JP2003078386A

JP2003078386A - 弾性表面波装置およびその製造方法とこれを用いた電子部品

Info

Publication number: JP2003078386A
Application number: JP2001358802A
Authority: JP
Inventors: Kazuo Ikeda; 和生池田; Kazunori Nishimura; 和紀西村; Yasumichi Murase; 恭通村瀬
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2001-06-21
Filing date: 2001-11-26
Publication date: 2003-03-14

Abstract

(57)【要約】【課題】従来の構成では、線間のインピーダンスが高
くなって発生した電荷を十分に均一化することができ
ず、電極間で静電気放電が発生し、電極が破損したり電
気特性が劣化したりするという課題を解決した弾性表面
波装置を提供することを目的とする。【解決手段】ダイシングライン８の内側に、櫛型電極
２および反射器電極３の周囲を互いに電気的に独立し場
所により幅が異なる複数の補助電極６ａ、６ｂで囲んだ
という構成を有しており、これにより圧電性を有する基
板１の焦電性により発生した電位を効率よく均一化でき
るという作用効果が得られる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は通信機器に用いられ
る弾性表面波装置およびその製造方法とこれを用いた電
子部品に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来弾性表面波装置は圧電性を有する基
板上の全面に金属薄膜を形成し、その上にレジストを塗
布し、露光、現像後、エッチングすることにより所望の
インターデジタル電極（Ｉnter Ｄigital Ｔransduce
r）、グレーティング反射器電極（Ｇrating Ｒeflecto
r）、それらの周囲を囲むダイシングライン、およびこ
れらを接続する細線など所望の電極パターンを形成し、
ダイシングライン上を切断して個片の弾性表面波装置を
製造している。

【０００３】この方法では、一旦圧電基板から切り離さ
れた弾性表面波装置は、インターデジタル電極やグレー
ティング反射器電極が電気的に分離されるため、弾性表
面波装置に熱や歪みが加わると圧電基板の持つ焦電効果
により電荷が発生し、各電極間の電荷が不均一になると
対向するインターデジタル電極間やグレーティング反射
器電極間およびインターデジタル電極とグレーティング
反射器電極の電極間で放電することにより電極が破損し
たり、弾性表面波装置の特性が劣化したりする。

【０００４】一方この問題を解決する手段として特開平
１１−２９８２８９号公報に記載の方法が知られてい
る。すなわち、ダイシングラインの内側にインターデジ
タル電極やグレーティング反射器電極の周囲を囲む金属
薄膜の短絡細線を設け、これらの金属薄膜の短絡細線と
インターデジタル電極とを電気的に接続する複数の細線
を配設することにより、発生した電荷を電気的に均一化
し、静電気放電による破損および電気特性の劣化を防止
する構成が用いられていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ようにダイシングラインの内側にインターデジタル電極
やグレーティング反射器電極の周囲を囲む金属薄膜の短
絡細線を設け、これらの金属薄膜の短絡細線とインター
デジタル電極とを電気的に接続する複数の細線を配設す
る構成では、発生する電荷が大きい場合や、電極間距離
が狭い場合、接続された電極間が離れている場合や、金
属薄膜の短絡細線とインターデジタル電極とを接続した
線が細い場合や、接続した線がミアンダラインや線の一
部が他の部分よりも細い場合などには、線間のインピー
ダンスが高くなるため、発生した電荷を十分に中和、均
一化することができず、電極間で静電気放電が発生し、
電極が破損したり電気特性が劣化したりするという課題
を有していた。

【０００６】本発明は上記の課題を解決するものであ
り、圧電性基板に歪みや熱処理によって発生した電荷を
効率よく均一化するとともに、個片の弾性表面波装置に
分離した後でも電位を均一化し、電極が破損したり電気
特性が劣化したりするのを防止する弾性表面波装置およ
びその製造方法とこれを用いた電子部品を提供すること
を目的とするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は以下の構成を有するものである。

【０００８】本発明の請求項１に記載の発明は、ダイシ
ングラインの内側に櫛型電極と反射器電極および櫛型電
極または反射器電極の周囲に、互いに電気的に独立し場
所により幅が異なる複数の補助電極を設けたという構成
を有しており、これにより熱処理などで発生した電荷を
効率よく電気的に均一化できるという作用効果が得られ
る。

【０００９】本発明の請求項２に記載の発明は、互いに
電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極は
弾性表面波装置のグランド電極として用いるという構成
を有しており、これにより電気的に均一化したグランド
電極を得ることができるという作用効果が得られる。

【００１０】本発明の請求項３に記載の発明は、互いに
電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極は
略均等に配置したという構成を有しており、これにより
各部に発生する電荷を略等しくし電気的に均一化できる
という作用効果が得られる。

【００１１】本発明の請求項４に記載の発明は、櫛型電
極に接続して帯状の入、出力端子引き出し電極を設ける
と共に、前記入、出力端子引き出し電極に接続して入、
出力端子電極を設けたという構成を有しており、これに
より入力端子引き出し電極部及び出力端子引き出し電極
部で発生した電荷を均一化できるという作用効果が得ら
れる。

【００１２】本発明の請求項５に記載の発明は、入、出
力端子引き出し電極は相対向して設け、それらの面積を
略等しくしたという構成を有しており、これにより入力
端子引き出し電極部及び出力端子引き出し電極部で発生
した電荷を略等しくし電気的に均一化できるという作用
効果が得られる。

【００１３】本発明の請求項６に記載の発明は、入、出
力端子電極は相対向して設け、それらの面積を略等しく
したという構成を有しており、これにより入力端子電極
及び出力端子電極で発生した電荷を略等しくし電気的に
均一化できるという作用効果が得られる。

【００１４】本発明の請求項７に記載の発明は、少なく
とも入、出力端子引き出し電極と入、出力端子電極と互
いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電
極のうちいずれか一つの電極は少なくとも最上層の電極
を蒸着で形成したという構成を有しており、これにより
電極の最上層に残留歪みをなくすことができるため外部
端子との接続状態を安定化できるという作用効果が得ら
れる。

【００１５】本発明の請求項８に記載の発明は、最上層
の電極は軟らかい材質であるという構成を有しており、
これにより軟らかい材質で電極の最上層に残留歪みをな
くすことができるため外部端子との接続状態を安定化で
きるという作用効果が得られる。

