KR20010053544A

KR20010053544A - 디스크형 다층 정보 기록 매체 및 그 제조 방법

Info

Publication number: KR20010053544A
Application number: KR1020017000666A
Authority: KR
Inventors: 도시유끼 가시와기; 다께시 야마사끼; 모또히로 후루끼; 도모미 유꾸모또
Original assignee: 이데이 노부유끼; 소니 가부시끼 가이샤
Priority date: 1999-05-17
Filing date: 2000-01-18
Publication date: 2001-06-25
Also published as: WO2000070608A1; BR0006132A; CA2337877A1; AU772376B2; US6663935B1; ATE321335T1; KR100697136B1; AU2005800A; EP1100081A4; CA2337877C; CN1304529A; CN1191578C; EP1100081A1; EP1100081B1; BR0006132B1

Abstract

정보 신호들을 기록하는 복수의 신호 기록층을 구비하는 디스크형 다층 정보 기록 매체에 있어서, 상기 매체는 제1 스탬퍼에 형성된 신호 기록 패턴이 밀착 전사되어 신호면에 반투명막이 형성된 시트를 펀칭하여 형성된 제1 기판과, 합성 수지 재료를 사출 성형하여 형성되며, 사출 성형 장치에 설치한 제2 스탬퍼에 형성된 신호 기록 패턴이 전사됨과 동시에 상기 신호 기록 패턴이 전사된 신호면에 반사막이 형성된 제2 기판을 접합함으로써 형성된다.

Description

디스크형 다층 정보 기록 매체 및 그 제조 방법{DISK-LIKE MULTILAYER INFORMATION RECORDING MEDIUM AND PRODUCTION METHOD THEREOF}

정보 기록의 분야에서 광학 정보 기록 방식이 이용되고 있다. 광학 정보 기록 방식은 기록 재생 헤드를 기록 매체에 접촉시키지 않고 정보 신호의 기록 재생을 행할 수 있는 것, 자기 기록 방식에 비하여 한 자릿수 이상이나 높은 기록 밀도를 달성할 수 있는 것, 재생 전용형, 추기형, 재기록 가능형 각각의 메모리 형태에 대응할 수 있는 등의 수많은 이점을 갖고, 염가인 대용량 파일의 실현을 가능하게 하는 방식으로서 산업용으로부터 민간용까지 폭넓은 용도가 제안되고 있다.

그 중에서도 특히, 재생 전용형 메모리 형태에 대응하는 광 디스크인 디지털 오디오 디스크, 디지털 다용도 디스크 등이라고 불리고 있는 고밀도 정보 기록 매체나 광학식 비디오 디스크 등이 보급되고 있다.

이 종류의 광 디스크에서는 정보 신호를 나타내는 피트나 그루브 등의 요철 패턴이 형성된 투명 기판인 광 디스크 기판 상에 알루미늄막 등의 금속 박막으로 이루어지는 반사막이 형성되며 또한 이 반사막을 대기 중의 수분, 산소로부터 보호하기 위한 보호막이 상기 반사막 상에 형성된 구성이 된다. 또, 이러한 광 디스크의 정보를 재생할 때에는 예를 들면 광 디스크 기판측에서 상기 요철 패턴에 레이저광 등의 재생 광을 조사하고, 그 입사광과 귀환광의 반사율의 차에 의해서 정보를 검출한다.

이러한 광 디스크를 제조할 때에는 우선 사출 성형 등의 수법에 의해 상기 요철 패턴을 갖는 광 디스크 기판을 형성하고, 이 위에 금속 박막으로 이루어지는 반사막을 증착 등의 수법에 의해 형성하고 또한 그 위에 자외선 경화형 수지 등을 도포하여 보호막을 형성한다.

