TWI282139B - Carrying vehicle, manufacturing apparatus, and carrying system - Google Patents

Carrying vehicle, manufacturing apparatus, and carrying system Download PDF

Info

Publication number
TWI282139B
TWI282139B TW092113881A TW92113881A TWI282139B TW I282139 B TWI282139 B TW I282139B TW 092113881 A TW092113881 A TW 092113881A TW 92113881 A TW92113881 A TW 92113881A TW I282139 B TWI282139 B TW I282139B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
air
transport vehicle
air blowing
transfer
transfer port
Prior art date
Application number
TW092113881A
Other languages
English (en)
Other versions
TW200403791A (en
Inventor
Hiroyuki Ishihara
Takao Shimizu
Takashi Nakao
Ryosuke Tahara
Hidetoshi Takeuchi
Original Assignee
Advanced Display Kabushiki Kai
Murata Machinery Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2002192660A external-priority patent/JP4029968B2/ja
Priority claimed from JP2002218027A external-priority patent/JP2004060955A/ja
Application filed by Advanced Display Kabushiki Kai, Murata Machinery Ltd filed Critical Advanced Display Kabushiki Kai
Publication of TW200403791A publication Critical patent/TW200403791A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI282139B publication Critical patent/TWI282139B/zh

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D50/00—Combinations of methods or devices for separating particles from gases or vapours
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S55/00—Gas separation
    • Y10S55/18—Work bench
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S55/00—Gas separation
    • Y10S55/29—Air curtains
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S55/00—Gas separation
    • Y10S55/46—Spray booths

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Ventilation (AREA)