【００１６】本発明の請求項９に記載の発明は、軟らか
い材質はアルミニウムまたはアルミニウム合金であると
いう構成を有しており、これにより電極の最上層に残留
歪みをなくすことができるため外部端子との接続状態を
安定化できるという作用効果が得られる。

【００１７】本発明の請求項１０に記載の発明は、櫛型
電極と、反射器電極と、入、出力端子電極と、入、出力
端子引き出し電極と互いに電気的に独立し場所により幅
が異なる複数の補助電極は、１種類または複数種類の金
属を重ねて形成したという構成を有しており、これによ
り発生した電荷に対する電極の耐電力を向上させること
ができるという作用効果が得られる。

【００１８】本発明の請求項１１に記載の発明は、反射
器電極と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複
数の補助電極を電気的に接続したという構成を有してお
り、これにより反射器電極に発生した電荷を互いに電気
的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極を通し
て全体に均一化できるという作用効果が得られる。

【００１９】本発明の請求項１２に記載の発明は、反射
器電極と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複
数の補助電極を、複数の線または帯状の電極で電気的に
接続したという構成を有しており、これにより発生した
電荷を効率よく均一化できるという作用効果が得られ
る。

【００２０】本発明の請求項１３に記載の発明は、反射
器電極と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複
数の補助電極を電気的に接続する線は少なくともダイシ
ングラインより太くしたという構成を有しており、これ
により互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数
の補助電極とダイシングラインの電位の差を小さくする
ことができるという作用効果が得られる。

【００２１】本発明の請求項１４に記載の発明は、反射
器電極と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複
数の補助電極を電気的に開放状態にしたという構成を有
しており、これにより互いに電気的に独立し場所により
幅が異なる複数の補助電極が電位変化の影響を受けにく
くなるという作用効果が得られる。

【００２２】本発明の請求項１５に記載の発明は、反射
器電極をミアンダラインで構成し、この反射器電極と櫛
型電極を電気的に接続したという構成を有しており、こ
れにより反射器電極と櫛型電極を等電位にすることがで
きるという作用効果が得られる。

【００２３】本発明の請求項１６に記載の発明は、ダイ
シングラインと互いに電気的に独立し場所により幅が異
なる複数の補助電極を電気的に接続したという構成を有
しており、これにより圧電性を有する基板上に発生した
電位を均一にできるという作用効果が得られる。

【００２４】本発明の請求項１７に記載の発明は、ダイ
シングラインと互いに電気的に独立し場所により幅が異
なる複数の補助電極を１本または複数の線または帯状の
電極で電気的に接続したという構成を有しており、これ
により圧電性を有する基板上に発生した電位を早く均一
にできるという作用効果が得られる。

【００２５】本発明の請求項１８に記載の発明は、ダイ
シングラインと互いに電気的に独立し場所により幅が異
なる複数の補助電極を電気的に接続する線は少なくとも
ダイシングラインより太くしたという構成を有してお
り、これにより圧電性を有する基板上に発生した電位を
より早く均一にできるという作用効果が得られる。

【００２６】本発明の請求項１９に記載の発明は、ダイ
シングラインと互いに電気的に独立し場所により幅が異
なる複数の補助電極と反射器電極を電気的に接続したと
いう構成を有しており、これにより圧電性を有する基板
上に発生した電位をより早く均一にできるという作用効
果が得られる。

【００２７】本発明の請求項２０に記載の発明は、互い
に電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極
を櫛型電極の一部と電気的に接続したという構成を有し
ており、これによりより広い電極領域を等電位にするこ
とができるため、圧電性を有する基板上に発生した電位
を早く均一にできるという作用効果が得られる。

【００２８】本発明の請求項２１に記載の発明は、圧電
性を有する基板上にダイシングラインと、その内側に櫛
型電極と、反射器電極と、櫛型電極および反射器電極の
周囲に互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数
の補助電極と、入、出力端子引き出し電極と入、出力端
子電極を設ける工程と、ダイシングライン上を切断する
工程を含むという方法であり、これにより圧電性を有す
る基板上に発生した電位を均一にすると共にダイシング
位置を確認し易く容易に切断できるという作用効果が得
られる。

【００２９】本発明の請求項２２に記載の発明は、少な
くとも入、出力端子引き出し電極と入、出力端子電極と
互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助
電極のうち一つの電極は、少なくとも最上層の電極を蒸
着で形成するという方法であり、これにより外部端子と
の接続状態を安定化できるという作用効果が得られる。

【００３０】本発明の請求項２３に記載の発明は、最上
層の電極を軟らかい材質で形成するという方法であり、
これにより外部端子との接続状態を安定化できるという
作用効果が得られる。

【００３１】本発明の請求項２４に記載の発明は、軟ら
かい材質としてアルミニウムまたはアルミニウム合金を
用いるという方法であり、これにより外部端子との接続
状態を安定化できるという作用効果が得られる。

【００３２】本発明の請求項２５に記載の発明は、櫛型
電極と、反射器電極と、入力端子引き出し電極と、出力
端子引き出し電極と、互いに電気的に独立し場所により
幅が異なる複数の補助電極は、１種類または複数種類の
金属を重ねたもので形成するという方法であり、これに
より発生した電荷に対する電極の耐電力を向上させるこ
とができるという作用効果が得られる。

【００３３】本発明の請求項２６に記載の発明は、櫛型
電極および反射器電極の周囲に互いに電気的に独立し場
所により幅が異なる複数の補助電極と、櫛型電極に接続
した帯状の入、出力端子引き出し電極と入、出力端子電
極を設け、ダイシングライン上を切断してなる弾性表面
波装置をバンプまたはワイヤーによりベース部材に配設
し、封止したという構成を有しており、これによりバン
プまたはワイヤーにより電気的に接続された電子部品が
得られるという作用効果が得られる。

【００３４】

【発明の実施の形態】（実施の形態１）以下に本発明の
実施の形態１を用いて、本発明の請求項１〜１０、１
４、２１〜２６について説明する。

【００３５】図１（ａ）は本発明の実施の形態１におけ
る弾性表面波装置の電極パターンの構成を示す平面図、
図１（ｂ）は図１（ａ）の電極パターンをウエハ上に複
数個形成した構成を示す平面図である。

【００３６】１は圧電性を有する基板、２は櫛型電極、
３は反射器電極、４ａは入力端子引き出し電極、４ｂは
入力端子電極、５ａは出力端子引き出し電極、５ｂは出
力端子電極、６ａ、６ｂは互いに電気的に独立し場所に
より幅が異なる補助電極、７はバンプ、８はダイシング
ライン、１０は弾性表面波装置、１８は帯状の電極であ
る。

