TWI280738B - Surface acoustic wave device, its manufacturing method, and electronic component using the same - Google Patents

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1280738 ΚΙ ------------- Β7 五、發明説明（1 ) " ----— 技術領域· 本發明係有關所通信機器使用之表面聲波裝置及其製 造方法，以及使用此製造方法之電子零件。 習知技術： 習知技術上，表面聲波裝置係在具有壓電性之基板上 王面幵/成至屬薄膜，並於其上塗布光阻劑，且藉著曝光、 顯像後、進行姓刻而多數形成所希望的又指換能器（IDT: Interdigital Transducer)電極、光栅反射器（g加_

RefleCt〇0電極（以下稱反射器、電極）、&圍此等電極周圍之 切割線、以及連接此等電極之細線等所希望的電極圖案， 切斷切割線上而製造個片的表面聲波裝置。 在此方法中以切關電電極而呈個片之表面聲波裝置 ，由於IDT電極或反射器電極會電氣性的分離而於表面聲波 裝置-旦加上熱或失真時會因電壓基板所具有的焦電效果 而發生電荷，而一旦各電極間之電荷量呈不均時，會因對 向之IDT電極間或反射器電極間，或是IDT電極間與反射器 電極間的放電而破壞電極，並劣化表面聲波裝置的特性。 解決此問題的手段可得知有特開平u — 298289號公報 所圮載的方法。即，使用於分割線之内側設置包圍mT電極 或反射器電極周圍的金屬薄膜的短路細線，而藉著配設用 以電氣性的連接此等金屬薄膜之短路細線與IDT電極之多 數的細線，而將所發生之電荷予以電氣性的均一化，以防 止因放電而造成破損及電氣特性的劣化的構成。又，所謂 分割線係將形成在具有壓電性之基板上之多數的表面聲 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

4 1280738 A7 ______ B7_____ 五、發明説明（2 ) 裝置切分為個片的界線者，一般係將與IDT電極相同的材料 予以光刻、蝕刻而形成。 但是在切割線之内側設置包圍IDT電極或反射器電極 周圍的金屬薄膜的短路細線，而配設用以電氣性的連接此 等金屬薄膜之短路細線與IDT電極之多數細線的情形下，在 溫度變動急劇發生之電荷量大的狀況下、電極間距離狹的 情況下、連接之電極間分離的情況下、連接金屬薄膜之短 路細線與IDT電極之線為細的情況下、連接的線為折測線 (meander line)或是線的一部分比其他部分細的情況下，因 線間的阻抗變高而不能使所發生的電荷充分地均一化，於 是在電極間發生放電而存在有電極破損或電氣特性劣化的 問題。 發明揭示： 本發明係用以解決上述問題的發明者，並目的在於提 供一種表面聲波裝置及其製造方法，以及使用此製造方法之電 子零件，其係在製作表面聲波裝置時，用以將壓電性基板之 熱處理步驟等所發生的電荷均一地涵蓋表面聲波裝置之整 體電極表面，而即使在分離成個片的表面聲波裝置之後， 亦能防止隨著基板之焦電性所發生之電位差而放電以致於 破損電極或劣化電氣特性的情形。 為了解決此課題，本發明之表面聲波裝置之構成係具 備有’具有壓電性的基板、於此基板上構成IDT之櫛型電極 、接近由此IDT發生的表面波之傳送方向而配置的反射器電 極、於上述櫛型電極與反射器電極之周圍因位置不同而不 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公爱） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂— 1280738 A7 ____B7_ 五、發明説明（3 ) 同寬度之框狀短路補助電極。 再者，本發明之表面聲波裝置之製造方法係包含有， (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 多數組設置於具有壓電性之基板上被著金屬薄膜的步驟、 蝕刻此金屬薄膜而構成IDT的櫛型電極、接近由IDT發生之 表面波之傳送方向而形成的反射器電極、及至少於上述櫛 型電極與反射器電極之周圍因位置不同而不同寬度之框狀 短路補助電極的步驟、以及切斷鄰接之短路補助電極的步 驟。 又，本發明之電子零件之特徵係由，在箱狀底部具有 導出電極及與此導出電極導通的端子電極的底層基板、覆 蓋此底層基板而用以密封底層基板之内部的蓋體、配置於 底層基板之底部之表面聲波裝置、使此表面聲波裝置之輸 出入端子電極與底層基板之導出電極呈電氣性地連接之連 接構件所構成，且使用具有上述構成之表面聲波裝置。 第1圖A、第1圖B表示本發明之第i實施樣態之表面聲波 裝置之電極圖案之構成平面圖、及在具有壓電性之基板上 多數形成之構成平面圖。 第2圖表示使用該表面聲波裝置之電子零件的斷面圖。 第3圖表示本發明之第2實施樣態之表面聲波裝置之電 極圖案構成平面圖。 第4圖表示本發明之第3實施樣態之表面聲波裝置之電 極圖案構成平面圖。 第5圖A、第5圖B表示本發明之第4實施樣態之表面聲波 虞置之電極圖案之構成平面圖、及在具有壓電性之基板上 A4規格⑵GX297讀) ____ - 6 - 1280738 A7 五、發明説明（4 ) 多數形成之構成平面圖。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第6圖表示本發明之第5實施樣態之表面聲波裝置之電 極圖案構成平面圖。 第7圖表示本發明之第6實施樣態之表面聲波裝置之電 極圖案構成平面圖。 第8圖表示本發明之第7實施樣態之表面聲波裝置之電 極圖案構成平面圖。 第9圖表示本發明之第8實施樣態之表面聲波裝置之電 極圖案構成平面圖。 發明之最佳實施樣態： 以下參照圖式來說明本發明之實施樣態。 (實施例1) 第1圖表示本發明之第1實施樣態之表面聲波裝置之電 極圖案構成平面圖，第1圖B係表示將第1圖a所示之表面聲 波裝置多數個形成在基板上之構成的部分平面圖。又，第2 圖係將表面聲波裝置封止在底層基板與蓋體所構成之封包 而構成之電子零件的斷面圖。 本發明之表面聲波裝置10具有，將於具有壓電性之基 板1上構成IDT之櫛型電極2、與將設置於此櫛型電極2所激 振之表面聲波之傳送方向近旁的反射器電極3配置成一對 而具有一定距離，且設置從此等櫛型電極2連接之輸入出導 出電極4a、5a、輸入出端子電極4b、5b、以及各櫛型電極2 的帶狀連接電極18，在此等電極周圍依場所而形成寬幅不 同之框狀的短路補助電極6。此短路補助電極6之外周部因 -产紙張尺度適用中國國家標準（CNS) Α4規格（210X297公釐） 1280738 A7 "^--------B7 五、發明説明（5 ) --- J而具有部分的殘留空隙8,此空隙8部分係基板工表面露 ^4 白勺 刀又’此短路補助電極6及輸入出端子電極4b、5b (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 定邛刀形成突起7,並藉此突起7而與底層基板9之導出 電極13連接。 …如第2圖所示，底層基板9為箱狀，其底部設置著導出 電極13，此導出電極13與外部的端子電極14連通著。藉著 形成在表面聲波農置1〇之一定部分的突起7而能與導出電 極13呈電氣性的連接之同時亦可機械性的固定。於蓋體^ 叹置有Au—Sn蠟材等接著材16，藉此接著材16而與底層基 板9連接而密封内部以構成電子零件。 又第1圖、第2圖係以模式地表示本實施樣態的構成 ’而非表示分別之尺寸的相對關係。之後所示之表面聲波 裝置之圖中亦相同。 依具有壓電性的物質而以焦電性或壓電性來產生電壓 。依此而產生的電荷量因場所不同而產生差異時，會產生 電位差，一旦此電位差達到某值以上時，則因放電而會發 生破壞裝置或劣化電氣特性的情形。為防止此一情形，有 效的對策為降低因焦電性或壓電性所產生的電位，或是一 旦產生電位差就儘可能快速地弄成同電位。 本發明係在表面聲波裝置10中取得電位的平衡而將所 產生的電位差儘可能快速地弄小的方法，係依據察覺出在 表面聲波裝置10之電極圖案中儘可能將低阻抗領域弄大的 方法為有效而完成者。 即，本發明之表面聲波裝置10之電極圖案係於具有壓 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 賴 1280738 A7

