JP2003196885A - 多層光記録媒体および多層光記録媒体の製造方法 - Google Patents

多層光記録媒体および多層光記録媒体の製造方法

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JP2003196885A
JP2003196885A JP2001396090A JP2001396090A JP2003196885A JP 2003196885 A JP2003196885 A JP 2003196885A JP 2001396090 A JP2001396090 A JP 2001396090A JP 2001396090 A JP2001396090 A JP 2001396090A JP 2003196885 A JP2003196885 A JP 2003196885A
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哲郎 水島
Takeshi Komaki
壮 小巻
Jiro Yoshinari
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 各記録層に対する記録データの記録および読
出しを良好に行い得る多層光記録媒体を提供する。 【解決手段】 その表面に記録層L1が形成されたトラ
ッキング用のグルーブGRをレーザービームの入射方向
側の一面に形成した基材Dを備えると共にその表面に記
録層L0が形成されるトラッキング用のグルーブGRが
一面に形成されたスペーサ層SPを基材Dの上部に積層
した多層光記録媒体1であって、各案内溝GR,GR
は、基材D側ほど深く形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、その表面に記録層
が形成されたトラッキング用の案内溝をレーザービーム
の入射方向側の一面に形成した基材を備えると共にその
表面に記録層が形成されるトラッキング用の案内溝が一
面に形成された光透過層を前記基材の上部に積層した多
層光記録媒体、およびその多層光記録媒体の製造方法に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】この種の多層光記録媒体として、図20
に示す多層(一例として2層)光記録媒体31が知られ
ている。この多層光記録媒体31は、いわゆる片面多層
光記録媒体であって、中心部に装着用中心孔が形成され
た平板状(一例として円板状)の基材Dの上に、記録層
L1、スペーサ層SP、記録層L0およびカバー層Cが
順に積層されている。この場合、基材Dは、カバー層C
側の表面に案内溝(グルーブGRやランドLD)等の微
細凹凸(深さLd12)が形成されている。また、記録
層L1は、この微細凹凸上に、記録用レーザービームお
よび再生用レーザービーム(以下、区別しないときには
「レーザービーム」ともいう)を反射する反射膜や、記
録用レーザービームを照射することによって光学的定数
の変化に伴って光反射率が変化する相変化膜、および相
変化膜を保護する保護膜などを積層して構成されてい
る。また、スペーサ層SPは、光透過性樹脂で形成さ
れ、カバー層C側の表面に基材Dに形成された微細凹凸
の深さLd12と同等の深さLd02のグルーブGRや
ランドLD等の微細凹凸が形成されている。また、記録
層L0は、この微細凹凸上に、相変化膜や保護膜などを
積層して構成されている。カバー層Cは、光透過性樹脂
で形成されている。この多層光記録媒体31では、同図
の矢印Aの向きで光ピックアップからレーザービームが
照射されることにより、記録層L0,L1に対する記録
データの記録、または記録層L0,L1からの記録デー
タの読み出しが行われる。
【0003】次に、この多層光記録媒体31の製造方法
について図16〜図20を参照して説明する。
【0004】この多層光記録媒体31の製造に際して
は、まず、基材Dの表面に形成するグルーブGR、ラン
ドLDおよびピット等(以下、「グルーブGRやランド
LD等」ともいう)の微細凹凸と同じ向きの微細凹凸
(以下、「同相微細凹凸」ともいう)が表面に形成され
たマスタースタンパーMSSを金属材料を用いて作製す
る。次いで、図16に示すように、このマスタースタン
パーMSSの表面に形成された微細凹凸を転写すること
により、グルーブGRやランドLD等の微細凹凸と反転
する向き(位相が反転する向き)の微細凹凸(以下、
「反転微細凹凸」ともいう)が表面に形成されたマザー
スタンパーMTSを金属材料を用いて作製する。この場
合、金属材料でマザースタンパーMTSを作製するた
め、マザースタンパーMTSの微細凹凸は、マスタース
タンパーMSSの微細凹凸に対して、深さが同じで向き
が反転する。さらに、図17に示すように、このマザー
スタンパーMTSから転写することにより、グルーブG
RやランドLD等と同じ向きの同相微細凹凸が表面に形
成されたチャイルドスタンパーCHSを金属材料を用い
て作製する。この場合、金属材料でチャイルドスタンパ
ーCHSを作製するため、チャイルドスタンパーCHS
の微細凹凸も、マザースタンパーMTSの微細凹凸に対
して、深さが同じで向きが反転する。
【0005】次に、図18に示すように、マザースタン
パーMTSおよびチャイルドスタンパーCHSをそれぞ
れの樹脂成形用金型(図示せず)内にセットし、各金型
内に樹脂材を射出することにより、その表面にグルーブ
GRやランドLD等が形成された基材Dとカバー層Cと
をそれぞれ作製する。この場合、カバー層Cは、光透過
性樹脂材料を用いて作製する。次いで、図19に示すよ
うに、作製した基材DのグルーブGRやランドLD等の
上に記録層L1を形成し、作製したカバー層Cの微細凹
凸形成面上に記録層L0を形成する。最後に、図20に
示すように、基材Dとカバー層Cとを、互いの微細凹凸
形成面同士が対向するようにして光透過性樹脂製の接着
剤を用いて貼り合わせる。この場合、光透過性樹脂製の
接着剤によって形成される接着層が光透過層としてのス
ペーサ層SPを構成する。この状態では、基材D上の記
録層L1とカバー層C上(スペーサ層SP上)の記録層
L0は、入射光の向きに対して、その向きが共に同じ同
相微細凹凸を有することとなる。また、スペーサ層SP
におけるカバー層Cに接する表面には、硬化前の接着剤
がカバー層Cに形成された微細凹凸に馴染むことによっ
てこの微細凹凸とは向きが反転した微細凹凸が形成され
る。以上の工程によって、多層光記録媒体31が製造さ
れる。なお、各図面において、基材Dおよびスペーサ層
SP各々のグルーブGRの溝幅が作図上異なっている
が、実際には、両者はほぼ等しく形成される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記した多
層光記録媒体31には、以下の問題点がある。すなわ
ち、多層光記録媒体31の記録層L1,L0に対する記
録データの記録、または記録層L0,L1からの記録デ
ータの読み出しを行う際には、各記録層L0,L1で反
射されたレーザービームを受光した光ピックアップから
出力されるトラッキング差信号を用いてトラッキングサ
ーボが行われる。この場合、トラッキング差信号の信号
レベルは、基材Dやカバー層C(スペーサ層SP)の表
面に形成されたランドLDの深さに左右され、一般的
に、所定範囲内では、その信号レベルはランドLDが深
いほど大きくなる。具体的には、トラッキング差信号の
信号レベルIpとランドLDの深さLdとの間には下記
の式が成立する。 Ip∝sin(2π・2・n・Ld/λ) ここで、nはカバー層C(またはスペーサ層SP)の屈
折率、λはレーザービーム波長を意味する。
【0007】一方、多層光記録媒体31では、基材D用
のマザースタンパーMTSおよびカバー層C用のチャイ
