により、o1の第1カセットC1がo2に
搬送される。 作業者により、o2の第1カセットC1が取り出さ
れる。
うな構成を有する従来例の場合には、次のような問題が
ある。例えば、装置1が洗浄装置であり、受け入れた2
個のカセットC1、C2を同時に洗浄槽に浸漬させる場
合、図32(a)、(b)に示すように、各カセットC
1、C2の間隔ptは小さい方が、洗浄槽SBの容積を
小さくでき、装置1のコンパクト化を図ることができ
る。また、洗浄装置以外の他の基板処理装置において
も、各カセットC1、C2の間隔ptが小さい方が、例
えば、図32(c)、(d)に示すように、装置1内の
各カセットC1、C2の搬送路HRの面積を小さくでき
る等、装置のコンパクト化を図ることができる。
の間隔ptは、I/O1、I/O2に載置されたときの
各カセットC1、C2の間隔に依存し、また、上述の図
30では、このI/O1、I/O2に載置されたときの
各カセットC1、C2の間隔は、i1、i2に載置され
たときの各カセットC1、C2の間隔と同じであり、こ
のi1、i2に載置されたときの各カセットC1、C2
の間隔は、AGVとのカセットの受渡しの際の各カセッ
トC1、C2の間隔に設定されている。従って、図30
の装置の場合には、装置1内の各カセットC1、C2の
間隔ptは、AGVとのカセットの受渡しの際の各カセ
ットC1、C2の間隔に依存することになる。しかし、
このAGVとのカセットの受渡しの際の各カセットC
1、C2の間隔は、通常、大きめに設定されているの
で、装置1のコンパクト化が図れない。
に載置されたときの各カセットC1、C2の間隔に対し
て、I/O1、I/O2に載置されたときの各カセット
C1、C2の間隔を小さくするように構成すれば、装置
1のコンパクト化を図ることができる。なお、このと
き、搬送装置は、第1のカセットC1をi1からI/O
1へ搬送(または、I/O1からo1へ搬送)する際の
移動量L1と、第2のカセットC2をi2からI/O2
へ搬送(または、I/O2からo2へ搬送)する際の移
動量L2とを違えて各カセットC1、C2を搬送するこ
とになる。
装置は、1回の搬送で1個のカセットしか搬送できない
ので、例えば、カセット搬入時においては、i1、i2
に載置された各カセットC1、C2を、I/O1、I/
O2に搬送するとき、第2カセットC2をi2からI/
O2に搬送し、搬送装置をI/O2からi1に戻し、i
1の第1カセットC1をI/O1に搬送するというよう
に、カセットの搬送を2回行なわなければならず(上述
した自動搬入時の手順、、手動搬入時の手順、
)、また、I/O1、I/O2に載置された各カセッ
トC1、C2を、o1、o2に搬送するときも、同様に
カセットの搬送を2回行なわなければならず(上述した
自動搬出時の手順、、手動搬出時の手順、)、
2個のカセットの搬入/搬出装置としての処理のスルー
プットが悪い。
めには、例えば、従来の搬送装置を2台並設して、第
1、第2カセットC1、C2を同時に搬送するように構
成することが考えられる。
第1、第2カセットC1、C2を同時に搬送する場合、
各カセットC1、C2の搬送時の移動量が同じになるの
で、上述した装置のコンパクト化が図れなくなる。
ンパクト化を図るためには処理のスループットが低下
し、処理のスループットを向上させると、装置のコンパ
クト化が図れなくなるという相矛盾する問題がある。
たものであって、基板処理装置のコンパクト化を図ると
ともに、処理のスループットの向上をも図ることができ
る基板処理装置のカセット搬入/搬出方法及びその装置
を提供することを目的とする。
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項1に記載の発明は、基板処理装置による処理
の前工程または後工程とインターフェースステージの第
1カセット受渡し位置、第2カセット受渡し位置との
間、前記第1、第2カセット受渡し位置と前記基板処理
装置の搬入/搬出口前の第1カセット搬入/搬出位置、
第2カセット搬入/搬出位置との間、前記第1、第2カ
セット搬入/搬出位置と前記基板処理装置内との間で、
複数枚の基板が収納された第1カセットと第2カセット
とをそれぞれ受け渡す基板処理装置のカセット搬入/搬
出方法であって、前記前工程または後工程と前記第1、
第2カセット受渡し位置との間で、前記第1、第2カセ
ットを略同時に受け渡すカセット受渡し過程と、前記第
1、第2カセット受渡し位置と前記第1、第2カセット
搬入/搬出位置との間で、前記第1、第2カセットを略
同時に搬送するカセット搬送過程と、前記第1、第2カ
セット搬入/搬出位置と前記基板処理装置内との間で、
前記第1、第2カセットを略同時に搬入/搬出するカセ
ット搬入/搬出過程と、を備え、前記カセット搬送過程
には、前記第1、第2カセット受渡し位置から前記第
1、第2カセット搬入/搬出位置まで搬送するときには
前記第1、第2カセットの間隔を縮め、前記第1、第2
カセット搬入/搬出位置から前記第1、第2カセット受
渡し位置まで搬送するときには前記第1、第2カセット
の間隔を拡げる過程と、前記第1、第2カセットの、各
カセットに収納される各基板の処理面が向けられる側面
(以下、「Uエンド面」という)の向きを転換させる過
程と、を含むものである。
項1に記載の基板処理装置のカセット搬入/搬出方法に
おいて、前記カセット受渡し過程は、前記前工程または
後工程と、前記第1または第2カセット受渡し位置のい
ずれか一方のカセット受渡し位置との間で、前記第2カ
セットと第1カセットを単独で受け渡す過程を2回行な
うとともに、1回目の受渡しと2回目の受渡しとの間
に、前記第1カセット受渡し位置と第2カセット受渡し
位置との間で、前記第1または第2カセット受渡し位置
の第2または第1カセットの移動を行なうものである。
装置による処理の前工程または後工程とインターフェー
スステージの第1カセット受渡し位置、第2カセット受
渡し位置との間、前記基板処理装置の搬入/搬出口前の
第1カセット搬入/搬出位置、第2カセット搬入/搬出
位置と前記基板処理装置内との間で、複数枚の基板が収
納された第1カセットと第2カセットとをそれぞれ受け
渡すとともに、前記第1、第2カセット受渡し位置と前
記第1、第2カセット搬入/搬出位置との間で、前記第
1、第2カセットを搬送する基板処理装置のカセット搬
入/搬出装置において、前記第1カセットを支持して、
そのカセットのUエンド面の向きを転換させる第1カセ
ット支持手段と、前記第2カセットを支持して、そのカ
セットのUエンド面の向きを転換させる第2カセット支
持手段と、前記第1カセット支持手段と前記第2カセッ
ト支持手段とを、前記第1、第2カセット受渡し位置
と、前記第1、第2カセット搬入/搬出位置との間で、
略同時に移動させる移動手段と、前記第1、第2カセッ
ト受渡し位置から前記第1、第2カセット搬入/搬出位
置まで搬送するときには前記第1カセット支持手段と前
記第2カセット支持手段との間隔を縮め、前記第1、第
2カセット搬入/搬出位置から前記第1、第2カセット
受渡し位置まで搬送するときには前記第1カセット支持
手段と前記第2カセット支持手段との間隔を拡げる間隔
変位手段と、を備えたものである。
項3に記載の基板処理装置のカセット搬入/搬出装置に