發明説明（6 ) 電性之基板1上構成IDT之櫛型電極2、於接近此櫛型電極所 發生之表面波之傳送方向而在櫛型電極2的兩側配置反射 器電極3,並以框狀之短路補助電極6來圍住櫛型電極2及反 射電極3之周圍。在此說明短路補助電極6連接於安裝有表 面聲波裝置10之底層基板9的導出電極13，此導出電極13 與端子電極14導通，且形成接地電極。又，此短路補助電 極6可由第1圖A得知係於表面聲波裝置1〇之電極形成面設 成略均等的框狀，而整體形成無偏斜形狀。 再者，連接於櫛型電極2之帶狀的輸入出導出電極如' 5a係相對向地設置，且其面積形成略相等狀態。而且，連 接於輸入出導出電極4a、5a之輸入出端子電極牝、北亦相 對向地設置，同時其面積亦略相等。又，反射電極3與短路 補助電極6係形成電氣性的開放狀態的電極構成。 電 故 —— .....— Γ請先閱讀背面之注意事項再填窝本頁〕 •訂— 如上所述，於表面聲波裝置1〇,使帶狀之輸入出導出 電極4a、5a與輸入出端子電極4b、5b之面積略相等，並將 短路補助電極6作成略均等而無偏斜形狀，即使基板之焦 性而產生電荷亦能使局部地消除蓄積大電荷量之領域/因 此能大幅地弄小各電極圖案間的電位差。爱此，即使反射 器電極3或梅型電極2與短路補助電極6呈電氣性的開放狀 態亦能使發生在反射器電極3與櫛型電極之電荷均一化1 此等電極間並無產生電位差而能防止發生放電。其結果則 能防止表面聲波裝置1〇之電極被破壞或是造成電氣特性的 劣化。X，用以將焦電性所發生之電位予以均一而弄小電 極圖案之間的電位差，則短路補助電極6在設計上可能的拿

