JP4183019B2 - 表面波センサ装置 - Google Patents
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Description
たとえば、下記の特許文献1には、液体中の物質を表面波を利用して検出する液中物質センサが開示されている。
ここでは、検出対象物質を含む溶液101に、液中物質検出センサ102が浸漬されている。液中物質検出センサ102は、表面波素子により構成されている。すなわち、液中物質検出センサ102は、矩形板状の圧電基板103と、圧電基板103一方面において所定距離を隔てて配置された入力側IDT電極104及び出力側IDT電極105とを有する。入力側IDT電極104と、出力側IDT電極105との間に、測定物質を吸着する膜106が配置されている。ここでは、入力側IDT電極104に交流電圧を印加すると、圧電基板103において、弾性表面波が励振される。該弾性表面波が出力側IDT電極105側に向かって伝搬する。そして、出力側IDT電極105においては、伝搬してきた表面波に基づく電気信号が取出される。膜106が検出対象物質を吸着するため、検出対象物質が存在すると、膜106による圧電基板103の表面への負荷が変化する。従って、伝搬する弾性表面波が変化するため、出力側IDT電極105から取出される出力が検出対象物質の存在により変化し、検出対象物質の有無や濃度を検出することができる。
加えて、液中物質検出センサ102では、弾性表面波が伝搬する領域以外で、すなわちIDT電極103,104に接続されている電極パッドやボンディングワイヤなど配置されている領域にも液体101が付着するため、電気的特性が変化し、検出精度が悪化するという問題もあった。
加えて、表面波が伝搬する領域以外であって、電極パッドやボンディングワイヤーなどが配置されている領域にも液体が付着するため、検出精度が十分でないという問題があった。
上記のように、特許文献2,3に記載の弾性表面波装置は、弾性表面波素子をベース基板上の電極と電気的に接続する構造の例を開示しているが、これらの弾性表面波装置は、液体中の物質を検出する用途に用いることはできない。
前記ベース基板の第1の主面から第2の主面に貫通するように設けられた第1のスルーホール導体と前記ベース基板の第2の主面において前記スルーホール導体に電気的に接続されるように設けられた端子電極と、前記ベース基板の第1の主面上において、前記スルーホール導体の端部に電気的に接続されるように配置された熱圧着性異方性導電シートと、前記熱圧着性異方性導電シートにより前記ベース基板に接着されている弾性表面波素子とを備え、前記弾性表面波素子は、対向し合う第1,第2の主面を有する圧電基板と、圧電基板の第1の主面に形成された少なくとも1つのIDTと、該IDTを被覆するように設けられた絶縁性保護膜と、前記IDTに電気的に接続されており、かつ前記圧電基板の第1の主面から第2の主面に至るように設けられた第2のスルーホール導体とを備え、第2のスルーホール導体が前記熱圧着性異方性導電シートにより前記ベース基板の第1のスルーホール導体に電気的に接続されるように、前記第1,第2のスルーホール導体が熱圧着性異方性導電シートを介して重なり合うように配置されていることを特徴とする、表面波センサ装置である。
本発明に係る表面波センサ装置の他の特定の局面では、前記弾性表面波素子が、特定の物質と反応して質量を増加させ、該質量増加分に応じた荷重を前記圧電基板に加える検出膜がさらに備えられている。
本発明に係る表面波センサ装置のさらに特定の局面では、1つのベース基板上に前記弾性表面波素子が複数実装されており、複数の弾性表面波素子の内少なくとも1つの弾性表面波素子において、前記検出膜が設けられており、残りの弾性表面波素子の内少なくとも1つの弾性表面波素子は前記検出膜を有していない。
本発明に係る表面波センサ装置がバイオセンサである場合、本発明のより限定的な局面では、前記検出膜に抗原または抗体が固定化されており、前記生化学物質が、抗体または抗原であり、前記生化学反応が免疫反応である。
本発明に係る表面波センサ装置において、ベース基板の第1の主面上において弾性表面波素子が取り付けられる領域を少なくとも除くようにベース基板の第1の主面に絶縁性材料部材が設けられている場合には、該絶縁性材料部材により、液体の弾性表面波素子の第2の主面側への侵入を抑制することができ、短絡等をより一層確実に防止することができる。
2…ベース基板
2a,2b…第1,第2の主面