그런데, 이러한 광 디스크에서는 고기록 용량화가 요구되고 있으며, 이에 대응하도록 요철 패턴을 광 디스크 기판의 하나의 면 상에 형성하고, 이 위에 반투명막을 형성하고, 이 반투명막 상에도 수 10㎛의 간격을 두고 요철 패턴을 형성하고, 이 위에 반사막을 형성하도록 하여 합계 2층의 정보 기판층을 갖는 광 디스크가 제안되고 있다.

이러한 신호를 갖는 층을 복수 갖는 다층 구조의 디스크형 정보 기록 매체는 대용량으로 생산성을 올리고 용이하게 생산할 수 있는 것이 기대되고 있다.

본 발명은 정보 신호가 기록된 층을 복수 포함하는 다층 구조의 디스크형 정보 기록 매체 및 그 제조 방법에 관한 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 다층 구조의 디스크형 정보 기록 매체의 제조 방법에서의 제1 기판 작성 단계를 나타내는 모식도.

도 2는 제2 기판 작성 단계를 나타내는 개략 단면도.

도 3은 접합 단계를 나타내는 개략 단면도.

도 4는 본 발명에 따른 다층 구조의 디스크형 정보 기록 매체의 제조 방법의 다른 예에서의 제1 기판 작성 단계를 나타내는 모식도.

도 5는 도 1 내지 도 3에 도시하는 제조 방법의 순서의 일례를 나타내는 순서도.

도 6은 다층의 반사막을 형성하는 경우의 제조 공정의 일례를 나타내는 개략 단면도.

도 7은 도 6의 제조 방법에 대응하여 순서의 일례를 나타내는 순서도.

도 8은 신호면 재생 방식과 판독면 재생 방식에서의 지터의 일례를 설명하는 개략 단면도.

도 9는 마스터 스탬퍼로부터 스탬퍼를 작성하는 일례를 나타내는 개략 단면도.

도 10은 시트형 기판의 제조 공정의 다른 예를 나타내는 모식도.

도 11은 시트형 기판의 제조 공정의 또 다른 예를 나타내는 모식도.

도 12는 시트형 기판의 제조 공정 및 제2 복제 기판으로의 접합 공정의 일례를 나타내는 모식도.

도 13은 신호면이 형성된 시트형 기판을 성형 기판에 적층한 다층 광 디스크의 일례를 나타내는 개략 단면도.

도 14는 신호면이 형성된 시트형 기판을 복수층 성형 기판에 적층한 다층 광 디스크의 일례를 나타내는 개략 단면도.

도 15는 신호면이 형성된 시트형 기판을 복수층 더미 기판에 적층한 다층 광 디스크의 일례를 나타내는 개략 단면도.

본 발명의 목적은 기록 용량의 대용량화를 실현하고, 용이하고 또한 대량으로 생산할 수 있는 다층 정보 기록 매체 및 그 제조 방법을 제공하는데 있다.

이러한 목적을 달성하기 위해서 제안되는 다층 정보 기록 매체는 제1 스탬퍼에 형성된 신호 기록 패턴이 전사되어 신호면에 반투명막이 형성된 시트를 펀칭하여 형성된 제1 기판과, 합성 수지 재료를 사출 성형하여 형성되며, 사출 성형 장치에 설치한 제2 스탬퍼에 형성된 신호 기록 패턴이 전사됨과 동시에, 신호 기록 패턴이 전사된 신호면에 반사막이 형성된 제2 기판을 신호 기록면측을 투명 접착층에서 접합하여 형성된다.

또한, 본 발명은 신호를 갖는 층을 복수 갖는 다층 구조의 디스크형 정보 기록 매체의 제조 방법에 있어서, 이 제조 방법은 시트측에 제1 스탬퍼에 형성된 신호 기록 패턴을 전사하고, 그 신호 기록 패턴이 전사된 신호 기록면에 반투명막을 형성하여 펀칭함으로써 제1 기판을 얻는 제1 기판 작성 단계와, 사출 성형에 의해 제2 스탬퍼에 형성된 신호 기록 패턴을 전사하여, 그 신호 기록 패턴이 전사된 신호 기록면에 반사막을 형성함으로써 제2 기판을 얻는 제2 기판 작성 단계와, 제1 기판과 제2 기판을 투명 접착층에서 접합시키는 접합 단계를 포함한다.