1280738 A7 --一 —__B7_ 五、發明説明（7 ) 圍將電極之寬幅弄寬而將阻抗儘可能地弄小，以及將櫛型 電極2或反射器電極3儘可能地鄰接設置的情形有效。爰此 ’框狀之短路補助電極6的寬幅有必要依場所而作成設計上 可能最大的寬幅，因此即如圖式所示那般因場所不同而其 見幅不同。 如上所述，將櫛型電極2及反射器電極3之周圍儘可能 以寬幅的短路補助電極6來圍住而弄小阻抗，能快速地使基 板1之焦電性所發生之電荷所蓄積而產生的電位差均一化 。此電位差之均一化係包含占有表面聲波裝置10之短路補 助電極6之共通連接的電極領域愈大則效果愈好，因此，短 路補助電極6比較於以細線來構成的情形，最好是儘可能設 成寬幅者。 而且’本實施例係將短路補助電極6連接於設置在底層 基板9之端子電極14之中的接地電極，由於在基板1發生的 電荷能從短路補助電極6通過端子電極14而放至外部，因此 可對表面聲波裝置1〇大幅地降低因焦電性所造成電荷的影 響。 表面聲波裝置10被加熱以產生的焦電性所形成的電荷 係從具有焦電性之壓電體的基板1產生者，一般的製造狀離、 係對表面聲波裝置1〇整體均一的加熱，故電荷的發生係從 表面聲波裝置10整體產生。但是表面聲波裝置1〇之中具有 多數分別獨立的電極圖案，一般具有最大寬廣領域者係輸 入出端子電極4b、5b，因此此部分易產生最大的電位。爰 此’以圍住櫛型電極2與反射器電極3而以輸入出端子電極 -10 - 、、、本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格⑵0X297公釐)' '" (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂— 1280738 A7 _B7_ 五、發明説明（8 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 4b、5b為基準而對稱性的，且以儘可能寬幅地設置框狀短 路補助電極6的情形下，可將基板1發生的電荷整體予以壇 一化而弄小電位差，故能抑制放電。 在作為防止因蓄積電荷而發生放電以致於損傷表面聲 波裝置的方法上，例如有在鄰接之電極間預先設置電極間 隔狹的部分，而儲存某種程度電荷時在不損傷表面聲波裝 置的範圍内進行部分放電的方法。然而此方法因表面聲波 裝置在使用中會放電而發生雜訊，因此不宜運用。爰此， 為了要達到使蓄積電荷放電不會損傷表面聲波裝置，有效 的方法乃將框狀的短路補助電極6連接於櫛型電極2與反射 器電極3而儘可能地設成寬幅的情形。 而且，使輸入出導出電極4a、5a與輸入出端子電極4b 、5b相對向設置而之面積略相等，並將框狀的短路補助電 極6整體作成略均等地配置，藉此能消除電荷量偏在而蓄積 的領域，因此能使電位差更均一。 又，在本實施樣態中，櫛型電極2及反射器電極3係呈 一對狀態，惟本發明並不僅限於此，即若是更多段構成之 表面聲波裝置亦可獲得同樣的效果。 其次說明本發明之表面聲波裝置10的製造方法。 將積層構成之金屬薄膜以例如濺鍍法來形成在具有壓 電性的基板1上。基板1乃能使用例如LiTa03或LiNb03之單 結晶基板。又，金屬薄膜係於下層形成鈦（Ti)膜，於其上形 成由銘一銃一銅（Al—Sc—Cu)所構成之合金膜，並且於其 上層形成鈦膜之三層構成所構成的膜之後，於該三層構成 -11 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） β| | 1280738 A7 _B7_ 五、發明説明（9 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 膜上更藉著蒸著而形成鋁（A1)膜。接著，於上述金屬薄膜上 塗布光阻劑而藉著光刻處理與蝕刻處理以將金屬薄膜加工 成所希望之一定的電極圖案。其後更藉著光刻處理與蝕刻 處理僅將櫛型電極2之最上層的A1膜蝕刻去除的話，於輸入 出導出電極4a、5a與輸入端子電極4b、5b及短路補助電極6 上殘留以蒸著方式所至形成之柔的金屬之A1膜。又，此膜 之去除若是進行濕式蝕刻的話，可利用A1與Ti之蝕刻的選 擇比而容易地進行。如此地形成的狀態以第1圖B表示。 其次藉著分割裝置將鄰接之表面聲波裝置1 〇之各別的 短路補助電極6的間隙8切斷的話，則可獲得一定形狀的表 面聲波裝置10。本實施樣態係設置習知分割線而取代將此 分割線上予以切斷的方式，並將短路補助電極6之間隙8的 中心予以切斷的樣態，因此不需要切割線而能簡化表面聲 波裝置10之設計之同時，可將表面聲波裝置更小型化。 又，金屬薄膜並不限於上述構成材料，甚至可為A1、

Ti、Cu、Cr、Ni或積層此等金屬之合金所構成的膜，或是 A1膜、於其上設置Al—Cu合金膜、進一步於上層設置由Ti 膜所構成的三層構成膜等，而能使用各種材料及構成，一 層以上的話積層幾層均可，且積層的順序亦不限於上述者 。如此積層構成的電極膜恣提昇耐電力性且即使放電亦不 易損傷。 以蒸著方式將如此構成之金屬薄膜之至少去除櫛型電 極2上之電極膜上，形成柔材料的膜，而在例如形成A1膜的 方法上，在電極膜之表面層為Ti膜的情形下，同樣地以濕 -12 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐）

