JP2503555B2 - 半導体ウエ―ハ搬送移載装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、走行路を走行する支持走行体に載せられ
た半導体ウエーハを、処理装置との間に移載するように
した半導体ウエーハ搬送移載装置に関する。

〔従来の技術〕

第５図及び第６図は従来の半導体ウエーハ搬送移載装
置の斜視図及び一部断面した側面図である。１は半導体
ウエーハ（以下「ウエーハ」と称する）、２は走行路、
３はこの走行路内に配設されたリニアモータで、一次側
の固定子４と二次側の移動子５とからなる。６は移動子
５に固着されて外部に出され、上辺部の受座6aにウエー
ハ１を載せ走行する支持走行体で、切欠き部6bが設けら
れている。

次に、７は支持走行体６とウエーハ処理装置12との間
にウエーハ１移載のための移載手段で、次にように構成
されている。８はウエーハ１を持上げて移す移替え体、
９はこの移替え体を上下動及び180°回動する駆動装置
で、例えば、空気圧シリンダ及び電動機を備えている。
10は移替え体８の先端上に取付けられた吸盤で、吸引管
11を介し真空吸引源（図示は略す）に連通されている。

処理装置12には上部に移送ベルト手段13が配設されて
おり、また、上部前端部には切欠き部14が設けられ、回
動し上下動する移替え体８を逃がすようにしている。

上記従来装置の動作は、次のようになる。ウエーハ１
を載せた支持走行体６をリニアモータ３により、前の処
理装置（図示は略す）から搬送し、処理装置12の前に停
止させる。このとき、移替え体８は第６図に示すように
下降位置にあり、支持走行体８に当らないようにしてい
る。駆動装置９により移替え体８を上昇させ、支持走行
体６の切欠き部6aを通り吸盤10がウエーハ１に接する
と、すぐに真空吸引源により吸引して吸着保持する。こ
うして、移替え体８が支持走行体６の上方に至ると上昇
を停止し、180°回動する。こうして、ウエーハ１は移
送ベルト手段13の上方になる。つづいて、移替え体８を
下降させ、ウエーハ１が移送ベルト手段13上に接する
と、すぐに吸盤10による吸引を停止し、さらに移替え体
８を下降させる。これにより、ウエーハ１は移送ベルト
手段13上に載り、処理装置１に送込まれる。

処理装置12で処理されたウエーハ１の、移送ベルト手
段13上から、移載手段７による支持走行体６への移載
は、上記移送ベルト手段13への移載とは逆の動作により
行われる。こうして支持走行体６へ載せられたウエーハ
１は、次の処理装置（図示は略す）へ搬送される。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のような従来のウエーハの搬送移載装置では、ウ
エーハ１は支持走行体６上に載せただけで搬送してお
り、加速度が大きいとウエーハ１が脱落するので、急加
速できないという問題点があつた。このため、緩加速す
るのに、リニアモータの固定子を走行方向に長くする必
要があつた。

また、ウエーハ１を載せた支持走行体６が走行中に停
電があつたり、走行の終点でストツパに当つたりする
と、ウエーハが脱落するという問題点があつた。

この発明は、このような問題点を解決するためになさ
れたもので、ウエーハを載せた支持走行体が、走行中外
部から吸引エネルギの供給をうけることなく、ウエーハ
を吸着支持し脱落が防止され、急加速や急減速が可能と
なりリニアモータの固定子長さを短縮できるウエーハ搬
送移載装置を得ることを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明にかかるウエーハ搬送移載装置は、支持走行
体のウエーハの受座に吸引穴を設け、受座の下方に吸着
手段を装着し、吸着手段は吸引穴に通じる可変空気室を
設けており、移替え体の下降により連動し駆動伝導機構
を介し可変空気室の容積を増大させ、内部空気の負圧発
生によりウエーハを受座に吸着支持し、支持走行体が走
行されるようにし、移替え体の上昇により連動し駆動伝
導機構を介し可変空気室の容積を縮少させ、内部空気の
加圧によりウエーハの吸着を解除するようにしたもので
ある。

〔作用〕

この発明においては、移替え体によりウエーハが支持
走行体に載せられ、移替え体が下降すると、この下降運
動に連動し吸着手段の可変空気室の容積が増大され、負
圧を生じウエーハを支持走行体の受座に吸着支持し、支
持走行体の急加速、急減速を可能にする。支持走行体が
停止し、移替え体が移載のため上昇すると、この上昇運
動に連動し吸着手段の可変空気室の容積が減少され、加
圧してウエーハの吸着を解除する。

