JP3167246B2 - 基板処理装置のカセット搬入／搬出方法及びその装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、複数枚の基板が収納さ
れた２個のカセット（第１、第２カセット）を、基板処
理装置の前工程から第１、第２カセット受渡し位置、第
１、第２カセット搬入／搬出位置を経て基板処理装置内
へ搬入、または、基板処理装置内から第１、第２カセッ
ト搬入／搬出位置、第１、第２カセット受渡し位置を経
て基板処理装置の後工程へ搬出するための基板処理装置
のカセット搬入／搬出方法及び装置に係り、特に、第
１、第２カセット受渡し位置と第１、第２カセット搬入
／搬出位置との間の第１、第２カセットの搬送方法及び
その装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種の基板処理装置のカセット
搬入／搬出装置の構成を、図３０を参照して説明する。
図３０は、従来例に係る基板処理装置のカセット搬入／
搬出装置の概略構成を示す平面図である。

【０００３】図中、符号１は基板処理装置を示す。装置
内部の図示を省略しているが、この基板処理装置１は、
２個のカセット（第１カセットＣ１、第２カセットＣ
２）を受入れ、これら第１、第２カセットＣ１、Ｃ２に
それぞれ収納された複数枚の基板に対して所定の処理
（例えば、洗浄、乾燥処理）を行なう装置である。

【０００４】なお、各カセットＣ１、Ｃ２は、図３１に
示すように、Ｕエンド面ＵとＨエンド面Ｈとを有し、各
カセットＣ１、Ｃ２に収納される各基板（半導体ウエ
ハ）Ｗは、処理面ＳＰの向きが、Ｕエンド面Ｕ側を向く
ように収納されている。

【０００５】図３０に戻って、基板処理装置１の外に
は、インターフェースステージ２が付設されている。こ
のインターフェースステージ２には、第１カセットＣ１
を載置するための位置ｉ１、Ｉ／Ｏ１、ｏ１と、第２カ
セットＣ２を載置するための位置ｉ２、Ｉ／Ｏ２、ｏ２
が設けられている。

【０００６】ｉ１、ｉ２は、前工程から搬送されてきた
各カセットＣ１、Ｃ２を、後述する手順で受け取り載置
しておくための位置である。

【０００７】また、Ｉ／Ｏ１、Ｉ／Ｏ２は、基板処理装
置１の搬入／搬出口３の前に設けられ、上記ｉ１、ｉ２
から搬送されてきた、本装置１での処理前の第１、第２
カセットＣ１、Ｃ２を装置１内に搬入、または、装置１
内から処理済の第１、第２カセットＣ１、Ｃ２を搬出す
るための位置である。なお、基板処理装置１には、Ｉ／
Ｏ１、Ｉ／Ｏ２の第１、第２カセットＣ１、Ｃ２を同時
に装置１内に搬入するとともに、装置１内からＩ／Ｏ
１、Ｉ／Ｏ２に第１、第２カセットＣ１、Ｃ２を同時に
搬出するための、図示しないカセット受渡し装置が設け
られている。

【０００８】さらに、ｏ１、ｏ２は、Ｉ／Ｏ１、Ｉ／Ｏ
２から搬送されてきた処理済の第１、第２カセットＣ
１、Ｃ２を、後工程に搬送するために各カセットＣ１、
Ｃ２を引き渡す位置である。

【０００９】インターフェースステージ２には、インタ
ーフェースステージ２の各位置間で第１、第２カセット
Ｃ１、Ｃ２を搬送するための、図示しない搬送装置が備
えられている。この搬送装置は、ｉ１の第１カセットＣ
１をＩ／Ｏ１に、ｉ２の第２カセットＣ２をＩ／Ｏ２
に、Ｉ／Ｏ１の第１カセットＣ１をｏ１に、Ｉ／Ｏ２の
第２カセットＣ２をｏ２にそれぞれ搬送することがで
き、１回の搬送で１個のカセットの搬送が行なえる構成
である。

【００１０】また、この搬送装置は、各カセットＣ１、
Ｃ２のＵエンド面Ｕの向きの転換も行なえるように構成
されている。これは、通常、図３０に示すように、ｉ
１、ｉ２、ｏ１、ｏ２における各カセットＣ１、Ｃ２の
Ｕエンド面Ｕの向きは、後述する自動搬入／搬出時のカ
セット自動搬送装置（Auto Guided Vehicle ：以下「Ａ
ＧＶ」という）のカセット搬送動作の都合上、基板処理
装置１と反対側に向けられ、一方、Ｉ／Ｏ１、Ｉ／Ｏ２
における各カセットＣ１、Ｃ２のＵエンド面Ｕの向き
は、基板処理装置１内での処理の都合上、例えば、図３
０に示すように、上記ｉ１、ｉ２、ｏ１、ｏ２における
各カセットＣ１、Ｃ２のＵエンド面Ｕの向きに対して９
０°転換されている必要があり、これら各位置間のＵエ
ンド面Ｕの向きを転換する必要があるからである。

【００１１】ここで、従来装置によるカセットの搬入／
搬出の方法（手順）を自動時と手動時とに分けて以下に
説明する。

【００１２】〔Ａ〕自動搬入／搬出の手順 この自動搬入／搬出は、前工程から本装置１のインター
フェースステージ２のｉ１、ｉ２への各カセットＣ１、
Ｃ２の搬送と、本装置１のインターフェースステージ２
のｏ１、ｏ２から後工程への各カセットＣ１、Ｃ２の搬
送とをＡＧＶにより行なう。また、このＡＧＶは、第
１、第２カセットＣ１、Ｃ２をｉ１、ｉ２に略同時に載
置するとともに、ｏ１、ｏ２の第１、第２カセットＣ
１、Ｃ２を略同時に受け取るように構成されている。

【００１３】（ａ）まず、自動搬入の手順を説明する。 ＡＧＶにより、前工程からの第１、第２カセットＣ
１、Ｃ２がｉ１、ｉ２に略同時に載置される。 搬送装置により、ｉ２の第２カセットＣ２がＩ／Ｏ
２に搬送されるとともに、第２カセットＣ２のＵエンド
面Ｕの向きが転換される。 搬送装置により、ｉ１の第１カセットＣ１がＩ／Ｏ
１に搬送されるとともに、第１カセットＣ１のＵエンド
面Ｕの向きが転換される。 カセット受渡し装置により、Ｉ／Ｏ１、Ｉ／Ｏ２の
第１、第２カセットＣ１、Ｃ２が装置１内に略同時に搬
入される。

【００１４】（ｂ）次に、自動搬出の手順を説明する。 カセット受渡し装置により、装置１内から第１、第
２カセットＣ１、Ｃ２がＩ／Ｏ１、Ｉ／Ｏ２に略同時に
搬出される。 搬送装置により、Ｉ／Ｏ２の第２カセットＣ２がｏ
２に搬送されるとともに、第２カセットＣ２のＵエンド
面Ｕの向きが（装置１と反対側を向くように）転換され
る。 搬送装置により、Ｉ／Ｏ１の第１カセットＣ１がｏ
１に搬送されるとともに、第１カセットＣ１のＵエンド
面Ｕの向きが（装置１と反対側を向くように）転換され
る。 ｏ１、ｏ２の第１、第２カセットＣ１、Ｃ２がＡＧ
Ｖに略同時に受け取られ、後工程に搬送される。

【００１５】〔Ｂ〕手動搬入／搬出の手順 この手動搬入／搬出は、上述したＡＧＶの停止などによ
り、第１、第２カセットＣ１、Ｃ２の、ｉ１、ｉ２への
載置と、ｏ１、ｏ２からの第１、第２カセットＣ１、Ｃ
２の取り出しを作業者が行なう。ここで、ラインの工程
管理上、本装置１内に搬入／搬出されるカセットの並び
は、図３０のように、第１カセットＣ１がＲ側、第２カ
セットＣ２がＬ側である必要がある。従って、Ｉ／Ｏ１
には第１カセットＣ１が、Ｉ／Ｏ２には第２カセットＣ
２が載置されている必要がある。よって、ｉ１には第１
カセットＣ１が、ｉ２には第２カセットＣ２が載置され
る必要がある。上述した自動時の処理では、ラインを制
御するホストコンピュータにより、各装置が制御される
ので、ｉ１には第１カセットＣ１が、ｉ２には第２カセ
ットＣ２が間違いなく載置される。しかし、手動時に
は、ｉ１、ｉ２へのカセットＣ１、Ｃ２の載置は、人手
で行なわれるので、間違いが生じ易くなる。そこで、手
動時の搬入は、例えば、ｉ１を介して、カセットを１個
ずつ載置するように作業を簡単にしている。また、搬出
時においても、後工程へ第１、第２カセットＣ１、Ｃ２
を間違えずに渡すために、例えば、ｏ２を介して、カセ
ットを１個ずつ取り出すように作業を簡単にしている。

【００１６】（ａ）まず、手動搬入の手順を説明する。 作業者により、前工程からの第２カセットＣ２がｉ
１に載置される。 搬送装置により、ｉ１の第２カセットＣ２がｉ２に
搬送される。 作業者により、前工程からの第１カセットＣ１がｉ
１に載置される。 搬送装置により、ｉ２の第２カセットＣ２がＩ／Ｏ
２に搬送されるとともに、第２カセットＣ２のＵエンド
面Ｕの向きが転換される。 搬送装置により、ｉ１の第１カセットＣ１がＩ／Ｏ
１に搬送されるとともに、第１カセットＣ１のＵエンド
面Ｕの向きが転換される。 カセット受渡し装置により、Ｉ／Ｏ１、Ｉ／Ｏ２の
第１、第２カセットＣ１、Ｃ２が装置１内に略同時に搬
入される。

【００１７】（ｂ）次に、手動搬出の手順を説明する。 カセット受渡し装置により、装置１内から第１、第
２カセットＣ１、Ｃ２がＩ／Ｏ１、Ｉ／Ｏ２に略同時に
搬出される。 搬送装置により、Ｉ／Ｏ２の第２カセットＣ２がｏ
２に搬送されるとともに、第２カセットＣ２のＵエンド
面Ｕの向きが（装置１と反対側を向くように）転換され
る。 搬送装置により、Ｉ／Ｏ１の第１カセットＣ１がｏ
１に搬送されるとともに、第１カセットＣ１のＵエンド
面Ｕの向きが（装置１と反対側を向くように）転換され
る。 作業者により、ｏ２の第２カセットＣ２が取り出さ
れる。 搬送装置により、ｏ１の第１カセットＣ１がｏ２に
搬送される。 作業者により、ｏ２の第１カセットＣ１が取り出さ
れる。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成を有する従来例の場合には、次のような問題が
ある。例えば、装置１が洗浄装置であり、受け入れた２
個のカセットＣ１、Ｃ２を同時に洗浄槽に浸漬させる場
合、図３２（ａ）、（ｂ）に示すように、各カセットＣ
１、Ｃ２の間隔ｐｔは小さい方が、洗浄槽ＳＢの容積を
小さくでき、装置１のコンパクト化を図ることができ
る。また、洗浄装置以外の他の基板処理装置において
も、各カセットＣ１、Ｃ２の間隔ｐｔが小さい方が、例
えば、図３２（ｃ）、（ｄ）に示すように、装置１内の
各カセットＣ１、Ｃ２の搬送路ＨＲの面積を小さくでき
る等、装置のコンパクト化を図ることができる。

