TWI294786B - Composite and manufacturing method therefor - Google Patents

Description

1294786 五、 發明說明 ( 1 ) 發 明 所 屬 技 術 領 域 本 發 明 關 於 具 防污性 與親 水性的 複 合元件及其 製 法 > 提 供 可抑 制 表 面 反射或干 涉色 並 提 昇 光觸媒分 解 性 能 且 提 昇 親 水化 速 度 等的複 合元 件 〇 習 知技 術 具 防 污性 親 水性的 習知 複 合 元 件 ，有如在 基 材 表 面 上 形 成 光 觸 媒 氧 化 鈦膜， 並在其 上 形成 氧化矽等 Μ j\\\ 機 氧 化 膜 的 多 孔 質 狀 膜 (如日本特開平1 0 - 36 1 44號）。 發 明 欲 解 決 之 課 題 在 上 述 習 知 複 合元件 中， 因 爲 光 觸 媒氧化鈦 的 折射 率 η 較 局 (η =約 2 · 4) ，所以 當使 用 於 元 件 表面上之 表 面 反 射 較 強 的 汽 車 用 鏡 面 等情況 時， 便 將 形成 雙影像的 原 因 〇 此 外 〇 當 光 觸 媒 氧 化 鈦的膜 厚較 厚 的 情 況 時，便將 產 生 干 涉 色 本 發 明 爲 解 決 上述習 知技 術 中 的 問 題點，遂 提 供 可抑制 表 面 反 射 或 干 涉 色，並 提昇 光 觸 媒 分 解性能， 且 提 昇 親 水 性 速 度 等 的 複 合 元件。 解 決 課 題 之 手 段 本 發 明 之 複 合元件包括在 基 材 表 面 上，含有 以 氧 化 硼 與 光 觸 媒 性物 質 爲 主要成分的 混 合 膜 (以混合物所構成的膜） 〇 依 照 本 發 明 的 話，將 便可 將 附 著 於 混合膜表 面 上 的 髒 污 等 ， 利 用 光 觸 媒 性物質 的光 觸 媒 效 應 進行分解 而 予 以 去 除 0 另 5 亦 有合倂 獲得親 水性 的 -3· 情 況 〇 此外，因 爲 氧 化 硼 的 1294786 五、發明說明（2) 折射率n約1 . 46乃屬較低者，因此即便光觸媒性物質屬 於氧化鈦（T i 02)等折射率偏高的物質，亦可將含以該等爲 主要成分之混合膜的折射率抑制成較低，便可抑制表面反 射。另，當在玻璃（n =約1 .5)、聚碳酸酯（11 =約1 .59)、丙 烯酸樹脂（n =約1 . 5 )等透明基材上成膜之情況時，便可抑 制干涉色。所以，便可將混合膜形成表面反射較少，如構 成無色透明的膜。當基材係由如無色透明玻璃或合成樹脂 基板所構成時，便可在該基材單面或顰面上形成混合膜， 而構成高穿透率的無色透明複合元件，可構成建築物或車 輛等無污性或防霧性玻璃窗等。另，依照發明者的實驗， 若將氧化硼混合於光觸媒性物質內的話，相較於未混合氧 化硼的情況下，得知前者具有提高紫外光等光照射的光觸 媒分解性能或親水化速度的傾向。 另，在本發明之複合元件中，混合膜並不僅限於幾乎僅 由氧化硼與光觸媒性物質所構成，亦可含他物質。此外， 藉由將混合膜設定在如氧化硼含率50%以上、95%以下的範 圍內，便可獲得充分降低折射率效果與足夠的光觸媒效應 。此外，在混合膜內，光觸媒性物質可依微粒子化狀態存 在於氧化硼中。再者，光觸媒性物質可由如氧化鈦等光觸 媒性無機氧化物所構成。 再者，本發明之複合元件除將混合膜配置於元件最表面 處之外，尙可在該混合膜表面上配置其他膜。所謂該其他 膜，係指如將多孔質狀無機氧化膜{如多孔質氧化矽（S i 02) -4- 1294786 五、發明說明（3 ) 膜等多孔質透明無機氧化膜丨，直接或間接形成於混合膜 表面上，且當該多孔質狀無機氧化膜構成複合元件最表面 的情況時，便可依該多孔質狀的無機氧化膜本身，而獲得 親水性及維持親水性的功效。