TWI308347B - - Google Patents

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TWI308347B
TWI308347B TW094135160A TW94135160A TWI308347B TW I308347 B TWI308347 B TW I308347B TW 094135160 A TW094135160 A TW 094135160A TW 94135160 A TW94135160 A TW 94135160A TW I308347 B TWI308347 B TW I308347B
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Kamikoriyama Yoichi
Ogata Sumikazu
Kei Anai
Hiroki Sawamoto
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Mitsui Mining & Smelting Co
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Description

1308347 . 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 ,本件發明係關於一種利用導電性金屬墨水之電路形成 •方法,更加具體地說,關於一種能夠在陶究基板、玻璃基 板、聚酿亞胺所代表之樹.脂基板等以低溫形成高密度之金 屬配線或電極之金屬墨水及其製造方法。此外,也關於一 種能夠同時以喷墨方式等來描繪電路形狀等而藉由進行固 %化來在基板上形成電路之導電性墨水。 【先前技術】 向來,作為在各種基板上形成電路圖案之方法係正如 專利文獻ι(日本國專利申請:日本特開平9_ 246688號公 報)或專利文獻2(日本國專利申請:日本特開平8—1819〇 號公報)所揭示,有利用光微影或蝕刻之方法或者是網版印 刷方法。作為該習知方法係廣泛地普及對於鍍銅層壓板之 ¥銅箔進行蝕刻加工而形成電路圖案之方法或者是使得金屬 粉混練於溶劑或樹脂而進行糊膏化之導電性糊膏藉由網版 印刷而使得配線或電極圖案直接地形成於基板表面之方 法。像這樣,藉由將金屬粉加工成為糊膏(以下,僅稱為「導 電性糊膏」。)或墨水(以下,僅稱為「導電性墨水」。) 來轉用網版印刷法等之技術而在基板表面直接地進行電路 形成者,比起對於鍍銅層壓板之銅箔進行蝕刻加工而進行 電路形成之蝕刻法,還使得製程數也變得比較少,成為能 夠顯著地削減生產成本之技術,來廣泛地普及。 2213-7458-PF;Ahddub 5 1308347 - 接著,在近年來,可攜式資訊機器或τν所代表之薄型 顯示器内部之導電性電路圖案係年年進行高密度化,不僅 . 是檢討配線幅寬40/ζπι以下之區域,並且,也檢討因為對 於撓性樹脂基板之低溫燒成所造成之電路圖案形成技術。 ' 在藉由一般使用之網版印刷所造成之電路圖案形成,並無 斷線,配線形狀良好之線幅寬成為1〇〇//m程度,但是,在 比起這個還更加微細之區域、特別是在線幅寬成《御m 以下之區域’不容易形成實質之配線。此外,作為藉由低 •溫燒成而對於各種各樣之基板來形成電路圖案之技術係正 如專利文獻3(日本國專利申請:日本特開2〇〇2 — 334618 號公報)所顯示的,檢討包含銀奈米粒子之銀墨水。 另一方面,關於金屬粉混合於多量之有機溶劑和樹脂 類之液體狀糊膏(以下、僅稱為導電性金屬墨水),分配器 塗敷法或者是正如專利文獻4(日本國專利申請:日本特開 2002 - 324966號公報)所示之作為利用噴墨印刷技術之極 、微細電路圖案形成原料係提議各種之導電性金屬墨水,但 是’使得對於各種基板之密合強度,來㈣於有機樹脂類: 因此,在將使用於一般形成低電阻之配線或電極時之氳或 氮之還原燒成之製程,容易因為藉著有機樹脂成分之分解 所產生之氣體而發生微小之破裂,並且,由於這樣而使得 配線或電極之基體密度變低,結果,不容易形成低電阻之 電路。 接著,作為顯示導電性墨.水之組成者係在專利文獻 5(日本國專射請:日本特開2GG2-3172G1號公報),揭 2213-7458-PF;Ahddub 6 -1308347 示:包含水、在各個微粒錄粉之粉粒表面固合非溶性無機 氧化物之錄微粉末和聚丙烯酸、其醋或其鹽及有機基取代 t氧化銨之水性錄漿體、以及包含該水性錄漿體和黏合劑 .之導電性糊膏。該水性鎳㈣係並無再凝集高濃度之錄微 . 粉末而成為穩定地分散之水性鎳漿體,但是,在藉由層積 陶竞電容器之内部電極製作所代表之高溫燒成而燒結金屬 粉之狀態下,並無任何問題發生,但是,在企圖於近年來 之各種基板以低溫來形成電路之用途上,和基板間之密合 警強度係實質成為零’因此’也有無法形成電路之問題發生。 此外,在企圖利用噴墨印刷技術而形成極微細電路圖 案之狀態下,並不具有適合於印刷之表面張力,因此,在 企圖進行藉由連續印刷所造成之電路形成時,容易在噴 嘴’墨水堵塞孔,並且,在目的之印刷位置,發生墨水不 著地之現象,因此,在實質上,不容易進行藉由工業之連 續印刷所造成之電路形成。此外,由於不含有賦予和基板 •間之密合強度之黏合劑,因此,假設即使是藉由印刷製程 之功夫而在基板進行印刷,也使得和基板間之密合強度實 質成為零,所以,在藉由層積陶瓷電容器之内部電極製作 所代表之高溫燒成而燒結金屬粉之用途以外,不容易形成 實質之電路。 了 X由以上而拜解:為了在低溫,形成前述之微細電 路,因此,檢討利用導電性金屬墨水之分配器塗敷法或噴 墨印刷方法,但是,有所謂和各種基板間之密合強度變低 或者是完全無法得到密合性之問題發生。結果,無法進行 2213-7458-PF;Ahddub 1308347 在喷墨法之使用。 習知之導電性金屬墨水係為了提高和基材間之密合 性,因此,作為黏合劑係利用有機樹脂成分,所以,在陶 瓷玻璃、聚醢亞胺等之樹脂基板上印刷電路而以3 〇 〇 以下之低溫來進行還原燒成之狀態下,含有之樹脂成分係 由於熱或還原性氣體而引起分解來進行氣體化,因此,結 果無法具有和各種基材間之高密合強度。 ^由以上而得知:進行對於和基板間之密合性良好並且 此夠形成微細之配線或電極之導電性金屬墨水之要求。在 同時使用喷墨裝置及分配器裝置而使得極微細之配線或電 極印刷於基板上來進行電路形成時之可連續印刷之導電性 墨水’還如果是能夠更加提高描繪之電路等和基板間之密 合性的話,則變得更加理想。. 【發明内容】
