TWI230937B

TWI230937B - Manufacturing method of multi-layered optical recording medium and multi-layered optical recording medium

Info

Publication number: TWI230937B
Application number: TW091137454A
Authority: TW
Inventors: Tetsuro Mizushima; Tsuyoshi Komaki; Jiro Yoshinari
Original assignee: Tdk Corp
Priority date: 2001-12-27
Filing date: 2002-12-26
Publication date: 2005-04-11
Also published as: US20050167865A1; CN1608291A; AU2002361115A1; WO2003056554A1; TW200302474A; JP4080741B2; CN1310235C; JP2003196891A

Description

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發明所屬之技術領域本發明是關於包括基材在其雷射光束之入射方向側之整個面上形成表面具有記錄層之循軌用之導引溝，及同時將在表面上形成著整面具有記錄層之循軌用導引溝的光透過層積層於前述基材的上部而形成多層光記錄媒體之製造方法’及多層光記錄媒體。先前技術此種多層光記錄媒體是如圖丨8所示眾所周知之多層 (#以2層為例）光記錄媒體31。此多層光記錄媒體31即是所❿ 明的片面多層光記錄媒體，在中心部形成著安裝用中心孔之平板狀（例如圓板狀）基材D的上面依序積層著記錄層 L1、間隔層SP、記錄層L0及覆蓋層c。在此場合是在基材D 亡位於覆蓋層c側的表面上形成著導引溝（溝（Groove)GR及停放區（Land)LD)等之微細凹凸（深度為Ldl2)。又，記錄層L1是由將寫入用雷射光束及再生用雷射光束（以下不加以區別都稱作「雷射光束」）予以反射之反射膜，及利用照射寫入用雷射光束時會隨著光學定數之變化而產生光反射率變化之相變化膜，及用來保護相變化膜之保護膜等以積層方式形成在這些微細凹凸上之構成。又，間隔層”是<1 由f透過性樹脂所構成，並在位於覆蓋層C側之表面上形成著具有與基材D上深度為Ldl2之微細凹凸相同深度Ld〇2 之溝GR及停放區LD等之微細凹凸。又，記錄層L〇是將相變化膜及保護膜等積層在此微細凹凸上所構成。覆蓋層c是

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由光透過性樹脂所形成。此多層光記錄媒體31是以同圖中之箭頭A方向從光傳感器（Pick up)發出雷射光束加以照射之方式來針對記錄層L〇、L1進行記錄資料之寫入，或是進行記錄層L 0、L1中之記錄資料讀出。接下來針對此多層光記錄媒體31之製造方法參照圖！ 4〜圖1 8來加以說明。在製造此多層光記錄媒體3丨之時，首先利用金屬材料製作出表面上具有與基材D表面上所形成之溝GR、停放區 LD及小坑（Pi t)等（以下稱作「溝GR及停放區“等」）微細凹凸相同方向之微細凹凸（以下稱作「同相微細凹凸」）的_ 主壓模（Master stamper )MSS。接著如圖14所示，將形成於此主壓模MSS表面上之微細凹凸利用金屬材料來複製出具有與溝GR及停放區LD等微細凹凸相反方向（相位反轉）之微細凹凸（以下稱作「反轉微細凹凸」）的母壓模 MTS11 (Mother stamper)。在此場合由於是使用金屬材料來製作母壓模MTS11，故此母壓模MTS11之微細凹凸是相對於主壓模MSS上之微細凹凸具有相同之深度DPMS11及相反之方向。又再如圖15所示，利用此母壓模MTS1 1以金屬材料進行複製而製作出表面上具有與溝GR及停放區LD等相同方向之同相微細凹凸的子壓模CHS (Chi Id stamper)。在此❹ 場合由於是使用金屬材料來製作子壓模CHS，故此子壓模 CHS上之微細凹凸也是相對於母壓模MTS11上之微細凹凸具有相同之深度DPMS11及相反之方向。

接下來如圖16所示，分別將母壓模MTS11及子壓模CHS

2186-5407-PF(Nl);ahddub.p：d 第6頁 1230937 五、發明說明（3) 組裝於樹脂成形用模具中（囷中未顯示），然後再將樹脂材料射出至各模具内來分別製作出表面上形成著溝GR及停放區LD等的基材D及覆蓋層C。在此場合覆蓋層c是利用光透過性樹脂材料製作。接下來如圖17所示，在所製作出基材 D的溝GR及停放區LD等上面形成記錄層L1，在所製作出之覆蓋層c的微細凹凸形成面上形成記錄層L〇。最後如圖18 所示，將基材D及覆蓋層c之微細凹凸形成面予以相互對向再利用光透過性樹脂製的接著劑將其黏貼在一起。在此場合是利用由光透過性樹脂製的接著劑所形成之接著層來構成作為光透，層用之間隔層卯。在此狀態時基材D上之記 $層L1與覆蓋層C上（間隔層sp上）之記錄層[〇，都同時相 L 2射光方向具有相同方向之同向微細凹凸。又，在間著ϊ蓋ic與上覆所盖/:連接之表面處’硬化前之接著劑會順者覆盍層c上所形成之微细^ ^ ^ ^ ^ ^ /风炙儆、、、田凹凸而形成與此微細凹凸呈反轉方向之微細凹凸。利用以μ a μ 艚Ή。、罗古故拉★用乂上之步驟製造出多層光記錄媒體01。還有，雖然在各圖戎 Τ 間隰厣. 式中由於製圖之緣故讓基材D及間層SP上之各個溝GR寬度有是相等的。又有所差異，但貫際上兩者幾乎層，要形成具有薄之覆蓋層么？、用繼形來製作覆蓋層光•己錄媒體31全體厚度較厚 χ夕因此專利申請人開發了 ··。