ルドスタンパーCHSは、共通のマスタースタンパーM
SSから転写され、その際に、転写性に優れ、かつ収縮
率の小さい金属材料を用いて作製される。このため、マ
ザースタンパーMTSおよびチャイルドスタンパーCH
Sの各表面に形成されたグルーブGR等を形成する微細
凹凸の各深さが互いに等しくなる結果、基材Dおよびカ
バー層C(スペーサ層SP)の各ランドLDの深さLd
12,Ld02が互いに等しくなる。したがって、ラン
ドLDの深さだけに着目した場合、各記録層L0,L1
に対するトラッキングサーボ時に光ピックアップから出
力されるトラッキング差信号の信号レベルがほぼ等しく
なり、かつ、各記録層L0,L1に対するトラッキング
サーボ時における各トラッキング差信号のS/Nも等し
くなると考えられる。ところが、実際には、記録層L1
に対するトラッキングサーボ時におけるトラッキング差
信号のS/Nは、スペーサ層SPの膜厚分布の影響を余
計に受ける分だけ低下する傾向にある。このため、多層
光記録媒体31では、記録層L0に対するトラッキング
サーボよりも記録層L1に対するトラッキングサーボの
方が行いにくくなり、記録層L1に対する記録データの
記録や、記録層L1からの記録データの読み出しを良好
に行うことができなくなるおそれがあるという問題点が
ある。
【0008】本発明は、かかる問題点に鑑みてなされた
ものであり、各記録層に対する記録データの記録および
読出しを良好に行い得る多層光記録媒体および多層光記
録媒体の製造方法を提供することを主目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく本
発明に係る多層光記録媒体は、その表面に記録層が形成
されたトラッキング用の案内溝をレーザービームの入射
方向側の一面に形成した基材を備えると共にその表面に
記録層が形成されるトラッキング用の案内溝が一面に形
成された光透過層を前記基材の上部に1または2以上積
層した多層光記録媒体であって、前記各案内溝は、前記
基材側ほど深く形成されている。
【0010】また、本発明に係る多層光記録媒体の製造
方法は、スタンパー作製工程において作製したスタンパ
ーを使用して、その表面に記録層が形成されたトラッキ
ング用の案内溝をレーザービームの入射方向側の一面に
形成した基材を備えると共にその表面に記録層が形成さ
れるトラッキング用の案内溝が一面に形成された光透過
層を前記基材の上部に積層して構成される多層光記録媒
体を製造する多層光記録媒体の製造方法であって、前記
スタンパー作製工程として、前記案内溝の凹凸と同じ向
きの微細凹凸が表面に形成された金属製の第1スタンパ
ーから転写して前記案内溝の凹凸と反転する向きの反転
微細凹凸が形成された樹脂製スタンパーを作製する工程
を少なくとも実施し、前記多層光記録媒体を製造するた
めの中間工程として、前記第1スタンパーを作製した際
の転写基の金属製のスタンパー、または当該第1スタン
パーから転写して作製された金属製のスタンパーから転
写して前記一面に前記案内溝が形成された前記基材を作
製する工程と、前記作製した基材における前記案内溝の
前記表面に前記記録層を形成する工程と、前記形成した
記録層の表面に光透過性樹脂を塗布する工程と、前記塗
布した光透過性樹脂の表面に前記樹脂製スタンパーから
転写して前記案内溝が形成された前記光透過層を形成す
る工程と、前記形成した光透過層における前記案内溝の
前記表面に前記記録層を形成する工程とを少なくとも実
施する。
【0011】また、本発明に係る多層光記録媒体の製造
方法は、スタンパー作製工程において作製したスタンパ
ーを使用して、その表面に記録層が形成されたトラッキ
ング用の案内溝をレーザービームの入射方向側の一面に
形成した基材を備えると共にその表面に記録層が形成さ
れるトラッキング用の案内溝が一面に形成された光透過
層を前記基材の上部に積層して構成される多層光記録媒
体を製造する多層光記録媒体の製造方法であって、前記
スタンパー作製工程として、前記案内溝の凹凸と同じ向
きの微細凹凸が表面に形成された金属製の第11スタン
パーから金属材料に奇数回転写して前記案内溝の凹凸と
反転する向きの反転微細凹凸が形成された第12スタン
パーを作製する工程と、前記第11スタンパーから金属
材料に偶数回転写して前記案内溝の凹凸と同じ向きの微
細凹凸が形成された第13スタンパーを作製する工程
と、当該第13スタンパーから転写して前記案内溝の凹
凸と反転する向きの反転微細凹凸が形成された樹脂製ス
タンパーを作製する工程とを少なくとも実施し、前記多
層光記録媒体を製造するための中間工程として、前記第
12スタンパーから転写して前記一面に前記案内溝が形
成された前記基材を作製する工程と、前記作製した基材
における前記案内溝の前記表面に前記記録層を形成する
工程と、前記形成した記録層の表面に光透過性樹脂を塗
布する工程と、前記塗布した光透過性樹脂の表面に前記
樹脂製スタンパーから転写して前記案内溝が形成された
前記光透過層を形成する工程と、前記形成した光透過層
における前記案内溝の前記表面に前記記録層を形成する
工程とを少なくとも実施する。
【0012】さらに、本発明に係る多層光記録媒体の製
造方法は、スタンパー作製工程において作製したスタン
パーを使用して、その表面に記録層が形成されたトラッ
キング用の案内溝をレーザービームの入射方向側の一面
に形成した基材を備えると共にその表面に記録層が形成
されるトラッキング用の案内溝が一面に形成された光透
過層を前記基材の上部に積層して構成される多層光記録
媒体を製造する多層光記録媒体の製造方法であって、前
記スタンパー作製工程として、前記案内溝の凹凸と反転
する向きの反転微細凹凸が表面に形成された金属製の第
21スタンパーから金属材料に奇数回転写して前記案内
溝の凹凸と同じ向きの微細凹凸が形成された第22スタ
ンパーを作製する工程と、前記第21スタンパーから金
属材料に偶数回転写して前記案内溝の凹凸と反転する向
きの反転微細凹凸が形成された第23スタンパーを作製
する工程と、前記第22スタンパーから転写して前記案
内溝の凹凸と反転する向きの反転微細凹凸が形成された
樹脂製スタンパーを作製する工程とを少なくとも実施
し、前記多層光記録媒体を製造するための中間工程とし
て、前記第23スタンパーから転写して前記一面に前記
案内溝が形成された前記基材を作製する工程と、前記作
製した基材における前記案内溝の前記表面に前記記録層
を形成する工程と、前記形成した記録層の表面に光透過
性樹脂を塗布する工程と、前記塗布した光透過性樹脂の
表面に前記樹脂製スタンパーから転写して前記案内溝が
形成された前記光透過層を形成する工程と、前記形成し
た光透過層における前記案内溝の前記表面に前記記録層
を形成する工程とを少なくとも実施する。
【0013】また、本発明に係る多層光記録媒体の製造
方法は、スタンパー作製工程において作製したスタンパ
ーを使用して、その表面に記録層が形成されたトラッキ
ング用の案内溝をレーザービームの入射方向側の一面に
形成した基材を備えると共にその表面に記録層が形成さ
れるトラッキング用の案内溝が一面に形成された光透過
層を前記基材の上部に積層して構成される多層光記録媒
体を製造する多層光記録媒体の製造方法であって、前記
スタンパー作製工程として、前記案内溝の凹凸と反転す
る向きの反転微細凹凸が形成された金属製の第31スタ
ンパーの当該微細凹凸よりも浅く前記案内溝の凹凸と同
じ向きの微細凹凸が表面に形成された金属製の第32ス
タンパーから転写して前記案内溝の凹凸と反転する向き
の反転微細凹凸が形成された樹脂製スタンパーを作製す
る工程を少なくとも実施し、前記多層光記録媒体を製造
するための中間工程として、前記第31スタンパーから
転写して前記一面に前記案内溝が形成された前記基材を
作製する工程と、前記作製した基材における前記案内溝