Description

1282139⑴ 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於搬運車、製造裝置及搬運系統，更詳細 來說，是要求將被製造物維持在淸淨化的環境中的製造線 ，例如，適合液晶顯示裝置、PDP(Plasma Display Panel) 、有機 EL(Electro Luminescence)、及其他半導體裝置的 製造線的局部潔淨化的搬運車、搬運系統等的改良。 【先前技術】 半導體裝置的製造，是在由Si晶圓或平板玻璃等所 構成的基板上實施微米單位或更精細的精密加工，有異物 附著到製造中的基板（例如粉塵粒子）是使製品良率降低的 直接原因。因此，以往的半導體裝置的製造線，是設置在 將製造線全體管理在淸淨度（潔淨度）很高的環境的潔淨室 內。 可是’要讓製造線全體維持在很高的潔淨度的話，需 要具備多數的淸淨化單元的容量很大的潔淨室，要建設潔 淨室需要很大的費用。而由送風風扇及HEPA過濾器等所 構成的淸淨化單元，由於送風風扇的驅動需要很大的動力 所以需要龐大的運轉成本。並且，爲了在廣闊的潔淨室內 保持均勻的淸淨度，需要利用壓力控制來進行空氣的流體 控制的技術，其維持管理並不容易。 作爲解決這種課題的方法，以往有一種並不針對製造 線全體’而僅提高製造線的其中一部分的淸淨度的局部潔 -5- 1282139(2) 淨化技術。局部潔淨化技術，是僅針對被製造物移動的空 間局部性地提高潔淨度的技術。例如，是一種使搬運製造 中的半導體裝置的通路上的潔淨度較其他空間更高的方法 。在這種情況，與提高製造線全體的潔淨度的情況相比可 以減低成本。 在日本特開平1 1 一 2 3 8 7 7 7號公報，是揭示有關於將 上述的局部潔淨化技術進一步發展的晶圓匣盒搬運系統的 發明。這種系統，在半導體製造裝置的裝載機/卸載機內 ’可讓自動搬運車內的淸淨度較潔淨室的淸淨度更高，而 可節省用來維持管理潔淨室的費用。 第1 7圖，是上述公報所記載的以往的自動搬運系統 的槪略構造的顯示圖。在自動搬運車1的晶圓匣盒收容部 1 3及半導體製造裝置2的裝載機/非裝載機2 1，分別設置 有用來移載收容著Si晶圓、玻璃基板等的晶圓匣盒丨7的 移載口 1 1、22。移載口 1 1、22，是互相相同形狀且設置 成同樣的高度的具有擋板的開口部。 藉由設置這種移載口 1 1、2 2，則可將自動搬運車1 及半導體製造裝置2的內部維持在較高的淸淨度。因此， 則較能夠抑制搬運經過路線等的淸淨度，而可節省用來建 設及維持管理潔淨室的費用。 【發明內容】 【發明欲解決的課題】 可是’使搬運製造中的半導體裝置的通路上的淸淨度 -6- 1282139(3) 較其他空間更高的方法，在搬運行駛時將地面上的異物捲 起，而異物會附著在設置於搬運車1本身及半導體製造裝 置2的移載口的晶圓匣盒內的半導體裝置。因此，增強通 路上的下降氣流，變更通路部周邊的分隔壁的形狀，由於 情況會有不得不減慢搬運車的速度的問題。 在上述公報所記載的以往的自動搬運系統中，在自動 搬運車1、與半導體製造裝置2之間將晶圓匣盒1 7進行 移載時，會使自動搬運車1移動到自動搬運車1及半導體 製造裝置2的移載口 1丨、22相對向的位置，讓雙方的擋 板開啓。此時，附著於擋板的外側的異物會飄起，飄起的 異物會污染進行移載動作的自動搬運車1及半導體製造裝 置2附近，特別是移載口 1 1、22附近，會有這樣的問題 〇 而由於自動搬運車1的行駛，會將地面上的異物捲起 且異物會附著於自動搬運車1本身及半導體製造裝置2的 擋板。因此，爲了提升生產性而提高自動搬運車的行駛速 度的話，移載口附近的污染所造成的影響會更大，而讓良 率降低，會有這樣的問題。 本發明鑑於上述的情形，其目的要提供一種搬運車、 製造裝置及搬運系統，是使搬運車內及製造裝置內較周圍 環境更被淸淨化的搬運系統，要防止由於附著於移載口的 異物等導致污染所移載的被製造物的情形。 而且，本發明的目的爲，提供一種搬運車、製造裝置 及搬運系統，藉由在搬運車到達移載地點的時間點則可開 128213¾ 始進行移載動作，則可縮 用，或者可提升生產性。 【用以解決課題的手段】 第1發明的搬運車’ 過路線的行駛單元、供給 、供給經過淸淨化的氣體 對於收容部進行被製造物 的移載口、以及將空氣朝 氣吹出部。 搬運車的移載口側的 被製造物的交接的製造裝 盒）的前面（移載口的設置 將空氣吹出部設置在搬運 ，朝向該製造裝置的前面 製造裝置的前面部的異物 淸淨化單元，是藉由 給至少比使用搬運車的環 於空氣吹出部的空氣，是 度的方向（偏離該側面的2 的法線方向吹出，或者朝 空氣吹出部，如果設 話，即使在移載口的周邊 板等的開閉手段的時候， 短搬運時間，減少搬運系統的費 是具備有：行駛於預定的搬運經 經過淸淨化的氣體的淸淨化單元 ，用來收容被製造物的收容部、 的搬入或搬出的設置在筐體側面 向移載口側的外部吹噴的第一空 側面，是與在和搬運車之間進行 置（例如半導體製造裝置或暫存 面）相對向的面部。因此，藉由 車的移載口側的側面來吹出空氣 吹噴空氣，則可以除去附著於該 等。 送風風扇及過濾器所構成，是供 境中的空氣更淸淨的空氣。來自 朝向相對於移載口的側面具有角 ί向）吹出。例如，大槪朝向側面 向行進方向側吹出。 置在搬運車的移載口側的側面的 部也可以，當在移載口設置有擋 也可以設置在該開閉手段。 -8- 128213¾ 第2發明的搬運車，上述第一空氣吹出部，是設置在 較移載口更靠近行進方向側。藉由這樣的構造，當搬運車 行駛到被製造物的製造裝置，進行被製造物的交接時，在 搬運車行駛期間，可以對該製造裝置的移載口進行空氣的 吹噴。於是，在搬運車的移載口到達朝向該製造裝置的移 載口的移載地點而搬運車停止之前，可以對該製造裝置的 移載口（如果設置有擋板等的開閉手段的話則是對其開閉 手段）進行空氣的吹噴。 第3發明的搬運車，上述第一空氣吹出部，是藉由配 置在移載口的周邊部，用來形成氣幕的複數的空氣噴嘴所 構成。藉由這種構造，形成氣幕，對製造裝置進行空氣的 吹噴，則可進行更有效果的空氣的吹噴。 第4發明的搬運車，上述第一空氣吹出部，是藉由配 置成高度不相同，用來形成氣幕的複數的空氣噴嘴所構成 。如果藉由複數的空氣噴嘴而在鉛直方向形成廣泛的氣幕 的狀態下來行駿搬運車的話，則可對於用來進行被製造物 的交接的製造裝置的側面的廣泛的範圍進行空氣的吹噴。 在這種情況，可以使用少數的空氣噴嘴，來對該製造 裝置的廣泛的範圍進行空氣的吹噴，而可有效率地吹噴空 氣。例如，可以對製造裝置的移載口的廣泛的範圍吹噴空 氣。而且最好是對製造裝置的移載口的整個面進行吹噴。 第5發明的搬運車，上述第一空氣吹出部，是藉由在 移載口的上方且使水平方向的位置不相同地配置的，用來 形成氣幕的複數的空氣噴嘴所構成。因此，可藉由複數的 -9- 1282139(6) 空氣噴嘴在水平方向形成廣泛的氣幕。 第6發明的搬運車，上述行駛單元，會檢測朝向進行 被製造物的搬入或搬出的移載地點的接近情形而輸出接近 訊號，上述空氣吹出部，會根據該接近訊號，在到達移載 地點之前開始進行空氣吹噴。 藉由這種構造，在搬運車的行駛期間，如果搬運車接 近用來進行被製造物的移載的移載地點的話，第一空氣吹 出部，會開始進行空氣的吹出。因此，在搬運車行駛期間 ，可以對用來進行被製造物的交接的製造裝置進行空氣的 吹噴。 第7發明的搬運車，是具備有第二空氣吹出部，會從 移載口的上方吹出空氣，而在移載口的外表面形成下降氣 流。 第二空氣吹出部，藉由在本身（搬運車）的移載口的外 表面形成空氣（最好是淸淨化的空氣）的下降氣流，則可以 去除附著於本身的移載口的異物等。例如，當在移載口設 置有擋板等的開閉手段時，則可以去除附著在該開閉手段 的異物等。 第8發明的搬運車，上述行駛單元，會檢測朝向進行 被製造物的搬入或搬出的移載地點的接近情形而輸出接近 訊號，上述第二空氣吹出部，會根據該接近訊號，在到達 移載地點之前開始進行空氣吹噴。 藉由這種構造，當搬運車接近製造裝置時，以第二空 氣吹出部在本身（搬運車）的移載口的外表面形成空氣的下 -10- 1282139(7) 降氣流，而可以除去附著於本身的移載口的異物等。例如 ’當在移載口設置有擋板等的開閉手段時，而可以除去附 著於該開閉手段的異物等，而可以防止多餘的空氣吹出。 第9發明的搬運車，是具備有：供給經過淸淨化處理 的空氣的淸淨化單元、供給經過淸淨化的空氣，用來收容 被製造物的收容部、對於收容部進行被製造物的搬入或搬 出且設置於筐體側面的移載口、以及從移載口的上方將空 氣吹出，在移載口的表面形成下降氣流的第二空氣吹出部 〇 第1 〇發明的搬運車，上述行駛單元，會檢測朝向進 行被製造物的搬入或搬出的移載地點的接近情形而輸出接 近訊號，上述第二空氣吹出部，會根據該接近訊號，在到 達移載地點之前開始進行空氣吹噴。 第11發明的製造裝置，是具備有：用來供給經過淸 淨化處理的空氣的淸淨化單元、供給經過淸淨化處理的空 氣，暫時收容被製造物的預備室、在預備室及外部之間用 來進行被製造物的搬入或搬出的移載口、以及朝向移載口 側的外部進行空氣吹噴的第一空氣吹出部。 製造裝置的前面部，是與用來進行被製造物的交接的 搬運車（平常是自動搬運車）的移載口的側面相對向的面部 。因此，藉由將空氣吹出部設置在製造裝置的前面部來吹 出空氣，朝向該搬運車的移載口側的側面吹噴空氣’則可 以除去附著在該搬運車的移載口的側面的異物等。 淸淨化單元，例如是藉由送風風扇及過濾器所構成’ -11 - 1282139(8) 是供給至少比設置製造裝置的環境中的空氣更淸淨的空氣 。來自於第一空氣吹出部的淸淨化空氣，是朝向相對於前 面部具有角度的方向（偏離該側面的方向）吹出。例如，朝 向側面的法線方向吹出，或者朝向靠近搬運車的來到方向 側吹出。 第一空氣吹出部，如果設置在製造裝置的移載口側的 側面的話，即使在移載口的周邊部也可以，當在移載口設 置有擋板等的開閉手段的時候，也可以設置在該開閉手段 〇 第12發明的製造裝置，上述第一空氣吹出部，是配 置在移載口的周邊部，是藉由用來形成氣幕的複數的空氣 噴嘴所構成。藉由這種構造，當搬運車行駛到製造裝置來 進行被製造物的交接時，在搬運車搬運期間，可以對該搬 運車的移載口進行空氣的吹噴。於是，在搬運車的移載口 到達朝向該半導體製造裝置的移載口的移載地點而搬運車 停止之前，可以對該搬運車的移載口（設置有擋板等開閉 手段的話則是該開閉手段）進行空氣的吹噴。 第1 3發明的製造裝置，具備有會檢測搬運車的接近 而輸出接近訊號的搬運車監視部，上述第一空氣吹出部， 根據該接近訊號，在搬運車到達之前開始進行空氣的吹出 〇 第14發明的製造裝置，是具備有：從移載口的上方 吹出空氣，在移載口的外表面形成下降氣流的第二空氣吹 出部。 -12- 128213%) 第二空氣吹出部，藉由將淸淨化空氣的下降氣流形成 在本身（製造裝置）的移載口的外表面，而可以除去附著在 本身的移載口的異物等。例如，當在移載口設置有擋板等 的開閉手段時，可以除去附著於該開閉手段的異物等。 第1 5發明的製造裝置，具備有會檢測搬運車的接近 而輸出接近訊號的搬運車監視部，上述第二空氣吹出部， 根據該接近訊號，在搬運車到達之前開始進行空氣的吹出 〇 第1 6發明的製造裝置，是具備有：用來供給經過淸 淨化處理的淸淨化單元、供給經過淸淨化處理的空氣，暫 時收容被製造物的預備室、在預備室及外部之間進行被製 造物的搬入或搬出的移載口、以及從移載口的上方吹出空 氣（最好是淸淨化的空氣），在移載口的外表面形成下降氣 流的第二空氣吹出部。 第1 7發明的製造裝置，具備有會檢測搬運車的接近 而輸出接近訊號的搬運車監視部，上述第二空氣吹出部， 根據該接近訊號，在搬運車到達之前開始進行空氣的吹出 〇 藉由這種構造，當搬運車接近製造裝置時，第二空氣 吹出部，會開始進行空氣的吹出。因此，在搬運車行駛期 間，則可以對用來進行被製造物的交接的搬運車進行空氣 的吹噴，並且可以防止多餘的空氣的吹出。 第1 8發明的搬運系統，是由：用來搬運被製造物的 搬運車、以及設置在預定位置，收容被製造物來進行加工 -13- Ι282139ι〇) 或保管的複數的製造裝置所構成。該搬運車，是具備有= 行駛於製造裝置間的行駛單元、用來供給經過淸淨化處理 的空氣的淸淨化單元、供給經過淸淨化處理的空氣，收容 被製造物的收容部、在與製造裝置之間進行被製造物的移 載且具有開閉手段的移載口、以及吹出空氣的第一空氣吹 出部。而製造裝置，是具備有：用來供給經過淸淨化處理 的空氣的淸淨化單元、供給經過淸淨化處理的空氣，收容 被製造物的收容部、在與製造裝置之間進行被製造物的移 載且具有開閉手段的移載口。上述第一空氣吹出部，是將 空氣對製造裝置的移載口的開閉手段進行吹噴。 藉由這種構造，將空氣從搬運車的第一空氣吹出部吹 噴到製造裝置的移載口的開閉手段，例如擋板的自動開閉 手段，而可以去除附著於該開閉手段的異物等。 製造裝置，可以是用來加工被製造物的製造裝置，也 可以是用來保管被製造物的保管裝置。例如，在適用於半 導體製造線時也包含暫存盒。 第1 9發明的搬運系統，上述第一空氣吹出部，會在 搬運車到達移載地點之前開始進行空氣的吹出。藉由這種 構造，在搬運車行駛期間，則可以對進行被製造物的交接 的製造裝置進行空氣的吹噴。 第20發明的搬運系統，製造裝置，具備有用來進行 空氣吹噴的第二空氣吹出部，上述第二空氣吹出部，是對 搬運車的移載口的開閉手段，吹噴經過淸淨化的空氣。 藉由這種構造，將淸淨化空氣從製造裝置的第二空氣 -14- Ι282139(ιΐ) 吹出部吹噴到搬運車的移載口的開閉手段，例如擋板的自 動開閉手段，而可以去除附著於該開閉手段的異物等。 第2 1發明的搬運系統，上述第二空氣吹出部，會在 搬運車到達移載地點之前開始進行空氣的吹出。藉由這種 構造，在搬運車行駛期間，則可以對進行被製造物的交接 的製造裝置進行空氣的吹噴。 第22發明的搬運系統，是由：用來搬運被製造物的 搬運車、以及設置在預定位置，收容被製造物來進行加工 或保管的複數的製造裝置所構成。該搬運車，是具備有： 行駛於製造裝置間的行駛單元、用來供給經過淸淨化處理 的空氣的淸淨化單元、供給經過淸淨化處理的空氣，收容 被製造物的收容部、在與製造裝置之間進行被製造物的移 載且具有開閉手段的移載口。而製造裝置，是具備有：用 來供給經過淸淨化.處理的空氣的淸淨化單元、供給經過淸 淨化處理的空氣，收容被製造物的收容部、在與搬運車之 間進行被製造物的搬入或搬出且具有開閉手段的移載口、 以及用來吹出空氣的第一及第二空氣吹出部。上述第一空 氣吹出部，是將空氣對搬運車的移載口的開閉手段進行吹 噴，並且上述第二空氣吹出部，會在製造裝置的移載口的 開閉手段的外表面，形成空氣的下降氣流。 藉由這種構造，將淸淨化空氣從製造裝置的第一空氣 吹出部吹噴到搬運車的移載口的開閉手段，例如擋板的自 動開閉手段，而可以去除附著於該開閉手段的異物等。而 由製造裝置的第二空氣吹出部，在本身（製造裝置）的移載 -15- 1282139(12) 口的開閉手段，例如擋板等的自動開閉手段的外表面形成 空氣的流體，而可以除去附著於該開閉手段上的異物等。 第23發明的搬運系統，上述第二空氣吹出部，會在 搬運車到達移載地點之前開始進行淸淨化的空氣的吹出。 藉由這種構造，在搬運車行駛期間，則可以對製造裝置進 行空氣的吹噴。 第24發明的搬運系統，是由：用來搬運被製造物的 搬運車、以及設置在預定位置的複數的製造裝置所構成的 搬運系統。該搬運車，是具備有：行駛於製造裝置間的行 駛單元、用來供給經過淸淨化處理的空氣的淸淨化單元、 供給經過淸淨化處理的空氣，收容被製造物的收容部、在 與製造裝置之間進行被製造物的搬入或搬出且具有開閉手 段的移載口。而製造裝置，是具備有：用來供給經過淸淨 化處理的空氣的淸淨化單元、供給經過淸淨化處理的空氣 ，收容被製造物的收容部、在與搬運車之間進行被製造物 的搬入或搬出且具有開閉手段的移載口。而且，上述搬運 車或製造裝置的至少其中一方，具備有在搬運車及製造裝 置的移載口之間形成風洞的空氣吹出部。 在第25發明，是具備有物品收容庫，且該物品收容 庫具有在沿著行駛路線配置的工作站之間用來進行物品的 交接的物品交接口的搬運車，是具備有：配置在該物品交 接口的周圍，朝向工作站噴出空氣的第一空氣噴出手段。 藉由從物品交接口的周圍，朝向工作站噴出空氣，在物品 交接口的周圍形成氣幕，藉由該空氣來吹走附著於工作站 -16- 1282139(13) 的塵埃，並且當搬運車在與工作站相對向的位置停止時， 能夠在物品交接口與工作站之間的移載經過路線形成氣幕 。因此，無論有無用來關閉物品交接口的門部，也可以防 止塵埃從物品交接口附著於物品，將工作站潔淨化會有助 於工作站的移載準備，並且在移載過程中能防止塵埃附著 於物品。在無人搬運車到達工作站的同時就可以開始進行 移載，而可以提昇生產效率。 在第26發明，具備有配置在較上述第一空氣噴出手 段更靠近行進方向前側的吸引手段。由於是這種構造，而 可以吸引由於無人搬運車的行駛所產生的來自於行進方向 的前側的空氣，而可更確實地防止由於行駛所產生的空氣 通過氣幕。 在第27發明，設置有配置在較上述第一空氣噴出手 段更靠近行進方向前側的輔助空氣噴出手段。由於是這種 構造，可相對於由於無人搬運車的行駛所產生的來自於行 進方向前側的空氣，設置空氣壁，而可更確實地防止由於 行駛所產生的空氣通過氣幕。 