KR101522714B1 - 반도체 및 엘씨디 제조 설비용 감압 장치 - Google Patents

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Abstract

반도체 및 엘씨디 제조 설비용 감압 장치가 개시된다.
개시되는 반도체 및 엘씨디 제조 설비용 감압 장치는 감압 장치 몸체와, 반도체 또는 엘씨디를 제조하는 공정에 적용되는 반도체 및 엘씨디 제조 설비에서 유출되는 제 1 유체가 상기 감압 장치 몸체로 유입되는 유입단과, 상기 감압 장치 몸체를 경유한 상기 제 1 유체가 상기 감압 장치 몸체에서 유출되는 유출단과, 상기 감압 장치 몸체 내부를 막아 구획하는 구획벽을 포함하는 감압 장치 본체 부재; 상기 감압 장치 몸체 내부로 유입된 상기 제 1 유체에 혼합되기 위한 제 2 유체를 공급하는 제 2 유체 공급 부재; 및 상기 구획벽을 관통하여 상기 유입단을 통해 유입된 상기 제 1 유체가 유동되는 도입관과, 상기 도입관을 통해 유동된 상기 제 1 유체와 상기 제 2 유체 공급 부재를 통해 공급된 상기 제 2 유체가 혼합되어 혼합 유체를 형성하는 혼합관과, 상기 혼합관과 연통되어 상기 혼합 유체를 상기 유출단 쪽으로 유동시키는 연결관을 포함하는 혼합 부재;를 포함하고, 상기 혼합관에 의해 상기 도입관과 상기 연결관은 편심된 상태가 되는 것을 특징으로 한다.
개시되는 반도체 및 엘씨디 제조 설비용 감압 장치에 의하면, 유입단을 통해 유입된 제 1 유체가 도입관을 통해 제 2 유체 공급 부재 쪽으로 근접되게 편심된 방향으로 유동된 다음 혼합관에서 제 2 유체와 혼합되면서 혼합 유체가 형성되고, 그 혼합 유체가 도입관과 멀어지게 편심된 연결관을 통해 유출단으로 유출될 수 있으므로, 제 1 유체와 제 2 유체의 혼합 구간이 길어질 수 있음은 물론, 도입관, 혼합관 및 연결관의 편심 및 수직 연결에 의해 제 1 유체와 제 2 유체가 난류를 형성하면서 혼합될 수 있고, 그에 따라 유해 가스인 제 1 유체에 혼합되는 제 2 유체의 공급을 위한 구조가 간명해질 수 있고 그러한 유체들의 혼합이 원활하게 이루어질 수 있는 장점이 있다.

Description

반도체 및 엘씨디 제조 설비용 감압 장치{Decompressing apparatus for semiconductor and liquid crystal display manufacturing equipment}
본 발명은 반도체 및 엘씨디 제조 설비용 감압 장치에 관한 것이다.
반도체 및 엘씨디 제조 설비는 반도체 또는 엘씨디를 제조하기 위해 적용되는 설비를 말한다.
이러한 반도체 및 엘씨디 제조 설비에는 각종 화학 약품이 많이 사용되는데, 반도체 및 엘씨디 제조 공정에 사용된 각종 화학 약품은 환경에 유해한 경우가 많아서 스크러버 등의 포집기를 경유하면서 포집된다.
위와 같은 포집기로 각종 화학 약품이 함유된 기체 상태의 유해 가스를 유입시키기 위해 반도체 및 엘씨디 제조 설비의 배출단에는 진공 펌프가 설치된다.
이러한 진공 펌프의 부하를 감소시키기 위하여 포집기로 향하는 가스를 감압하여 그 속도를 증가시키는 장치가 반도체 및 엘씨디 제조 설비용 감압 장치이고, 종래의 반도체 및 엘씨디 제조 설비용 감압 장치로 제시될 수 있는 것이 아래 제시된 등록특허 등이다.