の前記表面に前記記録層を形成する工程と、前記形成し
た記録層の表面に光透過性樹脂を塗布する工程と、前記
塗布した光透過性樹脂の表面に前記樹脂製スタンパーか
ら転写して前記案内溝が形成された前記光透過層を形成
する工程と、前記形成した光透過層における前記案内溝
の前記表面に前記記録層を形成する工程とを少なくとも
実施する。
【0014】なお、本発明に係る多層光記録媒体の上記
製造方法の中間工程において、表面に記録層が形成され
るトラッキング用の案内溝が一面に形成された光透過層
は、前記基材上に形成した前記記録層の表面に光透過性
樹脂を塗布する工程と、前記塗布した光透過性樹脂の表
面に前記樹脂製スタンパーから転写して前記案内溝が形
成された前記光透過層を形成する工程とを実施すること
によって作製された1層の樹脂層で形成しているが、上
記工程で用いられる前記基材と前記樹脂製スタンパーを
用いて2層以上の樹脂層によって形成することも可能で
ある。この場合の光透過層の製造方法では、前記樹脂製
スタンパー上に前記光透過性樹脂を塗布し、前記光透過
性樹脂の表面に前記樹脂製スタンパーから転写して案内
溝が形成された光透過層(第1層)を形成する工程と、
前記基材上に形成した前記記録層の上に光透過性接着樹
脂(第2層)を塗布する工程と、前記案内溝が形成され
た光透過層と前記基材とを互いに樹脂同士が対向する向
きで貼り合わせる(接着する)工程とを少なくとも実施
する。
【0015】また、本発明に係る多層光記録媒体の製造
方法は、その表面に記録層が形成されたトラッキング用
の案内溝をレーザービームの入射方向側の一面に形成し
た基材を備えると共にその表面に記録層が形成されるト
ラッキング用の案内溝が一面に形成された光透過層と光
透過性のカバー層とを前記基材の上部に積層して構成さ
れる多層光記録媒体を製造する多層光記録媒体の製造方
法であって、前記多層光記録媒体を製造するための中間
工程として、前記案内溝の凹凸と反転する向きの反転微
細凹凸が形成された金属製の第41スタンパーから転写
して前記一面に前記案内溝が形成された前記基材を作製
する工程と、前記第41スタンパーの前記反転微細凹凸
よりも浅く前記案内溝の凹凸と同じ向きの微細凹凸が形
成された金属製の第42スタンパーから転写して前記案
内溝の凹凸と反転する向きの反転微細凹凸が形成された
前記カバー層を作製する工程と、前記作製した基材の前
記案内溝および前記作製したカバー層の前記反転微細凹
凸の表面に前記記録層をそれぞれ形成する工程と、前記
基材および前記カバー層を各々の前記記録層同士が互い
に対向する状態で前記光透過層としての光透過性接着樹
脂を介して一体化すると共にその際に当該光透過性接着
樹脂の表面に当該カバー層を転写して前記案内溝を形成
する工程とを少なくとも実施する。
【0016】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明に係る多層光記録媒体および多層光記録媒体の製造方
法の好適な実施の形態について説明する。
【0017】最初に、多層(一例として2層)光記録媒
体1の構成について、図9を参照して説明する。
【0018】多層光記録媒体1は、例えば、相変化記録
層を複数備えたいわゆる片面多層光記録媒体(書き換え
型光記録媒体)であって、少なくとも、基材D、記録層
L1、スペーサ層SP、記録層L0およびカバー層Cを
備えて構成されている。基材Dは、樹脂(例えば、ポリ
カーボネート)を材料として平板状(一例として円板
状)に形成され、その一方の面(図9における上面)に
は、その中心部近傍から外縁部に向けて、微細凹凸とし
てのレーザービームガイド用のグルーブGR、およびラ
ンドLDが螺旋状に形成されている。また、この基材D
では、そのランドLDの深さLd11がスペーサ層SP
に形成されたランドLDの深さLd01よりも、例え
ば、0.5nm〜5nm程度深くなるように設定されて
いる。記録層L1は、基材Dの表面に形成されたグルー
ブGR上やランドLDの上部に、反射膜、相変化膜、お
よび保護膜などを積層して構成されている。この場合、
相変化膜は、GeTeSb、InSbTeまたはAgG
eInSbTeなどの相変化材料を例えばスパッタリン
グで蒸着させることによって薄膜状に形成されている。
【0019】スペーサ層SPは、光透過性樹脂で形成さ
れ、そのカバー層C側の表面にグルーブGRおよびラン
ドLD等が形成されている。この場合、スペーサ層SP
に形成されたランドLDの深さLd01は、トラッキン
グサーボ時において、S/Nの良好なトラッキング差信
号が得られるように、従来の多層光記録媒体31のカバ
ー層C(スペーサ層SP)の表面に形成されたランドL
Dの深さLd02と同等になるように設定されている。
記録層L0は、スペーサ層SPの表面に形成されたグル
ーブGR上やランドLD上に、相変化膜や保護膜などを
積層して構成されている。この場合、記録層L0の相変
化膜は、記録層L1の相変化膜と同様の構成を備えてい
る。カバー層Cは、記録層L0の傷付きを防止すると共
に光路の一部(レンズ)としての役割を有する層であっ
て、記録層L0の上に光透過性樹脂の塗液RCをスピン
コートして硬化させることによって形成されている。こ
の多層光記録媒体1では、同図の矢印Aの向きで光ピッ
クアップから記録用レーザービーム(例えば波長が40
5nmのレーザービーム)が記録層L1,L0に照射さ
れることにより、この記録層L1,L0が非晶質状態と
結晶状態との間で可逆的に相変化させられて記録マーク
の記録および消去が行われる。具体的には、記録層L
1,L0に記録用レーザービームが照射された際に、そ
の照射部分が融点以上に加熱された後に急速に冷却(急
冷)されることによって非晶質化されて、2値記録デー
タに応じて記録マークが形成される。また、記録層L
1,L0は、記録用レーザービームが照射された際に、
その照射部分が結晶化温度以上に加熱された後に徐々に
冷却(徐冷)されることによって結晶化されて、記録マ
ークが消去される。さらに、同図の矢印Aの向きで光ピ
ックアップから再生用レーザービームが照射されること
により、記録層L0,L1からの記録データの読み出し
が行われる。
【0020】このように、この多層光記録媒体1によれ
ば、基材DのランドLDの深さLd11をスペーサ層S
PのランドLDの深さLd01よりも深く形成したこと
により、スペーサ層SPの膜厚分布の影響を受け易い記
録層L1に対するトラッキングサーボ時におけるトラッ
キング差信号の信号レベルをより高く維持することがで
きる。このため、記録層L1に対するトラッキングサー
ボ時に光ピックアップから出力されるトラッキング差信
号のS/Nを改善することができる結果、記録層L1に
対するトラッキングサーボを記録層L0に対するトラッ
キングサーボと同様にして良好に行うことができる。し
たがって、各記録層L0,L1に対する記録データの記
録および読出しを良好に行うことができる。
【0021】次に、多層光記録媒体1の製造方法につい
て、図1〜図9を参照して説明する。
【0022】この多層光記録媒体1の製造に際しては、
まず、本発明におけるスタンパー作製工程を実施する。
この工程では、最初に、金属製平板(一例として金属円
板)の表面に、基材Dの表面に形成するグルーブGRや
ランドLD等の微細凹凸と同じ向きの関係にある同相微
細凹凸をカッティング加工することにより、本発明にお
ける第11スタンパーに相当し、いわゆる原盤としての
マスタースタンパーMSSを作製する。また、このマス
タースタンパーMSSを用いて、グルーブGRやランド
LD等の微細凹凸の向きと反転する向きの反転微細凹凸
が表面に形成された金属製のマザースタンパーMTSを
作製する。この場合、後の工程を含めて、基の金属スタ
ンパーから別の金属スタンパーを作製する際には、ニッ
