TWI252168B

TWI252168B - Method for manufacturing pattern-forming body, pattern manufacturing apparatus and method for manufacturing color filter film

Info

Publication number: TWI252168B
Application number: TW091135275A
Authority: TW
Inventors: Manabu Yamamoto; Masashi Nishiyama
Original assignee: Dainippon Printing Co Ltd
Priority date: 2001-12-06
Filing date: 2002-12-05
Publication date: 2006-04-01
Also published as: US7374262B2; TW200301732A; EP1452891A1; US20040201818A1; WO2003048818A1; KR20040068921A; EP1452891A4; US20080286454A1; JP4149161B2; CN1589412A; KR100987682B1; EP1452891B1; DE60231238D1; CN100510796C; JP2003172814A

Description

1252168 坎、發明說明【發明所屬之技術領域】本發明係關於一種能夠進行高精細圖案形成之圖案形成方法及圖案製造裝置。【先前技術】彩色液晶顯示裝置係具備對應於該顯示在各個像素每一個之彩色濾光片。作爲彩色濾光片之製造方法，向來係使用重複地進行複數次光微影製程之顏料分散法等，但是，近年來，以成本降低作爲主要目的，使用噴墨裝置之方法受到重視。彩色濾光片之圖案間距係隨著彩色液晶顯示裝置之高精細化而有越來越精細化之傾向產生。由噴墨裝置所噴出之油墨量係數微微公升而變得相當小。爲了形成細線寬之圖案，因此，噴出量係必須小，即使是就該方面而言，噴墨裝置係也適用在彩色濾光片之製造。【發明內容】【發明所欲解決之問題】但是，在噴墨裝置，一般係使用具備複數個壓電驅動型頂部之頂部單元而生成彩色濾光片之圖案。但是，在各個壓電驅動型頂部，有機械·電氣之不均，因此，即使供應相同之驅動脈衝，由各個壓電驅動型頂部所噴出之液滴量係也成爲不均。在油墨噴出量成爲不均時，則構成彩色濾光片之著色層等之厚度係成爲不均。也就是說，在使用習知噴墨裝置而製造彩色濾光片時’ 6 312/發明說明書(補件)/92-03/9113 5275 1252168 由於油墨噴出量變得不均，因此，會有所謂在彩色濾光片之顯示用顏色產生不均之問題發生。本發明係有鑒於前述問題點而完成者，作爲解決課題，係提供一種即使由各個壓電驅動型頂部所噴出之液滴量成爲不均也適合形成均勻圖案之噴墨裝置及圖案形成方法。【解決問題之手段】在本發明中’爲了解決前述問題，因此，正如申請專利範圍第1項所記載的，提供一種圖案形成體之製造方法，係藉由使得複數個頂部爲一體之頂部單元和基板間之相對位置成爲可變同時由前述各個頂部對於前述基板噴出複數個液滴而在前述基板形成圖案的圖案形成體之製造方法，其特徵爲：對應於該形成之圖案，而將由前述液滴潤濕擴散之親液性區域所構成之圖案，形成在前述基板表面，以使得噴著在前述親液性區域之每單位面積之液滴量成爲均勻化的方式按照預先所決定之規則而對於前述各個頂部液滴之噴出，進行間拔。如果藉由本發明的話，則由各個頂部所噴出之液滴進行間拔，以便於使得每單位面積之液滴量成爲均勻化，因此，即使各個頂部之1次噴出量不同，也能夠形成均勻圖案。此外，在基板，預先形成液滴潤濕擴散之親液性區域，因此，即使對於液滴之噴出，進行間拔，也在間拔之部分，潤濕及擴散噴著於該部分所相鄰接之部分上之液滴，因此，即使是在圖案內，也能夠均勻地擴散溶液，所以，在圖案內，也並無發生不均。所以’能夠便宜地形成精度相 7 312/發明說明書(補件)/92-03/91135275 1252168 當高之圖案。此外’在申請專利範圍第1項之發明，正如申請專利範圍第2項所記載的’最好是根據預先決定在前述各個頂部之每一個同時顯示使前述液滴噴著之前述親液性區域上之位置之噴出位置資訊，前述各個頂部，噴出前述液滴。噴出位置資訊係決定在各個頂部之每一個噴著液滴之親液性區域上之位置，因此，可以藉由根據頂部間之噴出量不同而設定噴出位置資訊，以便於消除頂部間之噴出量不同，形成均勻圖案。此外’在申請專利範圍第2項所記載之發明，正如申請專利範圍第3項所記載的，最好前述噴出位置資訊，係以使得對於前述液滴之噴出進行間拔之位置，呈幾乎均勻地分散在前述親液性區域內的方式所決定。雖然在親液性區域，液滴進行潤濕及擴散，但是，在其範圍內，有一定之限度存在。因此，在不噴出液滴之區域呈連續時，有在圖案內發生不均之可能性存在。但是，如果藉由本發明的話，對於液滴之噴出進行間拔之位置，係在親液性區域內以均勻分散的方式所決定，因此，能夠使得液滴均勻地分散在圖案內。在此’正如申請專利範圍第4項所記載的，最好是前述噴出位置資訊係在均勻地位處於前述親液性區域上之複數個點中’指定進行液滴噴出之點，根據該形成之圖案體積和前述各個頂部之噴出量而進行決定。如果藉由本發明的話，則在各個點之每一個，決定有無噴出，因此，可以藉 312/發明說明書(補件)/92-03/91135275 〇形成均 1252168 ¢1¾ μ噴出進行間拔而消除頂部間之噴出量不同勻圖案。此外’正如申請專利範圍第5項所記載的，最好是前噴出位置資訊係根據前述各個頂部噴出量中之最小之最噴出量和該形成之圖案體積而算出前述圖案內之點數，出則述各個頂部噴出量之平均値，根據前述平均値而決在各個點之每一個有無噴出，算出前述各個頂部之噴出和則述平均値間之各個差分値，根據前述各個差分値而正及生成在各個點之每一個有無噴出。由於各個頂部之出量、幾乎係在平均値之附近發生不均，因此，如果藉本發13月的話’則能夠效率良好地生成噴出位置資訊。此外’正如申請專利範圍第6項所記載的，最好是前噴出k置資訊係根據前述各個頂部噴出量中之最小之最噴出量和該形成之圖案體積而算出前述圖案內之點數，出前述各個頂部之噴出量和前述最小噴出量間之各個差値’根據前述各個差分値而決定在各個點之每一個有無出。如果藉由本發明的話，則以最小噴出量，作爲基準而決定在各個點之每一個有無噴出，因此，能夠效率良地生成噴出位置資訊。在前述申請專利範圍第2項至申請專利範圍第6項爲之任何一項申請專利範圍所記載之發明中，正如申請專範圍第7項所記載的，最好前述噴出位置資訊，係以在述親液性區域之端部，對於前述液滴之噴出進行間拔的式所決定。例如在爲了形成線狀圖案而在親液性區域上 312/發明說明書(補件)/92-03/91135275 述小算定量修噴由述小算分噴好止利 n 刖方進 9 1252168 行噴出之狀態下’會有在該線之兩端部而使得膜厚變厚之傾向產生。因此’可以藉由在親液性區域之端部，對於前述液滴之噴出，進行間拔’而不進行對於端部之噴出，以便於涵蓋整個面’形成均勻膜厚之圖案。在前述申請專利範圍第1項至申請專利範圍第7項爲止之任何一項申請專利範圍所記載之發明中，正如申請專利範圍第8項所記載的’最好是由形成在前述基板表面上之親液性區域所構成之圖案，係藉由使用可以利用隨著能量之圖案照射所帶來之光觸媒作用而改變潤濕性之潤濕性可變層，在該潤濕性可變層上，呈圖案狀地照射能量，以便於形成圖案。