TWI286296B - Integrated visual imaging and electronic sensing inspection systems - Google Patents

Description

1286296 玖、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本叙明之領域係關於液晶顯示活動面板的自動測試。 【先前技術】 LCD面板典型地由活動面板與地面面板間包夾的液晶材 料所形成。偏光器、彩色濾光片與間隔粒子亦可能包括於 面板間。在製造期間，許多活動面板可能形成於單玻璃面 板上。在每個玻璃面板區域上形成一個活動面板、像素區 域驅動線、閘門線並形成驅動元件。典型地，薄膜電晶 體係使用於該驅動元件。 Q為^、接地面板相較，活動面板相對複雜，大部份Lcd 顯示之瑕戚可溯及活動面板中某些形式的瑕戚。因為自活 動面板製k有效的LCD顯示實質上額外的昂貴，許多已發 展的技術用來單獨的檢查活動面板，故能鑑定出瑕戚的活 動面板並加以修復或於製造過程的階段中拋棄。 圖1所顯示為_單色顯示之活動面板2〇範例一部份之簡圖 —浚圖中所見，一複數型傳導區域14係排列於χγ矩陣中， 每個傳導區域於最終的顯示中定義—個像素。伴隨每個傳 導區域的是一他苗1 個薄版電晶體16，其具有輸入端子連接至矩 陣中的各列線，R甘w七 八且其控制端子或閘門連接至各別的欄線。 圖1所顯不的特別 ， &陣中’相鄰的列線係各別的連接至該矩 陣的相反方向，Ώ 4虫 、 、 且相鄰的欄線係各別的連接至該矩陣的頂 端與底端。雖蚨添j ^ > ^ …、”、v、不的母個像素包含了活動面板上的3個像 素，但是彩备跑；- .〜、不可能是一樣的只是每個的顏色不同。 87324 1286296 兩^作中，每個傳導區域在各別的陣列線上充電至一定的 電壓，當掃描每個陣列，各別的薄膜電晶體經由各搁線 曰勺兒而開啟。然而’當活動面板在沒有地面面板與液 曰曰材料置於其間的電子運作下，該運作期間沒有可察覺 充電發生。 、在進-步製造完整的LCD面板之製程前，許多用來檢查 並mcD活動面板的技術為先前技藝所已知。這些技術 的母一個均合用於偵測某特定錯誤，但並不合用於偵測某 特定的其他錯誤。 ^種m用的檢查技術是在視訊光源下使用數位攝影機及 電腦基礎的影像分析而作檢查。因為活動面板包含大量的 ，素區域肖薄膜電晶體之$列，戶斤以光學檢查的便利形式 、，f ^像的重4圖案間形成不同的影像。這通常稱作自動 光學檢查（AOI)。沒有瑕疵時，該差異影像為零；有瑕疵時 ，该差異影像是正或負。以此方法能偵測到許多的錯誤， 如短路、斷路與其他幾何上的錯誤將導致顯示之錯誤到運 作上，或者影像強度橫越像素陣列無法接受的變異。然而 ，其他的電位錯誤於此法中是無法偵測的，例如某些錯誤 會導致一個或多個電晶體無法正常運作且/或其將阻止像素 傳導區域維持一定電量直到下一次掃描的更新。 在活動面板固定且傳輸系統中攝影機不斷重複的運作下 ，視訊光源系統能夠傳送或穿過（該照明與攝影機置於面板 的相反万向）或是反射（該攝影機與光源置於面板的相同方 白）特力】疋光源系統隨攝影機而移動以確保每個攝影機觀 87324 1286296 察時的一致光源 Z軸的傳輸系統。 通常為了較大的靈活性該攝影機亦具有 其他用以評量LCD製程階段中的活動面板的已知系统， 包含基於合理精確的評估該面板在完成之咖顯示中的執 行情形，以電子地測試該活動面板以提供接受/拒絕之決定 1万法。