おいて、前記移動手段は、前記第1、第2カセット支持
手段で、前記第1または第2カセットのいずれか一方の
カセットを、前記第1カセット受渡し位置と第2カセッ
ト受渡し位置との間で搬送可能に構成したものである。
の方法に対応するものであり、その作用は次のとおりで
ある。まず、第1、第2カセットの搬入は、前工程から
第1、第2カセット受渡し位置に、第1、第2カセット
が略同時に受け渡され、次に、第1、第2カセット受渡
し位置の第1、第2カセットが、第1、第2カセット搬
入/搬出位置に略同時に搬送され、第1、第2カセット
の間隔が変位されるとともに、各カセットのUエンド面
の転換も行われる。そして、第1、第2カセット搬入/
搬出位置の第1、第2カセットが、基板処理装置内に搬
入される。なお、第1、第2カセットの搬送と、第1、
第2カセットの間隔の変位と、各カセットのUエンド面
の転換とは、第1、第2カセットが第1、第2カセット
受渡し位置に受け渡されて以後、第1、第2カセット搬
入/搬出位置から基板処理装置内に第1、第2カセット
が搬入されるまでの間に適宜の順序で行われる。
処理装置内から第1、第2カセット搬入/搬出位置に、
第1、第2カセットが略同時に搬出され、次に、第1、
第2カセット搬入/搬出位置の第1、第2カセットが、
第1、第2カセット受渡し位置に略同時に搬送され、第
1、第2カセットの間隔が変位されるとともに、各カセ
ットのUエンド面の転換も行われる。そして、第1、第
2カセット受渡し位置から後工程に、第1、第2カセッ
トが略同時に受け渡される。
搬入/搬出の方法に対応するものであり、前工程または
後工程と、第1、第2カセット受渡し位置との間の第
1、第2カセットの受渡しは、第1または第2カセット
受渡し位置のいずれか一方のカセット受渡し位置を介し
て行われる。
搬入される場合には、まず、第2カセットが第1カセッ
ト受渡し位置から受け渡され、次に、第2カセットが第
2カセット受渡し位置に移動され、そして、第1カセッ
トが第1カセット受渡し位置から受け渡される。なお、
第2カセット受渡し位置を介して搬入される場合には、
第1カセットから先に受け渡される。
介して搬出される場合には、まず、第1カセットが第1
カセット受渡し位置から受け渡され、次に、第2カセッ
トが第1カセット受渡し位置に移動され、そして、第2
カセットが第1カセット受渡し位置から受け渡される。
なお、第2カセット受渡し位置を介して搬出される場合
には、第2カセットから先に受け渡される。
項1の方法を好適に実施するための装置であり、その作
用は次のとおりである。まず、第1、第2カセットの搬
入では、前工程から第1、第2カセット受渡し位置に略
同時に受け渡された第1、第2カセットを、第1、第2
カセット支持手段が支持し、次に、移動手段により、第
1、第2カセット支持手段を第1、第2カセット搬入/
搬出位置に略同時に移動させて、第1、第2カセット支
持手段に支持された第1、第2カセットを第1、第2カ
セット受渡し位置から第1、第2カセット搬入/搬出位
置に略同時に搬送し、また、間隔変位手段により、第
1、第2カセット支持手段の間隔を変位させて、第1、
第2カセット支持手段に支持された第1、第2カセット
の間隔を変位させ、さらに、第1、第2カセット支持手
段により、支持する各カセットのUエンド面の転換も行
われる。
処理装置内から第1、第2カセット搬入/搬出位置に、
第1、第2カセットが略同時に搬出され、次に、第1、
第2カセット搬入/搬出位置の第1、第2カセットを、
第1、第2カセット支持手段が支持し、次に、移動手段
により、第1、第2カセット支持手段を第1、第2カセ
ット受渡し位置に略同時に移動させて、第1、第2カセ
ット支持手段に支持された第1、第2カセットを第1、
第2カセット搬入/搬出位置から第1、第2カセット受
渡し位置に略同時に搬送し、また、間隔変位手段によ
り、第1、第2カセット支持手段の間隔を変位させて、
第1、第2カセット支持手段に支持された第1、第2カ
セットの間隔を変位させ、さらに、第1、第2カセット
支持手段により、支持する各カセットのUエンド面の転
換も行われる。
項2の方法を好適に実施するための装置であり、その作
用は次のとおりである。例えば、第1カセット受渡し位
置を介して搬入される場合には、まず、第1カセット受
渡し位置を介して受け渡された第2カセットを、第1ま
たは第2カセット支持手段で支持して、移動手段でその
カセット支持手段を、第2カセット受渡し位置に移動さ
せることにより、第2カセットが第2カセット受渡し位
置に移動され、次に、第1カセット受渡し位置から受け
渡された第1カセットが他のカセット支持手段で支持さ
れる。
介して搬出される場合には、まず、第1カセット受渡し
位置から第1カセットが受け渡され、次に、第1または
第2カセット支持手段に支持されて、第2カセットが第
2カセット受渡し位置から第1カセット受渡し位置に搬
送された後、第2カセットが第1カセット受渡し位置か
ら受け渡される。
明する。図1は、本発明の第一実施例に係る基板処理装
置のカセット搬入/搬出装置の概略構成を示す平面図で
ある。
内部の詳細構成は図示を省略しているが、この基板処理
装置1は、2個のカセット(第1カセットC1、第2カ
セットC2)を受入れ、これら第1、第2カセットC
1、C2にそれぞれ収納された複数枚の基板に対して所
定の処理(例えば、洗浄、乾燥処理)を行なう装置であ
る。各カセットC1、C2は、従来技術において、図3
1で説明したのと同じ構成のものである。
スステージ2が付設されている。このインターフェース
ステージ2には、第1カセットC1を載置するための載
置台11a、12a、13aと、第2カセットC2を載
置するための載置台11b、12b、13bとが設けら
れている。
i1、i2に設けられており、前工程から搬送されてき
た各カセットC1、C2を、後述する手順により受け取
り載置しておくためのものである。なお、この載置台1
1a、11bの間隔pt1は、AGVから各カセットC
1、C2を受け取る際の各カセットC1、C2の間隔に
従って設定されている。
33の装置の位置I/O1、I/O2(基板処理装置1
の搬入/搬出口3の前)に設けられ、上記載置台11
a、11bから搬送されてきた、本装置1での処理前の
第1、第2カセットC1、C2を装置1内に搬入、また
は、装置1内から処理済の第1、第2カセットC1、C
2を搬出するためのものである。なお、基板処理装置1
には、載置台12a、12bの第1、第2カセットC
1、C2を同時に装置1内に搬入するとともに、装置1
内から載置台12a、12bに第1、第2カセットC
1、C2を同時に搬出するためのカセット受渡し装置5
0が設けられているが、これについては後述する。ま
た、この載置台12a、12bの間隔pt2は、装置1
との間で各カセットC1、C2を受渡しする際の各カセ
ットC1、C2の間隔に従って設定されており、上述し
た載置台11a、11bの間隔(後述する載置台13
a、13bの間隔)pt1よりも小さく設定されてい
る。
置の位置o1、o2に設けられており、載置台12a、
12bから搬送されてきた処理済の第1、第2カセット
C1、C2を、後工程に搬送するために各カセットC
1、C2を引き渡す際に各カセットC1、C2を載置し
ておくためのものである。なお、この載置台13a、1