同時，該多孔質狀的無機氧 化膜表面上，即便附著髒污等而降低親水性，亦可利用紫 外線等光照射的光觸媒性物質之光觸媒效應，而分解該髒 污等，俾使親水性復活。另，當在該複合元件最表面上構 成多孔質狀無機氧化膜時，於至少其中一部份多孔質開口 到達混合膜的情況時，光觸媒性物質的光觸媒效應將比較 容易到達多孔質狀無機氧化膜表面，而促進髒污分解。 再者，本發明之複合元件，藉由依透明玻璃基板、透明 合成樹脂基板等透明基板構成基材，並在該透明基材背面 上形成反射膜，而構成防污鏡或防霧鏡（背面鏡：基材背面 上具反射面的鏡子），而可構成車輛用車外鏡、浴室鏡、 洗臉台用鏡等。另，此發明之複合元件，除直接在基材表 面上形成混合膜之外，亦可在基材表面與混合膜之間形成 中間膜。此中間膜譬如當基材屬於由鹼石灰玻璃所構成的 情況時，便可形成防止該基材中之鹼離子擴散入混合膜中 的抗鹼擴散膜。另，本發明之複合元件，可在基材表面與 混合膜之間形成反射膜的中間膜。此複合元件構成防污鏡 或防霧鏡（表面鏡：基材表面端具有反射面的鏡子），而可 構成車輛甩車外鏡、浴室鏡、洗臉台用鏡等。 本發明之複合元件之製造方法，係在導入有微量氧氣的 1294786 五、 發明說明（ 4) 真 空 境 中， 配置收容有光觸媒性物質之原料 物 質 的 坩 鍋 5 與 收 容 氧化 硼的坩鍋，並在各坩鍋內，使光 觸 媒 性 物 質 之 原 料 物 質與 氧化硼同時蒸發，並從該等坩鍋 的 噴 嘴 中 分 別 噴 出 光 觸媒 性物質之原料物質與氧化硼的集 體 物 ， 將 所 噴 出 光 觸 媒性 物質的原料物質之集體物，利用 上 述 所 導 入 的 氧 氣 進 行氧 化而產生光觸媒性氧化物的集體 物 9 然 後 將 該 光 觸 媒 性氧 化物的集體物與氧化硼的集體物 進 行 離 子 化 1 再 於 電 場中 進行加速，並利用衝擊基材表面 而在 該 基 材 表 面 上 形成 含有以光觸媒性物質與氧化硼爲 主 要 成分 的 混 合 膜 〇 此情 況下，當利用光觸媒性氧化鈦構 成 光 觸 媒 性 物 質 時 光觸 媒性物質的原料物質可採用如金1 翳ί Ιί 〇 發 明 實 施 態樣 本 發 明 之實 施態樣，說明如下。 (實施態樣一） 本 發 明 之實 施態樣一，如第1圖所示剖面示 意 圖 〇 另 y 在 第 1 圖中被覆膜厚度與實際不同，乃屬誇張描述（ 其 他 實 施 態 樣 亦同 )。在複合元件10中，基材1 2 係利 用 玻 璃 基 板 合 成樹 脂等各種材料的基板所構成。在 基 板 12 單 面 上 > 直 接形 成如厚度0.1〜Ι.ΟμίΏ左右的混合 膜 〇 混 合 膜 14 係利用 氧化 ，硼與光觸媒氧化鈦相互混合而成的光 穿 透 率 較 局 的 >fnr TTTT! j\ w 色透 明混合膜所構成。此混合膜1 4 係 構 成 複 合 元件 10的最外表面。依照此複合元件1 〇的話 5 藉 由 紫 外 光 照 射 混 合膜 1 4的話，便可使混合膜1 4表面 -6- 變 成 親 水化 1294786 五、 發明說明 (5； ) ο 另 > 即 便 在混 合 膜14表面上 附著髒污等而 造 成 親 水性 的 降 低 但 藉由 照 射紫外光線等 光照射光觸媒 氧 化 鈦 的 光 觸 媒 效 果 便將 該 髒污等予以分 解而恢復親水性 〇 此 構 造 的 複 合 元 件 10 係 當利用透明玻 璃基板或透明 合成 樹 脂 基 板 構 成 基 材 12 之 情況時，可利 用於建築物或 汽 車 的 玻 璃 窗 〇 此 情 況 下， 若 混合膜14在 室內端的話， 便 可 獲 得 防 污 抗 結 露 、防 霧 的效果，若在 戶外端的話， 便 可 獲 得 防 污 防止 雨 滴附 著 的功效。 