〔実施例〕

第１図及び第２図はこの発明によるウエーハ搬送移載
装置の一実施例を示す斜視図及び一部断面にした側面図
であり、１〜5,7〜14は上記従来装置と同一のものであ
る。21はリニアモータ３の移動子５に固着して上方に出
された支持走行体で、上辺部にはウエーハ１の受座21a
と、移替え体８を通す切欠き部21bとが設けられ、ま
た、受座21aに吸引穴21cが設けられている。

22は支持走行体21の受座21aの下部に吸着穴21cの位置
に取付けられた吸着手段で、第３図に示すように構成さ
れている。23はシリンダ、24はピストンで、ピストン棒
25が出されている。23aはシリンダ23とピストン24によ
り形成された可変空気室である。26は駆動伝導機構で、
次の要素を有している。27は駆動歯車で、支持軸28に固
着されており、支持軸27に駆動レバー29が固着されてい
る。30は駆動歯車27にかみ合い回転される伝導歯車で、
支持軸31に固着されており、この支持軸に伝導レバー32
が固着されている。この伝導レバー32はピストン棒25に
連結されており、上下動を伝える。33はシリンダ23に固
着された支持部材で、歯車27,30の支持軸28,31を回転自
在に支持する。

34は移替え体８の先端に設けられた引掛け突起で、移
替え体８の下降により、実線位置の駆動レバー29を引掛
けて矢印Ａ方向に押下げ回動する。これにより、駆動歯
車27,伝導歯車30を介し伝導レバー32が実線位置から下
方に回動され、ピストン24を上方から下方に移動させ
る。すると、可変空気室23aの容積が増大し負圧を生
じ、ウエーハ１を受座21aに吸着させる。

この状態から、移替え体８が下降位置から上昇する
と、引掛け突起33が鎖線位置の駆動レバー29を引掛けて
Ｂ方向回動させる。これにより、駆動歯車27,伝導歯車3
0を介し伝導レバー32が鎖線位置から上方に回動され、
ピストン24を鎖線位置から上方に移動させる。すると、
可変空気室23aの空気を圧縮して加圧し、ウエーハ１の
吸着支持を解除する。

上記一実施例の装置の動作は、次のようになる。ウエ
ーハ１を載せ第３図に実線で示すように吸着手段22によ
り吸着支持した支持走行体21を、リニアモータ３により
前の処理装置（図示は略す）から搬送し、処理装置12の
前に停止させる。このとき、移替え体８は第２図に示す
ように、下降位置で待機している。つづいて、移載手段
７により移替え体８を上昇させると、引掛け突起33が第
３図に鎖線で示す駆動レバー28を引掛け上方回動させ
る。これにより連動し歯車27,30、伝導レバー32を介し
ピストン24が上昇され、可変空気室23aの空気を圧縮し
て加圧し、ウエーハ１の受座21aへの吸着を解除する。

引続き移替え体８が上昇し、ウエーハ１を吸盤10に吸
着し、上記従来装置と同様に180°回動し、移送ベルト
手段13上に移載する。

ウエーハ１の処理装置12から支持走行体21への移載、
吸着手段22による吸着支持及び搬送は、上記処理装置12
の搬送移載とは逆の動作で行われる。

第４図はこの発明の他の実施例を示す。42は支持走行
体21の受座21aの下部に、吸引穴21c位置に装着された吸
着手段で、次のように構成されている。43は上面外周側
が支持走行体21に接着された吸着用ゴムで、内部に可変
空気室43aが形成される。44はこの吸着用ゴムに固着さ
れた作動棒、45は支持走行体21に固着された支持部材
で、支持軸28,31を回転自在に支持している。伝導レバ
ー32は作動棒44の下端に連結されている。