像這樣，係由於可以藉由使得親液性區域形成在潤濕性可變層上’藉由能量之圖案照射，而容易形成高精細之親液性區域，可以藉此而製造具有彩色濾光片等之高精細圖案之圖案形成體之緣故。在前述申請專利範圍第8項所記載之發明中，正如申請專利範圍第9項所記載的，可以使得前述潤濕性可變層成爲藉由接觸到含有光觸媒之光觸媒處理層或保持2 0 0 // m 以下之間隙而進行配置後、照射能量而改變潤濕性的潤濕性變化層。在該狀態下，光觸媒係不殘留在圖案形成體內，因此，具有所謂圖案形成體之物性發生經時變化之可能性小之優點。另一方面，在前述申請專利範圍第8項所記載之發明中，正如申請專利範圍第1 0項所記載的，可以使得前述潤濕性可變層由光觸媒和黏合劑所構成’成爲藉由隨著能量 10 312/發明說明書(補件)/92-03/91135275 1252168 消除頂部間之噴出量不同，形成均勻圖案。此外，在申請專利範圍第1 5項所記載之發明中，正如申請專利範圍第1 6項所記載的，最好是決定前述噴出位置資訊，以便於使得對於前述液滴之噴出進行間拔之位置，在形成於前述基板上之圖案內，大槪均等地進行分散。如果藉由本發明的話，決定對於液滴之噴出進行間拔之位置，以便於大槪均等地分散在圖案內，因此，能夠在圖案內，均勻地分散液滴，可以形成更加均勻之圖案。此外，在申請專利範圍第1 4項至申請專利範圍第1 6項所記載之發明中，正如申請專利範圍第1 7項所記載的，最好是前述頂部單元係具備能夠在前述各個頂部之每一個而設定噴出動作是否成爲有效或無效的設定部，前述控制部係根據前述噴出位置資訊，而生成用以控制前述設定部之設定資訊，供應至前述設定部。更加具體地說，正如申請專利範圍第1 5項所記載的，最好是前述各個頂部係具備共同之壓電元件，在前述壓電元件，形成共同電極和分別對應於前述各個頂部之個別電極，前述控制部係具備在前述各個頂部生成共同驅動脈衝而供應至前述共同電極的驅動脈衝生成部，前述設定部係根據前述設定資訊而控制是否接地或開放前述各個之個別電極。此外，正如申請專利範圍第1 9項所記載的，本發明係提供一種彩色濾光片之製造方法，其特徵爲：具有使用申請專利範圍第1項至申請專利範圍第1 3項爲止之任何一項申請專利範圍所記載之圖案形成體之製造方法而形成由著 13 312/發明說明書(補件)/92-03/91135275 1252168 色層形成用塗敷液所構成之圖案接著使得該圖案硬化而形成著色層的製程。如果藉由本發明的話，則能夠製造著色層膜厚相當均勻之高品質彩色濾光片。【實施方式】以下，參照圖式說明本發明之某一實施形態。 < 1 .噴出系統之機械構造> 圖1，顯示噴出系統1之外觀構造。噴出系統1係具備個人電腦P C、控制裝置U 1、驅動單元U 2以及製造裝置 U3。製造裝置U3係具備壓電驅動型頂部單元3 0 0、基準台34〇以及台座350。其中，壓電驅動型頂部單元3〇〇係具備複數個壓電驅動型頂部，由各個壓電驅動型頂部噴出油墨。圖2係顯示壓電驅動型頂部單元3 0 0之外觀構造之立體圖。此外，在以下之說明中，壓電驅動型頂部單元3 〇〇係具備η個壓電驅動型頂部Η 1〜Η η。壓電驅動型頂部單元 3〇〇係具備本體Q及壓電元件ΡΖ。在本體Q，形成屬油墨噴出孔之孔口 3 00- 1〜3 00-η以及在每一個孔口 3 00- 1〜 3 0 0 -η藉由壁所隔開之各個油墨室。接著，成爲由孔口 300-1〜300-η噴出油墨。圖3係顯示壓電元件Ρ Ζ構造之剖面圖。正如該圖所顯示的，在固合有本體Q之壓電元件ΡΖ下面，形成共同電極Υ，在其上面，形成電極XI〜χη。在此種壓電驅動型頂部單元3 0 0，各個壓電驅動型頂部 Η1〜Ηη係藉由各個孔口 3 00-1〜300-η、在每一個孔口 14 312/發明說明書(補件)/92-03/91135275 1252168 3 Ο Ο - 1〜3 Ο Ο - η藉由壁所隔開之各個油墨室以及對應於壓電元件Ρ Ζ之各個電極X 1〜X η之各個部分而構成的。此外， -在該例子中，於各個壓電驅動型頂部Η 1〜Η η，使用共同 - 之壓電元件ΡΖ，但是，當然也可以在每一個頂部，分割壓 -電元件Ρ Ζ。 · 接著，圖1所示之台座350係可以藉由並未圖示之台座驅動機構而以基準台3 4 0之位置作爲基準，移動至X方向及Υ方向，此外，也可以沿著0方向而進行旋轉。此外，鲁台座3 5 0係具備並未圖示之真空機構，可以吸引載置於該真空機構上之基板400。另一方面，頂部單元300係透過臂構件3 6 0而固定在壁3 7 0。此外，壁3 7 0係對於基準台 340呈直角地進行固定。因此，可以使用真空機構而將基板4 〇〇固定於台座3 5 0 上，同時，在藉由台座驅動機構而移動台座3 5 0時，調整基板4 0 0和頂部單元3 0 0間之相對位置。在該製造裝置 U 3，移動基板4 0 0，並且，由壓電驅動型頂部Η 1〜Η η噴出油墨，形成圖案。圖4顯示形成在基板400上之彩色濾光片之圖案。該例子之彩色濾光片係具有線條狀圖案Ρ，圖中所示之「R」、「G」及「B」之各個符號，係表示其圖案著色成爲R色、0色，及B色。此外，在各個圖案p間’形成稱爲黑色矩陣之遮 · 光膜。 ^ 在圖5，呈示意地顯示液滴噴著之位置和壓電驅動型頂 _ 部單元3 0 0間之關係。該例子之壓電驅動型頂部單兀3 0 0 15 312/發明說明書(補件)/必〇3/91135275 1252168 係由6個壓電驅動型頂部η 1〜Η 6所構成，具備孔口 3 〇〇 _ i 〜3 Ο Ο - 6。在該圖中，黑圓之點D係表示液滴噴著之位置，白圓之點D係表示並無進行液滴之噴出。也就是說，液滴之噴出係進行間拔。在以下之說明中，將各個點D間之距離’稱爲點間距D P，此外，將由某個圖案中心開始至相鄰接之圖案中心爲止之距離，稱爲圖案間距P 丁。正如該圖所示，壓電驅動型頂部單元3 0 0係並無對於圖案P之長邊方向成爲直角，而是以某個角度進行配置。這個係由於圖案間距P T小於各個孔口間之距離W之緣故。圖所示之角度0係藉由sin-1 ( W/ PT )所得到。此外’各個圖案P 1〜P6之色濃度係藉由點密度所決定，因此’在該噴出系統1，藉由調整點間距DP而改變色濃度。在此’如果對於全部點D噴出液滴的話，則爲了在各個圖案P 1〜P 6間，使得色濃度成爲均勻，因此，必須使得由各個孔口 3 0 0 - 1〜3 0 0 - 6所噴出之液滴量成爲相等。但是，實際之壓電驅動型頂部Η 1〜Η 6、其機械•電氣特性係不均’因此，由各個孔口 3 Ο Ο - 1〜3 0 0 - 6所噴出之液滴量並不相等。所以，在該噴出系統1，藉由對於液滴之噴出進行間拔，而使得各個圖案Ρ 1〜Ρ 6之色濃度，成爲均勻化。例如在圖案Ρ 1 ’以每4次就進行1次之比例，對於液滴之噴出’進行間拔，在圖案Ρ 5，以每9次就進行2次之比例，對於液滴之噴出，進行間拔。圖案Ρ 5之液滴噴出，係重複進行所謂連續4次噴出、停止1次、再連續3次噴 16 312/發明說明書(補件)/92-03/91135275 1252168 出、停止1次之噴出動作。也就是說，進行噴出動作，以便於儘量分散間拔。正如後面敘述，在基板4 0 0 ’形成作爲基板調整處理之親液性區域。由於親液性區域係具有良好之潤濕性，因此，液滴係涵蓋寬廣範圍而進行潤濕擴散。