CN1461523A - 弹性表面波装置及其制造方法和用该装置的电子部件 - Google Patents

Abstract

通过设置具有压电性的基片、在该基片上构成IDT的梳形电极、接近由该IDT产生的表面波的传送方向配置的反射器电极、和在上述梳形电极和反射器电极的周围宽度随着地点而不同的短路辅助电极的构成，可以使在制造弹性表面波装置时在压电性基片的热处理工序等发生的电荷在遍及弹性表面波装置的整个电极表面变成均匀分布，即使在分离成单片弹性表面波装置后也能防止在因基板的热电性引起的电荷积累后产生放电而使电极破损或电特性老化。

Description

弹性表面波装置及其制造方法 和用该装置的电子部件

技术领域

本发明涉及用在通讯设备上的弹性表面波装置及其制造方法和用该装置的电子部件。

背景技术

现有技术的弹性表面波的制造过程如下：在其表面上涂布抗蚀剂，曝光、显影后，通过蚀刻所希望交指型变换器(IDT：Inter Digital Transducer)电极、栅反射器(Grating Reflector)电极(以下称反射器电极)，然后形成包围它们周围的切割线和连接它们的细线等所希望的电极图形。切断切割线后，就制成单片的弹性表面波装置。

在该方法中通过切割压电基片变成单片的弹性表面装置因IDT电极与反射器电极等在电上分离，而在弹性表面波装置上加热和变形时，由于压电基板具有热电效应而产生电荷，当各电极间的电荷量变得不均匀时，就由于在对置的IDT电极之间和反射电极等之间或者IDT电极与反射器的电极之间放电而损坏电极或使弹性表面波装置的特性老化。

作为解决这个问题的手段特开平11-29828号公报中公开了有关这个方法。即，通过在切割线的内侧配置包围IDT电极和反射器电极周围的金属薄膜的短路线使产生的电荷电均匀化，防止因放电引起的破损和电特性老化。另外，所谓切割线是把在具有压电性的基片上形成的多个弹性表面波装置切开成单个的边界线，通常通过光刻、蚀刻与IDT电极等同样的材料形成。

然而在切割线的内侧设置包围IDT电极和反射器电极的周围的金属薄膜的短路细线并配设使这金属薄膜的短路线与IDT电极连接的多条细线的构成中，在温度变动急剧变化下发生的电量大的场合，电极间的距离狭小的场合、已连接的电极间分离的场合、使金属薄膜的短路细线与IDT电极连接的线细的场合和已连接的线的蛇状线或线的一部分比其它部分细的等场合下，因线间的阻抗变高而不能使发生的电荷均匀化，因此存在在电极间发生放电，使电极破损或放电特性老化的这个问题。

发明内容

本发明就是解决上述问题的，其目的是提供一种弹性表面波装置及其制造方法和用该弹性表面波的电子部件，所述的弹性表面波装置在其制作弹性时，使在压电性基片的热处理等工序中发生的电荷在弹性表面波装置的整个表面上变均匀，即使分离成单片的弹性表面波装置后，也能防止伴随由基片的热电性发生的电位差放电引起电极破损或电特性老化。

为了解决该课题，本发明的弹性表面波装置包括具有压电性的基片、在该基片上设置构成IDT的梳形电极，接近由该IDT发生的表面波的传送方向配置的反射器电极、和在上述梳形电极和反射器电极的周围设置随着地点不同而振幅不同的框状短路辅助电极的构成。

另外，本发明的弹性表面波装置的制造方法包括：在具有压电性的基片上被覆金属膜的工序、设置通过腐蚀该金属膜构成IDT的梳形电极、接近由IDT发生的表面波的传送方向形成的反射器电极、至少在上述梳形电极和反射器电极的周围设置随着地点不同而振幅不同的框状短路辅助电极多组的工序、和切断邻近的短路辅助电极的间隙的工序。

本发明的电子部件的特征在于，包括：具有在盒底部的引出电极和与该引出电极导通的端子的主基板、用于通过覆盖该主基板使主基板的内部密封的盖体、配置在该主基板的底部上的弹性表面波装置，和使该弹性表面波装置的输入输出端子与主基板的引出电极电连接的连接构件，并使用具有上述构成的弹性波装置。