본 발명의 제1 기판 작성 단계에서는 시트측에 제1 스탬퍼로부터 신호 기록 패터닝이 전사되며, 그 신호 기록 패턴이 전사된 신호면에 반투명막을 형성하여 펀칭함으로써 제1 기판을 얻는다. 제2 기판 작성 단계에서는 사출 성형에 의해 제2 스탬퍼에 형성된 신호 기록 패턴이 전사되며 그 신호 기록 패턴이 전사된 신호면에 반사막을 형성함으로써 제2 기판을 얻는다.

제1 기판 작성 단계에서 연속한 시트를 이용하여 제1 기판을 제조하고 접합 단계에서 제1 기판과 제2 기판이 투명 접착층으로 접합시킴으로써, 다층 정보 기록 매체를 대량으로 제조할 수 있다. 한편, 제2 기판 작성 단계에서는 사출 성형으로 제2 기판을 대량으로 작성할 수 있다. 이러한 공정을 채용함으로써 대용량의 다층 구조의 디스크형 정보 기록 매체를 대량으로 또한 용이하게 제조할 수 있다.

제1 기판 작성 단계에서는 제1 스탬퍼에 수지를 공급하여, 합성 수지제의 시트에 대하여 제1 스탬퍼를 가압하거나 혹은 자외선 조사와 병용함으로써, 합성 수지제의 시트에 제1 스탬퍼에 형성된 신호 기록 패턴이 전사된다. 또한, 제1 기판 작성 단계에서는 합성 수지제의 시트에 대하여 제1 스탬퍼를 가압함으로써 시트에 제1 스탬퍼에 형성된 신호 기록 패턴을 직접 전사한다.

접합 단계에서는 투명 접착층으로서 광경화형의 수지를 이용하여, 제1 기판과 제2 기판을 회전함으로써 투명 접착층의 두께를 제어함으로써, 간단히 제1 기판과 제2 기판을 투명 접착층을 통하여 일체화할 수 있다.

접합 단계에 있어서, 점형 광원의 자외선 조사원이 제1 기판과 제2 기판의 내주측에서 외주측으로 향하여 이동하면서 자외선을 투명 접착층에 대조함으로써, 자외선 조사원을 이동하는 것 뿐으로 투명 접착층을 광경화시킬 수 있다.

본 발명 방법에 이용되는 제1 스탬퍼는 모 스탬퍼에 금속을 스퍼터링하고 그 반전 패턴으로서 신호 기록 패턴이 형성되고 있다.

또한, 제1 기판과 제2 기판은 감압성 점착제를 이용하여 접합된다.

여기서 이용되는 투명 접착층은 드라이포토폴리머이며 또한 신호가 전사되는 수지에는 드라이포토폴리머가 있다.

또한, 본 발명에 이용되는 제1 기판을 구성하는 시트는 감압성 시트에 보호 시트를 접합하여 형성되며, 감압성 시트에 제1 스탬퍼에 형성한 신호 기록 패턴을 전사한 후, 보호 시트를 박리하여 제1 기판으로 하고, 상기 제1 기판에 대하여 제2 기판이 접합된다.

본 발명에 이용되는 시트재는 기록 재생용 레이저광의 입사면측에 보호제가 코팅되어 있다. 이 보호제는 표면 경도를 증가하거나 혹은 표면 저항을 내리거나 혹은 마찰 계수를 내린다.

또한, 본 발명에 따른 신호를 갖는 층을 복수개 구비한 다층 구조의 디스크형 정보 기록 매체의 제조 방법은 시트측에 제1 스탬퍼에 형성된 신호 기록 패턴이 전사되어, 그 신호 기록 패턴이 전사된 신호면에 반투명막을 형성함으로써 제1 기판을 얻는 제1 기판 작성 단계와, 제1 기판의 반투명막 상에 더욱 신호 기록 패턴이 전사된 반투명막을 투명 접착층을 통하여, 바람직하게는 수 10㎛의 간격을 두고 하나 또는 복수 형성하는 반투명막 형성 단계를 포함한다.