將 第 1 圖 所示 構 造的複合元件 1 0，利用無色 透 明 玻 璃 基 板 構 成 基 材 12， 且當改變基材： 12表面上之光 觸 媒 氧 化 鈦 與 氧 化 硼 混 合比 (重量比）的各種 比率，形成厚> 度 800nm 之 混 合 膜 14 的情 況時，分光穿透‘ 性如第2圖所示 〇 依 第 2 圖 所示 的 話 ，當 有 覆蓋光觸媒氧 化鈦與氧化硼1 的; 合丨 漠 14 的 情 況 相 較於 覆 蓋著僅由光觸 媒氧化鈦所構 成 膜 的 情 況 下 得 知 刖 者的 穿 透率明較高， 並具有平坦特 性 同 時 此 傾 向 隨 光 觸 媒氧 化 鈦含率越低越 顯著。此乃因 爲 氧 化 硼 含 率 越 高 的 話 混合 膜 14折射率將 變低，而抑制 表 面 反 射 與 干 涉 色 的 緣 故所 致 〇 其 次 在 第1 圖 j所示構造的複合元件1 0中 當 改 變 基 材 12 表 面 上之光 觸媒氧化鈦與 氧化硼混合比 (重量比）的 各 種 比 而形成 混 合膜14的情 況時，紫外光 照 射的水 接 觸 角 變 化特性如 第 3圖所示。依 照第3圖所示 的 話 當 覆 蓋 著 光 觸 媒 氧化 鈦 與氧化硼之混 -7- 合膜14的情 況時 ， 得 知 1294786 五、發明說明（6) 利用紫外光照射，接觸角將降低至0度附近。光觸媒氧化 鈦與氧化硼的混合比在50:50(折射率n =約1.85)〜5:95(折 射率n =約1 .6)屬最恰當。在50:50之情況時，雖與僅覆 蓋著光觸媒氧化鈦（0 : 1 00 )之構造的情況，依相同速度程 度進行親水化，但若減少光觸媒氧化鈦含率的話，便可加 快親水化速度。特別係當利用5 : 95進行混合的情況時， 接觸角降低至0度附近所需的時間，約僅有只覆蓋光觸媒 氧化鈦（0 : 1 00 )之情況時的一半。 第4圖所示係相關第3圖所示測量數據，接觸角倒數相 對時間進行描點，接近直線的特性。此特性的斜率相當於 親水化的速度。依照第4圖的話，當光觸媒氧化鈦與氧化 硼的混合比爲5:95之情況時，相較於僅覆蓋著光觸媒氧 化鈦（0 : 1 00 )的情況下，得知前者約依二倍速度進行親水 化。此現象可推論乃隨光觸媒氧化鈦含率的減少，微粒化 光觸媒氧化鈦依高分散的存在於氧化硼中，而藉由量子大 小效果獲得高活性化的緣故所致。 其次，在第1圖構造的複合元件10中，將基材12表面 的光觸媒氧化鈦與氧化硼混合比進行各種變化而形成混合 膜1 4的情況，光觸媒分解反應之不同，如第5圖所示。 此乃分別製成光觸媒氧化鈦混合比率（重量比）設定爲5%、 10%、50%、100%的試料，並將每個試料收容於容器中，將 該容器內抽取真空後，導入一定量的NO，並將試料照射紫 外線一定時間，然後針對該經照射後之容器內環境氣體， 1294786 五、發明說明（7) 利用氣體色譜進行定性分析與定量分析。複合元件1 0經 紫外線照射，而激發起混合膜1 4中的光觸媒氧化鈦，並 隨光觸媒分解反應而將NO分解，結果便將產生N20與N2 。依照第5圖所示的話，發現隨光觸媒氧化鈦含率的減少 ’ NO分解量有增加（光觸媒效果將增加）的傾向。 針對第1圖所示複合元件1 0的製造方法進行說明。第6 圖所示係在基材1 2表面上形成混合膜1 4的成膜裝置槪略 構造圖。此乃多元系集束離子束蒸鍍裝置，同時蒸鍍二種 蒸鍍材料而蒸鍍混合膜1 4。在成膜裝置內，由外部導入氧 氣，並將該裝置內的氧分壓保持在如2M(T4t〇rr真空罈境 下。成膜裝置的下方屬於集束產生部1 6，且排列設置坩鍋 1 8，20，在坩鍋1 8，20內則分別收容蒸鍍材料的金屬鈦 (Ti)22與氧化硼（B203 ) 24。