3bの間隔pt1は、AGVに各カセットC1、C2を
引き渡す際の各カセットC1、C2の間隔に従って設定
されており、上述した載置台11a、11bの間隔pt
1と同じに設定されている。
おける第1カセット受渡し位置に、載置台11b、13
bは、本発明における第2カセット受渡し位置に、載置
台12a、12bは、本発明における第1、第2カセッ
ト搬入/搬出位置にそれぞれ相当する。
各載置台11a、11b、12a、12b、13a、1
3bに連通する溝14が設けられているとともに、載置
台12aと装置1内とを連通する溝15a、載置台12
bと装置1内とを連通する溝15bが設けられている。
これら各溝14、15a、15bについては後述する。
られた搬送装置の構成を図2、図3を参照して説明す
る。図2は、図1のA−A矢視断面図、図3は、搬送装
置の構成を示す平面図である。なお、図3では、ガイド
軸35aの一部の図示を省略している。
b、13a、13bの下方には、第1カセット支持機構
21と第2カセット支持機構22とが設けられている。
第1カセット支持機構21は、駆動部31に伸縮自在
で、かつ、回動自在の軸32が突出され、この軸32の
先端部に、第1カセットC1の底部を受けるカセット受
台33が取り付けられた構成である。軸32の基端部
は、駆動部31内の昇降フレーム311内のロータリー
アクチュエータ312に連結されている。このロータリ
ーアクチュエータ312により軸32を回動させ、カセ
ット受台33を水平旋回させることにより、カセット受
台33に受けられた第1カセットC1のUエンド面Uの
向きを転換させ得るように構成されている。また、昇降
フレーム311は、昇降ガイド313にガイドされ、シ
リンダ314のロッド314aの伸縮によりZ方向に昇
降自在に構成されている。これにより、カセット受台3
3は、軸32を介して、Z方向に昇降自在となり、カセ
ット受台33に受けられた第1カセットC1をZ方向に
昇降させることが可能となる。なお、第2カセット支持
機構22の構成も第1カセット支持機構21と同様の構
成である。
支持機構22とは、支持台23上にリンク機構34を介
して連結されているとともに、X方向に延びた2本のガ
イド軸35a、35bに摺動自在に支持されている。
持機構21、22の各下端部を支持する架台41a、4
1bが、支持台23にX方向に沿って取り付けられたガ
イド軸42a、42bに摺動自在に支持され、各架台4
1a、41bがリンク43により相互に接離自在に連結
され、シリンダ44により一方の支持機構(図では、第
2カセット支持機構22)をX方向へ移動させるように
構成されている。すなわち、シリンダ44のロッド44
aを収縮・伸長させることにより、リンク43を介し
て、架台41a、41bが相互に接離し、これにより、
第1、第2カセット支持機構21、22の間隔、すなわ
ち、第1、第2カセット支持機構1、22の各カセット
受台33、33にそれぞれ受けられた第1、第2カセッ
トC1、C2の間隔を変位させることができ、上述した
載置台11a、11bの間隔pt1及び載置台13a、
13bの間隔pt1と、載置台12a、12bの間隔p
t2との間の間隔の違いを吸収することができる。
れるコンベア37に取り付けられ、コンベア37を駆動
することにより、支持台23、すなわち、第1、第2カ
セット支持機構21、22は、ガイド軸35a、35b
にガイドされ、X方向に同期して移動される。なお、ガ
イド軸35a、35b、コンベア37による駆動範囲
は、図2に示すように、第1、第2カセット支持機構2
1、22が、載置台11a、11bの下方に位置できる
状態と、第1、第2カセット支持機構21、22が、載
置台13a、13bの下方に位置できる状態との範囲に
設定されている。また、図中の符号STは、支持台23
に当接してその移動を規制するストッパーである。
1a、11bの下方に、第1、第2カセット支持機構2
1、22を移動し、各カセット支持機構21、22のカ
セット受台33、33をZ方向に上昇させ、載置台11
a、11bに載置されている第1、第2カセットC1、
C2を持ち上げ、各カセット受台33、33を水平旋回
させて持ち上げた各カセットC1、C2のUエンド面U
の向きを転換させるとともに、これら各カセットC1、
C2の間隔を縮め、コンベア37を駆動して、各カセッ
ト支持機構21、22を、載置台12a、12bに同時
に移動し、そこで、カセット受台33、33をZ方向に
降下させて、搬送した各カセットC1、C2を載置台1
2a、12bに載置することができる。なお、各カセッ
トC1、C2を持ち上げた状態で、各カセット支持機構
21、22を移動する際、各カセット支持機構21、2
2の軸32、32は、各載置台間を貫通する溝14を通
って移動する。また、載置台12a、12bに載置され
た各カセットC1、C2の、載置台13a、13bへの
搬送は、上述と同様に(但し、各カセットC1、C2の
間隔を拡げる)行なうことができる。
1、22は、本発明における第1、第2カセット支持手
段に、リンク機構34は、本発明における間隔変位手段
に、コンベア37は、本発明における移動手段にそれぞ
れ相当する。
し装置の構成を図4を参照して説明する。図4は、カセ
ット受渡し装置の構成を示す斜視図である。
すように、基台51に、Z方向に伸縮自在の軸52が設
けられ、軸52の上部にアーム支持台53が取り付けら
れ、アーム支持台53の上面の溝54に沿って往復動自
在の移動部材55が設けられ、この移動部材55に
「U」の字型のアーム56の基端部が取り付けられ、ア
ーム56の各先端部に第1カセットC1の底部を受ける
第1カセット受部57と、第2カセットC2の底部を受
ける第2カセット受部58とが取り付けられた構成であ
る。
た各カセットC1、C2を装置1内に搬入する際には、
軸52をZ方向に収縮させ、移動部材55をP1側に移
動させてアーム56を伸長させ、各カセット受部57、
58を、載置台12a、12bの下方に位置させ、次
に、軸52をZ方向に伸長させて各カセット受部57、
58上に、各カセットC1、C2を受け取る。このと
き、アーム56は、溝15a、15bを通って上昇する
ので、アーム56とインターフェースステージ2との干
渉が避けられる。そして、移動部材55をP2側に移動
させてアーム56を収縮させ、各カセット受部57、5
8で受け取った各カセットC1、C2を装置1内に搬入
する。また、装置1内から各カセットC1、C2を載置
台12a、12bに搬出する際には、上述の搬入時と逆
の動作により行なわれる。
トC1、C2の搬入/搬出の方法(手順)を、請求項
1、2の場合に分けて説明する。
搬出方法。 この請求項1に記載の方法は、主にAGVを用いた自動
搬入/搬出方法に対応するものである。 (a)まず、(自動)搬入の手順を図5のフローチャー
ト、図6、図7の動作説明図などを参照して説明する。
第2カセットC1、C2が、図6(a)に示すように、
載置台11a、11bに同時に載置される(ステップS
1)。
トC1、C2のUエンド面Uの向きを、同時にまたは任
意に転換する(ステップS2)。Uエンド面Uの転換を
任意に行なうときには、まず、図7(a)に示すよう
に、第1カセット支持機構21のカセット受台33をZ
方向に上昇させて第1カセットC1を載置台11aから