"V 1280738 A7 B7 五、發明説明（10 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 式蝕刻選擇性地蝕刻去除即可，電極膜之表面層為A1膜的 情形下，於櫛型電極2上預先形成光阻劑之後以進行蒸著之 蒸著去除（lift off)方式能容易地作成。 其次以第2圖說明將以如此方式獲得之表面聲波裝置 10安裝於底層基板9而設成電子零件的步驟。將設置於箱狀 的底層基板9之底部的導出電極13與形成在表面聲波裝置 1 〇之突起7位位置之後，以電氣性地連接之同時亦以機械性 地固定表面聲波裝置10。此突起之連接上係使用導電性樹 脂基板脂之連接，並先以焊錫而形成的焊錫連接而以金 (Cu)形成導出電極之表面與突起7,而以超音波Au—Au接合 方式，或於導出電極之表面以金（Cu)先形成錫（Sn)膜、突起 7，而能採用Au — Sn共晶接合的方式等各種接合方法。又， 突起7能以電鍍形成且能以引線接合方式來形成。 將表面聲波裝置10連接固定於底層基板9之後，將形成 有Au—Sn所構成之蠟材等接著材16之蓋體15與底層基板9 接觸並加熱而接著固定以獲得封止構成之電乃零件。 由於如此的焊錫連接方式，可弄大與導出電極13接合 之焊錫7的接合面積，故具有提高接合的信賴度特徵。但是 另一方面一旦焊錫接合時之加熱而產生歪斜時，則會產生 電極膜之剝離反而會有降低接合之信賴度的情形。本發明 係依據發覺到將形成在電極膜之最上層的膜至少以蒸著方 式形成的話，可緩和焊錫接合之際所發生的歪斜而能防止 電極膜的剝雜。而且以蒸著膜形成而於切斷時或洗淨時等 步驟中，亦會具有不易發生電極膜之電氣化學上的腐蝕等 -13 - .、本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐）

I J 故 1280738

五、發明説明（U 效果。 其理由乃以療著方式所進行之成膜易形成 相同配向的薄膜，i έ士里日丨 層材料 Γ二則可推定金屬粒子間的結合會變 強。因此，以蒸著方式形成與至少突起接觸 = ，且亦能抑制電氣化學上的腐餘，發生電_的剥雜 至於以蒸著方式形成之金屬薄膜以柔的材質所構成之 材料與突起的接合性為佳。柔的材料乃例如可使用紹、於 銘添加至少一種由^&、〜^等金屬所構成之材 料的Al—Cu合金、或是Au等。 又，在與突起接觸之電極的最上層，更加上以蒸著形 成其他層亦可獲得同樣的效果。 形成突起的位置當然不限於第！圖A所示的位置。而且 帶狀的輸入導出電極4a、5a的寬幅並不必要相同，面積約 相同即可。 由於如此獲得之表面聲波裝置1〇之輸入出導出電極知 、5a及輸入出端子電極扑、5b係電氣性地相互獨立著 月&以在第1圖B所示之基板丨上形成一定電極圖案的狀態而 以探針對各別的表面聲波裝置1〇之輸入出端子電極朴、 測疋電氣特性。菱此，在將表面聲波裝置丨〇切斷成個片 前，能進行特性選別，而於切斷後僅使用良品而能組裝 子零件。 如上所述依據本發明依場所而以寬幅不同的框狀的短 路補助電極6來圍住櫛型電極2及反射器電極3的周圍，以蒸 14 - 4本紙張尺度適用中國國家標準（〇fS) A4規格（2〗0X297公楚） 5b 之 電

