JP2003115745A - 弾性表面波装置およびその製造方法とこれを用いた電子部品 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来のようにダイシングラインの内側にイン
ターデジタル電極やグレーティング反射器電極の周囲を
囲む金属薄膜の短絡細線を設け、これらの金属薄膜の短
絡細線とインターデジタル電極とを電気的に接続する複
数の細線を配設する構成では、線間のインピーダンスが
高くなるため、発生した電荷を十分に均一化することが
できず、電極間で静電気放電が発生し、電極が破損した
り電気特性が劣化したりするという課題を有していた。 【解決手段】 櫛型電極２および反射器電極３の周囲を
互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助
電極６ａ，６ｂで囲んだという構成を有しており、これ
により圧電性を有する基板１の焦電性により発生した電
荷を効率よく電気的に均一化できるという作用効果が得
られる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は通信機器に用いられ
る弾性表面波装置およびその製造方法とこれを用いた電
子部品に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来弾性表面波装置は、圧電性を有する
基板上の全面に金属薄膜を形成し、その上にレジストを
塗布し、露光、現像後、エッチングすることにより所望
のインターデジタル電極（Ｉｎｔｅｒ Ｄｉｇｉｔａｌ
Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）、グレーティング反射器電極
（Ｇｒａｔｉｎｇ Ｒｅｆｌｅｃｔｏｒ）、それらの周
囲を囲むダイシングラインおよびこれらを接続する細線
など所望の電極パターンを形成し、ダイシングライン上
を切断して個片の弾性表面波装置を製造している。

【０００３】この方法では、一旦圧電性を有する基板か
ら切り離された弾性表面波装置は、インターデジタル電
極やグレーティング反射器電極が電気的に分離されるた
め、弾性表面波装置に熱や歪みが加わると圧電性を有す
る基板の持つ焦電効果により電荷が発生し、各電極間の
電荷が不均一になると対向するインターデジタル電極間
やグレーティング反射器電極間およびインターデジタル
電極とグレーティング反射器電極の電極間で放電するこ
とにより電極が破損したり、弾性表面波装置の特性が劣
化したりする。

【０００４】一方この問題を解決する手段として特開平
１１−２９８２８９号公報に記載の方法が知られてい
る。すなわち、ダイシングラインの内側にインターデジ
タル電極やグレーティング反射器電極の周囲を囲む金属
薄膜の短絡細線を設け、これらの金属薄膜の短絡細線と
インターデジタル電極とを電気的に接続する複数の細線
を配設することにより、発生した電荷を電気的に均一化
し、静電気放電による破損および電気特性の劣化を防止
する構成が用いられていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ようにダイシングラインの内側にインターデジタル電極
やグレーティング反射器電極の周囲を囲む金属薄膜の短
絡細線を設け、これらの金属薄膜の短絡細線とインター
デジタル電極とを電気的に接続する複数の細線を配設す
る構成では、発生する電荷が大きい場合や、電極間距離
が狭い場合、接続された電極間が離れている場合や、金
属薄膜の短絡細線とインターデジタル電極とを接続した
線が細い場合や、接続した線がミアンダラインや線の一
部が他の部分よりも細い場合などには、線間のインピー
ダンスが高くなるため、発生した電荷を十分に中和、均
一化することができず、電極間で静電気放電が発生し、
電極が破損したり電気特性が劣化したりするという課題
を有していた。

【０００６】本発明は上記の課題を解決するものであ
り、圧電性を有する基板に歪みや熱処理によって発生し
た電荷を効率よく均一化するとともに、個片の弾性表面
波装置に分離した後でも電位を均一化し、電極が破損し
たり電気特性が劣化したりするのを防止する弾性表面波
装置およびその製造方法とこれを用いた電子部品を提供
することを目的とするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は以下の構成を有するものである。

【０００８】本発明の請求項１に記載の発明は、櫛型電
極および反射器電極の周囲に互いに電気的に独立し場所
により幅が異なる複数の補助電極を設けた弾性表面波装
置という構成を有しており、これにより熱処理などで発
生した電荷を効率よく電気的に均一化できるため、発生
した電位の場所による不均一性を低減し静電気放電など
による素子の破壊をなくすことができるという作用効果
が得られる。

【０００９】本発明の請求項２に記載の発明は、互いに
電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極は
グランド電極として用いるという構成を有しており、こ
れにより弾性表面波装置を実装した基板などのグランド
と接続することによりより広い面積の電気的に均一化し
たグランドを得ることができるため、発生した電位の場
所による不均一性を低減し静電気放電などによる素子の
破壊をなくすことができるという作用効果が得られる。

【００１０】本発明の請求項３に記載の発明は、互いに
電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極は
略均等に配置したという構成を有しており、これにより
各部発生する電荷を略等しく電気的に均一化することが
できるため、発生した電位の場所による不均一性を低減
し静電気放電などによる素子の破壊をなくすことができ
るという作用効果が得られる。

