CN1310235C - 多层光记录介质的制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明所涉及的多层光记录介质的制造方法为：从金属制的压模进行复制，制作金属制的第1压模和树脂制压模，其中树脂制压模形成有其深度比第1压模的反转微细凹凸的深度更深，且能够在隔离层(SP)的一面形成与形成在基材(D)的一面的导向槽具有相同深度的导向槽的微细凹凸；从第1压模进行复制，制作一面形成有导向槽(GR和LD)的基材(D)；在基材(D)的导向槽的表面形成记录层(L1)；在记录层(L1)的表面涂敷透光性树脂；在透光性树脂的表面形成从树脂制压模进行复制且形成有其深度与形成在基材(D)的导向槽的深度相同的导向槽(GR和LD)的隔离层(SP)；在隔离层(SP)的导向槽的表面形成记录层(L0)。

Description

多层光记录介质的制造方法
技术领域
本发明涉及一种具备在激光束的入射方向侧的一面上形成了在其表面上形成有记录层的跟踪用导向槽的基材的同时，将一面形成有在其表面上形成有记录层的跟踪用导向槽的透光层叠层于所述基材上部的多层光记录介质的制造方法以及多层光记录介质。
背景技术
作为这种多层光记录介质，公知的有如图18所示的多层(以2层为例)光记录介质31。该多层光记录介质31为所谓的单面多层光记录介质。在中心部形成有安装用中心孔的平板状(以圆盘状为例)的基材D的上面，依次叠层有记录层L1、隔离层SP、记录层L0以及保护层C。在这种情况，基材D在保护层C侧的表面形成有导向槽(纹道GR和纹间表面LD)等的微细凹凸(深度Ld12)。还有，记录层L1由在该微细凹凸上叠层反射膜、相变化膜以及保护膜等而构成。其中，反射膜反射记录用激光束以及再生用激光束(以下，不作区别时也称作“激光束”)；相变化膜通过照射记录用激光束，伴随光学常数的变化而发生光反射率的变化；保护膜保护相变化膜。还有，隔离层SP由透光性树脂所形成，并在其保护层C侧的表面上形成有与形成在基材D上的微细凹凸的深度Ld12相同深度Ld02的纹道GR和纹间表面LD等的微细凹凸。还有，记录层L0将相变化膜和保护膜等叠层在该微细凹凸上面而构成。保护层C由透光性树脂所形成。在该多层光记录介质31中，通过在该图的箭头A所指的方向由拾光器照射激光束，对记录层L0和L1进行记录数据的记录，或者从记录层L0和L1读取记录数据。
下面，参照图14至图18对该多层光记录介质31的制造方法进行说明。
在制造该多层光记录介质31之际，首先，用金属材料制作在其表面形成有微细凹凸的原模MSS，该微细凹凸与形成在基材D的表面的纹道GR、纹间表面LD以及坑等(以下，也称作“纹道GR和纹间表面LD等”)的微细凹凸具有同方向的微细凹凸(以下，也称作“同相微细凹凸”)。接着，如图14所示，根据复制形成于该原模MSS表面的微细凹凸，用金属材料制作在且表面形成有与纹道GR和纹间表面LD等的微细凹凸呈反转方向(相位反转的方向)的微细凹凸(以下，也称作“反转微细凹凸”)的母压模MTS11。在这种情况，因为用金属材料制作母压模MTS11，所以母压模MTS11的微细凹凸相对于原模MSS的微细凹凸，其深度DPMS11相同且方向反转。还有，如图15所示，通过从该母压模MTS11进行复制，用金属材料制作在其表面形成有与纹道GR和纹间表面LD等相同方向的同相微细凹凸的子压模CHS。在这种情况，因为用金属材料制作子压模CHS，所以子压模CHS的微细凸凹也相对于母压模MTS11的微细凹凸，其深度DPMS11相同且方向反转。