在坩鍋18,20上方則相對向配 置如石英玻璃的基材12。基材12溫度設定在如67 3K。集 束產生部1 6係利用電子束衝擊，而加熱坩鍋1 8，20內的 蒸鍍材料22, 24並蒸發，並使此蒸氣從噴嘴18a，20a中噴 出，而產生集束22a，24a(塊狀原子、分子團）。金屬欽的 集束，在剛從噴嘴1 8 a中噴出之後，便馬上被該經導入的 氧氣所氧化，而形成氧化鈦（Ti02)集束22a。該等集束 22 a，24a在離子化部26中，經由電子淋浴28而離子化。 經離子化過的集束22a，24a便在加速部30中，利用電場 32(加速電壓如500V)進行加速。經加速過的集束22a，24a 在衝擊基材12時將崩解而形成各個原子•分子，經混合後 1294786 五、發明說明（8) 便累積於基材1 2上。依此便在基材1 2上形成由氧化硼與 光觸媒氧化鈦相混合的混合膜1 4。氧化硼與光觸媒氧化鈦 的混合比率’可利用坩鍋1 8，2 0內二蒸鍍材料的蒸發速度 比進行控制。隨氧化硼含率的變多，在混合膜1 4內，微 粒化光觸媒氧化鈦將呈依高分散存在於氧化硼中的狀態， 而獲得提昇光觸媒效果或親水速度的特性。 (實施態樣二） 本發明實施態樣二係如第7圖中所示剖面示意圖。與上 述實施態樣一共通的部分，便賦予相同符號。在複合元件 34中，基材12係利用玻璃基板、合成樹脂等各種材料的 基板所構成。在基板1 2正、反各面上，直接形成如厚度 0.1〜Ι.Ομιτι左右的混合膜14,36。混合膜14,36係利用氧 化硼與光觸媒氧化鈦相互混合而成的光穿透率較高的無色 透明混合膜所構成。此混合膜14，36係構成複合元件34 的最外表面。依照此複合元件34的話，藉由紫外光照射 混合膜1 4，3 6，便可使混合膜1 4，3 6表面變成親水化。另 ，即便在混合膜14,36表面上附著髒污等而造成親水性的 降低’但藉由照射紫外光線等光照射光觸媒氧化鈦的光觸 媒效果’便將該髒污等予以分解而恢復親水性。此構造的 複合元件34係當利用透明玻璃基板或透明合成樹脂基板 構成基材1 2之情況時，可利用於建築物或汽車的玻璃窗 。此情況下，若在室內端的話，便可獲得防污、抗結露、 防霧的效果，若在戶外端的話，便可獲得防污、防止雨滴 -10- 1294786 五、發明說明（9) 附著的功效。 (實施態樣三） 本發明實施態樣三係如第8圖中所示剖面示意圖。與上 述實施態樣一、二共通的部分，便賦予相同符號。在複合 元件38中，基材1 2係利用玻璃基板、合成樹脂等各種材 料的基板所構成。在基板1 2單面上形成中間膜40，並在 中間膜40表面上形成如厚度0.1〜Ι.Ομηι左右的混合膜14 。混合膜1 4係利用氧化硼與光觸媒氧化鈦相互混合而成 的光穿透率較高的無色透明混合膜所構成。此混合膜1 4 係構成複合元件3 8的最外表面。當基材1 2屬利用鈣鈉玻 璃所構成的情況時，若中間膜40係利用氧化矽等抗鹼擴 散膜所構成的的話，便可防止基材1 2中的驗離子擴散於 混合膜1 4中。另，若中間膜40屬利用A1，Cr等金屬膜所 構成的反射膜時’此複合元件3 8便可構成防污、防霧鏡（ 表面鏡）（此情況下，基材1 2亦可爲非透明者），車輛用車 外鏡、浴室用鏡、洗臉台鏡等。依照此複合元件38的話 ’藉由紫外光照射混合膜1 4，便可使混合膜1 4表面變成 親水化。另’即便在混合膜1 4表面上附著髒污等而造成 親水性的降低’但藉由照射紫外光線等光照射光觸媒氧化 鈦的光觸媒效果’便將該髒污等予以分解而恢復親水性。 (實施態樣四） 本發明實施態樣四係如第9圖中所示剖面示意圖。與上 述實施態樣一〜三共通的部分，便賦予相同符號。