附图说明

图1A和图1B分别是表示本发明第一实施方式中的弹性表面波装置电极图形的构成的平面图和在具有压电性的基片上形成多个弹性表面波装置电极图形构成的平面图。

图2是表示用该弹性表面波装置的电子部件的剖面图。

图3是表示本发明第二实施方式中的弹性表面波装置电极图形构成的平面图。

图4是表示本发明第三实施方式中的弹性表面波装置的电极图形构成的平面图。

图5A、图5B是分别表示本发明第四实施方式中的弹性表面波装置电极图形构成的平面图和在具有压电性的基片上形成多个弹性表面波装置电极图形构成的平面图。

图6是表示本发明第五实施方式中的弹性表面波装置电极图形构成的平面图。

图7是表示本发明第六实施方式中的弹性表面波装置电极图形构成的平面图。

图8是表示本发明第七实施方式中的弹性表面波装置电极图形构成的平面图。

图9是表示本发明第八实施方式中的弹性表面波装置电极图形构成的平面图。

具体实施方式

下面参照附图说明本发明的具体实施方式

(实施例1)

图1A是表示本发明实施例1中的弹性表面波装置的电极图形构成的平面图，图1B是表示在基片上形成多个在图1A中所示的弹性表面波装置的构成的部分平面图。图2是将弹性表面波装置密封在由主基板和盖体组成的壳体中的电子部件的剖面图。

本发明的弹性表面波装置10具有下述的构成：在具有压电性的基片1上使构成IDT的梳形电极2和设置在由该梳形电极2激励的弹性表面传送方向附近的反射电极3成一对具有规定距离配置、并设置向从这些梳形电极2输入输出引出电极4a、5a、输入输出端子电极4b、5b和连接梳形电极2之间的带状连接电极18，还包括在这些电极周围形成宽度随着地点不同的短路用辅助电极6的构成。在该短路辅助电极6的外周部上有通过切割留下局部的间隙8，该间隙8部分是基板的表面露出的部分。并且在该短路辅助用电极6和输入输出电极4b、5b的规定部分上形成凸部7，通过该凸部7与主基板9的引出电极13连接。

如图2所示，主基板9是盒状，在其底部设置引出电极13，该引出电极13与外部的端子电极14导通在通过形成在弹性表面波装置10的规定部分上的凸部7与引出电极13电连接时同时也进行机械的固定。在盖体15设置Au-Sn等焊接材料的焊接构件16，通过该焊接构件16与基板9焊接使内部密闭构成电子部件。

图1、图2是示意表示本实施方式的构成图，但不是表示各自的尺寸的相对关系，对以下示出的弹性表面波装置的图也是如此。

通过具有压电性的物质因热电性和压电性等而产生电位，由热电性和压电性等引起的电荷量随着地点不同而产生差异时，而引起电位差，在该电位差超过某一值以上时就放电，往往引起装置破坏或电特性的老化。为了防止发生这个现象，而应使由热电性和压电性引起的电压降低，或即使产生电位差，也应尽可能快地变成同电位，这些都是有效的对策。

本发明通过选取弹性表面波装置10中电位的平衡使产生的电位差尽可能的变小的方法，业已发现，采用在弹性表面波装置10的电极图形中尽可能宽地设置低阻抗区域的方案是有效的。

也就是说本发明的弹性表面波装置10的电极图形是在具有压电性的基片上配置构成IDT的梳形电极2，在接近由该梳形电极2产生的表面波传送方向在梳形电极2的两侧配置反射电极3，并用梳形短路电极6包围梳形电极2和反射器电极3的周围。在此，短路辅助电极6连接在安装有弹性表面波装置10的主基板9的引出电极13上，该引出电极13与端子电极14导通，并且作为接地电极。而该短路辅助电极6如从图2可以清楚看出那样，在弹性表面波装置10的电极形成面上形成大致均匀的框状，作为整体形成不偏靠一方的形状。

另外连接在梳形电极2上的带状输入输出引出电极4a、5a对置地设置，并且使它们的面积大致相等，连接在输入输出引出电极4a、5a上的输入输出端子电极4b、5b也对置地设置，并且也使它们的面积也大致相等，反射电极3与短路辅助电极6在构成在电的开路状态下的电极。