所以，即使由於間拔而不在某個點D噴出液滴，也能夠使得噴出在相鄰接之點D上之液滴’進行潤濕擴散，也在間拔之點d上，塗敷油墨。但是，並非在親液性區域，使得液滴無限制地進行擴散，而是在液滴擴散之範圍，有一定之限度存在。所謂分散間拔係由於藉由噴著在基板4 0 0上之液滴而儘可能均勻地塗敷油墨，以便於使得圖案內之色濃度成爲一定之緣故。接著，圖1所示之個人電腦P C係在既定之程式生成位元對映資料B M D ’將此轉送至控制裝置ui。此外，監視器Μ係連接.在個人電腦P c ’在這裡表示：顯示噴出系統！動作狀態之圖像或呈示意地顯示液滴噴著位置之圖像等。在此，位元對映資料B M D係決定由各個壓電驅動型頂部Η 1〜Η η所噴出之各個液滴噴著於基板4 〇〇上之位置。換句話說’就圖5所示之各個點d而言，分配在黑圓者成爲「1」，在白圓者成爲「0」。可以藉由該位元對映資料BMD 而對於各個點D決定液滴是否噴出。接著，控制裝置U 1係發揮作爲噴出系統1控制中樞之功能’根據由個人電腦P C所轉送之位元對映資料B M D，而控制驅動單元U 2及製造裝置υ 3。此外，驅動單元υ 2 17 312/發明說明書(補件)/92-03/91〗35275 1252168 係同步於由控制裝置u 1所送出之觸發訊號，而生成高電壓驅動脈衝，將此供應至壓電驅動型頂部單元3 0 0。 < 2 .位元對映資料之生成> 接著，就位元對映資料BMD之生成，進行說明。在位元對映資料BMD之生成，有以下所敘述之2種形態。圖 1 〇係顯示第一形態之個人電腦P C動作之流程圖。個人電腦P C係將用以輸入用以生成位元對映資料B M D 所需要之參數之輸入畫面，顯示在監視器Μ，促使操作員輸入各個參數（步驟S1)。在圖11顯示輸入畫面之一例。在監視器Μ，顯示第一輸入畫面G 1。在此，所謂線幅寬係圖案Ρ之幅寬，所謂線長係圖案長度。此外，所爲高度係圖案Ρ之膜厚。可以藉由這些參數而求出1個圖案Ρ之體積。在該例子中，操作員係輸入作爲線幅寬之X、作爲線長之Υ及作爲高度之Η。此外，所謂使用孔口 No係在1個頂部單元3 00所具有之各個孔口 3 00- 1〜3 00 ·η中而噴出液滴之孔口編號。在該例子中，成爲n=128，使用由第21號之孔口 300-2 1開始至第116號之孔口 300-116。在操作員完成輸入畫面G1之各個參數之輸入時，個人電腦PC係將輸入畫面G2顯示在監視器Μ，促使操作員，就所使用之孔口而輸入每一次噴出之噴出量。操作員係預先計測來自各個孔口 3 0 0 · 1〜3 00-η之噴出量（體積）。噴出量係實際由各個孔口 300-1〜300-η噴出油墨而由油墨比重來換算其重量觀測之値。在操作員輸入噴出量時，個 18 312/發明說明書(補件)/92-03/91135275 1252168 人電腦p C係對應於各個孔口編號及噴出量而進行記憶。在結束這些參數之輸入時，個人電腦P C係使得處理進展至圖1 〇所示之步驟S2，而特定最小噴出量。接著，個人電腦p C係根據最小噴出量而算出圖案內之點數及點間距D P (步驟S 3 )。點數係藉由圖案體積除以最小噴出量而算出。具體地說，在以點數爲S D而最小噴出量爲K m i η時，個人電腦P C係演算下面所示之公式而算出點數S D。S D二 (X · Y · Z ) / Kmin 此外，個人電腦P c係演算下面所示之公式而算出點間距 DP。DP=Y/SD=Kmin/ (X· H) 接著，個人電腦P C係生成點D之佈局資料（步驟S 4 )。佈局資料係顯示各個點D之配置，根據所使用之孔口編號及點數所生成。在該時間點，僅決定各個點D之配置，並無就任何一個點D是否有效或無效而進行決定。接著，個人電腦P C係就來自各個孔口 3 0 0 - 1〜3 0 0 - η之噴出量而算出平均値（步驟S 5 )，此外，就全部點而生成以平均値作爲基準之位元對映資料B M D。在此，如果平均値成爲Kavr的話，則生成以1 — Kmin/ Kavr之比例而對於點進行間拔之位元對映資料BMD。例如如果平均値Kavr 爲1 〇 P 1而最小噴出量K m i η爲9 p 1的話，則1 一 K m i n / K a v r 之値成爲〇 . 9，對於1 0個點D，間拔1個點D (無效），9 個點D成爲有效。接著，個人電腦PC係在各個孔口 300-1〜300-n之每一個，算出來自平均値之差分（步驟S 1 )。在此，各個差分値 19 312/發明說明書(補件)/92-03/91135275 1252168 係以平均値作爲基準之％來表示。例如如果某個孔口之噴出量爲1 0.5 p 1的話，則對應於該孔口之差分値△係藉由下面所示之公式而算出。△二100· (10.5 — Kavr)/Kavr二+ 5% 接著，個人電腦P C係在各個孔口 3 0 0 - 1〜3 0 0 - η之每一個，根據差分値而修正位元對映資料BMD (步驟S 8 )。例如如果差分値△爲- 1 〇 %的話，則修正位元對映資料 B MD，以便對於每1 0個點D而有效於1個點D，如果差分値△爲+ 5 %的話，則修正位元對映資料BMD，以便對於每2 0個點D而無效於1個點D。能夠藉此，以便於即使是在由各個孔口 3 0 0 - 1〜3 0 0 · η所噴出之油墨噴出量呈不同之狀態下，也可以使得噴著於基板4 0 0上之每單位面積之液滴量成爲均勻，修正各個壓電驅動型頂部Η1〜Ηη間之不均。換句話說，個人電腦PC 係根據參數而修正位元對映資料BMD，以便於使得噴著於基板400上之每單位面積之液滴量成爲均勻。接著，在圖1 2顯示第二形態之個人電腦P C動作之流程圖。此外，步驟S 1〜S 4爲止之處理係相同於第一形態，因此，省略說明。在步驟S4結束時，個人電腦PC係以最小噴出量Km in 作爲基準，就來自各個孔口 300-1〜300-n之噴出量，算出差分値△(步驟S 9 )。在此，各個差分値△係以最小噴出量Km in作爲基準之 %來表示。例如如果某個孔口之噴出量爲1 1 p】而最小噴出 20 312/發明說明書(補件)/92-03/91135275 1252168 量Kmni爲l〇pl的話，則對應於該孔口之差分値△係藉由下面所示之公式而算出。△ f 100 · (11 — Kmin)/ Kmin = + 10% 接著，個人電腦P C係在各個孔口 3 0 0 - 1〜3 0 0 - η之每一個，根據差分値而生成位元對映資料BMD (步驟S 1 0 )。例如如果差分値△爲+ 1 〇 %的話，則生成位元對映資料 B M D，以便對於每1 0個點D而無效於1個點D。能夠藉此，以便於即使是在由各個孔口 3 00-1〜3 00-η所噴出之油墨噴出量呈不同之狀態下，也可以使得噴著於基板400上之每單位面積之液滴量成爲均勻，修正各個壓電驅動型頂部Η 1〜Ηη間之不均。換句話說，個人電腦P C 係根據參數而生成位元對映資料BMD，以便於使得噴著於基板400上之每單位面積之液滴量成爲均勻。此外，在前述第一及第二形態，個人電腦P C係生成位元對映資料BMD，以便於使得對應於間拔之點D，大槪均等地分散在圖案內。例如在1 0 0個點D中而對於5個點D 之噴出進行間拔之狀態下，個人電腦P C係生成對於連續之1 9個點D指示噴出接著對於1個點D指示噴出停止的位元對映資料BMD。此外，在前述第一及第二形態，也可以添加藉由手動所造成之位元對映資料B M D之修正製程。可以在該修正製程，將在各個點D之每一個顯示有效•無效之位元對映，表示在監視器Μ，操作員使用滑鼠等之輸入裝置而指定希望改變之點D，輸入變更指示。