膜厚之多層光記錄媒體“；：：來製造具有薄覆蓋層C 多層光記錄媒體41也是與多二方法。又如圖25所示’此 ’、㈢光δ己錄媒體3 1 —樣的，從光

1230937 五、發明說明（4) 傳感器中以箭頭A方向發出雷射光束予以照射之方式來針對記錄層LO、L1進行記錄資料之寫入，或是進行記錄層 L0、L1中之記錄資料讀出。以下利用圓〗9〜圓25來說明此種製造方法。又，當與多層光記錄媒體31具有同樣構成時是賦予相同之符號，而將重複之說明予以省略。在此製造方法中首先是進行壓模製作步驟。此步驟是與前述之多層光記錄媒體31製造方法同樣的，先製作1片出主壓模MSS，利用此主壓模MSS來製作出金屬製之母壓模 MTS11(參照圖14)。在此場合，由於金屬材料具有良好的、複製性而且其收縮率可以被忽視，故在母壓模^^^ ^上所形成之反轉微細凹凸深度是與主壓模MSS上所形成之微細凹凸深度DPMS11具有幾乎相等之深度。接下來，利用此母壓模MTS1 1以金屬材料來製作出子壓模CHS(參照圖15)。在此場合，由於子壓模CHS和母壓模”311同樣的都是利用金屬材料所作成，故在其表面上所形成之同相微細凹凸深度是與主壓模MSS上之微細凹凸深度DpMS1丨具有幾乎相等之深度。接下來再如圖1 9所示，利用此子壓模CHS以光透過性樹脂材料（例如Aery 1系樹脂製或〇lefin系樹脂製）製作出表面上形成（複製）著與子壓模CHS之微細凹凸而與，壓模MTSU㈣方向具有反轉微細凹凸的壓模^反在此％合，由於樹脂材料夕雄制差，而且此樹脂材料；製Λ較金Λ材料之複製性為 1〈收細率（在此例中為0· 5%〜1· 5%)遠大於在金屬纟覆法步驟時金屬材料之收〇) °故形成於壓模RS表面上作為形成脚及停放區U等用

1230937 五、發明說明（5) 之微細凹凸深度DPRS11被製作成較子壓模CHS之微細凹凸深度DPMS1 1為淺。接下來利用所製作出之各壓模進行多層光記錄媒體41 的製造步驟。在此步驟中首先將母壓模MTS1 1安置於樹脂成型用模具（圖中未顯示）内，利用將樹脂材（例如， PC( Poly carbonate))射出於模具内之方式製作出圖2〇所示在表面上形成（複製）著溝GR&停放區⑶等導引溝之基材 D °在此場合由於所使用樹脂PC之收縮率為〇· 5〜丨· 5%，故會按其收縮量而在基材D上形成較母壓模…^ 1上之微細凹凸深度DPMS1 1為淺之微細凹凸深度Ldl3。再接著如圖21所| 示，利用例如減鑛法在所製作出之基材D微細凹凸形成面上形成記錄層L1之膜（成膜）。接著如圖22所示，在基材D上記錄層以之形成面上滴 y具有光透過性之樹脂塗液R，利用旋轉塗佈法將塗液R以薄膜狀塗佈在基材D之整個表面上。然後如圖2 3所示，將旨製之壓模KS以讓其微細凹凸形成面朝向塗液1^側之狀，而覆蓋在經過塗液R所塗佈之基材D上。在此場合，由於是在基材D上凡成塗佈作業之時點，塗液R仍具有流動性，故曰配口著壓模RS表面上所形成之微細凹凸形狀，而流動填滿至壓模RS與基材D間之全體間隙内。接下來，讓塗液R硬化。具體而言，在使用紫外線硬化型樹月曰來作為塗則之場合，{利用由壓模RS側照射紫夕卜線之方式來讓塗液R硬化。在此時，會根據從樹脂製之壓模RS複製出間隔層SP時之複製性（與所使用紫外線硬化

1230937 五、發明說明（6)

型樹脂，收縮率、及紫外線硬化型樹脂與樹脂製壓模間之接觸壓等有關），而使得形成於間隔層sp上之停放區⑺深度Ld03較形成於樹脂製壓模μ上之微細凹凸的深度dprsii 淺約2〜10%。然後如圖24所示，將壓模rs從基材d上加以剝離。以此方式，就完成表面上形成（複製）著溝GR及停放區 LD等微細凹凸之間隔層SP。在此場合，基材D上之溝GR(導引溝）疋根據所使用樹脂p C的收縮率而形成較淺之深度。另一方面’製作壓模RS時由於樹脂收縮讓壓模RS上之反轉微細凹凸變淺，再加上在從壓模RS形成間隔層sp時之複製性，又進一步讓間隔層SP上形成更淺之溝“。因此，即使在製作基材D時樹脂之收縮與製作壓模RS時樹脂之收縮為相同程度之場合，也會確實的依照利用壓模Rs進行複製時由於其複製性所變淺之量而使得在間隔層SP上形成較基材 D上停放區LD深度Ldl 3為淺的溝GR。