신호를 갖는 층을 복수개 구비한 다층 구조의 디스크형 정보 기록 매체를 제조하는 경우에, 제1 기판 작성 단계에서는 시트측에 제1 스탬퍼에 형성된 신호 기록 패턴이 전사되며, 그 신호 기록 패턴이 전사된 신호면에 반투명막을 형성함으로써 제1 기판을 얻는다. 반투명막 형성 단계에서는 제1 기판의 반투명막 상에 더욱 신호 기록 패턴이 전사된 반투명막을 투명 접착층을 통하여 수 10㎛의 간격을 두고 하나 또는 복수 형성한다.

본 발명의 또 다른 목적, 본 발명에 의해서 얻어지는 구체적인 이점은 이하에 설명되는 실시예의 설명에서 보다 명확하게 될 것이다.

이하, 본 발명에 따른 다층 정보 기록 매체의 제조 방법 및 이 제조 방법에 의해서 제조된 다층 정보 기록 매체를 도면을 참조하여 설명한다.

도 1 내지 도 3은 본 발명의 다층 구조의 디스크형 정보 기록 매체의 제조 방법의 일례를 나타내는 도면이고, 도 5는 이 제조 방법의 공정 플로우를 나타내고 있다.

도 1에 도시하는 디스크형 정보 기록 매체의 제조 방법은 소위 감광성 수지법(유리 2P법 : Photo Polymerization)을 채용한 것으로, 제1 복제 기판(제1 기판) S1을 만들기 위한 제1 기판 작성 단계 SS1을 나타내고, 도 2는 제2 복제 기판(기판) S2를 만들기 위한 제2 기판 작성 단계 SS2를 나타내고 있다. 도 3은 제1 복제 기판 S1과 제2 복제 기판 S2를 접합시키기 위한 접합 단계 SS3을 나타내고 있다.

상기 제1 기판 작성 단계 SS1, 제2 기판 작성 단계 SS2 및 접합 단계 SS3은 도 5에 도시하고 있다.

우선, 도 1과 도 5의 제1 기판 작성 단계 SS1을 설명한다.

제1 기판 작성 단계 SS1에서는 도 1의 (G)에 도시하는 제1 복제 기판 S1을 최종적으로 작성하는 공정이다. 이 단계 SS1에서는 연속형 시트(10)가 이용되며 이 시트(10)는 롤형으로 감기고 있다.

시트(10)는 합성 수지, 예를 들면 투광성 혹은 투명성을 갖는 폴리카보네이트, 폴리메틸메타크릴레이트와 같은 합성 수지제의 시트를 이용할 수 있어 그 두께는 바람직하게는 50㎛ 내지 150㎛ 이다. 시트(10)의 두께의 가장 바람직한 값으로서는 70㎛이다.

도 1의 (A)에서는 제1 스탬퍼(12)가 시트(10)의 한쪽 면(10a)에 대하여 간격을 두고 배치되어 있다. 제1 스탬퍼(12)에는 제1 복제 기판 S1에 대하여 형성하려고 하는 정보 신호에 대응하는 미소한 요철로 이루어지는 신호 기록 패턴의 반전 패턴이 미리 형성되어 있으며, 예를 들면 모 스탬퍼에 대하여 금속을 스퍼터링하고, 그 반전 패턴으로서 만들어진 것이다. 도 1의 (B)에서는 이 제1 스탬퍼(12)의 신호 패턴 형성면측에 광경화 수지, 예를 들면 자외선 경화 수지(14)가 도포된다(도 5의 단계 ST1).