在該狀態下，個人電腦p c 21 312/發明說明書(補件)/92-03/91135275 1252168 係可以就指示變更之點D，反轉有效及無效。例如在指定某個點D之狀態下，如果對應於該點D之位元對映資料 B MD値爲「1」的話，則可以將値變更爲「Q」，如果値爲「0」的話，則可以將値變更爲「1」。此外，可以在前述第一及第二形態，於製造裝置U 3，追加自動地測定各個孔口 3 0 0 - 1〜3 Ο Ο -η之噴出量之測定裝置’以便於使得個人電腦P C由測定裝置，來取得測定結果。在該狀態下，使用電子天平和測試基板。在第一，藉由電子天平而測定測試基板之重量，將測定結果放入至個人電腦P C中。在第二，藉由自動搬送裝置而將測試基板，載置於台座350上。在第三，由某個孔口，噴出複數次油墨。在第四，再一次地將測試基板，搬送至電子天平，測定其重量，將測定結果放入至個人電腦PC。在第四，藉由個人電腦P C而算出噴出前後之重量差，以算出結果除以噴出次數而算出1次噴出重量。在第五，個人電腦PC以油墨比重而換算噴出重量，求出噴出量。可以藉由在各個孔口 300-1〜300-n之每一個，實行以上處理，以便於自動地將各個孔口 3 00- 1〜3 00-η之噴出量，放入至個人電腦 PC ° < 3 .噴出系統之電氣構造> 接著，就噴出系統1之電氣構造而進行說明。圖6係顯示噴出系統之電氣構造之方塊圖。

控制裝置U1係具備控制電路100、RAM110、ROM120、位元對映記憶體130以及介面140。控制電路100係以CPU 22 312/發明說明書(補件)/92-03/91135275 !252168 作爲主要部而構成，透過匯流排（省略圖示）而連接控制裝置1 0 0之各個構造部分。R Α Μ 1 1 0係發揮作爲控制電路 1 〇〇之作業區域之功能，記憶演算途中之資料等。此外，在R Ο Μ 1 2 0，除了啓動程式以外，還記憶用以控制整體控制裝置U 1之控制程式。控制電路1 0 0係按照該控制程式而控制噴出系統1。此外，位元對映記憶體1 3 0係記憶由個人電腦PC所轉送之位元對映資料BMD。介面140係在和個人電腦PC間，進行通訊，其通訊協定係按照例如SCSI 規格。此外，控制電路1 〇〇係控制台座驅動機構3 2 0而移動圖 1所示之台座350及基板400。爲了移動台座350，因此，必須正確地檢測其位置。設置在製造裝置U 3之位置檢測感測器3 3 0係用以檢測台座3 5 0位置之構造，生成顯示台座3 5 0位置之位置訊號，將位置訊號供應至控制裝置u 1 之控制電路1 〇〇。控制電路1 0 0係根據位置訊號而移動台座350及基板400。此外，控制電路1 〇〇係按照控制程式而生成成爲低位準且有效之觸發訊號TG。驅動單元U2係檢測觸發訊號TG 之邏輯位準由高位準遷移至低位準，生成驅動脈衝V而供應至構成壓電驅動型頂部單元U 3之各個壓電驅動型頂部 Η 1〜Η η。因此，驅動脈衝V係同步於觸發訊號T G。此外，驅動單元U2係生成顯示驅動脈衝V成爲有效之期間之響應訊號RS而供應至控制電路1 〇〇。接著，壓電驅動型頂部單元U 3係具備驅動電路3 1 0。圖 23 312/發明說明書(補件)/92-03/91135275 1252168 7係顯示驅動電路3 1 0及其周邊電路之構造之電路圖。在該圖中，電容器C 1、C 2.....C η係表示以構成各個壓電驅動型頂部Η 1〜Ηη之壓電元件ΡΖ作爲等效電路。在各個電容器Cl、C2.....Cn之各個端子中’連接著連接點y 之各個端子係相當於圖3所示之共同電極Y，另一方面，相反於連接點y之相反側之各個端子係相當於圖3所示之電極 XI、X2、…、Xn。驅動電路3 1 0係具備移位暫存器3 1 1、閂鎖電路3 1 2以及開關SW1、SW2.....SWn。移位暫存器31 1係同步於時脈訊號CLK而得到控制資料CD。控制資料CD係串列資料形式之資料，指示各個壓電驅動型頂部Η 1〜Ηη是否有效或無效。控制資料C D係控制電路1 〇 0根據位元對映資料 BMD所生成。閂鎖電路3 1 2係根據閂鎖脈衝LP而對於移位暫存器3 1 1之各個輸出訊號，進行閂鎖。接著，根據閂鎖電路3 1 2之輸出訊號CTL1、CTL2.....CTLn而控制各個開關SW1、SW2.....SWn之導通•截止。 < 4 .噴出系統之動作> 接著，說明噴出系統1之動作。圖8係顯示噴出系統1 之動作例之時序圖。在該例子中，形成圖5所示之圖案p 1 〜P6，在圖5顯示壓電驅動型頂部單元3 00和基板4 00間之相對位置。在時刻tO，於壓電驅動型頂部單元3 00到達至線L1時，控制電路1 〇〇係使得觸發訊號T G成爲有效（低位準）。收到觸發訊號T G之驅動單元U2係在期間τ A使得驅動 24 312/發明說明書(補件)/92-03/91135275 1252168 脈衝V成爲有效，同時，使得響應訊號成爲有效（低位準）。藉此而對於各個壓電驅動型頂部Η 1〜Η η供應驅動脈衝V。在該期間ΤΑ，閂鎖電路312之輸出訊號CTL1〜 CTL6係成爲「Η、Η、Η、L、Η」’因此，開關svn〜SW3、 SW5及SW6係成爲導通狀態，另一方面，開關SW4成爲截止狀Si。因此’由孔口 300-1〜3〇〇-3、300-5及300-6 而噴出液滴，另一方面’並無由孔口 3 0 0 - 4噴出液滴。也就是說，就對於線L1上之圖案P 4之點d而言，對於液滴之噴出進行間拔。接著，在時刻t 1，於驅動脈衝V成爲非有效時，驅動單元U2係使得響應訊號RS成爲非有效（高位準）。在控制電路1 0 0檢測響應訊號R S成爲非有效時，將用以進行下一次噴出之控制資料CD送出至驅動電路3〗〇。接著，在控制資料CD之送出結束後，於控制電路i 00使得閂鎖脈衝L P成爲有效時（時刻12 )，閂鎖電路3 1 2係對於移位暫存器3 1 1之各個輸出訊號進行閂鎖。藉此而切換輸出訊號 CTL1〜CTL6之邏輯位準。在該例子中，輸出訊號CTL3之邏輯位準係由高位準變化成爲低位準，同時，輸出訊號C T L 4之邏輯位準係由低位準遷移至高位準。接著，在時刻t 3，於壓電驅動型頂部單元3 00到達至線 L2時，控制電路1 0 0係使得觸發訊號T G成爲有效（低位準）◦像這樣，即使是在期間TB，也相同於期間TA，驅動脈衝V係供應至各個壓電驅動型頂部Η 1〜Η 6。但是，在 25 312/發明說明書(補件)/92-03/91135275 1252168 期間丁 B，輸出訊號C T L 1〜C T L 6係成爲「Η、Η、L、Η、 Η」，因此，開關SW1、SW2及SW4〜SW6係成爲導通狀態，另一方面，開關S W 3成爲截止狀態。因此，由孔口 3 0 0 - 1、 300_2及300-4〜300-6而噴出液滴，另一方面，並無由孔口 3 0 0 - 3噴出液滴。也就是說，就對於線L 2上之圖案P 4 之點D而言，對於液滴之噴出進行間拔。以下同樣地，可以在期間TC、TD、TE、…，藉由進行對於既定點D間拔之液滴噴出，而使得由各個壓電驅動型頂部H1〜Hn所噴出之油墨噴著在基板400上之每單位面積之液滴量，成爲均一化。可以藉此而形成厚度均勻之圖案，能夠製造色濃度均句之彩色濾光片。 < 5.圖案形成體之製造方法> 接著，就本發明之圖案形成體之製造方法而進行說明。