在複合 -11- 1294786 五、發明說明（1〇) 元件42中，基材1 2係利用玻璃基板、合成樹脂等各種材 料的基板所構成。在基板1 2正、反各面上形成中間膜 40,44，並在中間膜40,44表面上形成如厚度0.1〜Ι.ΟμίΏ 左右的混合膜14,36。混合膜14,36係利用氧化硼與光觸 媒氧化鈦相互混合而成的光穿透率較高的無色透明混合膜 所構成。該等混合膜14,36係構成複合元件42的最外表 面。依照此複合元件42的話，藉由紫外光照射混合膜 14,36，便可使混合膜14,36表面變成親水化。另，即便 在混合膜1 4，36表面上附著髒污等而造成親水性的降低， 但藉由照射紫外光線等光照射光觸媒氧化鈦的光觸媒效果 ，便將該髒污等予以分解而恢復親水性。此構造的複合元 件42係當利用透明玻璃基板或透明合成樹脂基板構成基 材1 2之情況時，可利用於建築物或汽車的玻璃窗。此情 況下，若在室內端的話，便可獲得防污、抗結露、防霧的 效果，若在戶外端的話，便可獲得防污、防止雨滴附著的 功效。 (實施態樣五） 本發明實施態樣五係如第1 0圖中所示剖面示意圖。與 上述實施態樣一〜四共通的部分，便賦予相同符號。在複 合元件46中，基材1 2係利用玻璃基板、合成樹脂等各種 材料的基板所構成。在基板1 2單面上直接形成如厚度 0 . 1〜1 · 0μπι左右的混合膜1 4。混合膜1 4係利用氧化硼與 光觸媒氧化鈦相互混合而成的光穿透率較高的無色透明混 -1 2- 1294786 五、發明說明（11) 合膜所構成。在基材12的另一面（反面）上形成利用Ai，Cr 等金屬膜所構成的反射膜48。此複合元件46可構成防污 、防霧鏡（反面鏡），而可作爲車輛用車外鏡、浴室用鏡、 洗臉台鏡等。依照此複合元件4 6的話，藉由紫外光照射 混合膜1 4，便可使混合膜1 4表面變成親水化。另，即便 在混合膜1 4表面上附著髒污等而造成親水性的降低，但 藉由照射紫外光線等光照射光觸媒氧化鈦的光觸媒效果， 便將該髒污等予以分解而恢復親水性。 (實施態樣六） 本發明實施態樣六係如第11圖中所示剖面示意圖。與 上述實施態樣一〜五共通的部分，便賦予相同符號。在複 合元件50中，基材1 2係利用玻璃基板、合成樹脂等各種 材料的基板所構成。在基板12單面上形成如厚度 0 . 1〜1 . ΟμίΏ左右之利用氧化硼與光觸媒氧化鈦相互混合而 成的光穿透率較高無色透明的混合膜1 4。在此混合膜1 4 的反面上形成厚度如5〜50nm左右的多孔質氧化矽（Si02) 膜等多孔質透明無機氧化膜54。此多孔質透明無機氧化膜 54構成複合元件50最表面。在基材12的另一面（反面）上 形成利用A 1，Cr等金屬膜所構成的反射膜48。此複合元件 50可構成防污、防霧鏡（反面鏡），而可作爲車輛用車外鏡 、浴室用鏡、洗臉台鏡等。依照此複合元件50的話，藉 由適當的設定混合膜14與多孔質透明無機氧化膜54的厚 度，便可構成無因干涉色所造成發色的鏡子。另，多孔質 -13- 1294786 五、發明說明（12) 透明無機氧化膜5 4亦可獲得親水性與親水性維持效果。 同時，即便在多孔質透明無機氧化膜5 4表面上附著髒污 等而造成親水性的降低，但藉由照射紫外光線等光照射混 合膜5 2，而激發起混合膜1 4中的光觸媒氧化鈦，更隨光 觸媒效果而分解該髒污並使恢復親水性。另，當多孔質透 明無機氧化膜54的多孔質開口 56中至少其中一部份，形 成到達混合膜1 4的情況時，混合膜1 4中隨光觸媒氧化鈦 所產生的光觸媒效果，將比較容易到達多孔質透明無機氧 化膜54表面上，而促進髒污分解。 另，混合膜在上述各實施態樣中，雖採依光觸媒性物質 與氧化硼的混合膜所構成，但僅要主成分爲光觸媒性物質 與氧化硼的話便可，亦可含其他物質。