TWI297762B - - Google Patents

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1297762 ⑴ ^ 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關流體加熱裝置者，更詳細地說’係有關 例如將光能轉換爲熱能以加熱被加熱流體之流體加熱裝置 【先前技術】 先前，例如使半導體晶圓等之被處理體接觸處理液體 而施予處理之習知方法有：例如浸漬在包含處理槽內儲存 (供應）之藥液而設定於特定溫度之處理流體，如氫氟酸的 稀釋液（DHF)或沖洗液等以處理的處理方法，或例如使異 丙醇（IP A)與氮氣（N2氣體）之混合流體的蒸氣接觸被處理 體之IPA乾燥處理方法。 另外，一種加熱處理流體等之流體之習知手段有以光 能爲熱源直接加熱流體之技術。該項技術即所謂的直接加 熱方式’例如，在石英製的透明筒內配置熱源燈，並在形 成於圍繞透明筒的筒狀容器與透明筒之間的空間設置流體 入口與流體出口，同時在內側空間內具備分散於該內側空 間的幾乎全域之內側散熱片（Fin)，而利用熱源燈之輻射 熱直接加熱流體（例如，參照專利文獻1)。 [專利文獻1]特開平9-2 10577號公報（申請專利範圍， 圖1) 【發明內容】 _5 - 1297762 (2) [發明擬解決之問題] 但是，先前的該項直接加熱方式在流通於熱源燈附近 與離開熱源燈之部位之被加熱體之間有發生溫度而無法均 勻加熱的問題。另外，在加熱諸如IPA的有機溶劑時，必 須充分注意加熱溫度。此外，直接加熱方式者由於加熱源 之熱源燈係配置於石英製的透明筒內，流體流動的部分係 以石英構成，當被加熱流體爲氟酸時，石英有可能被氟酸 溶解之虞，因此，與流體接觸的部分有無法使用石英的問 題。 另外，記載於特開平9-21 0577號公報者係爲了抑制流 體之溫度誤差，將分散於內側空間之幾乎全區域之內側散 熱片沿著流體的流動方向設置之構造，因此構造複雜，而 且散熱片之前端與後端流體之流動有發生變化而傷害到加 熱的均勻性之虞。 本發明爲鑑及上述問題而完成者，其課題在提供流體 加熱裝置，其不受被加熱流體的種類或性質之影響，可以 很有效地將加熱源的光能轉換爲熱能，同時間接地傳熱至 被加熱流體以謀求流體之加熱效率之提升。 [解決課題之手段] 爲解決上述課題，申請專利範圍第一項記載之流體加 熱裝置具有熱源燈；以及包圍該熱源燈，同時一端具有被 加熱流體之流入口，另一端具有被加熱流體之流出口之流 路管，其特徵爲··上述流路管之至少與上述熱源燈相對之 -6- 1297762 (3) 面塗布輻射光吸收塗料。 藉由此種構造，輻射光吸收塗料可以吸收由熱源燈輻 射的光能，吸收的能量被傳熱至流通於流路管內之流體而 間接地加熱流體。 另外，申請專利範圍第2項記載之發明爲申請專利範 圍第1項記載之流體加熱裝置中，其中上述流路管是以耐 藥品性之合成樹脂所形成。 φ 藉由此種構造，流路管對於含有藥品之被加熱流體也 不至於腐蝕。 此外，申請專利範圍第3項記載之發明爲申請專利範 圍第2項記載之流體加熱裝置，其中，另具備覆蓋上述流 路管表面之傳熱性構件，同時在該傳熱性構件上塗敷上述 輻射光吸收塗料。 藉由此種構造，輻射光吸收塗料所吸收的熱能透過傳 熱性構件均勻傳導至合成樹脂所形成的流路管。 0 再者，申請專利範圍4項記載之發明爲申請專利範圍 第1至第3項中任一項記載之流體加熱裝置，其中，上述流 路管係由排列於熱源燈之同心圓上的多個直形管群所形成 。此時，該等直形管宜以來自熱源燈的輻射光不洩漏至外 側之程度互相接近，較佳爲排列成互相接觸。 