这样，在弹性表面波装置10上，因为使带状输入输出引出电极4a、5a和输入输出端子电极4b、5b的面积大致相等，并且使辅助电极6大变形大致均等不偏靠一方的形状，而使即使因基板的热电性产生电荷，也不会变成局部大的电荷量存储的区域，从而可以使各电极图形间的电位差大幅度地变小。即使反射电极3和梳形电极2与短路辅助电极6是在电开路状态，因使在反射器3与梳形电极2上发生的电荷变均匀，而在它们之间不会产生电位差，从而可以防止弹性表面波装置10的电极损坏和防止产生电特性老化。并且因为使热电性产生的电位变均匀而使电极图形间的电位差变小，所以可有效地使短路辅助电极6通过在设计的可能范围内使电极的宽度变宽而尽可能使阻抗变小，和尽可能地邻近梳形电极2和反射器电极3等。因此框状的短路辅助电极6的宽度必需根据地点的不同尽可能最大的宽度的设计，因此如图所示那样，随着地点的不同，其最大宽度也会不同。

这样，由于用尽可能宽的短路辅助电极6包围梳形电极2和反射电极3的周围而使阻抗变小，从而使由基板1的热电性引起的电荷的积累产生的电位差迅速均匀化，该电位差的均匀化包含在弹性表面波装置10中的短路辅助电极6的共同连接的电极区域越大，效果越大，因此短路辅助电极6最好用尽可能宽线构成而不用细线构成。

另外在本实施例中，使短路辅助电极6与设置在主基板9上的端子电极14中的接地电极连接，在基板1上发生的电荷从短路辅助电极6经端子电极14流到外部，从而使因热电性引起的电荷对弹性表面波装置10的影响大幅度降低。

因弹性表面波装置10被加热后产生的热电性电荷是从具有热电性的压电体的基板1中产生的，因此在通常的制造状态下，弹性表面波装置10全体被均匀加热，所以电荷发生从弹性表面波装置全体上产生。然而在弹性表面波装置10中，有多个各自独立的电极图形，一般具有最宽的区域的是输入输出电端子电极4b、5b，因此该部分容易产生最大电位。因此环绕梳形电极2和反射电极3以输入输出电极4b、5b为基准对称，并且如设置尽可能宽的框状短路辅助电极6，可以使在基板1上发生的电荷全部均匀化，而使电位差变小，从而能抑制放电。

作为防止因电荷的积累的放电发生引起的表面波装置的损伤的方法，还有例如在相邻的电极之间预先设置电极间隙窄的部分，一旦电荷积累到一定程度时在不使弹性表面波装置损伤的范围内使局部放电的方法。然而在该方法是因为使弹性表面波装置使用中放电后发生噪声，所以不是优选的。因此，为了不使弹性表面波装置因电荷积累的放电而损伤，而使框状短路辅助电极尽可能宽地邻近梳形电极2和反射器电极3设置是有效的。

另外，通过使输入输出引出电极4a、5b和输入输出端子电极4b、5b对置设置使它们的面积大致相等，并且使框状的短路辅助电极6作为全体大致均匀的配置，因能消除电荷量不均匀积累的区域而能使电位差更均匀。

另外，梳形电极2和反射器电极3在本实施方式中制作一对，但本发明不限于此，即使多级构成的弹性表面波装置也能得到同样的效果。

下面说明本发明的弹性表面波装置10的制造方法。

通过例如溅射形成由层叠在具有压电性的基片1上构成的金属薄膜，作为基板，可以用例如LiTaO₃或LiNbO₃的单晶基片，作为金属膜，可以用在下层上形成钛(Ti)膜，在其上面形成铝-钪-铜(Al-Sc-Cu)组成的金属膜，再在其上层上形成Ti膜，借此组成三层构成的膜后，再在该三层构成膜上通过蒸镀形成铝(Al)膜。接着在上金属薄膜上涂布抗光蚀剂，通过光刻工艺和蚀刻工艺将金属薄膜加工成所希望电极图形。然后如果再用光刻工艺和蚀刻工艺只蚀刻除梳形电极2的最上层的Al膜，则在输入输出电极4a、5b、输入输出端子电极4b、5b和短路辅助电极6上剩下用蒸镀方式形成的柔软金属的Al膜，另外，该Al膜的除去如使用湿法蚀刻，则利用Al与Ti的蚀刻的选择比可以容易进行。在图1B中示出了这样形成的状态。

接着如果利用切断装置切断相邻的弹性表面波装置10的各个短路辅助电极6的间隙8，可以得到规定形状的弹性表面波装置10。在本实施方式中，用切断该切割线的方式代替设置现有技术的切割线，以便切断短路辅助电极6的间隙8的中心，因此切割线没有必要，而既可使弹性表面波装置10的设计简化，并又可使弹性表面波装置进一步小型化。