在第2 8發明，是設置有從上述物品交接口上緣部噴 出作爲下降氣流的空氣的第二空氣噴出手段。由於是這種 構造，藉由第二空氣噴出手段的驅動，將淸淨化空氣噴出 到門部的外面部，則可除去附著於該外面部的塵埃。於是 ，在門部開放前，藉由驅動第二空氣噴出手段，則可以防 止附著於門部的外面部的塵埃侵入物品收容庫內。而在門 部開放時，藉由使第二空氣噴出手段驅動，則可形成關閉 -17- 128213^14) 物品交接口的氣幕，則即使在物品交接口開放的狀態也可 防止塵埃侵入物品收容庫內。 在第29發明，是具備有：具備有物品收容庫’且該 物品收容庫具有用來交接物品的物品交接口的搬運車、以 及設置有物品收容庫，該物品收容庫具有沿著搬運車的行 駛經過路線配置，藉由第一門部進行開閉且與搬運車之間 用來交接物品的物品交接口的工作站，在工作站的物品交 接口的搬運車的行進方向前後形成有壁構件，在搬運車配 置有用來噴出空氣的空氣噴出手段而在物品交接口的周圍 形成氣幕。由於是這種構造，在工作站可防止由於第一門 部讓塵埃進入物品收容庫，無人搬運車藉由空氣噴出手段 所形成的氣幕，而可以防止塵埃進入物品收容庫。藉由形 成氣幕，則無論在無人搬運車行駛過程中有無門部，都可 以防止塵埃進入庫內，而可以除去由於無人搬運車移動到 工作站所引起的附著於工作站的第一門部的塵埃。藉由讓 無人搬運車停止於工作站，而可以將形成於無人搬運車及 工作站的兩物品交接口之間的移載經過路線潔淨化，可以 防止塵埃附著於在移載中的物品。結果，在無人搬運車到 達工作站之前就可以進行無人搬運車的移載準備，並且可 隨著無人搬運車的到達將第一門部開啓，除了可提升搬運 效率之外，還可防止在移載過程中塵埃附著於物品。並且 ，藉由形成壁部，則可以在無人搬運車與壁部之間形成狹 窄的空間，由於只要將該空間潔淨化即可，可以確實地形 成氣幕。結果，可更確實地防止塵埃進入無人搬運車的物 -18- 128213915) 品收容庫，並且可更確實地防止在移載中讓 品。 在第3 0發明，在上述搬運車的物品交 可自由開閉的第二門部，上述第一門部及第 控制成··在搬運車到達工作站的停車位置之 在離開停車位置之後完成關閉，第一門部在 成關閉期間，第一門部的開口是位於上述氣 這種構造，藉由在無人搬運車設置第二門部 時會使各空氣噴出手段的作動停止。結果， 搬運車的消耗電力。第一門部及第二門部， 車停止於工作站之前開始開啓，離開工作站 ，可以更提高生產效率。而且由於配置在工 部的開口經常在氣幕內，所以即使無人搬運 第一門部予以開閉，也不會讓塵埃侵入到工 容庫。 【實施方式】 第1圖是顯示本發明的一種實施方式的 的一構成例的槪略圖，是顯示適用於用來製 置等的半導體裝置的製造線的自動搬運系絲 是自動搬運車，2是半導體製造裝置，3是 搬運通路，1 1是自動搬運車的移載口，20 ，21是裝載機/卸載機，22是半導體製造裝丨 該自動搬運系統，是藉由：自動搬運_ 塵埃附著於物 接口，設置有 二門部，是被 前開始開啓， 開始開啓到完 幕內。由於是 ，當門部關閉 可以減少無人 是在無人搬運 之後完成關閉 作站的第一門 車在移動中將 作站的物品收 自動搬運系統 造液晶顯不裝 。圖中的 1 A 暫存盒，4是 是製程處理部 髪的移載口。 1 A、複數的 -19- 128213%) 半導體製造裝置2、及複數的暫存盒3所構成，是在淸淨 度較低的潔淨室內使用。自動搬運車1A、半導體製造裝 置2 '及暫存盒3的內部，是維持著較潔淨室更高的淸淨 度’藉由局部的潔淨化，將被製造物保持在淸淨度高的環 境中。例如，潔淨室內做成潔淨度等級一萬〜十萬左右， 自動搬運車1、半導體製造裝置2及暫存盒3的內部其潔 淨度等級是1 〇 〇左右。 半導體製造裝置2，是對由平板玻璃等所構成的基板 ’用來進行成膜、蝕刻等的製程處理的半導體製造裝置， 是固定設置在潔淨室內的預定位置。該半導體製造裝置2 ’是由：製程處理部20及裝載機/卸載機2 1所構成。 製程處理部20，是由：進行用來加工基板的製程處 理的氣密室所構成。裝載機/卸載機2 1，是在對製程處理 部20進行基板的搬入或搬出時所使用的預備室，製程處 理之前或之後的基板會被暫時收容。因此，在裝載機/卸 載機2 1內，會供給藉由淸淨化單元（沒有圖示）經過淸淨 化處理的空氣，並且是以淸淨化單元將其充滿而能對周圍 環境（潔淨室內）維持正壓，來維持較周圍環境更高的淸淨 度。 移載口 22，是對裝載機/卸載機2 1進行基板的搬入或 搬出的閉口部，是設置在搬運通路4側的筐體前面部。在 該移載口 22，是安裝有藉由自動控制而開閉的擋板。平 常，移載口 22是藉由擋板所關閉，只有當基板搬入時會 關閉。 •20- 128213% 暫存盒3，是用來暫時保管基板的保管裝置，其內部 ’與裝載機/卸載機2 1同樣的，會供給藉由淸淨化單元（ 沒有圖示）經過淸淨化處理的空氣，並且對周圍環境（潔淨 室內）維持正壓，來維持較周圍環境更高的淸淨度。 自動搬運車 1A，是 RGV(Rail Guided Vehicle)(軌道 導引車輛）、AGV(Auto Guided Vehicle)(自動導引車輛）、 通道傳送方式等的無人搬運車，藉由自動控制行駛於搬運 通路4，在不同的半導體製造裝置2之間、不同的暫存盒 3之間、或半導體製造裝置2及暫存盒3之間進行基板的 搬運。在搬運時，平常，複數的基板會收容於晶圓匣盒， 是將一個或兩個以上的晶圓匣盒收容於一個自動搬運車 1 A內。 移載口 1 1，是用來對自動搬運車1 A進行晶圓匣盒的 搬入或搬出的開口部，在從行進方向來看的側面（與行進 方向平行的筐體面），是設置在移載時的半導體製造裝置 2側的面部。該移載口 1 1，是由與半導體製造裝置2的移 載口 22相同的形狀所構成，且配置爲相同的高度，可以 與半導體製造裝置2的移載口 22相對方向爲一致。 並且，在移載口 1 1，是安裝著藉由自動控制而開閉 的擋板，平常移載口 1 1是藉由擋板關閉著，只有晶圓匣 盒搬出時會開□。第1圖所示的自動搬運車1 A，爲了朝 兩方向進行移載，其移載口 1 1是設置在兩側面，而當只 有單側進行移載時，只要將移載口 1 1設在其中一方的俱IJ 面就足夠了。 -21 - I282l3Sj18) 該自動搬運車1A，是一邊對於半導體製造裝置2進 行淸淨化氣體的空氣吹噴而一邊行駛，可以除去附著在半 導體製造裝置2的前面部（移載口 22側的面部）的異物。 針對其詳細情形使用第2圖〜第5圖在以下說明。 第2圖及第3圖，是更詳細地顯示第1圖的自動搬運 車1Α的構造圖，在第2圖，是顯示了從行進方向來看內 部的槪略構造，在第3圖，是顯示了相對於行進方向從側 面來看的外觀圖。圖中的1Α是自動搬運車，11是移載口 ，：I 2是淸淨化單元，1 3是收容部，1 4是行駛單元’ 1 5是 送風風扇，16是淸淨化過濾器，17是晶圓匣盒，18Α是 空氣噴嘴，1 9 Α是空氣吹出部。 淸淨化單元1 2，是由：用來供給淸淨化空氣的被稱 爲FFU(Fan Filter Unit)(風扇過濾器單元）的空氣淸淨化裝 置、送風風扇1 5、以及淸淨化過濾器1 6所構成。在淸淨 化過濾器 16，是使用：HEPA(High Efficiency Particulate Air)(高效率微粒空氣）過濾器、ULPA(Ultra Low Particulate Air)(超低量微粒空氣）過濾器等。 來自於外部空氣或收容部1 3的循環空氣，會藉由送 風風扇1 5被輸送到淸淨化過濾器1 6，在以淸淨化過濾器 1 6淸淨化之後，會被輸送到收容部1 3及空氣噴嘴1 8 A。 收容部1 3，會供給淸淨化空氣，並且對於周圍環境（潔淨 室內）是維持正壓，維持較周圍環境更高的潔淨度。 在移載口 U的擋板與其週邊，配置有構成空氣吹出 部1 9 A的多數的空氣噴嘴1 8 A，會從該擋板的全面與其周 -22- 128213%) 邊朝向外側進行空氣吹噴。周邊部的空氣噴嘴1 8 A，是被 配置於移載口 1 1的外側而鄰接於移載口 1 1的周緣部。而 朝向移載口配置向上方向、左方向、及右方向，在下方向 (至少下方向的其中一部分，例如中央部）並沒有配置。也 就是說，除了下方向之外，是以包圍移載口 1 1的周圍的 方式來配置空氣噴嘴18A。 從空氣噴嘴1 8 A所吹出的氣體，最好是藉由淸淨化 單元1 2經過淸淨化處理的空氣。而對空氣噴嘴1 8 A的淸 淨化空氣的空氣供給，也可以藉由送風風扇1 5之外的其 他動力的風扇（沒有圖示）來進行。並且，空氣吹出部1 9A ，也可利用在自動搬運車 1 A行駛時所受到的風壓來進行 空氣吹噴。例如，從自動搬運車1 A的前方讓空氣進入， 將進入的空氣從噴嘴吹出的話，就可減輕吹出空氣所需要 的動力，甚至不需要動力。 行駛單元1 4，會行駛預定的搬運路線，移動到預定 的半導體製造裝置2或暫存盒3，進行自動搬運車1A的 行駛控制讓其停止在預定的移載地點。 第4圖，是自動搬運車1 A進行空氣吹噴時的情形的 顯示圖。自動搬運車1A，會從擋板的全面與其周邊，對 筐體側面朝向大致法線方向朝向外側進行空氣吹噴。因此 ’可除去附著在擋板的異物等，並且是對於自動搬運車 1 A的側面相對向的半導體製造裝置2的前面部進行空氣 吹噴’可除去附著在半導體製造裝置2的前面部的異物等 -23- 128213¾ 自動搬運車1A的移載口 n，是與半導體製造裝置2 的移載口 22的形狀相同，且配置爲相同的高度，藉由從 自動搬運車1A的移載口 n的全面與其周邊進行空氣吹 噴，則可對半導體製造裝置2的移載口 22的全面部進行 空氣吹噴，而可除去附著在半導體製造裝置2的移載口 22的擋板等的異物等。 第5圖’是顯示空氣吹噴的時序的說明圖，在橫方向 顯示了自動搬運車1 A的位置，在縱方向顯示時間經過， 時間以從（a)〜（h)的順序經過。 首先，自動搬運車1 A，當接近進行晶圓匣盒的移載 的半導體製造裝置2時，行駛單元1 4會檢測到朝向該半 導體製造裝置2的接近而輸出接近訊號。空氣吹出部19A ，根據該接近訊號，會開始空氣的吹出，形成空氣吹噴（ 圖中的a)。在這裡，自動搬運車1的行駛單元1 4，一般 來說，作爲用來進行自動行駛的資訊，具有本車的現在位 置、移動順序、行駛路線等的資訊，根據這些資訊可以產 生接近訊號，也可以使用自動行駛控制之外的，用來檢測 半導體製造裝置2的接近的檢測手段來產生接近訊號。 接著，行駛單元1 4，在使自動搬運車1 A減速之後（ 圖中的（b))，會在自動搬運車1A及半導體製造裝置2的 移載口 1 1、22相對向的移載地點停止。自動搬運車1 A， 在到達移載地點之前會開始進行空氣吹噴，會一邊行駛一 邊對半導體製造裝置2進行空氣吹噴，所以在到達移載地 點時，會充分地進行了對半導體製造裝置2的移載口 22 -24- 1282139(21) 的空氣吹噴。 而根據上述接近訊號，在自動搬運車1A到達移載地 點之則’會開始進行自動搬運車1 A以及半導體製造裝置 2的L板的開啓動作（圖中的e )，該檔板的開啓動作在到 達移載地點之則會結束。於是，當自動搬運車1 A停止於 移載地點時，擋板是成爲完全開啓的狀態，而直接進行從 自動搬運車1A到半導體製造裝置2 (或者從半導體製造裝 置2到自動搬運車！ A)的晶圓匣盒I?的移載（圖中的d)。 晶圓匣盒17的移載，是藉由設置在自動搬運車ία內的 移載用叉部所進行的。 晶圓匣盒1 7的移載結束的話，行駛單元1 4會使自動 搬運車再度行駛。此時，開始行駛的同時，會開始進行自 動搬運車1 A及半導體製造裝置2的擋板的關閉動作（圖中 的e)，在行駛中會使擋板完全關閉（圖中的f)。然後，會 加速到預定的速度以定速行駛，朝向下一個移載地點移動 (圖中的g、h)。 第6圖是自動搬運車1A及半導體製造裝置2之間的 晶圓匣盒移載時的情形的顯示圖。圖中的5是潔淨通道。 在移載地點，當在自動搬運車1A與半導體製造裝置2之 間進行移載時，相對向的移載口 1 1、22的擋板會一起開 啓。此時’自動搬運車1 A的收容部1 3內及裝載機/卸載 機內，與周圍環境相比都是正壓，所以在移載口 11、22 夾著的空間，形成了潔淨通道5。 該潔淨通道5，是充滿淸淨化的空氣的淸淨度很局的 -25- 128213¾ 空間，晶圓匣盒1 7，會通過該潔淨通道5內，從自動搬 運車1A被移載到半導體製造裝置2、或從半導體製造裝 置2被移載到自動搬運車1A。因此，晶圓匣盒1 7，並不 是經由淸淨度低的環境來進行移載。. 藉由本實施方式，是在自動搬運車1A的設置有移載 口 1 1的側面設置空氣吹出部，朝向半導體製造裝置2的 前面部進行空氣吹噴。因此，可以藉由空氣吹噴來除去附 著於半導體製造裝置2的前面部的異物等。於是，當使移 載口 2 2的擋板開啓時，能防止或抑制附著於檔板或其周 邊的異物飄起。 而在自動搬運車1A的移載口 11設置有多數的空氣 噴嘴1 8 A，從移載口 1 1的全面與周邊進行空氣吹噴。因 此’在半導體製造裝置2的前面部，可以對於設置在與自 動搬運車1 A的移載口 1 1相對向的位置的半導體製造裝 置2的移載口 22的全面與周邊來進行空氣吹噴。 自動搬運車iA，當要進行移載而接近半導體製造裝 置2時’空氣吹出部1 9 A會開始吹出空氣。因此，自動 搬運車1 A在行駛中會進行空氣吹噴，在到達移載地點之 前會結束空氣吹噴。因此，縮短了移載所需要的時間。 並且’當自動搬運車1A接近半導體製造裝置2時， 會進行移載口 1丨的擋板的開啓動作，在到達移載地點之 前擋板的開啓動作會結束。因此，在到達移載地點時，會 直接開始進行移載，而可以縮短移載所需要的時間。這樣 可以縮短搬運時間，在適用於製造線時，可以使生產性提 -26- 128213¾ 昇。 【第二實施方式】 實施方式1，是針對將空氣吹出部設置在自動搬運車 的移載口的全面的例子來加以說明，在本實施方式中，是 針對將空氣吹出部設置在較移載口更靠近行進方向側的情 況來加以說明。且針對空氣吹出部形成具有朝鉛直方向擴 散的氣幕的情況加以說明。 第7圖是顯示本發明的第二實施方式的自動搬運系統 的一構造例的槪略圖。圖中的1 B是自動搬運車，2是半 導體製造裝置，3是暫存盒，4是搬運通路，18B是空氣 噴嘴，19B是空氣吹出部，20是製程處理部，21是裝載 機/卸載機，U、22是移載口。 空氣吹出部1 9 B，是在自動搬運車1 B相對於行進方 向的側面上，是設置在移載口 1 1側的面部上。而在該側 面上是設置在較移載口 11更靠近行進方向側。該空氣吹 出部1 9 B ’是從側面朝向外側，也就是相對於行進方向具 有角度，是朝向偏離側面的方向進行空氣吹噴。典型的方 式，是如第7圖所示朝向側面的法線方向進行空氣吹噴。 在第7圖中，雖然空氣吹出部1 9B，是設置在鄰接於 移載口 1 1的周邊部，而也可以設置在偏離移載口 i1的位 置。而在第7圖中，雖然移載口 11及空氣吹出部19B是 設置在自動搬運車1 B的兩側面，而在移載口 1 1僅設置在 單側，僅以該單側進行移載時，將空氣吹出部1 9 B僅設置 -27- 128213924) 在相同的側面也可以。 第8圖是顯示第7圖的自動搬運車1 B進行空氣吹噴 時的情形的顯示圖。自動搬運車1 B，會檢測到接近下一 個移載對象的半導體製造裝置2，在到達移載地點之前， 會從設置於行進方向側且用來進行移載的移載口 1 1側的 吹出部1 9B吹出空氣，形成空氣吹噴。 空氣吹出部1 9 B，是由分別高度不同而配置的複數的 空氣噴嘴18B所構成，藉由來自於各空氣噴嘴18B的空 氣吹噴，形成了垂直方向廣泛的氣幕。因此，在自動搬運 車1 B行駛中進行空氣吹噴的話，可以使鉛直方向廣泛的 氣幕朝水平方向移動，而可對半導體製造裝置2的前面部 有效率地進行空氣吹噴。 構成空氣吹出部1 9 B的上端的空氣噴嘴1 8 B，是安裝 成自動搬運車1 B的移載口 1 1的上緣部以上的高度，下端 的空氣噴嘴1 8 B，是安裝在移載口 1 1的下緣部以下的高 度較佳。將吹出部作成這種構造的話，就可藉由氣幕來覆 盍從半導體製造裝置2的移載口 2 2的上緣部到下緣邰’ 而可以對於半導體製造裝置2的移載口 22的全面進行空 氣吹噴。 空氣吹出部1 9 B，會檢測到接近下一個移載對象的半 導體製造裝置2，在到達移載地點之前開始進行空氣吹噴 ，則自動搬運車，在到達移載地點的時間點，就已充分地 進行了對半導體製造裝置2的移載口 22的空氣吹噴。特 別是，藉由讓空氣吹出部1 9B與作爲移載對象的半導體製 -28- 128213^25) 造裝置22的移載口 22相對向之前’就開始進行了空 噴，在到達移載地點的時間點，就已充分地進行了對 口 22全面的空氣吹噴。 當自動搬運車1 B可以朝雙方向行駛時’也就是 前進及後退時，在設置有移載口 1 1的相同側面上’ 在相對於移載口 1 1的水平方向的兩側設置空氣吹 1 9 B，則即使行駛於任何方向時，都可以進行上述的 吹噴。 【第三實施方式】 在第1、2實施方式中，雖然是針對將空氣吹出 置在自動搬運車的側面的例子來加以說明’而在本實 式中，是針對設置在自動搬運車的角落部的情況加以 。空氣吹出部，是朝向較自動搬運車1 A的側面的法 向更朝向行進方向側吹噴空氣。 第9圖是顯示本發明的第三實施方式的自動搬運 的構成例子的槪略圖。圖中的1 C是自動搬運車，2 導體製造裝置，3是暫存盒，4是搬運通路，18C是 噴嘴，1 9 C是空氣吹出部，2 0是製程處理部，2 1是 機/卸載機，22是移載口。 吹出部1 9 C，是設置在自動搬運車1 c的角落部 吹出部，是設置在行進方向的前面側且設置有移載[ 的側面側的角落部。