接着，如图16所示，将母压模MTS11以及子压模CHS分别安装在各自的树脂成形用模具(没有图示)内，通过向各模具里注射树脂材料分别制作其表面形成有纹道GR和纹间表面LD等的基材D和保护层C。在这种情况，保护层C用透光性树脂材料制作。接着，如图1 7所示，在所制作的基材D的纹道GR和纹间表面LD等的上面形成记录层L1，而在所制作的保护层C的微细凹凸形成面上形成记录层L0。最后，如图18所示，使基材D和保护层C的各自的微细凹凸形成面彼此相对，并用透光性树脂制的粘着剂将他们粘合在一起。在这种情况，由透光性树脂制的粘着剂所形成的粘着层构成作为透光层的隔离层SP。在这种状态，基材D上的记录层L1和保护层C上(隔离层SP上)的记录层L0对于入射光的方向，其方向同时具有相同的同相微细凹凸。还有，在与保护层C相接触的隔离层SP的表面上，根据硬化前的粘着剂溶合于形成在保护层C上的微细凹凸，形成与该微细凹凸的方向呈反转方向的微细凹凸。通过上述工序，可制作多层光记录介质31。而且，在各图面上，虽然基材D以及隔离层SP的各自的纹道GR的槽宽在作图上各不相同，而实际上两者形成得基本相同。
然而，在这种制作方法中，因为用注射成形制作保护层C，所以不易将保护层C的厚度形成得很薄，存在着多层光记录介质31的整个厚度变厚的问题。
为此，申请人开发了一种能够制造保护层C的膜厚较薄的多层光记录介质41的制造方法。而且，该多层光记录介质41也与多层光记录介质31一样，如图25所示，通过在箭头A所指的方向由拾光器照射激光束，对记录层L0和L1进行记录数据的记录，或者从记录层L0和L1读取记录数据。以下，用图19至图25对该制造方法进行说明。而且，对于与多层光记录介质31同样的结构附上同样的符号，并不重复说明。
在该制造方法中，最初实施压模制作工序。在该工序中，首先与上述的多层光记录介质31的制造方法一样，制作一个原模MSS，并用该原模MSS制作金属制的母压模MTS11(参照图14)。此时，金属材料具有良好的复制性并且可以忽视其收缩率，因而母压模MTS11的反转微细凹凸与原模MSS的微细凹凸的深度DPMS11形成得基本相同。接着，使用该母压模MTS11用金属材料制作子压模CHS(参照图15)。在这种情况，由于子压模CHS也与母压模MTS11一样用金属材料而制作，所以形成在其表面的同相微细凹凸与原模MSS的微细凹凸的深度DPMS11形成得基本相同。接着，如图19所示，利用该子压模CHS，用透光性的树脂材料(例如，丙烯系树脂或者烯烃系树脂)制作压模RS，该压模RS的表面形成(复制)有与子压模CHS的微细凹凸的方向呈反转方向且与母压模MTS11的方向呈同方向的反转微细凹凸。在这种情况，树脂材料的复制性劣于金属材料的复制性，且该树脂材料的收缩率(在此例中为0.5％至1.5％)远比电镀工序中的金属材料的收缩率(例如，几乎为0％)要大。因此，为了在其表面形成纹道GR和纹间表面LD等的压模RS的微细凹凸的深度DPRS11要比子压模CHS的微细凹凸的深度DPMS11形成得更浅。
接着，用所制造的各压模实施多层光记录介质41的制造工序。在此工序中，首先，将母压模MTS11安装在树脂成形用模具(没有图示)内，通过向模具内部注射树脂材料(例如，PC(聚碳酸酯))，如图20所示，制造表面形成(复制)有纹道GR和纹间表面LD等的导向槽的基材D。在这种情况，由于作为树脂所使用的PC的收缩率为0.5％至1.5％，所以基材D的微细凹凸的深度Ld13相应地比在母压模MTS11的微细凹凸的深度DPMS11形成得更浅。接着，如图2 1所示，在所制作的基材D的微细凹凸形成面上，用例如溅射法成膜记录层L1。
其次，如图22所示，在基材D的记录层L1的形成面上滴下具有透光性的树脂涂液R，并用旋转涂膜法在基材D的整个表面上将涂液R涂成薄膜状。接着，如图23所示，在使其微细凹凸形成面朝向涂液R侧的状态下，将树脂制的压模RS覆盖在涂有涂液R的基材D上面。在这种情况，当在基材D上的涂敷进行完了时，因为涂液R具有流动性，所以一边溶合于形成在压模RS表面的微细凹凸形状，一边遍布在压模RS与基材D之间的整个缝隙间。