另外，作为金属薄膜不限于上述材料的构成，也可以层叠由Al、Ti、Cu、Cr、Ni或它们的合金组成的膜。或者可以用由Al膜，在其上的Al-Cu合金膜，再在其上的Ti膜的组成的三层构成膜等各种材料和构成，如果是一层以上，则不管哪层，层叠的顺序不受上述的限定，通过制成这样层叠构成的电极膜，可以使耐电功率性增加，即使发生放电荷也能尽量不容易受到损伤。

作为用蒸镀方式在至少除了这样构成的金属膜的梳形电极2上后的电极膜上形成柔软的材料膜例如Al膜的方法，在电极膜的表面层是Ti膜的场合，同样可以用湿蚀刻选择地蚀刻除去，在电极膜的表面是Al的场合，可以在梳形电极2上预先形成抗蚀刻剂后用蒸镀方式容易制成。

下面参照图2说明把这样获得的弹性表面波装置10安装在主基板9上制成电子部件的工序。使设置在盒状主基板9的底部上的引出电极13与弹性表面波装置10上的凸起7位置对准后在电连接的同时也机械地固定弹性表面波装置10。作为该凸起连接可以采用通过用导电性树脂的连接、用焊锡凸起的焊锡接合再用金(Au)形成引出电极的表面和凸起7后用超声波进行Au-AU接合的方式或通过在引出电极的表面上形成锡膜再用金形成凸起7进行Au-Sn共晶接合方式等各种接合方式。另外作为凸起7也可以用电镀形成，也可以用引线焊接形成。

将弹性表面波装置10连接在主基板9上后，便获得使形成由Au-Sn组成的焊锡材料等的焊接构件16的盖体15与主基板9接触进行加热焊接固定密封的构成的电子部件。

由于这样的焊接方式使引出电极接合的凸起7的接触面积变大，而具有接合的可靠性高的优点。然而，另一方面也存在下述的情况：由凸起接合时的加热产生热变形时，因电极膜发生剥离反而使接合的可靠性降低。按照本发明，只要通过蒸镀方式在电极膜的最上层上形成的膜，就可以缓和在凸起焊接时发生的变形，业已发现能防止电极极膜的剥离。另外，因为通过蒸镀膜形成，所以还具有在切断时和洗净时等工序中不容易引起电极膜的电化学腐蚀的效果。

据推测其理由是：在利用蒸镀方式的成膜中，容易形成具有与底层材料相同取向的薄膜，结果使金属粒子间的结合强度增加。因此只要用蒸镀方式至少形成与凸起接触的电极膜的最上层的膜就可以在即使发生接合引起的变形也不会发生电极膜的剥离，并且还能抑制电化学腐蚀。

作为用蒸镀方式形成的金属薄膜由柔软材料组成的材料一方与凸起的结合性能良好。作为柔软材料可以用铝、在添加由Cu、Sc、Cr、Ni、Ti等组成的材料中的至少一种的Al-Cu合金或Au等。除了与凸起接触的电极膜的最上层用蒸镀方式形成外，其它的层也可用蒸镀方式形成，效果相同。

另外，不言而喻，形成凸起的位置不限于图1A中所示的位置。另外带状的输入输出引出电极4a、5a其宽度没有必要相同，其面积可以大致相同。

因为这样得到的弹性表面波装置10的输入输出引出电极4a、5a和输入输出端子电极4b、5b在电上互相独立，所以可以在如图1中所述那样的基片上形成有规定电极图形的状态下，分别将探极贴在各个弹性表面波装置10的输入输出端子电极4b、5b上测定电特性。因此可以在将弹性表面波装置10切断成单个片之前进行特性分类，在切断后只用合格品组装电子部件。

按照上述的本发明，由于用随着地点不同而宽度不同的框状的短路辅助电极6围绕梳形电极2和反射器电极3的周围并用蒸镀方式形成至少与突起接触的电极膜的最上层的膜，所以可以使具有压电性的基片1的热电性产生的电位差变小。并且能防止电极膜的接合部的剥离等，还能抑制电化学腐蚀。并且因为只要用层叠构成的电极膜就能提高耐电功率的性能，所以即使因积累的电荷引起发电也不容易损伤电极膜，从而使耐放电性能更加提高。

另外，在安装弹性表面波装置10后的电子部件的制造中，不仅可以用上述的凸起焊接法，也可以用例如通过引线焊接连接的方法。

(实施例2)