接下來如圖25所示，在所形成之間隔層SP的微細凹凸形成面上，利用例如濺鍍法來形成記錄層L〇之膜（成膜）。接著再利用旋轉塗佈法將塗液塗佈在此記錄層L 〇上並讓其硬化後形成覆蓋層C。以此方式，完成了多層光記錄媒體 41之製造。在此製造方法中由於是利用旋轉塗佈法來製作覆蓋層C，故相較於以樹脂成形方式來製作薄覆蓋層c之製造方法，可以形成具有較薄膜厚之覆蓋層C。發明内容發明者在檢討使用上述壓模RS來製造多層光記錄媒體

2186-5407-PF(Nl);ahddub.ptd 第 10 頁 1230937 五、發明說明（7) 41之結果，發現了以下有待解決之問題點。即、當利用此多層光記錄媒體41來將記錄資料寫入記錄層LI、L0中，或從記錄層LO、L1中讀出記錄資料之時，是利用光傳感器接收由各記錄層LO、L1反射之雷射光束後所輸出之循軌誤差信號來進行循軌伺服控制。在此場合，循執誤差信號之信號位準會受到形成於基材D及間隔層SP上表面上之停放區 LD深度之影響，一般而言在既定範圍内時，此信號位準會隨著停放區LD深度愈深而愈大。具體來說、循軌誤差信號之信號位準I P與停放區LD深度Ld之間具有下述公式的關係

Ip〇c sin (2zr - 2- n-Ld / λ) 此處之n為覆蓋層C(或間隔層SP)之折射率，λ為雷射光束之波長。另一方面，多層光記錄媒體41是如前所述，在製作基材D時樹脂之收縮與製作壓模RS時樹脂之收縮為相同程度之場合，間隔層SP之停放區LD深度Ld03會確實的僅依照從壓模RS進行複製時由於其複製性所變淺之量而較基材ρ上停放區LD深度Ldl 3為淺。因此，在此多層光記錄媒體41上存在著針對記錄層L 〇進行循軌伺服控制時會比對記錄層乙1 $行循轨飼服控制時為困難，而有產生無法良好的將記錄資料寫入記錄層L0中，或從記錄層l〇中讀出記錄資料顧慮之待解決課題。 … 本發明之主要目的是有鑑於上述應改善之問題點，提供種針對各記錄層都能良好的進行記錄資料之寫入及讀

1230937 、發明說明（8) & ’而且能形成具有較薄全體臈厚之多層光記錄媒體之製 =方法。又，另外之目的為提供一種不會使得全體厚度增而能良好的對各記錄層進行記錄資料之寫入及讀出之多層光記錄媒體。

本發明相關之多層光記錄媒體製造方法是使用在壓模夕作步驟中所作成之壓模，製作出多層光記錄媒體，前述夕層光記錄媒體係包括基材，在其雷射光束之入射方向側之整個面上形成表面具有記錄層之循執用導引溝，同時將表面上形成著整面具有記錄層之循軌用導引溝的光透過層積層於前述基材上部而構成，其中前述之壓模製作步驟中至少包含：製作出表面上形成著與前述導引溝凹凸方向相反j反轉微細凹凸的金屬製第丨壓模，及從表面上形成著與刖述導引溝凹凸方向相同之微細凹凸的金屬製壓模中複製出具有與刚述導引溝凹凸方向相反且其深度較前述第1 壓模之反轉微細凹凸深度為深，表面具有反轉微細凹凸而且在使用於形成前述光透過層時能在該光透過層之整個面上形成與前述基材上之整面導引溝具有相同深度或是幾乎相同深度導引溝之樹脂製壓模的製作步驟；而在製造前述多層光記錄媒體之中間步驟中至少包括··從前述第丨壓模複製作成前述整面形成著前述導引溝之前述基材製作步驟；在所作成之前述基材的前述導引溝之前述表面上進行前述記錄層之形成步驟；在所作成之前述記錄層的表面上進行光透過性樹脂之塗佈步驟；纟前述經過塗佈之光透過性樹脂之表面上利用前述樹脂製壓模複製而形成著與前述

1230937 五、發明說明（9) 基材上之前述導引溝相同或幾乎相同深度之前述導引溝的前述光透過層形成步驟；以及在所作成之前述光透過層的前述導引溝之前述表面上進行前述記錄層之形成步驟。在此多層光記錄媒體之製造方法中，利用壓模製作步驟至少進行，表面上形成著與基材及光透過層表面上之導引溝之凹凸方向相反之反轉微細凹凸的金屬製第1壓模，及從表面上形成著與導引溝凹凸方向相同之微細凹凸的金屬製壓模複製出具有與導引溝凹凸方向相反且其深度較第 1壓模之反轉微細凹凸深度為深，表面具有反轉微細凹凸而且在使用於形成光透過層時能在該光透過層之整個面上形成與基材上之整面導引溝具有相同深度或是幾乎相同深度之導引溝之樹脂製壓模的製造步驟，利用此第丨壓模及樹脂製壓模來分別形成基材及光透過層，讓光透過層之導引溝深度與基材之導引溝深度得以形成相等深度之結果，就可以製造出在對每個記錄層進行循軌伺服控制時都能獲得良好循軌誤差信號值S/N之多層光記錄媒體。又，由於在此製造方法中是將塗液旋轉塗佈在記錄層上後讓其硬化來形成覆蓋層，故可以讓覆蓋層之厚度㈣，其結果光記錄媒體自身就得以作得更薄。曰疋按照上述之多層光記在其雷射光束之入射有前述記錄層之循軌用形成著整面具有前述記層於前述基材上部而構