因此,本件發明人係全心地進行檢討,結果,發現知 是包含溶媒、金屬粉和密合性提升劑之導電性墨水^ 話,則可以達成前述目的,以致於完成本件發明。」 本:發明之導電性墨水之基本構造,係包含溶媒、金 ^ 合性提升劑之導電性墨水,其特徵在於:前述斑 劑係由梦燒偶合劑、鈦偶合劑、氧化錯偶合劑: 口劑所構成之群組而選出之種或2種以上。 面張前述溶媒係藉由使用表面張力調整劑而調整表 成為在15_/m〜5_/m之範圍,來成為適合於噴墨
22l3-7458-PF;Ahddub R 1308347 印表機用途之理想之導電性墨水。 接著,前述表面張力調整劑係最好是組合由在常壓之 禪點成為〜3G(rc之醇和乙二醇所構成之群組而選出 之1種或2種以上。 此外,在本件發明之導電性墨水,前4溶媒係最好是 使用由在常虚之濟點“崎以下之水 '醇類和飽和烴 類所構成之群組而選出之!種或2種以上者。 在本件發明之導電性墨水,前述金屬粉係最好是使用 鎳叙銀叙金卷、白金粉、銅粉和鈀粉所選擇並且該 金屬粉之一次粒徑成為5〇〇nm以下者。 接著,如果考慮本件發明之導電性墨水使用於噴墨印 表機用途的話,則前述金屬粉所含有之凝集粒之最大粒徑 成為〇.8以111以下。
在本件發明之導電性墨 在其粉粒表面附著非溶性無 粉。 水,前述金屬粉係最好是使用 機氧化物之無機氧化物塗敷鎳 在本件發明之導電性墨水’前述無機氧化物塗敷鎳4 ,非溶性無機氧化物係最好是包含由二氧化碎、氧化紹 乳化錯和氧化鈦所構成之群组而選出之至少丨種元素 化物。 1 在本件發明之導電性墨水,作 作為分散助劑係最好是拜 口.,且口由(a)聚丙稀酸、其自旨咬1 /L 次其鹽、(b)有機基取代氫辈 化銨及(c)含羥基胺化合物之( a .西山 ^ U)之任何一種之群海 而選出之1種或2種以上者。 ^ 9 2213-7458-PF;Ahddub 1308347 # 本件”之導妹墨 表機用途的話,則饥之黏度係最好是60cP以下噴墨印 【發明效果】 本件發明之導雷神黑卜&
把网 墨水係和以玻璃基板為首之各種A 二τ=並且能夠形成微細 Γ王备屬墨水’也在相對於 密人今生Μ声林、 0異種几素所形成之電路等之 ^ φ 忍等電性墨水係能夠使用在對於使 用在TFT面板之玻璃芙柘、ττη * 牡町於便 f ^ . 土 〇透明電極表面以及藉由銀 此外^ 面等來形成保護f極或賴被覆膜等。 彳發明之導電性墨水係適合於採用分配器塗敷方 式或噴墨印刷方式而形成正確… 盗窆敷方 〜風止確且微細之配線或電極》 【實施方式】 本件發明之導電性墨水係句人、、今 ’、3,谷媒、金屬粉和密合性 &升劑。接著,在本件發明夕 仟贫月之狀態下,具有組合及使用由 石夕烧偶合劑、鈦偶合劑、氧 軋化錯偶合劑和鋁偶合劑所構成 之群組而選出之1種或2種 乂上朿作為密合性提升劑之方 面之特徵。 在此提到之所謂密合性提相係使用由錢偶合劑、 鈦偶合劑、氧化錯偶合劑和紹偶合劑所構成之群組而選出 者在此時’不僅是在使用由前述群組所選出之1種成分 之狀態下,並且,也能夠組合及使mu。也就是說, 能夠藉由含有複數種之成分而控制配合於進行電路等之形 2213-7458-PF/Ahddub 10 1308347 成之基板性質之密合性。
在此提到之所謂石夕烧偶合劑係最好是使用乙烯基三氯 代石夕院二乙烯基三甲氧基石夕貌、乙稀基三乙氧基石夕烧、2 (3’4環氧基環己基)乙基三甲氧基矽烷、卜環氧丙氧基 丙基三甲,基钱、3-環氧丙氧基丙基甲基二乙氧基石夕 烧3核氧丙氧基丙基二乙氧基石夕燒、p—苯乙稀基三甲 氧基石夕烧、3-甲基丙烯酿基丙基甲基三甲氧基石夕烧、3 — 曱基丙f酿基丙基三甲氧基石夕垸、3-甲基丙稀醯基丙基甲 基二乙乳基矽烷、3 -甲基丙烯醯基丙基三乙氧基矽烷、3 甲基丙烯酿基丙基三甲氧基石夕燒、N—2 (胺基乙基—胺 基丙基曱基二甲氧基矽烷、N~2(胺基乙基)3—胺基丙基三 甲氧基石夕烷、N—2(胺基乙基)3-胺基丙基三乙氧基矽烷、 3-胺基丙基三甲氧基料、3—胺基三乙氧基㈣、3—三 '氧基甲錢基—N— (1,3 一二甲基—亞丁基)丙基胺1 -本基-3-胺基丙基三甲氧基矽烷、N—(乙烯基苄基卜2 -胺基乙基-3-胺基丙基三甲氧基錢鹽酸鹽、3一腺基 丙基二乙乳基錢、3—氯代丙基三甲氧基㈣、3~黯基 丙基甲基二甲氧基矽烷、3 _巯基丙基三甲氧基矽烷、雙(三 乙氧基甲普基丙基)四硫化物、3_異氛酸酉旨丙基三乙^ 基石夕院、四〒氧基錢、四乙氧基石夕跪、f基三甲氧基矽 炫、甲基三乙氧基石夕燒、二甲基三乙氧基石夕貌、苯基三乙 氧基我、六甲基二石H己基三甲氧基錢、癸夷二 f氧基石夕貌之任何一種。即使是在其尹,也績謂達到; Π至基板之密σ性之穩定化之觀點來看的話,則最好是使 2213-7458-PF;Ahddub 11 1308347 用發揮穩定之性能之曱基三甲氧基矽烷、甲基三乙氧基矽 烷、二甲基三乙氧基矽烷等。 在此提到之所謂鈦偶合劑係最好是使用四異丙基鈦酸 醋、四正丁基鈦酸酯、丁基鈦酸酯二聚物、四—乙基己 基)欽酸醋、四曱基鈦酸酯、鈦乙醯基丙酮酸酯、鈦四乙醯 基丙酮酸酯、鈦乙基乙醯基乙酸酯、鈦辛烷二油酸酯、鈦 丙醇酸酯、鈦三胺化乙醇、聚羥基乙烷硬酯酸酯之任何一 種。即使是在其中,也由所謂達到密合至基板之密合性之 穩定化之觀點來看的話,則最好是使用發揮穩定之性能之 四異丙基鈦酸酯、四正丁基鈦酸酯、鈦丙醇酸酯等。 在此提到之所謂锆偶合劑係最好是使用錯正丙醇鹽、 锆正丁醇鹽、锆四乙醯基丙酮酸酯、錯單乙醯基丙酮酸酯、 結雙6醯基丙酮酸醋、結單乙基乙酿乙酸醋、錯乙酿基丙 喊醋雙乙基乙酿乙酸_、豸乙酸醋、錯單硬醋酸醋之任 何-種。即使是在其中,也由所謂達到密合至基板之密合