該空氣吹出部1 9 C，雖然也可以 第二實施方式同樣的方向形成空氣吹噴，這裡是從側 氣吹 移載 說可 藉由 出部 空氣 部設 施方 說明 線方 系統 是半 空氣 裝載 。該 ]1 1 在與 面朝 -29- 128213% 向外側’且與側面的法線方向加以比較，是更朝向行進方 向進行空氣吹噴。 在第9圖中，移載口 π及空氣吹出部19C，是設置 在自動搬運車1 C的兩側面，而移載口 11僅設置在單側， 當僅在該單側進行移載時，空氣吹出部1 9 C僅設置在相同 的側面即可。 第1 〇圖，是第9圖的自動搬運車1 C進行空氣吹噴時 的顯示圖。自動搬運車1 C，如果檢測到接近進行移載的 半導體製造裝置2的話，設置於行進方向且用於該移載的 移載口 1 1側的角落部的吹出部1 9C會吹出空氣，形成空 氣吹噴。 空氣吹出部1 9C，與第二實施方式的情況同樣地，是 由配置成個別的安裝高度不同的複數的空氣噴嘴1 8 C所構 成，藉由來自於各空氣噴嘴的空氣吹噴’則形成了在鉛直 方向廣泛的氣幕。 空氣是較側面的法線方向更朝向行進方向從各空氣噴 嘴1 8 C吹出，在較空氣吹出部的安裝位置更前方’空氣是 朝向半導體製造裝置2的前面部吹噴。 當自動搬運車1 C可以朝雙方向行駛時’也就是說可 前進及後退時，在設置有移載口 1 1的側面的兩側（前方及 後方）的角落部設置空氣吹出部1 9C，則即使行駛於任何 方向時，都可以進行上述的空氣吹噴。 【第四實施方式】 -30- I28213%7) 在上述各實施方式中，是在自動搬運車設置空氣吹出 部，然是針對除去附著於半導體製造裝置的移載口的異物 等的情況加以說明，在本實施方式中’是在半導體製造裝 置2設置空氣吹出部，是針對要除去附著於該半導體製造 裝置2的移載口 2 2的異物等的情況加以說明。 第11圖，是顯示本發明的第四實施方式的半導體製 造裝置2 A的槪略構造的剖面圖，是從側面側來看適用於 與第1圖同樣的自動搬運系統的半導體製造裝置2 A的視 圖。圖中的2A是半導體製造裝置，17是晶圓匣盒，20 是製程處理部，21是裝載機/卸載機，22是移載口，23是 淸淨化單元，24是送風風扇，25是淸淨化過濾器，26A 是空氣噴嘴，27A是空氣吹出部。 淸淨化單元2 3，是用來供給經過淸淨化處理的空氣 的空氣淸淨化裝置，是由：送風風扇24、過濾器2 5所構 成。在過濾器25，是使用HEPA過濾器、ULPA過濾器等 。從外部空氣或裝載機/卸載機2 1循環的循環空氣，會藉 由送風風扇24被輸送到淸淨化單元25，在淸淨化過濾器 2 5經過淸淨化處理之後，會被輸送到裝載機/卸載機2 1及 空氣噴嘴26A。 空氣吹出部27A，是藉由設置在移載口 22的上方的 複數的噴嘴26A所構成。各空氣噴嘴26A，是設置成使水 平方向（與前面部平行的方向）的位置不相同，形成了沿著 半導體製造裝置2的前面部朝下流動的氣幕。也就是說， 在移載口 22的外表面形成了下降氣流，而可以除去附著 -31 - I28213%8) 在移載口 22的異物等。 對空氣噴嘴2 6 A的淸淨化空氣的供給，也可以藉由 與送風風扇24不同的動力風扇（沒有圖示）來進行。而從 空氣噴嘴26A吹出的空氣，雖然最好是藉由淸淨化單元2 、3經過淸淨化處理的空氣，而也可以是淸淨度低的周圍 環境中的空氣。 第12圖，是第11圖的半導體製造裝置2A進行空氣 吹噴的情況的顯示圖。半導體製造裝置2 A，具有用來監 視移載對象的自動搬運車1且用來檢測該自動搬運車1的 接近的搬運車監視部（不圖示）。該搬運車監視部，如果檢 測到作爲移載對象的自動搬運車的接近的話會輸出檢測訊 號。半導體製造裝置2A也可以不具有搬運車監視部，而 藉由沒有圖示的訊號線從外部輸入接近訊號。 根據上述檢測訊號，在到達移載地點之前，會從設置 在進行移載的移載口 22的上方的吹出部27吹出空氣，在 該移載口 2 2的外表面形成下降氣流。因此，自動搬運車 ，直到到達移載地點，可以藉由下降氣流除去附著在移載 口 2 2的擋板的異物等。 【第五實施方式】 在上述各實施方式中，雖然是針對利用空氣吹噴來除 去附著在半導體製造裝置的移載口的異物的情況來加以說 明，而在本實施方式中，是針對去除附著在自動搬運車的 移載口的異物等的情況來加以說明。 -32- 128213¾ 第I3圖是顯示本發明的第五實施方式的半導體製 裝置的槪略構造的剖面圖，是從側面側來看適用於與第 圖同樣的自動搬運系統的半導體製造裝置2；B的視圖。 第I4圖’是當第13圖的半導體製造裝置2：B進行空氣 噴的情況的顯示圖。圖中的1爲自動搬運車，2B是半 體製匕|^置’ 20是製程處理部，21是裝載機/卸載機， 是移載口 ’ 23是淸淨化單元，24是送風風扇，25是淸 化過濾器，28B是空氣噴嘴，29B是空氣吹出部。 在半導體製造裝置2B的移載口 22的擋板，是設置 與第一實施方式的自動搬運車1A相同的空氣吹出部。 就是說，在移載口 22的擋板，是配置有構成空氣吹出 29B的多數的空氣噴嘴28B，是從該擋板的整個面與其 邊朝向外側進行空氣吹噴。 半導體製造裝置2B，會從擋板的整個面部及其周 ’對於筐體前面部大槪朝向法線方向的外側進行空氣吹 。因此，可除去附著在半導體製造裝置2B的移載口 22 異物等，並且是對於半導體製造裝置2B的前面部所相 向的自動搬運車1的側面進行空氣吹噴，來除去附著在 動搬運車1的側面的異物等。 半導體製造裝置2B的移載口 22，是配置在朝向自 搬運車1的移載口 1 1的位置，所以藉由從半導體製造 置2B的移載口 22的擋板的整個面部進行空氣吹噴，貝L 對自動搬運車1的移載口 1 1的整個面進行空氣吹噴， 可以除去附著在自動搬運車1的移載口 1 1的擋板等的 造 1 而 吹 導 22 淨 有 也 部 周 邊 噴 的 對 白 動 裝 可 而 異 -33- !28213^) 物。 半導體製造裝置2Β ’如果檢測到作爲移載對象的自 動搬運車的接近的話，在到達移載地點之前，藉由設置在 進行移載的移載口 22的各空氣吹出部29Β來形成空氣吹 車1的移載口 11吹噴空氣。 到達移載地點，可以除去附著 除去附著在自動搬運車的移載 示在半導體製造裝置2Β的移 實施方式的自動搬運車1Α同 如第二實施方式，是將空氣吹 而也可以從搬運車接近的方向 ，如第三實施方式，也可以將 造裝置的角落部。 噴，對於行駛中的自動搬運 因此，自動搬運車，一直到 在移載口 1 1的擋板的異物。 在本實施方式中，作爲 口的異物的方法，雖然是顯 載口 22的擋板設置與第一 樣的空氣吹出部的例子，而 出部設置在移載口的兩側， 的空氣吹出部進行空氣吹噴 空氣吹出部設置在半導體製 【第六實施方式】 ，是說明藉由空氣吹噴來除去 動搬運車的移載口的異物的例 對將空氣吹噴利用在潔淨通道 的第6實施方式的半導體製造 ，是顯示適用於與第1圖同樣 車1D與半導體製造裝置2C。 2C是半導體製造裝置，11及 在第四、五實施方式中 附著在半導體製造裝置或自 子，在本實施方式中，更針 的形成的例子來說明。 第1 5圖是顯示本發明 裝置進行空氣吹噴的顯示圖 的自動搬運系統的自動搬運 圖中的1 D是自動搬運車， -34- 128213¾) 22是移載口，23是淸淨化單元’ 19C、27A、27B及 是空氣吹出部，18C及28C是空氣噴嘴。 自動搬運車1D，當接近要進行移載的半導體製 置2 C時，在到達移載地點之前，會從設置在進行移 移載口 1 1的上方的空氣吹出部27B開始進行空氣吹 並且從設置在移載口 1 1的周邊部的空氣吹出部1 9 C 進行空氣吹噴。 半導體製造裝置2 C ’當檢測到作爲移載對象的 搬運車1的接近時，在到達移載地點之前，會從設置 行移載的移載口 22的上方的空氣吹出部27A開始進 氣吹噴，並且從設置在移載口 22的周邊部的空氣吹 29C開始進行空氣吹噴。如果從空氣吹出部27 A及 同時進行空氣吹噴的話，會互相抵消，所以最好是先 氣吹出部2 7 A進行空氣吹噴之後，再從空氣吹出部 進行空氣吹噴。 空氣吹出部2?B，雖然是與第11、12圖（第四實 式）所示的半導體製造裝置2A的空氣吹出部27A相 構造，可是其設置在自動搬運車1 D的部分不相同。 是說，空氣吹出部27B，是藉由設置在移載口 1 1的 的複數的空氣噴嘴所構成，會沿著自動搬運車的移 1 1側的側面形成向下流動的氣幕。因此，在移載口 1 外表面形成下降氣流，而可以除去附著在移載口 . j i 物等。 空氣吹出部19C，是藉由設置在移載口 11的周 29C 造裝 載的 噴， 開始 自動 在進 行空 出部 29C 從空 29C 施方 同的 也就 上方 載口 1的 的異 邊部 -35- 1282135(32) ，朝向外側吹出淸淨化空氣的複數的空氣噴嘴所構成，在 移載口 1 1的周邊形成氣幕。空氣噴嘴1 8 C，是鄰接於移 載口 1 1的周邊部，以圍繞移載口 1 1的周圍的方式，配置 在移載口 1 1的外側，對於自動搬運車1 D的筐體前面大 槪朝向法線方向的外側進行空氣吹噴，而會圍繞移載口 1 1形成氣幕。 如弟15圖所不’空氣噴嘴18C，是朝向移載口 11配 置在上方向、左方向、及右方向，在下方向（至少下方向 的其中一部分，例如中央部）沒有配置也可以。也就是， 除了下方向之外圍繞移載口 1 1的周圍配置空氣噴嘴1 8 C 也可以。 在這種情況，藉由在移載口 1 1的上方配置成位置不 相同的空氣噴嘴18C，而在移載口 11的上方形成水平方 向廣泛的氣幕。而在移載口 1 1的左右兩側，藉由鉛直方 向配置成位置不相同的空氣噴嘴1 8 C，在移載口 1 1的兩 側形成鉛直方向廣泛的氣幕。這樣除了下方向之外，形成 了圍繞移載口 1 1的筒狀的氣幕。 空氣吹出部27A，是與第n' 12圖（第四實施方式） 所示的構造是相同的構造。空氣吹出部2 9 C，是與移載口 22鄰接設置在移載口 22的周邊部，是藉由朝向外側吹出 淸淨化空氣的複數的空氣噴嘴所構成，而在移載口 2 2的 周邊形成氣幕。在第15圖中，是以圍繞移載口 22的周邊 的方式’在移載口 2 2的外側配置空氣噴嘴2 8 c，對半導 體製造裝置2C的筐體前面部大致朝向法線方向的外側進 -36- 1282139(33) 行空氣吹噴，形成了圍繞移載口 22的筒狀的氣幕。 第16圖是第15圖的半導體製造裝置2C及自動搬運 車1 D之間的晶圓匣盒移載時的顯示圖。圖中的5是潔淨 ’通道。在移載地點，當在自動搬運車1D與.半導體製造裝 置2 C之間進行移載時，相對向的移載口 1 1、2 2的擋板會 --起打開。 此時，移載口 1 1、22所夾著的空間，會藉由裝載機/ 卸載機2 1及自動搬運車1內的正壓，形成潔淨通道5， 並且空氣吹出部2 9 C，或者自動搬運車1 D的空氣吹出部 19C的至少其中一方，形成了潔淨通道5，將自動搬運裝 置、製造裝置間的餘隙部保持潔淨，周邊部的潔淨度低的 空氣很難流入潔淨通道內。晶圓匣盒1 7，會通過這樣形 成的潔淨通道5內，從自動搬運車1 A被移載到半導體製 造裝置2，或從半導體製造裝置2被移載到自動搬運車 1 A。 上述自動搬運車或製造裝置的至少其中一方的空氣吹 噴，會在自動搬運車1D到達半導體製造裝置2C之前開 始進行，擋板會開啓，直到搬運車停止後的移載動作結束 且一邊起動一邊擋板關閉的期間，會連續進行吹噴。 自動搬運車1D，在將半導體製造裝置2C的移載口 22潔淨化的狀態，當自動搬運車1 D在預定位置停止時， 在移載口 11與移載口 22之間形成空氣通道，而可防止在 移載中塵埃附著在晶圓匣盒。而擋板分別關閉的期間，會 繼續進行空氣吹噴，所以當自動搬運車1 D起動時，即使 -37- 128213¾) 捲起塵埃，來自於移載口 1 1、22的周邊部的潔淨 空氣也很難捲入到潔淨通道內。 在上述各實施方式中，雖然是針對半導體裝置 的自動搬運系統的例子來說明，而本發明的適用對 不限定於此，可以適用於要求要將被製造物維持在 的環境中的搬運系統。而也適用於將被製造物以外 運物在兩個以上的收容裝置之間搬運的搬運系統。 上述實施方式的半導體裝置，並不只是用來將 號輸出輸入的半導體裝置，也包含液晶、PDP、有 等的顯示裝置，本發明也當然適用於在這些搬運線 的搬運系統。 在上述各實施方式中，雖然是針對搬運系統在 內使用的情況加以說明，而本發明的搬運系統，並 於一定要在潔淨室內使用。也可以適用於要讓自動 i、半導體製造裝置2、暫存盒3內的被製造物的 的淸淨度較搬運系統所使用的環境的淸淨度更高的 動搬運系統。 上述的各實施方式，雖然是顯示自動搬運系統 ’而本發明的適用範圍，並不限定於自動搬運系統 樣適用於以手動來搬運台車的手動線。 上述的各實施方式，可適當的加以組合來使用 以下記載的是搬運車系統的其他實施方式。 第1 8圖是顯示無人搬運系統1 〇 1的構造的槪 第1 9圖是顯示朝向工作站1 03的搬運車1 02的平 度低的 製造線 象，並 淸淨化 的被搬 電子訊 機EL 所使用 潔淨室 不限定 搬運車 收容部 各種自 的例子 ，也同 略圖， 面剖面 -38- 128213935) 圖，第20圖是顯示搬運車102的立體圖，第21 車1 〇 2及工作站1 〇 3的正面局部剖面圖，第2 2 道112的立體圖，第23圖是顯示各空氣噴出手 構造的方塊圖，第24圖是顯示移載準備的各空 動的平面圖，第2 5圖是顯示擋板1 1 〇 · 1 1 0的開 立體圖，第26圖是顯示從擋板1 1 〇 · 1 1 〇的開放 作開始之前的過程的搬運車1 0 2及工作站1 0 3的 圖’第2 7圖是顯示從移載動作開始之後到擋板 關閉的過程的搬運車1 0 2及工作站1 〇 3的槪略平 2 8圖是顯示第八實施方式的各空氣噴出手段的 的方塊圖，第29圖是顯示第九實施方式的搬運写 體圖，第30圖是顯示輔助空氣噴出手段的立體匱 首先，針對無人搬運系統1 〇 1的構造來加以; 如第1 8圖〜第21圖所示，在無人搬運系統 備有：第七實施方式的無人搬運車（以下用搬運 及工作站103。在搬運車102的主體框架109, 駛用的車輪1 3 5 . 1 3 5 ...。 工作站 1 03，例如，是設置在用來製造 Panel Display)(平板顯示器）用的玻璃基板或樹脂 理裝置，在背面側設置有不圖示的處理裝置主體 限於處理裝置，即使是暫時收容物品1 05的暫存 查裝置的工作站也可以。 該工作站103，是載置著藉由搬運車102所 品105，沿著搬運車102的行駛路線104，有複 圖是搬運 圖是導管 段的控制 氣流的流 閉機構的 到移載動 槪略平面 110· 110 面圖，第 控制構造 1： 5 2的立 1 ° 說明。 101，具 車）102、 設置有行 FPD(Flat 基板的處 。而並不 盒、或檢 搬運的物 數個配置 -39- 128213936) 在該行駛路線1 04的兩側。而也可以將工作站1 03僅配置 在行駛路線1 0 4的其中一側。第1 8圖所示的區域的行駛 路線1 〇4雖然是直線的路線，而也可以連接曲線路線將全 體做成迴圈狀。 物品1 05，是收容了 FDP，例如液晶或電漿顯示器用 的玻璃基板、或有機EL用的樹脂基板等的板狀物的晶圓 匣盒，爲了要維持品質而需要保存在潔淨化環境下。 在行駛路線1 0 4的兩側，在工作站1 0 3 · 1 0 3之間是 豎立設置有面板106 · 106 ···，圍繞著行駛路線1〇4。 以下，是以沿著搬運車1 02的行駛路線1 04的行進方 向爲基準，來定義方向。也就是，以搬運車1 02的行進方 向爲前後方向，將在水平面與該行進方向垂直的方向爲左 右方向。 搬運車1 0 2相對於行駛路線1 〇 4是可對前後方向行駛 的，爲了方便說明，在第1 8圖〜第19圖，是將箭頭F所 示的方向作爲搬運車1 02的行進方向前方的方向。 如第1 9圖所示，在工作站1 〇 3，在該工作站1 〇 3的 主體框架1 〇 7的內部形成有物品收容庫1 0 7 a，在該物品 收容庫1 0 7 a用來交接物品的物品交接口 1 0 7 b是形成在主 體框架1〇7。在主體框架107，是將形成物品交接口 l〇7b 的·面作爲開口側正面壁1 〇7c。又具備有用來開閉該物 品交接口 107b的一對擋板108· 108。 另一方面，在搬運車1〇2，在該搬運車102的主體框 架109的內部，形成有物品收容庫109a ’在該主體框架 -40- 128213% 1 〇 9的左右兩側，形成有用來移載物品1 Ο 5的物品交接口 1 0 9 b · 1 0 9 b。而用來開閉左右的物品交接口 1 〇 9 b的一對 擋板1 1 0 · 1 1 0，是分別具備於搬運車1 02的左右兩側。 物品交接口 1 〇 7 b · 1 0 9 b的開口的大小’是形成爲大 致相同程度的大小，是大致在相同高度的位置。而擋板 1 0 8 · 1 0 8及擋板1 1 0 · 1 1 0，是使用相同的機構。 在搬運車102，作爲物品105的移載手段，是具備有 非向量臂式的移載裝置1 1 1。在搬運車1 02到達工作站 103，物品交接口 107b · 109b相對向的狀態，當將上述擋 板1 0 8 · 1 0 8及擋板1 1 0 . 1 1 〇開放時，則在物品交接口 107b · 109b之間可進行物品105的移載。 物品交接口 107b · 109b之間是分離的，當將擋板 1 0 8 · 1 1 0開放進行物品1 〇 5的移載時，如果沒有實施任 何措施的話，搬運車1 0 2及工作站1 0 3的外部的空氣會流 入接觸到所移載的物品1 05。 