ケル(Ni)などを用いた通常のめっき工法を用いて転
写する。したがって、金属スタンパーから別の金属スタ
ンパーに転写するときに、転写性が良好で、かつ収縮を
無視できるため、転写された微細凹凸は、基となる金属
製スタンパーの微細凹凸と向きが反転するものの、その
深さが同じに形成される。また、マスタースタンパーM
SSからマザースタンパーMTSを作製する場合、微細
凹凸の向きさえ反転すればよいため、1回の転写ではな
く、奇数回転写してマザースタンパーMTSを作製して
もよい。なお、このマザースタンパーMTSは、本発明
における第12スタンパーを構成する。
【0023】また、このマザースタンパーMTSを用い
て、同相微細凹凸が表面に形成された金属製のチャイル
ドスタンパーCHSを作製する。この場合、このチャイ
ルドスタンパーCHSは、本発明における第13スタン
パーを構成する。なお、マザースタンパーMTSからチ
ャイルドスタンパーCHSを作製する際にも、同様の理
由から、微細凹凸の向きさえ反転すればよいため、1回
の転写ではなく、マザースタンパーMTSから奇数回転
写してチャイルドスタンパーCHSを作製してもよい。
さらに、このチャイルドスタンパーCHSを用いて、反
転微細凹凸が表面に形成された樹脂製のスタンパーRS
を作製し、このスタンパーRSをスペーサ層SPの表面
にグルーブGRやランドLD等の微細凹凸を形成するた
めに使用する。この場合にも、同様の理由から、微細凹
凸の向きさえ反転すればよいため、チャイルドスタンパ
ーCHSから偶数回転写して作成した金属製スタンパー
からさらに転写して樹脂製のスタンパーRSを作製して
もよい。同様にして、チャイルドスタンパーCHSとマ
スタースタンパーMSSとは微細凹凸の向きと深さが同
じため、チャイルドスタンパーCHSに代えて、マスタ
ースタンパーMSSからスタンパーRSを作製してもよ
い。以上の各スタンパーについての作製思想は、後述す
る各スタンパーについての作製についても適用される。
さらに、マスタースタンパーMSSとチャイルドスタン
パーCHSとは、共に金属スタンパーであって微細凹凸
の向きと深さが同じため、チャイルドスタンパーCHS
を本発明における第1スタンパーとした場合、マザース
タンパーMTSが、本発明における「第1スタンパーを
作製した際の転写基(転写する際に基となる)の金属製
のスタンパー」を構成する。
【0024】一方、多層光記録媒体1の記録層L0に対
するトラッキングサーボ時に光ピックアップから出力さ
れるトラッキング差信号のS/Nが多層光記録媒体31
の記録層L0に対するトラッキングサーボ時に光ピック
アップから出力されるトラッキング差信号のS/Nとほ
ぼ同じになるように設定するのが好ましい。したがっ
て、多層光記録媒体1におけるスペーサ層SPの表面に
形成されるランドLDの深さLd01は、多層光記録媒
体31におけるスペーサ層SPの表面に形成されたラン
ドLDの深さLd02と例えば同一に設定する。その一
方、多層光記録媒体1の製造においては、スペーサ層S
PのグルーブGRの形成に樹脂製のスタンパーRSを使
用する。この場合、チャイルドスタンパーCHSからス
タンパーRSを作製する際に、樹脂製のスタンパーRS
は使用した樹脂材料に固有の収縮率で収縮する。また、
樹脂製のスタンパーからスペーサ層SPを作製する際の
転写性により、ランドLDが浅くなる。したがって、マ
スタースタンパーMSSは、この樹脂製のスタンパーR
Sの収縮率と、樹脂製のスタンパーRSからスペーサ層
SPへの転写性とを考慮して、多層光記録媒体1におけ
るスペーサ層SPの表面に形成されるランドLDの深さ
Ld01と多層光記録媒体31におけるスペーサ層SP
の表面に形成されるランドLDの深さLd02とが同一
となるようにカッティング加工される。具体的には、マ
スタースタンパーMSSのカッティング加工の際には、
微細凹凸における溝の深さDPMSを多層光記録媒体3
1の製造時に使用されるマスタースタンパーMSSに形
成された微細凹凸における溝よりも例えば0.5nm〜
5nm程度深くなるように加工する。
【0025】次いで、図1に示すように、マスタースタ
ンパーMSSを用いて、反転微細凹凸が表面に形成(転
写)されたマザースタンパーMTSを金属材料を用いて
作製する。この場合、金属材料は転写性が良好で、かつ
収縮率を無視できるため、マザースタンパーMTSは、
その反転微細凹凸がマスタースタンパーMSSにおける
微細凹凸の深さDPMSとほぼ等しく形成される。
【0026】次に、図2に示すように、マザースタンパ
ーMTSを用いて、マザースタンパーMTSの微細凹凸
の向きとは反転しマスタースタンパーMSSと同じ向き
の同相微細凹凸が表面に形成(転写)されたチャイルド
スタンパーCHSを金属材料を用いて作製する。この場
合、チャイルドスタンパーCHSもマザースタンパーM
TSと同様にして金属材料を用いて作製するため、その
表面に形成された同相微細凹凸がマスタースタンパーM
SSにおける微細凹凸の深さDPMSとほぼ等しく形成
される。
【0027】次に、図3に示すように、チャイルドスタ
ンパーCHSを用いて、チャイルドスタンパーCHSの
微細凹凸の向きとは反転しマザースタンパーMTSと同
じ向きの反転微細凹凸が表面に形成(転写)された樹脂
製(例えば、アクリル製)のスタンパーRSを光透過性
の樹脂材料を用いて作製する。この場合、樹脂材料の転
写性は金属材料の転写性よりも劣り、かつこの樹脂材料
の収縮率(この例では、0.5%〜1.5%)はめっき
工程における金属材料の収縮率(例えば、ほぼ0%)よ
りも遙かに大きい。このため、スタンパーRSは、その
表面に形成されたグルーブGRやランドLD等を形成す
るための微細凹凸の深さDPRSがチャイルドスタンパ
ーCHSの微細凹凸の深さDPMSよりも浅く作製され
る。
【0028】次いで、マザースタンパーMTSを樹脂成
形用金型内にセットし、金型内に樹脂材(例えば、PC
(ポリカーボネート))を射出することにより、図4に
示すように、表面にグルーブGRやランドLD等の案内
溝が形成(転写)された基材Dを作製する。この場合、
マザースタンパーMTSの表面に形成された微細凹凸の
深さはマスタースタンパーMSSにおける微細凹凸の深
さDPMSとほぼ等しく、かつマスタースタンパーMS
Sにおける微細凹凸の深さDPMSは多層光記録媒体3
1の製造時に使用されるマスタースタンパーMSSに形
成された微細凹凸の深さよりも深い。また、樹脂として
用いるPCの収縮率が0.5%〜1.5%のため、基材
Dの微細凹凸の深さがその分浅くなるのを見込んで深さ
DPMSを設定しておくことで、基材Dの表面に形成さ
れたランドLDの深さLd11は、多層光記録媒体31
の基材Dの表面に形成されたランドLDの深さLd12
よりも深く形成される。次いで、図5に示すように、作
製した基材Dの微細凹凸形成面上に、例えばスパッタ法
によって記録層L1を成膜(形成)する。
【0029】次に、図6に示すように、基材Dにおける
記録層L1の形成面上に光透過性を有する樹脂の塗液R
を滴下し、スピンコート法によって基材Dの表面全域に
亘って塗液Rを薄膜状に塗布する。次に、図7に示すよ
うに、塗液Rが塗布された基材Dの上にその微細凹凸形
成面を塗液R側に向けた状態で樹脂製のスタンパーRS
を覆い被せる。この場合、基材D上に塗布が完了した時
点では、塗液Rは、流動性を有しているため、スタンパ
ーRSの表面の微細凹凸の形状に馴染みつつ、スタンパ
ーRSと基材Dとの間の隙間全体に行き渡る。
【0030】次いで、塗液Rを硬化させる。具体的に
は、塗液Rとして紫外線硬化型樹脂を用いた場合、スタ
ンパーRS側から紫外線を照射することにより、塗液R
を硬化させる。この際に、樹脂製のスタンパーRSから
スペーサ層SPへの転写性(使用する紫外線硬化型樹脂