性之穩定化之觀點來看的龟,丨 |幻通則最好是使用發揮穩定之性 能之錯正丙醇鹽、錯正丁醇豳、 呼瓜 錯四乙酿基丙酮酸g旨、錯 早乙酿基丙嗣酸酉旨、紗傳7* 你甘 錄雙乙醯基丙酮酸酯、锘單乙基乙醯 乙酸S旨、結乙醯基丙酮酸醋簪77姑 雙乙基乙醯乙酸酯、結乙酸酯。 在此提到之所謂鋁偶合劑 乳11承敢好是使用鋁異丙醇鹽、 單sec—丁氧基鋁二異丙醆豳 、 醇1、鋁sec—丁醇鹽、鋁乙醇 鹽、乙基乙醢乙酸酉旨* ^鋁—異丙醇鹽、鋁三(乙基乙醢乙酸 酉旨)、烧基乙醯乙酸醋叙-s工e * 曰鋁—異丙醇鹽、鋁單乙醯基丙酮酸酯 雙(乙基乙酿乙酸酉旨)、^ = ( 7 一(乙醯基乙醯乙酸酯)、鋁單異 2213-7458-PF;Ahddub 12 1308347 丙氧基單油醯基乙 鹽、環狀銘氧化物切踏環狀銘氧化物異丙醇 -種。即使是在I 讀銘氧化物硬酯酸g旨之任何 之穩定化之觀點來看的=由所謂達到密合至基板之密合性 之乙基乙醯乙一^異則f好是使用發揮穩定之性能 酯)、烷基乙醯乙酸酯丙%鹽、紹二(乙基乙醯乙酸 m(r m —異丙醇鹽、鋁單乙醯基丙嗣酸酯 雙(乙基乙酿乙酸醋)、錄三(乙酿基乙酿乙酸醋)。
’關於溶媒而進行㈣。在本件發明提到之 前述密合性提::用水、有機溶媒等,至少具有和 並不f要限定。因此,如果限定的話, 貝J由在常壓之沸點成為 邮珉為30〇C以下之水、醇類和飽和烴類 所構成之群組,來组幻種或2種以上。 ★在b進行所明「在常壓之沸點成為30。。。以下」之 ^者係在冻點超過3〇(rc之溫度區域,使得有機樹脂成 用於黏σ劑樹脂之導電性墨水,相同於還原燒成製程 、起黏口劑樹月曰之分解而進行氣體化時’在高溫,溶 進仃氣體化’因此’僅無法形成緻密之電極,或者是結果 無法發揮和各種基材間之高密合強度。 在使用水來作為/容媒之狀態下,具有離子交換水、蒸 館水等之程度之純度’不包含自來水等之純度之水。*’、、 為了使用醇類’來作為溶媒,因此,最好是組合及使 用由卜丙醇、卜丁醇、卜戊醇、1-己醇、環己醇、i -庚醇、1 一辛醇、卜壬醇、卜癸醇、縮水甘油、苄基醇、 22l3-7458-PF;Ahddub 13 1308347 r基己醇、2-甲基-1-丁醇、3一甲基」—丁醇、4—甲 基-2-戊醇、異丙醇、2—乙基丙醇、2—乙基己醇、2 — 辛醇、ϋ品醇、二氫化結品醇、2— f氧基乙醇、2_乙氧 基乙醇、2-n-丁氧基乙醇、2—苯氧基乙醇、卡必醇、乙 基卡必醇、卜丁基卡必醇和二㈣醇所選出之1種或2種 以上。即使是在其中,也可以是在常屢之滞點成為說以 上並且在室溫之常壓下不容易氣化者,更加理想是使用1 —丁醇、卜辛醇、㉝品醇、二氫化⑮品醇、2-甲氧基乙 醇、2一乙氧基乙醇、2—卜丁氧基乙醇、二丙酮醇。 為了使用飽和烴類,來作為溶媒,因此,最好是組合 及使用由庚烷、辛烷、壬烷、癸烷、十一碳烷、十二碳烷、 十碳^四碳規、十五碳貌和十六碳烧所選出之1種 或2種以上。即使是在其中,也更加理想是使用癸院、十 厌院十一碳院、十三碳烧、十四碳烧。因為在常壓之 沸點成為30(TC以下,並曰, 尤且蒸氣壓變低,在室溫,不容 易氣化,所以,處理變得容易之緣故。 在以上所敘述之導雷枓s 等冤性墨水係可以藉由使用表面張力 調整劑而在喷墨方式,賦予喿 螂于最適當之表面張力。也就是說, 在本件發明之導電性墨水 广係藉由表面張力成為15mN/m〜 L0·之範圍而使得嗔墨法、分配器法之電路形成等,變 得谷易。因此,後面叙诫 攻之表面張力調整劑之添加量係 加各種藥劑等而傕彳異 ^ ^ 寺使件導電性墨水之表面張力通常成為 15mN/m 〜50mN/m、9η λΤ/ 馮 取好是2〇mN/m〜4〇mN/m。在導電性墨 之表面張力脫離前述範圍時,特別是無法進行來自喷墨嘴 2213-7458-PF;Ahddub 14 -1308347 嘴之導電性墨水之吐出,或者即使是假設能夠進行來自喷 嘴之吐出’也由目的之印刷位置開始產生偏差,或者是發 生不可能進行連續之印刷等之現象。因此,在本件發明, 可以藉由調整導電性墨水之表面張力,成為適合於使用喷 墨法之前述範圍内,而使用喷墨裝置,進行微細電路配線 等之形成。 在考慮此種導電性墨水之表面張力之狀態下’有溶媒 和表面張力調整劑間之組合之問題發生。因此,最初在考 •慮表面張力調整之狀態下,關於使用水之狀態下之溶媒而 進订敘述。此外,明確地顯示在考慮表面張力調整之狀態 下之溶媒係即使僅是有機溶媒,也可以包含水。在使用水 來作為溶媒之狀態下,使用離子交換水、蒸顧水等之程度 之具有純度者’不包含自來水等之純度之水。 者,在溶媒混合及使用水和有機溶媒等之狀態下, 至少疋具有和前述水、分银 散助劑、猎合性提升劑間之相溶
性者,如果是能夠調製成為 ^ Λ 珉马既疋之墨水黏度等的話,則不 需要特別限定。此時之有機 有機冷媒等係在水成為100重量份 時k合3重置份〜5000重量 f知度,微細地調整導電性 墨水之黏度调整和金屬粉之 ..入府 欺丨生等。特別是要求考廣和 使用之金屬粉之種類間 ^ 如旲進行選擇及使用。因此, 如果限疋該有機溶媒等的話, 〜3 0 0。(3 ϋ S- ^ 昂屋之彿點成為1 0 0 υ之水、醇類和乙二 種或2種以上。 冓成之群組,來組合1 在此’進行所謂 常屢之滞點成為〜300°c」 2213-7458-PF;Ahddub 15 1308347 二 =係在滞點超過露之溫度區域,使得有機樹脂 成刀利用於黏合劑樹脂之導 鋥之相冋於還原燒成製 媒η 脂之分解而進行氣體化時,在高溫,溶 乳體化,因此,僅無法形成緻密之電極,或者是处 果無法發揮和各種基板間之高密合強度。: loot以上者係水之沸 由於成為 上旎夠選擇可以確實地除去溶 媒之所必然包含之水之加熱溫度範圍之緣故。^ 用由t了使用醇類,來作為溶媒,因此,最好是组合及使 用由卜了醇、卜戊醇、縮水甘油、节基醇、 丁 :、卜戊醇、2-甲氧基乙醇、2—乙氧基:醇、2 乙—:醇24—甲基〜醇、2—甲氧基乙醇、…基 =丁氧基乙醇、2—苯氧基乙醇、卡必醇、乙基 7、卜丁基卡必醇和二丙酮醇所選出之!種或2種以 二吏疋在其中’也可以是在常壓之滞點成“,c以 、室溫之常虔下不容易氣化者,更加理想是使用i 丁氧基乙醇、2—苯氧基乙醇、二丙酮醇。 為了使用乙二醇類’來作 及使用由乙二醇、二乙 _ 此最好疋.、且口 私、二乙二醢、四乙二醇、丙二 η