接着，使涂液R进行硬化。具体地说，作为涂液R使用紫外线硬化型树脂时，通过从压模RS侧进行紫外线的照射，使涂液R进行硬化。此时，根据从树脂制的压模RS到隔离层SP的复制性(起因于所使用的紫外线硬化型树脂的收缩率，以及紫外线硬化型树脂和树脂制的压模的接触压等)，形成在隔离层SP的纹间表面LD的深度Ld03要比形成在树脂制的压模RS的微细凹凸的深度DPRS11浅2％至10％。其次，如图24所示，将压模RS从基才D剥离开。由此，完成表面形成(复制)有纹道GR和纹间表面LD等微细凹凸的隔离层SP。在这种情况，基材D的纹道GR(导向槽)根据作为树脂所使用的PC的收缩率形成得较浅。一方面，隔离层SP的纹道GR，在制作压模RS之际，由于树脂的收缩使压模RS的反转微细凹凸变浅，加上在形成隔离层SP之际，也因从压模RS的复制性，相应地要形成得更浅。因此，即使制作基材D时的树脂的收缩与制作压模RS时的树脂的收缩为相同程度的情况，隔离层SP的纹道GR，也因从压模RS的复制性而形成得较浅，相应地确实比基材D的纹间表面LD的深度Ld13形成得要浅。
接着，如图25所示，在所形成的隔离层SP的微细凹凸形成面上，例如用溅射法成膜记录层L0。接着，根据在其记录层LO上将涂液旋转涂膜并使之硬化而形成保护层C。由此，完成多层光记录介质41的制造。根据该制造方法，因为用旋转涂膜法制作保护层C，所以与用树脂成形制造保护层的方法相比可以将保护层C的膜厚形成得较薄。
发明人对于使用上述压模RS而制造的多层光记录介质41进行了探讨研究的结果，发现有如下应解决的课题。即，在该多层光记录介质41中，对于记录层L1和LO进行记录数据的记录，或者从记录层LO和L1读取记录数据之际，利用从接收在各记录层LO和L1所反射的激光束的拾光器输出的跟踪误差信号进行跟踪伺服。此时，跟踪误差信号的信号强度受形成在基材D和隔离层SP的表面的纹间表面LD深度的影响。一般来讲，在一定范围之内纹间表面LD越深其信号强度变得越大。具体来讲，跟踪误差信号的信号强度Ip与纹间表面LD的深度Ld之间有下式成立。
Ip∝sin(2π·2·n·Ld/λ)
在此，n为保护层C(或者隔离层SP)的折射率，λ代表激光束波长。
另一方面，在多层光记录介质41中，如上所述，在制作基材D时的树脂的收缩与制造压模RS时的树脂的收缩为相同程度的情况下，隔离层SP的纹间表面LD的深度Ld03，将起因于从压模RS的复制性而形成得较浅，相应地确实要比基材D的纹间表面LD的深度Ld13形成得更浅。为此，在该多层光记录介质41中，存在如下应解决的课题：比起对记录层L1的跟踪伺服，对记录层LO的跟踪伺服更不易进行，从而有可能很难良好地对记录层LO进行记录数据的记录和从记录层LO读取记录数据。
发明内容
本发明是鉴于如上所述的应改善点所进行的。其主要目的在于提供一种良好地进行对各记录层的记录数据的记录和读取，并能够将整个厚度形成得较薄的多层光记录介质的制造方法。还有，其另外的目的在于提供一种不加厚整个厚度且能够良好地进行对各记录层的记录数据的记录和读取的多层光记录介质。
本发明所涉及的一种多层光记录介质的制造方法，利用在压模制作工序中所制作的压模来制造所述多层光记录介质，所述多层光记录介质具备在激光束的入射方向侧的一面上形成有跟踪用导向槽的基材，所述跟踪用导向槽的表面上形成有记录层，同时，将透光层叠层在所述基材的上部，在所述透光层的一面上形成有在其表面上形成有记录层的跟踪用导向槽，其特征在于：作为所述压模制作工序，至少要实施如下制作工序：制作金属制的第1压模和树脂制压模，其中，所述金属制的第1压模的表面上形成有与所述导向槽的凹凸呈反转方向的反转微细凹凸，而所述树脂制压模从在其表面上形成有与所述导向槽的凹凸呈同方向的微细凹凸的金属制的压模进行复制而成并且表面上形成有反转微细凹凸，所述反转微细凹凸与所述导向槽的凹凸呈反转方向、其深度比所述第1压模的所述反转微细凹凸的深度更深，并且在所述透光层的形成之际被使用，可在该透光层的所述一面上形成与形成在所述基材的一面上的所述导向槽的深度相同或基本相同的所述导向槽；作为制造所述多层光记录介质的中间工序，至少要实施如下制作工序：从所述第1压模进行复制，制作在所述一面上形成有所述导向槽的所述基材；在所述制作的基材的所述导向槽的所述表面上形成所述记录层；在所述形成的记录层的表面上涂敷透光性树脂；在所述涂敷后的透光性树脂的表面上形成从所述树脂制压模进行复制而形成有其深度与形成在所述基材上的所述导向槽的深度相同或基本相同的所述导向槽的所述透光层；和在所述形成的透光层的所述导向槽的所述表面上形成所述记录层。