の収縮率、および紫外線硬化型樹脂と樹脂製のスタンパ
ーとの接触圧等に起因)に応じて、スペーサ層SPに形
成されるランドLDの深さは樹脂製のスタンパーRSの
微細凹凸の深さよりも、2〜10%浅くなる。次に、図
8に示すように、基材DからスタンパーRSを剥離す
る。これにより、表面にグルーブGRやランドLD等の
微細凹凸が形成(転写)されたスペーサ層SPが完成す
る。この場合、基材DのランドLD(案内溝)は、樹脂
として用いるPCの収縮率に応じて浅く形成される。一
方、スペーサ層SPのランドLDは、スタンパーRS作
製の際に樹脂が収縮してスタンパーRSの反転微細凹凸
が浅くなるのに加えて、スペーサ層SPの形成の際にも
スタンパーRSからの転写性に起因して、その分、さら
に浅く形成される。したがって、基材Dを作製する際の
樹脂の収縮とスタンパーRS作製の際の樹脂の収縮が同
程度とした場合、スペーサ層SPのランドLDは、スタ
ンパーRSからの転写性に起因して浅く形成される分だ
け、その深さLd01が基材DのランドLDの深さLd
11よりも確実に浅く、かつ多層光記録媒体31におけ
るスペーサ層SPの表面に形成されたランドLDの深さ
Ld02と同一に形成される。
【0031】続いて、図9に示すように、形成したスペ
ーサ層SPの微細凹凸形成面上に、例えばスパッタ法に
よって記録層L0を成膜する。以上までの工程が、本発
明における中間工程に相当する。次いで、その記録層L
0の上に塗液RCをスピンコートして硬化させることに
よりカバー層Cを形成する。これにより、多層光記録媒
体1の製造が完了する。
【0032】このように、この多層光記録媒体の製造方
法によれば、マスタースタンパーMSSが1枚であって
も、金属材料および樹脂材料の転写性や収縮率の違いを
利用することにより、基材DのランドLDの深さLd1
1がスペーサ層SPのランドLDの深さLd01よりも
確実に深く、したがって記録層L1の微細凹凸の深さが
記録層L0の微細凹凸の深さよりも確実に深い多層光記
録媒体1を安価に製造することができる。
【0033】なお、本発明は、上記した発明の実施の形
態に限らず、適宜変更が可能である。例えば、マスター
スタンパーとして、基材Dの案内溝の凹凸と反転する向
きの反転微細凹凸が表面に形成された金属製のスタンパ
ー(本発明における第21スタンパーに相当する)を用
いることもできる。この製造方法では、マスタースタン
パーから金属材料に奇数回転写して案内溝の凹凸と同じ
向きの微細凹凸が形成されたマザースタンパー(本発明
における第22スタンパーに相当する)を作製し、マス
タースタンパーから金属材料に転写して案内溝の凹凸と
反転する向きの反転微細凹凸が形成されたチャイルドス
タンパー(本発明における第23スタンパーに相当す
る)を作製する。この場合、マザースタンパーの製造工
程とは別の製造工程でマスタースタンパーを偶数回転写
してチャイルドスタンパーを作製してもよい。次いで、
チャイルドスタンパーまたはマスタースタンパーから転
写して基材Dを作製し、マザースタンパーから転写して
案内溝の凹凸と反転する向きの反転微細凹凸が形成され
た樹脂製スタンパーを作製する。この後、上記した製造
工程と同様にして多層光記録媒体1を製造する。この製
造方法であっても、上記した製造方法と同様にして、基
材DのランドLDの深さLd11がスペーサ層SPのラ
ンドLDの深さLd01よりも深く、記録層L1の微細
凹凸の深さが記録層L0の微細凹凸の深さよりも深い多
層光記録媒体1を安価に製造することができる。
【0034】さらに、この形態において、マザースタン
パーを本発明における第1スタンパーとした場合、マス
タースタンパーが、本発明における「第1スタンパーを
作製した際の転写基の金属製のスタンパー」を構成し、
チャイルドスタンパーが、本発明における「第1スタン
パーから転写して作製された金属製のスタンパー」を構
成する。つまり、マスタースタンパーとチャイルドスタ
ンパーとは、共に金属スタンパーであって微細凹凸の向
きと深さが同じ点が共通し、マザースタンパーは、マス
タースタンパーおよびチャイルドスタンパーとは、共に
金属スタンパーであって微細凹凸の深さが同じ点で共通
し、微細凹凸の向きが異なる点で相違する。したがっ
て、本発明では、上記した各形態に係る製造方法、およ
び後述する製造方法において、基材Dの案内溝(グルー
ブGRやランドLD)を転写するための金属製スタンパ
ーに反転微細凹凸が形成され、かつ樹脂製スタンパーに
反転微細凹凸が形成されている限り、マスタースタンパ
ー、マザースタンパー、チャイルドスタンパー、および
これらの各スタンパーから奇数回または偶数回転写して
作製した金属製スタンパーを任意に用いて、基材Dの案
内溝転写用の金属スタンパー、および樹脂製スタンパー
を作製することができる。なお、後述する実施の形態に
おいて、2種類のマスタースタンパーを用いる製造方法
についても、2種類のチャイルドスタンパーに代えて、
その2種類のマスタースタンパーを用いることができ
る。
【0035】また、同相微細凹凸の深さが互いに異なる
2種類のマスタースタンパーMSS1,MSS2を作製
し、この両マスタースタンパーMSS1,MSS2を用
いて、基材DのランドLDの深さLd11がスペーサ層
SPのランドLDの深さLd01よりも深い多層光記録
媒体1を製造する方法を採用することもできる。具体的
には、両マスタースタンパーMSS1,MSS2を用い
て、互いに異なる深さの反転微細凹凸が表面に形成され
た2つのマザースタンパーMTS1,MTS2を金属材
料を用いて作製する。次いで、図2に示すように、作製
した2つのマザースタンパーMTS1,MTS2の内の
反転微細凹凸の深さが浅い第1のマザースタンパーMT
S1を用いて、同相微細凹凸が表面に形成(転写)され
たチャイルドスタンパーCHSを金属材料を用いて作製
する。この場合、このチャイルドスタンパーCHSが本
発明における第32スタンパーを構成する。
【0036】次いで、図3に示すように、チャイルドス
タンパーCHSを用いて、樹脂製のスタンパーRSを作
製する。次に、図4に示すように、反転微細凹凸が第1
のマザースタンパーMTS1よりも深い第2のマザース
タンパーMTS2を樹脂成形用金型内にセットし、金型
内に樹脂材を射出することにより、基材Dを作製する。
この場合、この第2のマザースタンパーMTS2が本発
明における第31スタンパーを構成する。その後、上述
した多層光記録媒体の製造方法と同様にして、図5から
図9の工程を実施することにより、多層光記録媒体1を
製造する。この製造方法によれば、2種類のマスタース
タンパーMSS1,MSS2を使用する分だけ製造コス
トが上昇するものの、基材DのランドLDの深さLd1
1とスペーサ層SPのランドLDの深さLd01とを独
立して任意に設定することができる。したがって、各記
録層L1,L0に対するトラッキングサーボ時における
トラッキング差信号のS/Nを一層良好な状態に維持す
ることができる。
【0037】また、前述した実施の形態で作製した基材
DとスタンパーRSとを用いて、2層以上の光透過性樹
脂層からなるスペーサ層SPを製造することも可能であ
る。この場合、図12に示すように、スタンパーRSに
おける微細凹凸の形成面上に光透過性を有する樹脂の塗
液R1を滴下し、スピンコート法によってスタンパーR
Sの表面全域に亘って塗液R1を塗布する。次いで、こ
の塗液R1を硬化させる。具体的には、塗液R1として
紫外線硬化樹脂を用いた場合には、紫外線を照射するこ
とにより硬化させる。この際に、前述したようにスタン
パーRSからの転写性に応じて、スペーサ層SPに形成
されるランドLDの深さLd01はスタンパーRSの微
細凹凸の深さDPRSよりも浅くなる。次に、図13に
示すように、基材Dにおける記録層L1の形成面上に光