持ち上げ、次に、図7(b)に示すように、カセット受
台33を水平旋回させて第1カセットC1のUエンド面
Uの向きを、装置1内に搬入する際の向きに転換させ、
そして、図7(c)に示すように、第1カセットC1が
載置台11aから若干浮く程度に、カセット受部33を
Z方向に降下させる。なお、図7(a)〜(c)では、
第1カセットC1を第2カセットC2よりも高く持ち上
げてUエンド面Uの転換を行なっているが、これは、第
1カセットC1の水平旋回の際、第2カセットC2との
干渉を避けるためである。従って、載置台11a、11
bに載置された第1、第2カセットC1、C1の間隔p
t1が、第1カセットC1の水平旋回の際、第2カセッ
トC2との干渉が起こらない程度に広く設定されている
場合には、図7(d)、(e)に示すように、第1カセ
ットC1を載置台11aよりも若干浮く程度に持ち上げ
た状態で第1カセットC1のUエンド面Uの転換を行な
うようにしてもよい。次に、第2カセットC2のUエン
ド面Uの転換を、第1カセットC1の場合と同様の手
順、すなわち、図7(a)〜(c)または図7(d)、
(e)(載置台11a、11bに載置された第1、第2
カセットC1、C1の間隔pt1が広く設定されている
場合)で行なう。各カセットC1、C2のUエンド面U
がそれぞれ転換されたとき、各カセットC1、C2は、
図7(f)に示すように、各載置台11a、11bから
若干浮いた状態である。
ときには、まず、図7(g)に示すように、第1カセッ
ト支持機構21は第1カセットC1を載置台11aより
若干浮かせるとともに、第2カセット支持機構22は、
載置台11aから浮かされた第1カセットC1よりも高
い位置まで第2カセットC2を持ち上げる。次に、図7
(h)に示すように、各カセット支持機構21、22の
各カセット受台33、33を水平旋回させて各カセット
C1、CのUエンド面Uの向きを同時に転換させる。そ
して、図7(i)に示すように、第2カセットC2を第
1カセットC1の高さまで降下させる。なお、図7
(g)〜(i)では、第2カセットC2を第1カセット
C1よりも高く持ち上げてUエンド面Uの転換を行なっ
ているが、これは、各カセットC1、C2の水平旋回の
際、双方のカセットC1、C2が干渉するのを避けるた
めである。従って、載置台11a、11bに載置された
第1、第2カセットC1、C1の間隔pt1が、各カセ
ットC1、C2を同時に水平旋回しても、双方のカセッ
トC1、C2が干渉しない程度に広く設定されている場
合には、図7(j)、(k)に示すように、各カセット
C1、C2を載置台11a、11bよりも若干浮く程度
に持ち上げた状態で各カセットC1、C2のUエンド面
Uの転換を同時に行なうようにしてもよい。
1カセット支持機構21は、第1カセットC1の高さを
2段に変えて昇降しているが、これは、例えば、図2の
第1カセット支持機構21に備えるカセット受台33の
昇降用の各シリンダ314に変えて、ストロークの異な
る2個のシリンダを直列に連結し、1個のシリンダのロ
ッドを伸縮させて図7(a)、(b)のように第1カセ
ットC1を高い位置に昇降可能にし、他方のシリンダの
ロッドを伸縮させて図7(c)のように第1カセットC
1を載置台から若干受け程度の位置に昇降可能すること
で実現できる。また、第2カセット支持機構22につい
ても同様に構成することにより、第2カセットC2の高
さを2段に変えて昇降(図7(g)〜(i)参照)させ
ることができる。
ットC1、C2のUエンド面Uの向きは、装置1により
種々の場合があり、例えば、図8(a)、(b)の場合
であれば、各Uエンド面Uの転換の際の、各カセットC
1、C2の水平旋回の方向は同じであるが、例えば、図
8(c)、(d)の場合であれば、各Uエンド面Uの転
換の際の、各カセットC1、C2の水平旋回の方向は逆
になる。
きが転換され、各カセットC1、C2が載置台11a、
11bから若干浮いた状態で、次に、図6(c)に示す
ように、各カセットC1、C2の間隔を、載置台12
a、12bに載置できる間隔(pt2)に縮める(ステ
ップS3)。これは、搬送装置のリンク機構34のシリ
ンダ44のロッド44aを収縮して各カセット支持機構
21、22の間隔を縮めることにより行なう。なお、リ
ンク機構34のシリンダ44のロッド44aを伸長した
とき、pt1の間隔のカセットC1、C2を各カセット
支持機構21、22の各カセット受台33、33で受け
取れ、シリンダ44のロッド44を収縮したとき、pt
2の間隔のカセットC1、C2を各カセット支持機構2
1、22の各カセット受台33、33で受け取れるよう
に、リンク機構34は構成されている。
トC1、C2を載置台12a、12bへ同時に搬送させ
る(ステップS4)。これは、コンベア37を駆動し
て、各カセット支持機構21、22を同時に移動し、各
カセットC1、C2を各載置台12a、12bの上方に
移動して、次に、各カセットC1、C1をZ方向に降下
して、各カセットC1、C2を各載置台12a、12b
に載置することにより行なわれる。なお、各カセットC
1、C2を各載置台12a、12bに載置すると、各カ
セット支持機構21、22は、その場から例えば載置台
11a、11b側に移動して退避する。
ト受渡し装置50は、載置台12a、12bに載置され
た各カセットC1、C2を装置1内に同時に搬入する
(ステップS5)。
C2のUエンド面Uの向きを転換してから、各カセット
C1、C2の間隔を変位させ、その後各カセットC1、
C2を載置台12a、12bに同時搬送するが、このス
テップS2〜S4の順は適宜変更してもよい。例えば、
各カセットC1、C2を載置台12a、12bに同時搬
送してから、各カセットC1、C2のUエンド面Uの向
きを転換し、ぞの後各カセットC1、C2の間隔を変位
させてもよいし(ステップS4−S2−S3)、各カセ
ットC1、C2のUエンド面Uの向きを転換してから、
各カセットC1、C2を載置台12a、12bに同時搬
送し、その後各カセットC1、C2の間隔を変位させて
もよい(ステップS2−S4−S3)。
(ステップS3−S4−S2)、(ステップS4−S3
−S2)の順で行なうことももちろん可能であるが、こ
れらの場合には、各カセットC1、C2のUエンド面U
の向きの転換に先立ち各カセットC1、C2の間隔の変
位を行なうことになる。従って、各カセットC1、C2
のUエンド面Uの向きの転換を、各カセットC1、C2
の間隔が狭い状態(pt2)で行なうことになり、各カ
セットC1、C2のUエンド面Uの向きの転換の際の各
カセットC1、C2の水平旋回において各カセットC
1、C2が干渉し易くなるので、各カセットC1、C2
の間隔の変位に先立ち各カセットC1、C2のUエンド
面Uの向きの転換を行なうような手順の方が好ましい。
ットC1、C2のUエンド面Uの向きの転換を行ってか
ら(または、行う前に)ステップS3、S4の処理を行
うようにしているが、例えば、第1カセットC1のUエ
ンド面Uの向きの転換を行ない、次に、各カセットC
1、C2を載置台12a、12bに同時搬送し、その後
第2カセットC2のUエンド面Uの向きの転換を行な
い、最後に、各カセットC1、C2の間隔を変位させる
ように、各カセットC1、C2のUエンド面Uの転換の