此技術之一是使用電壓影像感應器，如授權給本 發明又委託人Photon Dynamics公司而描述於美國專利申請書 4,983,911中。這些系統提供電壓分配的二維影像橫跨活動面 板的表面，而允許該影像經由合宜的攝影機而數位化。該 系統以所知之偏極性的準直化光束之光學能量照明該活動 面板，經由位置充份接近於面板的電光調變器使用電壓影 響該活動面板。因此電壓影像感應器激aLCD面板的上半 部並轉換活動面板的充電（電壓）成為視訊影像。因此，此 系統至少需將該電光調變器安置於非常靠近該基板的地方 。此方法可在運作中偵測如電晶體瑕疵的錯誤，但所得結 果的限制較高於AOI系統。 笔壓;^像式系統係由本發明之委託人ph〇t〇n Dynamics公司 大1製k。一般而& ’在攝影機不斷重複的運作模式下， 此系統可調整面板尺寸大小或更小。一般說來雖然使用的 是反射模式，但反射與穿透系統均為人所熟知。 另一個為人所熟知的測試技術是電子束（electr〇n beam)掃描 或電子束（e-beam)掃描的技術。在這些測試系統中，活動面 板是置於真空室中並以電子束掃描該面板，且以閃爍攝影 機偵測該第二電子。攝影機輸出所遇到電子束的位置以提 87324 1286296 供？X影像資料給該面板電壓。在不斷重複掃描整個面板的 過私中，典型地，隨時掃描著該面板的一小部份。第二電 子的不足代表面板的瑕淹。 取後，基於活動面板測試系統的充電感應亦為人所知。 這些系統所根基的觀念是：開啟活動面板上每個電晶體以 充電各別的像素傳導區域至一特定電I，隨後關閉電晶體 ，當測得自傳導像素區域回傳的電壓時，再次開啟電晶體 以短路薇像素傳導區域至地面。不足之電壓表示面板的瑕 疵。典型地，週期中的電晶體，在完整的顯示中，當像素 傳導區域隨時間依序充電時，該電晶體將因此而開啟，而 在％整的LCD中，在短路該像素傳導區域作為充電測量前 ’將隨時間依序地掃描。 因此，在AOI系統中使用視訊光源的檢查中，該攝影機 典型地與活動面板完全地空間隔絕，而於電壓影像咸應式 系統中、’該電光調變器至少必需放置在非常接近於活動面 板的地方以取得一個有用之解析度的電壓影像。在電子束 系統中，雖然攝影機不需提供二維影像，但必需提供一個 真空環境。取而代之的，只有光感應是必需的，較佳地是 用光電倍增器來增強光源強度’而由電子束掃描 提供二維影像的XY資訊。最後，在充電感應式設備中，，、完 全不使用攝影機’而且就如同一般其 系統於某些型中式所必需—樣1 了用與檢查 而^陈了用來裝載與卸載該活 動面板作為測試外不需要機械式的傳輸系統。 【發明内容】 87324 1286296 於此所揭示為液晶顯示（LCD)活動面板之整合檢查與測試 系統。咸整合之檢查與測試系統能結合視訊影像的檢查及 :電壓影像、電子束感應或充電感應之電子感應於一個單 哈系、、充中其中自視訊檢查系統取得之電位瑕疵資訊與自 電子感應系統取得之瑕疵報告相結合以產生一份瑕疵報告 、、…個或多個高解析度視訊攝影機用以掃描固定面板，而 源於攝影機之影像資料係處理用來偵測電位瑕戚。一個高 解析度之電子感應系統用以檢查固定面板，而源於感應器 〈影像資料係處理用來偵測電位瑕戚。源於視訊影像資料 與呢子感應貧料之電位瑕戚係處理用來產生最終的瑕戚資 【實施方式】 於下面的描述中，所揭示為本發明之多樣化實施例。這 些多樣化的實施例代表在一個單一檢查與測試系統中多樣 測試技術的整合，與分離系統相反的是此技術 藝所已知。然而，本發明系統中某特定的設 ;田：可此：全地或者肯定而明顯的修改自這些先前技藝 所已知的獨立系統。