【００１９】ここで、装置１内の各カセットＣ１、Ｃ２
の間隔ｐｔは、Ｉ／Ｏ１、Ｉ／Ｏ２に載置されたときの
各カセットＣ１、Ｃ２の間隔に依存し、また、上述の図
３０では、このＩ／Ｏ１、Ｉ／Ｏ２に載置されたときの
各カセットＣ１、Ｃ２の間隔は、ｉ１、ｉ２に載置され
たときの各カセットＣ１、Ｃ２の間隔と同じであり、こ
のｉ１、ｉ２に載置されたときの各カセットＣ１、Ｃ２
の間隔は、ＡＧＶとのカセットの受渡しの際の各カセッ
トＣ１、Ｃ２の間隔に設定されている。従って、図３０
の装置の場合には、装置１内の各カセットＣ１、Ｃ２の
間隔ｐｔは、ＡＧＶとのカセットの受渡しの際の各カセ
ットＣ１、Ｃ２の間隔に依存することになる。しかし、
このＡＧＶとのカセットの受渡しの際の各カセットＣ
１、Ｃ２の間隔は、通常、大きめに設定されているの
で、装置１のコンパクト化が図れない。

【００２０】そこで、図３３に示すように、ｉ１、ｉ２
に載置されたときの各カセットＣ１、Ｃ２の間隔に対し
て、Ｉ／Ｏ１、Ｉ／Ｏ２に載置されたときの各カセット
Ｃ１、Ｃ２の間隔を小さくするように構成すれば、装置
１のコンパクト化を図ることができる。なお、このと
き、搬送装置は、第１のカセットＣ１をｉ１からＩ／Ｏ
１へ搬送（または、Ｉ／Ｏ１からｏ１へ搬送）する際の
移動量Ｌ１と、第２のカセットＣ２をｉ２からＩ／Ｏ２
へ搬送（または、Ｉ／Ｏ２からｏ２へ搬送）する際の移
動量Ｌ２とを違えて各カセットＣ１、Ｃ２を搬送するこ
とになる。

【００２１】また、別意の問題として、従来装置の搬送
装置は、１回の搬送で１個のカセットしか搬送できない
ので、例えば、カセット搬入時においては、ｉ１、ｉ２
に載置された各カセットＣ１、Ｃ２を、Ｉ／Ｏ１、Ｉ／
Ｏ２に搬送するとき、第２カセットＣ２をｉ２からＩ／
Ｏ２に搬送し、搬送装置をＩ／Ｏ２からｉ１に戻し、ｉ
１の第１カセットＣ１をＩ／Ｏ１に搬送するというよう
に、カセットの搬送を２回行なわなければならず（上述
した自動搬入時の手順、、手動搬入時の手順、
）、また、Ｉ／Ｏ１、Ｉ／Ｏ２に載置された各カセッ
トＣ１、Ｃ２を、ｏ１、ｏ２に搬送するときも、同様に
カセットの搬送を２回行なわなければならず（上述した
自動搬出時の手順、、手動搬出時の手順、）、
２個のカセットの搬入／搬出装置としての処理のスルー
プットが悪い。

【００２２】そこで、処理スループットを向上させるた
めには、例えば、従来の搬送装置を２台並設して、第
１、第２カセットＣ１、Ｃ２を同時に搬送するように構
成することが考えられる。

【００２３】しかし、従来の搬送装置を２台並設して、
第１、第２カセットＣ１、Ｃ２を同時に搬送する場合、
各カセットＣ１、Ｃ２の搬送時の移動量が同じになるの
で、上述した装置のコンパクト化が図れなくなる。

【００２４】すなわち、従来装置の構成では、装置のコ
ンパクト化を図るためには処理のスループットが低下
し、処理のスループットを向上させると、装置のコンパ
クト化が図れなくなるという相矛盾する問題がある。

【００２５】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、基板処理装置のコンパクト化を図ると
ともに、処理のスループットの向上をも図ることができ
る基板処理装置のカセット搬入／搬出方法及びその装置
を提供することを目的とする。

【００２６】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項１に記載の発明は、基板処理装置による処理
の前工程または後工程とインターフェースステージの第
１カセット受渡し位置、第２カセット受渡し位置との
間、前記第１、第２カセット受渡し位置と前記基板処理
装置の搬入／搬出口前の第１カセット搬入／搬出位置、
第２カセット搬入／搬出位置との間、前記第１、第２カ
セット搬入／搬出位置と前記基板処理装置内との間で、
複数枚の基板が収納された第１カセットと第２カセット
とをそれぞれ受け渡す基板処理装置のカセット搬入／搬
出方法であって、前記前工程または後工程と前記第１、
第２カセット受渡し位置との間で、前記第１、第２カセ
ットを略同時に受け渡すカセット受渡し過程と、前記第
１、第２カセット受渡し位置と前記第１、第２カセット
搬入／搬出位置との間で、前記第１、第２カセットを略
同時に搬送するカセット搬送過程と、前記第１、第２カ
セット搬入／搬出位置と前記基板処理装置内との間で、
前記第１、第２カセットを略同時に搬入／搬出するカセ
ット搬入／搬出過程と、を備え、前記カセット搬送過程
には、前記第１、第２カセット受渡し位置から前記第
１、第２カセット搬入／搬出位置まで搬送するときには
前記第１、第２カセットの間隔を縮め、前記第１、第２
カセット搬入／搬出位置から前記第１、第２カセット受
渡し位置まで搬送するときには前記第１、第２カセット
の間隔を拡げる過程と、前記第１、第２カセットの、各
カセットに収納される各基板の処理面が向けられる側面
（以下、「Ｕエンド面」という）の向きを転換させる過
程と、を含むものである。

【００２７】また、請求項２に記載の発明は、上記請求
項１に記載の基板処理装置のカセット搬入／搬出方法に
おいて、前記カセット受渡し過程は、前記前工程または
後工程と、前記第１または第２カセット受渡し位置のい
ずれか一方のカセット受渡し位置との間で、前記第２カ
セットと第１カセットを単独で受け渡す過程を２回行な
うとともに、１回目の受渡しと２回目の受渡しとの間
に、前記第１カセット受渡し位置と第２カセット受渡し
位置との間で、前記第１または第２カセット受渡し位置
の第２または第１カセットの移動を行なうものである。

【００２８】また、請求項３に記載の発明は、基板処理
装置による処理の前工程または後工程とインターフェー
スステージの第１カセット受渡し位置、第２カセット受
渡し位置との間、前記基板処理装置の搬入／搬出口前の
第１カセット搬入／搬出位置、第２カセット搬入／搬出
位置と前記基板処理装置内との間で、複数枚の基板が収
納された第１カセットと第２カセットとをそれぞれ受け
渡すとともに、前記第１、第２カセット受渡し位置と前
記第１、第２カセット搬入／搬出位置との間で、前記第
１、第２カセットを搬送する基板処理装置のカセット搬
入／搬出装置において、前記第１カセットを支持して、
そのカセットのＵエンド面の向きを転換させる第１カセ
ット支持手段と、前記第２カセットを支持して、そのカ
セットのＵエンド面の向きを転換させる第２カセット支
持手段と、前記第１カセット支持手段と前記第２カセッ
ト支持手段とを、前記第１、第２カセット受渡し位置
と、前記第１、第２カセット搬入／搬出位置との間で、
略同時に移動させる移動手段と、前記第１、第２カセッ
ト受渡し位置から前記第１、第２カセット搬入／搬出位
置まで搬送するときには前記第１カセット支持手段と前
記第２カセット支持手段との間隔を縮め、前記第１、第
２カセット搬入／搬出位置から前記第１、第２カセット
受渡し位置まで搬送するときには前記第１カセット支持
手段と前記第２カセット支持手段との間隔を拡げる間隔
変位手段と、を備えたものである。

【００２９】また、請求項４に記載の発明は、上記請求
項３に記載の基板処理装置のカセット搬入／搬出装置に
おいて、前記移動手段は、前記第１、第２カセット支持
手段で、前記第１または第２カセットのいずれか一方の
カセットを、前記第１カセット受渡し位置と第２カセッ
ト受渡し位置との間で搬送可能に構成したものである。

【００３０】

【作用】請求項１に記載の方法は、主に自動搬入／搬出
の方法に対応するものであり、その作用は次のとおりで
ある。まず、第１、第２カセットの搬入は、前工程から
第１、第２カセット受渡し位置に、第１、第２カセット
が略同時に受け渡され、次に、第１、第２カセット受渡
し位置の第１、第２カセットが、第１、第２カセット搬
入／搬出位置に略同時に搬送され、第１、第２カセット
の間隔が変位されるとともに、各カセットのＵエンド面
の転換も行われる。そして、第１、第２カセット搬入／
搬出位置の第１、第２カセットが、基板処理装置内に搬
入される。なお、第１、第２カセットの搬送と、第１、
第２カセットの間隔の変位と、各カセットのＵエンド面
の転換とは、第１、第２カセットが第１、第２カセット
受渡し位置に受け渡されて以後、第１、第２カセット搬
入／搬出位置から基板処理装置内に第１、第２カセット
が搬入されるまでの間に適宜の順序で行われる。

【００３１】また、第１、第２カセットの搬出は、基板
処理装置内から第１、第２カセット搬入／搬出位置に、
第１、第２カセットが略同時に搬出され、次に、第１、
第２カセット搬入／搬出位置の第１、第２カセットが、
第１、第２カセット受渡し位置に略同時に搬送され、第
１、第２カセットの間隔が変位されるとともに、各カセ
ットのＵエンド面の転換も行われる。そして、第１、第
２カセット受渡し位置から後工程に、第１、第２カセッ
トが略同時に受け渡される。

【００３２】また、請求項２に記載の方法は、主に手動
搬入／搬出の方法に対応するものであり、前工程または
後工程と、第１、第２カセット受渡し位置との間の第
１、第２カセットの受渡しは、第１または第２カセット
受渡し位置のいずれか一方のカセット受渡し位置を介し
て行われる。

【００３３】例えば、第１カセット受渡し位置を介して
搬入される場合には、まず、第２カセットが第１カセッ
ト受渡し位置から受け渡され、次に、第２カセットが第
２カセット受渡し位置に移動され、そして、第１カセッ
トが第１カセット受渡し位置から受け渡される。なお、
第２カセット受渡し位置を介して搬入される場合には、
第１カセットから先に受け渡される。