在本多层光记录介质的制造方法中，作为压模制作工序，至少要实施如下制作工序：制作在其表面形成有与形成在基材和透光层的表面的导向槽的凹凸呈反转方向的反转微细凹凸的金属制的第1压模；从在其表面形成有与导向槽的凹凸呈同方向的微细凹凸的金属制压模进行复制，制作在其表面形成有反转微细凹凸的树脂制压模，该反转微细凹凸与导向槽的凹凸呈反转方向，其深度比第1压模的反转微细凹凸的深度更深，开且使用在透光层的形成之际，可在透光层的一面形成与形成在基材的一面的导向槽的深度相同或者基本相同的导向槽。根据利用这些第1压模以及树脂制压模分别形成基材以及透光层，能够同等地形成透光层的导向槽的深度和基材的导向槽的深度。其结果，能够制造对所有的记录层的跟踪伺服时的跟踪误差信号的S/N都良好的多层光记录介质。还有，根据该制造方法，根据在记录层上将涂液旋转涂膜并使之硬化而形成保护层，能够使保护层变薄的结果，多光层记录介质自身也可以形成得很薄。
本发明所涉及的多层光记录介质，按照上述的多层光记录介质的制造方法而制造，其构成为：具备在所述激光束的入射方向侧的所述一面形成有跟踪用导向槽的所述基材，所述跟踪用的导向槽的表面形成有所述记录层；在所述基材的上部叠层一层或两层以上的所述透光层，所述透光层的所述一面形成有其表面形成所述记录层的跟踪用导向槽，并且在所述基材以及所述透光层的所述各一面分别形成的所述各导向槽的深度形成得相同或基本相同。
在本发明所涉及的多层光记录介质中，根据将在基材以及透光层的各一面分别形成的各导向槽的深度形成得相同或基本相同，能够使对形成在透光层的一面的记录层的跟踪伺服时的跟踪误差信号的信号强度与对形成在基材的一面的记录层的跟踪伺服时的跟踪误差信号的信号强度维持同等高的状态。从而，能够改善对形成在透光层的记录层的跟踪伺服时从拾光器输出的跟踪误差信号的S/N。其结果，对形成在透光层的记录层的跟踪伺服与形成在基材的记录层的跟踪伺服能够同样良好地进行。从而，能够良好地进行对所有记录层的记录数据的记录和从所有记录层读取记录数据。
而且，在本发明所涉及的多层光记录介质的上述制造方法的中间工序中，将其表面形成记录层的跟踪用导向槽形成于一面的透光层由1层树脂层而形成。该树脂层通过实施以下的工序所制作：在形成于所述基材上的所述记录层的表面涂敷透光性树脂；在所述所涂敷的透光性树脂的表面形成从所述树脂制压模进行复制、并且在且一面形成有所述导向槽的所述透光层。但也可利用在所述工序中所使用的所述基材和所述树脂制压模由2层以上的树脂层而形成。这种情况的透光层的制造方法中，至少要实施以下工序：在所述树脂制压模上涂敷所述透光性树脂，在所述透光性树脂的表面形成从所述树脂制压模进行复制、并且形成有导向槽的光透过层(第1层)；在形成于所述基材上的所述记录层上涂敷透光性粘着树脂(第2层)；将形成有所述导向槽的透光层和所述基材以树脂与树脂相对的方向粘合(粘着)。
而且，本公开与2001年12月27日申请的日本专利申请、特开2001-396075所包含的主题有关，所有的这些公开在此将明确地纳入为参照事项。
附图说明
图1为第1母压模MTS1的侧面截面图。
图2为子压模CHS2的侧面截面图。
图3为从子压模CHS2制作树脂压模RS时的侧面截面图。
图4为使用第1母压模MTS1制作基材D时的侧面截面图。
图5为其表面形成有记录层L1的基材D的侧面截面图。
图6为在基材D上根据旋转涂膜法涂有涂液R的状态的侧面截面图。
图7为在涂有涂液R的基材D上载放压模RS的状态的侧面截面图。
图8为使涂液R硬化后，剥离压模RS制作隔离层SP的状态的侧面截面图。
图9为表示多层光记录介质1的结构的侧面截面图。
图10为在有关隔离层SP的其他制作工序中，在压模RS上根据旋转涂膜法涂上涂液R1并使其硬化的状态的侧面截面图。
图11为在有关隔离层SP的其他制作工序中，在基材D上根据旋转涂膜法涂上涂液R2的状态的侧面截面图。