所以卜々 ^ 匕即僅以一般常理作描述。並 他細節，特別是那歧本於 ，、 、十m… 獨有的，將用-些篇幅來描 述以使技蟄中的技巧合乎f理而使用本發明。 現在參照於圖2與圖3，夂則&故人 少 〇 J為整合檢查與測試系統範例 之&制系統的方塊圖與此系 么f λ 卞、、无甲傳輸系統的簡圖圖表。此 系統經由視訊光源攝影機 ^ , ^ ^供視矾檢查；且經由電壓影 像感應益24提供電壓影像 - Λ 枚佳地是，活動面板2〇是 87324 - 10- 1286296 經由數字28所示之機械系統而呈現並載入該整合檢查與測 4系統之界線26中的位置。該機械系統能以手動控制或選 擇性地、較佳地是由控制器30所控制，該控制器控制著本 發明义範例實施例中的許多其他系統。控制器本身將自控 制輸入裝置32接收許多的控制輸入，其中除了包括開關， 如手動fe制的開關、表示活動面板已經適當地載入的開關 與另一個活動面板已於準備載入位置的開關等，其典型地 如同包括用於目錄驅動的键盤與控制顯示或者點擊之圖像 控制’如有所需則包括此二者。 使用於本發明此實施例中的載入系統，更明確地為檢查 系統中放置面板的裝置，其包括一個通常以數字34表示之 電子接觸系統，該系統用以自動地與環繞活動面板2〇週邊 的接觸區域相接觸。通常，在短路棒18(圖丨）就緒後為該面 板作電子地測試（參照專利申請書5,081，687號所揭示之部份 已納入此處作為參考），或選擇性地，因而在活動面板上該 列與欄線之終端區域作接觸。通常，此傳輸系統與將該活 動面板週邊作接觸的系統為技藝中所熟知，其中包括由本 發明之委託人Photon Dynamics公司所製造的系統。 如圖2與圖3所見，該視訊光源攝影機22與電壓影像感應 器24兩者同時支援XY傳輸系統，該^^^傳輸系統通常以數字 36表示’其由控制器30經由χγ控制系統兇所控制。視訊光 源攝影機經由Ζ控制37沿著Ζ軸作自動控制，而電壓影像感 應器經由Ζ控制39沿著Ζ軸作自動控制，手動之2軸調整^ 選擇性的而非經常必需的，其可能是檢查與測試活動=板 87324 -11 - 1286296 的特定設計中安裝程序之 清理出< # ^, 雖然其他的傳輸系統能 佳地是,……仁在χγ干面的運作控制中，較 例而士 , '、¥<線性傳輸系統作控制的，舉 。，如ρ-θ傳輸系統。然而，在— 人 查中，w你土人 < 、、 叙用万；活動面板的檢 傳釦系統較佳的是更直接地適 像檢查技術。 、用万、不所重稷的影 視訊光源攝影機經由攝影機栌 f r ... 珥〜钺&制40而控制如影像擷取、 于’、、、寺功能’而攝影機控制40亦由控制器3〇所控制。同樣 3 %壓影像感應器之功能係由控制46所控制，其亦由控 制器30所控制。 ’、 工 一般而言，視訊光源攝影機測試程序為先前技藝所熟知 。視訊光源攝影機之輸出將數位化而儲存（區塊48)，並以 影像處理器50提供該取得影像之影像分析。數位化並儲存 及影像處理兩者通常由控制器3Q所控制以便與傳輸系統的 運作及攝影機的操作同步化。同樣地，電壓影像感應器％ 將提供影像以數位化並儲存於區塊52中，並經由影像處理 器54來分析，當活動面板的陣列經由執行器兄所執行而提 供控制電壓給該陣列時，這同樣由控制器3〇而同步化。一 般而&，》頃示58、60將各別的提供視訊光源影像與電壓影 像的觀察。選擇性地可能提供單顯示，較佳地是能連接以 顯示視訊光源影像或電壓影像，或甚至兩種影像視其所需 而併排或調整與重疊。最後，基於該兩種影像處理的結果 而產生通過/不合格之決定（區塊62)並提供報告。 