因此，在搬運車1 02，作爲用來防止物品1 05與搬運 車102外部的空氣的接觸的手段，是在物品交接口 i〇7b 的周圍具備有用來將空氣噴射到工作站1 03側（行駛路線 1 〇4側邊）的第一空氣噴出手段。藉由該第一空氣噴出手 段的作動，形成了氣幕，讓連結物品交接口 1 0 7 b · 1 0 9 b 之間的物品移載路線成爲潔淨通道。即使是外部空氣含有 塵埃的潔淨度較低的空氣，該空氣也不會接觸到物品1 〇 5 〇 針對第一空氣噴出手段的構造來加以說明。 -41 - 128213¾ 如第20圖、第21圖所示，在搬運車102的左右，是 設置有朝向側方及上方突出的導管道1 1 2 · 11 2。導管道 1 1 2的側邊突出部1 1 2 a，是形成爲逆凹字型，來圍繞物品 交接口 109b的上方及前後。 如第20圖、第22圖所示，在側方突出部112a的側 端面，是以圍繞物品交接口 1 〇9b的方式，設置有多數的 空氣噴嘴113· 113· ··。 空氣噴嘴1 1 3 · 1 1 3 ···，是藉由配設部位分類爲 三個空氣噴出部。藉由位於物品交接口 1 〇9b的前後的空 氣噴嘴1 13 · 1 13，分別構成了空氣噴出部U4F · 1 14R， 藉由位於物品交接口 1 0 9 b的上方的空氣噴嘴1 1 3 · 1 1 3， 構成了空氣噴出部1 1 5。 如第20圖所示，在其中一個導管道112的上方突出 部112b，是設置有：風扇.過濾器·單元（以下稱作 FFU)116 與 FFU129. 129。FFU129· 129，是經由導管道 1 1 2來將正壓的空氣供給到空氣噴嘴1 1 3 . 1 1 3 ··的手段 ，並且具備有空氣過瀘器，供給到導管道1 2的空氣是潔 淨化的。這裡所供給的空氣，是在F F U 1 1 6從搬運車1 〇 2 的上方所吸引的，在FFU129· 129是從設置在搬運車 的側部的吸引導管道1 19F · 1 19R(後述）所吸引的。 也就是說，第一空氣噴射手段，是沿著物品交接口 1 0 9 b的周圍形成爲門狀，具備有配設在內部連通的導管 道112的上述各空氣噴出部H4F.114R.15。第一空氣 噴出手段的空氣供給源，是配置在導管道1 1 2上部的 -42- 128213939) FFUl 16 · 129 · 129，來自於各FFU的送出空氣，會全 在導管道112聚集之後，從各空氣噴出部114F. 114R 1 1 5的空氣噴嘴11 3朝向工作站1 〇 3噴出。而每個各噴 部 114F · 114R · 115 會分隔導管道 112，分別連 FFU116 · 129 · 129。 如第23圖所示，在搬運車1〇2，是設置有用來控 上述第一空氣噴出手段的控制手段1 1 7。控制手段1 1 7 由電子電路所構成的，用來控制連接成可與該控制手 1 1 7傳達訊號的各裝置。 構成第一空氣噴出手段的各空氣噴出部與FFU116 129 · 129，是經由空氣配管而連通連接。 控制手段1 17，是連接成可與FFU1 16 · 129 · 129 達訊號，用來控制FFU1 16 · 1 29 . 1 29的驅動。而控制 段1 17藉由控制FFU1 16 · 129 · 129的驅動，則可調整 空氣噴出部的空氣噴射量。 如第24圖所示，搬運車1〇2，爲了縮短移載作業 間，在到達工作站1 〇3之前，將上述擋板1 1 0 · 1 1 〇開 進行移載準備。這樣，在到達工作站1 0 3之後，與將擋 1 1 0 . 1 1 0開放的情況相比，可將全部移載作業所需要 時間縮短。 另一方面，搬運車1 02的前側的空氣，由於搬運 1 0 2的行駛，會對搬運車1 0 2產生正壓力的作用。在將 板1 1 0 · 1 1 〇開放的狀態讓搬運車1 02行駛的話，上述 側空氣所造成的空氣流A0，會朝向搬運車1 02的全面 部 出 接 制 是 段 傳 手 各 時 放 板 的 車 擋 前 流 -43 - 128213940) 動且繞到搬運車1 〇 2的側面，會侵入物品收容庫1 0 9 a內 〇 上述第一空氣噴出手段，在將擋板110 · 11 0開放的 搬運車1 02行駛時，具有作爲防止搬運車1 02的外部的空 氣侵入到物品收容庫1 〇 9 a內的手段的機能。 藉由第一空氣噴出手段的驅動，在物品收容庫1 0 9 a 的前後及上方，朝向工作站1 03側（行駛路線1 04的外側） 的空氣流，會分別產生。這裡是將從空氣噴出部1 1 4 F所 產生的空氣流當作A1。 前側空氣的空氣流A0，藉由該空氣流A 1，在侵入到 物品收容庫1 〇 9 a之前會被推向行駛路線1 0 4的外側，而 能防止其侵入物品收容庫l〇9a內。 如第20圖、第23圖所示，爲了要除去迴繞在搬運車 1 02的側面的空氣流A0所造成的影響，在搬運車1 02設 置有空氣的吸引手段。 空氣吸引手段，是較圍繞上述物品交接口 109b配置 的上述導管道1 1 2設置在更靠近行進方向前側，該搬運車 1 02爲了要往復行駛而是配置在行進方向前後兩側（導管 道 1 1 9F · 1 1 9R)。 吸引導管道1 19F · 1 19R，是朝上下方向以鋸齒狀形 成兩排用來吸引空氣的多數的空氣吸引孔1 1 9 a，並且從 分別連接到上述FFU 129· 129的吸引側的第一空氣噴出 手段的空氣噴出部噴出潔淨化空氣。而空氣吸引孔；!丨9a ，也可以作成上下方向較長的一個長孔。 -44- 128213941) 如第24圖所示，藉由在物品交接口 109b的行進方向 前側設置吸引部的吸引導管道1 19F，則可以導引迴繞在 搬運車1 02的側面的空氣流A0來使空氣流消失。 藉由在物品交接口 1 09b的行進方向前側所設置的空 氣噴出部1 14F的前側，設置吸引導管道1 19F，則在空氣 流A0與來自於空氣噴出部1 1 4F的空氣流A 1相交之前， 就可以使空氣流A0減弱，而可確實地形成空氣流A 1所 造成的氣幕。 如第22圖所示，在物品交接口 109b的行進方向前側 噴出空氣的第一空氣噴出手段，是作成讓空氣噴出方向朝 向行進方向前側傾斜。也就是說，構成空氣噴出部1 1 4F 的各空氣噴嘴113，其空氣噴出方向也是朝向行進方向前 側。 因此，藉由從該空氣噴出部1 1 4 F所噴出的空氣，在 行進方向前側也會產生空氣流，會抵銷上述空氣流A0的 朝向後側的流動，而能使空氣流A0減弱。 由於搬運車1 02的行進方向可逆轉，所以構成空氣噴 出部11 4R的各空氣噴嘴丨〗3的空氣噴出方向，是朝向行 進方向後方傾斜。 並且’在物品交接口 109b的上方噴出空氣的第一空 氣噴出手段’其空氣噴出手段是設置成朝向上方。 如第22圖所示，來自於第一空氣噴出手段的空氣噴 出部114F· 114R· 115的空氣噴出方向，其在移載時連 結於物品交接口 l〇7b . 109b之間的路線並不是平行，而 -45- 1282139(42) 是較該路線朝向外側擴展的方向。 藉由第一空氣噴出手段，不只是形成用來保護上述路 線的氣幕，會產生傳播於上述路線的外側的正壓，而能防 止搬運車2及工作站1 〇 3的外部空氣侵入到上述路線。 如第19圖、第24圖所示’第一空氣噴出手段的空氣 的噴出地點，是工作站1 〇 3或是上述面板1 〇 6 ° 在無人搬運系統101，在工作站103 · 103之間，是 沿著行駛路線1 〇4配置有面板1 〇6，在搬運車1 〇2與工作 站1 03之間、或搬運車2與面板1 06之間的間隙會被限制 。面板1 06，是矩形的平板構件，是沒有間隙地設置在工 作站1 0 3 . 1 0 3之間。 在工作站1 〇 3，是在主體框架1 〇 7的開口側正面壁 1 0 7 c形成有與搬運車1 〇 2相對向的物品交接口 1 〇 7 b。也 就是開口側正面壁1 0 7 c ’是形成爲與搬運車1 0 2相對向（ 沿著搬運車1 〇 2的行進方向）。而在該開口側正面壁1 〇 7 c 的前後兩端，是將面板1 06配置成其前後一側端會互相接 觸，行駛路線是沒有間隙地被工作站1 〇 3與面板1 〇 6圍繞 〇 也就是說，在工作站1〇3的物品交接口 107b的前後 ，藉由主體框架1 〇 7的開口側正面壁1 〇 7 C或面板1 0 6， 形成與搬運車1 〇2相對向的壁構件。 在上述被限制的間隙內，第一空氣噴出手段會朝向工 作站1 〇 3或面板1 〇 6噴出空氣。 藉由在與搬運車1 02之間隔著些許的間隙來配置面板 -46- 128213¾ 1 Ο 6 (或工作站1 0 3 )，第一，會限制上述前側空氣的空氣流 A0迴繞到物品交接口 1 〇9a側的量，第二’可以縮短藉由 各空氣噴嘴1 1 3所形成的氣幕的長度’所噴射的空氣的壓 力，從搬運車1 0 2到面板1 〇 6其壓力不易降低。 因此，在與沒有設置面板1 〇 6的情況相比，就可以將 用來防止灰塵侵入到物品收容庫1 0 9 a內所需要的空氣噴 射量減低。 藉由朝向以開口側正面壁1 〇 7 C或面板1 〇 6所形成的 壁構件以第一空氣噴出手段噴射空氣，則可讓搬運車1 02 一邊行駛一邊除去附著在該壁構件及擋板1 0 8 · 1 0 8的灰 塵。於是，在擋板1 〇 8 · 1 0 8開啓時就不會捲起塵埃，就 不會讓麈埃附著在物品交接口 1 〇 7 b · 1 0 9 b之間所移載的 物品1 〇 5。 以上的效果，只要至少在物品交接口 1 〇 7 b的前後形 成壁構件即可。在本實施方式中，面板1 〇 6雖然是埋入於 工作站1 03 · 1 03之間全面性地加以配置，而也可以省略 中途的面板1 〇 6，在工作站1 〇 3的至少前後位置配置適當 數量的面板106，藉由上述開口側正面壁107c及適當數 量的面板1 〇 6來形成壁構件。 在行駛時，特別是將上述擋板1 1 0 · 1 1 〇開放的移載 前的準備狀態，爲了要除去來自於搬運車1 02的行進方向 前方的空氣流A0的影響，至少驅動在上述前側噴出空氣 的第一空氣噴出手段（空氣噴出部114F)也可以。此時影響 最大的，就是隨著搬運車1 0 2的行駛而從前側產生的空氣 -47- 1282139(44) 流AO，而上述前側的第一空氣噴出手段，有矯正該空氣 流A0的流動方向使其減弱的作用，也具有除去上述工作 站103側的擋板1 08 . 1 0 8的塵埃的作用。 於是，在上述行駛時，控制手段1 1 7，至少會使上述 前側的第一空氣噴出手段作動。 在搬運車102，是設置有：會對物品105噴出潔淨空 氣，讓物品收容庫l〇9a內成爲正壓力的庫內空氣噴出手 段。 如第20圖所示，庫內空氣噴出手段，是由：設置在 車體框架1 0 9的上部的風扇·過濾器·單元（以下稱作 FFU)118、及開口於物品收容庫109a內部的沒有圖示的空 氣噴嘴所構成。FFU1 18具備有空氣過濾器，而可供給潔 淨化空氣。 因此，藉由庫內空氣噴出手段的驅動可以讓物品收容 庫l〇9a內經常保持潔淨。 且由於物品收容庫1 〇9a內爲正壓力·，所以在開放擋 板1 1 0 · 1 1 0的狀態，特別是在上述移載前的準備狀態， 能防止外部空氣的流入。 接下來，針對上述擋板1 1 0 · 11 0來加以說明。 在搬運車1 〇2，如上述，作爲用來開閉物品收容庫 l〇9a的門部，是在車體框架1〇9的左右分別設置有一對 擋板 1 1 0 · 1 1 0。 因此，藉由將擋板1 1 0 · 1 1 0關閉，則可防止塵埃從 物品交接口 109a侵入到物品收容庫109a內。 -48- 128213¾) 搬運車1 Ο 2，當接近目的地的工作站1 Ο 3時， 行移載準備，雖然是一邊開放擋板1 1 0 · 1 1 0 —邊 而通常搬運行駛時，並不需要開放擋板1 1 〇 · 1 1 〇 ，因應需要將撞板1 1 0 · 1 1 0關閉，則不需驅動上 空氣噴出手段，也可將物品收容庫109a內保持潔消 使用第25圖來針對擋板1 1 0 · 1 1 0的開閉機構 說明。 擋板1 1 0 · 1 1 0，是用合成樹脂形成爲薄片狀 即使彎折也不會有摺痕的構件。擋板11 〇 · 11 〇是 別從中央朝左右以拉門方式將物品交接口 1 〇9a予 的構件，開放狀態的擋板1 1 〇 · 1 1 〇，是分別朝向 向彎曲，收容於搬運車1 02的左右方向內側。作 1 1 0 . 1 1 0的驅動手段，是設置有：驅動馬達1 2 0、 動於门字型的循環路線的驅動皮帶1 2 1。沿著上述 線，配置有：藉由驅動馬達1 20所驅動的驅動滑輔 從動滑輪123 · 123、以及張力滾柱124 · 124，藉 馬達1 20來驅動驅動皮帶1 2 1。 在擋板1 1 〇，在移動方向的兩端，是固定設置 部 125a. 125b，該導引部 125a· 125b是經由驅 1 2 1與連結配件1 2 6 · 1 2 6所連結。驅動皮帶1 2 1 於循環路線，相對於搬運車1 02，在外側部份1 2 U 部份1 2 1 b其移動方向會逆轉。藉由將其中一擋板 定在驅動皮帶1 2 1的外側部份1 2 1 a，將另一擋板 定在驅動皮帶2 1的內側部份2 1 b，藉由相同的驅 爲了進 行駛， 。因此 述第一 :〇 來加以 ，做成 做成分 以開閉 直角方 爲擋板 以及移 循環路 122、 由驅動 有導引 動皮帶 會移動 、內側 1 1 0固 1 1 0固 動皮帶 -49- 128213946) 1 2 1的驅動，則可同時開閉兩擋板1 1 ο · 11 〇。 而兩擋板1 10 · 1 10的導引部125a · 125a，藉由設 在物品交接口 l〇9a的上下的導引部127 · 127，會被朝 前後方向（擋板1 1〇 · 1 1〇的開閉方向）導引。導引部127 是由：導軌127a、及相對於該導軌127a滑動的導引構 12 7b所構成，在上下的導引構件127b · 127b固定設置 擋板1 10的導引部125a，來導引擋板1 10。 由於這種構造，一對擋板1 1 〇 · 1 1 〇，會沿著物品 接口 109b在同一直線上接近·分離，而可以使擋板1 .1 1 0的緣部彼此緊貼在一起。 藉由以上的構造，是將擋板11 0 · 1 1 0作成拉門狀 且能彎折收容，所以收納可節省空間。 由於擋板1 1 〇 · 1 1 0是做成同時開啓，與藉由一個 板進行開閉相比，可更高速地開閉。並且，藉由同時開 ，在搬運車102的前後方向會對稱，即使搬運車102從 後方向任一側接近工作站1 03，也可讓擋板1 1 〇 · 1 1 0 開放時機相同。 擋板1 1 0 · 1 1 0的開閉機構，也可用繞著驅動軸捲 的捲繞方式來取代上述的皮帶方式。 使用第20圖、第22圖，針對從物品交接口 l〇9b 上緣部噴出成爲下降氣流的空氣的第二空氣噴出手段來 以說明。 在導管道1 1 2的側邊延伸部1 1 2 a的內側上端，也 是物品交接口 1 〇 9 b的上緣部的部位，設置有空氣噴嘴 置 向 5 件 著 交 10 擋 閉 前 的 繞 的 加 就 -50- 1282139(47) 藉由該空氣噴嘴組構成了空氣噴出部1 28。 藉由：位於上述上緣部的空氣噴出部1 28、以及經由 導管道112將潔淨空氣供給到該空氣噴出部128的上述 FFU116· 129· 129，構成了第二空氣噴出手段。而如第 23圖所示，各空氣噴出手段，是分別兼作爲正壓力產生 來源的FFU1 16 · 129 · 129的構造。 藉由第二空氣噴出手段的驅動，在擋板1 1 〇 · 1 1 〇的 外面部噴出潔淨空氣，而可除去附著於該外面部的塵埃。 於是，在檔板1 1 0 · 1 1 〇開放之則，藉由驅動弟一*空氣噴 出手段，則可防止附著於擋板11 〇 · 11 〇的外面部的塵埃 侵入到物品收容庫1 〇9a內。而當擋板1 1 0 · 1 1 0開放時， 藉由驅動第二空氣噴出手段，則能夠形成封閉物品交接口 1 0 9 b的氣幕，即使在物品交接口 1 0 9 b開放的狀態也能夠 防止塵埃侵入到物品收容庫l〇9a內。 接下來，使用第26圖、第27圖，針對在搬運車1〇2 與工作站1 03之間的移載作業的各過程的一例來加以說明 〇 在第26圖、第27圖，收容著物品105的搬運車102 會朝向目的地的工作站1 〇 3行駿，在到達目的地的工作站 103之後，將物品105移載到工作站103，之後顯示從工 作站103離開行駛的過程。 在本說明書中，「移載作業」包括了 ： 「移載動作」 、「移載前預備動作」、以及「移載後預備動作」。 所謂的「移載動作」，是代表在物品交接口 1 0 7 b m -51 - 1282139(48) 物品交接口 1 09b相對向之後，關於移載裝置n i 的物品1 0 5的移載的作業。 所g胃的「移載前預備作業」，是代表在物品 1 0 7 b與物品交接口 1 〇 9 b相對向之前，關於擋板；[i 的開閉或各空氣噴出手段的驅動的作業，「移載後 作」則同樣是代表上述「移載動作」結束後的各種 上述的「移載前的準備狀態」，是代表「移載前預 」的執行狀態。 如第26圖（a)所示，當搬運車102到達移載目 工作站1 03的前側的第一預定位置時，會開始進行 前預備動作」。「移載前預備動作」的開始時，就 載作業」的開始。 也就是說，搬運車1 〇 2，首先，會開始進行上 氣噴出手段及吸引手段的驅動。以吸引手段也就是 管道1 1 9F吸去迴繞到物品收容庫1 〇9a的物品 l〇9b側的大部份上述空氣流A0。第一空氣噴出手 朝向面板6做出逆凹字型的氣幕也就是空氣壁，而 止以吸引手段而變弱的空氣流A0侵入到物品交接[ ，並且除去附著在開口側正面壁1 07c的塵埃。