本發明相關之多層光記錄媒體錄媒體製造方法所製造，包括基材方向側之前述整個面上形成表面具導引溝，同時將1或2層以上表面上錄層之循軌用導引溝的光透過層積

1230937 五、發明說明（10) 成，其中在前上所分別形成度。在本發明材及光透過層之深度的方式錄層進行循執持在與針對基制時同樣高的形成之記錄層所輸出循執誤所形成之記錄透過層上記錄記錄層進行記料。還有，在的中間步驟中軌用導引溝的的表面上進行佈之光透過性成前述導引溝脂層，也可以脂製壓模來形合時之光透過相關之之各個，可以伺服控材整個誤差信進行循差信號層進行層之循錄資料述基材及前述光透過層上之各個前述整個之前述導引溝具有相同或者幾乎相同之多層光記錄媒體中，讓分別形成於基面上之導引溝具有相同或者幾乎相同在針對光透過層整個面上所形成之纪制時讓其循軌誤差信號的信號位準維面上所形成之記錄層進行循軌伺服控號位準狀態。因此，對光透過層上所軌伺服控制時能夠改善從光傳减之S/N值之結果，就可師對循軌伺服控制時同樣良好的來進行光軌伺服控制。故，可以良好的對每個之寫入，及從每個記錄層讀出記錄資本發明相關多層光記錄媒體之上述 ’雖然表面上形成著整面具有記光透過層是利用在前述基材上之前光透過性樹脂之塗佈步驟，及在前樹月曰之表面上利用前述樹脂製壓模的前述光透過層形成步驟所製作出利用上述步驟中所使用之前述基材成具有2層以上樹脂層之光透過層< 層製造方法中至少包括：在前述樹製造方法錄層之循述記錄層述經過塗複製而形之1層樹與前述樹在此場脂製壓模

1230937 五、發明說明（11) 上塗佈前述光透過性樹脂後，在前述光透過性樹脂之表面上利用前述樹脂製壓模複製而形成導引溝的光透過層（第j 層）形成步驟；在前述基材所形成之前述記錄層上塗佈光透過性接著樹脂（第2層）之步驟；以及將形成著前述導引溝之光透過層與前述基材讓其樹脂間相互對向來予以黏貼 (接著）之步驟。實施方式以下針對本發明相關之多層光記錄媒體及多層光記錄媒體製造方法的較佳實施形態參照添附圖式來加以說明。首先參照圖9來說明多層（以2層為例）光記錄媒體1之構成。

多層光記錄媒體1包括例如複數層之相變化記錄層亦即是所謂的片面多層光記錄媒體（可寫入式光記錄媒體），其構成中至少包括基材D、記錄層L1、間隔層SP、記錄層 L0及覆盒層C。基材D是由樹脂（例如Polycarbonate)材料所形成之平板狀（例如作成圓板狀），在其中一側之面（圖9 中之上面）上從其中心部附近朝向外緣部，形成螺旋狀作為導引雷射光束用呈微細凹凸之溝GR，及停放區ld。又，為了在進行循軌伺服控制時能獲得具有良好S/N值的循軌誤差信號，將此基材D上所形成之停放區LD深度Ldl 1設定為與形成於上述多層光記錄媒體31、41之基材d表面上之停放區LD深度Ldl2、Ldl3具有同等（即相同或幾乎相同之意。以下亦同）深度。記錄層L1是將反射膜、相變化膜及

2186-5407-PF(N1);ahddub.p t d 第15頁 1230937 五、發明說明（12) 保護膜等積層於基材D表面所形成之溝GR上及停放區LD的上部而構成。在此場合相變化膜是由GeTeSb、InSbTe或是 AgGelnSbTe等之相變化材料例如利用濺鍍方式讓其形成薄膜狀。