下面参照图3说明本发明的实施例2的弹性表面波装置。在图3中凡与图1A相同的要素附加相同符号。

配置一对具有3个梳形电极201、202、203和在它们两端部上的反射器电极3的构成，在中央的梳形电极202上如图示那样设置输入输出电极4a、5a、输入输出电极4b、5b、接地引出电极21a和接地端子电极21b。以包围它们的方式形成框状的短路辅助电极6、相对该短路辅助电极6，两侧的反射器电极3和两侧的梳形电极201、203分别通过第一连接电极17和第二连接电极20电连接。在该短路辅助电极6的外周部有通过切割局部残留的间隙8，该间隙8部分露出基片1的表面，两侧的梳形电极201、203的另一端通过带状连接电极18相互连接，在输入输出电极4b、5b和短路辅助电极6的规定位置上设置凸起7，这样就构成弹性表面波装置100。因为用于把该弹性表面波装置1制成图2所示那样的电子部件的制造方法与第一实施例相同，所以其说明省略。

由于制成这样的构成，因为反射器电极3和两侧的梳形电极201、203通过带状的第一连接电极1和第二连接电极与短路辅助电极6连接，所以使弹性表面波装置100的宽的区域共同连接而变成同电位，结果即使弹性表面波装置100因温度变动由基板1的热电性产生电位，也能虽含开路状态的电极图形但却使电位差变得非常小。

另外，虽然使梳形电极201、203和反射器电极3与短路辅助电极6电连接的效果随着电极的图形设计的不同而不同，但只要是要求为使电位均匀而变成低阻抗，该电极的宽度和电极的根数就不受限制，但显然是，用宽度最好尽可能的宽且根数也多的一方是更有效的。

在本实施例中，因为使含梳形电极201、203和反射器电极3的电极共同连接，所以即使在各部分上产生不同的电位，也能变成同电位，从而能简单地制造没有因放电等引起电极破坏和特性老化的优良的弹性表面波装置100。

(实施例3)

下面参照图4说明本发明实施例3的弹性表面波装置。在图4中凡是与图1A相同的要素附加相同的符号。

在本实施例中，用蛇形线构成反射器电极19，使该反射器电极19的两端部分别与梳形电极如图所示那样电连接。也就是说，本实施例除了制成使由蛇形线构成的反射器电极19与梳形电极2电连接的连接构成外，是与实施例相同。而且用图2中表示有该表面波装置110的主基板9和盖体15制造电子部件的方法与实施例相同。

在图4中，由蛇形线构成的反射器电极19与梳形电极2连接，所使用的信号由直流和低频电流变成导通状态。因此在弹性表面波装置110工作的高频带域中，蛇形线使阻抗变高，基本上与开路状态相同。另外，因为使由蛇形线构成的反射器电极19与梳形电极2电连接，所以能使由具有压电性的基片1的热电性而引起的电荷在更宽的电极区域上均匀化，使电位差变小。

也就是说，因为使由蛇形线构成的反射器电极19与梳形电极2电连接，所以在作为使用条件的高频区域上梳形电极2和反射电极19基本上变成开路状态，不会发生作为弹性表面波装置110的工作上的不合适之处。另外，对于由热电性引起的电位而言，因梳形电极2与反射电极19变成电导通状态，而能使电位差变小。

另外，连接在梳形电极2上的带状的输入输出引出电极4a、5a相对地设置，并且它们的面积和大致相等，除以之外连接在输入输出引出电极4a、5a上的输入输出端子电极4b、5b也相对地设置，并且它们的面积也大致相等，通过这样的构成，即使由热电性引起的电位在各电极图形上发生，也几乎不能产生电位差，从而能简单地制造没有因放电等引起电极图形损伤和特性老化的优良的弹性表面波装置110。

(实施例4)

下面参照图5A和图5B说明本发明实施例4的弹性表面波装置。图5A是表示电极图形构成的平面图，图5B是表示在具有压电性的基片上形成多个的构成的平面图，在图5A和图5B中，凡与图1A和图1B相同的要素，附加相同符号。本实施例的弹性表面波装置120只是在实施例1的弹性表面波装置10的外周部上用同一电极材料形成切割线线80这点不同。也就是说，通常切割线线80在沿切割线切断基板时就完全不存在了，但在本发明中即使进行切割后也在外周部确实残留某一宽度。