間に、ステップS3または/およびS4の処理を挟むよ
うにしてもよい。
や後述する各実施例の搬入(自動、手動共)についても
同様に変形実施することが可能である。
フローチャート、図10の動作説明図などを参照して説
明する。まず、図10(a)に示すように、カセット受
渡し装置50は、装置1内から処理済のカセットC1、
C2を、載置台12a、12bに同時に搬出する(ステ
ップS11)。
ットC1、C2の間隔を、載置台13a、13bに載置
できる間隔(pt1)に拡げる(ステップS12)。こ
れは、第1、第2カセット支持機構21、22が、載置
台12a、12bから各カセットC1、C2を持ち上
げ、上述した自動搬入のステップS3と逆に、搬送装置
のリンク機構34のシリンダ44のロッド44aを伸長
して行なわれる。なお、載置台12a、12bから各カ
セットC1、C2を持ち上げる際は、搬送装置のリンク
機構34のシリンダ44のロッド44aは収縮された状
態である。
Uの向きを、装置1と反対側に転換する(ステップS1
3)。このUエンド面Uの転換は、上述した自動搬入の
ステップS2(図7の各動作)と同様である。
ットC1、C2を載置台13a、13bへ同時に搬送さ
せる(ステップS14)。これは上述した自動搬入のス
テップS4と同様に、コンベア37を駆動して行なわれ
る。
2カセットC1、C2が、図10(e)に示すように、
AGVに同時に受け取られ、後工程に搬送される(ステ
ップS15)。
動搬入の場合と同様に、ステップS12〜S14の手順
の順序は適宜に変更してもよい。なお、これについて
は、後述する手動搬出や後述する各実施例の搬出(自
動、手動共)についても同様に変形実施することが可能
である。
と、この自動搬出時のステップS15とは、請求項1に
記載の発明におけるカセット受渡し過程に、上述した自
動搬入時のステップS2〜S4と、この自動搬出時のス
テップS12〜S14とは、請求項1に記載の発明にお
けるカセット搬送過程に、上述した自動搬入時のステッ
プS5と、この自動搬出時のステップS11とは、請求
項1に記載の発明におけるカセット搬入/搬出過程にそ
れぞれ相当する。
出処理では、各カセットC1、C2の、載置台11a、
11bから載置台12a、12bへの搬送、及び、載置
台12a、12bから載置台13a、13bへの搬送は
同時に行なわれるので、従来装置に比べて処理のスルー
プットが向上する。また、各カセットC1、C2の間隔
が変位できるので、AGVによるカセットC1、C2の
受渡し時の各カセットC1、C2の間隔に依存すること
なく、装置1内に搬入/搬出するカセットC1、C2の
間隔を小さくすることができ、装置1のコンパクト化を
図ることができる。
搬出方法。 この請求項2に記載の方法は、主に作業者による手動搬
入/搬出方法に対応するものである。 (a)まず、(手動)搬入の手順を図11のフローチャ
ート、図12、図13の動作説明図などを参照して説明
する。
セットC2が、図12(a)に示すように、載置台11
aに載置される(ステップS21)。
11aに載置された第2カセットC2が、載置台11b
に移動され、載置台11bに載置される(ステップS2
2)。これは、図13(a)に示すように、第1カセッ
ト支持機構21のカセット受台33をZ方向に上昇し
て、第2カセットC2を載置台11aから若干浮かせ、
図13(b)に示すように、コンベア37を駆動して第
2カセットC2を載置台11bの上方に移動させ、そし
て、図13(c)に示すように、第1カセット支持機構
21のカセット受台33をZ方向に降下して、第2カセ
ットC2を載置台11bに載置して行なわれる。なお、
この動作が完了すると、図13(d)に示すように、各
カセット支持機構21、22の各カセット受部33、3
3が、載置台11a、11bの下方に位置するように、
各カセット支持機構21、22を元の位置に戻す。
セットC1が、図12(c)に示すように、載置台11
aに載置される(ステップS23)。
各カセットC1、C2のUエンド面Uを転換し(ステッ
プS24)、各カセットC1、C2の間隔をpt2に変
位し(ステップS25)、各カセットC1、C2を載置
台12a、12bに同時に搬送し(ステップS26)、
載置台12a、12bの各カセットC1、C2を装置1
内に同時に搬入する(ステップS27)のであるが、こ
れは、上述した自動搬入のステップS2〜S5(図5、
図6(b)〜(e)参照)と同じであるのでここでの詳
述は省略する。
介して、各カセットC1、C2を1個ずつ受渡しするよ
うに構成しているが、載置台11bを介して、各カセッ
トC1、C2を1個ずつ受渡すように構成されている場
合であっても本実施例装置は適用することができる。
S23に変えて、まず、作業者により、前工程からの第
1カセットC1が、図14(a)に示すように、載置台
11bに載置され、次に、図14(b)に示すように、
載置台11bに載置された第1カセットC1が、載置台
11aに移動されて載置台11aに載置され、次に、作
業者により、前工程からの第2カセットC2が、図14
(c)に示すように、載置台11bに載置されることに
なる。
ットC1が、載置台11aに移動され、載置台11aに
載置される動作は、図15(a)に示すように、コンベ
ア37を駆動して、第1カセット支持機構21を載置台
11bの下方に移動し、次に、図15(b)に示すよう
に、第1カセット支持機構21のカセット受台33をZ
方向に上昇して、第1カセットC1を載置台11bから
若干浮かせ、次に、図15(c)に示すように、コンベ
ア37を駆動して第1カセットC1を載置台11aの上
方に移動させ、そして、図15(d)に示すように、第
1カセット支持機構21のカセット受台33をZ方向に
降下して、第1カセットC1を載置台11aに載置して
行なわれる。
し、右側のストッパーSTをさらに右側にずらせて、各
カセット支持機構21、22の移動範囲を、第2カセッ
ト支持機構22が、載置台11aの下方まで移動できる
ように構成し、載置台11bに載置された第1カセット
C1が、載置台11aに移動され、載置台11aに載置
される動作を、図16(a)に示すように、第2カセッ
ト支持機構22のカセット受台33をZ方向に上昇し
て、第1カセットC1を載置台11bから若干浮かせ、
次に、図16(b)に示すように、コンベア37を駆動
して第1カセットC1を載置台11aの上方に移動さ
せ、そして、図16(c)に示すように、第2カセット
支持機構22のカセット受台33をZ方向に降下して、
第1カセットC1を載置台11aに載置して行なっても
よい。また、このときには、上記図16(c)の動作完
了後、図16(d)に示すように、各カセット支持機構
21、22の各カセット受部33、33が、載置台11
a、11bの下方に位置するように、各カセット支持機
構21、22を元の位置に戻すことになる。
のフローチャート、図18の動作説明図などを参照して
説明する。まず、装置1内から処理済のカセットC1、
C2を、載置台12a、12bに同時に搬出し(ステッ
プS31)、次に、各カセットC1、C2の間隔を載置
台13a、13bに載置できる間隔(pt1)に拡げ
(ステップS32)、次に、各カセットC1、C2のU
エンド面Uの向きを装置1と反対側に転換し(ステップ
S33)、そして、各カセットC1、C2を載置台13