現在參照於圖4與圖5 ’能看到本發明之另一個範例實施 87324 -12- 1286296 例。於此實施例中，視訊光源檢查系統係與電子束測試系 統相結合。χγ控制38(圖4)、z控制3?、χγ傳輸系統 板接觸34、攝影機控制40、視訊光源攝影機22、數位化並儲 存電路48、顯示58及影像處理器5〇可能如同先前實施财 所使用的相同或完全一樣。 關於此實施例中所界定用來檢查與測試之系統，需产供 二：束與感應器24,一個真空環境。故於此實施例中：：線 、、、、一個真空界線，其可能抽除空氣至如先前技藝中電 束劍試設備所特定之真空範圍。同樣的，如先前技藏^ ，試設備之特徵，提供一個第二真空連結與面：裝： 二Γ 7罜64為一個小而簡單的真空室其可用於活動面板 、衣與卸載、然而敏捷而快速地抽空至所需的直空狀能 以剛試活動面板可自真空室64移轉至主界線26,，而受檢: ==板可能自±界線26’移轉至真空連結64而不用排出 =真If26’。這避免了必需快速地抽光較大的真空界線26, 的二氣，且於此之設備能減緩釋放陷於那裏的空如 有需要未顯示於圖中的第二直介—人 一，、工至可万；測試面板中使用， 且—兩個互連室可以使用，一個用以釋放先前測試的面板 直個用以接收下-個面板，在兩個均抽除空氣至所需的 =時’一個用以接收受檢查與測試完成的面板，然後另 固則立即地載入下一個受檢查與測試的面板。 圖2 ”圖3的迅壓影像感應器中’活動陣列之電子束 列上的電壓一同進行，其由控制器30,所控制之陣 仃咨56,所控制。該電子束控制46,控制掃除橫越活動面 87324 -13- 1286296

板表面的電子束，並提供電子束位置的資訊以數位化並儲 存（區塊52’）至感應器的輸出並提供掃；除資訊給顯示6〇,。 影像處理器54’係用以分析該電子束影像資訊，在檢查與測 試結果的提供下，與視訊影像處理器50的輸出一起輸入決 策制定模組62’以提供一份最終的檢查與測試報告。雖然如 同以前一樣，該Z軸控制可能手動控制或調整為特殊設計 中用以檢查與測試活動面板起始化設定的_部份，該電子 束產生器與感應器24,可由z軸控制39,控制在Z位置。

現在參照於圖6與圖7，所顯示為整合檢查與測試系統^ 進一步範例中控制系統的方塊圖表及此系統中傳輸系統二 簡單圖#，特別可見的是一個結合了經由視訊光源攝影; 的檢查與測試陣列之充電感應的系統。在此系統中，因』 充電感應的測試全部是電子的，所以僅有傳輸系統％”為* 訊光源攝影機22所需要。在圖6與圖7的實施例中，面 入系統可能與圖2、圖3之實施例中所用的相同，並間 列執行器56，，電子地執行陣列2。且在區塊⑹乍充電測：= 結果提供給決策模組62”以提供檢查與測試報告。里1 雖然穿透系統亦為技藝中所已知，於^ _、、 源攝影機檢杳系统盥泰厭&德e @不（視訊光 '如w 影像感應系統已揭示於反射罕絲 ^合。舉例而言，在視訊光源攝影機办、夫姿 ，、、 源與視訊光源攝影機係於活動面板的相：：系統中，光 在穿透式電壓影像系統中，偏極化光：：：同樣地， 面板的相反方向上（例如參看本發明委機係於活動 司之美时利申請書4,983,911)。因=办職ics公 U為而要過於複雜的 87324 -14- 1286296 傳輸系統或本發明所使用之視訊 手统兩# +、 ”像核查系統及電壓影像 系、况兩者或其中（一不符合穿透式 是較佳的。 τ d此乐統並非 圖2、4及ό中所揭示之控制系統僅 甘士 ^ ^ 丁尤惶為靶例而已。