【００３４】また、例えば、第１カセット受渡し位置を
介して搬出される場合には、まず、第１カセットが第１
カセット受渡し位置から受け渡され、次に、第２カセッ
トが第１カセット受渡し位置に移動され、そして、第２
カセットが第１カセット受渡し位置から受け渡される。
なお、第２カセット受渡し位置を介して搬出される場合
には、第２カセットから先に受け渡される。

【００３５】また、請求項３に記載の発明は、上記請求
項１の方法を好適に実施するための装置であり、その作
用は次のとおりである。まず、第１、第２カセットの搬
入では、前工程から第１、第２カセット受渡し位置に略
同時に受け渡された第１、第２カセットを、第１、第２
カセット支持手段が支持し、次に、移動手段により、第
１、第２カセット支持手段を第１、第２カセット搬入／
搬出位置に略同時に移動させて、第１、第２カセット支
持手段に支持された第１、第２カセットを第１、第２カ
セット受渡し位置から第１、第２カセット搬入／搬出位
置に略同時に搬送し、また、間隔変位手段により、第
１、第２カセット支持手段の間隔を変位させて、第１、
第２カセット支持手段に支持された第１、第２カセット
の間隔を変位させ、さらに、第１、第２カセット支持手
段により、支持する各カセットのＵエンド面の転換も行
われる。

【００３６】また、第１、第２カセットの搬出は、基板
処理装置内から第１、第２カセット搬入／搬出位置に、
第１、第２カセットが略同時に搬出され、次に、第１、
第２カセット搬入／搬出位置の第１、第２カセットを、
第１、第２カセット支持手段が支持し、次に、移動手段
により、第１、第２カセット支持手段を第１、第２カセ
ット受渡し位置に略同時に移動させて、第１、第２カセ
ット支持手段に支持された第１、第２カセットを第１、
第２カセット搬入／搬出位置から第１、第２カセット受
渡し位置に略同時に搬送し、また、間隔変位手段によ
り、第１、第２カセット支持手段の間隔を変位させて、
第１、第２カセット支持手段に支持された第１、第２カ
セットの間隔を変位させ、さらに、第１、第２カセット
支持手段により、支持する各カセットのＵエンド面の転
換も行われる。

【００３７】また、請求項４に記載の発明は、上記請求
項２の方法を好適に実施するための装置であり、その作
用は次のとおりである。例えば、第１カセット受渡し位
置を介して搬入される場合には、まず、第１カセット受
渡し位置を介して受け渡された第２カセットを、第１ま
たは第２カセット支持手段で支持して、移動手段でその
カセット支持手段を、第２カセット受渡し位置に移動さ
せることにより、第２カセットが第２カセット受渡し位
置に移動され、次に、第１カセット受渡し位置から受け
渡された第１カセットが他のカセット支持手段で支持さ
れる。

【００３８】また、例えば、第１カセット受渡し位置を
介して搬出される場合には、まず、第１カセット受渡し
位置から第１カセットが受け渡され、次に、第１または
第２カセット支持手段に支持されて、第２カセットが第
２カセット受渡し位置から第１カセット受渡し位置に搬
送された後、第２カセットが第１カセット受渡し位置か
ら受け渡される。

【００３９】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の一実施例を説
明する。図１は、本発明の第一実施例に係る基板処理装
置のカセット搬入／搬出装置の概略構成を示す平面図で
ある。

【００４０】図中、符号１は基板処理装置を示す。装置
内部の詳細構成は図示を省略しているが、この基板処理
装置１は、２個のカセット（第１カセットＣ１、第２カ
セットＣ２）を受入れ、これら第１、第２カセットＣ
１、Ｃ２にそれぞれ収納された複数枚の基板に対して所
定の処理（例えば、洗浄、乾燥処理）を行なう装置であ
る。各カセットＣ１、Ｃ２は、従来技術において、図３
１で説明したのと同じ構成のものである。

【００４１】基板処理装置１の外には、インターフェー
スステージ２が付設されている。このインターフェース
ステージ２には、第１カセットＣ１を載置するための載
置台１１ａ、１２ａ、１３ａと、第２カセットＣ２を載
置するための載置台１１ｂ、１２ｂ、１３ｂとが設けら
れている。

【００４２】載置台１１ａ、１１ｂは、従来装置の位置
ｉ１、ｉ２に設けられており、前工程から搬送されてき
た各カセットＣ１、Ｃ２を、後述する手順により受け取
り載置しておくためのものである。なお、この載置台１
１ａ、１１ｂの間隔ｐｔ１は、ＡＧＶから各カセットＣ
１、Ｃ２を受け取る際の各カセットＣ１、Ｃ２の間隔に
従って設定されている。

【００４３】また、載置台１２ａ、１２ｂは、従来の図
３３の装置の位置Ｉ／Ｏ１、Ｉ／Ｏ２（基板処理装置１
の搬入／搬出口３の前）に設けられ、上記載置台１１
ａ、１１ｂから搬送されてきた、本装置１での処理前の
第１、第２カセットＣ１、Ｃ２を装置１内に搬入、また
は、装置１内から処理済の第１、第２カセットＣ１、Ｃ
２を搬出するためのものである。なお、基板処理装置１
には、載置台１２ａ、１２ｂの第１、第２カセットＣ
１、Ｃ２を同時に装置１内に搬入するとともに、装置１
内から載置台１２ａ、１２ｂに第１、第２カセットＣ
１、Ｃ２を同時に搬出するためのカセット受渡し装置５
０が設けられているが、これについては後述する。ま
た、この載置台１２ａ、１２ｂの間隔ｐｔ２は、装置１
との間で各カセットＣ１、Ｃ２を受渡しする際の各カセ
ットＣ１、Ｃ２の間隔に従って設定されており、上述し
た載置台１１ａ、１１ｂの間隔（後述する載置台１３
ａ、１３ｂの間隔）ｐｔ１よりも小さく設定されてい
る。

【００４４】さらに、載置台１３ａ、１３ｂは、従来装
置の位置ｏ１、ｏ２に設けられており、載置台１２ａ、
１２ｂから搬送されてきた処理済の第１、第２カセット
Ｃ１、Ｃ２を、後工程に搬送するために各カセットＣ
１、Ｃ２を引き渡す際に各カセットＣ１、Ｃ２を載置し
ておくためのものである。なお、この載置台１３ａ、１
３ｂの間隔ｐｔ１は、ＡＧＶに各カセットＣ１、Ｃ２を
引き渡す際の各カセットＣ１、Ｃ２の間隔に従って設定
されており、上述した載置台１１ａ、１１ｂの間隔ｐｔ
１と同じに設定されている。

【００４５】なお、載置台１１ａ、１３ａは、本発明に
おける第１カセット受渡し位置に、載置台１１ｂ、１３
ｂは、本発明における第２カセット受渡し位置に、載置
台１２ａ、１２ｂは、本発明における第１、第２カセッ
ト搬入／搬出位置にそれぞれ相当する。

【００４６】また、インターフェースステージ２には、
各載置台１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂ、１３ａ、１
３ｂに連通する溝１４が設けられているとともに、載置
台１２ａと装置１内とを連通する溝１５ａ、載置台１２
ｂと装置１内とを連通する溝１５ｂが設けられている。
これら各溝１４、１５ａ、１５ｂについては後述する。

【００４７】次に、インターフェースステージ２に設け
られた搬送装置の構成を図２、図３を参照して説明す
る。図２は、図１のＡ−Ａ矢視断面図、図３は、搬送装
置の構成を示す平面図である。なお、図３では、ガイド
軸３５ａの一部の図示を省略している。

【００４８】各載置台１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２
ｂ、１３ａ、１３ｂの下方には、第１カセット支持機構
２１と第２カセット支持機構２２とが設けられている。
第１カセット支持機構２１は、駆動部３１に伸縮自在
で、かつ、回動自在の軸３２が突出され、この軸３２の
先端部に、第１カセットＣ１の底部を受けるカセット受
台３３が取り付けられた構成である。軸３２の基端部
は、駆動部３１内の昇降フレーム３１１内のロータリー
アクチュエータ３１２に連結されている。このロータリ
ーアクチュエータ３１２により軸３２を回動させ、カセ
ット受台３３を水平旋回させることにより、カセット受
台３３に受けられた第１カセットＣ１のＵエンド面Ｕの
向きを転換させ得るように構成されている。また、昇降
フレーム３１１は、昇降ガイド３１３にガイドされ、シ
リンダ３１４のロッド３１４ａの伸縮によりＺ方向に昇
降自在に構成されている。これにより、カセット受台３
３は、軸３２を介して、Ｚ方向に昇降自在となり、カセ
ット受台３３に受けられた第１カセットＣ１をＺ方向に
昇降させることが可能となる。なお、第２カセット支持
機構２２の構成も第１カセット支持機構２１と同様の構
成である。

【００４９】第１カセット支持機構２１と第２カセット
支持機構２２とは、支持台２３上にリンク機構３４を介
して連結されているとともに、Ｘ方向に延びた２本のガ
イド軸３５ａ、３５ｂに摺動自在に支持されている。

【００５０】リンク機構３４は、第１、第２カセット支
持機構２１、２２の各下端部を支持する架台４１ａ、４
１ｂが、支持台２３にＸ方向に沿って取り付けられたガ
イド軸４２ａ、４２ｂに摺動自在に支持され、各架台４
１ａ、４１ｂがリンク４３により相互に接離自在に連結
され、シリンダ４４により一方の支持機構（図では、第
２カセット支持機構２２）をＸ方向へ移動させるように
構成されている。すなわち、シリンダ４４のロッド４４
ａを収縮・伸長させることにより、リンク４３を介し
て、架台４１ａ、４１ｂが相互に接離し、これにより、
第１、第２カセット支持機構２１、２２の間隔、すなわ
ち、第１、第２カセット支持機構１、２２の各カセット
受台３３、３３にそれぞれ受けられた第１、第２カセッ
トＣ１、Ｃ２の間隔を変位させることができ、上述した
載置台１１ａ、１１ｂの間隔ｐｔ１及び載置台１３ａ、
１３ｂの間隔ｐｔ１と、載置台１２ａ、１２ｂの間隔ｐ
ｔ２との間の間隔の違いを吸収することができる。