a、13bへ同時に搬送させる(ステップS34)ので
あるが、これは、上述した自動搬出のステップS11〜
S14(図9、図10(a)〜(d)参照)と同じであ
るのでここでの詳述は省略する。
図18(a)に示すように、各カセットC1、C2が載
置台13a、13bに載置された状態において、作業者
により、第2カセットC2が、図18(b)に示すよう
に、載置台13bから取り出される(ステップS3
5)。
13aに載置されている第1カセットC1が、載置台1
3bに移動され、載置台13bに載置される(ステップ
S36)。これは、例えば、コンベア37を駆動して第
2カセット支持機構22を、載置台13aの下方に移動
し、第2カセット支持機構22のカセット受台33をZ
方向に上昇して、第1カセットC1を載置台13aから
若干浮かせ、コンベア37を駆動して第1カセットC1
を載置台13bの上方に移動させ、そして、第2カセッ
ト支持機構22のカセット受台33をZ方向に降下し
て、第1カセットC1を載置台13bに載置して行なわ
れる。なお、第1カセット支持機構21を載置台13b
の下方にまで移動できるように構成した場合には、載置
台13aの下方で第1カセット支持機構21のカセット
受台33をZ方向に上昇して、第1カセットC1を載置
台13aから若干浮かせ、コンベア37を駆動して第1
カセットC1を載置台13bの上方に移動させ、そし
て、第1カセット支持機構21のカセット受台33をZ
方向に降下して、第1カセットC1を載置台13bに載
置して行なうことも可能である。
が、図18(d)に示すように、載置台13bから取り
出される(ステップS37)。
介して、各カセットC1、C2を1個ずつ取り出すよう
に構成しているが、載置台13aを介して、各カセット
C1、C2を1個ずつ取り出すように構成されている場
合であっても本実施例装置は適用することができる。
S37に変えて、まず、作業者により、第1カセットC
1が載置台13aから取り出され、次に、載置台13b
に載置された第2カセットC2が、載置台13aに移動
されて載置台13aに載置され、次に、作業者により、
第2カセットC2が載置台13aから取り出されること
になる。また、この場合の第2カセットC2の移動動作
は、第1カセット支持機構21または第2カセット支持
機構22を適宜に使用して行うことが可能である。
1〜S23と、この手動搬出時のステップS35〜37
とは、請求項2に記載の発明におけるカセット受渡し過
程に相当する。
/搬出においても、自動搬入/搬出の場合と同様に、処
理のスループットの向上が図れるとともに、装置のコン
パクト化を図ることができる。
変位手段をリンク機構34で構成し、各カセット支持機
構21、22を相互に接離して各カセットC1、C2の
間隔を変位するように構成したが、例えば、一方のカセ
ット支持機構21(または22)を支持台23に固定
し、他方のカセット支持機構22(または21)をシリ
ンダのロッドの収縮・伸長で、支持台23に固定された
カセット支持機構21(または22)に対して接離して
各カセットC1、C2の間隔を変位するように構成して
もよい。
19を参照して説明する。図19は、第二実施例装置の
構成を示す平面図である。
1b、12a、12b、13a、13bを無くし、i
1、i2、o1、o2におけるAGV等との各カセット
C1、C2の受渡しと、I/O1、I/O2におけるカ
セット受渡し装置との各カセットC1、C2の受渡しと
を、各カセット支持機構21、22のカセット受台3
3、33に載置されて行われるように構成したものであ
る。
のカセット受台33、33を、インターフェースステー
ジ2の上方に位置させた状態で、各カセット支持機構2
1、22の軸32が、溝14を通って移動できるように
構成されている。この溝14は、第2カセット支持機構
22のカセット受台33がi1に位置できる状態と、第
1カセット支持機構21のカセット受台33がo2に位
置できる状態との間で、各カセット支持機構21、22
が同期して移動できるように設けられている。
0は、図20に示すように構成されている。上記第一実
施例のカセット受渡し装置50は、各カセットC1、C
2の底部を支持してカセットの搬入/搬出を行うのに対
して、このカセット受渡し装置60は、各カセットC
1、C2のツバTをハンガー66で掴んでカセットの搬
入/搬出を行う。
在の軸62が取り付けられ、この軸62の上部にアーム
支持台63が取り付けられ、また、このアーム支持台6
3にY方向に移動自在の移動部材64が取り付けられ、
さらに、この移動部材64にアーム65の基端部が取り
付けられ、また、開閉自在のハンガー66が2組取り付
けられた駆動部67がアーム65の先端部に取り付けら
れた構成である。
は、軸62をZ方向に上昇させ、アーム65を伸長させ
て、I/O1、I/O2に位置している各カセットC
1、C2の上方に駆動部67を移動させ、各ハンガー6
6を開いた状態で、軸62をZ方向に降下させて各ハン
ガー66を降下させ、各ハンガー66が各カセットC
1、C2のツバTの側部に位置した状態で、各ハンガー
66を閉じて各カセットC1、C2のツバTを各ハンガ
ー66で掴む。そして、軸62をZ方向に上昇させ、ア
ーム65を収縮して各カセットC1、C2を装置1内に
搬入する。なお、各カセットC1、C2の搬出の際に
は、上記搬入と逆の手順で行われる。
た第一実施例装置と同様であるので、ここでの詳述は省
略する。
の搬入/搬出方法を簡単に説明する。自動搬入では、ま
ず、図21に示すように、各カセット支持機構21、2
2が、i1、i2に位置している状態で、AGVによ
り、各カセットC1、C2が各カセット支持機構21、
22のカセット受台33、33の上に載置される。次
に、各カセットC1、C2のUエンド面の向きの転換を
行ない、各カセットC1、C2の間隔をpt2に縮め、
各カセットC1、C2をI/O1、I/O2に同時に搬
送する。そして、各カセット支持機構21、22のカセ
ット受台33、33に載置された状態(図21参照)
で、各カセットC1、C2が、カセット受渡し装置60
により装置1内に搬入される。
ように、各カセット支持機構21、22が、I/O1、
I/O2に位置している状態で、カセット受渡し装置6
0により、各カセットC1、C2が各カセット支持機構
21、22のカセット受台33、33の上に載置され
る。次に、各カセットC1、C2の間隔をpt1に拡
げ、各カセットC1、C2のUエンド面の向きの転換を
行ない、各カセットC1、C2をo1、o2に同時に搬
送する。そして、各カセット支持機構21、22のカセ
ット受台33、33に載置された状態(図21参照)
で、各カセットC1、C2が、AGVにより取り出され
る。
に示すように、第2カセット支持機構22をi1に位置
させた状態で、図22(b)に示すように、作業者によ
り、i1を介して第2カセット支持機構22のカセット
受台33の上に第2カセットC2が載置され、次に、図
22(c)に示すように、各カセット支持機構21、2
2を移動して、第1、第2カセット支持機構21、22
をi1、i2に位置させた状態で、図22(d)に示す
ように、作業者により、i1を介して第1カセット支持
機構21のカセット受台33の上に第1カセットC1が
載置される。以後は、上述した自動搬入と同様にして各