醇、三亞甲基乙二醇 工,3 一丁二醇、1,4- 醇 丙二醇、三丙二醇、1,2—丁二醇、 . '醇、五亞甲基乙二醇和己二醇所 選出之1種或2猶u 即使是在其中,也可以是在常溫 之黏度成為100cp以下, 攻好是使用乙二醇、二乙二醇、 丙二醇、1,4— 丁二醇、二 ^—醇。因為在黏度過度高之狀 態下,不容易進行適合於八κ 、刀配器法或喷墨法之黏度調整之 2213-7458-PP;Ahddub 16 Ϊ308347 緣故。 接著,前述表面張力調整劑係使用其表面張力成為 40mN/ra以下之添加劑。使用具備此種表面張力之表面張力 調整劑者係使得適合於喷墨裝置之使用之墨水之表面張力 調整,變得最谷易,能夠簡單且容易地進行符合於喷墨裝 置設計之黏度調整。能夠形成微細之配線電路。在此提到 之表面張力調整劑,最好是使用將由也可以使用作為溶媒 之醇〔一醇並且表面張力以下之之黏度 1贈以下之所構成之群組而選出之!種或2種以上予以 組合者。 在該表面張力調整劑中’作為表面張力讓以下之 25C之黏度100cP以下之醇等係列舉 醇、4—甲基一2一戊醇、2— 7备| ^ 丁知1戊 乙氧基乙醇、2— η—丁氧基乙 劑中η 一由丁基卡必醇等。在本件發明’在前述表面張力調整
=來持作為導電性墨水之長期間之品質穩定性 3朿看的話,則最好是使卜丁氧基乙醇或卜 在本件發明之導電性墨水, 量係可以成為^之表面張力調整劑之 入α遇田地調整導電性墨水 無特別限定。. 表面張力之里,並 仁疋’—般在導電性墨水中, θ 〜5°重量%、最好是3重量%〜3。重量疋1重量% 劑之量未滿!重量%之狀態下, 在表面張力調整 添加表面張力調整劑之前後,含有力^ =之量時,在 '導電性墨水中之微粒 2213-7458~PP;Ahddiib 17 1308347 -金:粉之分散形態係大幅度地進行變化,結果,微粒金屬 開始進行凝集,妨礙在導電性墨水之最重要之微粒金 卷之均勻分散’因此,無法使用作為導電性墨水。 嘴接者,在此提到之所謂金屬粉係並無特別限定在其粒 徑、分散性等之粉體特性,記载粉粒形狀係將具傷薄片粉、 表面塗敷層之粉粒之全部概念予以包含。但是,本件發明 導電J·生墨水係m要使用在電子材料之電路形成性,來 作為、前提。因此,假設由大多使用在電子材料用途之鎳粉、 銀畚、金粉、白金粉、銅粉和鈀粉所選出,並且,該金屬 粉之一次粒徑成為500ηιη以下。 此外,在考慮使用於噴墨方式時,當然最好是平均一 粒仫成為50Onm以下。在平均一次粒徑超過5〇〇nm時, 在噴墨噴嘴,導電性墨水係極端容易地發生孔堵塞,不容 易進行連續印刷。假設即使是能夠進行印刷,也使得形成 之配線或電極之膜厚變得過度厚,因此,無法成為目的之 j微細配線。 此外,可以說是能夠配合於形成之電路之微細化程度 而適曰地選擇及使用具有適當之一次粒徑之微粒金屬粉。 但疋,由所謂微粒金屬粉之概念而最好是通常3⑽〜 500nm、最好是5nm〜200nm、更加理想是1〇nm〜15〇nm之 範圍之選擇使用。在微粒金屬之粉粒之平均一次粒徑未滿 3nm之狀態下,在現階段,無法確立其製法,無法進行藉 由實驗所造成之驗證。另一方面,在平均一次粒徑超過 500nm時,不容易形成作為目的之幅寬4〇# m以下之配線 18 2213-7458-PF;Ahddub 1308347 ΓΙ':此外,形成之配線或電極之臈厚變得過度厚,因 佧不適合。作為傾向係微粒金屬粉之粉粒之平均- :徑變得越加微細’則引起喷㈣嘴之孔堵塞之可能性 越::,適合於微細電路之形成。在本件發明,所謂平均 人入住係表不將在藉由掃描型電子顯微鏡來進行觀察時 而一視野中之最低2°0個之粉粒之粒徑予以觀察 而藉由累叶及平均這些來求出之粒徑。
:粒金屬粉之平均一次粒徑變小者係成 =之根據,但是,即使是微粒,也進行導電性墨水中 之粉粒間之凝集,在作為__ 還是粒徑變大時,仍然 ί疋令易引起喷墨嗔嘴之孔堵塞。因此,作為導電性墨水 粒金屬粉之二次構造體之凝集㈣必 :墨如喷果嘴之孔堵塞之大小以下’這個係呈實驗性地進2 …如果凝集粒之最大粒徑成為0·8“以下的話,則幾乎 能夠轉實地防止喷墨喷嘴之孔堵塞。此外,作為該凝集粒 之確認方法係使用雷射粒度分布測定裝置。 …、 等之Γ卜Γ考慮作為導電性墨水之經時變化和燒結特性 專之時,可以呈選擇性地使用將油酸或硬脂酸等 面處理之金屬粉或者是在粉粒表面使用氧化: 者既疋之氧化物等之導電性墨水所要求之要求特性予以者 慮者。即使是在其中’也在考慮於本件發明之導 來使用轉粉時,最好是使用在其粉粒表面附著非溶^機 氧化物之無機氧化物塗敷鎳粉。 ”、機 接著,認為在附著於無機氧化物塗敷鎳粉 物粒表面 2213-7458-PF;Ahddub 19 1308347 氧化Γ生無機氧化物,使用二氧切、氧化艇、氧化錯、 好1太用鈦酸鋇和錯酸料’但是,即使是在其中’也最 成Γ群/含由—氧切、m氧化錯和氧化欽所構 而選出之1種或2種以上之元素之氧化物。即使 、也還最好是二氧化矽係特別容易穩定地附著於 鎳粉之粉粒表面。 耆於 夠採之粉粒表面來形成非溶性無機氧化物層時,能 之方法。例如可以採用藉由將鎳粉和粉狀之非 ::無機氧化物及介質(例如氧化錯顆粒)加入至混合㈣ 面之方=授祥而固合非溶性無機氧化物至錦粉之粉粒表 此外,作為在錦粉之粉粒表面來附著非溶性無機氧化 ==能,:在水中分散錄粉及非溶性無機氧化 曰進行軋燥處理而除去水分,使得非溶性I機# 化物附著於錦粉之粉粒表面之方法。在此種 二無機氧化物之平均—次粒徑係最好是將具備構 粉粒之平均-次粒徑之0_2倍以下、最好η·ί5倍以下之 平均-人粒者予以使用。對於錄粉之粉粒表面之非溶性 無機氧化物粉之附著係有非溶性無機氧化物粉之粒徑越加 微細而越加進行均句之附著之傾向發生。 在本件發明來使用氧化物塗敷鎳粉之狀態下,附著於 錦微粒表面之非溶性無機氧化物之量係在錁重量成為m 量時通㊉成為〇· 05重量%〜1〇重量%、最好是〇 i 夏% 5重I %、更加理想是〇_ 5重量%〜2重量%。在非溶性 20 2213-7458-PF;Ahddub 1308347 *無機氧化物之量未滿0. 05重量%之狀態下,無法達到作為 叹置氧化物塗敷層之意義之導電性墨水之長壽命化。接 • 著’在非溶性無機氧化物之量超過10重量%之狀態下,氧 化物塗敷層係變厚,在粉粒表面,形成不均勻之塗敷層, 喪失粕粒表面之滑動,墨水黏度係並無刻意地引起增黏。 由於在更加顯示成為最適當之範圍係在工業生產過程,更 加確實地達成前述之上限值及下限值所具有之意義之緣 故。 ^ 彳象這樣’藉由使用氧化物塗敷鎳粉而即使是在導電性 墨水呈咼濃度地含有鎳粉,也有效地防止再凝集,因此, 達到導電性墨水之長壽命化。 此外,在本件發明之導電性墨水之狀態下,特別是在 鎳墨水之狀態,也最好是配合於需要而添加分散助劑。