【００５１】また、支持台２３は、モータ３６で駆動さ
れるコンベア３７に取り付けられ、コンベア３７を駆動
することにより、支持台２３、すなわち、第１、第２カ
セット支持機構２１、２２は、ガイド軸３５ａ、３５ｂ
にガイドされ、Ｘ方向に同期して移動される。なお、ガ
イド軸３５ａ、３５ｂ、コンベア３７による駆動範囲
は、図２に示すように、第１、第２カセット支持機構２
１、２２が、載置台１１ａ、１１ｂの下方に位置できる
状態と、第１、第２カセット支持機構２１、２２が、載
置台１３ａ、１３ｂの下方に位置できる状態との範囲に
設定されている。また、図中の符号ＳＴは、支持台２３
に当接してその移動を規制するストッパーである。

【００５２】この搬送装置によれば、例えば、載置台１
１ａ、１１ｂの下方に、第１、第２カセット支持機構２
１、２２を移動し、各カセット支持機構２１、２２のカ
セット受台３３、３３をＺ方向に上昇させ、載置台１１
ａ、１１ｂに載置されている第１、第２カセットＣ１、
Ｃ２を持ち上げ、各カセット受台３３、３３を水平旋回
させて持ち上げた各カセットＣ１、Ｃ２のＵエンド面Ｕ
の向きを転換させるとともに、これら各カセットＣ１、
Ｃ２の間隔を縮め、コンベア３７を駆動して、各カセッ
ト支持機構２１、２２を、載置台１２ａ、１２ｂに同時
に移動し、そこで、カセット受台３３、３３をＺ方向に
降下させて、搬送した各カセットＣ１、Ｃ２を載置台１
２ａ、１２ｂに載置することができる。なお、各カセッ
トＣ１、Ｃ２を持ち上げた状態で、各カセット支持機構
２１、２２を移動する際、各カセット支持機構２１、２
２の軸３２、３２は、各載置台間を貫通する溝１４を通
って移動する。また、載置台１２ａ、１２ｂに載置され
た各カセットＣ１、Ｃ２の、載置台１３ａ、１３ｂへの
搬送は、上述と同様に（但し、各カセットＣ１、Ｃ２の
間隔を拡げる）行なうことができる。

【００５３】上述した第１、第２カセット支持機構２
１、２２は、本発明における第１、第２カセット支持手
段に、リンク機構３４は、本発明における間隔変位手段
に、コンベア３７は、本発明における移動手段にそれぞ
れ相当する。

【００５４】次に、装置１内に設けられたカセット受渡
し装置の構成を図４を参照して説明する。図４は、カセ
ット受渡し装置の構成を示す斜視図である。

【００５５】このカセット受渡し装置５０は、図４に示
すように、基台５１に、Ｚ方向に伸縮自在の軸５２が設
けられ、軸５２の上部にアーム支持台５３が取り付けら
れ、アーム支持台５３の上面の溝５４に沿って往復動自
在の移動部材５５が設けられ、この移動部材５５に
「Ｕ」の字型のアーム５６の基端部が取り付けられ、ア
ーム５６の各先端部に第１カセットＣ１の底部を受ける
第１カセット受部５７と、第２カセットＣ２の底部を受
ける第２カセット受部５８とが取り付けられた構成であ
る。

【００５６】例えば、載置台１２ａ、１２ｂに載置され
た各カセットＣ１、Ｃ２を装置１内に搬入する際には、
軸５２をＺ方向に収縮させ、移動部材５５をＰ１側に移
動させてアーム５６を伸長させ、各カセット受部５７、
５８を、載置台１２ａ、１２ｂの下方に位置させ、次
に、軸５２をＺ方向に伸長させて各カセット受部５７、
５８上に、各カセットＣ１、Ｃ２を受け取る。このと
き、アーム５６は、溝１５ａ、１５ｂを通って上昇する
ので、アーム５６とインターフェースステージ２との干
渉が避けられる。そして、移動部材５５をＰ２側に移動
させてアーム５６を収縮させ、各カセット受部５７、５
８で受け取った各カセットＣ１、Ｃ２を装置１内に搬入
する。また、装置１内から各カセットＣ１、Ｃ２を載置
台１２ａ、１２ｂに搬出する際には、上述の搬入時と逆
の動作により行なわれる。

【００５７】次に、上述の実施例装置を用いた各カセッ
トＣ１、Ｃ２の搬入／搬出の方法（手順）を、請求項
１、２の場合に分けて説明する。

【００５８】〔Ａ〕請求項１に記載の方法による搬入／
搬出方法。 この請求項１に記載の方法は、主にＡＧＶを用いた自動
搬入／搬出方法に対応するものである。 （ａ）まず、（自動）搬入の手順を図５のフローチャー
ト、図６、図７の動作説明図などを参照して説明する。

【００５９】まず、ＡＧＶにより、前工程からの第１、
第２カセットＣ１、Ｃ２が、図６（ａ）に示すように、
載置台１１ａ、１１ｂに同時に載置される（ステップＳ
１）。

【００６０】次に、図６（ｂ）に示すように、各カセッ
トＣ１、Ｃ２のＵエンド面Ｕの向きを、同時にまたは任
意に転換する（ステップＳ２）。Ｕエンド面Ｕの転換を
任意に行なうときには、まず、図７（ａ）に示すよう
に、第１カセット支持機構２１のカセット受台３３をＺ
方向に上昇させて第１カセットＣ１を載置台１１ａから
持ち上げ、次に、図７（ｂ）に示すように、カセット受
台３３を水平旋回させて第１カセットＣ１のＵエンド面
Ｕの向きを、装置１内に搬入する際の向きに転換させ、
そして、図７（ｃ）に示すように、第１カセットＣ１が
載置台１１ａから若干浮く程度に、カセット受部３３を
Ｚ方向に降下させる。なお、図７（ａ）〜（ｃ）では、
第１カセットＣ１を第２カセットＣ２よりも高く持ち上
げてＵエンド面Ｕの転換を行なっているが、これは、第
１カセットＣ１の水平旋回の際、第２カセットＣ２との
干渉を避けるためである。従って、載置台１１ａ、１１
ｂに載置された第１、第２カセットＣ１、Ｃ１の間隔ｐ
ｔ１が、第１カセットＣ１の水平旋回の際、第２カセッ
トＣ２との干渉が起こらない程度に広く設定されている
場合には、図７（ｄ）、（ｅ）に示すように、第１カセ
ットＣ１を載置台１１ａよりも若干浮く程度に持ち上げ
た状態で第１カセットＣ１のＵエンド面Ｕの転換を行な
うようにしてもよい。次に、第２カセットＣ２のＵエン
ド面Ｕの転換を、第１カセットＣ１の場合と同様の手
順、すなわち、図７（ａ）〜（ｃ）または図７（ｄ）、
（ｅ）（載置台１１ａ、１１ｂに載置された第１、第２
カセットＣ１、Ｃ１の間隔ｐｔ１が広く設定されている
場合）で行なう。各カセットＣ１、Ｃ２のＵエンド面Ｕ
がそれぞれ転換されたとき、各カセットＣ１、Ｃ２は、
図７（ｆ）に示すように、各載置台１１ａ、１１ｂから
若干浮いた状態である。

【００６１】また、Ｕエンド面Ｕの転換を同時に行なう
ときには、まず、図７（ｇ）に示すように、第１カセッ
ト支持機構２１は第１カセットＣ１を載置台１１ａより
若干浮かせるとともに、第２カセット支持機構２２は、
載置台１１ａから浮かされた第１カセットＣ１よりも高
い位置まで第２カセットＣ２を持ち上げる。次に、図７
（ｈ）に示すように、各カセット支持機構２１、２２の
各カセット受台３３、３３を水平旋回させて各カセット
Ｃ１、ＣのＵエンド面Ｕの向きを同時に転換させる。そ
して、図７（ｉ）に示すように、第２カセットＣ２を第
１カセットＣ１の高さまで降下させる。なお、図７
（ｇ）〜（ｉ）では、第２カセットＣ２を第１カセット
Ｃ１よりも高く持ち上げてＵエンド面Ｕの転換を行なっ
ているが、これは、各カセットＣ１、Ｃ２の水平旋回の
際、双方のカセットＣ１、Ｃ２が干渉するのを避けるた
めである。従って、載置台１１ａ、１１ｂに載置された
第１、第２カセットＣ１、Ｃ１の間隔ｐｔ１が、各カセ
ットＣ１、Ｃ２を同時に水平旋回しても、双方のカセッ
トＣ１、Ｃ２が干渉しない程度に広く設定されている場
合には、図７（ｊ）、（ｋ）に示すように、各カセット
Ｃ１、Ｃ２を載置台１１ａ、１１ｂよりも若干浮く程度
に持ち上げた状態で各カセットＣ１、Ｃ２のＵエンド面
Ｕの転換を同時に行なうようにしてもよい。

【００６２】なお、図７（ａ）〜（ｃ）の場合には、第
１カセット支持機構２１は、第１カセットＣ１の高さを
２段に変えて昇降しているが、これは、例えば、図２の
第１カセット支持機構２１に備えるカセット受台３３の
昇降用の各シリンダ３１４に変えて、ストロークの異な
る２個のシリンダを直列に連結し、１個のシリンダのロ
ッドを伸縮させて図７（ａ）、（ｂ）のように第１カセ
ットＣ１を高い位置に昇降可能にし、他方のシリンダの
ロッドを伸縮させて図７（ｃ）のように第１カセットＣ
１を載置台から若干受け程度の位置に昇降可能すること
で実現できる。また、第２カセット支持機構２２につい
ても同様に構成することにより、第２カセットＣ２の高
さを２段に変えて昇降（図７（ｇ）〜（ｉ）参照）させ
ることができる。

【００６３】ところで、装置１に搬入される際の各カセ
ットＣ１、Ｃ２のＵエンド面Ｕの向きは、装置１により
種々の場合があり、例えば、図８（ａ）、（ｂ）の場合
であれば、各Ｕエンド面Ｕの転換の際の、各カセットＣ
１、Ｃ２の水平旋回の方向は同じであるが、例えば、図
８（ｃ）、（ｄ）の場合であれば、各Ｕエンド面Ｕの転
換の際の、各カセットＣ１、Ｃ２の水平旋回の方向は逆
になる。

【００６４】各カセットＣ１、Ｃ２のＵエンド面Ｕの向
きが転換され、各カセットＣ１、Ｃ２が載置台１１ａ、
１１ｂから若干浮いた状態で、次に、図６（ｃ）に示す
ように、各カセットＣ１、Ｃ２の間隔を、載置台１２
ａ、１２ｂに載置できる間隔（ｐｔ２）に縮める（ステ
ップＳ３）。これは、搬送装置のリンク機構３４のシリ
ンダ４４のロッド４４ａを収縮して各カセット支持機構
２１、２２の間隔を縮めることにより行なう。なお、リ
ンク機構３４のシリンダ４４のロッド４４ａを伸長した
とき、ｐｔ１の間隔のカセットＣ１、Ｃ２を各カセット
支持機構２１、２２の各カセット受台３３、３３で受け
取れ、シリンダ４４のロッド４４を収縮したとき、ｐｔ
２の間隔のカセットＣ１、Ｃ２を各カセット支持機構２
１、２２の各カセット受台３３、３３で受け取れるよう
に、リンク機構３４は構成されている。