透過性樹脂製の塗液R2を滴下し、スピンコート法によ
って基材Dの表面全体に亘って塗液R2を塗布する。次
いで、図14に示すように、塗液R1と塗液R2とを密
着させて、基材DにスタンパーRSを貼り合わせる。具
体的には、塗液R2として紫外線硬化型の光透過性接着
樹脂を用いた場合には、スタンパーRS側から紫外線を
照射し、塗液R2を硬化させることにより、基材Dにス
タンパーRSを貼り合わせる。
【0038】続いて、基材DからスタンパーRSを剥離
する。これにより、図15に示すように、塗液R1およ
び塗液R2によって形成された2層の樹脂層から構成さ
れると共に、塗液R1による樹脂層の表面にグルーブG
RやランドLD等の微細凹凸が形成(転写)されたスペー
サ層SPが完成する。このような作製工程を採用するこ
とによっても、スペーサ層SPのランドLDの深さLd
01は、基材DのランドLDの深さLd11よりも確実
に浅く、かつ多層光記録媒体31におけるスペーサ層S
Pの表面に形成されたランドLDの深さLd02の深さ
と同一に形成される。このスペーサ層SPの作製工程に
よれば、基材DおよびスタンパーRSに特性が異なる材
質の樹脂を塗布することができる。このため、記録層L
1および記録層L0にとって適切な樹脂をそれぞれ使用
することができる。なお、基材D側に塗布した塗液R2
を硬化させ、スタンパーRS側に塗液R1として紫外線
硬化型の光透過性接着樹脂を塗布し、基材Dおよびスタ
ンパーRSを重ねた後に塗液R1を硬化させる作製工程
を採用することもできる。
【0039】また、同相微細凹凸の深さが互いに異なる
2種類のマスタースタンパーMSS11,MSS12を
用いて、上記の製造方法とは異なる製造方法で多層光記
録媒体11を製造することもできる。この製造方法で
は、上述した樹脂製のスタンパーRSを用いる製造方法
に代えて、多層光記録媒体31を製造した製造方法を採
用して、基材DのランドLDの深さLd11がスペーサ
層SPのランドLDの深さLd01よりも深い多層光記
録媒体1を製造する。具体的には、両マスタースタンパ
ーMSS11,MSS12を用いて、互いに異なる深さ
の反転微細凹凸が表面に形成された2つのマザースタン
パーMTS11,MTS12を金属材料を用いて作製す
る。次いで、作製した2つのマザースタンパーMTS1
1,MTS12のうち、反転微細凹凸の深さが浅いマザ
ースタンパーMTS12を用いて、同相微細凹凸が表面
に形成(転写)されたチャイルドスタンパーCHS11
を金属材料を用いて作製する。この場合、マザースタン
パーMTS11が本発明における第41スタンパーを構
成し、チャイルドスタンパーCHS11が本発明におけ
る第42スタンパーを構成する。
【0040】次いで、図10に示すように、マザースタ
ンパーMTS11から転写して基材Dを作製し、チャイ
ルドスタンパーCHS11から転写してカバー層Cを作
製する。この後、図11に示すように、従来例で説明し
た多層光記録媒体31の製造方法と同様にして、作製し
た基材DのグルーブGRやランドLD等の上に記録層L
1を形成し、作製したカバー層Cの微細凹凸形成面上に
記録層L0を形成する。最後に、図9に示すように、基
材Dとカバー層Cとを、互いの微細凹凸形成面同士が対
向するようにして光透過性樹脂製の接着剤を用いて貼り
合わせる。この場合、光透過性樹脂製の接着剤によって
形成される接着層が光透過層としてのスペーサ層SPを
構成する。この状態では、基材D上の記録層L1とカバ
ー層C上(スペーサ層SP上)の記録層L0は、入射光
の向きに対して、その向きが共に同じ同相微細凹凸を有
することとなる。以上の工程によって、多層光記録媒体
11が製造される。この多層光記録媒体11において
も、カバー層C(スペーサ層SP)の表面に形成された
ランドLDの深さLd01が、多層光記録媒体31のカ
バー層C(スペーサ層SP)の表面に形成されたランド
LDの深さLd02と同等であって、基材Dにおけるラ
ンドLDの深さLd11が多層光記録媒体31の基材D
におけるランドLDの深さLd12よりも確実に深く形
成される。
【0041】また、各記録層L0,L1を追記型の記録
層や再生専用層で構成することもできる。また、複数の
記録層や複数の再生専用層を有するDVDファミリーの
一部にも適用することができる。
【0042】また、基材Dは円板状に限らず、長方形等
の多角形や楕円等の各種形状に形成することができる。
また、本発明の実施の形態では、2層の記録層L1,L
0を有する多層光記録媒体1を例に挙げて説明したが、
3層以上の記録層を有する多層光記録媒体にも、本発明
を有効に適用することができる。この多層光記録媒体
は、その表面に記録層が形成されたトラッキング用の案
内溝(グルーブGRやランドLD)をレーザービームの
入射方向側の一面に形成した基材Dを備え、その表面に
記録層が形成されるトラッキング用の案内溝(グルーブ
GRやランドLD)が一面に形成された光透過層を基材
Dの上部に2以上積層されると共に、各グルーブGRが
基材D側ほど深く形成された構成を備える。言い換えれ
ば、この多層光記録媒体は、レーザービームの入射方向
側に位置する光透過層(スペーサ層SP)におけるレー
ザービームの入射方向側の一面に形成されたランドLD
の深さが最も浅く、基材D側に向かうに従って各スペー
サ層SPのランドLDの深さが順次深くなり、基材Dに
おけるレーザービームの入射方向側の一面に形成された
ランドLDの深さが最も深くなる構成を有する。また、
各金属製のスタンパーおよび各樹脂製のスタンパーの材
質については、特に限定されるものではなく、適宜選択
することができる。また、本発明の各実施の形態では、
記録層L1に反射膜が含まれる構成を採用した例につい
て説明したが、本発明においては記録層L1中に反射膜
が存在する構成は必須ではなく、基材Dや各層の反射率
および屈折率を適宜調整して記録層L1からのレーザー
ビームの反射光が記録や再生に支障のない程度に十分に
得られる層構造となっていればよい。また、本発明の実
施の形態では、記録層L0の上に光透過性樹脂の塗液R
Cをスピンコートして硬化させることによってカバー層
Cを形成する方法を採用した例について説明したが、光
透過性の樹脂シートを光透過性の接着層を介して貼り付
けることによってカバー層を形成する方法を採用するこ
ともできる。この場合には、樹脂シートとしては、例え
ば厚みが50μm〜100μm程度のポリカーボネート
樹脂製のシートを使用し、また光透過性の接着層として
は、例えば紫外線硬化型の接着剤を使用することができ
る。
【0043】
【発明の効果】以上のように、本発明に係る多層光記録
媒体によれば、レーザービームの入射方向側に位置する
光透過層の案内溝の深さを最も浅く形成すると共に基材
の案内溝の深さが最も深くなるように形成したことによ
り、光透過層の膜厚分布の影響を受け易い記録層に対す
るトラッキングサーボ時におけるトラッキング差信号の
信号レベルを高く維持することができる。したがって、
各記録層に対するトラッキングサーボ時に光ピックアッ
プから出力されるトラッキング差信号のS/Nを改善す
ることができる結果、各記録層に対するトラッキングサ
ーボを最もレーザービームの入射光側に位置する記録層
に対するトラッキングサーボと同様にして良好に行うこ
とができる。この結果、すべての記録層に対する記録デ
ータの記録や、すべての記録層からの記録データの読み
出しを良好に行うことができる。
【0044】また、本発明に係る多層光記録媒体の製造
方法によれば、第1スタンパーを作製した際の転写基の
金属製のスタンパー、または第1スタンパーから転写し
て作製された金属製のスタンパーから転写して一面に案
内溝が形成された基材を作製し、スタンパー作製工程に
おいて金属製の第1スタンパーから転写して案内溝の凹