......... (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •、盯| 1280738 五、發明説明（i2 著方式至少形成與突起7接觸之電極膜的最上層膜，而能降 低具有壓電性之基板丨的线性所發生的電位差。又，能防 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 止電極膜之接合部分的剝離，且能抑制電氣化學性的腐蝕 。而且，使用積層構成之電極膜的話，因可提高耐電力， 故即使疋因蓄積的電荷的放電亦不易損傷電極膜，而更能 提昇放電耐性。 又，對於安裝表面聲波裝置10之電子零件的製造上， 不僅是上述焊錫接合法，而且亦可使用以引線接合來連接 的方法。 (實施例2) 以下使用第3圖來說明本發明之實施例2之表面聲波裝 置於第3圖中，對於與第1圖a相同要素則賦予相同的標號 〇 具有三個櫛型電極201、202、2〇3與在其兩端部的反射 器電極3的構成配置一對，中央的櫛型電極2〇2如圖所示設 置輸入出導出電極4a、5a、輸入出端子電極朴、51)、接地 導出電極21a及接地端子電極2lb。並形成框狀的短路補助 電極6以包圍此等元件，相對於此短路補助電極6，兩側的 反射器電極3及兩側的櫛型電極2〇1、202分別藉著第1連接 電極17及第2連接電極20而電氣性的連接。於此短路補助電 極6的外周部因切割而具有部分的殘留間隙8，此間隙8部分 路出於基板1的表面。而且，兩側櫛型電極2〇 1、203之另一 側相互地以帶狀連接電極18連接，於輸入出電極4b、几與 短路補助電極6之一定位置設置突起7,而構成表面聲波裝 15 「本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（2】〇χ297公釐） 1280738 A7 B7 五、發明説明（13) — 置1 〇〇。將此表面聲波裝置丨〇〇作為如第2圖所示之製造方法 乃與第1實施樣態相同而省略其說明。 以如此的構成，由於反射器電極3及兩側的櫛型電極 201、203係藉由帶狀的第丨連接電極17與第2連接電極而與 短路補助電極6連接，因此表面聲波裝置100之寬大領域係 共通地連接而呈同電位。其結果則表面聲波裝置1〇〇即使受 到溫度變動而因基板丨之焦電性以致於發生電位，亦因包含 開放狀態之電極圖案部而能將電位差弄得很小。 又，將櫛型電極201、203及反射器電極3與短路補助電 極6電氣性的連接的效果因電極圖案的設計而異，惟僅因為 了能使電位均一化而要求作成低阻抗的情形並不特別地規 定其電極寬幅或其電極條數，當然最好是儘可能弄寬且條 數以多的狀態更有效。 本實施例因共通地連接包含櫛型電極2〇1、2〇3及反射 器電極3的電極，故即使在各部分發生不同的電位亦能設成 同電位，而能簡單地製造不會因放電而造成電極破壞或特 性劣化之優異的表面聲波裝置100。 (實施例3) 以下使用第4圖來說明本發明之實施例g之表面聲波裝 置。於第4圖中，對於與第丨圖a相同要素則賦予相同的標號 〇 本實施例係以折測線來構成反射器電極19，此反射器 電極19之兩端部如圖式第2圖所示分別與櫛型電極2呈電氣 性的連接。即，於本實施例中，除了折測線構成之反射 本紙張尺度適财關轉準（⑽M規格（2歡297錢） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

16 1280738 A7 B7 五、發明説明（I4 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 電極19與櫛型電極2以電氣性地連接的構成之外，乃與實施 例1相同。而且將此表面聲波裝置110使用第2圖所示之底層 基板9與蓋體15而製造電子零件的方法亦與實施例丨相同。 於第4圖中以折測線構成之反射器電極19電氣性地連 接於櫛型電極2,所使用之信號為直流及低頻的話為導通狀 悲。但是表面聲波裝置1 10所動作之高頻頻帶中，折測線之 阻抗變高而實質上形成相同於開放狀態。另一方面，因以 折測線構成之反射器電極19與櫛型電極2電氣性地連接，因 此可將以具有壓電性之基板丨之焦電性所發生的電荷在更 廣的電極領域均一化而能降低電位差。 、v$' 即，藉著將以折測線構成之反射器電極19與櫛型電極2 電氣性的連接，而使在實際使用條件之高頻領域，櫛型電 極2與反射器電極19實質上呈開放狀態，而不會發生表面聲 波I置110之動作上的不良情形。另一方面，相對於焦電性 所形成之電位而使櫛型電極2與反射器電極19呈電氣性的 導通狀態，而能降低電位差。 又，連接於櫛型電極2之帶狀的輸入出導出電極乜、％ 係相對向地設置，且此等電極之面積形成略相等，再加上 連接於輸入出導出電極4a、5a之輸入出端子電極4b、％亦 相對向地設置之同時，此等面積亦略相等。以如此的構成 即使因焦電性所形成之電位發生於各電極圖案，電位差亦 幾乎不會發生’而能簡單地製造不會因放電所造成電極圖 案之損傷或特性劣化之優良表面聲波裝置丨丨0。 (實施例4)