按照本实施例，因为在基片1上设置与弹性表面波装置120一起以框状电短路的切割线80，所以即使在直到进行切割的基片状态因大的温度变动产生而引起热电性大的电位差，也能使各电极图形间的电位差均匀化。并且通过切割分割成单个片，也因在弹性表面波装置120的外周部上存在框内的切割线80的一部分，而使电位差进一步变小效果加大。并且还使通过利用切割装置在切割线80上切割伴随切断位置的对准作业容易。

另外，梳形电极2和反射器电极3等即使是多组设置的弹性表面波装置也能得到同样的效果。

本实施例的弹性表面波装置120的制造方法，除在切割中切断切割线80上这点不同外，可与实施例1的弹性表面波装置10的制造方法相同地制作。

(实施例5)

下面参照图6说明本发明实施例5的弹性表面波装置6。在图6中凡与图3相同的要素附加相同的符号。本实施例弹性表面波装置130除在实施例3的弹性表面波装置100的外周部上用同一材料形成切割线80这一点外，形成和构成及其制造方法与实施例2相同。在本实施例中，使切割线的宽度在切割后也能确实作为在外周部上那样的宽度残留。

用于使梳形电极201、203与短路辅助电极6电连接的第二连接电极20的图形在该图形的中途设置阻抗高的区域不是优选的，所以希望例如沿着到达短路辅助电极6方向使其图形的宽度逐渐变细地形成。并且最好使该第二连接电极20的宽度比切割线80形成的宽。

这样设置切割线80，因为在切断后也能在外周部上形成为切割线80残留成的框状，所以即使相对在基片1状态的作业工序中的温度变动也是稳定的，并且可以简单地制造不会因相对作为单片安装到主基板上时的温度变动由放电引起的破坏和特性老化的优良的弹性表面波装置和用该装置的电子部件。

(实施例6)

下面参照图7说明本发明实施例6的弹性表面波装置。图7是本发明实施例6的弹性表面波装置140的电极图形构成的平面图。在图7中凡与图6相同的要素附加相同的符号。从图中不难看出，本实施例的弹性表面波装置140在实施例5的弹性表面波装置130中设置使切割线80与短路辅助电极6电连接的第三连接电极22的构成，通过用该弹性表面波装置140安装在主基板上制成电子部件的方法和其构造与实施例1相同。另外在本实施例中，使切割线80的宽度在切割后也能确实作为在外周部上的那样的宽度残留。

这样一来，因为通过使短路辅助电极6与冲压线80通过第三连接电极22电连接，即使在具有压电性的基板1上产生电荷，两端的梳形电极201、203、反射器电极3、短路辅助电极6和切割线80也共同电连接，所以因这些电极在全体上电位变化相等而使防止由电位差引起的放电的效果更大。

另外，只要使切割线80、短路辅助电极6、两端的梳形电极201、203和反射电极3电连接的电极图形是低阻抗，则即使是线状、带状也没关系，其根数也不受限制。

(实施例7)

下面参照图8说明本发明实施例7的弹性表面波装置。在图8中，凡与图6相同的要素附加相同的符号。从图中不难看出，本实施例的弹性表面波装置150仅使反射器电极3从短路辅助电极变为开路状态与实施例6的弹性表面波装置140不同，除此之外与弹性表面波装置140构成和制造方法相同。

按照这样的构成，因为即使在具有压电性的基片1上产生电荷也使两端的梳形电极201、203、短路辅助电极6和冲压线80共同电连接，所以即使梳形电极202和反射器电极3处在电开路的状态，也能实现使它们间的电位差变得很小且通过抑制放电发生而能用可靠性高的弹性表面波装置和用该装置的电子部件。

(实施例8)

下面参照图9说明本发明实施例8的弹性表面波装置。图9是表示本实施例弹性表面波装置160的电极图形的构成的平面图，凡与图4相同的要素附加相同的符号。从图中不难发现，本实施例的弹性表面波装置160在实施例3的弹性表面波装置110的外周部上设置切割线80这点是不同的，除此之外的构成和制造方法与实施例3相同。在本实施例中，使切割线的宽度在切割后也能确实作为在外周部上那样的宽度残留。

与在实施例3的弹性表面波装置110中说明的相同，按照本实施例的弹性表面波装置160，由蛇形线构成的反射电极19与梳形电极2电连接。因此反射器电极19和梳形电极2的信号在直流和低频带域变成导通状态，但在弹性表面波装置工作的高频带域因蛇形线的阻抗变高而基本上变成开路状态，所以对作为弹性表面波装置160的电特性没有影响。这是与实施例3的弹性表面波装置110相同。