間隔層SP是由光透過性樹脂所形成，在其位於覆蓋層 C側之表面上形成著溝GR及停放區LD等。在此場合為了在進行循軌伺服控制時能獲得具有良好S/N值的循執誤差信號’形成於間隔層SP上之停放區LD深度Ld01是被設定為與形成於基材D表面上之停放區LD深度Ldl 1具有同等深度。記錄層L0是將相變化膜及保護膜等積層於間隔層sp表面所形成之溝GR及停放區LD上而構成。在此場合記錄層L〇上之相變化膜包括與記錄層L1上之相變化膜同樣之構成。覆蓋層C為防止記錄層L 0遭受損傷同時具有作為光路之一部分 (透鏡）機能之層，是利用光透過性樹脂之塗液以旋轉塗佈法（Spin coat)塗佈在記錄層L0上並讓其硬化之方式而形成。此多層光記錄媒體1是由光傳感器中發射同圖中箭頭A方向之寫入用雷射光束（例如波長為4〇5nm之雷射光束）照射在記錄層LI、L0上之方式，讓此記錄層u、L〇在非晶質狀態與結晶狀態之間產生可逆的相變化來進行記錄資料之寫入或抹消。具體而言，是利用照射寫入用雷射光束於。己錄層L1 L 0上’虽其照射部分被力口熱至融點以上後被糸速冷卻（急冷）之方式形成非β皙仆，廿料處心、丨少取并日日買化，並對應於2值記錄資料來形成寫入記號。又，利用昭汾宜、 ⑺用一射冩入用雷射光束於記錄層L1、L 0上時，當其昭矣+部八、士 Λ私、 ......射邛刀被加熱至結晶化溫度以上後

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予以慢慢冷卻（徐冷）之方式消。又再利用由光傳感器中再生用雷射光束之方式，從之讀出。產生結晶化，而將寫入記號抹以同圖中箭頭A之方向來照射記錄層LO、L1中進行記錄資料

以此方式，此多層光記錄媒體j是利用間隔層上之 =放區LD深度LdO 1作成與基材D上之停放區LD深度⑷i相之方式可以在對圯錄層L 0進行循軌伺服控制時讓其循執誤差信號維持在較高的信號位準。目此，由於在對記錄 S進行循軌飼服控制時能改善由光傳感器所輸出循軌誤之S/N值之結果，故在對記錄層“進行循執伺服控日、就可以獲彳于與對記錄層L丨進行循軌伺服控制時同樣的良好狀況。所以、可以良好的針對各記錄層L〇、u進行記錄資料之寫人及讀出。χ，由於是利用將塗液旋轉塗佈於記錄層L0上再使其硬化之方式而形成覆蓋層c，故相較於以射出成形法製作覆蓋層c時之多層光記錄媒體31可以形成厚度較薄之覆蓋層C，結果就能讓多層光記錄媒體丨之體厚度隨之變薄。接下來針對多層光記錄媒體1之製造方法參照圖卜圖9 來加以說明。 <1 在製造此多層光記錄媒體1時首先要進行本發明中之壓模製作步驟。在此步驟中最初是在金屬製平板（例如金屬圓板）之1表面上以切削加工方式作出與形成於基材D表面之溝GR及停放區LD等微細凹凸具有相同方向關係之同相微、凹凸的第1主壓模（圖中未顯示）。還有，在製作第1主壓

1230937 五、發明說明（14) ---- 模之時也可以採用先於玻璃製平板的表面上形成光阻層，再利用對此光阻層進行曝光•顯像處理（圖案形成

Patterning處理）之方式在玻璃製平板的表面上形成具有與，GR及停放區ld等微細凹凸相反方向之反轉微細凹凸，接著在此形成反轉微細凹凸之玻璃製平板的表面上進行金 f被覆法處理來形成金屬層，然後再將此金屬層從玻璃製平板上予以剝離之第1主壓模製作方法。接下來，再利用與多層光記錄媒體31相同之製造方法，從此第1主壓模中複製而作出如圖1中所示相當於本發明中第1壓模之第1母壓模MTS1。然後、在金屬製平板（例如金屬圓板）之表面上以切削加工方式作出具有同相微細凹凸的第2主壓模（圖中 ^顯示）。接著，利用金屬材料從第2主壓模中以偶數次複製作成如圖2中所示具有同相微細凹凸的子壓模CHS2。然後再如圖3^所示利用此子壓模CHS2(或第2主壓模）來製作表面上形成著反轉微細凹凸之樹脂製壓模RS，此壓模RS是當要在間隔層SP之表面上形成溝“及停放區“等微細凹凸二使用。

在此場合是讓對多層光記錄媒體1上之記錄層L〇進行 =軌，服控制時由光傳感器所輸出循軌誤差信號之S/N值 j獲侍與對記錄層L1進行循執伺服控制時由光傳感器所輸出循執誤差信號同樣良好之S/N值為佳。因此，形成於多層^，錄媒體1之間隔層卯表面上之停放區“深度Ld〇丨是設定為與形成於多層光記錄媒體1之基材D表面上之停放區⑶深度Ldll為相同（或是幾乎相同）。另一方自，在製造