【００１１】本発明の請求項４に記載の発明は、櫛型電
極に接続して帯状の入力端子引き出し電極と出力端子引
き出し電極を設けると共に、入力端子引き出し電極と出
力端子引き出し電極に接続して入力端子電極と出力端子
電極を設けたという構成を有しており、これにより入力
端子引き出し電極、出力端子引き出し電極および入力端
子電極、出力端子電極で発生した電荷を均一化すること
ができるため、発生した電位の場所による不均一性を低
減し静電気放電などによる素子の破壊をなくすことがで
きるという作用効果が得られる。

【００１２】本発明の請求項５に記載の発明は、帯状の
入力端子引き出し電極と出力端子引き出し電極および入
力端子電極と出力端子電極は相対向して設け、それらの
面積は略等しくしたという構成を有しており、これによ
り入力端子引き出し電極部および出力端子引き出し電極
部で発生した電荷を略等しくし電気的に均一化すること
ができるため、発生した電位の不均一性を低減し静電気
放電などによる素子の破壊をなくすことができるという
作用効果が得られる。

【００１３】本発明の請求項６に記載の発明は、少なく
とも反射器電極の一部と、互いに電気的に独立し場所に
より幅が異なる複数の補助電極を電気的に接続したとい
う構成を有しており、これにより反射器電極に発生した
電荷を互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数
の補助電極を通して全体に均一化できるため、発生した
電位の場所による不均一性を低減し静電気放電などによ
る素子の破壊をなくすことができるという作用効果が得
られる。

【００１４】本発明の請求項７に記載の発明は、反射器
電極と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数
の補助電極を、複数の線または帯状の電極で電気的に接
続したという構成を有しており、これにより発生した電
荷を効率よく均一化できるため、発生した電位の場所に
よる不均一性を低減し静電気放電などによる素子の破壊
をなくすことができるという作用効果が得られる。

【００１５】本発明の請求項８に記載の発明は、反射器
電極と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数
の補助電極を電気的に開放状態にしたという構成を有し
ており、これにより互いに電気的に独立し場所により幅
が異なる複数の補助電極が電位変位の影響を受けにくく
なるため、発生した電位の場所による不均一性を低減し
静電気放電などによる素子の破壊をなくすことができる
という作用効果が得られる。

【００１６】本発明の請求項９に記載の発明は、反射器
電極をミアンダラインで構成し、前記反射器電極と櫛型
電極を電気的に接続したという構成を有しており、これ
により反射器電極と櫛型電極を等電位にすることができ
るため、発生した電位の場所による不均一性を低減し静
電気放電などによる素子の破壊をなくすことができると
いう作用効果が得られる。

【００１７】本発明の請求項１０に記載の発明は、圧電
性を有する基板上に櫛型電極と、反射器電極と、櫛型電
極および反射器電極の周囲に互いに電気的に独立し場所
により幅が異なる複数の補助電極と、入力端子電極およ
び入力端子引き出し電極と、出力端子電極および出力端
子引き出し電極を少なくとも一組設ける工程と、隣接す
る補助電極の間を切断する工程を含むという方法であ
り、これにより圧電性を有する基板上に発生した電位を
均一にすることができるため、発生した電位の場所によ
る不均一性を低減し静電気放電などによる素子の破壊を
なくすことができるという作用効果が得られる。

【００１８】本発明の請求項１１に記載の発明は、入力
端子電極と出力端子電極および複数の前記補助電極は少
なくとも最上層の電極を蒸着で形成するという方法であ
り、これにより外部端子との接続状態を安定化できると
いう作用効果が得られる。

【００１９】本発明の請求項１２に記載の発明は、最上
層の電極は柔らかい材質であるという方法であり、これ
により外部端子との接続状態を安定化できるという作用
効果が得られる。

【００２０】本発明の請求項１３に記載の発明は、柔ら
かい材質はアルミニウムまたはアルミニウム合金である
という方法であり、これにより外部端子との接続状態を
安定化できるという作用効果が得られる。

【００２１】本発明の請求項１４に記載の発明は、櫛型
電極と、反射器電極と、入力端子電極および入力端子引
き出し電極と、出力端子電極および出力端子引き出し電
極と、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数
の補助電極は、１種類または複数種類の金属を重ねたも
のであるという方法であり、これにより発生した電荷に
対する耐電力を向上させることができるという作用効果
が得られる。

【００２２】本発明の請求項１５に記載の発明は、櫛型
電極および反射器電極の周囲に互いに電気的に独立し場
所により幅が異なる複数の補助電極と、櫛型電極に接続
した帯状の入力端子引き出し電極および入力端子電極と
出力端子引き出し電極および出力端子電極を設け、電気
的に接続すると共にベース部材に配設し、封止した電子
部品という構成を有しており、これにより静電気放電な
どによる素子の損傷がなく、また特性劣化の少ない安定
した電子部品が得られるという作用効果が得られる。