【００３７】なお、図１、図２は本実施の形態１の構成
を模式的に示したものであり、それぞれの寸法の相対的
な関係を示したものではない。

【００３８】圧電性を有する物質は熱が加わるかまたは
歪みが加わると焦電性により電荷が発生し、場所により
電荷に差異が生じると電位差が発生し、静電気放電など
を引き起こしデバイスの破壊や電気特性の劣化が起こ
る。

【００３９】これを防止するためには、発生した電位差
をできるだけ早く、同じ電位にすることが有効である。

【００４０】本発明では、発生した電位をできるだけ等
しくし、弾性表面波装置の中で電位のバランスを取るた
めには、弾性表面波装置の回路パターンの中に低インピ
ーダンスの部分をできるだけ広く設けることが有効であ
ることを見出したものである。

【００４１】すなわち本発明の弾性表面波装置の電極パ
ターンは、圧電性を有する基板１上にダイシングライン
８を設け、その内側に櫛型電極２と、櫛型電極２より発
生する表面波の伝搬方向に近接して櫛型電極２の両側に
反射器電極３を配置し、櫛型電極２および反射器電極３
の周囲を互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複
数の補助電極６ａ、６ｂで囲んで構成されている。

【００４２】ここで、互いに電気的に独立し場所により
幅が異なる複数の補助電極６ａ、６ｂはグランド電極と
して用いられており、個片の弾性表面波装置の中で、互
いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電
極６ａ、６ｂは略均等例えば略点対称や略面対称などの
ように弾性表面波装置の中で偏りがないように配置する
とともに、櫛型電極２に接続した帯状の入力端子引き出
し電極４ａ、出力端子引き出し電極５ａの面積を略等し
くし、入、出力端子引き出し電極４ａ、５ａに接続して
入力端子電極４ｂ、出力端子電極５ｂを相対向して設け
るとともに入力端子電極４ｂと出力端子電極５ｂの面積
を略等しくし、反射器電極３と互いに電気的に独立し場
所により幅が異なる複数の補助電極６ａ、６ｂを電気的
に開放状態にし、櫛型電極２間を帯状の電極１８で接続
した電極構成にしている。

【００４３】また、入力端子引き出し電極４ａと出力端
子引き出し電極５ａ及び入力端子電極４ｂと出力端子電
極５ｂは相対向し、それらの面積は略等しくすることに
より発生する電荷のバランスがとり易くなるため電位を
均一にするのに有効である。

【００４４】電極パターン配置の関係で例えばこれらの
電極を相対向して設けられない場合は、略線対称、略点
対称などの方法によりできるだけ均等に配置することに
より相対向した場合に近い効果が得られる。

【００４５】また、互いに電気的に独立し場所により幅
が異なる複数の補助電極６ａ、６ｂはインピーダンスを
できるだけ小さくし、電位を均一にするために回路設計
上可能な範囲で電極の幅を広くしたもので、場所によっ
て幅が異なり、面積的に広がりを持つ点で細線とは明ら
かに異なるものである。

【００４６】このように、櫛型電極２および反射器電極
３の周囲を互いに電気的に独立し場所により幅が異なる
複数の補助電極６ａ、６ｂで囲むことにより、細線に比
べ線幅が広く、線間、面内のインピーダンスを小さくで
きるため、圧電性を有する基板１の焦電性によって発生
した電荷が貯まって生じる電位を早く均一にすることが
できるとともに、細線に比べより広い領域の電位を均一
にすることが可能となる。

【００４７】また、互いに電気的に独立し場所により幅
が異なる複数の補助電極６ａ、６ｂを弾性表面波装置１
０が実装された基板などの外部回路のグランドに接続
し、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の
補助電極６ａ、６ｂを弾性表面波装置１０のグランド電
極として用いることにより、より大きい外部回路のグラ
ンドと電気的に共通したグランドにすることができるた
め、電位の変化をより早く、より均一にすることができ
るため圧電性を有する基板１の焦電性によって発生した
電荷の影響を小さくすることができる。

【００４８】弾性表面波装置１０が電位差を発生する原
因は、弾性表面波装置１０に熱が加わったり、歪みが加
わることにより圧電性を有する基板１の持つ焦電性から
電荷が発生するものであり、通常の製造状態では局部的
に電荷が発生するのではなく、弾性表面波装置全体から
電荷が発生する。

【００４９】ところで一般に弾性表面波装置の中で最も
面積が広いのはバンプなどとの接続用入、出力端子電極
部であり、この部分から最も大きな電荷が発生する。

【００５０】なお、図１（ａ）、図１（ｂ）は弾性表面
波装置の構成を模式的に示したものであり、構成部材の
大きさの相対的な関係を示すものではない。

【００５１】従って、櫛型電極２、反射器電極３などの
機能部を取り囲み、入、出力端子電極部を中心とする部
位にできるだけ広い面積の共通電極部を設けることによ
り、発生した電荷を効率よく均一化し電位を等しくする
ことができ、静電気放電などの発生を抑制することがで
きる。

【００５２】ところで、静電気放電によるデバイスの損
傷を防止する方法としては、例えば隣接する電極間に予
め電極間隔の狭い部分を設けておき、ある程度電荷が貯
まるとデバイスを損傷させない範囲で部分的に静電気放
電させる方法と、静電気の原因になる電位の不均一性自
体を抑制する方法がある。

【００５３】部分的に静電気放電させる方法では電荷が
貯まる度に放電を繰り返すことになり安定した状態を得
にくいが、電位の不均一性自体を抑制する方法ではでき
るだけ広い面積の共通電極部を設けることにより圧電性
を有する基板１から発生する電荷が局部的に不均一にな
らず等電位にすることにより静電気放電の原因を恒久的
に除去することができる。

【００５４】従って、静電気放電を抑制するためには、
電極間距離を制御して故意に静電気放電を発生させる方
法よりも、櫛型電極２や反射器電極３と互いに電気的に
独立し場所により幅が異なる複数の補助電極６ａ、６ｂ
により等電位の部分を広くするためにできるだけ広い面
積の共通電極部を設けて静電気放電が発生しないように
することが最も有効である。

【００５５】このようなことから互いに電気的に独立し
場所により幅が異なる複数の補助電極６ａ、６ｂの分割
数は本来少ない方が望ましいが、外部端子配置などとの
関係で電極を分割しなければならない場合でも、本発明
の構成を用いれば発生した電荷を効率よく均一化し静電
気放電などの発生を抑制することができる。