1280738 A7 B7 五、發明説明（15 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 以第5圖A及第5圖B說明本發明之實施例4之表面聲波 裝置。第5圖A表示電極圖案之構成平面目，第表示於 具有壓電性之基板上形成多數個之構成部分平面圖。在第$ 圖Α與第5圖Β中對於與第1圖a與第丨圖3相同的要素賦予相 同標號。本實施例之表面聲波裝置12〇僅在於實施例丨之表 面聲波裝置10之外周以相同的電極材料形成切割線8〇之點 不同。即，通常切割80係將基板沿著此切割而切斷成個片 ，然而本發明係作成即使切斷亦於外周確實殘留的寬幅。 本實施例在基板1上與表面聲波裝置12〇一起以框狀設 置電氣性地短路的切割線80 ,因此，至進行切割之基板狀 悲產生大的溫度變動而因焦電性所造成之大的電位的情形 下’亦3b使各電極圖案間的電位差均一化。而且即使切割 而分割成個片亦因切割線80之一部分以框狀存在表面聲波 裝置120之外周部’故更能增進降低電位差的效果。又，以 切割裝置來切斷切割線80上的狀態乃使伴隨著切斷的合位 置作業亦變得容易。 又，即若是將櫛型電極2或反射器電極3予以多數組設 置之表面聲波裝置亦可獲得同樣的效果。 本實施例之表面聲波裝置120之製造方法，除了僅於切 割上係切斷切割線80上的情形不同之外，乃能與實施例1 之表面聲波裝置10之製造方法同樣地製造。 (實施例5) 以第6圖來說明本發明之實施例5的表面聲波裝置。 於第6圖中，有關與第3圖相同要素則賦予相同標號。 :>本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公爱） 1280738 A7 五、發明説明（l6 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 本貫施例之表面聲波裝置130除了於實施例3之表面聲波裝 置100的外周部以相同材料形成切割線8〇之點不同之外，形 狀、構成及製造方法則相同。本實施例之切割線的寬幅， 亦設成於切割後確實地殘留於外周部的寬幅。 用以電氣性地連接櫛型電極201、2〇3與短路補助電極6 的第2連接電極20的圖案，最好不要於其圖案之中段設置阻 抗高的領域，因此最好是設成例如愈往短路補助電極6方向 走貝丨其圖案見幅就漸漸地變細的形狀。又，最好是此第2 連接電極20之寬幅形成比切割線8〇之寬幅大。 •、π— 如此地設置切割線8〇而在切斷後於外周部亦使切割線 80形成框狀地殘留，因此對於在基板丨狀態之作業步驟中的 溫度變動亦能穩定，且能簡單地製造以個片而對於安裝至 基板時之溫度變動亦不會因放電而破壞或特性劣化之優良 的表面聲波裝置及使用該裝置之電子零件。 (實施例6) 以第7圖來說明本發明之實施例6的表面聲波裝置。第7 圖表示本發明之實施例6之表面聲波裝置14〇之電極圖案構 成的平面圖。於第7圖中與第6圖同一要則素則賦予同一標 號。由圖可得知本實施例之表面聲波裝置14〇係於實施例5 之表面聲波裝置130，設置用以使切割線go與短路補助電極 6呈電氣性的連接的第3連接電極22，並使用此表面聲波裝 置140而安裝於底層基板而作成電子零件的製造方法及其 構造乃與實施例1相同。又，本實施例之切割線8〇的寬幅於 切割後亦於外周部確實地作成殘留的寬幅。

1280738 A7 _B7_ 五、發明説明（17 ) 如此一來，短路補助電極6與切割線80以第3連接電極 2 2電氣地連接，即使在具有壓電性之基板1上發生電荷，兩 端的櫛型電極2 01、2 0 3、反射器電極3、短路補助電極6及 切割線80呈電氣地共通連接，故在此等整體電極之電位相 等而使防止因電位差所造成之發生放電的效果更大。 又，將切割線8 0、短路補助電極6、兩端的#型電極2 01 、203及反射器電極3予以電氣地連接的電極圖案若為低阻 抗的話，即使是線狀、或是帶狀均可，對其條數亦無限制 〇 (實施例7) 以第8圖來說明本發明之實施例7之表面聲波裝置。於 第8圖中，與第6圖同一要則素則賦予同一標號。由圖可得 知本實施例之表面聲波裝置150除了將反射器電極3從短路 補助電極作成開放狀態的情形與實施例6之表面聲波裝置 140不同之外，其餘與表面聲波裝置140之構成及製造方法 相同。 以如此的構成，即使在具有壓電性之基板1上發生電荷 ，因兩端的#型電極2 01、2 0 3、短路補助電極6及切割線8 0 呈電氣地共通連接，故即使櫛型電極202與反射器電極3呈 電氣性的開放狀態亦能使此等電極之間的電位差變小，且 能抑制發生放電而能實現信賴度高的表面聲波裝置及使用 此裝置之電子零件。 (實施例8) 以第9圖來說明本發明之實施例8之表面聲波裝置。第9 20 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、訂— 1280738 五、發明説明（IS) 圖表示本貝施例之表面聲波裝置160之電極圖案之構成平 面圖丄有關與第4圖同-要則素則賦予同一標號。由圖可得 知本實施例之表面聲波裳置160之不同點在於實施例3之表 =波裝置11〇之外周部設置切割線8()，除此之外的構成及 製仏方法相同。本實施例之切割線寬幅於切割後亦於外周 部確實地作成殘留的寬幅。 —與在實施例3之表面聲波裝置11〇說明的情形相同，本 實施例之表面聲波裝置16〇以折測線構成之反射器電極Μ ”櫛3L電極2電氣性的連接。因此，反射器電極}靖拇型電 極2信號在直流及低頻頻帶呈導通狀態，而表面聲波裝置所 動作之高頻頻帶之折測線的阻抗變高而呈實質性的開放狀 態^對於表面聲波裝置⑽之電氣特性並無特別的影響。此 與貫施例3之表面聲波裝置11〇相同。 本實施例之表面較裝置16〇因以折測線構成之反射 器電極與櫛型電極2電氣性的連接，而與框狀的短路補助 電極6同樣地設置切割線8〇，故可將具有壓電性之基板⑽ 焦電性所形成之電荷在各個電極圖案部均一化，而能使各 部發生的電位差弄得更小。 又本貫施例之切割線8〇與短路補助電極6固然呈電氣 性的開放狀態，惟本發明並不僅限於此，乃亦可以一條或 多數的連接電極使短路補助電極6與切割線8〇呈電氣性的 連接。 又，從實施例1至實施例8說明了表面聲波裝置係設置 一個或二個將櫛型電極與反射器電極作成一組之構成的狀 21 1280738 A7 ___B7_ 五、發明説明（19 ) 悲’惟本發明並不僅限於此，即使是更多段構成的情形亦 可獲得相同的效果。 產業上之利用性： 如上所述，依據本發明藉著在櫛型電極及反射器電極 的周圍依場所而設置寬幅不同之框狀的短路補助電極，不 僅在製造表面聲波裝置時之基板單位的處理步驟，且在切 割而而成個片化之後，即使溫度變動而因基板之焦電性產 生電位亦能使電極間的電位差變小。其結果能防止發生放 電，不會受破壞或特性劣化而能簡單地製造高信賴度之表 面聲波裝置及使用該裝置的電子零件。 元件標號對照表： 1 基板 2 櫛型電極 3 反射器電 4a、5a 輸入出導出電極 4b、5b 輸入出端子電極 6 短路補助電極 7 突起 8 空隙 9 底層基板 10 表面聲波裝置 13 導出電極 14 端子電極 15 蓋體 __ - 22 - 分22本紙張尺度適用中國國家標準A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、可I €- 1280738 A7 B7 五、發明説明（20 ) 16 接著材 17 第1連接電極 18 帶狀連接電極 19 反射器電極 20 第2連接電極 21a 接地導出電極 21b 接地端子電極 22 第3連接電極 80 切割線 100、110、、、160 表面聲波裝置 201、202、203 櫛型電極 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 23 、^τ— -線- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) Α4規格（210X297公釐）