庫 噴出手段，會讓物品收容庫l〇9a內成爲正壓力， 埃在擋板1 1 〇 · 1 1 〇開放時的入侵。第二空氣噴出 會除去附著在擋板1 1 〇 · 1 1 〇的外面部的塵埃。 如第26圖（b)所示，當搬運車102到達移載目 工作站1 03的前側的第二預定位置時，會開始進 所進行 交接口 0 * 110 預備動 作業。 備動作 的地的 「移載 是「移 述各空 吸引導 交接口 段，會 可以防 a l〇9b 內空氣 防止塵 手段， 的地的 行擋板 -52· 128213949) 1 1 〇 . 1 1 0的開放。 這裡是將搬運車1 Ο 2所具備的擋板1 1 〇 ·丨丨〇、以及 工作站1 0 3所具備的檔板1 0 8 · 1 0 8同步驅動，而對應擋 板1 0 8 · 1 〇 8的開放時機，設定擋板1 1 〇 ·丨〗〇的開放時機 。也就是說，在將擋板1 〇 8 · 1 〇 8完全開放的時間點，擋 板1 1 0 · 11 0也同時完全開放。 工作站1 〇 3所具備的擋板1 〇 8 · 1 0 8，也是做成從中 央朝向左右開閉的拉門狀、或作成與上述擋板1 1 〇 · 1 1 〇 同樣的拉門狀。 並且，如第2 6圖（C)所示，在擋板1 0 8 · 1 〇 8與擋板 1 1 〇 . 1 1 0開放結束的時間點，兩物品交接口 1 〇 7 b · 1 0 9 b 會重疊。在搬運車1 〇 2到達工作站1 〇 3的前側的時間點， 會以形成連結物品交接口 1 〇 7 b與物品交接口 1 〇 9 b的移載 路線的方式，控制搬運車1 02的行駛速度。因此，在上述 到達時間點，可直接開始「移載動作」。 物品收容庫1 〇9a，從「移載前預備動作」開始時， 會利用上述各空氣噴出手段的作動所形成的氣幕來加以保 護，所以不會由於擋板1 1 0 · 1 1 〇的開閉讓塵埃侵入。 另一方面，工作站1 〇 3的物品收容庫1 〇 7 a，在本實 施例中，雖然是具備有朝外部噴出空氣的噴出手段的構造 ，而藉由搬運車102所具備的第一空氣噴出手段，在打開 擋板108 · 108時，會保護物品收容庫l〇7a的內部。 也就是說，擋板1 · 1 08的開放的開始，是當第一 空氣噴出手段的空氣噴出部1 1 4 F的空氣噴出位置越過物 -53- 128213950) 品交接口 1 07b的前後中央位置之後才進行的。讓 1 02 —邊行駛，一邊以第一空氣噴出手段所噴出的 繞擋板1 0 8 · 1 0 8的開口部份的前後及上方。而在 前預備動作」，物品收容庫l〇7a . 109a內的空氣 會受到擋板1 0 8 · 1 0 8及擋板1 1 〇 · 1 1 〇的開閉的影 保持潔淨度。 而由開口側正面壁l〇7c及面板106所構成的 上的塵埃，也會被第一空氣噴出手段的空氣噴射而 所以該壁構件上的塵埃，不會經由擋板108.108 1 1 0 · 1 1 0的開口而侵入到物品收容庫1 〇 7 a · 1 0 9 a f 如第26圖（c)所示的狀態，是搬運車l〇2到達 的地的工作站1 0 3的狀態，也就是物品交接口 1 〇 9 b重疊的狀態。此時的搬運車丨〇 2的停止位置 三預定位置。 搬運車1 02當到達第三預定位置時會停止，開 移載動作」。該時間點是「移載前預備動作」結 如上述，擋板1 〇 8 . 1 〇 8及擋板1 1 〇 . 1 1 0的開放會 「移載動作」，具體來說，會驅動上述非向量臂式 裝置1 1 1，使物品1 〇 5朝向工作站1 0 3側移動。 在「移載動作」中，爲了防止塵埃附著於物品 而需要持續的氣幕，空氣噴出手段需要持續作動， 防止行駛中的空氣流進入到物品收容庫1 〇9a所使 述吸引手段（吸引導管道丨19F)，爲了抑制電力的消 以將其停止。當使吸引手段停止時，當進入到開始 搬運車 空氣圍 「移載 ，就不 響而能 壁構件 除去， 及擋板 3。 移載目 107b · ，是第 始進行 束時， 完成。 的移載 105， 而用來 用的上 耗也可 行駛的 -54- 1282139(51) 移載後預備動作」時，再使其再次作動。 如第2 7圖（d)所示，移載裝置1 1 1的移載柄（物品支 承部）1 1 la，是通過物品交接口 107b · 109b而插入於工作 站1 0 J內，物品1 0 5會從物品收容庫1 0 9 a被移載到物品 收容庫107a。 如第2 7圖（e )所示，當物品1 〇 5對工作站1 〇 3的移載 結束時，上述移載柄丨丨丨a會被收容於物品收容庫1 〇9a內 ’ 「移載動作」結束。 「移載動作」結束時，會開始進行擋板1 08 · 1 08及 板1 1 0 · 1 1 〇的關閉。同時，會開始進行搬運車i 〇 2的 行駛。在這個時間點，是「移載動作」結束的時間點，並 且是「移載後預備動作」開始的時間點。 在「移載動作」中，上述各空氣噴出手段保持作動狀 態’在物品交接口 1 07b · 1 09b之間的路線的外側仍形成 有氣幕，讓含有塵埃的外部空氣不會侵入到該路線內及物 品收容庫107a· l〇9a內。 完成「移載動作」的搬運車 1 〇 2，會開始移動，如第 27圖（f)所示，搬運車1〇2到達工作站1〇3的內側的第四 預定位置的話，擋板1 0 8 · 1 0 8及擋板1 1 〇 ·：[ 1 〇的關閉完 成。當擋板1 〇 8 · 1 0 8及擋板1 1 〇 · 1 1 〇的關閉完成時，會 停止上述各空氣噴出手段及吸引手段的驅動。該時間點， 是「移載後預備動作」結束的時間點。 擋板108 · 1〇8的關閉的完成，是在第一空氣噴出手 段的空氣噴出部U 4R的空氣噴出位置越過物品交接口 -55- 128213^52) 1 Ο 7 b的前後中央位置的時間點以前進行的。藉由控制撞 板1 0 8 · 1 0 8的關閉的完成，即使搬運車1 〇 2在移動中， 擋板1 0 8 . 1 0 8的開口邰份’會經常以第一空氣噴出手段 的氣幕所覆蓋，讓麈埃不會侵入到物品收容庫1 0 7 a。 「移載後預備動作」結束時，搬運車1 0 2在行駛到下 一個移載目標的工作站丨〇3之前，會使上述各空氣噴出手 段停止。「移載後預備動作」完成時，就是「移載作業」 完成時。 爲了使物品收容庫l〇9a內更潔淨，庫內空氣噴出手 段，最好是經常作動。而工作站1 03的物品收容庫1 〇7b 的擋板1 0 8 . 1 0 8，其開口只要是在氣幕內，其開閉時機 ，並沒有限制。 如上述，在由：「移載前預備動作」、「移載動作」 、「移載後預備動作」所構成的「移載作業」的開始到結 束的期間，上述控制手段1 1 7會控制各空氣噴出手段讓其 作動。 因此，不會因爲進行物品1 〇5的移載而讓塵埃侵入到 物品收容庫107a· 109a或附著於物品105。 搬運車102所具備的擋板1 10 · 1 10，在搬運車1〇2 的異常產生時，是做成會自動關閉。所謂的異常產生，是 代表搬運車1 02所具備的空氣噴出手段或電機系統的故障 、或由於搬運車1 02外部的故障而停止對搬運車1 02的供 電等情形。 擋板1 1 0 · 1 1 0，其驅動馬達1 2 0及其控制手段是連 -56- 128213¾) 接在沒有圖示的小型預備電源，當產生異常時，會藉由來 自於經常充電的二次電池或電容器等的小型預備電源來關 閉擋板1 1 0 . 1 1 〇。而也可以不使用預備電源，在擋板1 1 0 • 11 〇設置沒有圖示的彈壓手段，將擋板1 1 〇 · 1 1 0朝向 關閉方向彈壓。 因此，當搬運車1 02所具備的空氣噴出手段或電機系 統的故障、或由於搬運車1 0 2外部的故障而停止對搬運車 1 02的供電時，會藉由門部也就是擋板1 1 0 · 1 1 〇來將物 品收容庫1 〇9a密封，即使上述各空氣噴出手段的作動停 止，也可以保持物品收容庫1 〇9a內部的潔淨。 藉由作成在異常時會關閉擋板1 1 0 · 11 〇，平常不會 關閉擋板11 〇 · 1 1 〇而將其開放，只有在異常時會將擋板 1 1 0 · 1 1 0關閉。在這種情況，爲了防止塵埃進入到上述 物品收容庫1 〇 9 a內，需要經常使各空氣噴出手段作動， 在物品交接口 9b的周圍形成氣幕較佳，因此最好是經常 使第一空氣噴出手段作動。爲了更確實地防止塵埃進入到 物品收容庫1 〇 9 a內’最好使庫內空氣噴出手段經常作動 ，並且，爲了做出強力的氣幕，最好也使第二空氣噴出手 段作動。而在行駛中’爲了防止來自於行進方向前方的上 述空氣流A 1 ’除了弟一空熱卩貝出手段之外’最好也使上 述空氣的吸引手段作動。 接下來，用第2 8圖’針封個別控制上述第一空氣噴 出手段及第二空氣噴出手段的第八實施例的搬運車的控制 構造來加以說明。 -57- 128213^54) 第八實施例的搬運車’僅有第一空氣噴出手段及第二 空氣噴出手段的控制構造不相同，其他是與第一實施例的 搬運車1 〇 2相同。所以下面，關於相同的構件則使用同樣 的圖號而省略其說明，僅針對兩實施例的不同的控制構造 來加以說明。 如第28圖所示，構成第一空氣噴出手段的各空氣噴 出部與FFU116 . 129 · 129，是經由空氣配管而連通連接 。在該各空氣配管上，設置有電磁閥，而可調整對各空氣 噴出部的空氣供給量。在從FFU1 16 · 129 · 129到空氣噴 出部11 4F的空氣配管上，設置有閥1 3 1，在朝向空氣噴 出部Π 4R的空氣配管上設置有閥1 3 2，在朝向空氣噴出 部1 1 5的空氣配管上設置有閥1 3 3。 第二空氣噴出手段的各空氣噴出部 128與FFU1 16· 129· 129，是經由空氣配管而連通連接。在該各空氣配管 上，也設置有電磁閥，而可調整對各空氣噴出部的空氣供 給量。在從FFU1 16 · 1 29 . 1 29到空氣噴出部128的空氣 配管上，設置有閥1 3 4。 在搬運車102，是設置有用來控制第一空氣噴出手段 的控制手段1 3 7。控制手段1 3 7是以電子電路所構成，來 控制與該控制手段1 3 7訊號連接的各裝置。 控制裝置1 3 7，是可傳達訊號地連接著F F U 1 1 6 . 1 2 9 • 129、上述各閥131· 132· 133· 134，控制裝置137用 來控制這些裝置。控制裝置137藉由控制FFU1 16 . 129 · 129的驅動或各閥131· 132· 133· 134的開閉量，而可 -58- 128213 9δ5) 分別調整各空氣噴出手段的空氣噴射量。 如上述，爲了縮短移載作業時間，搬運車1 0 2，在到 達移載目的地的工作站1 〇 3之前，會將上述擋板1 1 〇 · 1 1 0開放進行移載準備◦當在將擋板1 1 0 · 1 1 〇開放的狀 態行駛時，搬運車1 02的前側的空氣會對搬運車〗〇2產生 正壓力的作用，會侵入物品收容庫1 0 9 a內。在上述移載 之前的準備狀態，藉由使來自於空氣噴出部1 1 4 F的空氣 噴射量比來自於其他空氣噴出部的空氣噴射量更多，則可 最大限度地活用FFU1 16 · 1 29 . 1 29的驅動性能。 而對於控制裝置137所進行的各FFU116· 129· 129 的驅動或各閥1 3 1 · 1 3 2 · 1 3 3 · 1 3 4的開閉量的控制，也 包含：各FFU116· 129. 129的停止、及各閥131.132· 1 3 3 · 1 3 4的完全關閉。 在本實施方式中，藉由第一空氣噴出手段，朝向工作 站1 〇 3側作成下方開放的門型的氣幕，藉由利用來自於庫 內空氣噴出手段及第二空氣噴出手段的潔淨空氣，而可以 防止上述實施方式中以第一空氣噴出手段無法完全覆蓋的 來自於下方的塵埃的侵入，也可以在物品交接口 1 〇9b的 周圍配置圍繞成口字型的空氣噴嘴1 1 3。藉由以口字狀的 方式配置空氣噴嘴1 1 3，則可確實防止在移載中塵埃附著 於物品5。而第一空氣噴出手段的各空氣噴嘴1 1 3 ’雖然 是配置成將空氣朝向廣闊方向噴出，而也可拟將空氣正正 地朝向行進方向的法線方向噴出。而在第一空氣噴出手段 的空氣噴出部1 1 4 F · 1 1 4 R · 1 1 5及輔助空氣噴出手段的 -59- 128213^56) 空氣噴出部145F· 145 R(如後述的第29圖、第30圖所圖 示），設置空氣量調整手段，能全部均勻地噴出空氣，而 也可以使角落部部份地增多噴出量。 在本發明的一實施方式，爲了防止隨著行駛所產生的 來自於行進方向前方的空氣流 A1，除了第一空氣噴出手 段之外，還使上述空氣的吸引手段作動，而也可以代替該 吸引手段，在行進方向前方設置用來噴射空氣的輔助空氣 噴出手段。 也就是說，從配置於與上述吸引導管道119F(119R) 相同的位置（較第一空氣噴出手段的空氣噴出部 1 14F(U4R)更靠近行駛方向前側）的空氣噴出部，朝向行 進方向前方噴出空氣。藉由該輔助空氣噴出手段，利用增 厚行進方向前側的空氣壁，則可更確實地防止上述空氣流 A1。 該輔助空氣噴出手段，雖然如上述其噴出部是配置在 較第一空氣噴出手段的空氣噴出部1 14F(1 14R)更靠近行 進方向前側，而也可作成該噴出部的形狀是橫跨上下方向 ，可將空氣朝向行進方向前方噴出，也可以將空氣噴出部 與風扇作成一體或不同個體的構造。朝向空氣噴出部供給 的空氣，雖然是如上述第一空氣噴出手段的潔淨空氣，而 不設置過濾器利用來自於風扇單元的空氣的方式，可供給 更強的空氣，由該輔助空氣噴出手段的第一目的就是要防 止上述空氣流A 1的侵入的觀點來看，是更好的方式。 一邊參照第29圖，針對具備有上述輔助空氣噴出手 -60- 128213^57) 段的第九實施方式的無人搬運車152來加以說明。 無人搬運車1 52所具備的輔助空氣噴出手段，是以空 氣噴出部與風扇成爲一體的緊密流體風扇所構成。緊密流 體風扇140F(140R)，是設置在上述第一空氣噴出手段的 空氣噴出部1 14F(1 14R)的行駛方向的前側及後側。由於 搬運車152是朝前後方向行駛，空氣噴出部1 14F . 1 14R 是設置在搬運車152的前後。 如第30圖所示，緊密流體風扇140F，是具備有：主 體1 4 1、及朝水平方向旋轉的葉輪1 4 2。主體1 4 1，是具 備有：用來支承葉輪1 4 2的一對支承部1 4 3 . 1 4 3、藉由 葉輪142來吸引空氣的吸引導管道144、以及將所吸引的 空氣噴出的空氣噴出部145F。葉輪142，在上下方向形成 旋轉軸，沿著旋轉軸涵蓋略全體從旋轉軸放射狀地配有有 多數的葉片146。吸引導管道144，是涵蓋主體141的略 全長所設置的開口，配設有覆蓋開口的篩孔1 4 8。空氣噴 出部145F，是形成在與吸引導管道144鄰接的面，是將 所吸引的空氣朝向與吸引方向垂直相交的方向排出，在主 體141設置有用來改變噴出方向的風向板147。 如第2 9圖所示，緊密流體風扇丨4 〇 F ( 1 4 0 R)，是把吸 引導管道1 44朝向行進方向前側配置，空氣噴出部 1 4 5 F (1 4 5 R)是朝向工作站1 〇 3側，而來自於空氣噴出部 145F(145R)的空氣排出方向，是被風向板147調整成朝向 行進方向斜前方。藉由以輔助空氣噴出手段也就是來自於 緊密流體風扇140F(140R)的空氣噴出部145F(145R)噴出 -61 - 1282139(58) 的強力空氣，則在上述氣幕的外側的行進方向前側形成更 強力的空氣壁，並且可更確實地除去附著在工作站1 0 3的 物品收容庫1 07a的塵埃。輔助空氣噴出手段’是形成在 潔淨空氣的氣幕的外側，並不會污染氣幕內，所以不在輔 助空氣噴出手段設置過濾器也可以。 【發明效果】 藉由本發明，在內部較周圍環境更淸淨化的製造裝置 之間，藉由內部較周圍環境更淸淨化的自動搬運車來搬運 被製造物的搬運系統，可以防止由於附著於搬運車、製造 裝置的移載口的異物等，污染所移載的被製造物。 由於可以縮短移載所需要的時間，可以縮短搬運時間 ，所以只要是適用於製造線的情況，可以減少該製造系統 所需要的成本，且可以提昇生產性。 [圖式簡單說明】 第1圖是顯示本發明的第一實施方式的自動搬運系統 的一構成例的槪略圖。 第2圖，是顯不了從行進方向來看第1圖的自動搬運 車1 A內部的槪略構造的顯示圖。 第3圖，是顯不了相對於行進方向從側面來看第1圖 的自動搬運車1 A的外觀圖。 第4圖，是自動搬運車1 A進行空氣吹噴時的情形的 顯示圖。 -62- 128213%) 第5圖，是顯示空氣吹噴的時序的說明圖。 第6圖是自動搬運車1A及半導體製造裝置2之間的 晶圓匣盒移載時的情形的顯示圖。 第7圖是顯不本發明的第_實施方式的自動搬運系統 的一構造例的槪略圖。 第8圖是顯示第7圖的自動搬運車1 B進行空氣吹噴 時的情形的顯示圖。 第9圖是顯示本發明的第三實施方式的自動搬運系統 的構成例子的槪略圖。 第1 〇圖，是第9圖的自動搬運車1 C進行空氣吹噴時 的顯示圖。 第11圖，是顯示本發明的第四實施方式的半導體製 造裝置2A的槪略構造的剖面圖。 第12圖，是第11圖的半導體製造裝置2A進行空氣 吹噴的情況的顯示圖。 第13圖是顯示本發明的第五實施方式的半導體製造 裝置的槪略構造的剖面圖。 第14圖，是當第13圖的半導體製造裝置2B進行空 氣吹噴的情況的顯示圖。 第1 5圖是顯示本發明的第六實施方式的自動搬運車 、半導體製造裝置進行空氣吹噴的顯示圖。 第16圖是第15圖的半導體製造裝置2C及自動搬運 車1之間的晶圓匣盒移載時的顯示圖。 第17圖，是日本特開平1 1 — 2 3 8 7 7 7號公報所記載的 -63-