【００６５】次に、図６（ｄ）に示すように、各カセッ
トＣ１、Ｃ２を載置台１２ａ、１２ｂへ同時に搬送させ
る（ステップＳ４）。これは、コンベア３７を駆動し
て、各カセット支持機構２１、２２を同時に移動し、各
カセットＣ１、Ｃ２を各載置台１２ａ、１２ｂの上方に
移動して、次に、各カセットＣ１、Ｃ１をＺ方向に降下
して、各カセットＣ１、Ｃ２を各載置台１２ａ、１２ｂ
に載置することにより行なわれる。なお、各カセットＣ
１、Ｃ２を各載置台１２ａ、１２ｂに載置すると、各カ
セット支持機構２１、２２は、その場から例えば載置台
１１ａ、１１ｂ側に移動して退避する。

【００６６】最後に、図６（ｅ）に示すように、カセッ
ト受渡し装置５０は、載置台１２ａ、１２ｂに載置され
た各カセットＣ１、Ｃ２を装置１内に同時に搬入する
（ステップＳ５）。

【００６７】なお、上述の方法では、各カセットＣ１、
Ｃ２のＵエンド面Ｕの向きを転換してから、各カセット
Ｃ１、Ｃ２の間隔を変位させ、その後各カセットＣ１、
Ｃ２を載置台１２ａ、１２ｂに同時搬送するが、このス
テップＳ２〜Ｓ４の順は適宜変更してもよい。例えば、
各カセットＣ１、Ｃ２を載置台１２ａ、１２ｂに同時搬
送してから、各カセットＣ１、Ｃ２のＵエンド面Ｕの向
きを転換し、ぞの後各カセットＣ１、Ｃ２の間隔を変位
させてもよいし（ステップＳ４−Ｓ２−Ｓ３）、各カセ
ットＣ１、Ｃ２のＵエンド面Ｕの向きを転換してから、
各カセットＣ１、Ｃ２を載置台１２ａ、１２ｂに同時搬
送し、その後各カセットＣ１、Ｃ２の間隔を変位させて
もよい（ステップＳ２−Ｓ４−Ｓ３）。

【００６８】また、（ステップＳ３−Ｓ２−Ｓ４）、
（ステップＳ３−Ｓ４−Ｓ２）、（ステップＳ４−Ｓ３
−Ｓ２）の順で行なうことももちろん可能であるが、こ
れらの場合には、各カセットＣ１、Ｃ２のＵエンド面Ｕ
の向きの転換に先立ち各カセットＣ１、Ｃ２の間隔の変
位を行なうことになる。従って、各カセットＣ１、Ｃ２
のＵエンド面Ｕの向きの転換を、各カセットＣ１、Ｃ２
の間隔が狭い状態（ｐｔ２）で行なうことになり、各カ
セットＣ１、Ｃ２のＵエンド面Ｕの向きの転換の際の各
カセットＣ１、Ｃ２の水平旋回において各カセットＣ
１、Ｃ２が干渉し易くなるので、各カセットＣ１、Ｃ２
の間隔の変位に先立ち各カセットＣ１、Ｃ２のＵエンド
面Ｕの向きの転換を行なうような手順の方が好ましい。

【００６９】さらに、上述の方法では、第１、第２カセ
ットＣ１、Ｃ２のＵエンド面Ｕの向きの転換を行ってか
ら（または、行う前に）ステップＳ３、Ｓ４の処理を行
うようにしているが、例えば、第１カセットＣ１のＵエ
ンド面Ｕの向きの転換を行ない、次に、各カセットＣ
１、Ｃ２を載置台１２ａ、１２ｂに同時搬送し、その後
第２カセットＣ２のＵエンド面Ｕの向きの転換を行な
い、最後に、各カセットＣ１、Ｃ２の間隔を変位させる
ように、各カセットＣ１、Ｃ２のＵエンド面Ｕの転換の
間に、ステップＳ３または／およびＳ４の処理を挟むよ
うにしてもよい。

【００７０】なお、これについては、後述する手動搬入
や後述する各実施例の搬入（自動、手動共）についても
同様に変形実施することが可能である。

【００７１】（ｂ）次に、（自動）搬出の手順を図９の
フローチャート、図１０の動作説明図などを参照して説
明する。まず、図１０（ａ）に示すように、カセット受
渡し装置５０は、装置１内から処理済のカセットＣ１、
Ｃ２を、載置台１２ａ、１２ｂに同時に搬出する（ステ
ップＳ１１）。

【００７２】次に、図１０（ｂ）に示すように、各カセ
ットＣ１、Ｃ２の間隔を、載置台１３ａ、１３ｂに載置
できる間隔（ｐｔ１）に拡げる（ステップＳ１２）。こ
れは、第１、第２カセット支持機構２１、２２が、載置
台１２ａ、１２ｂから各カセットＣ１、Ｃ２を持ち上
げ、上述した自動搬入のステップＳ３と逆に、搬送装置
のリンク機構３４のシリンダ４４のロッド４４ａを伸長
して行なわれる。なお、載置台１２ａ、１２ｂから各カ
セットＣ１、Ｃ２を持ち上げる際は、搬送装置のリンク
機構３４のシリンダ４４のロッド４４ａは収縮された状
態である。

【００７３】次に、各カセットＣ１、Ｃ２のＵエンド面
Ｕの向きを、装置１と反対側に転換する（ステップＳ１
３）。このＵエンド面Ｕの転換は、上述した自動搬入の
ステップＳ２（図７の各動作）と同様である。

【００７４】次に、図１０（ｄ）に示すように、各カセ
ットＣ１、Ｃ２を載置台１３ａ、１３ｂへ同時に搬送さ
せる（ステップＳ１４）。これは上述した自動搬入のス
テップＳ４と同様に、コンベア３７を駆動して行なわれ
る。

【００７５】最後に、載置台１３ａ、１３ｂの第１、第
２カセットＣ１、Ｃ２が、図１０（ｅ）に示すように、
ＡＧＶに同時に受け取られ、後工程に搬送される（ステ
ップＳ１５）。

【００７６】なお、この自動搬出の手順においても、自
動搬入の場合と同様に、ステップＳ１２〜Ｓ１４の手順
の順序は適宜に変更してもよい。なお、これについて
は、後述する手動搬出や後述する各実施例の搬出（自
動、手動共）についても同様に変形実施することが可能
である。

【００７７】また、上述した自動搬入時のステップＳ１
と、この自動搬出時のステップＳ１５とは、請求項１に
記載の発明におけるカセット受渡し過程に、上述した自
動搬入時のステップＳ２〜Ｓ４と、この自動搬出時のス
テップＳ１２〜Ｓ１４とは、請求項１に記載の発明にお
けるカセット搬送過程に、上述した自動搬入時のステッ
プＳ５と、この自動搬出時のステップＳ１１とは、請求
項１に記載の発明におけるカセット搬入／搬出過程にそ
れぞれ相当する。

【００７８】このように、本実施例装置の自動搬入／搬
出処理では、各カセットＣ１、Ｃ２の、載置台１１ａ、
１１ｂから載置台１２ａ、１２ｂへの搬送、及び、載置
台１２ａ、１２ｂから載置台１３ａ、１３ｂへの搬送は
同時に行なわれるので、従来装置に比べて処理のスルー
プットが向上する。また、各カセットＣ１、Ｃ２の間隔
が変位できるので、ＡＧＶによるカセットＣ１、Ｃ２の
受渡し時の各カセットＣ１、Ｃ２の間隔に依存すること
なく、装置１内に搬入／搬出するカセットＣ１、Ｃ２の
間隔を小さくすることができ、装置１のコンパクト化を
図ることができる。

【００７９】〔Ｂ〕請求項２に記載の方法による搬入／
搬出方法。 この請求項２に記載の方法は、主に作業者による手動搬
入／搬出方法に対応するものである。 （ａ）まず、（手動）搬入の手順を図１１のフローチャ
ート、図１２、図１３の動作説明図などを参照して説明
する。

【００８０】まず、作業者により、前工程からの第２カ
セットＣ２が、図１２（ａ）に示すように、載置台１１
ａに載置される（ステップＳ２１）。

【００８１】次に、図１２（ｂ）に示すように、載置台
１１ａに載置された第２カセットＣ２が、載置台１１ｂ
に移動され、載置台１１ｂに載置される（ステップＳ２
２）。これは、図１３（ａ）に示すように、第１カセッ
ト支持機構２１のカセット受台３３をＺ方向に上昇し
て、第２カセットＣ２を載置台１１ａから若干浮かせ、
図１３（ｂ）に示すように、コンベア３７を駆動して第
２カセットＣ２を載置台１１ｂの上方に移動させ、そし
て、図１３（ｃ）に示すように、第１カセット支持機構
２１のカセット受台３３をＺ方向に降下して、第２カセ
ットＣ２を載置台１１ｂに載置して行なわれる。なお、
この動作が完了すると、図１３（ｄ）に示すように、各
カセット支持機構２１、２２の各カセット受部３３、３
３が、載置台１１ａ、１１ｂの下方に位置するように、
各カセット支持機構２１、２２を元の位置に戻す。

【００８２】次に、作業者により、前工程からの第１カ
セットＣ１が、図１２（ｃ）に示すように、載置台１１
ａに載置される（ステップＳ２３）。

【００８３】次に、載置台１１ａ、１１ｂに載置された
各カセットＣ１、Ｃ２のＵエンド面Ｕを転換し（ステッ
プＳ２４）、各カセットＣ１、Ｃ２の間隔をｐｔ２に変
位し（ステップＳ２５）、各カセットＣ１、Ｃ２を載置
台１２ａ、１２ｂに同時に搬送し（ステップＳ２６）、
載置台１２ａ、１２ｂの各カセットＣ１、Ｃ２を装置１
内に同時に搬入する（ステップＳ２７）のであるが、こ
れは、上述した自動搬入のステップＳ２〜Ｓ５（図５、
図６（ｂ）〜（ｅ）参照）と同じであるのでここでの詳
述は省略する。

【００８４】なお、上述では、作業者は載置台１１ａを
介して、各カセットＣ１、Ｃ２を１個ずつ受渡しするよ
うに構成しているが、載置台１１ｂを介して、各カセッ
トＣ１、Ｃ２を１個ずつ受渡すように構成されている場
合であっても本実施例装置は適用することができる。

【００８５】この場合の手順は、上述ステップＳ２１〜
Ｓ２３に変えて、まず、作業者により、前工程からの第
１カセットＣ１が、図１４（ａ）に示すように、載置台
１１ｂに載置され、次に、図１４（ｂ）に示すように、
載置台１１ｂに載置された第１カセットＣ１が、載置台
１１ａに移動されて載置台１１ａに載置され、次に、作
業者により、前工程からの第２カセットＣ２が、図１４
（ｃ）に示すように、載置台１１ｂに載置されることに
なる。