藉由此種構造，可以將由熱源燈輻射出來之光能均勻 地供應予各直形管。 另外，申請專利範圍第5項記載之發明爲申請專利範 圍第1項至第3項中任一項記載之流體加熱裝置’其中’上 1297762，) 述流路管係在熱源燈的同心圓上，以螺旅形管形成。此時 ，螺旋形管宜以來自熱源燈的輻射光不洩漏至外側之程度 互相接近，較佳爲排列成互相接觸。 藉由此種構造，可以將由熱源燈輻射出來之光能均勻 地供應予螺旋狀管。 此外，申請專利範圍第6項記載之發明爲申請專利範 圍第1至第5項中任一項記載之流體加熱裝置，其中，另具 φ 備包圍上述熱源燈與流路管之筒狀容器。 藉由如此構造，可以防止由熱源燈輻射之光能洩漏至外 部，同時抑制熱源燈與流路管受到外部環境之影響。 再者，申請專利範圍第7項記載之發明爲申請專利範 圍第6項記載之流體加熱裝置，其中另具備配設於上述筒 狀容器之內壁面之光反射構件。 藉由此種構造，可以利用光反射構件將由熱源燈輻射 之光能之一部分反射而照射流路管以便傳熱。 0 另外，申請專利範圍第8項記載之發明爲申請專利範 圍第6項或第7項記載之流體加熱裝置，其中，另具備對上 述筒狀容器中供應惰性氣體之供應部。 藉由此種構造，除了可以將筒狀容器內部置換成惰性 氣體的環境之外，還可以防止外部環境侵入筒狀容器內。 除此之外，申請專利範圍第9項記載之發明爲申請專 利範圍第1項至第8項中任一項記載之流體加熱裝置，其中 ，另具備：用於檢測流通於上述流路管內的流體之溫度的 溫度檢測手段；用於調節上述熱源燈之熱値的電流調節手 -8 - 1297762 ⑼ 段；以及依據上述溫度檢測手段所檢測之溫度，對上述電 流調節手段傳達控制訊號以控制上述流體之溫度的控制手 段。 藉由此種構造，可以利用溫度檢測手段檢測流通於流 路管內之流體溫度，而將該檢測溫度傳達至控制手段，並 根據來自控制手段之控制訊號控制電流調節手段以調節熱 源燈之熱値，同時調節流體之加熱溫度。 [發明之效果] 利用本發明，由於如上構成，因此可以獲得如下的優 異效果。 (1) 利用申請專利範圍第1項記載之發明，輻射光吸收 塗料可以將由熱源燈輻射出來之光能吸收，而吸收的能量 被流通於流路管內之流體傳熱而間接將流體加熱’因此’ 不拘被加熱流體之種類或性質’可以很有效地加熱被加熱 流體，同時謀求增加裝置的壽命。 (2) 利用甲請專利範圍第2項記載之發明’因爲對於含 有藥品之流體也不至於腐鈾流路管，因此加上上述（1)項 ，可以進一步謀求裝置壽命之增長與可靠性之提升。 (3) 利用申請專利範圍第3項記載之發明’因爲輻射光 吸收塗料所吸收之熱能透過傳熱性構件均勻地傳熱至合成 樹脂所形成之流路管，所以加上上述（1)，（2)項’可以進 一步謀求加熱效率之提升。 (4) 利用申請專利範圍4，5項記載之發明’因爲可以 將熱源燈輻射之光能對各直形管或螺旋管均勻供給’所以 -9 - 1297762 ⑹ 加上上述（1)至（3)，可以謀求進一步提升加熱效率。 (5) 利用申請專利範圍第6項記載之發明，不但可以防 止由熱源燈輻射之光能洩漏至外部，而且可以抑制熱源燈 與流路管受到外部環境之影響，所以加上上述（1)至（4)， 尙可進一步謀求光能之有效利用，同時謀求裝置壽命之增 加與可靠性之提升。 (6) 利用申請專利範圍第7項記載之發明，因爲可以將 熱源燈輻射出來的光能之一部分用光反射構件反射以照射 流路管以傳熱，所以加上上述（5)，可以進一步謀求加熱 效率之提升。 (7) 利用申請專利範圍8項記載之發明，不但可以將筒 狀容器內部置換成惰性氣體之環境，而且可以防止外部環 境侵入筒狀容器內部，所以加上上述（5)，（6)，可以進一 步謀求安全性的提升。 (8) 利用申請專利範圍第9項記載之發明，可以利用溫 度檢測手段檢測流通於流路管內之流體的溫度，並將該檢 測溫度傳達至控制手段，且依據來自控制手段之控制訊號 控制電流調節手段以調節熱源燈之熱値，同時調節流體的 加熱溫度，所以加上上述（1)至（7)，可以進一步使流體之 溫度控制更確實，同時謀求裝置的可靠性之提升。 【實施方式】 [實施發明之最佳形態] A、第1實施形態 -10- 1297762 (7) 圖1爲表示適用本發明之流體加熱裝置之第1實施形態 之洗淨處理系統之整體之槪略剖面圖；圖2爲表示第1實施 形態之流體加熱裝置之重要部分之剖面圖；圖3爲沿著圖2 之I-Ι線之剖面圖（a)與（b)之II剖擴大剖面圖（b)。 上記洗淨處理系統具備：洗淨槽10,係由用於儲存洗 淨液Μ例如，氟酸（HF)之稀釋液（DHF)或沖洗液（純水）等 }之內槽；與包圍該內槽11之上部開口部之外側以承接內 槽11溢出之洗淨液L之外槽12所構成之洗淨槽10;配設於 內槽11F部之洗淨液供應噴嘴14 ;在用於連接該洗淨液供 應噴嘴14與設置於外槽12底部之排出口 12a之循環管路15 上，由排出口側依次介設之循環泵16;瀘器17以及本發明 之流體加熱裝置20。另外，在洗淨槽10之內槽11內部配設 有可以保持多個，例如50片之半導體晶圓W(以下簡稱晶 圓W)之晶舟（Wafer boat)13。此外，在內槽11底部連接有 介設著排水閥之排水管（未圖示）。另外，由未圖示之洗淨 液供應源朝向外槽12供應洗淨液L。 上述流體加熱裝置20，如圖2與圖3所示，具備：例如 以不銹鋼製構件形成而在內壁固定有隔熱材料21&胃 器22 ;沿著該筒狀容器22內之中心軸配置之熱源燈23 ;以 及包圍鹵素燈23，同時一端具有洗淨液L之流入口 24’另 一端具有洗淨液L之流出口 25之流路管26。此外’筒狀容 器22之兩開口端部分別由固定有隔熱材料21之端部構件 22a，22b所阻塞。 此時，流路管26係以充滿排列於鹵素燈23之同心圓上 -11 · 1297762 (8) 互相接觸之多個耐藥品性，且不能以氟酸溶解的諸如聚四 氟乙烯（Poly tetrafluoro ethylene，PTFE)等之合成樹脂製管 構件所形成之有形管26a群所構成。此時，雖可將多個直 形管26a以不洩漏來自鹵素燈23之輻射光於外側之程度互 相靠近排列，但是爲提升加熱效率，以互相接觸排列爲宜 。另外，在與形成流路管26之各直形管26a表面至少與鹵 素燈23相對之面（在此爲外周整面）係以輻射光吸收塗料之 黑色塗料27塗敷等而成。該黑色塗料27如圖3(a)與圖3(b) 所示，係塗敷於富於被覆在構成流路管26的直形管26a外 周面之傳熱性的材料，例如鋁或不銹鋼製的金屬構件28之 表面。 如上述，由於在形成流路管26的各直形管26a表面之 至少與鹵素燈23相對之面塗敷輻射光吸收塗料之黑色塗料 27，因此由鹵素燈23所輻射之光能被黑色塗料27所吸收， 黑色塗料27所吸收之熱能透過金屬構件28均勻傳熱至構成 流路管26之直形管26a。 另外，流路管26之流入口 24與流出口 25分別由連通各 直形管26a端部之中空圓圏狀構件29a，29b所形成，流入 口 24側之中空圓圈狀構件29a透過貫穿筒狀容器22—方的 端部側之循環管路15連接到瀘器17側’流出25側之中空圓 圈狀構件29b透過貫穿筒狀容器22之另一方端部側之循環 管路1 5連接到洗淨液供應噴嘴。 此外，在流路管26之流出口 25側附近配置有溫度感測 器30 ,其係用於檢測以流體加熱裝置20加熱而由流出口 25 -12- 1297762 (9) 流出之洗淨液L之溫度的溫度檢測手段。另外，鹵素燈23 連接有電流調節器40，其係用於調節該鹵素燈23之熱値之 電流調節手段。