【００２３】

【発明の実施の形態】（実施の形態１）以下に本発明の
実施の形態１を用いて、本発明の請求項１〜５、８，１
０〜１５について説明する。

【００２４】図１（ａ）は本発明の実施の形態１におけ
る弾性表面波装置の電極パターンの構成を示す平面図、
図１（ｂ）は図１（ａ）の電極パターンをウエハ上に複
数個形成した構成を示す平面図である。また、図２は弾
性表面波装置をパッケージなどに封止した電子部品の断
面図である。

【００２５】１は圧電性を有する基板、２は櫛型電極、
３は反射器電極、４ａは入力端子引き出し電極、４ｂは
入力端子電極、５ａは出力端子引き出し電極、５ｂは出
力端子電極、６ａ，６ｂは互いに電気的に独立し場所に
より幅が異なる補助電極、７はバンプ、８は互いに電気
的に独立し場所により幅が異なる補助電極６ａ，６ｂの
間、１０は弾性表面波装置、１８は帯状の電極である。

【００２６】なお、図１、図２は本実施の形態１の構成
を模式的に示したものであり、それぞれの寸法の相対的
な関係を示したものではない。

【００２７】圧電性を有する物質は熱が加わるか、また
は歪みが加わると焦電性により電荷が発生し、場所によ
り電荷に差異が生じると電位差が発生し、静電気放電な
どを引き起こしデバイスの破壊や電気特性の劣化が起こ
る。

【００２８】これを防止するためには、発生した電位差
をできるだけ早く、同じ電位にすることが有効である。

【００２９】本発明では、発生した電位をできるだけ等
しくし、弾性表面波装置１０の中で電位のバランスを取
るためには、弾性表面波装置１０の回路パターンの中に
低インピーダンスの部分をできるだけ広く設けることが
有効であることを見出したものである。

【００３０】すなわち本発明の弾性表面波装置１０の電
極パターンは、圧電性を有する基板１上に櫛型電極２
と、この櫛型電極２より発生する表面波の伝搬方向に近
接して櫛型電極２の両側に反射器電極３を配置し、櫛型
電極２および反射器電極３の周囲を互いに電気的に独立
し場所により幅が異なる複数の補助電極６ａ，６ｂで囲
んでいる。

【００３１】ここで、互いに電気的に独立し場所により
幅が異なる複数の補助電極６ａ，６ｂは弾性表面波装置
１０が実装された基板などの外部回路のグランドに接続
されており、個片の弾性表面波装置１０の中で、互いに
電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極６
ａ，６ｂは略均等例えば略点対称や略面対称、略線対称
などのように弾性表面波装置１０の中で偏りが少なくな
るように配置するとともに、櫛型電極２に接続した帯状
の入力端子引き出し電極４ａ、入力端子電極４ｂ、帯状
の出力端子引き出し電極５ａ、出力端子電極５ｂを設け
るとともに、相対向する帯状の入力端子引き出し電極４
ａと出力端子引き出し電極５ａ、入力端子電極４ｂと出
力端子電極５ｂの面積を略等しくし、反射器電極３と互
いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電
極６ａ，６ｂを電気的に開放状態にし、櫛型電極２間は
帯状の電極で接続した電極構成にしている。

【００３２】なお、帯状の入力端子引き出し電極４ａお
よび帯状の出力端子引き出し電極５ａはそれらに接続し
て入力端子電極４ｂおよび出力端子電極５ｂを設けた構
成になっている。

【００３３】また、入力端子引き出し電極４ａと出力端
子引き出し電極５ａおよび入力端子電極４ｂと出力端子
電極５ｂは相対向し、それらの面積は略等しくすること
により発生する電荷のバランスをとり易くなるため電位
を均一にするのに有効であるが、電極パターン配置の関
係で例えばこれらの電極を相対向して設けられない場合
は、略線対称、略点対称などの方法によりできるだけ均
等に配置することにより相対向した場合と同様の効果が
得られる。

【００３４】互いに電気的に独立し場所により幅が異な
る複数の補助電極６ａ，６ｂはインピーダンスをできる
だけ小さくし、電位を均一にするために回路設計上可能
な範囲で電極の幅を広くしたもので、場所によって幅が
異なり、面積的に広がりを持つ点で細線とは明らかに異
なるものである。

【００３５】このように、櫛型電極２および反射器電極
３の周囲を互いに電気的に独立し場所により幅が異なる
複数の補助電極６ａ，６ｂで囲むことにより、細線に比
べ線幅が広く、線間、面内のインピーダンスを小さくで
きるため、圧電性を有する基板１の焦電性によって発生
した電荷が貯まって生じる電位を早く、均一にすること
ができるとともに、細線に比べより広い領域の電位を均
一にすることができ、電位的に安定した弾性表面波装置
１０を得ることが可能となる。