【００８６】なお、載置台１１ｂに載置された第１カセ
ットＣ１が、載置台１１ａに移動され、載置台１１ａに
載置される動作は、図１５（ａ）に示すように、コンベ
ア３７を駆動して、第１カセット支持機構２１を載置台
１１ｂの下方に移動し、次に、図１５（ｂ）に示すよう
に、第１カセット支持機構２１のカセット受台３３をＺ
方向に上昇して、第１カセットＣ１を載置台１１ｂから
若干浮かせ、次に、図１５（ｃ）に示すように、コンベ
ア３７を駆動して第１カセットＣ１を載置台１１ａの上
方に移動させ、そして、図１５（ｄ）に示すように、第
１カセット支持機構２１のカセット受台３３をＺ方向に
降下して、第１カセットＣ１を載置台１１ａに載置して
行なわれる。

【００８７】なお、図２において、コンベア３７を延長
し、右側のストッパーＳＴをさらに右側にずらせて、各
カセット支持機構２１、２２の移動範囲を、第２カセッ
ト支持機構２２が、載置台１１ａの下方まで移動できる
ように構成し、載置台１１ｂに載置された第１カセット
Ｃ１が、載置台１１ａに移動され、載置台１１ａに載置
される動作を、図１６（ａ）に示すように、第２カセッ
ト支持機構２２のカセット受台３３をＺ方向に上昇し
て、第１カセットＣ１を載置台１１ｂから若干浮かせ、
次に、図１６（ｂ）に示すように、コンベア３７を駆動
して第１カセットＣ１を載置台１１ａの上方に移動さ
せ、そして、図１６（ｃ）に示すように、第２カセット
支持機構２２のカセット受台３３をＺ方向に降下して、
第１カセットＣ１を載置台１１ａに載置して行なっても
よい。また、このときには、上記図１６（ｃ）の動作完
了後、図１６（ｄ）に示すように、各カセット支持機構
２１、２２の各カセット受部３３、３３が、載置台１１
ａ、１１ｂの下方に位置するように、各カセット支持機
構２１、２２を元の位置に戻すことになる。

【００８８】（ｂ）次に、（手動）搬出の手順を図１７
のフローチャート、図１８の動作説明図などを参照して
説明する。まず、装置１内から処理済のカセットＣ１、
Ｃ２を、載置台１２ａ、１２ｂに同時に搬出し（ステッ
プＳ３１）、次に、各カセットＣ１、Ｃ２の間隔を載置
台１３ａ、１３ｂに載置できる間隔（ｐｔ１）に拡げ
（ステップＳ３２）、次に、各カセットＣ１、Ｃ２のＵ
エンド面Ｕの向きを装置１と反対側に転換し（ステップ
Ｓ３３）、そして、各カセットＣ１、Ｃ２を載置台１３
ａ、１３ｂへ同時に搬送させる（ステップＳ３４）ので
あるが、これは、上述した自動搬出のステップＳ１１〜
Ｓ１４（図９、図１０（ａ）〜（ｄ）参照）と同じであ
るのでここでの詳述は省略する。

【００８９】ステップＳ３４の動作が完了、すなわち、
図１８（ａ）に示すように、各カセットＣ１、Ｃ２が載
置台１３ａ、１３ｂに載置された状態において、作業者
により、第２カセットＣ２が、図１８（ｂ）に示すよう
に、載置台１３ｂから取り出される（ステップＳ３
５）。

【００９０】次に、図１８（ｃ）に示すように、載置台
１３ａに載置されている第１カセットＣ１が、載置台１
３ｂに移動され、載置台１３ｂに載置される（ステップ
Ｓ３６）。これは、例えば、コンベア３７を駆動して第
２カセット支持機構２２を、載置台１３ａの下方に移動
し、第２カセット支持機構２２のカセット受台３３をＺ
方向に上昇して、第１カセットＣ１を載置台１３ａから
若干浮かせ、コンベア３７を駆動して第１カセットＣ１
を載置台１３ｂの上方に移動させ、そして、第２カセッ
ト支持機構２２のカセット受台３３をＺ方向に降下し
て、第１カセットＣ１を載置台１３ｂに載置して行なわ
れる。なお、第１カセット支持機構２１を載置台１３ｂ
の下方にまで移動できるように構成した場合には、載置
台１３ａの下方で第１カセット支持機構２１のカセット
受台３３をＺ方向に上昇して、第１カセットＣ１を載置
台１３ａから若干浮かせ、コンベア３７を駆動して第１
カセットＣ１を載置台１３ｂの上方に移動させ、そし
て、第１カセット支持機構２１のカセット受台３３をＺ
方向に降下して、第１カセットＣ１を載置台１３ｂに載
置して行なうことも可能である。

【００９１】最後に、作業者により、第１カセットＣ１
が、図１８（ｄ）に示すように、載置台１３ｂから取り
出される（ステップＳ３７）。

【００９２】なお、上述では、作業者は載置台１３ｂを
介して、各カセットＣ１、Ｃ２を１個ずつ取り出すよう
に構成しているが、載置台１３ａを介して、各カセット
Ｃ１、Ｃ２を１個ずつ取り出すように構成されている場
合であっても本実施例装置は適用することができる。

【００９３】この場合の手順は、上述ステップＳ３５〜
Ｓ３７に変えて、まず、作業者により、第１カセットＣ
１が載置台１３ａから取り出され、次に、載置台１３ｂ
に載置された第２カセットＣ２が、載置台１３ａに移動
されて載置台１３ａに載置され、次に、作業者により、
第２カセットＣ２が載置台１３ａから取り出されること
になる。また、この場合の第２カセットＣ２の移動動作
は、第１カセット支持機構２１または第２カセット支持
機構２２を適宜に使用して行うことが可能である。

【００９４】なお、上述した手動搬入時のステップＳ２
１〜Ｓ２３と、この手動搬出時のステップＳ３５〜３７
とは、請求項２に記載の発明におけるカセット受渡し過
程に相当する。

【００９５】このように、本実施例装置では、手動搬入
／搬出においても、自動搬入／搬出の場合と同様に、処
理のスループットの向上が図れるとともに、装置のコン
パクト化を図ることができる。

【００９６】なお、上述の実施例の搬送装置では、間隔
変位手段をリンク機構３４で構成し、各カセット支持機
構２１、２２を相互に接離して各カセットＣ１、Ｃ２の
間隔を変位するように構成したが、例えば、一方のカセ
ット支持機構２１（または２２）を支持台２３に固定
し、他方のカセット支持機構２２（または２１）をシリ
ンダのロッドの収縮・伸長で、支持台２３に固定された
カセット支持機構２１（または２２）に対して接離して
各カセットＣ１、Ｃ２の間隔を変位するように構成して
もよい。

【００９７】次に、本発明の第二実施例装置の構成を図
１９を参照して説明する。図１９は、第二実施例装置の
構成を示す平面図である。

【００９８】この第二実施例装置は、載置台１１ａ、１
１ｂ、１２ａ、１２ｂ、１３ａ、１３ｂを無くし、ｉ
１、ｉ２、ｏ１、ｏ２におけるＡＧＶ等との各カセット
Ｃ１、Ｃ２の受渡しと、Ｉ／Ｏ１、Ｉ／Ｏ２におけるカ
セット受渡し装置との各カセットＣ１、Ｃ２の受渡しと
を、各カセット支持機構２１、２２のカセット受台３
３、３３に載置されて行われるように構成したものであ
る。

【００９９】すなわち、各カセット支持機構２１、２２
のカセット受台３３、３３を、インターフェースステー
ジ２の上方に位置させた状態で、各カセット支持機構２
１、２２の軸３２が、溝１４を通って移動できるように
構成されている。この溝１４は、第２カセット支持機構
２２のカセット受台３３がｉ１に位置できる状態と、第
１カセット支持機構２１のカセット受台３３がｏ２に位
置できる状態との間で、各カセット支持機構２１、２２
が同期して移動できるように設けられている。

【０１００】また、この実施例のカセット受渡し装置６
０は、図２０に示すように構成されている。上記第一実
施例のカセット受渡し装置５０は、各カセットＣ１、Ｃ
２の底部を支持してカセットの搬入／搬出を行うのに対
して、このカセット受渡し装置６０は、各カセットＣ
１、Ｃ２のツバＴをハンガー６６で掴んでカセットの搬
入／搬出を行う。

【０１０１】具体的には、基台６１に、Ｚ方向に昇降自
在の軸６２が取り付けられ、この軸６２の上部にアーム
支持台６３が取り付けられ、また、このアーム支持台６
３にＹ方向に移動自在の移動部材６４が取り付けられ、
さらに、この移動部材６４にアーム６５の基端部が取り
付けられ、また、開閉自在のハンガー６６が２組取り付
けられた駆動部６７がアーム６５の先端部に取り付けら
れた構成である。

【０１０２】このカセット受渡し装置６０の搬入動作
は、軸６２をＺ方向に上昇させ、アーム６５を伸長させ
て、Ｉ／Ｏ１、Ｉ／Ｏ２に位置している各カセットＣ
１、Ｃ２の上方に駆動部６７を移動させ、各ハンガー６
６を開いた状態で、軸６２をＺ方向に降下させて各ハン
ガー６６を降下させ、各ハンガー６６が各カセットＣ
１、Ｃ２のツバＴの側部に位置した状態で、各ハンガー
６６を閉じて各カセットＣ１、Ｃ２のツバＴを各ハンガ
ー６６で掴む。そして、軸６２をＺ方向に上昇させ、ア
ーム６５を収縮して各カセットＣ１、Ｃ２を装置１内に
搬入する。なお、各カセットＣ１、Ｃ２の搬出の際に
は、上記搬入と逆の手順で行われる。

【０１０３】第二実施例装置のその他の構成は、上述し
た第一実施例装置と同様であるので、ここでの詳述は省
略する。

【０１０４】次に、この第二実施例装置によるカセット
の搬入／搬出方法を簡単に説明する。自動搬入では、ま
ず、図２１に示すように、各カセット支持機構２１、２
２が、ｉ１、ｉ２に位置している状態で、ＡＧＶによ
り、各カセットＣ１、Ｃ２が各カセット支持機構２１、
２２のカセット受台３３、３３の上に載置される。次
に、各カセットＣ１、Ｃ２のＵエンド面の向きの転換を
行ない、各カセットＣ１、Ｃ２の間隔をｐｔ２に縮め、
各カセットＣ１、Ｃ２をＩ／Ｏ１、Ｉ／Ｏ２に同時に搬
送する。そして、各カセット支持機構２１、２２のカセ
ット受台３３、３３に載置された状態（図２１参照）
で、各カセットＣ１、Ｃ２が、カセット受渡し装置６０
により装置１内に搬入される。