Claims (1)

1280738「一-----u 年月日修(表)正替換頁,¾ _I 92. 8. 28….」8,_ 六、申請專利範圍 第91107954號申請案申請專利範圍修正本 92年8月28曰 1. 一種表面聲波裝置，其特徵在於具有： 基板，係具有壓電性； 櫛型電極，係於前述基板上構成IDT ; 反射器電極，係接近由前述IDT發生的表面波之傳送 方向而形成； 短路補助電極，係於前述櫛型電極與前述反射器電極之 周圍因位置不同而不同寬度的框狀； 輸入出導出電極，係設置於前述短路補助電極的内周部 而連接於前述櫛型電極；及 輸入出端子電極，係設置於前述短路補助電極的内周部 而連接於前述輸入出導出電極。 2. 如申請專利範圍第1項之表面聲波裝置，其中前述短路補 助電極之外周部更設置切割線。 3. 如申請專利範圍第1或2項之表面聲波裝置，其中前述短 路補助電極略均等地配置。 4. 如申請專利範圍第1項之表面聲波裝置，其中前述輸入出導 出電極係將輸入導出電極與輸出導出電極予以相對向設置 ，同時將該等電極之面積設成略相等。 5. 如申請專利範圍第1項之表面聲波裝置，其中前述輸入出導 出電極係將輸入端子電極與輸出端子電極予以相對向設 置，同時將該等電極之面積設成略相等。 -24 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. -、τ· rr