作 為該分散助劑係最好是添加組合由(a)聚丙烯酸、其酯或其 里(b)有機基取代氫氧化銨及(c)含羥基胺化合物之(丑) %〜(c)之任何一種之群組而選出之i種或2種以上者。 作為使用在本件發明之(a)聚丙烯酸、其酯或其鹽係列 舉例如聚丙婦心、曱基聚丙晞酸、聚丙烯酸鈉、聚丙烯酸 銨等,在這些中,聚丙烯酸銨係容易配位於金屬粒子表面, 又同時配位之聚丙烯酸銨藉由電氣之排斥和立體之妨礙效 果而抑制在溶媒中之金屬粒子之凝集,因此,'變得理想。 在本件發明,(a)係能夠以單獨1種或組合2種以上而使用 前述者。 作為使用在本件|明之⑻有機基取代氫氧化録係列 2213-7458-PF;Ahddub 21 1308347 如四甲基銨氫氧化物、四乙基銨氫氧化物、四丁基銨 氩氧化物等之燒基取代氫氧化銨、三甲基苯基銨氫氧化 f基—甲基錄氫氧化物等之烧基取代芳基取代氣氧化 *等在些中,烷基取代氫氧化銨係容易配位於金屬粒 子,並且,電氣之排斥力變高,因此,變得理想。在本件 發明,⑻係能夠以單獨!種或組合2種以上而使用前述者。 作為使用在本件發明之(c)含經基胺化合物係列舉例 如燒醇胺,在這些當中,二甲醇胺、二乙醇胺、二丙醇胺 警等之二貌醇胺係和金屬粒子間之潤濕性良好,因此,變得 理想,並且,二乙醇胺係最容易抑制金屬粒子之經時凝集^ 因此’變知更加理想。在本件發明,⑷係能夠以單獨1種 或組合2種以上而使用前述者。 在本件發明,藉由在導電性錄墨水中,添加前述分散 助劑,而防止在墨水内之鎳粉之粉粒發生再凝集。使用在 本件發明之分散助劑係可以是前述(a)〜(c)中之至少工 •種,但是’在這些當中,在併用(a)及(c)時,能夠更加穩 定地分散鎳粉,因此,變得特別理想。 本件發明之導電性墨水係在「聚丙烯酸、其酯或其鹽」 存在之狀態下,在「聚丙烯酸、其酯或其鹽」之量相對於 金屬粉之重量100重量份而通常成為005重量份〜5重量 份、最好是0.1重量份〜2重量份時,並無妨礙墨水對於 基材之密合性,使得墨水壽命變成最長,因此,變得理邦。 本件發明之導電性墨水係在「有機基取代氫氧化錄^」 存在之狀態下,在「有機基取代氫氧化銨」之量相對於金 2213—7458-PF;Ahddub 22 1308347 •屬粉之重量100重量份而通常成為〇 〇1重量份〜5重量 伤、最好是0_ 05重量份〜!重量份時,並無妨礙墨水對於 土材之密σ性,使得墨水壽命變成最長,因此,變得理想。 纟件發明之導電性墨水係在「含經基胺化合物」^在 之狀態下,在「含羥基胺化合物」之量相對於鎳之重量100 重量伤而通常成為0· 5重量份〜20重量份、最好是5重量 伤〜15重量份時,並無妨礙墨水對於基材之密合性,使得 墨水壽命變成最長,因此,變得理想。 • 纟本件發明之導電性墨水來組合及使用分散劑之狀態 下’在「聚丙婦酸、其醋或其鹽」及「有機基取代氯氧化 銨」存在.之狀態下’在「有機基取代氫氧化錢」之量相對 於「聚丙烯酸、其醋或其鹽」之重量100重量份而通常成 為1重量份〜30重量份、最好是5重量份〜2〇重量份時, 並無妨礙墨水對於基材之密合性,使得墨水壽命變成最 長,因此,變得理想。 _ 關於導電性墨水之黏度而進行說明。在本件發明,最 好是導電性墨水之25。(:之黏度成為6〇cP以下而使得在噴 墨法或分配器法之電路形成等,還變得更加容易。在本件 發明之黏度調整係藉由呈最適當地練合前述之溶媒、分散 劑和氧化物塗敷金屬粉而達成。毫不記載黏度之下限值者 係由於目的不同於各種金屬之導電性墨水使用在電路形成 之狀態,要求之配線、電極尺寸及其形狀呈不同之緣故。 在25°C之黏度超過60cP之狀態下,即使是企圖利用喷墨 法或分配器法來形成微細之配線或電極,也在由噴嘴來吐 2213-7458-PF;Ahddub 23 1308347 .出導電性墨水之能量以上,使得導電性墨水之黏度變高, 因此’不容易穩定地由喷嘴來吐出導電性墨水之液滴。得 知在25°C之黏度成為60cP以下之狀態下,能夠呈實驗性 地形成在噴墨法或分配器法之微細之配線或電極。 在以下,顯示實施例,但是,本件發明係並非限定於 這些而進行解釋。首先,在實施例1〜實施例4,記載:用 以主要評價基材和形成之導電膜之密合性之實施例。 【實施例1】 % (錄粉) 在該實施例’在鎳粉,使用氧化物塗敷鎳粉。該氧化 物塗敷鎳粉之製造方法係正如以下。 在容量20L之容器,放入純水1〇L,以攪拌速度 2 0 0 rpm,來進行授拌,同時,逐漸地添加之鎳粉(二 井金屬鑛業股份有限公司製题一100、一次粒子之平均: 徑lOOnm),在進行2〇分鐘之攪拌後’在這裡,添加 %之2〇重量轉態二氧化石夕(日產化學工業股份有限公司 製、雪號數G、—次粒子之平均粒徑2〇nm),還進行2〇八 鐘之攪拌,得到分散液。 刀 接著’為了成為在該分散液中之錄粉呈均句地1 態二氧化矽之狀態,因此吏 Α σ τ ...,用成為兩速度乳化分散機4 .(特殊機化工業公司製)而連續地 理’得到膠態二氧化矽呈始a u 丁此口肩 夕呈均勻地混合於鎳之狀態之漿體。 在此,使用真空乾燥機,在 a丹工度50Torr以下、鋅、瞬城^ 溫度12ITC之條件’對於該 乾屎機内 對於該裝體進行24小時之乾燥處理, 2213-7458'PF;Ahddub 24 1308347 得到在錄粉之粒子表面來固合二氧化石夕之乾燥粉
著,為了在使用Henshenmixer(三井鑛山公司製)而解碎 該乾燥粉末後,除去粗大之粒子,因此,使用2q_之筛, 施行筛分級。接著,為了將和存在於通過篩之粉末 之鎳粒子表面之二氧化矽之鎳粒子表面間之密合性予以提 高,因此,還使用真空乾燥機,在真空《1〇_以下 燥機内溫度靴之條件,進行24小時之加熱處理,㈣ 二氧切塗敷錄粉(在以下,稱為「㈣A」+錄粉A 係在鎳微粒之粒子表面,附著二氧化矽。 (分散助劑) 在容量1L之燒杯,加入38〇g之二乙醇胺(和光純藥工 業股份有限公司製)、45.6g^ 44%聚丙料敍溶液(和光純 藥工業股份有限公司製)及13.4&之15%四甲基錢溶液(和 光純藥工業股份有限公司製),#由磁性授拌器而進行攪 拌,調製分散助劑(以下,稱為「分散助劑A」。)。 (導電性墨水之調製) 在容量1L之容器,加入作為溶媒之純水〇 . 7L,以攪 拌速度20〇rpm,來進行攪拌,同時,逐漸地添加3〇叶之 鎳粕A,並且,還添加40. 3g之分散助劑a ,進行分鐘 之授拌’得到漿體。 接著’藉由成為高速度乳化分散機之T.K FUmix(特 殊機化工業公司製)而對於該漿體連續地進行分散化處理 後,添加純水〇. 96L而得到鎳濃度15重量%之衆體。 接著,藉由該漿體所含有之l#m以上之粒子通液於匿 25 2213-7458-PF;Ahddub 1308347 盒式過濾器(Adobanteck東洋股份有限公司製mcp—jx —