1230937 五、發明說明（15) 多層光記錄媒體1時是使用樹脂製壓模RS來形成間隔層SP 上之溝GR。在此場合當從第2母壓模MTS2製作壓模RS之時樹脂製之壓模RS會依照所使用樹脂材料之固有收縮率而收縮。又，會按照從脂製之壓模RS製作間隔層SP時之複製性而形成較淺深度之溝GR。另一方面，如前所述由於金屬材料具有良好之複製性，同時其收縮率可以被忽略，故第1 主壓模與第1母壓模MTS1之各微細凹凸是形成幾乎相等之深度，又第2主壓模與子壓模CHS2之各微細凹凸也是形成幾乎相等之深度。因此，在進行第2主壓模之切削加工時要考慮樹脂製壓模RS之收縮率及從樹脂製壓模RS複製出間隔層SP時之複製性，在能滿足讓壓模RS上之反轉微細凹凸深度DPRS較第1母壓模MTS1上之反轉微細凹凸深度DPMS1為深，而且讓間隔層SP表面上所形成之停放區LD深度LdOl是與基材D表面上所形成之停放區LD深度Ldl 1相同（或幾乎相同）之條件下來切削加工作出深度為DPMS2(與子壓模CHS2 之反轉微細凹凸具有相等深度）之同相微細凹凸。具體而言，是將微細凹凸之溝深度DPMS2加工成較第1母壓模MTS1 上所形成之反轉微細凹凸深度DPMS1深約0· 5nm〜5nm之程度。接下來，將第1母壓模MTS1安置於樹脂成型用模具内，利用將樹脂材（例如，P C (Ρ ο 1 y c a r b ο n a t e ))射出於模具内之方式，如圖4所示製作出表面上形成（複製）著溝Gr 及停放區LD等導引溝之基材D。在此場合，由於所使用樹脂PC之收縮率為〇· 5〜1· 5%，故形成於基材D上微細凹凸之

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深度Ldl 1會依照此收縮率而較第1母壓模MTS1上之反轉微細凹凸深度DPMS1為淺。接著如圖5所示，利用例如濺鍍法在所製作出之基材D微細凹凸形成面上形成記錄層!^之膜 (成膜）。

接著如圖6所示，在基材d上記錄層L1之形成面上滴下具有光透過性之樹脂塗液R，利用旋轉塗佈法將塗液r以薄膜狀塗佈在基材D之整個表面上。然後如圖7所示，將樹脂製之壓模RS以讓其微細凹凸形成面朝向塗液r側之狀態而覆蓋在經過塗液R所塗佈之基材j)上。在此場合，由於是在基材D上完成塗佈作業之時點，塗液r仍具有流動性，故會配合著壓模RS表面上所形成之微細凹凸形狀，而流動填滿至壓模RS與基材D間之全體間隙内。

接著讓塗液R硬化。具體而言，在使用紫外線硬化型樹脂來作為塗液R之場合，是利用從壓模以側照射紫外線之方式來讓塗液R硬化。在此時，會根據從樹脂製之壓模 RS複製出間隔層SP時之複製性（與所使用紫外線硬化型樹，之收縮率、及紫外線硬化型樹脂與樹脂製壓模之接觸壓等有關），而使得形成於間隔層sp上停放區!^之深度Ld〇1 會較形成於樹脂製壓模RS上之微細凹凸的深度dprs(參照圖3)淺約2〜10%。在此場合，是考慮從前述樹脂製壓模RS 複製出間隔層SP時之複製性，而預先在樹脂製壓模以上形成較第1母壓模MTS1上反轉微細凹凸深度DPMS1為深之反轉微細凹凸深度DPRS。其結果就得以讓間隔層”表面上所形成之停放區LD深度LdOl與基材d上所形成之停放區LD深度

1230937 五、發明說明（17)

Ldll相等（參照圖8)。然後如圖8所示，將壓模RS從基材D 上加以剝離。以此方式，就完成表面上形成（複製）著溝GR 及停放區LD等微細凹凸之間隔層SP。接下來如圖9所示，在所形成之間隔層SP的微細凹凸形成面上，利用例如濺鍍法來形成記錄層L0之膜（成膜）。以上為止之所述步驟是相當於本發明之中間步驟。接著利用旋轉塗佈法將塗液RC塗佈在記錄層L0上並讓其硬化後形成覆蓋層C。以此方式，完成了多層光記錄媒體1之製造。以此方式，在此多層光記錄媒體之製造方法中，考慮從樹脂製壓模RS複製出間隔層SP時之複製性，利用預先在樹脂製壓模RS上形成較第1母壓模MTS1上反轉微細凹凸深度DPMS1為深之反轉微細凹凸深度DPRS之方式，可以讓間隔層SP上之停放區LD深度LdOl與基材D上之停放區LD深度 Ld 11相等。又，利用旋轉塗佈法將塗液R丨塗佈在記錄層L〇上並讓其硬化形成覆蓋層C之方式，可以製造出具有薄之覆蓋層C厚度亦即以媒體整體而言具有薄厚度之多層光記錄媒體1。又’本發明並不受限於上述發明之實施形態，而可以加以適當的變更。例如，也可以利用前述實施形態所製作成之基材D與壓模RS，來製造由2層以上光透過性樹脂所構成之間隔層SP。在此場合時是如圖1 〇所示，將具有光透過性之樹脂塗液R1滴下於壓模RS之微細凹凸形成面上，利用旋轉塗佈法將塗液R1塗佈在壓模RS之整個表面上。接下來，讓此塗液R1硬化。具體而言，在使用紫外線硬化型樹

第21頁 1230937 五、發明說明（18)