1280738 六、申請專利範圍 6. 如申請專利範圍第1項之表面聲波裝置，其中將前述反射器 電極與短路補助電極予以電氣性的連接。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 7. 如申請專利範圍第2項之表.面聲波裝置，其中將前述反射 器電極與短路捕助電極予以電氣性的連接。 8. 如申請專利範圍第6項之表面聲波裝置，其中以一條以上的 線或帶狀的第1連接電極將前述反射器電極與短路補助電 極予以電氣性的連接。 9. 如申請專利範圍第2項之表面聲波裝置，其中以一條以上的 線或帶狀的第1連接電極將前述反射器電極與短路補助電 極予以電氣性的連接。 10. 如申請專利範圍第9項之表面聲波裝置，其中前述第1連接 電極之寬幅至少比切割線的寬幅大。 11. 如申請專利範圍第1項之表面聲波裝置，其中前述櫛型電極 之一部分與短路補助電極電氣性的連接。 12. 如申請專利範圍第2項之表面聲波裝置，其中前述櫛型電 :線丨 極之一部分與短路補助|極電氣性的連接。 13. 如申請專利範圍第11項之表面聲波裝置，其中前述櫛型電 極於一定的位置至少設置三對以上，前述多數櫛型電極之 中之兩侧的前述櫛型電極相互連接，同時亦與短路補助電 極電氣性的連接。 14. 如申請專利範圍第12項之表面聲波裝置，其中前述櫛型電 極於一定的位置至少設置三對以上，前述多數櫛型電極之 中之兩側的前述櫛型電極相互連接，同時亦與短路補助電 25 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4规格（210X297公釐） 1280738 A8 細 its P8._ 六、申請專利範園 極電氣性的連接。 15. 如申請專利範圍第11項之表面聲波裝置，其中以一條以上 的線或帶狀的第2連接電極將前述櫛型電極與短路補助電 極予以電氣性的連接。 16. 如申請專利範圍第12項之表面聲波裝置，其中以一條以上 的線或帶狀的第2連接電極將前述#型電極與短路補助電 極予以電氣性的連接。 17. 如申請專利範圍第2或7項之表面聲波裝置，其中將前述切 割線與短路補助電極予以電氣性的連接。 18. 如申請專利範圍第17項之表面聲波裝置，其中以一條以上 的線或帶狀的第3連接電極將前述切割線與短路補助電極 予以電氣性的連接。 19. 如申請專利範圍第18項之表面聲波裝置，其中前述第3連 接電極之寬幅至少比切割線的寬幅大。 20. 如申請專利範圍第1或2項之表面聲波裝置，其中將前述反 射器電極與短路補助電極設成電氣性的開放狀態。 21. 如申請專利範圍第1或2項之表面聲波裝置，其中前述反射 器電極具有折測線構造，前述反射器電極之兩端部分別與 櫛型電極電氣性的連接而構成。 22. 如申請專利範圍第1或2項之表面聲波裝置，其中將前述短 路補助電極設成接地電極。 _ 23. 如申請專利範圍第1項之表面聲波裝置，其中從前述輸入出 端子電極、輸入出導出電極、短路補助電極選擇之任何一 26 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4规格（210X297公釐） .................…：袭..................、玎..........,……：^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1280738 I 8月28曰修於正替換頁 kS B8 CS D8 六、申請專利範圍 個電極至少最上層之電極膜係以蒸著方式形成。 24. 如申請專利範圍第23項之表面聲波裝置，其中前述最上層 之電極膜係柔材質的材料。 25. 如申請專利範圍第24項之表面聲波裝置，其中前述最上層 之電極膜係使用鋁或鋁合金所構成之材料。 26. 如申請專利範圍第1項之表面聲波裝置，其中至少前述櫛型 電極、反射器電極、輸入出端子電極、輸入出導出電極及 短路補助電極具有積層一種類或多數種類金屬的構成。 27. —種表面聲波裝置之製造方法，其特徵在於具有： 於具有壓電性之基板上被著金屬薄膜的步驟； 蝕刻前述金屬薄膜而將構成叉指換能器（IDT)之櫛型 電極、接近以前述叉指換能器所激振之表面波傳送方向而形 成的反射器電極、至少圍住前述櫛型電極與前述反射器電極 而依位置呈不同寬幅之框狀短路補助電極、於框狀之前述短 路補助電極的内周部設置連接於#型電極之輸入出導出電 極、及連接於前述輸入出導出電極之輸入出端子電極予以多 數組形成之圖案加工步驟；及 將鄰接之前述短路補助電極間予以切斷的步驟。 28. 如申請專利範圍第27項之表面聲波裝置之製造方法，其中 於前述金屬薄膜之圖案加工步驟，更包含於前述短路補助 電極之外周部形成切割線的加工。 29. 如申請專利範圍第27項之表面聲波裝置之製造方法，其中 於前述金屬缚膜之圖案加工步驟，更包含於短路補助電極 -27 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） ......................，裝..............：：訂------------------線. (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 替換^ 1280738， 六、申請專利範圍 與反射器電極竣輛牧、士、丄 峨之連接=:電極與梅型電極之間形成以電氣 30. 如申^專利範圍第找項之表面聲波裝置之製造方法，复中 於丽述金屬薄膜之m安 八中 、' Θ σ工步驟’更包含於短路補助電極 /、反射裔電極夺絲敗姑 ^ f軸胸t極之㈣成以電氣 性連接之連接電極的加工。 电札 31. 如申請專利範圍第28項之表面聲波裝置之製造方法，复中 ^述金屬薄膜之圖案加卫步驟，更包含形成將短路補助 電極與切割線予以電氣性連接之連接電極的加工。 32. 如申請專利範圍第27項之表面聲波裝置之製造方法， 從前述輸入出端子電極、耠 谓輪入出導出電極及短路補助電極 捕之至乂_個電極係以蒸著方式形成最上層之電極膜。 33. 如申請專利範圍第32項之表面聲波裝置之製造方法，㈠ 前述最上層之導體薄膜係柔材質的材料。 、 34. 如:請專利範圍第33項之表面聲波震置之製造方法，其中 前述最上層之導體薄膜係使用紹或紹合金所構成之材料。 35. 如申請專利範圍第27項之表面聲波裳置之製造方法，其中 前述金屬薄膜係積層-種類或多種類之金屬而形成。 36· —種電子零件，其特徵在於具有·· 在箱狀底部具有導出電極及與前述導出電極導通的端 子電極的底層基板； @ 覆蓋前述底層基板而用以密封底層基板之内部的蓋體. 配置於前述底層基板之箱狀底部之表面聲波裝置； 本紙張尺度適用中國國家標準（0^5) A4规格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填窝本頁) 、}ir .........------- 28 8 .8 8 8 A BCD 1280738 ^ 年Λ。曰修正替換頁 92· 8. 2 8 六、申請專利範圍 使前述表面聲波裝置之輸出入端子電極與前述底層基 板之前述導出電極呈電氣性連接之連接構件， 且前述表面聲波裝置係申請專利範圍第1或2項之其中 任何一項之表面聲波裝置。 37. 如申請專利範圍第36項之電子零件，其中前述連接構件係 由铭或金所構成的線。 38. 如申請專利範圍第36項之電子零件，其中前述連接構件係 形成在表面聲波裝置上之突起。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .、?!1 :線· -29 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4规格（210X297公釐）