El OS、平均粒徑11 /z m以下)而除去粒子,並且,還除去 0. 8 m以上之粒子,因此,藉由纖維素混合酯形式膜過濾 器A065A293C(Adobanteck東洋股份有限公司製、平均粒徑 0· 65/z ra以下)而進行過濾,得到濾液(鎳漿體a)。 (導電性墨水之調製) 在鎳漿體A,添加65. 8g之鈦丙醇酸酯(松本純藥工業
股份有限公司製TC—315),來作為密合性提升劑,以攪拌 速度20〇rpm,來進行30分鐘之攪拌,得到導電性 , 電性墨水A)。 C電極形成及其評價) 在4Cm角之無驗玻璃基板〇A—1〇(曰本電氣玻璃公司 製)上’使用旋轉塗敷器’以旋轉數2_聊之條件,來塗 膜導電性墨水A。接著,在氣含有量2容量%之氣 人 氣氛,以讀、2何之條件,來對於塗膜之玻璃基板°, =還原燒成,在玻璃基板上,形成錄電極膜 觀察而測定電極厚度時,成為大約⑹。藉由四探 測定機Loresta GP(三菱化風八 電阻,並且,按昭JISKr 測定錦電極膜之比 評價和玻璃基㈣之密合^ 在《丨生。比電阻係3 8χί(Γ 猜合性之評價係分類0 Cm, 中,對於前述錄電極膜,進良八好鐘之选合性。此外,在水 在丙嗣中進行1G分鐘之超 ^之超音波洗淨’接著’ 電極膜之剝離。 〜、淨時’完全並無觀察到錄 2213-7458-PF;Ahddub 26 1308347 (微電極膜之形成極評價) 2刀配器塗敷裝置(武藏工程公司製),接合喷嘴前端 "成為25 A m之噴嘴’成為能狗連續地塗敷導電性墨 水之狀態。在該裝置,脾道带l . 妒置將導電性墨水A塗敷於4cm角之臭 =璃=之1iG(日本電氣玻璃公司製)上,形成錄電 :膜。接者’在氫含有量2容量%之氫一氦溫合氣氛,以 町2小時之條件,來對於該破璃基板,進行還原燒成, 在玻璃基板上’形成錄電極膜。在藉由顯微鏡而測定電極 幅寬時,成為大約40"。在水中,對於得到之鎳電極膜, 進行10分鐘之超音波洗淨’接著,在藉由顯微鏡而觀察於 丙酮中進行Η分鐘之超音波洗淨者時,完全並無觀察_ 電極膜之剝離。 【實施例2】 除了使用胺基残偶合劑KBE—9G3(信越化學公司製) 來取代鈦丙醇酸醋以外,其餘係相同於實施例i,得到導 電性墨水(導電性墨水B),藉由旋轉塗敷器而得到錄電極 膜。就該鎮電極膜而言’相同於實施们,測定比電阻, 進行密合性之評價,比電阻係4.5xl〇-% · Μ,密合性之 評價係分類0,得到良好之密合性。此外,在水中,對於 前述鎳電極膜,進行1G分鐘之超音波洗淨,接著,在丙鋼 中進行1G分鐘之超音波洗淨時,完全並無觀_㈣極膜 之剝離。接著,相同於實施命]卜冑由分配器塗敷法而在 玻璃基板上形成微細之鎳電極膜。纟藉由顯微鏡而測定錄 電極幅寬時,成為大約40仁m。在水中,對於得到之鎳電 2213-7458-PF;Ahddub 27 1308347 -極膜,進行10分鐘之超音波洗淨,接著,在藉由顯微鏡而 觀察於丙酮中進行10分鐘之超音波洗淨者時,完全並無觀 察到鎳電極膜之剝離。 【實施例3】 除了將形成鎳電極膜之基板來改變成為附有IT()膜之 玻璃基板(三井金屬鑛業股份有限公司製、ίτ〇膜厚度0.2 vm)以外,其餘係'進行相同於實施例1之操作,藉由分配 器塗敷法而在时ITQ媒之玻璃基板形成微細之錄電極 膜。在藉由顯微鏡而測㈣電極幅寬時,成為大約40 // m。 在水中對於得到之鎳電極膜,進行1〇分鐘之超音波洗 淨,接著,在藉由顯微鏡而觀察於丙酮中進行1〇分鐘之超 音波洗淨者時’完全並無觀察到鎳電極膜之剝離。 【實施例4】 除了將形成鎳電極膜之基板來改變成為鍍銅層壓板 (三井金屬鑛業股份有限公司製、銅落厚纟託一以外,
其餘係進行相同於實施例1之操作,#由分配器塗敷法而 在鍵銅層壓板來形錢細之錄電極膜。在藉由顯微鏡而判 定錄電極幅寬時’成為大約。在水中,對於得到之 =電極膜,進行iG分鐘之超音波洗淨,接著,在藉由顯微 鏡而觀察於㈣中進行u分鐘之超音波洗淨者時,完 無觀察到鎳電極膜之軔離。 以下、己載·進行導電性墨水之黏度調整來使用喷黑 印表機而形成及評價電路之實施例5〜實施例''土 【實施例5】 2213-7458-PF;Ahddub 28 1308347 (微粒金屬粉之調製) ,在該實施例,作為微粒金屬粉係使用無機氧化物塗敷 微粒錄粉。在以下,關於無機氧化物塗敷微粒鎳 而進行說明。在容晋9ητ ^ ^ 0L之谷器’放入純水1 〇L,以 速度200rpm ,來進行墙她 ^ ^ Μ ^ 拌,同時,逐漸地添加4000g之鎳 知(二井金屬鑛業股份有限公司製ΝΝ-Π)。、一次粒子之平 均粒徑l〇〇nm),在進杆9 進仃20分鐘之㈣後,在這裡,添加 ZOOg之20重量%藤能_电,, 心—氧化矽(日產化學工業股份有限公
司製、雪號數0、一-女鈿工+ T 粒子之平均粒徑20nm),還進行2〇 刀鐘之攪拌,得到分散液。 接考’為了成為在該分散液中之鎳粉呈均勻地混合膠 ^氧化石夕之狀態,因此,使用成為高速度乳化分散機之 丄Uilmix(特殊機化工豐 業股伤有限公司製)而連續地進行 處合處理’得到膠態二氧 蔣邮 軋化矽呈均勻地混合於鎳之狀態之 漿體。接著,使用真空乾彈