月曰來作為塗液R 1之場合，是利用照射紫外線之方式來讓其硬化。在此時，會根據前述之壓模RS複製性，而使得形成於間隔層SP上之停放區LD深度LdOl較壓模RS上之微細凹凸的深度DPRS為淺。然後如圖11所示，將具有光透過性之樹脂塗液R2滴下於基材d上記錄層L1之形成面上，利用旋轉塗佈法將塗液R 2塗佈在基材D之整個表面上。再接著如圖 12所示，將壓模RS以讓塗液以與塗液R2密著之狀態黏貼於基材D上。具體而言，在使用紫外線硬化型樹脂來作為塗液R2之場合，是利用由壓模!^側照射紫外線讓塗液R2硬化之方式來將壓模RS黏貼於基材D上。接下來’將壓模R S從基材D上加以剝離。以此方式如圖13所示，構成了由塗液以及塗液“所形成之2層樹脂層，同時也完成在塗液R1所作出樹脂層之表面上形成（複製）具有溝GR及停放區LD等微細凹凸之間隔層SP。採用此製作步驟也严以讓間隔層SP上形成之停放區⑶深度u〇 i病基材D上之停放區LD深度Ldl 1相同（或幾乎相同）。利用此種間隔層SP之製作步驟’可以在基材D及壓模以上塗佈且有不同材質特性之樹脂。@此能夠針對記錄層L1及声〇 L:分：使用適當之樹脂。又’也可以採用讓塗佈於基材； ^塗液R2硬化後，在壓模!^側上塗佈作為紫外線硬化光透過性接著樹脂用之塗液R1，然後將基材D 合後讓塗液R1硬化之製作步驟。彳、b重是以採用相變化膜作為說明，也可以使用於具又，上述之發明實施形態雖然各a己錄層L 0、L1之構成為例來加以

1230937 五、發明說明（19) 有追記型記錄層及再生專用層構成之各記錄層L〇、L1。又，也可以適用於部分具有複數記錄層及複數再生專用層之DVD系列中。又，也可以使用從第1母壓模MTS1以金屬^ 料偶數次複製作出金屬製壓模之方法代替直接使用第1母壓模MTS1來製作基材D。又多角形雖是利以說明之多層其雷射之循執形成著的光透都形成屬製壓以選擇反射膜 L1中並在對基讓從記再生程是採用錄層L0 ’基材D並不受限於圓板狀，可以形成如長方形等或橢圓等各種之形狀。又，在本發明之實施形態中用具有2層記錄層L1、L0之多層光記錄媒體1為例加，本發明也可以有效的適用於具有3層以上記錄層光記錄媒體上。在此多層光記錄媒體中包括基材在光束之入射方向側之整個面上形成表面具有記錄層用導引溝（溝GR及停放區LD)，再將2層以上表面上整面具有記錄層之循軌用導引溝（溝GR及停放區ld) 過層層積層於前述基材D上部，同時有相同(或幾乎相同)深度之構成…並有未各針導對引各籌金模及各樹脂製壓模之材質特別限制，可以適當的加。又，在本發明之各實施形態中雖然是採用包含著扣構成為例來說明，但本發明中之記錄層材ΓΛ要層作之成/Λ在有反射膜之構成，尸、要是具有材D與各層《反射率及折射率加錄層L1來之雷射光東及射本谂昝、田刃碉豎後月匕度之層構造即ΐ i反…妨礙寫入或光透過性樹脂製成之塗 =::形態中雖然上讓其硬化而形成覆蓋ic之方\轉/，法塗佈於記是蓋層L之方法為例加以說明，

1230937

也:以採用以光透過性之樹脂薄板（Sheet)介由光透過性接著層來黏貼而形成覆蓋層之方法。在此場合時、可以使用例如厚度為5〇//m〜looem程度之聚碳酸樹脂 (Polycarbonate)薄板作為此樹脂薄板，而使用例如紫外線硬化型之接著劑來當作光透過性之接著層。產業上之可利性如上所述、在此多層光記錄媒體之製造方法中，壓模製作步驟至少包含·製作出表面上形成著與基材及光透過

層表面上之導引溝凹凸方向相反之反轉微細凹凸的金屬製第1壓模，及從表面上形成著與導引溝凹凸方向相同之微細凹凸的金屬製壓模複製出具有與導引溝凹凸方向相反且其深度較第1壓模之反轉微細凹凸深度為深，表面具有反轉微細凹凸而且在使用於形成光透過層時能在該光透過層之1個面上形成與基材上之整面導引溝具有相同深度或是幾乎相同深度之導引溝之樹脂製壓模的製作步驟，利用此第1壓模及樹脂製壓模來分別形成基材及光透過層，讓光透過層之導引溝深度與基材之導引溝深度得以形成相等深度之結果，就可以實現在對每個記錄層進行循執伺服控制

時都能獲得良好循執誤差信號值S/N之多層光記錄媒體製造方法。

之而製作 1230937 圖式簡單說明圖1為第1母壓模MTS1之側面剖面圓。圖2為子壓模CHS2之側面剖面圖。圓3為從子壓模CHS2製作樹脂製壓模rs時之側面剖面圖。圖4為利用第1母壓模MTS1製作基材D時之侧面剖面圖0 圖5為表面上形成著記錄層l 1之基材])側面剖面圖。圖6為利用旋轉塗佈法將塗液R塗佈於基材D上狀態時之側面剖面圖。圖7為將壓模RS載置於經過塗液R塗佈後基材D狀態時之側面剖面圖。圖8為讓塗液R硬化後將壓模Rs剝離而製作出間隔層sp 狀態時之側面剖面圖。曰圖9為顯示多層光記錄媒體1構成之側面剖面圖。圖1 〇為在間隔層SP之其它製作步驟中、利用旋法將塗液R1塗佈於壓模RS上後讓其硬化狀態時之側面剖 1^1 η ^ 圖11為在間隔層SP之其它製作步驟中、利用旋法將塗液R 2塗佈於基材D上狀態時之側面剖面圖。佈圖12為將圖1〇中所示之壓模rS疊置於圖丨丨所示基材D上後讓塗液R 2呈硬化狀態時之側面剖面圖。〜、圖1 3為將壓模R S從圖1 2所示之狀態中剝離出間隔層SP狀態之側面剖面圖。