本發明之圖案形成體之製造方法，係藉由使得複數個頂部爲一體之頂部單元和基板間之相對位置成爲可變同時由前述各個頂部對於前述基板噴出複數個液滴而在前述基板形成圖案的圖案形成體之製造方法，其特徵爲··對應於該形成之圖案，而將由前述液滴潤濕擴散之親液性區域所構成之圖案，形成在前述基板表面，按照預先所決定之規則而對於前述各個頂部液滴之噴出，進行間拔，以便於使得噴著在前述親液性區域之每單位面積之液滴量，成爲均勻化。在本發明中，像這樣，按照預先所決定之規則而對於由各個頂部所噴出之液滴，進行間拔，因此，具有所謂能夠藉由1次塗敷製程而使得親液性區域上之每單位面積之液 26 312/發明說明書(補件)/92-03/91135275 1252168 滴量成爲均勻化之優點。此外，在本發明中，由於液滴之噴著位置係親液性區域，因此，即使是在液滴進行間拔之狀態下，也能夠使得液滴進行潤濕擴散，可以成爲均勻膜厚。此外，在此所謂親液性區域係可以具有所噴著之塗敷液進行潤濕擴散程度之潤濕性，而並無特別之限定，但是：最好是使用對於成爲對象之塗敷液之接觸角爲2 0。以下、更加理想是20°以下之親液性區域。此外，作爲在本發明所形成之圖案形成體之圖案，係最好是線條狀圖案，特別是適合在藉由來自1個頂部之液滴而形成1個線條之狀態下。在形成此種圖案時，特別是會有頂部間之液滴量不均成爲問題之緣故發生。在本發明中，最好是決定來自前述頂部之液滴噴出資訊，以便於使得對於前述液滴之噴出進行間拔之位置，幾乎均等地分散在前述親液性區域內。在噴出進行間拔之位置、也就是並無噴出之位置呈連續時，則即使是在噴著之液滴進行潤濕擴散之狀態下，也有可能無法形成均勻膜厚之緣故。在本發明中，就能夠連續地進行間拔至何種程度之間隔爲止而言，則藉由預先測定對於基板上之親液性區域之塗敷液潤濕性，成爲其範圍內，而進行決定。此外，通常在進行間拔而使得所容許範圍內之噴墨裝置頂部之不均成爲均勻化時，可以決定親液性區域之潤濕性，以便於使得液滴，在親液性區域內，爲均勻膜厚。此外，在本發明中，最好是決定前述噴出資訊，以便在 27 312/發明說明書(補件)/92-03/91135275 1252168 前述親液性區域之端部，對於前述液滴之噴出，進行間拔。例如在形成線條狀圖案之狀態下，最好是使得相當於線條端部之親液性區域端部、也就是塗敷開始之區域和塗敷結束之區域不噴出液滴。一般在使用噴墨裝置而塗敷液滴之狀態下，會有此種端部之膜厚變厚之傾向產生。在本發明中，藉由對於端部之液滴噴出，進行間拔，而使得此種端部之厚膜化成爲均勻化。此時，就由端部開始而對於液滴之噴出進行間拔至何種程度之距離爲止而言，由於各個基板之親液性區域和所塗敷之塗敷液間之潤濕性或者塗敷液之黏度等而大幅度地不同’因此，一般最好是藉由預先進行塗敷而決定其距離。在本發明中，最好是由形成在前述基板表面上之親液性區域所構成之圖案，係藉由使用可以利用隨著能量之圖案照射所帶來之光觸媒作用而改變潤濕性之潤濕性可變層，在該潤濕性可變層上，呈圖案狀地照射能量，以便於形成圖案。像這樣，由於利用光觸媒作用而形成親液性區域圖案之方法，係可以藉由能量之圖案照射而形成親液性區域，因此，能夠形成高精細之親液性區域圖案，例如也可以應付在彩色濾光片等之高精細之圖案形成體上之緣故。在本發明中，作爲像這樣使用光觸媒而形成親液性區域圖案之方法，係有前述潤濕性可變層使用藉由接觸到含有光觸媒之光觸媒處理層或保持200 // m以下之間隙而進行配置後、照射能量而改變潤濕性的潤濕性變化層的實施形 28 312/發明說明書(補件)/92-03/91135275 1252168 態（以下、成爲第一實施形態）以及前述潤濕性可變層使用由光觸媒和黏合劑所構成並且藉由隨著能量照射所帶來之光觸媒作用而改變潤濕性以便於降低和液體間之接觸角的光觸媒含有層的實施形態（以下、成爲第二實施形態）。以下，就各個實施形態而進行說明。 (1 )第一實施形態首先，就使用潤濕性變化層的實施形態而進行說明。在本實施形態所使用之潤濕性變化層，係藉由在接觸到具有光觸媒之光觸媒處理層之狀態下、進行曝光（在此，所謂本發明之曝光係成爲包含能量照射之槪念。此外，所謂能量照射之能量係表示可以改變潤濕性變化層或光觸媒含有層之潤濕性之紫外線等之能量。）而在其表面形成由親液性區域和疏液性區域所構成之潤濕性圖案的層體。該潤濕性變化層係藉由隨著能量照射所帶來之光觸媒作用而改變潤濕性以便於降低液體接觸角的潤濕性變化層。如果藉此而進行圖案曝光等的話，則可以容易改變潤濕性而形成和液體間之接觸角小之親液性區域圖案。因此，如果是企圖成爲該潤濕性變化層上之親液性區域之部分爲彩色濾光片的話，則可以藉由僅在形成著色層之區域，進行曝光，而容易成爲親液性區域，並且，在該部分，例如如果爲前述彩色瀘光片的話，則能夠藉由附著著色層形成用塗敷液而容易形成具有著色層之彩色濾、光片。因此，可以有效率地製造彩色濾光片，有利於成本降低。在此，所謂親液性區域係正如前面敘述，爲對於既定液 29 312/發明說明書(補件)/92-03/91135275 1252168 體之接觸角小之區域，係指對於圖案形成用塗敷液、例如對於彩色濾光片用之著色層形成用塗敷液等之潤濕性良好之區域。此外，所謂疏液性區域係液體接觸角大之區域，係指對於圖案形成用塗敷液、例如對於彩色濾光片用之著色層形成用塗敷液等之潤濕性不佳之區域。作爲形成在本實施形態所使用之潤濕性變化層表面上之疏液性區域和親液性區域之潤濕性，係最好在以下範圍內。也就是說’在疏液性區域，最好是和表面張力4 0 m N / m之液體間之接觸角爲1 0 °以上，更加理想是和表面張力3 OmN/ m之液體間之接觸角爲1 0°以上，特別是和表面張力20mN/m之液體間之接觸角爲10°以上。這個係由於疏液性區域、也就是不進行曝光之部分是在本實施形態中之要求疏液性之部分，因此，在和液體間之接觸角小之狀態下，疏液性並不充分，有殘留塗敷液等之可能性發生，結果，並不理想之緣故。此外，潤濕性變化層表面上之親液性區域，係最好是和表面張力40mN/ m之液體間之接觸角爲9 °以下，更加理想是和表面張力5 0 m N / m之液體間之接觸角爲1 〇 °以下，特別是和表面張力60mN/ m之液體間之接觸角爲1〇° 以下。這個係由於在和親液性區域之液體間之接觸角大時，有在該部分之塗敷液等之擴散變差之可能性產生之緣故。此外，本實施形態之接觸角係使用接觸角測定器（協和界面科學（股）公司製C A - Z型）而測定（由微注射器而 30 312/發明說明書(補件)/92-03/91135275 1252168 滴下液滴之3 0秒鐘後）和具有各種表面張力之觸角’由其結果或者是使得其結果成爲圖形而角。此外，在該測定時，作爲具有各種表面張係使用純正化學股份有限公司製之潤濕指數標在本實施形態所使用之潤濕性變化層係正如可以藉由能夠利用光觸媒作用而改變表面潤濕形成，而並無特別限定，例如正如後面敘述，基板上’也可以使用本身具有自行支持性者、者。此外，在本實施形態所謂具有自行支持性者他支持材而能夠以有形之狀態來存在。作爲此種在本實施形態所使用之潤濕性變化具體地說，係可以列舉藉由在其表面接觸光觸照射能量以便於使得對於相同於具有後面所塗成用塗敷液表面張力之同等表面張力之液體之成爲至少1 °以上、最好是5 °以上、特別是1 作爲此種材料，係可以列舉例如聚乙烯、聚丙烯聚苯乙烯、聚酯、聚乙烯基氟化物、縮醛右 ABS、PTFE、甲基丙烯酸樹脂、苯酚樹脂、聚偏聚甲醛、聚乙烯醇、聚氯乙烯、聚乙烯對苯二等。另一方面，作爲塗敷在基材上而成爲潤濕性料，係藉由前述潤濕性變化層之特性、也就是 312/發明說明書(補件)/92-03/91135275 .