カセットC1、C2が装置1内に搬入される。
同様にして、図23(a)に示すように、各カセットC
1、C2の間隔がpt1に拡げられ、Uエンド面が転換
されてo1、o2に搬送された状態で、図23(b)に
示すように、第2カセット支持機構22のカセット受台
33に載置された第2カセットC2が、作業者により、
o2を介して取り出され、次に、図23(c)に示すよ
うに、各カセット支持機構21、22を移動して、第1
カセット支持機構21をo2に位置させた状態で、図2
3(d)に示すように、第1カセット支持機構21のカ
セット受台33に載置された第1カセットC1が、作業
者により、o2を介して取り出される。
施例装置と同様の効果が得られる。なお、上述の各搬入
/搬出の各カセットC1、C2のUエンド面の転換にお
いて、各カセットC1、C2の水平旋回中に各カセット
C1、C2が干渉しない場合には、図21に示す状態
で、各カセットC1、C2のUエンド面の転換が行え、
また、本実施例では、各カセットC1、C2を載置台に
載置する必要がないので、各カセット支持機構21、2
2は、カセット受台33、33をZ方向に昇降させる機
構を設ける必要がない。
トC1、C2は、i1を介して受け渡しされているが、
各カセットC1、C2は、i2を介して受け渡しする場
合には、図24(a)に示すように、第1カセット支持
機構21をi2に位置させた状態で、図24(b)に示
すように、作業者により、i2を介して第1カセット支
持機構21のカセット受台33の上に第1カセットC1
が載置され、次に、図24(c)に示すように、各カセ
ット支持機構21、22を移動して、第1、第2カセッ
ト支持機構21、22をi1、i2に位置させた状態
で、図24(d)に示すように、作業者により、i2を
介して第2カセット支持機構22のカセット受台33の
上に第2カセットC2が載置されることにより行われ
る。従って、この場合には、図25(a)に示すよう
に、溝14は第1カセット支持機構21がi1まで位置
できるように設けていればよく、図19に比べてインタ
ーフェースステージ2のX方向の寸法を小さくすること
ができる。
トC1、C2は、o2を介して取り出されているが、各
カセットC1、C2は、o1を介して取り出す場合に
は、図26(a)に示すように、各カセットC1、C2
がo1、o2に搬送された状態で、図26(b)に示す
ように、第1カセット支持機構21のカセット受台33
に載置された第1カセットC1が、作業者により、o1
を介して取り出され、次に、図26(c)に示すよう
に、各カセット支持機構21、22を移動して、第2カ
セット支持機構22をo1に位置させた状態で、図26
(d)に示すように、第2カセット支持機構22のカセ
ット受台33に載置された第2カセットC2が、作業者
により、o1を介して取り出されることにより行われ
る。従って、この場合には、図25(b)に示すよう
に、溝14は第2カセット支持機構22がo2まで位置
できるように設けていればよく、図19に比べてインタ
ーフェースステージ2のX方向の寸法を小さくすること
ができる。
施例装置のI/O1、I/O2に、載置台12a、12
bを設けるとともに、各載置台12a、12bと装置1
内とを連通する溝15a、15bを設けてもよい。この
場合には、カセット受渡し装置としては、第一実施例装
置のカセット受渡し装置50が用いられる。
28を参照して説明する。図28(a)は、第三実施例
装置のi1、i2付近の構成を示す平面図であり、図2
8(b)は、第三実施例装置のo1、o2付近の構成を
示す平面図である。
1bを設けるとともに、o1に載置台13aを設けてい
る。また、I/O1、I/O2には、載置台12a、1
2bを設けても良いし設けなくとも良い。
2の受渡しを行う手動搬入の場合、まず、各カセット支
持機構21、22を移動して第1、第2カセット支持機
構21、22をi1、i2に位置させた状態で、第1カ
セット支持機構21のカセット受台33で、第2カセッ
トC2を受け取り、次に、各カセット支持機構21、2
2を移動して、第1カセット支持機構21をi2に位置
させ、第2カセットC2を載置台11bに載置する。そ
して、各カセット支持機構21、22を移動して第1、
第2カセット支持機構21、22を再びi1、i2に位
置させ、第2カセット支持機構22のカセット受台33
をZ方向に上昇させて、載置台11bの第2カセットC
2を載置台11bから持ち上げるとともに、i1に位置
している第1カセット支持機構21のカセット受台33
で第1カセットC1を受け取る。このように、先に受け
取った第2カセットC2を一時載置台11bに載置でき
るので、第2カセットC2を受け取った後でも、各カセ
ット支持機構21、22は自由に移動できる。上記第二
実施例では、i1を介して各カセットC1、C2の受渡
しを行う手動搬入の場合、第2カセット支持機構22を
i1に位置させる必要があり、そのため、インターフェ
ースステージ2のX方向の寸法が大きくなるが、この第
三実施例では、そのような不都合が回避される。
を取り出す手動搬出の場合、まず、間隔がpt1に拡げ
られ、Uエンド面の転換が行われた各カセットC1、C
2がo1、o2に搬送された状態で、o2を介して第2
カセットC2が取り出された後、第1カセット支持機構
21のカセット受台33で支持している第1カセットC
1を一旦載置台13aに載置し、各カセット支持機構2
1、22を移動して第2カセット支持機構22をo1に
位置させた状態で、第2カセット支持機構22のカセッ
ト受台33で、第1カセットC1を載置台13aから持
ち上げ、各カセット支持機構21、22を移動して第
1、第2カセット支持機構21、22をo1、o2に位
置させ、その状態で第1カセットC1が、o2を介して
第2カセット支持機構22のカセット受台33から取り
出される。このように、後に取り出される第1カセット
C1を一時載置台13aに載置できるので、第1カセッ
トC1をo2に移動させる際、各カセット支持機構2
1、22が自由に移動できる。上記第二実施例では、o
2を介して各カセットC1、C2を取り出す手動搬出の
場合、第1カセット支持機構21をo2に位置させる必
要があり、そのため、インターフェースステージ2のX
方向の寸法が大きくなるが、この第三実施例では、その
ような不都合が回避される。
ように、i1、i2に載置台11a、11bを設けた場
合にも同様の効果がある。
ば、i2にのみ載置台11bを設けても、o1にのみ載
置台13aを設けてもよいし、i1、i2、o1、o2
に載置台11a、11b、13a、13bを設け、I/
O1、I/O2には載置台を設けないように構成しても
よい。
29を参照して説明する。図29は、第四実施例装置の
構成を示す平面図である。
第2カセット受渡し位置を2組(i1、i1とo1、o
2)を設け、第1、第2カセットC1、C2の搬入/搬
出を行う装置であるが、この第四実施例装置は、第1、
第2カセット受渡し位置を1組(i/o1、i/o2)
を設け、第1、第2カセットC1、C2の搬入または搬
出を行う装置である。すなわち、基板処理装置1の搬入
口と搬出口とが別の装置に本実施例は適用できる。
/o2には、載置台16a、16bが設けられ、また、
インターフェースステージ2には、上述した第一実施例