图12为在图11所示状态的基材D上重叠图10所示的压模RS并使涂液R2硬化的状态的侧面截面图。
图13为从图12所示的状态剥离压模RS，制作隔离层SP的状态的侧面截面图。
图14为从原模MSS制作母压模MTS11时的侧面截面图。
图15为从母压模MTS11制作子压模CHS时的侧面截面图。
图16为从母压模MTS11制作基材D，从子压模CHS制作保护层C时的各自的侧面截面图。
图17为在基材D的表面形成记录层L1，在保护层C的表面形成记录层L0的状态的各自的侧面截面图。
图18为表示多层光记录介质31的结构的侧面截面图。
图19为从子压模CHS制作树脂制的压模RS时的侧面截面图。
图20为使用母压模MTS11制作基材D时的侧面截面图。
图21为其表面形成有记录层L1的基材D的侧面截面图。
图22为根据旋转涂膜法在基材D涂有涂液R的状态的侧面截面图。
图23为涂有涂液R的基材D上载放压模RS的状态的侧面截面图。
图24为使涂液R硬化后，剥离压模RS制作隔离层SP的状态的侧面截面图。
图25为表示多层光记录介质41的结构的侧面截面图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明所涉及的多层光记录介质以及多层光记录介质的制造方法的最适宜的实施形态进行说明。
首先，参照图9对多层(以2层为例)光记录介质1的结构进行说明。
多层光记录介质1为一种，比如具备多个相变化记录层的所谓单面多层光记录介质(改写型光记录介质)，至少具备基材D、记录层L1、隔离层SP、记录层LO以及保护层C而构成。基材D以树脂(例如，聚碳酸酯)为材料形成平板状(以圆板状为例)，在其一面(图9的上面)上，从其中心部附近面向外缘部，螺旋状地形成有作为微细凹凸的激光束导向用的纹道GR以及纹间表面LD。还有，形成在该基材D上的纹间表面LD的深度Ld11，在跟踪伺服时为了能够得到S/N的良好的跟踪误差信号，与在上述的多层光记录介质31和41的基材D的表面所形成的纹间表面LD的深度Ld12和LD13设定成同等(意味着相同或者基本相同。以下，同样)深度。记录层L1由在形成于基材D的表面的纹道GR上和纹间表面LD的上部叠层反射膜、相变化膜以及保护膜等而构成。此时，相变化膜由将GeTeSb、InSbTe或者AgGeInSbTe等相变化材料通过例如溅射法而形成薄膜状。
隔离层SP由透光性树脂所形成，其保护层C侧的表面形成有纹道GR以及纹间表面LD等。在这种情况，形成在隔离层SP的纹间表面LD的深度Ld01，在跟踪伺服时为了能够得到S/N的良好的跟踪误差信号，与形成在基材D表面的纹间表面LD的深度Ld11设定成同等深度。记录层LO由在形成于隔离层SP表面的纹道GR上和纹间表面LD上叠层相变化膜和保护膜等而构成。在这种情况，记录层LO的相变化膜与记录层L1的相变化膜具有同样的结构。保护层C防止记录层LO受损的同时起到一部分光路(透镜)的作用，由在记录层LO的上面将透光性树脂的涂液RC旋转涂膜并使之硬化而形成。在该多层光记录介质1中，通过在该图的箭头A所指方向从拾光器向记录层L1和LO照射记录用激光束(例如波长为405nm的激光束)，该记录层L1和LO在非晶质状态和结晶状态之间发生可逆的相变化而进行记录标记的记录和消除。具体地说，在记录用激光束照射到记录层L1和L0之际，通过其照射部分被加热至高于熔点后迅速冷却(急冷)而被非晶质化，按照2值记录数据形成记录标记。还有，在记录层L1和LO在照射记录用激光束之际，通过其照射部分被加热至高于结晶化温度后慢慢地冷却(慢冷)而被结晶化，取消记录标记。并且，通过在该图的箭头A所指方向从光拾光器照射再生用激光束，进行从记录层LO和L1的记录数据的读取。
这样，根据该多层光记录介质1，通过将隔离层SP的纹间表面LD深度Ld01与基材D的纹间表面LD的深度Ld11形成得同等，可以更高地维持对记录层LO的跟踪伺服时的跟踪误差信号的信号强度。因此，能够改善在对记录层LO跟踪伺服时从拾光器输出的跟踪误差信号的S/N。其结果，能够同样良好地进行对记录层L1的跟踪伺服和对记录层L0的跟踪伺服。因此，可以良好地进行对各记录层LO和L1的记录数据的记录和读取。还有，因为通过在记录层LO上面将涂液旋转涂膜并使之硬化而形成保护层C，所以与用注射成形而制作的保护层C的多层光记录介质31相比，能够将保护层C的厚度形成得较薄，其结果可以使多层光记录介质1的整个厚度变薄。