構造上，該等溫度感測器30與電流調節器 40分別電連接於控制手段，即中央運算處理裝置50(以下 簡稱CPU50)，被溫度感測器30檢測出之溫度被傳達至 CPU50，而來自 CPU50之控制訊號被傳達至電流調節器40 ，而且洗淨液L被控制於特定溫度，例如80°C。 另外，如圖2之二點鍊線所示，也可以在筒狀容器22 之內壁面配設光反射構件60。如此一來，由於在筒狀容器 22之內壁面配設筒狀之光反射構件，由鹵素燈23輻射出來 之光能之一部分可以由光反射構件60反射而照射於流路管 26而傳熱。 利用上述構造之本發明之流體加熱裝置20，一方面可 以透過連接到循環管路15之流入口 24，將藉由循環泵16之 驅動由內槽11溢出之洗淨液L流到流路管26a，另外，由 鹵素燈23所輻射之光能被構成流路管26之多個直形管26a 之各黑色塗料27所吸收，而黑色塗料27所吸收之熱能透過 金屬構件28均勻傳熱至各直形管26a。藉此，洗淨液L被 加熱至特定之處理溫度（80°C )，而由洗淨液供應噴嘴14朝 向內槽1 1內部之晶圓W供應（噴射）以供處理。此時，由流 路管26流出之經過加熱之洗淨液L之溫度被溫度感測器30 檢測而傳達至CPU50，而來自CPU50之控制訊號被傳達到 電流調節器40，且洗淨液L被控制於特定的溫度例如80°C ，因此可以確實進行洗淨液L之溫度控制。 13- 1297762 (10) B、第2實施形態 圖4爲表示本發明的流體加熱裝置之第2實施形態之剖 面圖（a)，以及沿著（a)之III-III線之剖面圖（b);圖5爲表 示第2實施形態之流體加熱裝置的重要部分之剖面圖（a)與 (a)之IV部擴大剖面圖。 第2實施形態係以在鹵素燈23的同心圓上接觸的螺旋 狀的管70(以下簡稱螺旋管70)形成流路管26A的情形。 亦即，如圖4所示，第2實施形態之流體加熱裝置20A 具備螺旋管70,在與架設在筒狀容器22之中心軸部之鹵素 燈23之間隔著空隙圍繞著鹵素燈23，同時形成相鄰者互相 接觸的螺旋狀。此時，螺旋管70的一端貫穿筒狀容器22之 一方的端構件22a以形成流體的流入口 24，另一端則貫穿 筒狀容器22之另一方端構件22a以形成流體的流出口 25。 此時，雖然也可以將螺旋管70排列成來自鹵素燈23之輻射 光不洩漏到外側之程度互相接近，但是，爲提升加熱效率 ，以排列成互相接觸爲理想。 另外，如圖5所示，螺旋管70係由具有耐藥品性且不 被氟酸溶解，例如聚四氟乙嫌（Polytetrafluoroethylene， PTFE)等之合成樹脂製管構件之內裝管71，以及被覆蓋於 該內裝管71外周面之富於傳熱性之材料，例如鋁或不銹鋼 製之管狀金屬構件所構成之外裝管72之雙重管構造。另外 ，螺旋管70在外裝管72表面利用油漆等施予輻射光吸收塗 料之黑色塗料27。 -14- 1297762 (11) 如上所述，螺旋管70表面由於油漆輻射光吸收用的黑 色塗料27，由鹵素燈23所輻射之光被黑色塗料27所吸收而 轉換成熱能，並透過傳熱性金屬構件所構成之外裝管72傳 熱至螺旋管70而且可以間接地均勻而很有效地傳熱至流通 於螺旋管70內部之洗淨液L。 利用構造如上之流體加熱裝置20A，由鹵素燈23所輻 射之光能可以被構成流路管26A之螺旋管70的各黑色塗料 27所吸收，而黑色塗料27所吸收的熱能透過金屬構件所構 成之外裝管72均勻地傳熱至內裝管71。藉此，洗淨液L被 加熱至特定之處理溫度（80 °C )，而由洗淨液供應噴嘴14朝 向內槽11內部之晶圓W噴射以供處理。