【００５６】また、予め弾性表面波装置の中で、帯状の
入力端子引き出し電極４ａと出力端子引き出し電極５
ａ、および入力端子電極４ｂと出力端子電極５ｂの面積
を略等しくしたり、また互いに電気的に独立し面状で短
絡した電極６ａ、６ｂを全体にバランス良く均等に配置
して設けることにより、局部的に大きな電荷が貯まる場
所をなくすことができるため、電位をより均一にするこ
とができる。

【００５７】このように、互いに電気的に独立し場所に
より幅が異なる複数の補助電極６ａ、６ｂを全体にバラ
ンス良く均等に配置して設けたことにより、例えば反射
器電極３が互いに電気的に独立し場所により幅が異なる
複数の補助電極６ａ、６ｂと電気的に開放された状態で
あっても、またダイシングライン８と反射器電極３が電
気的に開放された状態であっても、弾性表面波装置１０
に発生する電荷を均一化できるため、局部的な電位の差
異を生じることが無く、デバイスの破壊や電気特性の劣
化を起こらなくすることができる。

【００５８】また、ダイシングライン８上を切断するこ
とにより切断に伴う位置合わせ作業を容易に行うことが
できるとともに、電気的に短絡したダイシングライン８
を弾性表面波素子の外周部に設けることにより発生した
電荷を均一化するのに有効に作用させることができる。

【００５９】なお、櫛型電極２および／または反射器電
極３は複数組設けたものであっても同様の効果が得るこ
とができる。

【００６０】本発明の弾性表面波装置は以下のようにし
て製造する。

【００６１】ＬｉＴａＯ₃などからなる圧電性を有する
基板１上に、スパッタリング装置を用いて（図示せず）
Ｔｉの金属薄膜を形成し、その上にＡｌ−Ｓｃ−Ｃｕ、
Ｔｉの金属薄膜をスパッタリング装置（図示せず）を用
いて重ねて形成する。

【００６２】ここで、スパッタリングで形成する金属薄
膜の材質はＡｌ−Ｓｃ−Ｃｕ、Ｔｉ以外に目的に応じて
その他の金属および合金を用いてもかまわないし、また
金属薄膜は１層以上であれば目的に応じて何層積層して
もかまわないし、積層する順序は目的に応じて変更して
もかまわない。

【００６３】次に金属薄膜の上にレジストを塗布し、所
望のフォトマスクを合わせ、ステッパー装置（図示せ
ず）などを用いて露光する。

【００６４】次に、現像装置（図示せず）を用いて露光
された部分のレジストを現像して不要部分のレジストを
除去する。

【００６５】さらに、ドライエッチング装置（図示せ
ず）などを用いて金属薄板に所望の電極パターンを形成
する。

【００６６】次に残ったレジストを除去した後、電極パ
ターン上に再度レジストを塗布し、所望のフォトマスク
を合わせ、ステッパー装置（図示せず）などを用いて露
光する。

【００６７】次に、現像装置（図示せず）を用いて露光
された部分のレジストを現像し、不要部分のレジストを
除去する。

【００６８】その後、蒸着装置（図示せず）を用いてＡ
ｌなどの金属薄膜を形成し、入力端子電極４ｂ及び出力
端子電極５ｂの上にＡｌの蒸着膜を形成し、残ったレジ
ストを除去する。

【００６９】Ａｌの蒸着膜を設ける部分は入、出力端子
電極４ｂ、５ｂ以外に必要に応じて他の部分例えば入、
出力端子引き出し電極４ａ、５ａ、枠状で短絡した補助
電極６に設けてもかまわない。

【００７０】なお、所望の電極パターンを形成する方法
としては、これ以外の方法例えば所望の金属薄膜層を先
に形成した後、ドライエッチング装置（図示せず）など
を用いて金属薄膜に所望の電極パターンを一度に形成し
てもかまわない。

【００７１】次にダイシング装置（図示せず）などを用
いてダイシングライン８上を切断し、個片の弾性表面波
装置１０を得る。

【００７２】なお、本実施の形態１で用いた電極パター
ンでは、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複
数の補助電極６ａ、６ｂの幅は、弾性表面波装置の動作
周波数の波長をλとした場合λ／４〜１００λの範囲の
幅を有していたが、幅の大きさはこれら以外の範囲のも
のでもかまわない。

【００７３】次にこうして得られた弾性表面波装置１０
を用いて電子部品を組み立てる。図２に弾性表面波装置
１０を用いた電子部品の断面図を示す。９はベース部
材、１０は弾性表面波装置、１１はバンプ、１２はパッ
ド、１３は引き出し電極、１４は端子電極、１５は蓋
体、１６は接着部材である。弾性表面波装置１０のパッ
ド１２に金などからなるバンプ１１を形成する。

【００７４】次に、予め引き出し電極１３と、端子電極
１４を設けたベース部材９に、バンプ１１を形成した弾
性表面波装置１０をバンプ１１が引き出し電極１３と接
触するように配設し、超音波などでバンプ１１を接合、
実装する。

【００７５】その後、封止装置（図示せず）を用いて、
弾性表面波装置１０を実装したベース部材９と、予め半
田などの接着部材１６を担持させた蓋体１５を、接着部
材１６側がベース部材９と対向するように配設して加
熱、封止し電子部品を得る。

【００７６】なお、電子部品の製造にあたっては上述し
た方法以外に、必要に応じて他の構成例えばワイヤーボ
ンディングなどで外部端子と接続してもかまわないし、
接着部材１６として例えば金又は金を含むろう材などを
用いてもかまわない。

【００７７】ところで、バンプボンディングはワイヤー
ボンディングに比べ接合する電極などとの接触する面積
が大きくできるため、接合の信頼性が高くできるが、一
方でバンプと接触する部分の電極にバンプボンディング
の際に発生する歪みが残ると、電極間で剥離したりして
逆に接合の信頼性が低下する場合がある。

【００７８】本発明では、スパッタリングよりも蒸着に
よって金属薄膜を形成した場合の方が、バンプボンディ
ングの際に発生する歪みや電気腐食および切断時の腐食
が起こり難いことを見い出した。

【００７９】この理由は、スパッタリングが物理的に金
属粒子を積み重ねるだけであるのに対し、蒸着は下地の
結晶配向性と同じ配向性の薄膜が形成されるため金属粒
子間の結合が強くなるためと考えられる。