^ 祀錁機,在真空度SOTori*以下、鞋 無機内溫度12〇°C之條件,斛执#耽 条件對於該漿體進行24小時之乾燥 ^理接相在料之粒子表面來固合二氧切之乾燥粉 =接著,為了在使用Henshellmixer(三井鑛山公司製) 而解碎該乾燥粉末後,除去 — 音粗大之粒子,因此,使用20 // m之篩,施行篩分級。接著, 味 马了將和存在於通過20/zm 師之粉末之鎳粒子表面之二氧 夕之錄粒子表面間之密合 ,予以提高,因此,還使用真空乾 乾雜機,在真空度lOTorr =下、乾燥機内溫度戰之條件,進行⑷、時之加熱處 理’得到二氧切塗㈣粉(在以下,稱為「㈣」。)。 22l3-7458-PF;Ahddub 29 1308347 •鎳粉係在鎳微粒之粒子表面,附著二氧化矽。 (分散助劑) 在容量1L之燒杯,加入38〇g之二乙醇胺(和光純藥工 f股份有限公司製)、45.6§之44%聚丙缚酸銨溶液(和光純 :工:股份有限公司製)及13々之15%四甲基銨溶液(和 7純藥工業股份有限公司製),藉由磁性攪拌器而進行授 摔’ _製分散助劑。 ^ (水性鎳漿體之調製) 在奋量1L之容器,加入作為溶媒之純水〇. 7L,以攪 $速度2G0rpm,來進行授拌,同時,逐漸地添加3心之 前述鎳粉,並且,還添加40. 3g之分散助劑,進行2〇分鐘 之攪拌,得到漿體。 接著,藉由成為高速度乳化分散機之T K.Filmix(特 殊機化工業股份有限公司製)而對於該漿體連續地進行分 散化處理後,添加純水0.96L而得到鎳濃度15重量%之= 。、接著,藉由該漿體所含有之1//〇1以上之粒子通液於匣 盒式過濾器(Adobanteck東洋股份有限公司製Mcp—以― El OS、平均孔徑丄仁m以下)而除去粒子,並且,還除去〇 8 以上之粒子,因此’藉由纖維素混合g|形式膜過渡器 A065A293C(Adobanteck東洋股份有限公司製、平均孔秤 0. 65" m以下)而進行過濾,得到濾液(以下,稱為「水 錄聚體」。)。 π 、 (導電性墨水之調製) 2213-7458-PF;Ahddub 30 1308347 -在前述水性鎳漿體,對於濾液而添加188. 9g之2—n —丁氧基乙醇(關東化學股份有限公司製、表面張力 28. 2mN/m),來作為表面張力調整劑,並且,還添加65. “ 之欽丙醇酸酯(松本純藥工業股份有限公司製TC — 3ι 5), 來作為密合性提升劑,以攪拌速度2〇〇rpm,來進行3〇分 鐘之攪拌,得到導電性墨水(在以下,稱為「導電性墨水 A」。)。在藉由動態接觸角測定裝置(a & D股份有限公司 _製、DCA— l〇〇w)而測定該導電性墨水a之表面張力時,成 為32.5inN/m’在藉由振動式黏度計(CBC材料股份有限公司 製VM—100A)而測定25。〇之黏度時,成為1〇.8cp。 (印刷性之評價) 就導電性墨水A而言,在使用市面販賣之喷墨印表機 (精工愛普生公司製PM—G700)而進行無驗玻璃基板 —10(曰本電氣玻璃股份有限公司製)之配線圖案(線及空 間100 Θ in、長度2cm)之製作時,導電性墨水A係在噴墨喷 % —嘴,並無發生孔堵塞而能夠進行印刷。此外,能夠進行連 續50次以上之印刷。在連續50次之印刷後,確認有噴嘴 之孔堵塞,因此,在實施喷嘴核對圖案印刷時,並無確認 到喷嘴堵塞。此外,在藉由光學顯微鏡而觀察得到之配線 圖案時,在配線圖案,並無觀察到斷線或墨水之飛散,成 為良好之配線圖案。 (導電性之評價) 接著,在前述之喷墨印表機,在4cm角之玻璃基板, 製作3cm角之石(Beta)膜,在氳含有量2容量%之氫—氮混 22l3-7458-PF;Ahddub 31 !3〇8347 合氣氛下’以30(TC,進行2 膜。就該電極膜而言,難+ μ時之加熱處理,得到電極 GP(三菱化學股份有限公 探針電阻測定機L〇resta incm。 幻而挪定比電阻時,成為 (密合性之評價) 接著,按照JIS K 5600段 價在前面敘述所製作之電極 6 ’藉由橫切法而辨 合性之評價結果係分類0,Γ冑基板間之密合性。密 水中,對於該電極膜,進行二1良好之密合性。此外,在 在丙嗣中進行10分鐘之超立t鐘之超音波洗淨,接著, 比較例,—起記載於1::,結果等係和其他咖 【實施例6】 在該實施例,除了禾‘ Q 0 c ,八古肪' & 了添加89·5…〜丁醇(關東化學用
2、㈠製、表面張力24 9mN/in)來作為表面張力㈣ 取代2—n—丁氧基乙醇以外,其餘係相同於實施例 而得到導電性墨水(在以下,稱為「導電性…」… 該導電性墨水B係表面張力418mN/m、25<t之黏度i〇 5cp 在以下,在相同於實施例5而進行配線圖案之製竹 時,導電性墨水B係在嘴墨喷嘴,並無發生孔堵塞而能與 進行印刷。此外,能夠進行5〇次以上之印刷。 此外’在藉由光學顯微鏡而觀察得到之配線圖案時, 在配線圖案,並無觀察到斷線或墨水之飛散,得财良好之 配線圖案。此外,在相同於實施例1而製作電極膜來測廣 2213-7458-PF;Ahddub 32 1308347 比電阻時,成為2 3xl〇_2Q cn] 而評價前述電極Μ今命 卜在相同於實施例5 广这電極膜之密合性時,成 密合性。此外,Α卜山 U仔到艮好之 立、、 在水中,對於該電極膜,進行10八鐘之相 e波洗淨,接著,在丙酮中進行10八鐘 刀 士入*也伽由 10刀鐘之超音波洗淨時, 凡王並無觀察到電極膜之㈣ ^^Ϋ.r B L 上之性鲍坪償結果等係 之實施例及比較例,-起記载於表卜 【實施例7】 在該實施例,作為微粒金屬 微粒銀粉。在以下,關於_2係使用無機氧化物塗敷 π 關無機氧化物塗敷微粒銀粉之調整 而進仃說明。在容量2〇L之容 谷斋放入純水1 0L,以婚姓 速度200rpm,來進行攪拌,同時, ^ # ^ ^ ^ ^ .v , 、漸地添加 400〇g 之銀 一开金屬鑛業股份有 π , ^ ^ 表千均一次粒徑0.3/zm 口口),在進行20分鐘之攪拌後, ^ k裡’添加200g之2Π 重量%膠態二氧化矽(日產化 &之 系k伤有限公司製、堂跋 數〇、一次粒子之平均粒徑2〇nm &雪號
得到分散液。 還進订20分鐘之擾拌, 接著,為了成為在該分散液中 人酿能s , r文微粒銀粉呈均勻地混 合膠態二氧化矽之狀態,因此 μ m · 之用成為兩速度乳化分散 二的: :llmiX而連續地進行混合處理’得到膠態二氧化 石夕呈均勻地混合於微粒銀粉之狀 ^ &態之漿體。接著,使用 王乾燥機,在乾燥機内溫度5〇扣 ’ 代山 UC、真空度50T〇rr以下之 條件,對於該漿體進行24小時之萨# 士 ^ , 于之乾焯處理,得到在微粒銀 粉之粒子表面來固合二氧化矽之氕 7足乾燥粉末β接著,.為 使用Henshellmixer (三井鑛山於 頌山^份有限公司製)而解碎該 2213-7458-PF;Ahddub 33 -1308347 乾燥粉末後,除去粗大之粒子,因此,使用之筛, 施行篩分級。接著,為了將和存在於通過2〇#m篩之粉末 之銀粒子表面之二氧化石夕之銀粒子表面間之密合性予以提 .高,因此,還使用真空乾燥機,在真空度10Torr以下、乾 燥機内,皿度70 C之條件’進行24小時之加熱處理’得到 一氧化矽塗敷微粒銀粉(在以下,稱為「銀粉」。)