通常，於 /、中所裇7F之多樣化功能或並 、 或更多严理-…汉其所需而使用-個 次更夕處理态在程式的控制 士认太t、 丁 问樣的，於此所揭示 ”；二“式系統’通常已揭諸於相關獨立處理之資訊， 絲自檢查（視訊光源）系統，而該系統適用於電 統的電腦設備而完成。同樣的，本 系 試”訊，㈣具有—個極重要的 、^ 絕、修復/去棄的決策並進行控制Β的。 ^本明較佳實施例的優勢 YE! ^难Μ Ζ 、 經由多重感應器共享一 Λ、 令所需則可使用多重傳輪系 、、无。此仍保有共享電子的、附屬 ‘、 竿絲如籽女^ 葡物寺寺又效率，且與分離 系統相較有減少地板空間的經濟 评66俱Α Ώ丄 丨又皿並具有減少面板處 果的經濟效益。然而，整〜個值二有結合檢查及測試結 4人山... 向正口兩個傳輸系統於一個單一站或 、、且&中將導致某特定限制。—奋 ’ ^ _ 稷為⑤體上的限制，即視訊 先源輪影機與電壓影像感應器或 別沾你认ζ 、 飞兒子束來源與感應器及各 力J的傳知系統並不會相衝突 子、 通常’電壓影像感應器與電 芯應杏將放置於接近活動面 湄戶旦μ 吗极表面的地万，而視訊光 源知F衫機22—般將實質地放置 、、、 在買力面板表面 < 上。於是 ，孩視訊光源攝影機傳輸系統能迅速而充分地定位在電 87324 -15- 1286296 昼影像感應器/電子束感應器傳輸系統之上，使χγ傳輸系 統能迅速地設定成永不衝突的狀態。然而，其可能有⑽ 控制在视訊攝影機22上，特別地是在較低的位置時，可能 $電壓影像感應器相衝突。在此情況τ，每當將視訊光源 _影機與電壓影像感應器帶入其前置決定的近距離時，該 控制器必需程式化以垂直地將該視訊影像攝影機吊離該路 2。此限制經由那些技藝中合理的技巧在軟體上是相當容 易地配合的’雖然會選用以設計該傳輸系統，但某些錯誤 事牛中έ導致衝大，而將懸吊該兩個傳輸系統使其不會互 受損害，或選擇性地，—個將勝出於另外一個而不會同樣 1Π。進一步的選擇是，如果視訊影像檢查與電壓影像 心、’总/電子束感應同時未執行時’電壓影像感應器/電子束 广可能具有一個超越活動面板邊緣的擺放位置用以檢 =二:1:訊攝影機自己具有超越活動面板邊緣的擺放位 置用以旦’所以當其他的位於其擺放位置時，每一個均 能各自掃描該活動面板，因而避免任何可能的衝突。雖炊 1 吏：=檢查技術而取消同時發生的檢查之可能性二 其確貝有其缺點。 子走戍庳：：疋占光學的限制’即藉由電壓影像感應器/電 子或其傳輸系統的任一部份而不 極容⑽的，作兩個系統時’在軟體上是 ¥ ^ ^ ^ # 不疋，如先前所述，可將擺放位 置起越孩活動面板的邊緣來檢查而完全地避免。 於此已描述本發明之特定實施例。然而所揭示之實施例 87324 -16- 1286296 f為範例而已，本發明能施行於眾多方法以致於無法於此 單獨地揭示其細節。因此，當揭示本發明之某特定較佳實 施例時’其技藝中的那些技巧明顯地於形式上有多樣化的 改變而其細節將製作於其巾而不與本發明之精神與範筹相 【圖式簡單說明】 圖1所顯示為一單色顯示之活動面板範例的一部份。 圖2為使用視訊光源攝影機與電壓影像感應器之整合的檢 查與測試系統範例中控制系統的方塊圖。 圖3所顯示為圖2範例系統中傳輸系統之簡單圖示。 圖4為使用視訊光源攝影機與電子束測試系統之整合的檢 查與測試系統範例中控制系統的方塊圖。 圖5所顯示為圖4範例系統中傳輸系統之簡單圖示。 圖6為使用視訊光源攝影機與充電感應系統之整合的檢查 與測試系統範例中控制系統的方塊圖。 圖7所顯示為圖6範例系統中傳輸系統之簡單圖示。 【圖式代表符號說明】 14 傳導區域 16 ^ 電晶體 18 短路棒 陣列/活動面板 22 視訊光源攝影機 24 電壓影像感應器 24， ^ 电子束產生器與感應器 87324 1286296