【００３６】また、互いに電気的に独立し場所により幅
が異なる複数の補助電極６ａ，６ｂを弾性表面波装置１
０が実装された基板などの外部回路のグランドに接続
し、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の
補助電極６ａ，６ｂを弾性表面波装置１０のグランド電
極として用いることにより、より大きい外部回路のグラ
ンドと電気的に共通したグランドにすることができるた
め、電位の変化をより早く、より均一にすることができ
るため圧電性を有する基板１の焦電性によって発生した
電荷の影響を小さくすることができる。

【００３７】弾性表面波装置１０が電位差を発生する原
因は弾性表面波装置１０に熱が加わったり、歪みが加わ
ることにより圧電性を有する基板１の持つ焦電性から電
荷が発生するものであり、通常の製造状態では局部的に
電荷が発生するのではなく、弾性表面波装置全体から電
荷が発生する。

【００３８】ところで一般的に弾性表面波装置の中で最
も面積が広いのはバンプなどと接続される入出力電極部
であり、この部分から最も電荷が発生し易い。

【００３９】なお、図１（ａ）、図１（ｂ）は弾性表面
波装置の構成を模式的に示したものであり、構成部材の
大きさの相対的な関係を示すものではない。従って、櫛
型電極２、反射器電極３などの機能部を取り囲み、入出
力端子電極部を中心とする部位にできるだけ広い面積の
共通電極部を設けることにより、発生した電荷を効率よ
く均一化し電位を等しくすることができ、静電気放電な
どの発生を抑制することができる。

【００４０】また、静電気放電によるデバイスの損傷を
防止する方法としては、例えば隣接する電極間に予め電
極間隔の狭い部分を設けておき、ある程度電荷が貯まる
とデバイスを損傷させない範囲で部分的に静電気放電さ
せる方法と、静電気の原因になる電位の不均一性自体を
抑制する方法がある。

【００４１】部分的に静電気放電させる方法では電荷が
貯まる度に放電を繰り返すことになり安定した状態を得
にくいが、できるだけ広い面積の共通電極部を設けるこ
とにより圧電性を有する基板１から発生する電荷が局部
的に不均一にならず等電位にすることにより静電気放電
の原因を恒久的に除去することができる。

【００４２】従って、静電気放電を抑制するには、電極
間隔を制御して故意に静電気放電を発生させる方法より
も、櫛型電極２や反射器電極３と互いに電気的に独立し
場所により幅が異なる複数の補助電極６ａ，６ｂにより
等電位の部分を広くするためにできるだけ広い面積の共
通電極部を設けて静電気放電が起こらないようにするこ
との方が有効である。

【００４３】このようなことから互いに電気的に独立し
場所により幅が異なる複数の補助電極６ａ，６ｂの分割
数は本来少ない方が望ましいが、外部端子配置などとの
関係で電極を分割しなければならない場合でも、本発明
の構成を用いれば発生した電荷を効率よく均一化し静電
気放電などの発生を抑制することができる。

【００４４】また、予め弾性表面波装置１０の中で、帯
状の入力端子引き出し電極４ａと出力端子引き出し電極
５ａ、入力端子電極４ｂと出力端子電極５ｂの面積を略
等しくしたり、また互いに電気的に独立し面状で短絡し
た補助電極６ａ，６ｂを全体にバランス良く均等に配置
して設けることにより、局部的に大きな電荷が貯まる場
所をなくすことができるため、電位をより均一にするこ
とができる。

【００４５】このように、互いに電気的に独立し場所に
より幅が異なる補助電極６ａ，６ｂを全体にバランス良
く均等に配置して設けたことにより、例えば反射器電極
３が互いに電気的に独立し場所により幅が異なる補助電
極６ａ，６ｂと電気的に開放された状態であっても、反
射器電極３に発生する電荷を均一化できるため、局部的
な電位の差異を生じることが無く、デバイスの破壊や電
気特性の劣化を起こらなくすることができる。

【００４６】なお、櫛型電極２および／または反射器電
極３は複数組設けたものであっても、同様の効果を得る
ことができる。

【００４７】本発明の弾性表面波装置は以下のようにし
て製造する。

【００４８】ＬｉＴａＯ₃などからなる圧電性を有する
基板１上に、スパッタリング装置を用いて（図示せず）
Ｔｉの金属薄膜を形成し、その上にＡｌ−Ｓｃ−Ｃｕ，
Ｔｉの金属薄膜をスパッタリング装置（図示せず）を用
いて重ねて形成する。さらに入力端子引き出し電極４ａ
および出力端子引き出し電極５ａの上に蒸着装置（図示
せず）を用いてＡｌの金属薄膜を形成する。

【００４９】ここで、スパッタリングで形成する金属薄
膜の材質はＡｌ−Ｓｃ−Ｃｕ，Ｔｉ以外に目的に応じて
その他の金属又は合金を用いてもかまわないし、また金
属薄膜は１層以上であれば目的に応じて何層積層しても
かまわないし、積層する順序は目的に応じて変更しても
かまわない。

【００５０】次に金属薄膜の上にレジストを塗布し、所
望のフォトマスクを合わせ、ステッパー装置（図示せ
ず）などを用いて露光する。次に、現像装置（図示せ
ず）を用いて露光された部分のレジストを現像して不要
部分のレジストを除去する。さらに、ドライエッチング
装置（図示せず）などを用いて金属薄膜に所望の電極パ
ターンを形成する。

【００５１】次に残ったレジストを除去した後、電極パ
ターン上に再度レジストを塗布し、所望のフォトマスク
を合わせ、ステッパー装置（図示せず）などを用いて露
光する。次に、現像装置（図示せず）を用いて露光され
た部分のレジストを現像して不要部分のレジストを除去
する。その後、蒸着装置（図示せず）を用いてＡｌなど
の金属薄膜を形成し、入力端子電極４ｂおよび出力端子
電極５ｂの上にＡｌの蒸着膜を形成し、残ったレジスト
を除去する。

【００５２】なお、所望の電極パターンを形成する方法
としては、これ以外の方法例えば所望の金属薄膜層を先
に形成した後、ドライエッチング装置（図示せず）など
を用いて金属薄膜に所望の電極パターンを一度に形成し
てもかまわない。

【００５３】次にダイシング装置（図示せず）などを用
いてダイシングライン８上を切断し、個片の弾性表面波
装置１０を得る。

【００５４】なお、本実施の形態１で用いた電極パター
ンでは、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる補
助電極６ａ，６ｂの幅は、弾性表面波装置１０の動作周
波数の波長をλとした場合λ／４〜１００λの範囲の幅
を有していたが、幅の大きさはこれら以外の範囲のもの
でもかまわない。

【００５５】次にこうして得られた弾性表面波装置１０
を用いて電子部品を組み立てる。

【００５６】図２に弾性表面波装置１０を用いた電子部
品の断面図を示す。

【００５７】９はベース部材、１０は弾性表面波装置、
１１はバンプ、１２はパッド、１３は引き出し電極、１
４は端子電極、１５は蓋体、１６は接着部材である。

【００５８】弾性表面波装置１０のパッド１２に金など
からなるバンプ１１を形成する。

【００５９】次に、予め引き出し電極１３、端子電極１
４を設けたベース部材９に、バンプ１１を形成した弾性
表面波装置１０をバンプ１１が引き出し電極１３と接触
するように配設し、超音波などでバンプ１１を接合、実
装する。

【００６０】その後、封止装置（図示せず）を用いて、
弾性表面波装置１０を実装したベース部材９と、予め半
田などの接着部材１６を担持させた蓋体１５を接着部材
１６側がベース部材９と対向するように配設して加熱、
封止し電子部品を得る。

【００６１】なお、電子部品の製造にあたっては上述し
た方法以外に、必要に応じて他の構成例えばワイヤーボ
ンディングなどで実装してもかまわないし、接着部材１
６として例えば金又は金を含むろう材などを用いてもか
まわない。

【００６２】ところで、バンプボンディングはワイヤー
ボンディングに比べ接合する電極などとの接触する面積
が大きくできるため、接合の信頼性が高くできるが、一
方でバンプと接触する部分の電極にバンプボンディング
の際に発生する歪みが残ると、電極間で剥離したりして
逆に接合の信頼性が低下する場合がある。

【００６３】本発明では、スパッタリングよりも蒸着に
よって金属薄膜を形成した場合の方が、バンプボンディ
ングの際に発生する歪みや電気腐食および切断時の腐食
が起こり難いことを見出した。この理由は、スパッタリ
ングが物理的に金属粒子を積み重ねるだけであるのに対
し、蒸着は下地の結晶配向性と同じ配向性の薄膜が形成
されるため金属粒子間の結合が強くなるためと考えられ
る。従って、バンプボンディングする際に、少なくとも
バンプと接触する電極の最上層を蒸着で形成することに
より、接合による歪みの発生を抑制し、接合の信頼性を
高め、異種金属接合に伴う電気腐食を抑制することがで
きる。蒸着で形成する金属薄膜は、柔らかい金属の方が
バンプとの接合性が良く、例えばアルミニウムまたはア
ルミニウム−銅合金などが望ましい。

【００６４】なお、バンプと接触する電極の最上層に加
えてその他の層を蒸着で形成しても同様の効果が得られ
る。

【００６５】また、電極を１種類以上の複数種類の金属
例えばＡｌ，Ｔｉ，Ｃｕ，Ｃｒ，Ｎｉ又はこれらの合金
などを重ねることにより耐電力が高められるため、複数
種類の金属を重ねた上に最上層の電極を蒸着で形成する
ことにより、接合歪みの発生を抑制し、耐電力を高めた
電極を得ることができる。

【００６６】なお、本実施の形態１では互いに電気的に
独立し場所により幅が異なる補助電極６ａ，６ｂは２つ
に分割したが分割する数は複数個であればいくらでもか
まわない。

【００６７】またバンプを形成する位置は本実施の形態
１で示した位置以外であってもかまわない。

【００６８】また、帯状の入力端子引き出し電極４ａお
よび出力端子引き出し電極５ａは電極の幅が一定であっ
ても、異なるものであってもかまわない。

【００６９】このようにして得られた弾性表面波装置１
０の櫛型電極２は入力端子引き出し電極４ａ、入力端子
電極４ｂ、出力端子引き出し電極５ａ、出力端子電極５
ｂ、櫛型電極２間を接続する帯状の電極１８以外には接
続していないため、適宜必要な端子を用いて電気的に接
続することにより弾性表面波装置１０の電気特性を予め
測定することができる。すなわち、ウエハ状態で弾性表
面波装置１０の電気特性を予め測定することにより、弾
性表面波装置１０を個片に切断する前に特性選別し良品
のみを後工程で使用することができる。

【００７０】以上のように本発明によれば、櫛型電極２
および反射器電極３の周囲を複数の互いに電気的に独立
し場所により幅が異なる補助電極６ａ，６ｂで囲み、少
なくともバンプと接触する電極の最上層を蒸着で形成す
ることにより、圧電性を有する基板１の焦電性によって
発生した電位をより早く、より簡単に均一化することが
できるとともに、電極の接合性を高め、異種金属接合に
伴う腐食を抑制し、耐電力を高められ、静電気放電など
によるデバイスの破壊や、特性劣化のない優れた弾性表
面波装置１０を簡単に製造することができるという作用
効果が得られる。

【００７１】（実施の形態２）以下に本発明の実施の形
態２を用いて、本発明の請求項１〜７、１０〜１５につ
いて説明する。

【００７２】図３は、本発明の実施の形態２における弾
性表面波装置の電極パターンの構成を示す平面図であ
る。図３において実施の形態１の図１（ａ）で説明した
ものと同一のものは同一番号を付与し、詳細な説明は省
略する。なお、図３は本実施の形態２の構成を模式的に
示したものであり、それぞれの寸法の相対的な関係を示
したものではない。

【００７３】本実施の形態２の図３と実施の形態１の図
１（ａ）とで相違する点は、反射器電極３と、互いに電
気的に独立し場所により幅が異なる補助電極６ａ，６ｂ
を複数の帯状の電極１７で電気的に接続すると共に、櫛
型電極２を各３個設け、両端の櫛型電極２を相互に帯状
電極１８で接続し、かつ互いに電気的に独立し場所によ
り幅が異なる複数の補助電極６ａ，６ｂに帯状の電極２
０で接続したことである。

【００７４】すなわち、実施の形態１においては、反射
器電極３と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる
複数の補助電極６ａ，６ｂは電気的に開放された構成に
なっているが、本実施の形態２においては、櫛型電極２
と反射器電極３と互いに電気的に独立し場所により幅が
異なる複数の補助電極６ａ，６ｂを複数の帯状の電極１
７，１８，２０で電気的に接続する構成にしたものであ
り、それ以外は実施の形態１と同様にして弾性表面波装
置および電子部品を製造した。

【００７５】図３において、櫛型電極２と反射器電極３
と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補
助電極６ａ，６ｂを複数の帯状の電極１７，２０で電気
的に接続するとともに、複数組構成された櫛型電極２間
を帯状の電極１８で電気的に接続することにより、櫛型
電極２および反射器電極３などで発生した電荷を複数の
帯状の電極１７，１８，２０を介して互いに電気的に独
立し場所により幅が異なる複数の補助電極６ａ，６ｂを
含む広い電極全体で電位を均一化できる。

【００７６】すなわち、櫛型電極２と反射器電極３と互
いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電
極６ａ，６ｂを複数の帯状の電極１７で接続することに
より、櫛型電極２および反射器電極３を含めたより広い
電極を共通電極とすることができるため発生した電荷を
より広い面積で均一化し電位を等しくすることができる
とともに、幅の広い電極でこれらを接続することによ
り、電気的に開放された場合に比べインピーダンスを小
さくすることができる。

【００７７】なお、反射器電極３と互いに電気的に独立
し場所により幅が異なる複数の補助電極６ａ，６ｂを電
気的に接続した効果は電極パターンの設計により異なる
が、電位を均一化できる電極を低インピーダンスで接続
できるものであれば線状でも、面状でもかまわないし、
その本数もいくらであってもかまわないが、望ましくは
面状で、接続する本数が多い方がより効果的である。

【００７８】また、反射器電極３と互いに電気的に独立
し場所により幅が異なる複数の補助電極６ａ，６ｂを線
で電気的に接続する場合は、接続された経路の途中にイ
ンピーダンスが高い部分があるのは好ましくないため例
えば線幅は同じかもしくは外周部に行くに従って細くな
ることが望ましい。

【００７９】従って、実施の形態１と比較すると櫛型電
極２と反射器電極３と互いに電気的に独立し場所により
幅が異なる複数の補助電極６ａ，６ｂを複数の帯状の電
極１７，１８，２０で接続することにより、櫛型電極２
および反射器電極３を含めたより広い電極を共通電極と
することができるため発生した電荷をより広い面積で均
一化し電位を等しくすることができ、発生する電荷によ
る電位の影響をより小さくすることができるため、静電
気放電などによるデバイスの破壊や、特性劣化のない優
れた弾性表面波装置を簡単に製造することができるとい
う作用効果が得られる。

【００８０】（実施の形態３）以下に本発明の実施の形
態３を用いて、本発明の請求項１〜５、９〜１５につい
て説明する。

【００８１】図４は、本発明の実施の形態３における弾
性表面波装置の電極パターンの構成を示す平面図であ
る。図４において実施の形態１の図１（ａ）で説明した
ものと同一のものは同一番号を付与し、詳細な説明は省
略する。本実施の形態３の図４と実施の形態１の図１
（ａ）とで相違する点は、反射器電極３をミアンダライ
ンで構成し、反射器電極３と櫛型電極２を電気的に接続
したことである。なお、図４は本実施の形態３の構成を
模式的に示したものであり、それぞれの寸法の相対的な
関係を示したものではない。

【００８２】すなわち、実施の形態１においては、櫛型
電極２と反射器電極３は電気的に開放された構成になっ
ているが、本実施の形態３においては、櫛型電極２と反
射器電極３を電気的に接続する構成にしたものであり、
それ以外は実施の形態１と同様にして弾性表面波装置お
よび電子部品を製造した。

【００８３】図４において、ミアンダラインで構成した
反射器電極１９は、電気的に櫛型電極２と接続され、使
用する信号が直流および低周波数では導通しているが、
弾性表面波装置が動作する高周波数帯域ではミアンダラ
インはインピーダンスが高くなり、実質的に開放状態と
同様になる。

【００８４】また、一方でミアンダラインで構成した反
射器電極１９と櫛型電極２を電気的に接続することによ
り共通する電極部分を拡大できるため、圧電性を有する
基板１の焦電性により発生した電荷をより広い電極、よ
り長い電極全体で均一化することができ、各部で発生し
た電位差を小さくすることができる。

【００８５】すなわち、ミアンダラインで構成した反射
器電極１９と櫛型電極２を電気的に接続することによ
り、高周波数領域では櫛型電極２と反射器電極１９を実
質的に開放状態にし動作上の不具合をなくすとともに、
電気的に接続された共通ベースを拡大することにより各
部で発生する電位差を小さくし静電気放電などの発生を
抑制することができる。

【００８６】従って、実施の形態１と比較すると櫛型電
極２および反射器電極１９を含めた各部で発生する電位
差をより小さくすることができ、静電気放電などによる
デバイスの破壊や、特性劣化のない優れた弾性表面波装
置１０を簡単に製造することができるという作用効果が
得られる。

【００８７】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、櫛型電極
および反射器電極の周囲を複数の互いに電気的に独立し
場所により幅が異なる補助電極で囲むことにより、個片
に切断した後でも圧電性を有する基板の焦電性によって
発生した電位をより早く、より簡単に均一化することが
できるとともに、静電気放電などによるデバイスの破壊
や、特性劣化のない優れた弾性表面波装置を簡単に製造
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）本発明の実施の形態１における弾性表面
波装置の電極パターンの構成を示す平面図 （ｂ）本発明の実施の形態１における弾性表面波装置の
電極パターンをウエハ上に複数個形成した構成を示す平
面図

【図２】本発明の実施の形態１における電子部品の断面
図

【図３】本発明の実施の形態２における弾性表面波装置
の電極パターンの構成を示す平面図

【図４】本発明の実施の形態３における弾性表面波装置
の電極パターンの構成を示す平面図

【符号の説明】

１ 圧電性を有する基板 ２ 櫛型電極 ３ 反射器電極 ４ａ 入力端子引き出し電極 ４ｂ 入力端子電極 ５ａ 出力端子引き出し電極 ５ｂ 出力端子電極 ６ａ 互いに電気的に独立し場所により幅が異なる補助
電極 ６ｂ 互いに電気的に独立し場所により幅が異なる補助
電極 ７ バンプ ８ 互いに電気的に独立し場所により幅が異なる補助電
極の間 ９ ベース部材 １０ 弾性表面波装置 １１ バンプ １２ パッド １３ 引き出し電極 １４ 端子電極 １５ 蓋体 １６ 接着部材 １７ 反射器と互いに電気的に独立し場所により幅が異
なる補助電極を接続する帯状の電極 １８ 帯状の電極 １９ ミアンダラインで構成した反射器電極 ２０ 櫛型電極と互いに電気的に独立し場所により幅が
異なる補助電極を接続する帯状の電極 ２１ａ グランド端子引き出し電極 ２１ｂ グランド端子電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 村瀬 恭通 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 5J097 AA27 DD14 DD19 FF03 HA02 HA03

Claims (15)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電性を有する基板上に櫛型電極と、こ
   の櫛型電極より発生する表面波の伝搬方向に近接して反
   射器電極を配置してなる弾性表面波装置において、前記
   櫛型電極および反射器電極の周囲に互いに電気的に独立
   し場所により幅が異なる複数の補助電極を設けた弾性表
   面波装置。
2. 【請求項２】 互いに電気的に独立し場所により幅が異
   なる複数の補助電極はグランド電極として用いる請求項
   １に記載の弾性表面波装置。
3. 【請求項３】 互いに電気的に独立し場所により幅が異
   なる複数の補助電極は略均等に配置した請求項１に記載
   の弾性表面波装置。
4. 【請求項４】 櫛型電極に接続して帯状の入力端子引き
   出し電極と出力端子引き出し電極を設けると共に、入力
   端子引き出し電極と出力端子引き出し電極に接続して入
   力端子電極と出力端子電極を設けた請求項１に記載の弾
   性表面波装置。
5. 【請求項５】 帯状の入力端子引き出し電極と出力端子
   引き出し電極および入力端子電極と出力端子電極は相対
   向して設け、それらの面積は略等しくした請求項４に記
   載の弾性表面波装置。
6. 【請求項６】 少なくとも反射器電極の一部と、互いに
   電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極を
   電気的に接続した請求項１に記載の弾性表面波装置。
7. 【請求項７】 反射器電極と互いに電気的に独立し場所
   により幅が異なる複数の補助電極を、複数の線または帯
   状の電極で電気的に接続した請求項６に記載の弾性表面
   波装置。
8. 【請求項８】 反射器電極と互いに電気的に独立し場所
   により幅が異なる複数の補助電極を電気的に開放状態に
   した請求項１に記載の弾性表面波装置。
9. 【請求項９】 反射器電極をミアンダラインで構成し、
   この反射器電極と櫛型電極を電気的に接続した請求項１
   に記載の弾性表面波装置。
10. 【請求項１０】 圧電性を有する基板上に金属薄膜を被
    着し、この金属薄膜をエッチングして所定の電極パター
    ンを複数組形成した後切断し、個片の弾性表面波装置を
    得る製造方法において、前記圧電性を有する基板上に櫛
    型電極と、反射器電極と、櫛型電極および反射器電極の
    周囲に互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数
    の補助電極と、入力端子電極および入力端子引き出し電
    極と、出力端子電極および出力端子引き出し電極を少な
    くとも一組設ける工程と、隣接する前記補助電極の間を
    切断する工程を含む弾性表面波装置の製造方法。
11. 【請求項１１】 圧電性を有する基板上に金属薄膜を被
    着し、この金属薄膜をエッチングして所定の櫛型電極
    と、反射器電極と、入力端子電極および入力端子引き出
    し電極と、出力端子電極および出力端子引き出し電極
    と、前記櫛型電極および反射器電極の周囲に互いに電気
    的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極を形成
    した後、隣接する前記補助電極の間を切断する弾性表面
    波装置の製造方法において、入力端子電極と出力端子電
    極および複数の前記補助電極は少なくとも最上層の電極
    を蒸着で形成する弾性表面波装置の製造方法。
12. 【請求項１２】 最上層の電極は柔らかい材質である請
    求項１１に記載の弾性表面波装置の製造方法。
13. 【請求項１３】 柔らかい材質はアルミニウムまたはア
    ルミニウム合金である請求項１２に記載の弾性表面波装
    置の製造方法。
14. 【請求項１４】 櫛型電極と、反射器電極と、入力端子
    電極および入力端子引き出し電極と、出力端子電極およ
    び出力端子引き出し電極と、互いに電気的に独立し場所
    により幅が異なる複数の補助電極は、１種類または複数
    種類の金属を重ねたものである請求項１１に記載の弾性
    表面波装置の製造方法。
15. 【請求項１５】 圧電性を有する基板上に櫛型電極と、
    前記櫛型電極より発生する表面波の伝搬方向に近接して
    反射器電極を配置してなる弾性表面波装置において、前
    記櫛型電極および反射器電極の周囲に互いに電気的に独
    立し場所により幅が異なる複数の補助電極と、前記櫛型
    電極に接続した帯状の入力端子引き出し電極および入力
    端子電極と出力端子引き出し電極および出力端子電極を
    設けて電気的に接続すると共にベース部材に配設し、封
    止した電子部品。