【００８０】従って、バンプボンディングする際に少な
くともバンプと接触する電極の最上層を蒸着で形成する
ことにより、接合による歪みの発生を抑制し、接合の信
頼性を高め、異種金属接合に伴う電気腐食を抑制するこ
とができる。

【００８１】蒸着で形成する金属薄膜は、軟らかい金属
の方がバンプとの接合性が良く、例えばアルミニウムま
たはアルミニウム−銅合金などが望ましい。

【００８２】なお、バンプと接触する電極の最上層に加
えてその他の層を蒸着で形成しても同様の効果が得られ
る。

【００８３】また、電極を１種類以上の複数種類の金属
例えばＡｌ、Ｔｉ、Ｃｕ、Ｃｒ、Ｎｉ又はこれらの合金
を重ねることにより耐電力が高められるため、複数種類
の金属を重ねた上に最上層の電極を蒸着で形成すること
により、接合歪みの発生を抑制し、耐電力を高めた電極
を得ることができる。

【００８４】なお、本実施の形態１では互いに電気的に
独立し場所により幅が異なる複数の補助電極６ａ、６ｂ
は２つに分割したが分割する数は複数個であればいくら
でもかまわない。

【００８５】また、バンプを形成する位置は本実施の形
態１で示した位置以外であってもかまわない。また、帯
状の入力端子引き出し電極４ａおよび出力端子引き出し
電極５ａは電極の幅が一定であっても、異なるものであ
ってもかまわない。

【００８６】このようにして得られた弾性表面波装置１
０のホット端子例えば入、出力端子引き出し電極４ａ、
５ａ、入、出力端子電極４ｂ、５ｂ、帯状の電極１８は
ダイシングラインに接続されていないため互いに電気的
に独立しており、適宜必要な電極に端子などを当てて電
気的接続することにより弾性表面波装置１０の電気特性
を予め測定することができる。

【００８７】すなわち、ウエハ状態で弾性表面波装置１
０の電気特性を予め測定することができるため、ウエハ
を個片に切断する前に特性選別を行うことが可能で、後
工程では良品のみを用いて電子部品を組み立てることが
できる。

【００８８】以上のように本発明によれば、ダイシング
ライン８の内側に櫛型電極２および反射器電極３の周囲
を互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補
助電極６ａ、６ｂで囲み、少なくともバンプと接触する
電極の最上層を蒸着で形成することにより、圧電性を有
する基板１の焦電性によって発生した電位をより早く、
より簡単に均一化することができるとともに、電極の接
合性を高め、異種金属接合に伴う腐食を抑制し、耐電力
を高められ、静電気放電などによるデバイスの破壊や、
特性劣化のない優れた弾性表面波装置を簡単に製造する
ことができる。

【００８９】（実施の形態２）以下に本発明の実施の形
態２を用いて、本発明の請求項２０について説明する。

【００９０】図３は、本発明の実施の形態２における弾
性表面波装置の電極パターンの構成を示す平面図であ
る。

【００９１】図３において実施の形態１の図１（ａ）で
説明したものと同一のものは同一番号を付与し、詳細な
説明は省略する。なお、図３は本実施の形態２の構成を
模式的に示したものであり、それぞれの寸法の相対的な
関係を示したものではない。

【００９２】本実施の形態２の図３と実施の形態１の図
１（ａ）とで相違する点は、反射器電極３と、互いに電
気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極６
ａ、６ｂを電気的に開放すると共に、櫛型電極２を３個
設け、両端の櫛型電極２を帯状の電極１８で相互に接続
し、かつ互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複
数の補助電極６ａ、６ｂを複数の帯状の電極２０で電気
的に接続したことである。

【００９３】すなわち、実施の形態１においては、櫛型
電極２と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複
数の補助電極６ａ、６ｂは電気的に開放された構成にな
っているが、本実施の形態２においては、櫛型電極２を
３個設け、両端の櫛型電極２と互いに電気的に独立し場
所により幅が異なる複数の補助電極６ａ、６ｂを複数の
帯状の電極２０で電気的に接続すると共に、両端の櫛型
電極２を帯状の電極１８で相互に接続する構成にしたも
のであり、それ以外は実施の形態１と同様にして弾性表
面波装置および電子部品を製造した。

【００９４】図３において、櫛型電極２と互いに電気的
に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極６ａ、６
ｂを複数の帯状の電極２０で電気的に接続するととも
に、複数組配設された櫛型電極間を帯状の電極１８で電
気的に接続することにより、櫛型電極２などで発生した
電荷を帯状の電極２０を介して互いに電気的に独立し場
所により幅が異なる複数の補助電極６ａ、６ｂを含むよ
り広い電極全体で電位を均一化することができる。

【００９５】すなわち、両端の櫛型電極２と互いに電気
的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極６ａ、
６ｂを帯状の電極２０で接続することにより、より広い
電極を共通電極とすることができるため発生した電荷を
櫛型電極２を含むより広い面積で均一化し電位を等しく
することができるとともに、幅の広い電極で両者を接続
することにより、電気的に開放された場合に比べインピ
ーダンスを小さくすることができるため静電気放電を起
りにくくすることができる。

【００９６】なお、櫛型電極２と互いに電気的に独立し
場所により幅が異なる複数の補助電極６ａ、６ｂを電気
的に接続した効果は電極パターンの設計により異なる
が、電位を均一化できる電極を低インピーダンスで接続
できるものであれば線状でも、面状でもかまわないし、
その本数もいくらであってもかまわないが、望ましくは
面状で接続する本数が多い方がより効果的である。

【００９７】また、櫛型電極２と互いに電気的に独立し
場所により幅が異なる複数の補助電極６ａ、６ｂを線で
電気的に接続する場合は、接続された経路の途中にイン
ピーダンスが高い部分があるのは好ましくないため例え
ば線幅は同じかもしくは外周部に行くに従って細くなる
ことが望ましい。一般に電極パターンの設計においては
ダイシングラインを最も細くすることから、少なくとも
ダイシングラインと同じかそれより太い線で接続するこ
とが望ましい。

【００９８】従って、実施の形態１と比較すると櫛型電
極２を含めたより広い電極を共通電極とすることができ
るため、発生した電荷をより広い面積で均一化し電位を
等しくすることができ、静電気放電などによるデバイス
の破壊や、特性劣化のない優れた弾性表面波装置を簡単
に製造することができる。