下面，参照图1至图9对多层光记录介质1的制造方法进行说明。
在制造该多层光记录介质1之际，首先实施本发明的压模制作工序。最初，通过在金属制的平板(以金属圆板为例)表面进行切削加工，制作具有同相微细凹凸的第1原模(没有图示)，该同相微细凹凸与形成在基材D表面的纹道GR和纹间表面LD等的微细凹凸处于同方向的关系。而且，在制作第1原模之际，也可以采用如下的制作方法：在玻璃制的平板表面上形成抗蚀剂层，通过对该抗蚀剂层进行曝光和显影处理(构图处理)在玻璃制平板的表面形成与纹道GR和纹间表面LD等的微细凹凸呈反方向的反转微细凹凸，再通过进行电镀处理在该反转微细凹凸所形成的玻璃制平板的表面形成金属层，然后从玻璃制平板剥离该金属层来制作第1原模。接着，与多层光记录介质31的制作方法一样，如图1所示，从该第1原模进行复制来制作相当于本发明的第1压模的第1母压模MTS1。还有，通过在金属制的平板(以金属圆板为例)表面进行切削加工，制作具有同相微细凹凸的第2原模(没有图示)。接着，通过从第2原模在金属材料进行偶数次复制，如图2所示，制作具有同相微细凹凸的子压模CHS2。还有，如图3所示，利用该子压模CHS2(或者第2原模)，制作其表面形成有反转微细凹凸的树脂制的压模RS，为了在隔离层SP的表面形成纹道GR和纹间表面LD等的微细凹凸使用该压模RS。
在这种情况，多层光记录介质1的对记录层LO进行跟踪伺服时从拾光器输出的跟踪误差信号的S/N与对记录层L1进行跟踪伺服时从拾光器输出的跟踪误差信号的S/N希望同样良好。因此，多层光记录介质1的形成于隔离层SP表面的纹间表面LD的深度Ld01与多层光记录介质1的形成于基材D表面的纹间表面LD的深度Ld11设定为相同(或基本相同)。一方面，在制造多层光记录介质1中，形成隔离层SP的纹道GR时使用树脂制的压模RS。在这种情况，在从第2母压模MTS2制作压模RS之际，树脂制的压模RS以所使用的树脂材料所固有的收缩率收缩。还有，根据从树脂制的压模RS制作隔离层SP时的复制性，相应地纹道GR形成得要浅一些。另一方面，如上所述由于金属材料复制性良好，且可忽视收缩率，所以第1原模和第1母压模MTS1的各微细凹凸的深度形成得基本相同，而且第2原模与子压模CHS2的各微细凹凸的深度也形成得基本相同。因此，在进行第2原模的切削加工时，应考虑树脂制的压模RS的收缩率和从树脂制的压模RS到隔离层SP的复制性，以满足如下条件的深度DPMS2(子压模CHS2的反转微细凹凸的深度也要同等)进行同相微细凹凸的切削加工。即，压模RS的反转微细凹凸的深度DPRS比第1母压模MTS1的反转微细凹凸的深度DPMS1要深，且形成在隔离层SP表面的纹间表面LD的深度Ld01和形成在基材D表面的纹间表面LD的深度Ld11要相同(或基本相同)。具体地说，微细凹凸的凹槽的深度DPMS2要加工得比形成在第1母压模MTS1的反转微细凹凸的深度DPMS1深0.5nm至5nm左右。
接着，将第1母压模MTS1安装在树脂成形用模具内，通过向模具内注射树脂材料(例如，PC(聚碳酸酯))，如图4所示，制作其表面形成(复制)有纹道GR和纹间表面LD等的导向槽的基材D。此时，由于作为树脂的PC的收缩率为0.5％至1.5％，所以基材D的微细凹凸的深度Ld11相应地比第1母压模MTS1的反转微细凹凸的深度DPNS1形成得要浅。接着，如图5所示，在所制作的基材D的微细凹凸形成面上，比如用溅射法成膜记录层L1。
接着，如图6所示，在基材D的记录层L1的形成面上滴下一种具有透光性的树脂涂液R，然后根据旋转涂膜法在基材D的整个表面上将涂液R涂成薄膜状。接着，如图7所示，在使其微细凹凸形成面面向涂液R侧的状态下，将树脂制的压模RS覆盖在涂有涂液R的基材D上面。在这种情况，当在基材D上的涂敷进行完了时，由于涂液R具有流动性，所以一边溶合于形成在压模RS表面的微细凹凸的形状，一边遍布在压模RS和基材D之间的整个缝隙间。