그러나, 종래의 반도체 및 엘씨디 제조 설비용 감압 장치에서는, 유해 가스인 제 1 유체에 그 속도 증진을 위해 별도로 제 2 유체를 부가하기 위하여 제 2 유체를 분사하기 위한 노즐을 별도로 설치해주어야 하여, 그 제조가 쉽지 아니할 뿐 아니라 구조가 복잡해지는 단점이 있었다.
또한, 그러한 제 1 유체 내의 미립자가 배관 상에 고착되는 현상 저감을 위하여 제 1 유체로 합쳐지는 제 2 유체의 온도를 증가시키기 위하여 제 2 유체가 유입되는 관 상에 별도의 히팅 자켓을 설치하여 제 2 유체를 가열시켰는데, 이러한 종래 방식에서는 별도의 히팅 자켓 설치가 필요한 단점이 있다.
등록특허 제 10-1066634호, 등록일자: 2011년09월15일, 발명의 명칭: 가스 흐름을 이용한 감압모듈 및 반도체 제조용 진공장치 등록특허 제 10-1278529호, 등록일자: 2013년06월19일, 발명의 명칭: 진공펌프용 이젝터 및 이를 구비한 진공펌프
본 발명은 유해 가스인 제 1 유체에 혼합되는 제 2 유체의 공급을 위한 구조가 간명해질 수 있는 반도체 및 엘씨디 제조 설비용 감압 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 다른 목적은 별도의 히팅 자켓 설치 없이도 제 2 유체를 가열할 수 있는 반도체 및 엘씨디 제조 설비용 감압 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따른 반도체 및 엘씨디 제조 설비용 감압 장치는 감압 장치 몸체와, 반도체 또는 엘씨디를 제조하는 공정에 적용되는 반도체 및 엘씨디 제조 설비에서 유출되는 제 1 유체가 상기 감압 장치 몸체로 유입되는 유입단과, 상기 감압 장치 몸체를 경유한 상기 제 1 유체가 상기 감압 장치 몸체에서 유출되는 유출단과, 상기 감압 장치 몸체 내부를 막아 구획하는 구획벽을 포함하는 감압 장치 본체 부재; 상기 감압 장치 몸체 내부로 유입된 상기 제 1 유체에 혼합되기 위한 제 2 유체를 공급하는 제 2 유체 공급 부재; 및 상기 구획벽을 관통하여 상기 유입단을 통해 유입된 상기 제 1 유체가 유동되는 도입관과, 상기 도입관을 통해 유동된 상기 제 1 유체와 상기 제 2 유체 공급 부재를 통해 공급된 상기 제 2 유체가 혼합되어 혼합 유체를 형성하는 혼합관과, 상기 혼합관과 연통되어 상기 혼합 유체를 상기 유출단 쪽으로 유동시키는 연결관을 포함하는 혼합 부재;를 포함하고,
상기 혼합관에 의해 상기 도입관과 상기 연결관은 편심된 상태가 되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 반도체 및 엘씨디 제조 설비용 감압 장치에 의하면, 유입단을 통해 유입된 제 1 유체가 도입관을 통해 제 2 유체 공급 부재 쪽으로 근접되게 편심된 방향으로 유동된 다음 혼합관에서 제 2 유체와 혼합되면서 혼합 유체가 형성되고, 그 혼합 유체가 도입관과 멀어지게 편심된 연결관을 통해 유출단으로 유출될 수 있으므로, 제 1 유체와 제 2 유체의 혼합 구간이 길어질 수 있음은 물론, 도입관, 혼합관 및 연결관의 편심 및 수직 연결에 의해 제 1 유체와 제 2 유체가 난류를 형성하면서 혼합될 수 있고, 그에 따라 유해 가스인 제 1 유체에 혼합되는 제 2 유체의 공급을 위한 구조가 간명해질 수 있고 그러한 유체들의 혼합이 원활하게 이루어질 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 다른 측면에 따른 반도체 및 엘씨디 제조 설비용 감압 장치에 의하면, 제 2 유체 공급 부재 내부에 제 2 유체 가열 히터가 설치됨에 따라, 제 2 유체 공급 부재 내부를 따라 유동되는 제 2 유체가 제 2 유체 가열 히터에 의해 가열될 수 있으므로, 제 2 유체 가열을 위한 별도의 히팅 자켓의 설치가 필요없게 되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 엘씨디 제조 설비용 감압 장치의 구성을 보이는 단면도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 엘씨디 제조 설비용 감압 장치의 작동 모습을 보이는 단면도.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 엘씨디 제조 설비용 감압 장치에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 엘씨디 제조 설비용 감압 장치의 구성을 보이는 단면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 엘씨디 제조 설비용 감압 장치의 작동 모습을 보이는 단면도이다.