【００９９】なお、図３において、２１ａはグランド引
き出し電極、２１ｂはグランド電極を示している。

【０１００】（実施の形態３）以下に本発明の実施の形
態３を用いて、本発明の請求項１６〜１８について説明
する。

【０１０１】図４は本発明の実施の形態３における弾性
表面波装置の電極パターンの構成を示す平面図である。
図４において実施の形態１の図１（ａ）で説明したもの
と同一のものは同一番号を付与し、詳細な説明は省略す
る。なお、図４は本実施の形態２の構成を模式的に示し
たものであり、それぞれの寸法の相対的な関係を示した
ものではない。

【０１０２】本実施の形態３の図４と実施の形態１の図
１（ａ）とで相違する点は、反射器電極３と、互いに電
気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極６
ａ、６ｂを電気的に開放すると共に、櫛型電極２を３個
設け、両端の櫛型電極２を帯状の電極１８で相互に接続
し、かつ互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複
数の補助電極６ａ、６ｂを複数の帯状の電極２０で電気
的に接続するとともに、互いに電気的に独立し場所によ
り幅が異なる複数の補助電極６ａ、６ｂとダイシングラ
イン８を帯状の電極２２で電気的に接続したことであ
る。

【０１０３】すなわち、実施の形態１においては、櫛型
電極２と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複
数の補助電極６ａ、６ｂは電気的に開放された構成にな
っているが、本実施の形態３においては、櫛型電極２を
３個設け、両端の櫛型電極２と互いに電気的に独立し場
所により幅が異なる複数の補助電極６ａ、６ｂを複数の
帯状の電極２０で電気的に接続し、両端の櫛型電極２を
帯状の電極１８で相互に接続するとともに、ダイシング
ライン８と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる
複数の補助電極６ａ、６ｂを帯状の電極２２により電気
的に接続する構成にしたものであり、それ以外は実施の
形態１と同様にして弾性表面波装置および電子部品を製
造した。

【０１０４】図４において、ダイシングライン８と互い
に電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極
６ａ、６ｂを帯状の電極２２を介して電気的に接続する
ことにより、圧電性を有する基板１上で発生した電荷を
互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助
電極６ａ、６ｂおよびダイシングライン８を含む電極全
体で均一化し等電位にすることができる。

【０１０５】すなわち、ダイシングライン８と互いに電
気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極６
ａ、６ｂを帯状の電極２２を介して電気的に接続するこ
とにより、圧電性を有する基板１上で発生した電荷をダ
イシングライン８を含むより広い電極を共通電極とする
ことができるため、発生した電荷を櫛型電極２を含むよ
り広い面積で均一化し電位を等しくすることができると
ともに、幅の広い電極で両者を接続することにより、電
気的に開放された場合に比べインピーダンスを小さくす
ることができ静電気放電を起りにくくすることができ
る。

【０１０６】なお、ダイシングライン８と互いに電気的
に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極６ａ、６
ｂを電気的に接続した効果は電極パターンの設計により
異なるが、電位を均一化できる電極を低インピーダンス
で接続できるものであれば線状でも面状でもかまわない
し、その本数もいくらであってもかまわないが、望まし
くは面状で接続する本数が多い方がより効果的である。

【０１０７】また、ダイシングライン８と互いに電気的
に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極６ａ、６
ｂを線で電気的に接続する場合は、接続された経路の途
中にインピーダンスが高い部分があるのは好ましくない
ため外周部に行くに従って細くなることが望ましい。

【０１０８】一般に電極パターンの設計においてはダイ
シングラインを最も細くすることから、少なくともダイ
シングラインと同じかそれより太い線で接続することが
望ましい。

【０１０９】従って、実施の形態１と比較すると、櫛型
電極２を３個設け、両端の櫛型電極２と互いに電気的に
独立し場所により幅が異なる複数の補助電極６ａ、６ｂ
とダイシングライン８を帯状の電極１８、２０、２２で
電気的に接続することにより、より広い電極を共通電極
とすることができるため、各部で発生した電荷による電
位の影響をより小さくすることができ、静電気放電など
によるデバイスの破壊や、特性劣化のない優れた弾性表
面波装置を簡単に製造することができる。

【０１１０】（実施の形態４）以下に本発明の実施の形
態４を用いて、本発明の請求項１１〜１３、１９につい
て説明する。

【０１１１】図５は、本発明の実施の形態４における弾
性表面波装置の電極パターンの構成を示す平面図であ
る。図５において実施の形態１の図１（ａ）で説明した
ものと同一のものは同一番号を付与し、詳細な説明は省
略する。なお、図５は本実施の形態２の構成を模式的に
示したものであり、それぞれの寸法の相対的な関係を示
したものではない。

【０１１２】本実施の形態４の図５と実施の形態１の図
１（ａ）とで相違する点は、櫛型電極２を３個設け、両
端の櫛型電極と互いに電気的に独立し場所により幅が異
なる複数の補助電極６ａ、６ｂを帯状の電極２０で電気
的に接続すると共に、両端の櫛型電極を帯状の電極１８
で相互に接続し、反射器電極３と互いに電気的に独立し
場所により幅が異なる複数の補助電極６ａ、６ｂを帯状
の電極１７により電気的に接続し、櫛型電極２と反射器
電極３の外周部にダイシングライン８を設け、ダイシン
グライン８と互いに電気的に独立し場所により幅が異な
る複数の補助電極６ａ、６ｂを帯状の電極２２により電
気的に接続したことである。

【０１１３】すなわち、実施の形態１においては、櫛型
電極２と反射器電極３およびダイシングライン８は電気
的に開放された構成になっているが、本実施の形態４に
おいては、ダイシングライン８と、互いに電気的に独立
し場所により幅が異なる複数の補助電極６ａ、６ｂと、
両端の櫛型電極２と反射器電極３を帯状の電極１７、１
８、２０、２２により電気的に接続したものであり、そ
れ以外は実施の形態１と同様にして弾性表面波装置およ
び電子部品を製造した。

【０１１４】図５において、ダイシングライン８と、互
いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電
極６ａ、６ｂと、両端の櫛型電極２と、反射器電極３を
帯状の電極１７、１８、２０、２２を介して電気的に接
続することにより、圧電性を有する基板１上で発生した
電荷を両端の櫛型電極２と、反射器電極３と、互いに電
気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極６
ａ、６ｂと、ダイシングライン８を含む電極全体で均一
化し等電位にすることができる。