5a,5b,5c,5d…第1のスルーホール導体
6a〜6d…端子電極
7,8,A…熱圧着性異方性導電シート
11…弾性表面波素子
12…圧電基板
12a,12b…第1,第2の主面
13,14…IDT
15a,15b…反射器
16a,16b…第2のスルーホール導体
16c,16d…第2のスルーホール導体
17…絶縁性保護膜
21…弾性表面波素子
22…圧電基板
22a,22b…第1,第2の主面
26a,26b…第2のスルーホール導体
27…絶縁性保護膜
28…検出膜
31a,31b…液体
32…液体
41…表面波センサ装置
42…枠体(絶縁材料層)
42a…開口
51…表面波センサ装置
57…検出膜
61〜63…弾性表面波素子
71…表面波センサ装置
72,73…検出膜
81…表面波センサ装置
82…ベース基板
82a,82b…第1,第2の主面
83a,83b…端子電極
図1(a)(b)は、本発明の第1の実施形態に係る表面波センサ装置の正面断面図及び該表面波センサ装置に用いられている弾性表面波素子の模式的平面図である。
ベース基板2は、第1の主面2aと、第1の主面2aに対向している第2の主面2bとを有する。そして、絶縁基板2上には、本実施形態では、複数の弾性表面波素子として第1,第2の弾性表面波素子11,12が実装されている。
図1(b)は、弾性表面波素子11の圧電基板12上に形成された電極構造を示す模式的平面図である。圧電基板12の第1の主面12a上には、複数のIDT13,14が配置されている。IDT13,14が設けられている領域の表面波伝搬方向両側に反射器15a,15bが配置されている。
弾性表面波素子11では、上記圧電基板12上のIDT13,14及び反射器15a,15bを被覆するように、絶縁保護膜17が形成されている。絶縁保護膜17は、液体試料によるIDT13,14などの短絡を防止するために設けられている。従って、絶縁保護膜17は、適宜の絶縁性材料で形成され得るが、好ましくは耐水性に優れた絶縁材料により形成されることが望ましい。このような絶縁保護膜17を構成する材料としては、SiO2、SiN、ポリイミド、AlN、Al2O3などを挙げることができる。
図1(a)に示すように、第2の弾性表面波素子12もまた、第1の弾性表面波素子11と同様にしてベース基板2に実装されている。すなわち、弾性表面波素子12の下方には、端子電極6a,6bと同様にして形成された端子電極6c,6dが配置されており、かつ端子電極6c,6dに電気的に接続されるように、第1のスルーホール導体5c,5dが設けられている。そして、弾性表面波素子21の圧電基板は、弾性表面波素子11と同様に構成されている。従って、圧電基板22には、第2のスルーホール導体26a、26bが設けられており、第2のスルーホール導体26a,26bが熱圧着性異方性導電シート8により第1のスルーホール導体5c,5dに電気的に接続されている。もっとも、第2の弾性表面波素子21では、絶縁性保護膜27を覆うように検出膜28が設けられている。検出膜28が設けられていることを除いては、弾性表面波素子21は、弾性表面波素子11と同様に構成されている。
他方、弾性表面波素子11においては、検出膜が設けられていないため、液体31a中の抗体または抗原は免疫反応により結合されることはない。
さらに、予め、既知濃度の抗体または抗原を含む標準液体試料を用いて検量線を作成しておけば、液体31b中に存在していた抗体または抗原の量すなわち液体31bにおける抗体または抗原の濃度をも定量することができる。
よって、液体中の検出物質の有無及び検出物の定量を高精度に行うことができ、測定の信頼性を大幅に高め得る。
なお、図5では、絶縁性材料からなる枠体42を弾性表面波素子の周囲に配置したが、本発明においては、枠体に限らず、弾性表面波素子がベース基板の第1の主面上において取り付けられる領域を少なくとも除くように、ベース基板の第1の主面上に、絶縁性材料部材を設けることが望ましく、このような絶縁性材料部材としては、上記のような枠体42に限らず、絶縁膜を形成してもよい。いずれにしても、弾性表面波素子が取り付けられている領域外への液体の漏洩を上記絶縁性部分により防止することができ、所望でない短絡を防止することができる。
さらに、生化学反応以外の、化学反応により液体試料中の検出物質が検出膜に結合されて検出膜の質量が増加する用途にも本発明を適用することができる。その場合には、検出膜28として、液体試料中の化学物質と反応する化学物質を結合もしくは含有させておけばよい。
表面波センサ装置81は、ベース基板82を有する。ベース基板82には、第1のスルーホール導体が設けられていない。ベース基板82は、第1の主面82aと、第1の主面82aに対向している第2の主面82bとを有する。そして、第1の主面82a上に、図1に示した実施形態と同様に、第1,第2の弾性表面波素子が実装されている。もっとも、図8では、第2の表面波素子21が配置されている部分のみが示されている。
Claims (10)
- 対向し合う第1,第2の主面を有するベース基板と、
前記ベース基板の第1の主面から第2の主面に貫通するように設けられた第1のスルーホール導体と
前記ベース基板の第2の主面において前記第1のスルーホール導体に電気的に接続されるように設けられた端子電極と、
前記ベース基板の第1の主面上において、前記スルーホール導体の端部に電気的に接続されるように配置された熱圧着性異方性導電シートと、
前記熱圧着性異方性導電シートにより前記ベース基板に接着されている弾性表面波素子とを備え、
前記弾性表面波素子は、対向し合う第1,第2の主面を有する圧電基板と、圧電基板の第1の主面に形成された少なくとも1つのIDTと、該IDTを被覆するように設けられた絶縁性保護膜と、前記IDTに電気的に接続されており、かつ前記圧電基板の第1の主面から第2の主面に至るように設けられた第2のスルーホール導体とを備え、
第2のスルーホール導体が前記熱圧着性異方性導電シートにより前記ベース基板の第1のスルーホール導体に電気的に接続されるように、前記第1,第2のスルーホール導体が熱圧着性異方性導電シートを介して重なり合うように配置されていることを特徴とする、表面波センサ装置。 - 対向し合う第1,第2の主面を有するベース基板と、
前記ベース基板の第1の主面に設けられた端子電極と、
前記ベース基板の第1の主面上において、前記端子電極に電気的に接続されるように配置された熱圧着性異方性導電シートと、
前記熱圧着性異方性導電シートにより前記ベース基板に接着されている弾性表面波素子とを備え、
前記弾性表面波素子は、対向し合う第1,第2の主面を有する圧電基板と、圧電基板の第1の主面に形成された少なくとも1つのIDTと、該IDTを被覆するように設けられた絶縁性保護膜と、前記IDTに電気的に接続されており、かつ前記圧電基板の第1の面から第2の面に至るように設けられたスルーホール導体とを備え、
前記スルーホール導体が前記熱圧着性異方性導電シートにより、前記ベース基板の前記端子電極に電気的に接続されるように、前記スルーホール導体と端子電極とが熱圧着性異方性導電シートを介して重なり合うように配置されていることを特徴とする、表面波センサ装置。 - 前記ベース基板の第1の主面上において、前記弾性表面波素子が取り付けられる領域を少なくとも除くように前記ベース基板の第1の主面に設けられた絶縁性材料部材をさらに備えることを特徴とする、請求項1または2に記載の表面波センサ装置。
- 前記弾性表面波素子が、特定の物質と反応して質量を増加させ、該質量増加分に応じた荷重を前記圧電基板に加える検出膜をさらに備える、請求項1〜3のいずれか1項に記載の表面波センサ装置。
- 前記絶縁性保護膜が、前記検出膜を兼ねている、請求項4に記載の表面波センサ装置。
- 前記絶縁性保護膜上に、前記検出膜が積層されている、請求項4に記載の表面波センサ装置。
- 1つのベース基板上に前記弾性表面波素子が複数実装されており、
複数の弾性表面波素子の内少なくとも1つの弾性表面波素子において、前記検出膜が設けられており、残りの弾性表面波素子の内少なくとも1つの弾性表面波素子が前記検出膜を有しないことを特徴とする、請求項4〜6のいずれか1項に記載の表面波センサ装置。 - 1つのベース基板上に前記弾性表面波素子が複数実装されており、複数の弾性表面波素子がそれぞれ前記検出膜を有し、少なくとも1つの弾性表面波素子の検出膜が、他の弾性表面波素子の検出膜と異なる物質に対して反応する検出膜である、請求項4〜6のいずれか1項に記載の表面波センサ装置。
- 前記検出膜が、生化学物質と生化学反応により反応して質量を増加させる検出膜であり、それによってバイオセンサが構成されている、請求項4〜8のいずれか1項に記載の表面波センサ装置。
- 前記検出膜に抗原または抗体が固定化されており、前記生化学物質が、抗体または抗原であり、前記生化学反応が免疫反応である、請求項9に記載の表面波センサ装置。
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