도 1 및 도 2를 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 반도체 및 엘씨디 제조 설비용 감압 장치(100)는 감압 장치 본체 부재(110)와, 제 2 유체 공급 부재(130)와, 혼합 부재(120)를 포함한다.
상기 감압 장치 본체 부재(110)는 원통형 등으로 형성되는 감압 장치 몸체(111)와, 반도체 또는 엘씨디를 제조하는 공정에 적용되는 반도체 및 엘씨디 제조 설비에서 유출되는 유해 물질이 포함된 제 1 유체가 상기 감압 장치 몸체(111)로 유입되는 유입단(112)과, 상기 감압 장치 몸체(111)를 경유한 상기 제 1 유체가 상기 감압 장치 몸체(111)에서 유출되어 포집기 등으로 향하도록 하는 유출단(113)과, 상기 감압 장치 몸체(111) 내부를 막아 구획하는 구획벽(114)을 포함한다.
상기 구획벽(114)은 상기 감압 장치 몸체(111) 내부를 막아서, 후술되는 도입관(121)이 연결되는 부분을 제외하고는 상기 유입단(112)과 상기 유출단(113) 사이를 가로막게 된다.
상기 제 2 유체 공급 부재(130)는 상기 감압 장치 몸체(111) 내부로 유입된 상기 제 1 유체에 혼합되기 위한 제 2 유체를 공급하는 것이다.
상기 제 2 유체 공급 부재(130)를 통해 공급되는 상기 제 2 유체는 공기 등 환경에 무해한 것으로 이루어지고, 상기 제 1 유체와 혼합되어 혼합 유체가 음속 이상 등 고속으로 유동될 수 있도록 하여 진공 펌프의 부하를 감소시킬 수 있도록 상기 제 2 유체도 음속 이상 등 고속으로 유동될 수 있다.
상기 혼합 부재(120)는 상기 구획벽(114)을 관통하여 상기 유입단(112)을 통해 유입된 상기 제 1 유체가 유동되는 도입관(121)과, 상기 도입관(121)을 통해 유동된 상기 제 1 유체와 상기 제 2 유체 공급 부재(130)를 통해 공급된 상기 제 2 유체가 혼합되어 혼합 유체를 형성하는 혼합관(122)과, 상기 혼합관(122)과 연통되어 상기 혼합 유체를 상기 유출단(113) 쪽으로 유동시키는 연결관(123)을 포함한다.
상기 도입관(121)과 상기 혼합관(122)은 각각 상기 유입단(112)과 후술되는 제 2 유체 유출관(132)에 비해 상대적으로 작은 직경으로 형성되고, 그에 따라 상기 도입관(121)과 상기 혼합관(122)에서는 각각 상기 유입단(112)과 상기 제 2 유체 유출관(132)에 비해 상대적으로 고속으로 각 유체가 가속될 수 있다.
본 실시예에서는, 상기 혼합관(122)에 의해 상기 도입관(121)과 상기 연결관(123)이 서로 편심된 상태가 된다.
상세히, 상기 도입관(121)은 상기 유입단(112)의 중심선에서 편심되도록 상기 구획벽(114)을 관통하여 형성되고, 상기 연결관(123)의 중심선이 상기 도입관(121)의 중심선에서 편심되도록 형성된다.