液體間之接得到接觸力之液體，準液。前面敘述，性之材料所可以塗敷在例如薄膜狀，係指無其層之材料，媒含有層而敷之圖案形接觸角改變〇 °以上之材碳酸酯、聚 S脂、耐綸、丨二氟乙烯、甲酸、矽酮變化層之材藉由曝光來 1252168 但是，η係2以上之整數，R1、R2係分別爲碳數目1〜 1 〇之取代或非取代之烷基、鏈烯基、芳基或氰基烷基，莫爾數比爲整體40%以下者係乙烯基、苯基、鹵化苯基。此外，R 1、R2爲甲基者係最好爲表面能最小者，莫爾數比之甲基最好爲6 0 %以上。此外，在鏈末端或側鏈，於分子鏈中’具有至少1個以上之羥基等之反應性基。此外，也可以和前述聚有機矽氧烷一起混合二甲基聚矽氧烷之不發生交聯反應之穩定之有機矽酮化合物。此種潤濕性變化層係可以藉由配合需要，將前述成分和其他添加劑一起分散在溶劑中，調製塗敷液，將該塗敷液，塗敷在基板上，而形成潤濕性變化層。在本實施形態中，該潤濕性變化層之厚度係由於光觸媒所造成之潤濕性之變化速度等之關係，因此，最好是〇 . 〇〇 1 # m至1 // m，特別最好是在0 · 0 1〜0 · 1 // m之範圍內。可以在本實施形態中，藉由使用前述成分之潤濕性變化層來進行接觸，或者是藉由保持既定間隔所配置之光觸媒處理層中之光觸媒作用，而使用成爲前述成分一部分之有機基或添加劑之氧化、分解等之作用，改變曝光部之潤濕性’成爲親液性，以便在和非曝光部間之潤濕性間，產生極大差異。因此’可以藉由提高和功能性部分用組成物、例如和著色層形成用塗敷液等之受容性（親液性）和排斥性（疏液性），而成爲品質良好且有利於成本之彩色濾光片等。在此種潤濕性變化層上而形成由親液性區域和疏液性區 312/發明說明書(補件)/92-03/91135275 32 1252168 域所構成之潤濕性圖案之方法，係正如前面敘述’藉由接觸到光觸媒處理層而進行圖案曝光所造成的。做爲該光觸媒處理層，係可以適合使用後面所敘述之光觸媒含有層，但是，本實施形態係不限定於此’也可以是藉著例如真空製膜法等而僅由光觸媒所形成之層。此外’ 所使用之光觸媒種類，係可以使用在後面所敘述之第二實施形態而採用者。此外，該接觸形態係也可以實際地進行接觸，並且，也可以在前述潤濕性變化層和光觸媒處理層間，形成2 0 0 /i m 以下、特別是在〇.2//m〜10//m之範圍內之其中1/zm〜5 // m之範圍內之空隙，以便在該狀態下，進行曝光。 (2 )第二實施形態在本實施形態，成爲潤濕性可變層由光觸媒和黏合劑所構成之光觸媒含有層之形態。有關於該光觸媒含有層上之親液性區域和疏液性區域之定義以及潤濕性之範圍等，相同於前述第一實施形態之項目之說明，因此，省略在此之說明。在本實施形態所使用之前述光觸媒含有層，係至少由光觸媒和黏合劑所構成。由於可以藉由成爲此種層，藉由能量照射，藉由利用光觸媒作用而改變黏合劑中之成分，以便於提高臨界表面張力，結果，能夠容易地形成潤濕性圖案之緣故。此種光觸媒含有層中之後面敘述之氧化鈦所代表之光觸媒作用機構，係不一定明確，但是，認爲：藉由光照射所 34 312/發明說明書(補件)/92-03/91135275 1252168 生成之載體係藉由和附近化合物間之直接反應或者是在氧、水之存在下而產生之活性氧種，以便對於有機物之化學構造，造成變化。在本實施形態而使用光觸媒含有層來作爲潤濕性可變層之狀態下，可以藉由光觸媒，使用成爲黏合劑一部分之有機基或添加劑之氧化、分解等之作用，而改變能量照射部之潤濕性，成爲親液性，在和未照射部間之潤濕性，產生極大差異。此外，在本實施形態而使用此種光觸媒含有層之狀態下，可以使得該光觸媒含有層至少含有光觸媒和氟，並且，在對於光觸媒含有層照射能量時，形成前述光觸媒含有層，以便於使得該光觸媒含有層表面之氟含有量，由於前述光觸媒作用，以致於比起能量照射前，還更加地降低。照射能量所形成之氟含有量低之親液性區域上之氟含有重’係最好是在無能墓照射之部分之氣含有量成爲1 〇〇之狀態下，成爲1 〇以下，比較理想是5以下，特別最好是1 以下。此種光觸媒含有層中之氟含有量之測定，係可以使用一般所進行之各種方法，例如可以是X射線光電子分光法 (X-ray Photoelectron Spectroscopy ；也稱爲 ESCA (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis:化學分析用電子分光法）。）、螢光X射線分析法、質量分析法等之能夠定量地測定表面氟含量之方法，並無特別之限定° 作爲在本實施形態所使用之光觸媒，係可以列舉已知作 35 312/發明說明書(補件)/92-03/91135275 1252168 爲光半導體、例如二氧化鈦（Ti〇2 )、氧化鋅（ZnO )、二氧化錫（Sn02 )、鈦酸緦（SrTi〇3 )、氧化鎢（W〇3 )、氧化鉍（B 1 2 0 3 )和氧化鐵（F e 2 0 3 )，可以混合使用由這些所選出之一種或二種以上。在本實施形態，特別是二氧化鈦、其頻帶隙能高’化學性質穩定，也不具有毒性，並且，容易得到，因此，適合被使用。在二氧化鈦，有銳鈦礦型和金紅石型’在本實施形態，任何一種皆可以使用，但是’最好是銳鈦礦型氧化鈦。銳鈦礦型氧化鈦係激發波長3 8 Onm以下。作爲此種銳鈦礦型氧化鈦，係可以列舉例如鹽酸解膠型之銳鈦礦型二氧化鈦溶膠（石原產業（股）製STS-02(平均粒徑7nm )、石原產業（股）製ST-K01 )、硝酸解膠型之銳鈦礦型二氧化鈦溶膠（日產化學（股）製TA-15 (平均粒徑 1 2 n m ))等。光觸媒之粒徑越小，則越加有效地引起光觸媒反應，因此，變得理想；平均粒徑係最好爲5 Onm以下，特別最好是使用2 Onm以下之光觸媒。此外，光觸媒之粒徑越小，則所形成之光觸媒含有層之表面粗糙就變得越小，因此，變得理想；在光觸媒之粒徑超過1 0 Onm時，則光觸媒含有層之中心線平均表面粗糙變粗，導致光觸媒含有層之非曝光部之疏液性降低，並且，曝光部之親液性之發現，變得不充分，因此，並不理想。在本實施形態所使用之光觸媒含有層係以前述光觸媒和黏合劑作爲主要成分。在此，所使用之黏合劑，係相同 36 312/發明說明書(補件)/92-03/91135275 1252168 於前述潤濕性變化層之項目所說明之塗敷在基材上之形態，因此，省略在此之說明。可以在本實施形態之光觸媒含有層上，除了前述光觸媒、黏合劑以外，還含有界面活性劑。具體地說，可以列舉日光 Chemicals (股）製 NIKKOL BL、BC、BO、BB 之各個系列等之烴基系、杜邦公司製ZONYL FSN、FSO、旭硝子（股）製Surfron S-141、145、大日本油墨化學工業 (股）製 Megafuck F-141、145、Neos (股）製 Phthadient F-120、F-251、大金工業（股）製 UnidineDS-401、402、 3M (股）製FlorideFC-170、176等之氟系或矽酮系非離子界面活性劑，此外，也可以使用陽離子系界面活性劑、陰離子系界面活性劑、兩性界面活性劑。此外，可以在光觸媒含有層上，除了前述界面活性劑以外，還包含聚乙烯醇、不飽和聚酯、丙烯酸樹脂、聚乙烯、二烯丙基酞酸鹽、乙烯丙烯二烯單體、環氧樹脂、苯酚樹月旨、聚胺基甲酸乙酯、三聚氰胺樹脂、聚碳酸酯、聚氯乙烯、聚醯胺、聚醯亞胺、苯乙烯丁二烯橡膠、氯丁二烯橡膠、聚丙烯、聚丁烯、聚苯乙烯、聚乙酸乙烯、聚酯、聚丁二烯、聚苯并咪唑、聚丁腈、聚環氧氯丙烷、聚硫化物、聚異戊二烯等之低聚物、聚合物等。