で説明した搬送装置が備えられている。
合には、i/o1、i/o2で各カセットC1、C2を
受け取り、各カセットC1、C2のUエンド面を転換
し、間隔をpt2に縮めて、各カセットC1、C2をI
/O1、I/O2に同時に搬送し、装置1内に同時に搬
入する。なお、その他、自動搬入、手動搬入時の詳細な
手順は、上述した第一実施例の場合と同様であるので、
ここでの詳述は省略する。
には、装置1内から各カセットC1、C2をI/O1、
I/O2に同時に搬出し、間隔をpt1に拡げ、各カセ
ットC1、C2のUエンド面を転換して、各カセットC
1、C2をi/o1、i/o2に同時に搬送し、各カセ
ットC1、C2を取り出す。なお、その他、自動搬出、
手動搬出時の詳細な手順は、上述した第一実施例の場合
と同様であるので、ここでの詳述は省略する。
で、各カセットC1、C2の搬入/搬出、すなわち、各
カセットC1、C2が前工程から〔i/o1、i/o
2〕、〔I/O1、I/O〕を経て装置1内に搬入する
とともに、各カセットC1、C2が装置1内から〔I/
O1、I/O〕、〔i/o1、i/o2〕を経て後工程
に搬出することももちろん可能である。
二、第三実施例やその変形例のように、載置台16a、
16b、17a、17bを設けなくてもよいし、載置台
16a、16b、17a、17bを選択的に設けるよう
にしてもよい。その場合の搬入/搬出手順は、各実施例
やその変形例で説明したようにして行われる。
1に記載の方法によれば、主に自動搬入/搬出におい
て、第1、第2カセット受渡し位置と第1、第2カセッ
ト搬入/搬出位置との間で、第1、第2カセットを略同
時に搬送するので、処理のスリープットが向上し、ま
た、各カセットの間隔を変位するので、自動搬送装置等
の各カセットの受渡し時の各カセットの間隔に依存する
ことなく、装置に搬入される各カセットの間隔を任意に
設定できるので、装置のコンパクト化を図ることができ
る。
搬入/搬出において、請求項1と同様に処理のスループ
ットが向上するとともに、装置のコンパクト化が図れ
る。
項1に記載の方法を好適に実施することができる。
項2に記載の方法を好適に実施することができる。
ット搬入/搬出装置の概略構成を示す平面図である。
る。
ーチャートである。
ための図である。
ための図である。
の向きを示す図である。
ーチャートである。
るための図である。
ローチャートである。
るための図である。
るための図である。
るための図である。
るための図である。
るための図である。
ローチャートである。
るための図である。
を示す図である。
説明するための図である。
るための図である。
るための図である。
るための図である。
である。
るための図である。
である。
る。
る。
Claims (4)
- 【請求項1】 基板処理装置による処理の前工程または
後工程とインターフェースステージの第1カセット受渡
し位置、第2カセット受渡し位置との間、前記第1、第
2カセット受渡し位置と前記基板処理装置の搬入/搬出
口前の第1カセット搬入/搬出位置、第2カセット搬入
/搬出位置との間、前記第1、第2カセット搬入/搬出
位置と前記基板処理装置内との間で、複数枚の基板が収
納された第1カセットと第2カセットとをそれぞれ受け
渡す基板処理装置のカセット搬入/搬出方法であって、 前記前工程または後工程と前記第1、第2カセット受渡
し位置との間で、前記第1、第2カセットを略同時に受
け渡すカセット受渡し過程と、 前記第1、第2カセット受渡し位置と前記第1、第2カ
セット搬入/搬出位置との間で、前記第1、第2カセッ
トを略同時に搬送するカセット搬送過程と、 前記第1、第2カセット搬入/搬出位置と前記基板処理
装置内との間で、前記第1、第2カセットを略同時に搬
入/搬出するカセット搬入/搬出過程と、 を備え、 前記カセット搬送過程には、前記第1、第2カセット受渡し位置から前記第1、第2
カセット搬入/搬出位置まで搬送するときには前記第
1、第2カセットの間隔を縮め、前記第1、第2カセッ
ト搬入/搬出位置から前記第1、第2カセット受渡し位
置まで搬送するときには前記第1、第2カセットの間隔
を拡げ る過程と、 前記第1、第2カセットの、各カセットに収納される各
基板の処理面が向けられる側面(以下、「Uエンド面」
という)の向きを転換させる過程と、 を含むことを特徴とする基板処理装置のカセット搬入/
搬出方法。 - 【請求項2】 請求項1に記載の基板処理装置のカセッ
ト搬入/搬出方法において、 前記カセット受渡し過程は、前記前工程または後工程
と、前記第1または第2カセット受渡し位置のいずれか
一方のカセット受渡し位置との間で、前記第2カセット
と第1カセットを単独で受け渡す過程を2回行なうとと
もに、1回目の受渡しと2回目の受渡しとの間に、前記
第1カセット受渡し位置と第2カセット受渡し位置との
間で、前記第1または第2カセット受渡し位置の第2ま
たは第1カセットの移動を行なうものである基板処理装
置のカセット搬入/搬出方法。 - 【請求項3】 基板処理装置による処理の前工程または
後工程とインターフェースステージの第1カセット受渡
し位置、第2カセット受渡し位置との間、前記基板処理
装置の搬入/搬出口前の第1カセット搬入/搬出位置、
第2カセット搬入/搬出位置と前記基板処理装置内との
間で、複数枚の基板が収納された第1カセットと第2カ
セットとをそれぞれ受け渡すとともに、前記第1、第2
カセット受渡し位置と前記第1、第2カセット搬入/搬
出位置との間で、前記第1、第2カセットを搬送する基
板処理装置のカセット搬入/搬出装置において、 前記第1カセットを支持して、そのカセットのUエンド
面の向きを転換させる第1カセット支持手段と、 前記第2カセットを支持して、そのカセットのUエンド
面の向きを転換させる第2カセット支持手段と、 前記第1カセット支持手段と前記第2カセット支持手段
とを、前記第1、第2カセット受渡し位置と、前記第
1、第2カセット搬入/搬出位置との間で、略同時に移
動させる移動手段と、前記第1、第2カセット受渡し位置から前記第1、第2
カセット搬入/搬出位置まで搬送するときには前記第1
カセット支持手段と前記第2カセット支持手段との間隔
を縮め、前記第1、第2カセット搬入/搬出位置から前
記第1、第2カセット受渡し位置まで搬送するときには
前記第1カセット支持手段と前記第2カセット支持手段
との間隔を拡げ る間隔変位手段と、 を備えたことを特徴とする基板処理装置のカセット搬入
/搬出装置。 - 【請求項4】 請求項3に記載の基板処理装置のカセッ
ト搬入/搬出装置において、 前記移動手段は、前記第1、第2カセット支持手段で、
前記第1または第2カセットのいずれか一方のカセット
を、前記第1カセット受渡し位置と第2カセット受渡し
位置との間で搬送可能に構成したことを特徴とする基板
処理装置のカセット搬入/搬出装置。
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JP15267894A JP3167246B2 (ja) | 1994-06-09 | 1994-06-09 | 基板処理装置のカセット搬入/搬出方法及びその装置 |
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