此時，與第1實施 形態一樣，由螺旋管70流出之被加熱洗淨液L之溫度被溫 度感測器30檢測出而傳達至CPU(未圖示），且來自CPU 之控制訊號被傳輸到電流調節器（未圖示），洗淨液L被控 制於特定之溫度，例如80°C，因此可以確實進行洗淨液L 之溫度控制。 此外，在第2實施形態中，其他部分與第1實施形態相 同，所以在相同部分附以相同符號而省略其說明。 C、其他實施形態 另外，在上述實施形態中，雖然針對適用本發明之流 體加熱裝置於半導體晶圓之洗淨處理系統之情形加以說明 ，但是本發明之流體加熱裝置也可以使用於半導體晶圓以 外之被處理體，例如LCD基板等之被處理體之洗淨處理 -15- 1297762 (12) 系統，此外，也可以適用於使用其他之處理流體之處理系 統。 例如，也可以適用於利用例用IPA與氮氣之混合流體 (被加熱流體）之蒸汽之IPA乾燥處理系統。 如圖6與圖7所示，上述IPA乾燥處理系統具備：用於 收容被處理體晶圓W之處理容器80;朝向該處理容器內 之晶圓W供應噴射乾燥用蒸汽之蒸汽供應噴嘴8 1 ;以及 φ 用於產生IPA與氮氣之混合氣體，即在氮氣中混合以霧狀 之IPA的混合氣體之混合流體產生手段之雙流體噴嘴82。 如圖6與圖7所示，上述流體加熱裝置20B具有螺旋狀 之螺旋管70A，係在與架設於筒狀容器22之中心軸部之鹵 素燈23之間隔著空隙包圍鹵素燈，而且相鄰者互相接觸。 此時，螺旋管70A —端的流入口 24透過混合流體供應管路 84與雙流體噴嘴82之排出口83相連接，螺旋管70A之另一 端之流出口 25透過蒸汽供應管路85連接到蒸汽供應噴嘴81 •。 此外，螺旋管70A係以富於傳熱性之不銹鋼製之管構 件，其表面塗敷有輻射光吸收用黑色塗料2 7(參照圖7(b)) 。由於如此地在螺旋管70A表面塗敷以輻射光吸收用之黑 色塗料27，由鹵素燈23所照射的光被黑色塗料27所吸收而 轉換成熱能，並透過螺旋管70A間接地均勻且很有效地加 熱流通於螺旋管70A內部之流體而使IPA與氮氣之混合流 體蒸發以產生蒸汽。 再者，在筒狀容器22之一端側側壁設有氮氣供應口 86 16- 1297762 (13) ，將由未圖示之氮氣供應源所供應之氮氣供應至筒狀容器 22內部，因此除了可以氮氣清洗筒狀容器22內部，還可以 防止外部環境，例如IPA環境入侵筒狀容器22內部，以謀 求流體加熱裝置20B之安全性的提升。 此外，圖6與圖7所示之第3實施形態中，其他部分與 第1與第2實施形態相同，所以對相同部分附以相同符號而 省略其說明。 p 再者，在第3實施形態中，係針對以流路管26B表面 塗敷黑色塗料27之不銹鋼製之螺旋管70A形成之情形加以 說明，但是，也可以表面塗敷黑色塗料27之直形不銹鋼製 管在鹵素燈23之同心圓上配置成互相接觸來構成以代替該 螺旋管70A。 上述第3實施形態之發明係就一個流體加熱裝置20B 產生蒸汽之情形加以說明，惟也可以將多個流體加熱裝置 20B串聯使其分擔蒸發之汽化部與將被蒸發之流體升溫至 § 處理溫度之升溫部。 另外，在上述實施形態中，係就使用鹵素燈23爲熱源 燈之情形加以說明，惟也可以使用諸如紅外線燈等之熱輻 射式燈代替鹵素燈23。 【圖式簡單說明】 圖1爲適用本發明之流體加熱裝置之第1實施形態之洗 淨處理系統之槪略剖面圖。 圖2爲表示本發明之流體加熱裝置之第1實施形態之剖 -17- 1297762 (14) 面圖。 圖3爲沿著圖2之I_I線之剖面圖（a)與（a)的II部擴大 剖面圖（b)。 圖4爲表示本發明之流體加熱裝置之第2實施形態之剖 面圖（a)與沿著（a)之ΙΙΙ-ΠΙ線之剖面圖（b)。 圖5爲表示第2實施形態之流體加熱裝置之重要部分之 剖面圖（a)與（a)之IV部分擴大剖面圖（b)。 圖6爲表示適用本發明之流體加熱裝置之第3實施形態 之IPA乾燥處理系統之重要部分之槪略剖面圖（a)與沿著 V-V線之剖面圖（b)。 