另，光觸媒性物質 ，亦可採用除光觸媒氧化鈦外之光觸媒性氧化物的其他光 觸媒性物質。再者，在上述實施態樣一（第1圖）、二（第7 圖）、三（第8圖）、四（第9圖）中，在混合膜14,36的表 面上，亦可如同第Π圖，形成多孔質氧化矽（Si02)膜等 多孔質透明無機氧化膜。再者，在上述五（第1〇圖）、六（ 第1 1圖）中，於基材1 2與混合膜1 4之間，可如同第8圖 ，形成中間膜。譬如當利用鈣鈉玻璃形成基材1 2時’藉 由利用氧化矽等抗鹼擴散膜構成中間膜，便可防止基材1 2 中的鹼離子擴散於混合膜1 4中。 圖式簡單說明 第1圖本發明實施態樣一的剖面示意圖。 -14- 1294786 五、發明說明（13) 第2圖係第1圖構造之複合元件1 0的分光穿透特性圖 〇 第3圖係第1圖構造之複合元件1 0的紫外光照射之水 接觸角變化特性圖。 第4圖係相關第3圖之測量數據，接觸角倒數對時間描 點，近似直線的特性圖。 第5圖係第1圖構造之複合元件10中，隨光觸媒氧化 鈦含率的光觸媒分解反應不同之特性圖。 第6圖係利用於在第1圖之複合元件1 0的基材1 2表面 上形成混合膜1 4的集束離子束多元成膜裝置內之槪略構 造圖。 第7圖本發明實施態樣二的剖面示意圖。 第8圖本發明實施態樣三的剖面示意圖。 第9圖本發明實施態樣四的剖面示意圖。 弟1 0圖本發明實施態樣五的剖面不意圖。 第11.圖本發明實施態樣六的剖面示意圖。 圖號說明 1〇 複合元件 12 基材 14 混合膜 16 集束產生部 18,20 坩鍋 22 金屬鈦 -15- 1294786 五、發明說明（ 24 氧化硼 26 離子化部 28 電子淋浴 30 加速部 32 電場 34 複合元件 36 混合膜 38 複合元件 40 中間膜 42 複合元件 46 複合元件 48 反射膜 50 複合元件 52 混合膜 54 多孔質透明無機氧化膜 1 8 a , 20 a 噴嘴 22a 氧化鈦集束 -16-

Claims (1)

1294786 i ί\. A》，， ..，‘:v u. 六、申請專利範圍

第 90128799 號 申請專利範圍 複合元件及其j (2(07每11月_造1_正） ___ 1· 一種複合元件，其特徵爲：在基材表面上，含有以氧化 硼與光觸媒氧化鈦爲主要成分的混合膜；其中該混合膜 中氧化硼含率爲50%至95%;其中在該混合膜內，該光 觸媒氧化鈦係以微粒化狀態存在氧化硼中。 2 ·如申請專利範圍第1項之複合元件，其中該混合膜係設 在元件最表面。 3 .如申請專利範圍第1項之複合元件，其中該混合膜表面 上具有多孔質狀無機氧化膜。 4 ·如申請專利範圍第3項之複合元件，其中該多孔質之開 口的至少一部分係形成到達該混合膜。 5 .如申請專利範圍第1至4項中任一項之複合元件，其中 該基材係透明基材，並在該透明基材反面上形成反射膜 6.如申目靑專利範圍弟1至4項中任一*項之複合元件，其中 該基材表面與該混合膜之間形成有中間膜。 7 .如申請專利範圍第1至4項中任一項之複合元件，其中 該基材表面與該混合膜之間形成有當作中間膜用的反射 膜。 8.—種複合元件之製造方法，其包括在導入微量氧氣的真 空環境中，配置收容有金屬鈦的坩鍋，與收容氧化硼的 1294786 六、申請專利範圍 堪鍋’並在各坩鍋內，使金屬鈦與氧化硼同時蒸發，並 從該等：t甘鍋的噴嘴中分別噴出金屬鈦與氧化硼的集體物 ’將所噴出金屬鈦之集體物，利用上述所導入的氧氣進 行氧化而產生光觸媒氧化鈦的集體物，然後將該光觸媒 氧化鈦的集體物與氧化硼的集體物進行離子化，再於電 場中進行加速，並利用衝擊基材表面，而在該基材表面 上形成含有硼含率爲50%至95%，光觸媒氧化鈦係以微 粒化狀態存在氧化硼中’且以光觸媒氧化鈦與氧化硼爲 主要成分的混合膜。