按照本实施例的弹性表面波装置160，因为使由蛇形线构成的反射电极19与梳形电极2电连接，并设置与框状短路辅助电极6同样框状的切割线80，所以能使由具有压电性的基片1的热电性产生的电荷分别被各自的电极图形部均匀化，而使在各部分发生的电位差进一步变小。

另外，虽然在本实施例中，是使冲压线80和短路辅助电极6处在电开路状态，但本发明不限于此，也可以使短路用辅助电极6和冲压线80通过一根或多根连接电极电连接。

另外，虽然在从实施例1到实施例8中，是就把梳形电极和反射器电极作为一组构成设置一个或两个的场合说明的，但本发明不限于此，即使在更多级构成的场合也能获得同样的效果。

工业实用性

按照以上所述的本发明，通过在梳形电极和反射器电极的周围设置宽度随地点不同而不同的框状短路辅助电极能不仅使即便在制造弹性表面波装置时的以基片为单位的处理工序而即使在通过切割进行单片化后随温度变动由基片的热电性产生电位也能使电极图形间的电位差变小。结果因能防止发生放电，而能简单地制造没有破坏和特性老化等的高可靠性的弹性表面波装置和用该装置的电子部件。

Claims (38)

1.一种弹性表面波装置，其特征在于，包括：具有压电性的基片、形成在上述基片上的梳形电极、靠近由上述梳形电极发的表面波传送方向形成的反射器、和随着上述梳形电极和上述反射器电极的周围宽度随着地点不同而不同的框状短路辅助电极。

2.如权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于：在上述短路辅助电极的外周部上还设置切割线。

3.如权利要求1或2所述的弹性表面波装置，其特征在于：上述短路辅助电极大致均等地配置。

4.如权利要求1、2或3所述的弹性表面波装置，其特征在于：在上述框状的短路辅助电极的内周部设置与梳形电极连接的输入输出引出电极和连接在上述输入输出引出电极上的输入输出端子电极。

5.如权利要求4所述的弹性表面波装置，其特征在于：上述输入输出引出电极相对置地设置输入引出电极和输出引出电极，使输入引出电极与输出引出电极的面积大致相等。

6.如权利要求4所述的弹性表面波装置，其特征在于：上述输入输出端子电极在使与输入端子，与输出端子相对置设置的同时并使输入端子电极与输出端子电极的面积大致相等。

7.如权利要求1、3、4、5或6所述的弹性表面波装置，其特征在于：使上述反射器电极与短路辅助电极电连接。

8.如权利要求2、3、4、5或6所述的弹性表面波装置，其特征在于：使上述反射器电极与短路辅助电极电连接。

9.如权利要求7所述的弹性表面波装置，其特征在于：使上述反射电极与短路辅助电极通过一根以上的线状或带状的第一连接电极电连接。

10.如权利要求8所述的弹性表面波装置，其特征在于：使上述反射器电极与辅助短路电极通过一根以上的线状或带状的第一连接电极电连接。

11.如权利要求10所述的弹性表面波装置，其特征在于：上述第一连接电极的宽度至少比切割线的宽度大。

12.如权利要求1、2、3、4、5或6所述的弹性表面波装置，其特征在于：使上述梳形电极的一部分与短路辅助电极电连接。

13.如权利要求12所述的弹性表面波装置，其特征在于：上述梳形电极至少3对以上设置在规定的位置，上述多个梳形电极中的两侧的上述梳形电极互相连接并还与短路辅助电极电连接。