圖7爲表示第3實施形態之流體加熱裝置之重要部分之 剖面圖（a)與（a)之IV部分擴大剖面圖（b)。 【主要元件符號說明】 ’ 11 :內槽 12 :外槽 1 〇 :洗淨槽 1 4 :洗淨液供應噴嘴 12a :排出口 15 :循環管路 16 :循環泵 1 7 :濾器 2〇 ’ 2〇B :流體加熱裝置 1 3 :晶舟 2 1 :隔熱材料 18- (15) 1297762 22 :筒狀容器 23 :鹵素燈（熱源燈） 24 :流入口 2 2 a，2 2 b :端部構件 2 5 :流出口 26，26A，26B :流路管 26a :直形管 27 :黑色塗料（輻射光吸收塗料） 28 :傳熱性金屬構件 29a，29b :中空圓圈狀構件 30 :溫度感測器（溫度檢測手段） 40 :電流調節器（電流調節手段） 50 : CPU(控制手段） 60 :光反射構件 70，70A :螺旋管 71 :內裝管（耐藥品性合成樹脂製構件） 72 :外裝管（傳熱性金屬構件） 80 :處理容器 8 1 :蒸汽供應噴嘴 82 :雙流體噴嘴 83 :排出口 86 :供應口 84 :混合流體供應管路 85 :蒸汽供應管路 -19 -

Claims (1)

1297762 (1) 十、申請專利範圍 1·一種流體加熱裝置，具備：熱源燈；及流路管，其 包圍該熱源燈之同時，一端具有作爲被加熱流體的含有有 機溶劑之惰性氣體的流入口，另一端具有被加熱流體之流 出口，以金屬形成；用於產生有機溶劑之蒸氣者；其特徵 & · 爲· 在上述流路管之至少與上述熱源燈相對之面被塗布輻 射光吸收塗料。 2·如申請專利範圍第1項之流體加熱裝置，其中，另 具備覆蓋上述流路管表面之傳熱性構件，同時在該傳熱性 構件上被塗布上述輻射光吸收塗料。 3.如申請專利範圍第1或2項之流體加熱裝置，其中， 上述流路管係以排列於熱源燈的同心圓上之多個直形管群 所形成。 4·如申請專利範圍第1或2項之流體加熱裝置，其中， 上述流路管係在熱源燈的同心圓上以螺旋狀的管形成。 5·如申請專利範圍第1或2項之流體加熱裝置，其中， 另具備包圍上述熱源燈與流路管之筒狀容器。 6·如申請專利範圍第5項之流體加熱裝置，其中，另 具備配設於上述筒狀容器內壁面之光反射構件。 7.如申請專利範圍第5項之流體加熱裝置，其中，另 具備對上述筒狀容器中供應惰性氣體之供應部。 8·如申請專利範圍第1或2項之流體加熱裝置，其中， 另具備： -20- (2) 1297762 溫度檢測手段，用於檢測流通於上述流路管內之流體 的溫度； 電流調節手段，用於調節上述熱源燈的發熱量；以及 控制手段，根據上述溫度檢測手段所檢測出的溫度， 對上述電流調節手段傳送控制訊號以控制上述流體的溫度

-21 - 1297762 第95124856號專利申請案 * 中文圖式修正頁 民國95年11月3日修正 CO 画

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第簡 :球 為符 圖件 表元 代之 定圖 :指表 圖案代 表本本 代 定一二 指 /V ΓΧ

20 流體 加 熱 裝置 21 隔熱 材料 22 筒狀 容 器 22a ，22b ： 上山 m 部構件 23 鹵素 燈 (熱源燈） 24 流入 P 25 流出 □ 26 流路 管 26a :直形管 27 黑色 塗 料 (輻射光吸收塗 28 傳熱 性 金 屬構件 30 溫度 感 測 器（溫度檢測手 60 光反 射 構 件 29a ，29b ： 中 空圓圈狀構件 I :線之剖面圖 八、本案若有化學式時，請揭示最能顯示發明特徵的化學 式：無