光觸媒含有層中之光觸媒含有量係可以設定在5〜60重量％、最好是在20〜40重量％之範圍內。此外，光觸媒含有層之厚度係最好是在〇.〇5〜l〇//m之範圍內。前述光觸媒含有層係可以藉由配合需要而將光觸媒、黏 37 312/發明說明書(補件)/92-03/91135275 1252168 合劑和其他添加劑一起分散在溶劑中，調製塗敷液，塗敷該塗敷液，以便於形成光觸媒含有層。作爲所使用之溶劑，係最好疋乙s?、異丙醇等之醇系有機溶劑。塗敷係可以藉由旋轉式塗敷、噴射塗敷、浸漬塗敷、滾筒塗敷、珠粒塗敷等之習知塗敷方法而進行。在含有作爲黏合劑之紫外線硬化型成分之狀態下，可以藉由照射紫外線而進行硬化處理，以便於形成光觸媒含有層。 < 6 .彩色濾光片之製造方法> 最後，就本發明之彩色濾光片之製造方法而進行說明。在圖9，顯示彩色濾光片之製造製程之一例。正如圖9 ( A )所示，在玻璃等之透明基板4丨〇上，形成黑色矩陣4 2 0。接著，正如圖9 ( B )所示，藉由利用旋轉式塗敷法等而塗敷光觸媒含有層形成用塗敷液，進行硬化，以便於形成光觸媒含有層43 0。接著，爲了在形成著色層之區域，呈圖案狀地照射紫外線，因此，在光源（省略圖示）和光觸媒含有層4 3 0間，配置光罩Μ，由光源照射光。藉此而使得光觸媒含有層4 3 0中之照射光之部分，成爲親液性區域43 1，另一方面，並無照射光之部分，成爲疏液性區域4 3 2。這些製程係用以製造使用在噴出系統1之基板400之製程，稱爲基板調整處理。在圖9 ( D )所示之製程，將這樣所製造之基板400,載置於製造裝置U3之台座350上’由壓電驅動型頂部單元3 0 0噴出用以形成著色層之液滴’來形成著色層。此時，由各個壓電驅動型頂部Η 1〜Ηη所噴 38 312/發明說明書(補件)/92-03/911352% 1252168 出之液滴係配合需要而進行間拔，因此，即使壓電驅動型頂部H1〜Hn之噴出量不同，也能夠製造均勻無差異之彩色濾光片。在前述彩色濾光片之製造方法之一例，顯示使用成爲前述圖案形成體之製造方法中之第二實施形態之光觸媒含有層之例子，但是’在本發明中，也可以是使用在前述第一實施形態所示之潤濕性變化層之形態。作爲用以形成前述著色層之著色層形成用塗敷液，係可以是能夠藉由噴墨裝置而進行塗敷之著色層形成用塗敷液，並無特別之限定。此外’前述黑色矩陣係也使用通常所採用之鉻等之金屬薄膜或遮光性樹脂等。在本發明之彩色濾光片之製造方法，另外也配合需要，而進行透明電極層之形成或保護層形成等之製程，來製造彩色濾光片。 < 7 .變化例> 本發明係不限定於前述實施形態，前述實施形態係例舉，也可以是例如以下所敘述之變化。此外，具有實質相同於本發明之申請專利範圍所記載之技術思想之相同構造而達到同樣作用效果者，係不論怎樣，皆包含在本發明之技術範圍內。 (1 )前述各個實施形態之噴墨裝置係成爲彩色濾光片之製造裝置之一部分而進行說明’但是，本發明係並無僅限定於此，當然也可以適用在紙等之紀錄媒體噴出油墨而進行印刷之印表機裝置上。 39 312/發明說明書(補件)/92-03/91135275 1252168 (2 )在前述各個實施形態，使用壓電驅動型頂部Η 1〜 Η η而進行油墨噴出，但是’本發明係並無僅限定於此，也可以使用藉由在噴嘴中之加熱器來進行加熱而生成泡沬並且利用該泡沫而擠出油墨之熱感應噴墨方式的頂部。 (實施例） (對於透明基板上之親液性圖案之形成）在300x400mm之無丙烯酸玻璃基板上，形成含有光觸媒及黏合劑之光觸媒含有層。在該狀態下，潤濕性可變層係具有疏油墨性。在透過開口部9 0 // m X 2 0 0，0 0 0 # m、以 1 0 0 // m之間距而成爲1 0 2 4條之線狀罩幕圖案來照射紫外線時，於光觸媒含有層上，形成相同間距之親液性線圖案。 (噴墨噴出量之確認）準備具有1 2 8個噴出孔之壓電驅動型噴墨頂部，在計測由各個噴出孔所噴出之油墨滴下體積時，平均成爲20pL /drop，最小成爲18pL/drop，最大成爲22pL/drop。也就是說，確認：對於平均噴出量，有± 1 0 %之不均存在。 (Bitmap (位元對映）製作）得知在藉由滴下量而計算彩色濾光片製作所需要之噴出量時，在來自噴出量最少之噴出孔之噴出，.必須在每一條線，成爲9000dr〇p。因此，作成在每一條線之9000點、在1 024條線份量之Bitmap資料（位元對映資料）。作爲預設，係一條線9 0 0 0點中之9 0 %點成爲Γ 1」，殘餘1 〇 %比例之點成爲「0」。 (B i t m a p (位元對映）調整） 40 312/發明說明書(補件)/92-03/91135275 1252168 配合來自噴墨之各個噴出孔之噴出量，調整整個線之 B 1 tm ap資料。例如相當於低於噴出量平均値5 %之噴出孔之線資料，係增加成爲「1」之點5 %，相當於多於噴出量平均値8 %之噴出孔之線資料，係間拔成爲「1」之點8 %。 (噴墨塗敷、彩色濾光片之製作）根據前述所製作之B i t m ap資料，而由噴墨頂部，噴出彩色濾光片製作用油墨，噴著在具有前述親液性圖案之透明基板之親液性圖案上。噴著油墨係均勻地潤濕擴散在親液性部分。在對於這個進行硬化•乾燥時，可以製作膜厚1 /i m之線狀彩色濾光片。可以使得各條線之膜厚差在± 1 % 以內。【發明之效果】正如以上所說明的，如果藉由本發明的話，即使各個頂部間之噴出量不同，也能夠形成均勻圖案。【圖式簡單說明】圖1係顯示本發明之噴出系統之外觀構造之立體圖。圖2係顯示使用在相同系統上之壓電驅動型頂部單元之機械構造之立體圖。圖3係顯示使用在相同單元上之壓電元件構造之剖面圖。圖4係顯示形成在基板上之彩色濾光片圖案之俯視圖。圖5係呈示意地顯示液滴噴著之位置和壓電驅動型頂部單元3 00間之關係之說明圖。圖6係顯示相同系統之電氣構造之方塊圖。 41 326\總檔\91\91135275\91135275(替換 >1 1252168 圖7係使用在相同系統上之驅動電路之電路圖。圖8係顯示相同系統之動作之時序圖。圖9(A)〜（D)係顯示使用相同系統之彩色濾光片之製^ 製程之製程圖。圖1 0係顯示有關於第一形態之位元對映資料BMD生成之個人電腦P C動作之流程圖。圖1 1係用以說明參數輸入畫面之說明圖。圖1 2係顯示有關於第二形態之位元對映資料B M D生成之個人電腦P C動作之流程圖。【元件符號說明】 Θ 角度 BMD 位元對映資料 (噴出位置資訊） C 1 〜Cn 電容器 CD 控制資料 CLK 時脈訊號 CTL1 〜CTLn 輸出訊號 D 點 DP 點間距 G1 第一輸入畫面 G2 輸入畫面 H 1 〜Η n 壓電驅動型頂部（頂部） LI 線 L2 線 LP 閂鎖脈衝 326\總檔\91\91135275\91135275(替換)-1 42 1252168 Μ 監視器 Ρ 圖案 Ρ 1 〜Ρ 6 圖案 PC 個人電腦 PT 圖案間距 PZ 壓電元件 Q 本體 RS 響應訊號 S W 1 〜S W η 開關 t 1 時亥U t2 時亥！J t 3 時亥！J ΤΑ 期間 TB 期間 TC 期間 TD 期間 TE 期間 TG 觸發訊號 U 1 控制裝置 U2 驅動單元 U3 製造裝置 V 驅動脈衝 w 距離 X 1 〜X n 電極 3 26\總檔\91 \9113 5275\91135275(替換)-1 43 1252168 Υ 共同電極 y 連接點 1 噴出系統 1 00 控制電路（控制部） 110 RAM 12 0 ROM 13 0 位元對映記憶體（記憶部） 14 0 介面 3 00 壓電驅動型頂部單元（頂部單元） 3 0 0 - 1 〜3 00 -n 孔口 3 10 驅動電路 3 11 移位暫存器 3 12 閂鎖電路 3 2 0 台座驅動機構 340 基準台 3 5 0 台座 3 60 臂構件 3 7 0 壁 400 基板 4 10 透明基板 420 黑色矩陣 43 0 光觸媒含有層 43 1 親液性區域 43 2 疏液性區域 326\總檔\91\91135275\91135275(替換 Η 44 1252168 4 3 2 疏液性區域