Claims (1)

  1. I: 日修正本 •L_—---- 拾、申請專利範圍 第92 1 1 3 8 8 1號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 1 一種搬運車，其特徵爲： ‘ 是具備有：行駛於預定的搬運經過路線的行駛單元、 < 供給經過清淨化處理的空氣的清淨化單元、供給經過清淨 化處理的空氣，用來收容被製造物的收容部、對於收容部 · 進行被製造物的搬入或搬出的設置在筐體側面的移載口、 ~ 以及將空氣朝向移載口側的外部的製造裝置吹噴的第一空 氣吹出部。 2 ·如申請專利範圍第1項的搬運車，其中上述第一 空氣吹出部，是設置在較移載口更靠近行進方向側。 3 .如申請專利範圍第1項的搬運車，其中上述第一 空氣吹出部，是藉由配置在移載口的周邊部，用來形成氣 幕的複數的空氣噴嘴所構成。 ® 4 ·如申請專利範圍第1項的搬運車，其中上述第一 空氣吹出部，是藉由配置成高度不相同，用來形成氣幕的 複數的空氣噴嘴所構成。 5 .如申請專利範圍第1項的搬運車，其中上述第一 空氣吹出部，是藉由在移載口的上方且使水平方向的位置 不相同地配置的，用來形成氣幕的複數的空氣噴嘴所構成 1282139 (2) 6.如申請專利範圍第1項的搬運車，其中上述行駛 單元，會檢測朝向進行被製造物的搬入或搬出的移載地點 的接近情形而輸出接近訊號， 上述第一空氣吹出部，會根據該接近訊號，在到達移 載地點之前開始進行空氣吹噴。 7 ·如申請專利範圍第1項的搬運車，其中是具備有 第二空氣吹出部，會從移載口的上方吹出空氣，而在移載 口的外表面形成下降氣流。
    8 .如申請專利範圍第7項的搬運車，其中上述行駛 單元，會檢測朝向進行被製造物的搬入或搬出的移載地點 的接近情形而輸出接近訊號， 上述第二空氣吹出部，會根據該接近訊號，在到達移 載地點之前開始進行空氣吹噴。 9· 一種搬運車，其特徵爲：
    是具備有：行駛於預定的搬運經過路線的行駛單元、 供給經過清淨化處理的空氣的清淨化單元、供給經過清淨 化處理的空氣，用來收容被製造物的收容部、對於收容部 進行被製造物的搬入或搬出且設置於筐體側面的移載口、 以及從移載口的上方將空氣吹出，在移載口的外表面形成 下降氣流的第二空氣吹出部。 1 〇 ·如申請專利範圍第9項的搬運車，其中上述行駛 單元’會檢測朝向進行被製造物的搬入或搬出的移載地點 的接近情形而輸出接近訊號， 上述第二空氣吹出部，會根據該接近訊號，在到達移 -2- 1282139 (3) 載地點之前開始進行空氣吹噴。 11. 一種製造裝置，其特徵爲： 是具備有：用來供給經過清淨化處理的空氣的清淨化 單元、供給經過清淨化處理的空氣，暫時收容被製造物的 預備室、在預備室及外部之間用來進行被製造物的搬入或 搬出的移載口、以及朝向移載口側的外部的搬運車進行空 氣吹噴的第一空氣吹出部。
    1 2 .如申請專利範圍第1 1項的製造裝置，其中上述第 一空氣吹出部，是配置在移載口的周邊部，是藉由用來形 成氣幕的複數的空氣噴嘴所構成。 1 3 ·如申請專利範圍第1 1項的製造裝置，其中具備有 會檢測搬運車的接近而輸出接近訊號的搬運車監視部， 上述第一空氣吹出部，根據該接近訊號，在搬運車到 達之前開始進行空氣的吹出。
    1 4 ·如申請專利範圍第1 1項的製造裝置，其中是具備 有：從移載口的上方吹出空氣，在移載口的外表面形成下 降氣流的第二空氣吹出部。 1 5 .如申請專利範圍第1 4項的製造裝置，其中具備有 會檢測搬運車的接近而輸出接近訊號的搬運車監視部， 上述第二空氣吹出部，根據該接近訊號’在搬運車到 達之前開始進行空氣的吹出。 16·—種製造裝置，其特徵爲： 是具備有··用來供給經過清淨化處理的空氣的清淨化 單元、供給經過清淨化處理的空氣，暫時收容被製造物的 -3 - 1282139 (4) 預備室、在預備室及外部之間進行被製造物的搬入或搬出 的移載口、以及從移載口的上方吹出空氣，在移載口的外 表面形成下降氣流的第二空氣吹出部。 1 7 .如申請專利範圍第1 6項的製造裝置，其中具備有 會檢測搬運車的接近而輸出接近訊號的搬運車監視部， 上述第二空氣吹出部，根據該接近訊號，在搬運車到 達之前開始進行空氣的吹出。 1 8 . —種搬運系統，是由：用來搬運被製造物的申請 專利範圍第1項的搬運車、以及設置在預定位置的複數的 製造裝置所構成的搬運系統，其特徵爲： 搬運車的上述行駛單元，是具備有：將製造裝置間作 爲預定的搬運經過路線來行駛，搬運車的上述移載口，又 具有：在與製造裝置之間進行被製造物的移載的開閉手段 9
    製造裝置，是具備有：用來供給經過清淨化處理的空 氣的清淨化單元、供給經過清淨化處理的空氣，收容被製 造物的收容部、在與製造裝置之間進行被製造物的移載且 具有開閉手段的移載口； 上述第一空氣吹出部，是將空氣對製造裝置的移載口 的開閉手段進行吹噴。 1 9 ·如申請專利範圍第1 8項的搬運系統，其中上述第 一空氣吹出部，會在搬運車到達移載地點之前開始進行空 氣的吹出。 2 〇 ·如申請專利範圍第1 8項的搬運系統，其中上述製 -4 - 1282139 (5) 造裝置，具備有用來進行空氣吹噴的第二空氣吹出部， 上述第二空氣吹出部，是對搬運車的移載口的開閉手 段，進行空氣吹噴。 2 1 .如申請專利範圍第20項的搬運系統，其中上述第 二空氣吹出部，會在搬運車到達移載地點之前開始進行空 氣的吹出。
    2 2.—種搬運系統，是由：用來搬運被製造物的搬運 車、以及設置在預定位置的複數的申請專利範圍第1 1項 的製造裝置所構成的搬運系統，其特徵爲： 搬運車，是具備有：行駛於製造裝置間的行駛單元、 用來供給經過清淨化處理的空氣的清淨化單元、供給經過 清淨化處理的空氣，收容被製造物的收容部、在與製造裝 置之間進行被製造物的移載且具有開閉手段的移載口； 製造裝置，又具備有：取代上述預備室來收容被製造 物的收容部、以及用來吹出空氣的第二空氣吹出部；
    上述第一空氣吹出部，是對搬運車的移載口的開閉手 段進行空氣吹噴， 並且上述第二空氣吹出部，會在製造裝置的移載口的 開閉手段的外表面，形成空氣的下降氣流。 23. 如申請專利範圍第22項的搬運系統，其中上述第 二空氣吹出部，會在搬運車到達移載地點之前開始進行空 氣的吹出。 24. —種搬運系統，是由：用來搬運被製造物的申請 專利範圍第1項的搬運車、以及設置在預定位置的複數的 -5- 1282139 (6) 申請專利範圍第1 1項的製造裝置所構成的搬運系統，其 特徵爲= 上述搬運車的第一空氣吹出部或製造裝置的第一空氣 吹出部的至少其中一方，其功能是作爲在搬運車及製造裝 置的移載口之間形成空氣通道（風洞）的空氣吹出部。 2 5 . —種搬運車，是取代收容部及移載口，具備有物 品收容庫，且該物品收容庫具有在沿著行駛路線配置的工 作站之間用來進行物品的交接的物品交接口的申請專利範 圍第1項的搬運車，其特徵爲： 是取代上述第一空氣吹出部，具備有：配置在該物品 交接口的周圍，朝向工作站噴出空氣的第一空氣噴出手段 〇 2 6.如申請專利範圍第25項的搬運車，其中具備有配 置在較上述第一空氣噴出手段更靠近行進方向前側的吸引 手段。 27.如申請專利範圍第25項的搬運車，其中設置有配
    置在較上述第一空氣噴出手段更靠近行進方向前側的輔助 空氣噴出手段。 28. 如申請專利範圍第25項的搬運車，其中是設置有 從上述物品交接口上緣部噴出作爲下降氣流的空氣的第二 空氣噴出手段。 29. —種搬運系統，其特徵爲： 是具備有：申請專利範圍第25項的搬運車、以及工 作站； -6- 1282139 (7) 該工作站設置有物品收容庫，該物品收容庫具有沿著 搬運車的行駛、經過路線配置，且藉由第一門部進行開閉 且與搬運車之間用來交接物品的物品交接口， 在工作站的物品交接口的搬運車的行進方向前後形成 有壁構件，在搬運車，取代上述第一空氣噴出手段而配置 有用來噴出空氣的空氣噴出手段而在物品交接口的周圍朝 向工作站形成氣幕。 3 0 .如申請專利範圍第2 9項的搬運系統，其中在上述 搬運車的物品交接口，設置有可自由開閉的第二門部，上 述第一門部及第二門部，是被控制成：在搬運車到達工作 站的停車位置之前開始開啓，在離開停車位置之後完成關 閉，第一門部在開始開啓到完成關閉期間’第一門部的開 口是位於上述氣幕內。
TW092113881A 2002-07-01 2003-05-22 Carrying vehicle, manufacturing apparatus, and carrying system TWI282139B (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002192660A JP4029968B2 (ja) 2002-07-01 2002-07-01 搬送車、製造装置及び搬送システム
JP2002218027A JP2004060955A (ja) 2002-07-26 2002-07-26 無人搬送車および無人搬送システム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW200403791A TW200403791A (en) 2004-03-01
TWI282139B true TWI282139B (en) 2007-06-01