【０１１５】すなわち、ダイシングライン８と、互いに
電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極６
ａ、６ｂと、両端の櫛型電極と、反射器電極３を帯状の
電極１７、１８、２０、２２を介して電気的に接続する
ことにより、ダイシングライン８と、互いに電気的に独
立し場所により幅が異なる複数の補助電極６ａ、６ｂ
と、両端の櫛型電極と、反射器電極３を含むより広い電
極全体で電荷を均一化し電位差を小さくすることができ
るとともに、帯状の電極１７、１８、２０、２２でそれ
らを接続することにより電気的に開放された場合に比べ
共通化された電極間のインピーダンスを小さくすること
ができる。

【０１１６】なお、ダイシングライン８と、互いに電気
的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極６ａ、
６ｂと、両端の櫛型電極と、反射器電極３を電気的に接
続した効果は電極パターンの設計により異なるが、電位
を均一化できる電極を低インピーダンスで接続できるも
のであれば線状でも面状でもかまわないし、その本数は
いくらであってもかまわないが、望ましくは面状で接続
する本数が多い方がより効果的である。

【０１１７】従って、実施の形態１と比較すると、両端
の櫛型電極と、反射器電極３と互いに電気的に独立し場
所により幅が異なる複数の補助電極６ａ、６ｂとダイシ
ングライン８を電気的に接続することにより、より広い
電極を共通電極とすることができるため、各部で発生す
る電位差をより小さくすることができ、静電気放電など
によるデバイスの破壊や、特性劣化のない優れた弾性表
面波装置を簡単に製造することができる。

【０１１８】（実施の形態５）以下に本発明の実施の形
態５を用いて、本発明の請求項１５について説明する。

【０１１９】図６は、本発明の実施の形態５における弾
性表面波装置の電極パターンの構成を示す平面図であ
る。図６において実施の形態１の図１（ａ）で説明した
ものと同一のものは同一番号を付与し、詳細な説明は省
略する。なお、図６は本実施の形態２の構成を模式的に
示したものであり、それぞれの寸法の相対的な関係を示
したものではない。

【０１２０】本実施の形態５の図６と実施の形態１の図
１（ａ）とで相違する点は、反射器電極をミアンダライ
ンで構成し、反射器電極と櫛型電極を電気的に接続した
ことである。

【０１２１】すなわち、実施の形態１においては、櫛型
電極２と反射器電極３は電気的に開放された構成になっ
ているが、本実施の形態５においては、櫛型電極２とミ
アンダラインで構成した反射器電極１９を電気的に接続
すると共に、互いに電気的に独立し場所により幅が異な
る複数の補助電極６ａ、６ｂの外周部にダイシングライ
ン８を設けた構成にしたものであり、それ以外は実施の
形態１と同様にして弾性表面波装置および電子部品を製
造した。

【０１２２】図６において、ミアンダラインで構成した
反射器電極１９は、電気的に櫛型電極２と接続され、使
用する信号が直流および低周波数では導通しているが、
弾性表面波装置が動作する高周波数帯域ではミアンダラ
インはインピーダンスが高くなり、実質的に開放状態と
同様になる。

【０１２３】また、一方でミアンダラインで構成した反
射器電極１９と櫛型電極２を電気的に接続することによ
り共通する電極部分を拡大できるため、圧電性を有する
基板１の焦電性により発生した電荷をより広い電極、よ
り長い電極全体で均一化することができ、各部で発生し
た電位差を小さくすることができる。

【０１２４】すなわち、ミアンダラインで構成した反射
器電極１９と櫛型電極２を電気的に接続することによ
り、動作周波数では実質的に開放状態にし動作上の不具
合をなくすとともに、電気的に接続された共通電極部分
を拡大することにより圧電性を有する基板１で発生した
電荷を反射器電極１９と櫛型電極２を含む電極全体で均
一化し等電位にすることができる。

【０１２５】なお、必要に応じて互いに電気的に独立し
場所により幅が異なる複数の補助電極６ａ、６ｂとダイ
シングライン８を、少なくとも１本以上の線または帯状
の電極で電気的に接続することにより発生した電位を均
一にするための共通電極をさらに広げてもかまわない。

【０１２６】従って、実施の形態１と比較するとミアン
ダラインで構成した反射器電極１９と櫛型電極２を電気
的に接続することにより、動作周波数では実質的に開放
状態にし動作上の不具合をなくすとともに、電気的に接
続された共通電極部分を拡大することにより圧電性を有
する基板１で発生した電荷を反射器電極１９と櫛型電極
２を含む電極全体で均一化し等電位にすることができる
ため、各部で発生する電位差をより小さくすることがで
き、静電気放電などによるデバイスの破壊や、特性劣化
のない優れた弾性表面波装置を簡単に製造することがで
きる。

【０１２７】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、ダイシン
グラインの内側に櫛型電極および反射器電極の周囲を互
いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電
極で囲むことにより、個片に切断した後でも圧電性を有
する基板の焦電性によって発生した電位をより早く、よ
り簡単に均一化することができるため、静電気放電など
によるデバイスの破壊や、特性劣化のない優れた弾性表
面波装置を簡単に製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）本発明の実施の形態１における弾性表面
波装置の電極パターンの構成を示す平面図（ｂ）本発明の実施の形態１における弾性表面波装置の
電極パターンをウエハ上に複数個形成した構成を示す平
面図

【図２】本発明の実施の形態１における電子部品の断面
図

【図３】本発明の実施の形態２における弾性表面波装置
の電極パターンの構成を示す平面図

【図４】本発明の実施の形態３における弾性表面波装置
の電極パターンの構成を示す平面図

【図５】本発明の実施の形態４における弾性表面波装置
の電極パターンの構成を示す平面図

【図６】本発明の実施の形態５における弾性表面波装置
の電極パターンの構成を示す平面図

【符号の説明】

１圧電性を有する基板２櫛型電極３反射器電極４ａ入力端子引き出し電極４ｂ入力端子電極５ａ出力端子引き出し電極５ｂ出力端子電極６ａ互いに電気的に独立し場所により幅が異なる補助
電極６ｂ互いに電気的に独立し場所により幅が異なる補助
電極７バンプ８ダイシングライン９ベース部材１０弾性表面波装置１１バンプ１２パッド１３引き出し電極１４端子電極１５蓋体１６接着部材１７反射器と互いに電気的に独立し場所により幅が異
なる補助電極を接続する帯状の電極１８帯状の電極１９ミアンダラインで構成した反射器電極２０櫛型電極と互いに電気的に独立し場所により幅が
異なる補助電極を接続する帯状電極２１ａグランド引き出し電極２１ｂグランド電極２２帯状の電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者村瀬恭通大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内Ｆターム(参考） 5J097 AA27 DD14 DD19 DD25 HA02 HA03