더욱 상세히, 상기 도입관(121)의 중심선이 상기 유입단(112)의 중심선에서 상기 제 2 유체 공급 부재(130) 쪽으로 편심되되 상기 유입단(112)에서의 상기 제 1 유체의 유동 방향과 평행하게 형성되도록 상기 도입관(121)이 상기 유입단(112)과 연결되고, 상기 혼합관(122)의 중심선이 상기 도입관(121)의 중심선과 실질적으로 수직이 되도록 상기 혼합관(122)이 상기 도입관(121)과 연결되며, 상기 연결관(123)의 중심선이 상기 혼합관(122)의 중심선과 실질적으로 수직이 됨과 함께 상기 유출단(113)의 중심선과 일치하도록 상기 연결관(123)이 상기 혼합관(122) 및 상기 유출단(113)과 연결된다.
상기와 같이 구성되면, 상기 유입단(112)을 통해 유입된 상기 제 1 유체가 상기 도입관(121)을 통해 상기 제 2 유체 공급 부재(130) 쪽으로 근접되게 편심된 방향으로 유동된 다음 상기 혼합관(122)에서 상기 제 2 유체와 혼합되면서 상기 혼합 유체가 형성되고, 그 혼합 유체가 상기 도입관(121)과 멀어지게 편심된 상기 연결관(123)을 통해 상기 유출단(113)으로 유출될 수 있으므로, 상기 제 1 유체와 상기 제 2 유체의 혼합 구간이 길어질 수 있음은 물론, 상기 도입관(121), 상기 혼합관(122) 및 상기 연결관(123)의 편심 및 수직 연결에 의해 상기 제 1 유체와 상기 제 2 유체가 난류를 형성하면서 혼합될 수 있고, 그에 따라 유해 가스인 상기 제 1 유체에 혼합되는 상기 제 2 유체의 공급을 위한 구조가 간명해질 수 있고 그러한 유체들의 혼합이 원활하게 이루어질 수 있다.
상기 제 2 유체 공급 부재(130)는 상기 제 2 유체가 외부에서 공급되어 유동되는 제 2 유체 공급 부재 몸체(131)와, 상기 제 2 유체 공급 부재 몸체(131)를 따라 유동된 상기 제 2 유체가 상기 혼합관(122)으로 유입되도록 하는 제 2 유체 유출관(132)과, 상기 제 2 유체 공급 부재 몸체(131) 내에 일체로 형성되어, 상기 제 2 유체 공급 부재 몸체(131) 내부를 따라 유동되는 상기 제 2 유체를 가열시킬 수 있는 제 2 유체 가열 히터(140)를 포함한다.
도면 번호 133은 상기 제 2 유체 공급 부재 몸체(131)로 상기 제 2 유체를 음속 이상 등 고속으로 공급하는 외부 공급 부재(미도시)와 연결되는 말단부이다.
상기와 같이, 상기 제 2 유체 공급 부재(130) 내부에 상기 제 2 유체 가열 히터(140)가 설치됨에 따라, 상기 제 2 유체 공급 부재(130) 내부를 따라 유동되는 제 2 유체가 상기 제 2 유체 가열 히터(140)에 의해 가열될 수 있으므로, 상기 제 2 유체 가열을 위한 별도의 히팅 자켓의 설치가 필요없게 된다.
이하에서는 도 2를 참조하여 본 실시예에서의 반도체 및 엘씨디 제조 설비용 감압 장치(100)의 작동에 대하여 설명한다.
먼저, 상기 제 1 유체가 상기 유입단(112)을 통해 유입된 다음 상기 유입단(112)에 비해 상대적으로 작은 직경의 상기 도입관(121)을 통해 유동되면서 가속된다.
한편, 상기 제 2 유체가 고속으로 상기 혼합관(122)으로 유입된 다음 상기 제 2 유체 유출관(132)에 비해 상대적으로 작은 직경의 상기 혼합관(122)을 통해 더욱 가속된다.
상기 도입관(121)을 통해 가속된 상기 제 1 유체와 상기 혼합관(122)을 통해 더욱 가속된 상기 제 2 유체가 함께 상기 혼합관(122)을 따라 유동되면서 혼합되어 상기 혼합 유체가 형성된다.
상기와 같이 형성된 상기 혼합 유체는 상기 유입단(112)을 통해 유입되는 상기 제 1 유체의 초기 속도에 비해 가속된 상태로 상기 유출단(113)을 통해 유출될 수 있게 된다.
상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 반도체 및 엘씨디 제조 설비용 감압 장치에 의하면, 유해 가스인 제 1 유체에 혼합되는 제 2 유체의 공급을 위한 구조가 간명해질 수 있고, 별도의 히팅 자켓 설치 없이도 제 2 유체를 가열할 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.
110 : 감압 장치 본체 부재 120 : 혼합 부재
130 : 제 2 유체 공급 부재

Claims (4)

  1. 감압 장치 몸체와,
    반도체 또는 엘씨디를 제조하는 공정에 적용되는 반도체 및 엘씨디 제조 설비에서 유출되는 제 1 유체가 상기 감압 장치 몸체로 유입되는 유입단과,
    상기 감압 장치 몸체를 경유한 상기 제 1 유체가 상기 감압 장치 몸체에서 유출되는 유출단과,
    상기 감압 장치 몸체 내부를 막아 구획하는 구획벽을 포함하는 감압 장치 본체 부재;
    상기 감압 장치 몸체 내부로 유입된 상기 제 1 유체에 혼합되기 위한 제 2 유체를 공급하는 제 2 유체 공급 부재; 및
    상기 구획벽을 관통하여 상기 유입단을 통해 유입된 상기 제 1 유체가 유동되는 도입관과,
    상기 도입관을 통해 유동된 상기 제 1 유체와 상기 제 2 유체 공급 부재를 통해 공급된 상기 제 2 유체가 혼합되어 혼합 유체를 형성하는 혼합관과,
    상기 혼합관과 연통되어 상기 혼합 유체를 상기 유출단 쪽으로 유동시키는 연결관을 포함하는 혼합 부재;를 포함하고,
    상기 혼합관에 의해 상기 도입관과 상기 연결관은 편심된 상태가 되는 것을 특징으로 하는 반도체 및 엘씨디 제조 설비용 감압 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 도입관은 상기 유입단의 중심선에서 편심되도록 형성되고,
    상기 연결관의 중심선이 상기 도입관의 중심선에서 편심되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 및 엘씨디 제조 설비용 감압 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 도입관의 중심선이 상기 유입단의 중심선에서 편심되되 상기 유입단에서의 상기 제 1 유체의 유동 방향과 평행하게 형성되도록 상기 도입관이 상기 유입단과 연결되고,
    상기 혼합관의 중심선이 상기 도입관의 중심선과 수직이 되도록 상기 혼합관이 상기 도입관과 연결되며,
    상기 연결관의 중심선이 상기 혼합관의 중심선과 수직이 됨과 함께 상기 유출단의 중심선과 일치하도록 상기 연결관이 상기 혼합관 및 상기 유출단과 연결되는 것을 특징으로 하는 반도체 및 엘씨디 제조 설비용 감압 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 유체 공급 부재는
    상기 제 2 유체가 외부에서 공급되어 유동되는 제 2 유체 공급 부재 몸체와,
    상기 제 2 유체 공급 부재 몸체를 따라 유동된 상기 제 2 유체가 상기 혼합관으로 유입되도록 하는 제 2 유체 유출관과,
    상기 제 2 유체 공급 부재 몸체 내에 일체로 형성되어, 상기 제 2 유체 공급 부재 몸체 내부를 따라 유동되는 상기 제 2 유체를 가열시킬 수 있는 제 2 유체 가열 히터를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 및 엘씨디 제조 설비용 감압 장치.
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