【０１０５】また、自動搬出では、まず、図２１に示す
ように、各カセット支持機構２１、２２が、Ｉ／Ｏ１、
Ｉ／Ｏ２に位置している状態で、カセット受渡し装置６
０により、各カセットＣ１、Ｃ２が各カセット支持機構
２１、２２のカセット受台３３、３３の上に載置され
る。次に、各カセットＣ１、Ｃ２の間隔をｐｔ１に拡
げ、各カセットＣ１、Ｃ２のＵエンド面の向きの転換を
行ない、各カセットＣ１、Ｃ２をｏ１、ｏ２に同時に搬
送する。そして、各カセット支持機構２１、２２のカセ
ット受台３３、３３に載置された状態（図２１参照）
で、各カセットＣ１、Ｃ２が、ＡＧＶにより取り出され
る。

【０１０６】また、手動搬入では、まず、図２２（ａ）
に示すように、第２カセット支持機構２２をｉ１に位置
させた状態で、図２２（ｂ）に示すように、作業者によ
り、ｉ１を介して第２カセット支持機構２２のカセット
受台３３の上に第２カセットＣ２が載置され、次に、図
２２（ｃ）に示すように、各カセット支持機構２１、２
２を移動して、第１、第２カセット支持機構２１、２２
をｉ１、ｉ２に位置させた状態で、図２２（ｄ）に示す
ように、作業者により、ｉ１を介して第１カセット支持
機構２１のカセット受台３３の上に第１カセットＣ１が
載置される。以後は、上述した自動搬入と同様にして各
カセットＣ１、Ｃ２が装置１内に搬入される。

【０１０７】また、手動搬出では、上述した自動搬出と
同様にして、図２３（ａ）に示すように、各カセットＣ
１、Ｃ２の間隔がｐｔ１に拡げられ、Ｕエンド面が転換
されてｏ１、ｏ２に搬送された状態で、図２３（ｂ）に
示すように、第２カセット支持機構２２のカセット受台
３３に載置された第２カセットＣ２が、作業者により、
ｏ２を介して取り出され、次に、図２３（ｃ）に示すよ
うに、各カセット支持機構２１、２２を移動して、第１
カセット支持機構２１をｏ２に位置させた状態で、図２
３（ｄ）に示すように、第１カセット支持機構２１のカ
セット受台３３に載置された第１カセットＣ１が、作業
者により、ｏ２を介して取り出される。

【０１０８】この第二実施例装置においても上記第一実
施例装置と同様の効果が得られる。なお、上述の各搬入
／搬出の各カセットＣ１、Ｃ２のＵエンド面の転換にお
いて、各カセットＣ１、Ｃ２の水平旋回中に各カセット
Ｃ１、Ｃ２が干渉しない場合には、図２１に示す状態
で、各カセットＣ１、Ｃ２のＵエンド面の転換が行え、
また、本実施例では、各カセットＣ１、Ｃ２を載置台に
載置する必要がないので、各カセット支持機構２１、２
２は、カセット受台３３、３３をＺ方向に昇降させる機
構を設ける必要がない。

【０１０９】また、上述では、手動搬入の際、各カセッ
トＣ１、Ｃ２は、ｉ１を介して受け渡しされているが、
各カセットＣ１、Ｃ２は、ｉ２を介して受け渡しする場
合には、図２４（ａ）に示すように、第１カセット支持
機構２１をｉ２に位置させた状態で、図２４（ｂ）に示
すように、作業者により、ｉ２を介して第１カセット支
持機構２１のカセット受台３３の上に第１カセットＣ１
が載置され、次に、図２４（ｃ）に示すように、各カセ
ット支持機構２１、２２を移動して、第１、第２カセッ
ト支持機構２１、２２をｉ１、ｉ２に位置させた状態
で、図２４（ｄ）に示すように、作業者により、ｉ２を
介して第２カセット支持機構２２のカセット受台３３の
上に第２カセットＣ２が載置されることにより行われ
る。従って、この場合には、図２５（ａ）に示すよう
に、溝１４は第１カセット支持機構２１がｉ１まで位置
できるように設けていればよく、図１９に比べてインタ
ーフェースステージ２のＸ方向の寸法を小さくすること
ができる。

【０１１０】また、上述では、手動搬出の際、各カセッ
トＣ１、Ｃ２は、ｏ２を介して取り出されているが、各
カセットＣ１、Ｃ２は、ｏ１を介して取り出す場合に
は、図２６（ａ）に示すように、各カセットＣ１、Ｃ２
がｏ１、ｏ２に搬送された状態で、図２６（ｂ）に示す
ように、第１カセット支持機構２１のカセット受台３３
に載置された第１カセットＣ１が、作業者により、ｏ１
を介して取り出され、次に、図２６（ｃ）に示すよう
に、各カセット支持機構２１、２２を移動して、第２カ
セット支持機構２２をｏ１に位置させた状態で、図２６
（ｄ）に示すように、第２カセット支持機構２２のカセ
ット受台３３に載置された第２カセットＣ２が、作業者
により、ｏ１を介して取り出されることにより行われ
る。従って、この場合には、図２５（ｂ）に示すよう
に、溝１４は第２カセット支持機構２２がｏ２まで位置
できるように設けていればよく、図１９に比べてインタ
ーフェースステージ２のＸ方向の寸法を小さくすること
ができる。

【０１１１】また、図２７に示すように、上述の第２実
施例装置のＩ／Ｏ１、Ｉ／Ｏ２に、載置台１２ａ、１２
ｂを設けるとともに、各載置台１２ａ、１２ｂと装置１
内とを連通する溝１５ａ、１５ｂを設けてもよい。この
場合には、カセット受渡し装置としては、第一実施例装
置のカセット受渡し装置５０が用いられる。

【０１１２】次に、本発明の第三実施例装置の構成を図
２８を参照して説明する。図２８（ａ）は、第三実施例
装置のｉ１、ｉ２付近の構成を示す平面図であり、図２
８（ｂ）は、第三実施例装置のｏ１、ｏ２付近の構成を
示す平面図である。

【０１１３】この第三実施例装置では、ｉ２に載置台１
１ｂを設けるとともに、ｏ１に載置台１３ａを設けてい
る。また、Ｉ／Ｏ１、Ｉ／Ｏ２には、載置台１２ａ、１
２ｂを設けても良いし設けなくとも良い。

【０１１４】例えば、ｉ１を介して各カセットＣ１、Ｃ
２の受渡しを行う手動搬入の場合、まず、各カセット支
持機構２１、２２を移動して第１、第２カセット支持機
構２１、２２をｉ１、ｉ２に位置させた状態で、第１カ
セット支持機構２１のカセット受台３３で、第２カセッ
トＣ２を受け取り、次に、各カセット支持機構２１、２
２を移動して、第１カセット支持機構２１をｉ２に位置
させ、第２カセットＣ２を載置台１１ｂに載置する。そ
して、各カセット支持機構２１、２２を移動して第１、
第２カセット支持機構２１、２２を再びｉ１、ｉ２に位
置させ、第２カセット支持機構２２のカセット受台３３
をＺ方向に上昇させて、載置台１１ｂの第２カセットＣ
２を載置台１１ｂから持ち上げるとともに、ｉ１に位置
している第１カセット支持機構２１のカセット受台３３
で第１カセットＣ１を受け取る。このように、先に受け
取った第２カセットＣ２を一時載置台１１ｂに載置でき
るので、第２カセットＣ２を受け取った後でも、各カセ
ット支持機構２１、２２は自由に移動できる。上記第二
実施例では、ｉ１を介して各カセットＣ１、Ｃ２の受渡
しを行う手動搬入の場合、第２カセット支持機構２２を
ｉ１に位置させる必要があり、そのため、インターフェ
ースステージ２のＸ方向の寸法が大きくなるが、この第
三実施例では、そのような不都合が回避される。

【０１１５】また、ｏ２を介して各カセットＣ１、Ｃ２
を取り出す手動搬出の場合、まず、間隔がｐｔ１に拡げ
られ、Ｕエンド面の転換が行われた各カセットＣ１、Ｃ
２がｏ１、ｏ２に搬送された状態で、ｏ２を介して第２
カセットＣ２が取り出された後、第１カセット支持機構
２１のカセット受台３３で支持している第１カセットＣ
１を一旦載置台１３ａに載置し、各カセット支持機構２
１、２２を移動して第２カセット支持機構２２をｏ１に
位置させた状態で、第２カセット支持機構２２のカセッ
ト受台３３で、第１カセットＣ１を載置台１３ａから持
ち上げ、各カセット支持機構２１、２２を移動して第
１、第２カセット支持機構２１、２２をｏ１、ｏ２に位
置させ、その状態で第１カセットＣ１が、ｏ２を介して
第２カセット支持機構２２のカセット受台３３から取り
出される。このように、後に取り出される第１カセット
Ｃ１を一時載置台１３ａに載置できるので、第１カセッ
トＣ１をｏ２に移動させる際、各カセット支持機構２
１、２２が自由に移動できる。上記第二実施例では、ｏ
２を介して各カセットＣ１、Ｃ２を取り出す手動搬出の
場合、第１カセット支持機構２１をｏ２に位置させる必
要があり、そのため、インターフェースステージ２のＸ
方向の寸法が大きくなるが、この第三実施例では、その
ような不都合が回避される。

【０１１６】なお、これらのことは、上記第一実施例の
ように、ｉ１、ｉ２に載置台１１ａ、１１ｂを設けた場
合にも同様の効果がある。

【０１１７】また、上述した各実施例以外にも、例え
ば、ｉ２にのみ載置台１１ｂを設けても、ｏ１にのみ載
置台１３ａを設けてもよいし、ｉ１、ｉ２、ｏ１、ｏ２
に載置台１１ａ、１１ｂ、１３ａ、１３ｂを設け、Ｉ／
Ｏ１、Ｉ／Ｏ２には載置台を設けないように構成しても
よい。

【０１１８】次に、本発明の第四実施例装置の構成を図
２９を参照して説明する。図２９は、第四実施例装置の
構成を示す平面図である。

【０１１９】上述した第一ないし第三実施例は、第１、
第２カセット受渡し位置を２組（ｉ１、ｉ１とｏ１、ｏ
２）を設け、第１、第２カセットＣ１、Ｃ２の搬入／搬
出を行う装置であるが、この第四実施例装置は、第１、
第２カセット受渡し位置を１組（ｉ／ｏ１、ｉ／ｏ２）
を設け、第１、第２カセットＣ１、Ｃ２の搬入または搬
出を行う装置である。すなわち、基板処理装置１の搬入
口と搬出口とが別の装置に本実施例は適用できる。