26, 26， 界線/真空室 28 面板載入 30, 30’ 控制器 32 控制輸入裝置 34 電子接觸/面板接觸 36 X，Y傳輸系統 36丨丨 X，Y，Z控制 37, 39, 39’ Z控制 38 X，Y控制 40 攝影機控制 46 感應器控制 46， 電子束控制 48, 52, 52’ 數位化儲存電路 50, 54, 54丨 影像處理器 56, 56，，56π 陣列執行器 58, 60, 60f 顯示 62, 62’，62” 決策模組 64 真空連結/面板裝載 66 充電測T ^24 -18- 87324

Claims (1)

1286296 拾、申請專利範圍： !· 一種用以檢查供一個液晶顯示使用的-個活動面板之裝 其中該活動面板具有一個活動元件之陣列連接至該 活動面板<第-個第-與第二面上的列與攔線，包含： -種支架其在-個單檢查站中，被調整用以支撐一個 活動面板並電子的連接至該活動面板第—面上的該列盘 搁線’-個定位之視訊影像攝影機用以提供視訊影像資 科給支架上的-個活動面板，且放置—個電子感應器緊 臨於孩活動面板的第一面調整作為該活動面板的感應操 作； 種處理H，其被電子地連接至該支架以電子地連接 至該支架上的一個活動面板並電子地執行.該支架上的一 個活動面板； 種視桌々像處理洛，其被連接至該視訊影像攝影機 、，用以接收該支架上活動面板的視訊影像資料，並處理 β視Λ影像資料以偵測該活動面板中的錯誤；且， 、一種電子感應器其輸出處理器電子地連接至該電子感 應咨以處理在活動面板運作時該冑子感應、器偵測到之錯 决的輸出。 2·如申請專利範圍第丨項之裝置，其中該電子感應器包含一 個電壓影像感應器。 3·如申請專利範圍第丨項之裝置，其中該檢查站包含一第一 真空罜而該電子感應器包含一電子束感應器。 4·如申凊專利範圍第3項之裝置，其中該檢查站進一步包含 87324 1286296 一第二真空室連接至該第一真空室用以載入與卸載活動 面板進入與移出該第一真空室中的該支架。 .=申明專利範圍第丨項之裝置，其中該視訊影像攝影機安 裝於一視訊影像傳輸系統上，用以平行於支架上一活動 面板的面積而移動該視訊影像攝影機。 6.如申明專利&圍第5項之裝置，其中該視訊影像傳輸系統 包括視訊攝影機的移動方向垂直於支架上的一活動面板。 如申，專利圍第i嚷之裝置，其中該電子感應器係安裝 方、私子感應咨傳輸系統上用以平行於支架上一活動面 板的面積移動該電子感應器。 &如申請專利範圍第工項之裝置，其中該視訊影像係安裝於 視訊影像傳輸系統上用以平行於支架上—活動面板的面 積移動該視訊影像攝影機，且該電子感應器係安裝於電 子感應器傳輸⑽上用以平行^支架上—個活動面板的 面積移動孩電子感應器，該電子感應器傳輸系統係放置 於支架上的一個活動面板與該視訊影像傳輸系統間。 9·如：請專利範圍第8項之裝置，進一步包含一控制器連接 至孩視訊影像攝影機、該視訊影像傳輸H該電子感 應器及該電子感應器傳㈣統，以便在沒有該傳輸系“ 2械地相互干擾及沒有該電子感應器干擾到經由該視訊 矽像處理器處理該活動面板之視訊影像的情況下，提供 純訊影像攝影機與該電子感應器對該活動面板作同步 掃描之不斷重複的過程。 