。銀粉 係在銀微粒之粒子表面,附著二氧化矽。 接著’在谷量1L之容器’加入作為溶媒之純水〇7L, 以攪拌速度20〇rpm,來進行攪拌,同時,逐漸地添加3〇〇g 之刖述銀柘,並且,還添加4〇· 3g之分散助劑,進行分 鐘之攪拌,得到漿體。 接著,藉由成為高速度乳化分散機之T K Filmix(特 殊機化工業股份有限公司製)而對於該漿體連續地進行分 散化處理後,添加純水〇· 96L而得到銀濃度丨5重量%之漿 體。 接著,藉由相同於實施例5之匣盒式過濾器和纖維素 混合酯形式膜濾器而過濾該漿體所含有之以上之粒 子’得到濾液(以下’稱為「水系銀漿體」。乂。 此外,在前述水性銀漿體,對於濾液而添加188.“之 11 丁氧基乙醇’來作為表面張力調整劑,以授拌速度 20〇rpm’來進行3〇分鐘之攪拌,並且,添加65 8g之鈦丙 醇酸酯,來作為密合性提升劑,還以攪拌速度2〇〇rpm,來 進打30分鐘之攪拌,得到導電性墨水(在以下,稱為「導 電性墨水C」。)。在測定該導電性墨水c之表面張力時, 2213-7458-pF;Ahddub 34 •1308347 , 成為34. 8mN/m,在測定25。广夕針由+ 、 你巧疋之黏度時,成為l〇.8cP。 、下在相同於實施你j 5而進行配線圖案之製作 η: ’導電性墨水C係在喷墨喷嘴,並無發生孔堵塞而能夠 進行印刷。此外,能夠進行5〇次以上之印刷。 此外’在藉由光學顯微鏡而觀察得到之配線圖案時, 在配線圖案,並無觀察到斷線或墨水之飛散,得到良好之 配線圖案。此外,在相同於實施例5而製作電極膜來測定 比電阻時,成為3.5χ1(ΤΩ·ειη。此外,在相同於實施例i !評價前述電極膜之密合性時,成為分類。,得到良好之 松合性。此外’纟水中,對於該電極臈,進行1〇分鐘之超 音波洗淨’接著,在丙酮中進行1G分鐘之超音波洗淨時, 完全並無觀察到電極膜之剝離。以上之性能評價結果等係 和其他之實施例及比較例,一起記載於表1。 【比較例1】 除 了省略 2 — η — 丁 A 7 机〜 氧基乙転之添加以外,其餘係相同 f 等電性墨水D(在以下,稱為「導 水D」。)。此外,該導電性罢尤 ’ 25〇Γ,^^ ιη ^生墨水D係表面張力53.lmN/m、 黏度1G_4eP°在㈣於實施例5而進行配線圖 製作時,導電性墨水D係在5次之印刷後,在喷墨嘴:之 發生孔培塞而無法進行連續印刷。此外,在藉由光學顯德 鏡而觀察配線圖案時,在配線圖案,看到斷線圖案 得到良好之配線圖案。 '' 此外在相同於實施例5而嘗試製作電極膜,但1 對於玻璃基板之潤濕性變差,無法形成電極膜。以=性 35 2213-7458-PF;Ahddub 1308347 ^ 能評價結果等係和其他之實施例,一起記載於表1。 【表1】 實施例5 實施例6 實施例7 比較例1 金屬粉 鎳 鎳 銀 鎳 密合性提升劑 鈦丙醇酸酯 鈦丙醇酸酉旨 鈦丙醇酸酯 鈦丙醇酸酯 表面張力調整劑 2—η— 丁氣 基乙醇 ‘ 1 一丙醇 2—n—丁氧 基乙醇 無 表面張力 mN/m 32.5 41.8 34.8 53.1 黏度 cP 10.8 10.5 10.8 10.4 喷墨印刷 δ式驗 喷墨喷嘴之 堵塞 益 "»、 無 無 有 配線之斷線 無 無 無 有 電極膜 特性 電極膜之電 阻值 L8xl0'3 2. 3x10'2 3. 5xl0'4 不可製作電 極膜 密合性 (JIS K 5600) 分類0 分類0 分類0 不可製作電 極膜 【產業上之可利用性】 本件發明之導電性墨水係和各種基板間之密合性良好 並且能夠形成微細之配線或電極之導電性金屬墨水。此 外,本件發明之導電性墨水係適合於使用喷墨方式或分配 器方式而在基板上形成微細之配線或電極之用途等。即使 是使用喷墨方式等,也藉由使用密合性提升劑等之添加劑 而成為和各種基板間之密合性良好並且能夠形成微細之配 線或電極之導電性金屬墨水。因此,能夠進行:對於玻璃 基板上之電路形成、使用銀膏或銅膏所形成之電路、或者 是對於使用ΙΤ0之透明電極等之上之配線、電極、或保護 電路或者是保護被覆膜之形成。因此,有用於液晶顯示器 等之製造過程。像這樣,可以使用分配器裝置或喷墨裝置 2213-7458-PF;Ahddub 36 1308347 而印刷微細之配線或電極, 性之導電性墨水係無法供應 之導電性墨水之使用。 月b夠確保和各種基板間之密合 至市場,躍進地擴散本件發明 【圖式簡單說明】 無。
【主要元件符號說明】 益0 2213-7458-PF;Ahddub 37

Claims (1)

  1. 修正日期:97.7.10 < 擬似35160號中文申請專麵圍修正本 十、申請專利範圍: 1 ·種導電性墨水,包含溶媒、鎳粉和密合性提升劑, 其中 前述溶媒包含水,以及常壓之沸點成為30(rc以下之 醇類:飽和烴類所構成之群組而選出< 1種或2種以上; 别述密合性提升劑係由矽烷偶合劑、鈦偶合劑、氧化 錯偶合劑和㈣合劑所構成之群組而選出t丨種或2種以 上,以及 前述導電性墨水在25t:之黏度係60cp以下。 2.如申請專利範圍第i項之導電性墨水,其中,前述 溶媒係使用表面張力調整劑而調整表面張力成為在15義 〜50mN/m之範圍。 3.如申請專利範圍第2項之導電性墨水,#中,前述 表面張力調整劑係組合由在常壓之沸點成為1〇〇。。〜 之醇和乙二醇所構成之群組而選出種或2種以上。 其中,前述 4.如申請專利範圍第丨項之導電性墨水 録粉之一次粒徑為500nm以下。 其中,前述 5·如申請專利範圍第4項之導電性墨水, 鎳粉係含有之凝集粒之最大粒徑為〇·8"以下 6.如申請專利範圍第i項之導電性墨水,其中,前述 ^粉係在其粉粒表面附著非溶性無機氧化物之無機氧化物 塗敷錄粉。 ::申請專利範圍第6項之導電性墨水…,前述 非-性無機氧化物係包含由二氧化石夕、氧化紹、氧化錯和 2213-7458-PF1 38 1308347 種元素之氧化物。 氧化鈦所構成之群組而選出之至少 •如申請專利範圍第1項之導電性墨水,其中包含分 散助劑’作為分散助劑係組合由(a)聚丙烯酸、其酯或其 鹽、(b)有機基取代氫氧化銨及(c)含羥基胺化合物之(a) 〜(c)之任何一種之群組而選出之1種或2種以上。 2213-7458-PF1 39
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