【０１２０】なお、各カセット受渡し位置ｉ／ｏ１、ｉ
／ｏ２には、載置台１６ａ、１６ｂが設けられ、また、
インターフェースステージ２には、上述した第一実施例
で説明した搬送装置が備えられている。

【０１２１】例えば、各カセットＣ１、Ｃ２の搬入の場
合には、ｉ／ｏ１、ｉ／ｏ２で各カセットＣ１、Ｃ２を
受け取り、各カセットＣ１、Ｃ２のＵエンド面を転換
し、間隔をｐｔ２に縮めて、各カセットＣ１、Ｃ２をＩ
／Ｏ１、Ｉ／Ｏ２に同時に搬送し、装置１内に同時に搬
入する。なお、その他、自動搬入、手動搬入時の詳細な
手順は、上述した第一実施例の場合と同様であるので、
ここでの詳述は省略する。

【０１２２】また、各カセットＣ１、Ｃ２の搬出の場合
には、装置１内から各カセットＣ１、Ｃ２をＩ／Ｏ１、
Ｉ／Ｏ２に同時に搬出し、間隔をｐｔ１に拡げ、各カセ
ットＣ１、Ｃ２のＵエンド面を転換して、各カセットＣ
１、Ｃ２をｉ／ｏ１、ｉ／ｏ２に同時に搬送し、各カセ
ットＣ１、Ｃ２を取り出す。なお、その他、自動搬出、
手動搬出時の詳細な手順は、上述した第一実施例の場合
と同様であるので、ここでの詳述は省略する。

【０１２３】また、この第四実施例装置のような構成
で、各カセットＣ１、Ｃ２の搬入／搬出、すなわち、各
カセットＣ１、Ｃ２が前工程から〔ｉ／ｏ１、ｉ／ｏ
２〕、〔Ｉ／Ｏ１、Ｉ／Ｏ〕を経て装置１内に搬入する
とともに、各カセットＣ１、Ｃ２が装置１内から〔Ｉ／
Ｏ１、Ｉ／Ｏ〕、〔ｉ／ｏ１、ｉ／ｏ２〕を経て後工程
に搬出することももちろん可能である。

【０１２４】なお、この第四実施例装置においても、第
二、第三実施例やその変形例のように、載置台１６ａ、
１６ｂ、１７ａ、１７ｂを設けなくてもよいし、載置台
１６ａ、１６ｂ、１７ａ、１７ｂを選択的に設けるよう
にしてもよい。その場合の搬入／搬出手順は、各実施例
やその変形例で説明したようにして行われる。

【０１２５】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１に記載の方法によれば、主に自動搬入／搬出におい
て、第１、第２カセット受渡し位置と第１、第２カセッ
ト搬入／搬出位置との間で、第１、第２カセットを略同
時に搬送するので、処理のスリープットが向上し、ま
た、各カセットの間隔を変位するので、自動搬送装置等
の各カセットの受渡し時の各カセットの間隔に依存する
ことなく、装置に搬入される各カセットの間隔を任意に
設定できるので、装置のコンパクト化を図ることができ
る。

【０１２６】請求項２に記載の方法によれば、主に手動
搬入／搬出において、請求項１と同様に処理のスループ
ットが向上するとともに、装置のコンパクト化が図れ
る。

【０１２７】請求項３に記載の装置によれば、上記請求
項１に記載の方法を好適に実施することができる。

【０１２８】請求項４に記載の発明によれば、上記請求
項２に記載の方法を好適に実施することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一実施例に係る基板処理装置のカセ
ット搬入／搬出装置の概略構成を示す平面図である。

【図２】図１のＡ−Ａ矢視断面図である。

【図３】搬送装置の構成を示す平面図である。

【図４】カセット受渡し装置の構成を示す斜視図であ
る。

【図５】第一実施例装置の自動搬入時の手順を示すフロ
ーチャートである。

【図６】第一実施例装置の自動搬入時の手順を説明する
ための図である。

【図７】第一実施例装置の自動搬入時の手順を説明する
ための図である。

【図８】装置内に取り込まれる各カセットのＵエンド面
の向きを示す図である。

【図９】第一実施例装置の自動搬出時の手順を示すフロ
ーチャートである。

【図１０】第一実施例装置の自動搬出時の手順を説明す
るための図である。

【図１１】第一実施例装置の手動搬入時の手順を示すフ
ローチャートである。

【図１２】第一実施例装置の手動搬入時の手順を説明す
るための図である。

【図１３】第一実施例装置の手動搬入時の手順を説明す
るための図である。

【図１４】第一実施例装置の手動搬入時の手順を説明す
るための図である。

【図１５】第一実施例装置の手動搬入時の手順を説明す
るための図である。

【図１６】第一実施例装置の手動搬入時の手順を説明す
るための図である。

【図１７】第一実施例装置の手動搬出時の手順を示すフ
ローチャートである。

【図１８】第一実施例装置の手動搬出時の手順を説明す
るための図である。

【図１９】第二実施例装置の構成を示す平面図である。

【図２０】第二実施例装置のカセット受渡し装置の構成
を示す図である。

【図２１】第二実施例装置の自動搬入／搬出時の手順を
説明するための図である。

【図２２】第二実施例装置の手動搬入時の手順を説明す
るための図である。

【図２３】第二実施例装置の手動搬出時の手順を説明す
るための図である。

【図２４】第二実施例装置の手動搬入時の手順を説明す
るための図である。

【図２５】第二実施例装置の変形例の構成を示す平面図
である。

【図２６】第二実施例装置の手動搬出時の手順を説明す
るための図である。

【図２７】第二実施例装置の変形例の構成を示す平面図
である。

【図２８】第三実施例装置の構成を示す平面図である。

【図２９】第四実施例装置の構成を示す平面図である。

【図３０】従来装置の概略構成を示す平面図である。

【図３１】カセットの構成を示す斜視図である。

【図３２】従来装置の問題点を説明するための図であ
る。

【図３３】従来装置の問題点を説明するための図であ
る。

【符号の説明】

１ … 基板処理装置 ２ … インターフェースステージ ３ … カセット搬入／搬出口 ２１ … 第１カセット支持機構 ２２ … 第２カセット支持機構 ２３ … 支持台 ３１ … 駆動部 ３２ … 軸 ３３ … カセット受台 ３４ … リンク機構 ３６ … モータ ３７ … コンベア ５０、６０ … カセット受渡し装置 Ｃ１ … 第１カセット Ｃ２ … 第２カセット

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板処理装置による処理の前工程または
   後工程とインターフェースステージの第１カセット受渡
   し位置、第２カセット受渡し位置との間、前記第１、第
   ２カセット受渡し位置と前記基板処理装置の搬入／搬出
   口前の第１カセット搬入／搬出位置、第２カセット搬入
   ／搬出位置との間、前記第１、第２カセット搬入／搬出
   位置と前記基板処理装置内との間で、複数枚の基板が収
   納された第１カセットと第２カセットとをそれぞれ受け
   渡す基板処理装置のカセット搬入／搬出方法であって、 前記前工程または後工程と前記第１、第２カセット受渡
   し位置との間で、前記第１、第２カセットを略同時に受
   け渡すカセット受渡し過程と、 前記第１、第２カセット受渡し位置と前記第１、第２カ
   セット搬入／搬出位置との間で、前記第１、第２カセッ
   トを略同時に搬送するカセット搬送過程と、 前記第１、第２カセット搬入／搬出位置と前記基板処理
   装置内との間で、前記第１、第２カセットを略同時に搬
   入／搬出するカセット搬入／搬出過程と、 を備え、 前記カセット搬送過程には、前記第１、第２カセット受渡し位置から前記第１、第２
   カセット搬入／搬出位置まで搬送するときには前記第
   １、第２カセットの間隔を縮め、前記第１、第２カセッ
   ト搬入／搬出位置から前記第１、第２カセット受渡し位
   置まで搬送するときには前記第１、第２カセットの間隔
   を拡げ る過程と、 前記第１、第２カセットの、各カセットに収納される各
   基板の処理面が向けられる側面（以下、「Ｕエンド面」
   という）の向きを転換させる過程と、 を含むことを特徴とする基板処理装置のカセット搬入／
   搬出方法。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の基板処理装置のカセッ
   ト搬入／搬出方法において、 前記カセット受渡し過程は、前記前工程または後工程
   と、前記第１または第２カセット受渡し位置のいずれか
   一方のカセット受渡し位置との間で、前記第２カセット
   と第１カセットを単独で受け渡す過程を２回行なうとと
   もに、１回目の受渡しと２回目の受渡しとの間に、前記
   第１カセット受渡し位置と第２カセット受渡し位置との
   間で、前記第１または第２カセット受渡し位置の第２ま
   たは第１カセットの移動を行なうものである基板処理装
   置のカセット搬入／搬出方法。
3. 【請求項３】 基板処理装置による処理の前工程または
   後工程とインターフェースステージの第１カセット受渡
   し位置、第２カセット受渡し位置との間、前記基板処理
   装置の搬入／搬出口前の第１カセット搬入／搬出位置、
   第２カセット搬入／搬出位置と前記基板処理装置内との
   間で、複数枚の基板が収納された第１カセットと第２カ
   セットとをそれぞれ受け渡すとともに、前記第１、第２
   カセット受渡し位置と前記第１、第２カセット搬入／搬
   出位置との間で、前記第１、第２カセットを搬送する基
   板処理装置のカセット搬入／搬出装置において、 前記第１カセットを支持して、そのカセットのＵエンド
   面の向きを転換させる第１カセット支持手段と、 前記第２カセットを支持して、そのカセットのＵエンド
   面の向きを転換させる第２カセット支持手段と、 前記第１カセット支持手段と前記第２カセット支持手段
   とを、前記第１、第２カセット受渡し位置と、前記第
   １、第２カセット搬入／搬出位置との間で、略同時に移
   動させる移動手段と、前記第１、第２カセット受渡し位置から前記第１、第２
   カセット搬入／搬出位置まで搬送するときには前記第１
   カセット支持手段と前記第２カセット支持手段との間隔
   を縮め、前記第１、第２カセット搬入／搬出位置から前
   記第１、第２カセット受渡し位置まで搬送するときには
   前記第１カセット支持手段と前記第２カセット支持手段
   との間隔を拡げ る間隔変位手段と、 を備えたことを特徴とする基板処理装置のカセット搬入
   ／搬出装置。
4. 【請求項４】 請求項３に記載の基板処理装置のカセッ
   ト搬入／搬出装置において、 前記移動手段は、前記第１、第２カセット支持手段で、
   前記第１または第２カセットのいずれか一方のカセット
   を、前記第１カセット受渡し位置と第２カセット受渡し
   位置との間で搬送可能に構成したことを特徴とする基板
   処理装置のカセット搬入／搬出装置。