凸と反転する向きの反転微細凹凸が形成された樹脂製ス
タンパーから転写して案内溝が形成された光透過層を形
成することにより、金属材料および樹脂材料の転写性や
収縮率の違いを利用することで、基材の案内溝の深さが
光透過層の案内溝の深さよりも確実に深い多層光記録媒
体を安価に製造することができる。
【0045】さらに、本発明に係る多層光記録媒体の製
造方法によれば、1つの金属製の第11スタンパーを用
いて作製した第12スタンパーから転写して一面に案内
溝が形成された基材を作製し、第13スタンパーから転
写して作製した樹脂製スタンパーを転写して光透過層の
表面に案内溝を形成することにより、第11スタンパー
が1枚であっても、金属材料および樹脂材料の転写性や
収縮率の違いを利用することで、基材の案内溝の深さが
光透過層の案内溝の深さよりも深い多層光記録媒体を確
実かつ安価に製造することができる。
【0046】また、本発明に係る多層光記録媒体の製造
方法によれば、1つの金属製の第21スタンパー、また
は第21スタンパーを用いて作製した第23スタンパー
から転写して一面に案内溝が形成された基材を作製し、
第21スタンパーから転写して作製した第22スタンパ
ーからさらに転写して作製した樹脂製スタンパーを用い
て光透過層の表面に案内溝を形成することにより、第2
1スタンパーが1枚であっても、金属材料および樹脂材
料の転写性や収縮率の違いを利用することで、基材の案
内溝の深さが光透過層の案内溝の深さよりも深い多層光
記録媒体を確実かつ安価に製造することができる。
【0047】さらに、本発明に係る多層光記録媒体の製
造方法によれば、案内溝の凹凸の向きおよび深さが互い
に異なる金属製の第31スタンパーおよび第32スタン
パーを用いて、第31スタンパーから転写して一面に案
内溝が形成された基材を作製し、第32スタンパーから
転写して作製した樹脂製スタンパーからさらに転写して
光透過層の表面に案内溝を形成することにより、基材の
案内溝の深さと光透過層の案内溝の深さとを独立して任
意に設定することができる。この結果、この多層光記録
媒体の製造方法でも、すべての記録層に対するトラッキ
ングサーボ時におけるトラッキング差信号のS/Nが一
層良好な多層光記録媒体を製造することができる。
【0048】また、本発明に係る多層光記録媒体の製造
方法によれば、案内溝の凹凸の向きおよび深さが互いに
異なる金属製の第41スタンパーおよび第42スタンパ
ーを用いて、第41スタンパーから転写して一面に案内
溝が形成された基材を作製し、第42スタンパーから転
写して表面に反転微細凹凸が形成されたカバー層を作製
し、基材の案内溝およびカバー層の反転微細凹凸の表面
に記録層をそれぞれ形成し、基材およびカバー層を各々
の記録層同士が互いに対向する状態で光透過層としての
光透過性接着樹脂を介して一体化すると共にその際に光
透過性接着樹脂の表面に案内溝を形成することにより、
基材の案内溝の深さと光透過層の案内溝の深さとを独立
して任意に設定することができる。この結果、すべての
記録層に対するトラッキングサーボ時におけるトラッキ
ング差信号のS/Nが一層良好な多層光記録媒体を製造
することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】マスタースタンパーMSSからマザースタンパ
ーMTSを作製する際の側面断面図である。
【図2】マザースタンパーMTS(MTS1)からチャ
イルドスタンパーCHSを作製する際の側面断面図であ
る。
【図3】チャイルドスタンパーCHSから樹脂製のスタ
ンパーRSを作製する際の側面断面図である。
【図4】マザースタンパーMTS(MTS2)を用いて
基材Dを作製した際の側面断面図である。
【図5】その表面に記録層L1が形成された基材Dの側
面断面図である。
【図6】基材D上にスピンコート法によって塗液Rを塗
布した状態の側面断面図である。
【図7】塗液Rが塗布された基材D上に樹脂製のスタン
パーRSを載置した状態の側面断面図である。
【図8】塗液Rを硬化させた後に、樹脂製のスタンパー
RSを剥離してスペーサ層SPを作製した状態の側面断
面図である。
【図9】多層光記録媒体1,11の構成を示す側面断面
図である。
【図10】マザースタンパーMTS11から基材Dを作
製し、チャイルドスタンパーCHS11からカバー層C
を作製する際の側面断面図である。
【図11】基材Dの表面に記録層L1を形成し、カバー
層Cの表面に記録層L0を形成した状態の側面断面図で
ある。
【図12】スペーサ層SPについての他の作製工程にお
いて、スタンパーRS上にスピンコート法によって塗液
R1を塗布して硬化させた状態の側面断面図である。
【図13】スペーサ層SPについての他の作製工程にお
いて、基材D上にスピンコート法によって塗液R2を塗
布した状態の側面断面図である。
【図14】図13に示す状態の基材D上に図12に示す
スタンパーRSを重ねて塗液R2を硬化させた状態の側
面断面図である。
【図15】図14に示す状態からスタンパーRSを剥離
して、スペーサ層SPを作製した状態の側面断面図であ
る。
【図16】マスタースタンパーMSSからマザースタン
パーMTSを作製する際の側面断面図である。
【図17】マザースタンパーMTSからチャイルドスタ
ンパーCHSを作製する際の側面断面図である。
【図18】マザースタンパーMTSから基材Dを作製
し、チャイルドスタンパーCHSからカバー層Cを作製
する際の側面断面図である。
【図19】基材Dの表面に記録層L1を形成し、カバー
層Cの表面に記録層L0を形成した状態の側面断面図で
ある。
【図20】多層光記録媒体31の構成を示す側面断面図
である。
【符号の説明】
1,11 多層光記録媒体 C カバー層 CHS,CHS11 チャイルドスタンパー D 基材 GR グルーブ L0,L1 記録層 LD ランド MSS,MSS1,MSS2,MSS11,MSS12
マスタースタンパー MTS,MTS1,MTS2,MTS11,MTS12
マザースタンパー R,R1,R2 塗液 SP スペーサ層
フロントページの続き (72)発明者 吉成 次郎 東京都中央区日本橋一丁目13番1号 ティ ーディーケイ株式会社内 Fターム(参考) 5D029 JB13 JB33 KB03 KB08 WA01 WB17 WC03 WD12 5D121 AA01 AA02 AA06 AA09 AA11 CA03 CA06 CB03 DD05 EE03 EE21 EE26 EE27 EE28 GG02

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 その表面に記録層が形成されたトラッキ
    ング用の案内溝をレーザービームの入射方向側の一面に
    形成した基材を備えると共にその表面に記録層が形成さ
    れるトラッキング用の案内溝が一面に形成された光透過
    層を前記基材の上部に1または2以上積層した多層光記
    録媒体であって、 前記各案内溝は、前記基材側ほど深く形成されている多
    層光記録媒体。
  2. 【請求項2】 スタンパー作製工程において作製したス
    タンパーを使用して、その表面に記録層が形成されたト
    ラッキング用の案内溝をレーザービームの入射方向側の
    一面に形成した基材を備えると共にその表面に記録層が
    形成されるトラッキング用の案内溝が一面に形成された
    光透過層を前記基材の上部に積層して構成される多層光
    記録媒体を製造する多層光記録媒体の製造方法であっ
    て、 前記スタンパー作製工程として、前記案内溝の凹凸と同
    じ向きの微細凹凸が表面に形成された金属製の第1スタ
    ンパーから転写して前記案内溝の凹凸と反転する向きの
    反転微細凹凸が形成された樹脂製スタンパーを作製する