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】圧電性を有する基板上に櫛型電極と、こ
の櫛型電極より発生する表面波の伝搬方向に近接して反
射器電極を設け、前記櫛型電極および前記反射器電極の
外周部にダイシングラインを配置してなる弾性表面波装
置において、前記ダイシングラインの内側に前記櫛型電
極と反射器電極および櫛型電極または反射器電極の周囲
に、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の
補助電極を設けた弾性表面波装置。
【請求項２】互いに電気的に独立し場所により幅が異
なる複数の補助電極は弾性表面波装置のグランド電極と
して用いる請求項１に記載の弾性表面波装置。
【請求項３】互いに電気的に独立し場所により幅が異
なる複数の補助電極は略均等に配置した請求項１に記載
の弾性表面波装置。
【請求項４】櫛型電極に接続して帯状の入、出力端子
引き出し電極を設けると共に、前記入、出力端子引き出
し電極に接続して入、出力端子電極を設けた請求項１に
記載の弾性表面波装置。
【請求項５】入、出力端子引き出し電極は相対向して
設け、それらの面積を略等しくした請求項４に記載の弾
性表面波装置。
【請求項６】入、出力端子電極は相対向して設け、そ
れらの面積を略等しくした請求項４に記載の弾性表面波
装置。
【請求項７】少なくとも入、出力端子引き出し電極と
入、出力端子電極と互いに電気的に独立し場所により幅
が異なる複数の補助電極のうちいずれか一つの電極は少
なくとも最上層の電極を蒸着で形成した請求項４に記載
の弾性表面波装置。
【請求項８】最上層の電極は軟らかい材質である請求
項７に記載の弾性表面波装置。
【請求項９】軟らかい材質はアルミニウムまたはアル
ミニウム合金である請求項８に記載の弾性表面波装置。
【請求項１０】櫛型電極と、反射器電極と、入、出力
端子電極と、入、出力端子引き出し電極と互いに電気的
に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極は、１種
類または複数種類の金属を重ねて形成した請求項４に記
載の弾性表面波装置。
【請求項１１】反射器電極と互いに電気的に独立し場
所により幅が異なる複数の補助電極を電気的に接続した
請求項１に記載の弾性表面波装置。
【請求項１２】反射器電極と互いに電気的に独立し場
所により幅が異なる複数の補助電極を、複数の線または
帯状の電極で電気的に接続した請求項１１に記載の弾性
表面波装置。
【請求項１３】反射器電極と互いに電気的に独立し場
所により幅が異なる複数の補助電極を電気的に接続する
線は少なくともダイシングラインより太くした請求項１
２に記載の弾性表面波装置。
【請求項１４】反射器電極と互いに電気的に独立し場
所により幅が異なる複数の補助電極を電気的に開放状態
にした請求項１に記載の弾性表面波装置。
【請求項１５】反射器電極をミアンダラインで構成
し、この反射器電極と櫛型電極を電気的に接続した請求
項１に記載の弾性表面波装置。
【請求項１６】ダイシングラインと互いに電気的に独
立し場所により幅が異なる複数の補助電極を電気的に接
続した請求項１に記載の弾性表面波装置。
【請求項１７】ダイシングラインと互いに電気的に独
立し場所により幅が異なる複数の補助電極を１本または
複数の線または帯状の電極で電気的に接続した請求項１
６に記載の弾性表面波装置。
【請求項１８】ダイシングラインと互いに電気的に独
立し場所により幅が異なる複数の補助電極を電気的に接
続する線は少なくともダイシングラインより太くした請
求項１７に記載の弾性表面波装置。
【請求項１９】ダイシングラインと互いに電気的に独
立し場所により幅が異なる複数の補助電極と反射器電極
を電気的に接続した請求項１に記載の弾性表面波装置。
【請求項２０】互いに電気的に独立し場所により幅が
異なる複数の補助電極を櫛型電極の一部と電気的に接続
した請求項１に記載の弾性表面波装置。
【請求項２１】圧電性を有する基板上に金属薄膜を被
着し、この金属薄膜をエッチングして所定の電極パター
ンを複数組形成した後切断し、個片の弾性表面波装置を
得る製造方法において、前記圧電性を有する基板上にダ
イシングラインと、その内側に櫛型電極と、反射器電極
と、前記櫛型電極および反射器電極の周囲に互いに電気
的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極と、
入、出力端子引き出し電極と入、出力端子電極を設ける
工程と、ダイシングライン上を切断する工程を含む弾性
表面波装置の製造方法。
【請求項２２】圧電性を有する基板上に金属薄膜を被
着し、この金属薄膜をエッチングして所定のダイシング
ラインと櫛型電極と、反射器電極と、入、出力端子引き
出し電極と、入、出力端子電極と、前記櫛型電極および
反射器電極の周囲に互いに電気的に独立し場所により幅
が異なる複数の補助電極を形成した後、ダイシングライ
ン上を切断する弾性表面波装置の製造方法において、少
なくとも入、出力端子引き出し電極と入、出力端子電極
と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補
助電極のうち一つの電極は、少なくとも最上層の電極を
蒸着で形成する弾性表面波装置の製造方法。
【請求項２３】最上層の電極を軟らかい材質で形成す
る請求項２２に記載の弾性表面波装置の製造方法。
【請求項２４】軟らかい材質としてアルミニウムまた
はアルミニウム合金を用いる請求項２３に記載の弾性表
面波装置の製造方法。
【請求項２５】櫛型電極と、反射器電極と、入力端子
引き出し電極と、出力端子引き出し電極と、互いに電気
的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極は、１
種類または複数種類の金属を重ねたもので形成する請求
項２２に記載の弾性表面波装置の製造方法。
【請求項２６】圧電性を有する基板上にダイシングラ
インとその内側に櫛型電極と、この櫛型電極より発生す
る表面波の伝搬方向に近接して反射器電極を配置し、前
記櫛型電極および前記反射器電極の周囲に互いに電気的
に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極と、前記
櫛型電極に接続した帯状の入、出力端子引き出し電極と
入、出力端子電極を設け、ダイシングライン上を切断し
てなる弾性表面波装置をバンプまたはワイヤーによりベ
ース部材に配設し、封止した電子部品。