接着，使涂液R进行硬化。具体地说，作为涂液R使用紫外线硬化型树脂时，利用从压模RS侧照射紫外线的方法，使涂液R进行硬化。此时，根据从树脂制的压模RS到隔离层SP的复制性(起因于所使用的紫外线硬化型树脂的收缩率，以及紫外线硬化型树脂和树脂制的压模之间的接触压等)，形成在隔离层SP的纹间表面LD深度Ld01比形成在树脂制的压模RS的微细凹凸的深度DPRS(参照图3)要浅2％至10％。在这种情况，考虑到从上述的树脂制的压模RS到隔离层SP的复制性，事先使压模RS的反转微细凹凸的深度DPRS比第1母压模MTS1的反转微细凹凸的深度DPMS1形成得更深。其结果，形成在隔离层SP的纹间表面LD的深度Ld01与形成在基材D的纹间表面LD的深度Ld11形成得相同(参照图8)。其次，如图8所示，将压模RS从基材D剥离开。由此完成了表面形成(复制)有纹道GR和纹间表面LD等微细凹凸的隔离层SP。
接着，如图9所示，在所形成的隔离层SP的微细凹凸形成面上，根据比如溅射法成膜记录层LO。上述为止的工序相当于本发明的中间工序。接着，通过在记录层LO的上面将涂液RC旋转涂膜并使之硬化形成保护层C。由此，完成多层光记录介质1的制造。
如此，根据该多层光记录介质的制造方法，通过考虑到从树脂制的压模RS到隔离层SP的复制性，事先使压模RS的反转微细凹凸的深度DPRS比第1母压模MTS1的反转微细凹凸的深度DPMS1形成得更深，可以使隔离层SP的纹间表面LD的深度Ld01与基材D的纹间表面LD的深度Ld11形成得相同。还有，通过在记录层LO的上面将涂液R1旋转涂膜之后使之硬化而形成保护层C，可以制造保护层C的厚度、甚至整个介质的厚度很薄的多层光记录介质1。
而且，本发明不只限于上述发明的实施形态，可适当地进行更改。例如，利用在上述的实施形态中所制作的基材D和压模RS，也可制造由2层以上的透光性树脂层而形成的隔离层SP。此时，如图10所示，在压模RS的微细凹凸的形成面上滴下具有透光性的树脂涂液R1，并用旋转涂膜法在压模RS的整个表面涂敷涂液R1。接着，使该涂液R1进行硬化。具体地说，作为涂液R1使用紫外线硬化树脂时，由照射紫外线使之硬化。此时，按照如上所述的从压模RS的复制性，形成于隔离层SP的纹间表面LD的深度Ld01比压模RS的微细凹凸的深度DPRS要浅。其次，如图11所示，在基材D的记录层L1的形成面上滴下透光性树脂制的涂液R2，并用旋转涂膜法在基材D的整个表面涂敷涂液R2。接着，如图12所示，使涂液R1和涂液R2贴紧，并将压模RS粘合到基材D上。具体地说，作为涂液R2使用紫外线硬化型的透光性粘着树脂时，通过从压模RS侧照射紫外线，使涂液R2进行硬化，从而将压模RS粘合到基材D上。
接着，将压模RS从基材D剥离开。由此，如图13所示，完成以由涂液R1和涂液R2所形成的2层的树脂层所构成，并由涂液R1在树脂层的表面形成(复制)有纹道GR和纹间表面LD等的微细凹凸的隔离层SP。即使根据采用该方法的制作工序，隔离层SP的纹间表面LD的深度Ld01与基材D的纹间表面LD的深度Ld11也形成得相同(或基本相同)。根据该隔离层SP的制作工序，在基材D和压模RS上可以涂敷具有不同特性的材料的树脂。因此，对于记录层L1以及记录层LO可以分别使用恰当的树脂。而且，还可以采用如下的制作工序：使涂在基材D侧的涂液R2硬化，然后在压模RS侧作为涂液R1涂敷紫外线硬化型的透光性粘着树脂，将基材D以及压模RS层叠之后使涂液R1硬化。
还有，在上述发明的实施形态中，作为一例，对于利用相变化膜构成各记录层LO和L1的例子进行了说明。然而，各记录层LO和L1也可以由追记型记录层和再生专用层所构成。还有，也可适用于具有多个记录层和多个再生用层的DVD系列产品的一部分。还有，也可以改换直接使用第1母压模MTS1的方法，而使用从第1母压模MTS1在金属材料进行偶数次复制而制作的金属制压模制作基材D。