    工程を少なくとも実施し、 前記多層光記録媒体を製造するための中間工程として、
    前記第1スタンパーを作製した際の転写基の金属製のス
    タンパー、または当該第1スタンパーから転写して作製
    された金属製のスタンパーから転写して前記一面に前記
    案内溝が形成された前記基材を作製する工程と、 前記作製した基材における前記案内溝の前記表面に前記
    記録層を形成する工程と、 前記形成した記録層の表面に光透過性樹脂を塗布する工
    程と、 前記塗布した光透過性樹脂の表面に前記樹脂製スタンパ
    ーから転写して前記案内溝が形成された前記光透過層を
    形成する工程と、 前記形成した光透過層における前記案内溝の前記表面に
    前記記録層を形成する工程とを少なくとも実施する多層
    光記録媒体の製造方法。
  3. 【請求項3】 スタンパー作製工程において作製したス
    タンパーを使用して、その表面に記録層が形成されたト
    ラッキング用の案内溝をレーザービームの入射方向側の
    一面に形成した基材を備えると共にその表面に記録層が
    形成されるトラッキング用の案内溝が一面に形成された
    光透過層を前記基材の上部に積層して構成される多層光
    記録媒体を製造する多層光記録媒体の製造方法であっ
    て、 前記スタンパー作製工程として、前記案内溝の凹凸と同
    じ向きの微細凹凸が表面に形成された金属製の第11ス
    タンパーから金属材料に奇数回転写して前記案内溝の凹
    凸と反転する向きの反転微細凹凸が形成された第12ス
    タンパーを作製する工程と、 前記第11スタンパーから金属材料に偶数回転写して前
    記案内溝の凹凸と同じ向きの微細凹凸が形成された第1
    3スタンパーを作製する工程と、 当該第13スタンパーから転写して前記案内溝の凹凸と
    反転する向きの反転微細凹凸が形成された樹脂製スタン
    パーを作製する工程とを少なくとも実施し、 前記多層光記録媒体を製造するための中間工程として、
    前記第12スタンパーから転写して前記一面に前記案内
    溝が形成された前記基材を作製する工程と、 前記作製した基材における前記案内溝の前記表面に前記
    記録層を形成する工程と、 前記形成した記録層の表面に光透過性樹脂を塗布する工
    程と、 前記塗布した光透過性樹脂の表面に前記樹脂製スタンパ
    ーから転写して前記案内溝が形成された前記光透過層を
    形成する工程と、 前記形成した光透過層における前記案内溝の前記表面に
    前記記録層を形成する工程とを少なくとも実施する多層
    光記録媒体の製造方法。
  4. 【請求項4】 スタンパー作製工程において作製したス
    タンパーを使用して、その表面に記録層が形成されたト
    ラッキング用の案内溝をレーザービームの入射方向側の
    一面に形成した基材を備えると共にその表面に記録層が
    形成されるトラッキング用の案内溝が一面に形成された
    光透過層を前記基材の上部に積層して構成される多層光
    記録媒体を製造する多層光記録媒体の製造方法であっ
    て、 前記スタンパー作製工程として、前記案内溝の凹凸と反
    転する向きの反転微細凹凸が表面に形成された金属製の
    第21スタンパーから金属材料に奇数回転写して前記案
    内溝の凹凸と同じ向きの微細凹凸が形成された第22ス
    タンパーを作製する工程と、 前記第21スタンパーから金属材料に偶数回転写して前
    記案内溝の凹凸と反転する向きの反転微細凹凸が形成さ
    れた第23スタンパーを作製する工程と、 前記第22スタンパーから転写して前記案内溝の凹凸と
    反転する向きの反転微細凹凸が形成された樹脂製スタン
    パーを作製する工程とを少なくとも実施し、 前記多層光記録媒体を製造するための中間工程として、
    前記第23スタンパーから転写して前記一面に前記案内
    溝が形成された前記基材を作製する工程と、 前記作製した基材における前記案内溝の前記表面に前記
    記録層を形成する工程と、 前記形成した記録層の表面に光透過性樹脂を塗布する工
    程と、 前記塗布した光透過性樹脂の表面に前記樹脂製スタンパ
    ーから転写して前記案内溝が形成された前記光透過層を
    形成する工程と、 前記形成した光透過層における前記案内溝の前記表面に
    前記記録層を形成する工程とを少なくとも実施する多層
    光記録媒体の製造方法。
  5. 【請求項5】 スタンパー作製工程において作製したス
    タンパーを使用して、その表面に記録層が形成されたト
    ラッキング用の案内溝をレーザービームの入射方向側の
    一面に形成した基材を備えると共にその表面に記録層が
    形成されるトラッキング用の案内溝が一面に形成された
    光透過層を前記基材の上部に積層して構成される多層光
    記録媒体を製造する多層光記録媒体の製造方法であっ
    て、 前記スタンパー作製工程として、前記案内溝の凹凸と反
    転する向きの反転微細凹凸が形成された金属製の第31
    スタンパーの当該微細凹凸よりも浅く前記案内溝の凹凸
    と同じ向きの微細凹凸が表面に形成された金属製の第3
    2スタンパーから転写して前記案内溝の凹凸と反転する
    向きの反転微細凹凸が形成された樹脂製スタンパーを作
    製する工程を少なくとも実施し、 前記多層光記録媒体を製造するための中間工程として、
    前記第31スタンパーから転写して前記一面に前記案内
    溝が形成された前記基材を作製する工程と、 前記作製した基材における前記案内溝の前記表面に前記
    記録層を形成する工程と、 前記形成した記録層の表面に光透過性樹脂を塗布する工
    程と、 前記塗布した光透過性樹脂の表面に前記樹脂製スタンパ
    ーから転写して前記案内溝が形成された前記光透過層を
    形成する工程と、 前記形成した光透過層における前記案内溝の前記表面に
    前記記録層を形成する工程とを少なくとも実施する多層
    光記録媒体の製造方法。
  6. 【請求項6】 その表面に記録層が形成されたトラッキ
    ング用の案内溝をレーザービームの入射方向側の一面に
    形成した基材を備えると共にその表面に記録層が形成さ
    れるトラッキング用の案内溝が一面に形成された光透過
    層と光透過性のカバー層とを前記基材の上部に積層して
    構成される多層光記録媒体を製造する多層光記録媒体の
    製造方法であって、 前記多層光記録媒体を製造するための中間工程として、
    前記案内溝の凹凸と反転する向きの反転微細凹凸が形成
    された金属製の第41スタンパーから転写して前記一面
    に前記案内溝が形成された前記基材を作製する工程と、 前記第41スタンパーの前記反転微細凹凸よりも浅く前
    記案内溝の凹凸と同じ向きの微細凹凸が形成された金属
    製の第42スタンパーから転写して前記案内溝の凹凸と
    反転する向きの反転微細凹凸が形成された前記カバー層
    を作製する工程と、 前記作製した基材の前記案内溝および前記作製したカバ
    ー層の前記反転微細凹凸の表面に前記記録層をそれぞれ
    形成する工程と、 前記基材および前記カバー層を各々の前記記録層同士が
    互いに対向する状態で前記光透過層としての光透過性接
    着樹脂を介して一体化すると共にその際に当該光透過性
    接着樹脂の表面に当該カバー層を転写して前記案内溝を
    形成する工程とを少なくとも実施する多層光記録媒体の
    製造方法。
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