第４図のように、作動棒44が上昇され吸着用ゴム43が
実線のように平板状になると、可変空気室43aが縮少
し、空気を圧縮することにより吸着を開放している。移
替え体８が下降すると、引掛け突起34が、上方回動にあ
る駆動レバー29を引掛け下方に鎖線位置に回動させる。
これにより駆動伝導機溝26を介し伝導レバー32が下方に
鎖線位置に回動され、作動棒44を引下げる。すると、吸
着用ゴム43は中央部が鎖線で示すように引下げられ、可
変空気室43aが負圧になり、ウエーハ１を受座21aに吸着
支持する。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば、支持走行体のウエ
ーハの受座に吸引穴を設け、受座の下方に吸着手段を装
着し、この吸着手段は吸引穴に通じる可変空気室を設け
ており、移替え体の下降により連動し駆動伝導機構を介
し、可変空気室の容積を増大し、負圧を発生させウエー
ハを支持走行体の受座に吸着し、移替え体の上昇により
連動し駆動伝導機構を介し、可変空気室の容積を縮少
し、内部空気の加圧によりウエーハの吸着を解除するよ
うにしたので、ウエーハを支持走行体の受座に載せ吸着
支持して走行され、走行中の停電など緊急停止があつて
もウエーハの脱落が防がれる。また、急加速、急減速が
可能となり、リニアモータによる搬送装置の小形化がで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図はこの発明によるウエーハ搬送移載装
置の一実施例の斜視図及び一部断面した側面図、第３図
は第１図の支持走行体の吸着手段部の断面図、第４図は
この発明の他の実施例を示す支持走行体の吸着手段部の
一部断面した側面図、第５図及び第６図は従来のウエー
ハ搬送移載装置の斜視図及び一部断面した側面図であ
る。 １……半導体ウエーハ、２……走行路、３……リニアモ
ータ、４……固定子、５……移動子、７……移載手段、
８……移替え体、12……ウエーハ処理装置、21……支持
走行体、21a……受面、21c……吸引穴、22……吸着手
段、23……シリンダ、23a……可変空気室、24……ピス
トン、25……ピストン棒、26……駆動伝導機構、27……
駆動歯車、29……駆動レバー、30……伝導歯車、32……
伝導レバー、34……引掛け突起、42……吸着手段、43…
…吸着用ゴム、43a……可変空気室、44……作動棒。

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】走行路と、この走行路に装着された一次側
   の固定子及びこの固定子に対応し走行する二次側の移動
   子からなるリニアモータと、上記移動子に固着され上方
   に出された上辺部に半導体ウエーハを載せる受座が設け
   られた支持走行体と、半導体ウエーハ処理装置の前に配
   設されており、走行されてきた上記支持走行体と上記処
   理装置との間に移替え体を上昇,180°回動及び下降さ
   せ、双方間に上記半導体ウエーハを移載する移載手段と
   を有する搬送移載装置において、上記支持走行体の受座
   に吸引穴を設け、この受座の下部に装着された吸着手段
   を備え、この吸着手段は、上記吸引穴に通じる可変空気
   室と、上記移替え体の下降運動に連動し上記可変空気室
   の下部を引下げさせ容積を増大させ、内部空気の負圧発
   生により上記半導体ウエーハを上記受座に吸着支持さ
   せ、また、移替え体の上昇運動に連動し可変空気室の下
   部を押上げさせ容積を減少させ、内部空気の加圧により
   半導体ウエーハの吸着を解除させる駆動伝導機構とから
   なることを特徴とする半導体ウエーハ搬送移載装置。
2. 【請求項２】吸着手段は、支持走行体の受座下部に取付
   けられたシリンダと、このシリンダ内に上下動し、内部
   に可変空気室を形成するピストンと、移替え体の下降及
   び上昇により連動し、上記ピストンのピストン棒を下降
   及び上昇させる駆動伝導機構とからなる特許請求の範囲
   第１項記載の半導体ウエーハ搬送移載装置。
3. 【請求項３】吸着手段は、支持走行体の受座下部に上面
   外周部が接着され、内部に可変空気室を形成する吸着用
   ゴムと、この吸着用ゴムの中央部に固着され下方に出さ
   れた作動棒と、移替え体の下降及び上昇により連動し、
   上記作動棒を下降及び上昇させる駆動伝導機構とからな
   る特許請求の範囲第１項記載の半導体ウエーハ搬送移載
   装置。
4. 【請求項４】駆動伝導機構は、駆動レバーに結合され回
   動される駆動歯車と、この駆動歯車にかみ合い回動され
   る伝導歯車と、この伝導歯車に結合され上下回動され可
   変空気室の作動部材を上下動させる伝導レバーとからな
   り、移替え体の下降により上記駆動レバーが下方回動さ
   れ、上記伝導レバーが下方回動し、移替え体の上昇によ
   り駆動レバーが上方回動され、伝導レバーが上方回動す
   るようにした特許請求の範囲第１項ないし第３項のいづ
   れかに記載の半導体ウエーハ搬送移載装置。
5. 【請求項５】移替え体には先端に引掛け突起が設けら
   れ、移替え体の下降及び上昇運動により、上記引掛け突
   起で駆動伝導機構の駆動レバーを引掛けて下方回動及び
   上方回動させるようにした特許請求の範囲第４項記載の
   半導体ウエーハ搬送移載装置。