还有，基材D不只限于圆板形状，也可以形成长方形等的多角形和椭圆形等各种形状。还有，在本发明的实施形态中，以具有2层记录层L1和LO的多层光记录介质1为例进行了说明，而本发明也可以有效地适用于具有3层以上的记录层的多层光记录介质。该多层光记录介质具有，在激光束的入射方向侧的一面形成有跟踪用导向槽(纹道GR和纹间表面LD等)的基材，其中跟踪用的导向槽的表面形成有记录层，在基材D的上部叠层2层以上的透光层，在透光层的一面形成有其表面形成有记录层的跟踪用导向槽，同时，各导向槽形成相同(或基本相同)深度的结构。还有，对于各金属制的压模以及各树脂制的压模的材质，没有特别限制，可以做适当地选择。还有，在本发明的各实施形态中，对采用记录层L1含有反射膜的结构的例子进行了说明，而在本发明中，记录层L1含有反射膜的结构并不是必须的，根据适宜地调整基材D和各层的反射率以及折射率，只要是对记录和再生不发生障碍能够充分地得到从记录层L1的激光束之反射光的层结构就可以。还有，在本发明的实施形态中，采用通过在记录层LO的上面将透光性树脂的涂液RC旋转涂膜并使之硬化而形成保护层C的方法，并对此方法的例子进行了说明。然而，也可以采用根据通过透光性的粘着层将透光性的树脂薄膜粘贴起来而形成保护层的方法。在这种情况，作为树脂薄膜使用比如厚度为50μm至100μm左右的聚碳酸酯树脂制的薄膜，而作为透光性的粘着层可以使用例如紫外线硬化型的粘着剂。
产业上的可利用性
如上所述，根据该多层光记录介质的制造方法，作为压模的制作工序至少要实施如下工序：制作在其表面形成有与形成在基材和透光层表面的导向槽的凹凸呈反转方向的反转微细凹凸的金属制的第1压模；制作从在其表面形成有与所述导向槽的凹凸呈同方向的微细凹凸的金属制的压模进行复制并且表面形成有反转微细凹凸的树脂制压模，所述反转微细凹凸与导向槽的凹凸呈反转方向、其深度比第1压模的反转微细凹凸的深度更深，并且在使用于透光层的形成之际，可在透光层的一面形成与形成在基材的一面的导向槽相同深或者基本相同深的导向槽。通过使用这些第1压模以及树脂制压模分别形成基材以及透光层，能够将透光层的导向槽的深度和基材的导向槽的深度形成得同等。其结果，可实现能够制造对所有的记录层进行跟踪伺服时的跟踪误差信号的S/N都良好的多层光记录介质的多层光记录介质的制造方法。

Claims (1)

1.一种多层光记录介质的制造方法，利用在压模制作工序中所制作的压模来制造所述多层光记录介质，所述多层光记录介质具备在激光束的入射方向侧的一面上形成有跟踪用导向槽的基材，所述跟踪用导向槽的表面上形成有记录层，同时，将透光层叠层在所述基材的上部，在所述透光层的一面上形成有在其表面上形成有记录层的跟踪用导向槽，其特征在于：
作为所述压模制作工序，至少要实施如下制作工序：制作金属制的第1压模和树脂制压模，其中，所述金属制的第1压模的表面上形成有与所述导向槽的凹凸呈反转方向的反转微细凹凸，而所述树脂制压模从在其表面上形成有与所述导向槽的凹凸呈同方向的微细凹凸的金属制的压模进行复制而成并且表面上形成有反转微细凹凸，所述反转微细凹凸与所述导向槽的凹凸呈反转方向、其深度比所述第1压模的所述反转微细凹凸的深度更深，并且在所述透光层的形成中被使用时，可在该透光层的所述一面上形成与形成在所述基材的一面上的所述导向槽的深度相同或基本相同的所述导向槽；
作为制造所述多层光记录介质的中间工序，至少要实施如下制作工序：
从所述第1压模进行复制，制作在所述一面上形成有所述导向槽的所述基材；
在所述制作的基材的所述导向槽的所述表面上形成所述记录层；
在所述形成的记录层的表面上涂敷透光性树脂；
在所述涂敷后的透光性树脂的表面上形成从所述树脂制压模进行复制而形成有其深度与形成在所述基材上的所述导向槽的深度相同或基本相同的所述导向槽的所述透光层；和
在所述形成的透光层的所述导向槽的所述表面上形成所述记录层。
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