〇·用來檢查一液晶顯示的一活動面板之裝置，該；舌動面板 87324 1286296 具$一活動元件之陣列連接至該活動面板之第一個第一 與第二面上的列與攔線，包含： -種支架在一個單檢查站中’其被調整用以支撐一個 活動面板並電子的連接至該活動面板第一面上的該列盘 欄線’-視訊影像攝影機用以提供視訊影像資料給支架 上的一個活動面板； -處理器電子地連接至該支架，用以電子地連接至該 $架上的一個活動面板且對該活動面板上一個陣列中的 母個電晶體充電，並此後對電晶體放電以測量該活動面 板上㈣留之電量以偵測該活動面板上的電子錯誤；且， -視訊影像處理器連接至該視訊影像攝㈣，用以接 收該支架上活動面板的視訊影像資料，並處理該視訊影 像資料以偵測該活動面板中的錯誤。 11. 12. 13. 如申請專利範圍第1〇項 > 壯罢 #丄、、 图罘負又衣置，其中該視訊影像攝影機 係安裝於-個視訊影像傳輸系統i，用以平行於支架上 個活動面板的面積而移動該視訊影像攝影機。 如申叫專利Ιϋ圍第11項之裝置，其中該視訊影像傳輸系 統包括視訊攝影機的移動方向垂直於支架上的一活動面 板。 一種查一個活動面板之方法，該活動面板具有一活動 兀件陣列連接至該活動面板之第一個第一與第二面上的 列與攔線，其中包含： 置放一個活動面板於一個檢查站中； 包子連接土 j /舌動面板之第一面的列與欄線用以執行 87324 1286296 該面板上的活動元件； 以一個視釩攝影機檢查該活動面板用以偵測視訊上可 察覺之錯誤；且， 以、個電子感應器檢查該活動面板，調整該電子感應 备以感應该活動面板操作中的錯誤。 14. 15. 16. 17, 18. 19. 如申請專利範圍第13項之方法，其中以〆電子感應器檢 查孩活動面板，包含以一個電壓影像感應器檢查該活動 面板。 如申請專利範圍第丨3項之方法，其中放置一活動面板於 一松且站中，包含將一個真空環境中的一活動面板放置 在一檢查站中，且以一電子感應器檢查該活動面板，包 含以電子束感應器檢查該活動面板。 如申请專利範圍第14項之方法，進一步包含經由一第二 真空環境上載與下載活動面板進入與退出該檢查站。 如申請專利範圍第13項之方法，其中以一視訊攝影機檢 查遺/舌動面板，包含使用一個視訊攝影機，在不斷重複 的模式下，平行於支架上一個活動面板的面積移動該視 訊影像攝影機而檢查該活動面板。 如申請專利範圍第17項之方法，其中以一視訊攝影機檢 查該活動面板，包括該視訊攝影機的移動方向垂直於支 架上的一活動面板。 如申凊專利範圍第13項之方法，其中以一個電子感應器 檢查该活動面板，包含使用一個電子感應器，在不斷重 複的模式下，平行於支架上一個活動面板的面積移動該 87324 1286296 篆子感應器而檢查該活動面板。 2〇·如中請專利範圍第13項之方法，其中以一視訊攝影機檢 且。亥活動面板，包含使用一個視訊攝影機，在不斷重複 的模式下，平行於支架上一個活動面板的面積移動該視 訊攝影機而檢查該活動面板；且以一個電子感應器檢查 該活動面板，其中包含使用一個電子感應器，在不斷重 衩的模式下，平行於支架上一個活動面板的面積移動該 電子感應器而檢查該活動面板。 21_如申請專利範圍第2〇項之方法，進一步包含控制該視訊 影像攝影機與該電子感應器，以便在沒有機械地相互干 擾及沒有該電子感應器干擾到該視訊影像活動面板之視 訊影像的情況下，提供該視訊影像攝影機與該電子感應 器對該活動面板的同步掃描之不斷重複的過程。 如中請專利範圍第13項之方法’其中以—電子感應器檢 查該活動面板，包含對一活動面板上的—個陣列中之每 個電晶體充電’並此後對電晶體放電以剛量該活動面板 上所殘留之電量以偵測該活動面板上的電子錯誤。 87324