312/發明說明書(補件)/92-03/91135275

Claims

1252168 94. 2 4 替換本一·. π ...— 拾、申請專利範圍 a 1. 一種圖案形成體之製造方法，係藉由使得複數個頂部爲一體之頂部單元和基板間之相對位置成爲可變同時由前述各個頂部對於前述基板噴出複數個液滴而在前述基板形成圖案的圖案形成體之製造方法，其特徵爲：對應於該形成之圖案，而將由前述液滴潤濕擴散之親液性區域所構成之圖案，形成在前述基板表面，以使得噴著在前述親液性區域之每單位面積之液滴量成爲均勻化的方式’按照預先所決定之規則而對於前述各個頂部液滴之噴出進行間拔。 2 .如申g靑專利範圍第1項之圖案形成體之製造方法，其中，根據在前述各個頂部之每一個顯示預先決定的同時使前述液滴噴著之前述親液性區域上之位置的噴出位置資訊，前述各個頂部噴出前述液滴。 3 ·如申請專利範圍第2項之圖案形成體之製造方法，其中，前述噴出位置資訊，係以使得對於前述液滴之噴出進行間拔之位置’呈幾乎均勻地分散在前述親液性區域內的方式所決定者。 4.如申請專利範圍第2項之圖案形成體之製造方法，其中，前述噴出位置資訊係爲在均勻地位處於前述親液性區域上之複數個點中，指定進行液滴噴出之點，根據該形成之圖案體積和前述各個頂部之噴出量而進行決定。 5 ·如申請專利範圍第4項之圖案形成體之製造方法，其中’前述噴出位置資訊係根據前述各個頂部噴出囊中之最 326\總檔\91\91135275\91135275(替換)-1 45 125216S 先11 ρρν日修(走)正皆+义:具 L …______________ 一—J 小之最小噴出量和該形成之圖案體積而算出前述圖案內之點數，算出前述各個頂部噴出量之平均値，根據前述平均値而決定在各個點之每一個有無噴出，算出前述各個頂部之噴出量和前述平均値間之各個差分値，根據前述各個差分値而修正及生成在各個點之每一個有無噴出。 6 .如申請專利範圍第4項之圖案形成體之製造方法，其中，前述噴出位置資訊係根據前述各個頂部噴出量中之最小之最小噴出量和該形成之圖案體積而算出前述圖案內之點數，算出前述各個頂部之噴出量和前述最小噴出量間之各個差分値，根據前述各個差分値而決定在各個點之每一個有無噴出。 7 ·如申請專利範圍第2項之圖案形成體之製造方法，其中，前述噴出位置資訊，係以在前述親液性區域之端部，對於前述液滴之噴出進行間拔的方式所決定。 8 ·如申請專利範圍第1項之圖案形成體之製造方法，其中’由形成在前述基板表面上之親液性區域所構成之圖案’係藉由使用可以利用隨著能量之圖案照射所帶來之光觸媒作用而改變潤濕性之潤濕性可變層，在該潤濕性可變層上，呈圖案狀地照射能量，以便於形成圖案。 9 ·如申請專利範圍第8項之圖案形成體之製造方法，其中’前述潤濕性可變層係藉由接觸到含有光觸媒之光觸媒處理層或保持200 // m以下之間隙而進行配置後，照射能量而改變潤濕性的潤濕性變化層。 1 0 .如申請專利範圍第8項之圖案形成體之製造方法，其 46 326\總檔\91\91135275\91135275(替換)-1 I252168 I抑年π月^1修(吏)正替总一 | >-?<«ττύτ · ^«« .^-.->·» -*〇!» ' > mm.- · ,·# 中’前述潤濕性可變層係由光觸媒和黏合劑所構成’藉由隨著能量照射所帶來之光觸媒作用而改變潤濕性以便於降低和液體間之接觸角的光觸媒含有層。 1 1 .如申請專利範圍第9或1 0項之圖案形成體之製造方法，其中，前述光觸媒係由二氧化鈦（ΊΜ 0 2 )、氧化鋅 (Zn〇 )、二氧化錫（Sn02 )、鈦酸鋸（Si_Ti〇3 )、氧化鎢 (W〇3)、氧化鉍（Bi2〇3)和氧化鐵（Fe2〇3)所選出之一種或二種以上之物質。 1 2.如申請專利範圍第1 1項之圖案形成體之製造方法，其中，前述光觸媒係二氧化鈦（Ti02 )。 1 3 .如申請專利範圍第9或1 0項之圖案形成體之製造方法，其中，前述潤濕性變化層或前述黏合劑係含有成爲 YnSiX(4-n)(在此，Y係表示烷基、氟烷基' 乙烯基、胺基、苯基或環氧基，X係表不院氧基或鹵化，η係〇〜3爲止之整數）所示之矽化合物之一種或二種以上之水解縮合物或共水解縮合物之聚有機矽氧烷之層體。 1 4 . 一種圖案製造裝置，係藉由使得複數個頂部爲一體之頂部單元和液滴潤濕擴散之親液性區域形成圖案狀的基板間之相對位置成爲可變同時由前述各個頂部對於前述基板噴出複數個液滴而在前述基板形成圖案的圖案製造裝置，其特徵爲：具備：台座，係用以載置前述基板；位置目周整機構’係gjf整則述台座和則述頂部單兀間之相對位置關係；以及， 47 3 26\總檔\91 \9113 5275\91135275(替換)-1 1252168 加年II終/无}正f f ,. ,1% ,t;.. .........,.. 控制邰，係以使得噴著在前述基板上之每單位面積之液滴量，在前述各個頂部間，成爲均勻化的方式，按照預先所決疋之規則而對於前述各個頂部液滴之噴出，進行間拔，同時，由前述各個頂部，噴出前述液滴。 1 5 ·如申請專利範圍第1 4項之圖案製造裝置，其中，前述控制部係具備記憶在前述各個頂部之每一個上顯示預先決定同時噴著前述液滴之前述基板上之位置之噴出位置資訊的記憶部，根據由該記憶部所讀出之前述噴出位置資訊而控制前述各個頂部之液滴噴出。 1 6 ·如申請專利範圍第1 5項之圖案製造裝置，其中，決定前述噴出位置資訊，以便於使得對於前述液滴之噴出進行間拔之位置，在形成於前述基板上之圖案內，大槪均等地進行分散。 1 7 .如申請專利範圍第！ 4至1 6項中任一項之圖案製造裝置，其中，前述頂部單元係具備能夠在前述各個頂部之每一個而設定噴出動作是否成爲有效或無效的設定部，前述控制邰係根據則述噴出位置資訊，而生成用以控制前述設定部之設定資訊，供應至前述設定部。 1 8 ·如申請專利範圍第1 7項之圖案製造裝置，其中，前述各個頂部係具備共同之壓電元件，在前述壓電元件，形成共同電極和分別對應於前述各個頂部之個別電極，前述控制部係具備在前述各個頂部生成共同驅動脈衝而供應至前述共同電極的驅動脈衝生成部，前述設定部係根據前述設定資訊而控制是否接地或開放前述各個之個別電極。 326\ 總檔\91\91135275\91135275(替換)-1 48 1252168 卜和月巧日修(吏)正k頁 19.— 種彩色濾光片之製造方法，其特徵爲：具有使用申請專利範圍第1項所記載之圖案形成體之製造方法而形成由著色層形成用塗敷液所構成之圖案，接著使得該圖案硬化而形成著色層的製程。 49 326\總檔\91\91135275\91135275(替換)_1