Family

ID=29782036

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW092113881A TWI282139B (en) 2002-07-01 2003-05-22 Carrying vehicle, manufacturing apparatus, and carrying system

Country Status (4)

Country Link
US (1) US7014672B2 (zh)
KR (1) KR100700928B1 (zh)
CN (1) CN100488855C (zh)
TW (1) TWI282139B (zh)

Families Citing this family (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005121027A2 (en) * 2004-06-04 2005-12-22 Durr Ecoclean, Inc. An integrated machining module for processing workpieces and a method of assembling the same
EP1780785A4 (en) * 2004-06-21 2009-04-01 Right Mfg Co Ltd LOADING PORT
US9010384B2 (en) * 2004-06-21 2015-04-21 Right Mfg. Co. Ltd. Load port
US20050284373A1 (en) * 2004-06-25 2005-12-29 Lg Electronics Inc. Apparatus for manufacturing a luminescent device using a buffer cassette
KR20060056709A (ko) * 2004-11-22 2006-05-25 삼성전자주식회사 도어 입구에 에어 커튼을 가지는 반도체 제조 장비
US9457442B2 (en) 2005-06-18 2016-10-04 Futrfab, Inc. Method and apparatus to support process tool modules in a cleanspace fabricator
US7513822B2 (en) 2005-06-18 2009-04-07 Flitsch Frederick A Method and apparatus for a cleanspace fabricator
US9159592B2 (en) 2005-06-18 2015-10-13 Futrfab, Inc. Method and apparatus for an automated tool handling system for a multilevel cleanspace fabricator
US10651063B2 (en) 2005-06-18 2020-05-12 Frederick A. Flitsch Methods of prototyping and manufacturing with cleanspace fabricators
US11024527B2 (en) 2005-06-18 2021-06-01 Frederick A. Flitsch Methods and apparatus for novel fabricators with Cleanspace
US9059227B2 (en) 2005-06-18 2015-06-16 Futrfab, Inc. Methods and apparatus for vertically orienting substrate processing tools in a clean space
US9339900B2 (en) * 2005-08-18 2016-05-17 Futrfab, Inc. Apparatus to support a cleanspace fabricator
US10627809B2 (en) 2005-06-18 2020-04-21 Frederick A. Flitsch Multilevel fabricators
WO2007025199A2 (en) * 2005-08-26 2007-03-01 Flitsch Frederick A Multi-level cleanspace fabricator elevator system
US7896602B2 (en) 2006-06-09 2011-03-01 Lutz Rebstock Workpiece stocker with circular configuration
CN101617397B (zh) * 2006-11-15 2013-05-29 动力微系统公司 用于工件储料器的可移除式室
US20080112787A1 (en) 2006-11-15 2008-05-15 Dynamic Micro Systems Removable compartments for workpiece stocker
US20090013712A1 (en) * 2007-07-11 2009-01-15 Robert William Norris Refrigerated trailer and method for same
KR20090011216A (ko) * 2007-07-25 2009-02-02 삼성전자주식회사 공기 필터링 장치 및 그를 구비한 반도체 제조설비의청정시스템
KR100918588B1 (ko) * 2007-09-19 2009-09-28 세메스 주식회사 파티클 배출 유닛 및 이를 포함하는 기판 이송 장치
US9117870B2 (en) * 2008-03-27 2015-08-25 Lam Research Corporation High throughput cleaner chamber
JP5278698B2 (ja) * 2009-09-04 2013-09-04 株式会社ダイフク カセット搬送装置
US8562272B2 (en) * 2010-02-16 2013-10-22 Lam Research Corporation Substrate load and unload mechanisms for high throughput
US8282698B2 (en) * 2010-03-24 2012-10-09 Lam Research Corporation Reduction of particle contamination produced by moving mechanisms in a process tool
US8893642B2 (en) 2010-03-24 2014-11-25 Lam Research Corporation Airflow management for low particulate count in a process tool
US20120240848A1 (en) * 2011-03-21 2012-09-27 Doug Amundsen Powder dispenser filtration system
US9272315B2 (en) * 2013-10-11 2016-03-01 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Mechanisms for controlling gas flow in enclosure
DE202014103672U1 (de) * 2014-08-07 2015-11-10 Reum Kunststoff- Und Metalltechnik Gmbh Belüftungsvorrichtung
FR3034410B1 (fr) * 2015-04-02 2020-10-23 Gebo Packaging Solutions France Dispositif de convoyage par chariot autonome
CN104906906A (zh) * 2015-05-30 2015-09-16 王庆忠 一种高效除粉尘车间
CN106185138B (zh) * 2015-07-20 2018-06-01 亚洲硅业（青海）有限公司 一种密闭式硅芯自动存取装置
KR102618491B1 (ko) 2016-10-31 2023-12-28 삼성전자주식회사 기판 이송 장치
US11749537B2 (en) * 2018-10-26 2023-09-05 Applied Materials, Inc. Side storage pods, equipment front end modules, and methods for operating equipment front end modules
US20200207559A1 (en) * 2018-12-28 2020-07-02 Int Tech Co., Ltd. Dust-free system and method of manufacturing panel
TWI723329B (zh) * 2019-01-19 2021-04-01 春田科技顧問股份有限公司 裝載埠及其氣簾裝置與吹淨方法
US20210242057A1 (en) * 2020-01-30 2021-08-05 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Automated material handling systems

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2620049B2 (fr) * 1986-11-28 1989-11-24 Commissariat Energie Atomique Procede de traitement, stockage et/ou transfert d'un objet dans une atmosphere de haute proprete, et conteneur pour la mise en oeuvre de ce procede
US4823680A (en) * 1987-12-07 1989-04-25 Union Carbide Corporation Wide laminar fluid doors
JP3309416B2 (ja) * 1992-02-13 2002-07-29 松下電器産業株式会社 連結式クリーン空間装置
US5257957A (en) * 1992-10-16 1993-11-02 Diccianni Anthony M Facility for providing a sealed work area to handle, manipulate and formulate materials
US6207119B1 (en) * 1994-04-25 2001-03-27 Anthony Michael Diccianni Sealed system for handling, manipulating and formulating materials in an isolated environment
KR970007648B1 (ko) * 1994-05-09 1997-05-15 삼성전자 주식회사 클린룸용 개방형 에어샤워장치
US5851143A (en) * 1996-05-10 1998-12-22 Thermal Industries Disk drive test chamber
JPH11238777A (ja) 1998-02-23 1999-08-31 Mitsubishi Electric Corp カセット搬送装置及びこれを備えたカセット搬送システム
US6626971B1 (en) * 1998-09-15 2003-09-30 Siemens Axiva Gmbh & Co. Kg Method and device for protecting persons and/or products from air-borne particles
US6272767B1 (en) * 1999-10-21 2001-08-14 Envirotronics, Inc. Environmental test chamber
JP3861534B2 (ja) 1999-11-22 2006-12-20 株式会社明電舎 クリーンルーム用無人搬送車
JP4483012B2 (ja) 2000-04-05 2010-06-16 株式会社Ｉｈｉ 局所浄化方法
DE10164175B4 (de) * 2001-12-27 2004-02-12 Infineon Technologies Ag Prozeßgerät mit zwei Raumeinheiten und einer die zwei Raumeinheiten verbindenden dritten Raumeinheit mit jeweils einer gegenüber der Umgebung verminderten Dichte kontaminierter Teilchen und Verfahren zum Betrieb des Prozeßgerätes
US6835233B2 (en) * 2003-02-20 2004-12-28 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Method and apparatus for reducing particle contamination

Also Published As

Publication number Publication date
KR100700928B1 (ko) 2007-03-28
US20040000129A1 (en) 2004-01-01
CN1470445A (zh) 2004-01-28
CN100488855C (zh) 2009-05-20
US7014672B2 (en) 2006-03-21
TW200403791A (en) 2004-03-01
KR20040004064A (ko) 2004-01-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI282139B (en) Carrying vehicle, manufacturing apparatus, and carrying system
TWI498265B (zh) 基板收納設備、基板處理設備及基板收納設備之作動方法
JP3425592B2 (ja) 処理装置
JPWO2006046580A1 (ja) 搬送システム、基板処理装置、及び搬送方法
JP4029968B2 (ja) 搬送車、製造装置及び搬送システム
TWI406804B (zh) Plate-type goods with a van
US20230178402A1 (en) Transport vehicle cleaning device and article transport equipment including the same
JP4314780B2 (ja) 無人搬送車システム
JP4133518B2 (ja) 無人搬送車システムに用いられる移載方法
JPH09134945A (ja) カセットの搬送方法および該方法に用いる自動倉庫
JP2007269489A (ja) クリーンルーム用の物品保管設備
JP2003146429A (ja) キャリア受け渡し方法及びキャリア受け渡し装置
JP2012089645A (ja) 物品搬送車
JP4829553B2 (ja) 無人搬送車
JP2010067700A (ja) 基板カセット搬送装置および基板カセット搬入出装置
JP4126250B2 (ja) 搬送システム
JP4142500B2 (ja) 物品搬送車
JP4116928B2 (ja) 物品搬送車及び搬送システム
JP4628441B2 (ja) 物品収納庫の開閉部材
JP4320936B2 (ja) 搬送車
JP2009126631A (ja) 保管倉庫設備
JPS62157127A (ja) クリ−ンル−ム等における被加工物の搬送方法および搬送装置
JP4368169B2 (ja) クリーン室間における物体移送用通路
JP2004060955A (ja) 無人搬送車および無人搬送システム
JP3953737B2 (ja) 電子部品の製造システム

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees