JP4111157B2 - 圧力センサ - Google Patents
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Description
請求項4に記載のように、請求項1に記載の圧力センサにおいて圧力センサチップのパッドおよび接続端子の露出部が異方性導電性接着剤を介して配線と電気的に接続されるとともに、この異方性導電性接着剤を介して電気的に接続した部分が樹脂材で封止され、これにより環境(雰囲気)からの腐食を防止することができる。また、接続端子と圧力センサチップのパッドとが配線基板にて接続されるので、ボンディングワイヤを用いずに電気的に接続することができ小型化できる。
請求項6に記載のように、請求項1〜5のいずれか1項に記載の圧力センサにおいてpH4以下の結露水に曝される環境下で使用されるものであると、より効果が発揮される。
以下、本発明を具体化した第1の実施の形態を図面に従って説明する。
図1には、本実施形態における圧力センサの縦断面図を示す。本圧力センサは車載エンジンの排気系部品に設けられ、排気ガスの圧力を検出するセンサである。つまり、圧力検出対象の流体(圧力媒体)がエンジンの排気ガスである。より具体的には、例えば、排気ガス再循環装置(EGR)における排気ガス再循環経路での圧力測定のために用いられる。
図1における凹部2内での平面図(図1のA矢視図)を図2に示す。図2におけるA−A線での縦断面を図3に示す。
図6において各接続端子20a〜20dは、りん青銅製ピン21の表面に金(Au)メッキ層22を形成したものである。この接続端子20a〜20dの一部がベースプレート1の上面に露出している。
一方、図4(a),(b)において、配線基板30は四角板状をなしている。配線基板30は樹脂製シート31と配線(導体パターン)32a,32b,32c,32dからなり、樹脂製シート31にて配線32a〜32dがモールドされている。樹脂製シート31は熱可塑性樹脂製シートであり、その材料として、例えばPEEK(ポリエーテルエーテルケトン)、PEI(ポリエーテルイミド)、PPS(ポリフェニレンスルフィド)、PBT(ポリブチレンテレフタレート)、PET(ポリエチレンテレフタレート)、PEN(ポリエチレンナフタレート)、LCP(液晶ポリマー)、またはそれらの混合物を挙げることができる。樹脂製シート31は電気絶縁性を有する。配線32a,32b,32c,32dの材料は銅である。
図4(a),(b)に示す配線基板30が、図5,6に示す圧力センサチップ10上およびベースプレート1上に配置され、これらの部材に樹脂製シート31が熱圧着されて図2,3の構造となっている。
図7において、圧力センサチップのパッド上のNi−Au積層電極と、配線基板の配線でのCuメッキ層との間が金属接合部(半田)にて接合されていることが確認できた。
(1)樹脂製シート31で、パターニングした配線32a〜32dを封止した配線基板30を備え、この配線基板30の配線32a〜32dと圧力センサチップ10のパッド14、および、配線基板30の配線32a〜32dと接続端子20a〜20dの露出部を、それぞれ接合するとともに、これら各接合部を配線基板30の樹脂製シート31で封止した。よって、圧力センサチップ10のパッド14および接続端子20a〜20dの露出部が配線32a〜32dと接合され、この接合部(電気的接続部)が樹脂製シート31で封止され、これにより環境(雰囲気)からの腐食を防止することができる。また、圧力センサチップ10のパッド14と接続端子20a〜20dとが配線基板30にて接続されるので、ボンディングワイヤを用いずに電気的に接続することができ小型化できる。その結果、耐食性に優れるとともに小型化を図ることができる圧力センサを提供することができる。
(第2の実施の形態)
次に、第2の実施の形態を、第1の実施の形態との相違点を中心に説明する。
(第3の実施の形態)
次に、第3の実施の形態を、第1の実施の形態との相違点を中心に説明する。
配線基板30の配線32a,32b,32c,32dと圧力センサチップ10のパッド14とが異方性導電性接着剤40を介して電気的に接続されている。また、配線基板30の配線32a〜32dと接続端子20a〜20dの露出部とが異方性導電性接着剤41を介して電気的に接続されている。さらに、この異方性導電性接着剤40,41を介して電気的に接続した部分が樹脂製シート31で封止されている。
Claims (6)
- ベース部材(1)と、
前記ベース部材(1)に搭載され、ダイアフラム(12)およびパッド(14)を有する圧力センサチップ(10)と、
前記ベース部材(1)に、一部が露出する状態で埋設された接続端子(20a,20b,20c,20d)と、
パターニングした配線(32a,32b,32c,32d)を樹脂材(31)で封止してなる配線基板(30)と、
を備え、
前記樹脂材(31)は、熱可塑性樹脂であり、
前記配線基板(30)は、前記配線(32a,32b,32c,32d)と前記圧力センサチップ(10)のパッド(14)、および、前記配線(32a,32b,32c,32d)と前記接続端子(20a,20b,20c,20d)の露出部を接合するためのビアホール(34,35)を具備するとともに、前記ビアホール(34,35)により前記配線(32a,32b,32c,32d)の一部が露出するように構成され、
前記ビアホール(34,35)を設けた部位にて対向して配置される、前記配線基板(30)の配線(32a,32b,32c,32d)と前記圧力センサチップ(10)のパッド(14)、および、前記配線基板(30)の配線(32a,32b,32c,32d)と前記接続端子(20a,20b,20c,20d)の露出部を、それぞれ接合するとともに、
前記配線基板(30)の樹脂材(31)を前記圧力センサチップ(10)およびベース部材(1)に熱圧着することにより、各接合部を前記配線基板(30)の樹脂材(31)で封止したことを特徴とする圧力センサ。 - ベース部材(1)と、
前記ベース部材(1)に搭載され、ダイアフラム(12)およびパッド(14)を有する圧力センサチップ(10)と、
前記ベース部材(1)に、一部が露出する状態で埋設された接続端子(20a,20b,20c,20d)と、
パターニングした配線(32a,32b,32c,32d)を樹脂材(31)で封止してなる配線基板(30)と、
を備え、
前記配線基板(30)は、前記配線(32a,32b,32c,32d)と前記圧力センサチップ(10)のパッド(14)、および、前記配線(32a,32b,32c,32d)と前記接続端子(20a,20b,20c,20d)の露出部を接合するためのビアホール(34,35)を具備するとともに、前記ビアホール(34,35)により前記配線(32a,32b,32c,32d)の一部が露出するように構成され、
前記ビアホール(34,35)を設けた部位にて対向して配置される、前記配線基板(30)の配線(32a,32b,32c,32d)と前記圧力センサチップ(10)のパッド(14)、および、前記配線基板(30)の配線(32a,32b,32c,32d)と前記接続端子(20a,20b,20c,20d)の露出部を、それぞれ接合するとともに、
絶縁性接着剤(39)を介して前記配線基板(30)の樹脂材(31)を前記圧力センサチップ(10)およびベース部材(1)に接着することにより、これら各接合部を前記配線基板(30)の樹脂材(31)で封止したことを特徴とする圧力センサ。 - 前記絶縁性接着剤(39)がエポキシ系もしくはポリオレフィン系であることを特徴とする請求項2に記載の圧力センサ。
- 前記配線基板(30)の配線(32a,32b,32c,32d)と前記圧力センサチップ(10)のパッド(14)、および、前記配線基板(30)の配線(32a,32b,32c,32d)と前記接続端子(20a,20b,20c,20d)の露出部を、それぞれ異方性導電性接着剤(40,41)を介して電気的に接続するとともに、これら異方性導電性接着剤(40,41)を介して電気的に接続した部分を前記配線基板(30)の樹脂材(31)で封止したことを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 圧力検出対象の流体はエンジンの排気ガスであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の圧力センサ。
- pH4以下の結露水に曝される環境下で使用されることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の圧力センサ。
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