圖14為從主壓模MSS製作母壓模JJTS丨1時之側面剖面

2186-5407-PF(Nl);ahddub.ptd 第25頁 1230937

圖。圖為從母壓模MTS11製作子壓模CHS時之側面剖面，16為從母壓模MTS1 i製作基材〇、為從子壓模CHS製作覆蓋層C時各別之側面剖面學。圖為在基材d之表面上形成記錄層L1、在覆蓋層c之表面上形成記錄層L0狀態時各別之側面剖面圖。圖1 8為顯示多層光記錄媒體3丨構成之側面剖面圖。圖1 9為從子壓模CHS製作樹脂製壓模以時之側面剖面圖。圖20為利用母壓模MTS11製作基材D時之側面剖面圖。圖21為表面上形成著記錄層!^之基材〇側面剖面圖。圖2 2為利用旋轉塗佈法將塗液r塗佈於基材D上狀態時之側面剖面圖。〜圖23為將壓模RS載置於經過塗液R塗佈後基材ρ狀態時之側面剖面圖。 & 圖24為讓塗液R硬化後將壓模RS剝離而製作出間隔層 SP狀態時之側面剖面圖。圖25為顯示多層光記錄媒體41構成之側面剖面圖。符號說明 MSS (Master Stamper)〜主壓模； MTS (Mother Stamper )〜母壓模； CHS (Child Stamper)〜子壓模；

2186-5407-PF(Nl)；ahddub.ptd 第 26 頁 1230937

R’S (Resin Stamper)〜樹脂製壓模； D〜基材； SP〜間隔層； C〜覆蓋層； GR (Groove)〜溝； LD ( Land )〜停放區； DPMS〜主壓模（或以金屬複製成之母壓模上之微細凹凸深度； DPRS〜樹脂製壓模上之微細凹凸深度；或子壓模）

Ld01/Ld02/Ld03〜間隔層SP上之LD深度； Ldll/Ldl2/Ldl3〜基材D上之LD深度； L0/L1〜記錄層； R/R1/R2〜塗液； 1、3 1、4 1〜多層光記錄媒體； A〜雷射光束方向。

2186-5407-PF(Nl);ahddub.ptd 第27頁

Claims

1230937 六、申請專利範圍 " --- * 1· 一種多層光記錄媒體之製造方法，使用壓模製作步作成之壓模來製造出多層光記錄媒體，前述多層光記卜、〕體係包括基材，在其雷射光束之入射方向側之整個面 =成表面具有記錄層之循執用導引溝，同時將表面上形者整面具有記錄層之循轨用導引溝的光透過層積層於前述基材上部而構成， ^ 中前述之壓模製作步驟中，至少包括：表面上形成著與刖述導引溝之凹凸相反方向之反轉微細凹凸的金屬製第γ壓模’及從表面上形成著與前述導引溝凹凸方向相同之微細凹凸的金屬製壓模複製出具有與前述導引溝凹凸方向2反且其深度較前述第丨壓模之前述反轉微細凹凸深度為深，表面具有反轉微細凹凸而且在使用於形成前述光透過層時能在該光透過層之整個面上形成與前述基材上之整面導引溝具有相同深度或是幾乎相同深度之導引溝之樹脂製壓模的製造步驟的樹脂製壓模製作步驟；在製造前述多層光記錄媒體之中間步驟中，至少包括：從前述第1壓模複製作成前述整面形成著前述導引溝之前述基材製作步驟；在所作成之前述基材的前述導引溝之前述表面上進行前述記錄層之形成步驟；在所作成之前述記錄層的表面上進行光透過性樹脂之塗佈步驟；

利用前述樹脂製壓模在前述經過塗佈之光透過性樹脂

2186-5407-PF(Nl)；ahddub.ptd 第 28 頁 1230937 六、申請專利範圍之表面上複幾乎相同深及在所作進行前述記 2· —種述之多層光媒體係包括上形成表面上表面上形述光透過層其中在形成具有相製出形成著與度之前述導引成之前錄層之多層光記錄媒基材，具有前成著整積層於前述基同或者述光透形成步記錄媒體製之在前述述記錄面具有前述基材及前幾乎相前述基材上之前述導戈上导到溝相同痞溝的前述光透過層形成步驟·4 過層的前述導引溝之前述表驟。體，利用申請專利範圍第1項所造方法所作成，前述多層光記錄雷射光束之入射方向側之整個面層之循軌用導引溝，將1或2層以前述記錄層之循執用導弓I溝的前材上部而構成，述光透過層之前述整個面上分別同深度之前述各導引溝。