14.如权利要求12或13所述的弹性表面波装置，其特征在于：使上述梳形电极与短路辅助电极通过1根以上的线状或带状的第二连接电极电连接。

15.如权利要求2、3、4、5、6、10或11所述的弹性表面波装置，其特征在于：使上述切割线与短路辅助电极电连接。

16.如权利要求15所述的弹性表面波装置，其特征在于：使上述切割线与短路辅助电极通过1根以上的线状或带状的第三连接电极电连接。

17.如权利要求16所述的弹性表面波装置，其特征在于：使上述第三连接电极的宽度至少比切割线的宽度宽。

18.如权利要求1、2、3、4、5或6所述的弹性表面波装置，其特征在于：使上述反射器电极与短路辅助电极变成电开路的状态。

19.如权利要求1、2、3、4、5或6所述的弹性表面波装置，其特征在于：上述反射器电极具有蛇形线的构造由上述反射器电极的两端分别与梳形电极电连接的构成组成。

20.如权利要求1、2、3、4、5或6所述的弹性表面波装置，其特征在于：使上述短路辅助电极为接地电极。

21.如权利要求4、5或6所述的弹性表面波装置，其特征在于：从上述输入输出端子电极、输入输出引出电极、短路辅助电极中选择的至少一个最上层的电极膜用蒸镀方式形成。

22.如权利要求21所述的弹性表面波装置，其特征在于：上述最上层的电极膜是柔软的材质的材料。

23.如权利要求22所述的弹性表面波装置，其特征在于：上述最上层的电极膜使用铝或铝合金组成的材料。

24.如权利要求4、5或6所述的弹性表面波装置，其特征在于：至少上述梳形电极、反射器电极、输入输出端子电极、输入输出引出电极和短路辅助电极具有层叠一种或多种金属的构成。

25.一种弹性表面波装置的制造方法，其特征在于，包括：在具有压电性的基片上被覆金属膜的工序、图形加工工序和切断相邻的上述短路辅助电极的间隙工序，所述图形加工工序的图形包围通过蚀刻上述金属膜构成指状组合换能器的梳形电极、接近由上述指状组合换能器激励的表面波的传送方向形成的反射器电极、和至少上述梳形电极和上述反射器电极，所述图形加工工序形成多组宽度随着地点而不同的框状短路辅助电极。

26.如权利要求25所述的弹性表面波装置的制造方法，其特征在于：在上述金属薄膜的图形加工工序中，还包括：在短路辅助电极的外周部形成切割线的加工。

27.如权利要求25所述的弹性表面波装置的制造方法，其特征在于：在上述金属薄膜的图形加工工序中还包括：在框状的短路辅助电极的内周部设置与梳形电极电连接的输入输出引出电极，与上述输入输出引出电极相连的输入输出端子电极的加工。

28.如权利要求26所述的弹性表面波装置的制造方法，其特征在于：在上述金属薄膜的图形加工工序中，还包括：在框状的短路辅助电极的内周部上设置与梳形电极电连接的输入输出电极、与上述输入输出引出电极电连接的输入输出端子电极的加工。

29.如权利要求25或27所述的弹性表面波装置的制造方法，其特征在于：在上述金属薄膜的图形加工工序中，还包括：形成使短路辅助电极与反射器电极或短路辅助电极与梳形电极之间电连接的连接电极的加工。

30.如权利要求26或28所述的弹性表面波装置的制造方法，其特征在于：在上述金属薄膜的图形加工工序中，还包括：形成使短路辅助电极与反射器电极或短路辅助电极与梳形电极之间电连接的连接电极的连接电极的力工。

31.如权利要求26、28或30所述的弹性表面波装置的制造方法，其特征在于：在上述金属薄膜的图形加工工序中，还包括：形成使短路辅助电极与切割线电连接的连接电极的加工。

32.如权利要求27或28所述的弹性表面波装置的制造方法，其特征在于：从上述输入输出引出电极、输入输出端子电极和短路辅助电极中选择的至少一个用蒸镀方式形成最上层的电极膜。

33.如权利要求32所述的弹性表面波装置的制造方法，其特征在于：上述最上层的导电薄膜用柔软的材料。

34.如权利要求33所述的弹性表面波装置，其特征在于的制造方法：上述最上层的导体薄膜用铝或铝合金。

35.如权利要求25、26、27、28、29、30、31、32、33或34所述的弹性表面波装置的制造方法，其特征在于：上述金属薄膜通过层叠一种或多种金属形成。

36.一种电子部件，其特征在于：具有在箱状底部引出电极、与上述引出电极导通的端子电极的主基板、用于通过覆盖上述基板密封上述底基板的内部的盖体配置在上述主基板的箱状的底部上的弹性表面波装置、和使上述弹性表面波装置的输入输出端子电极与上述基板的上述引出电极电连接的连接构件组成上述弹性表面波装置是如权利要求1至24中任意一项所述的弹性表面波装置。

37.如权利要求36所述的电子部件，其特征在于：上述连接构件是铝或金组成的引线。

38.如权利要求36所述的电子部件，其特征在于：上述连接构件是形成在弹性表面波装置上的凸出部。

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