도 1의 (C)에서는 이러한 제1 스탬퍼(12)의 자외선 경화 수지(14)가 한쪽 면(10A)에 밀착됨과 동시에 롤(16)에 의해 압착됨으로써, 자외선 경화 수지(14)에 대하여 제1 스탬퍼(12)에 기록된 신호에 대응하는 요철로 이루어지는 신호 기록 패턴이 정확하게 전사된다. 도 1의 (D)에서는 자외선 조사 수단으로부터 자외선이 조사되며 자외선 경화 수지(14)가 경화된다.

도 1의 (E)에 도시한 바와 같이 제1 스탬퍼(12)만이 시트(10)측에서 박리되며 자외선 경화 수지(14)와 시트(10)가 일체가 되어 밀착된다(단계 ST2).

도 1의 (F)에서는 예를 들면 SiN의 반투명막의 스퍼터 장치(18)에 의해, 자외선 경화 수지(14)의 신호면(14A)에 SiN의 반투명막이 스퍼터링에 의해 형성된다(단계 ST3).

이와 같이 도 1의 (A) 내지 (F)의 공정을 거쳐서 만들어진 시트(10)와 자외선 경화 수지(14)의 적층체는 도 1의 (G)에서 예를 들면 디스크형에 펀칭 가공이 실시되며 제1 복제 기판 S1이 얻어진다(단계 ST4, ST5).

한편, 도 2와 도 5의 제2 기판 작성 단계 SS2에서는 금형(20, 22)이 준비된다. 금형(22)의 내면은 경면부(22A)로 이루어져 있다. 금형(20)의 성형면측에는 제2 스탬퍼(24)가 배치되어 있으며, 도 2의 (A)의 상태에서 도 2의 (B)에 도시한 바와 같이 금형(20, 22)이 조합된 상태에서 합성 수지(26)가 사출된다. 이 합성 수지(26)로서는 예를 들면 투명성 혹은 투광성을 갖는 폴리카보네이트, 비정질 폴리올레핀 등이 사용 가능하지만, 최종 디스크 형태가 되었을 때, 제2 복제 기판 S2에는 광학 특성이 요구되지 않으므로 충전제를 섞어서 강성을 높일 수 있다.

금형(20, 22) 간에 사출된 합성 수지(26)에는 제2 스탬퍼(24)에 미소한 요철 패턴으로서 형성된 신호 기록 패턴(24A)이 전사된다. 도 2의 (C)에서는 금형(20, 22)의 형을 개방하여 행해지며 제2 복제 기판 S2의 이형(離型)이 행해져서, 제2 스탬퍼(24)에 설치한 신호 기록 패턴이 전사된 신호면(28)을 갖는 제2 복제 기판 S2를 얻을 수 있다. 이 제2 복제 기판 S2의 두께 D2는 0.6㎜ 내지 1.2㎜이다(도 5의 단계 ST6).

도 5에 도시하는 제1 기판 작성 단계 SS1과 제2 기판 작성 단계 SS2는 동시에 행해도 되며 혹은 어느 한쪽을 먼저 행해도 된다. 어떤 경우에든 제1 기판 작성 단계 SS1과 제2 기판 작성 단계 SS2가 종료한 시점에, 도 5에 도시하는 단계 ST9와 단계 ST10으로 이루어지는 접합 단계 SS3을 실행한다. 도 3에 도시하는 접합 단계 SS3에서는 제2 복제 기판 S2의 신호면(28)에 대하여 Al 등의 반사막(30)을 예를 들면 이온 빔 스퍼터링법으로 형성한다(단계 ST7). 이 경우의 반사막(30)의 두께는 예를 들면 40㎚이다.

도 3의 (B)에서는 도 5의 단계 ST9에서 나타낸 바와 같이, 제2 복제 기판 S2의 반사막(30) 상에 소정량의 투명한 자외선 경화 수지를 적하한다(단계 ST8). 이 자외선 경화 수지(32)를 통하여 제1 복제 기판 S1의 신호면(14A)과, 제2 복제 기판 S2의 반사막(30)을 대면하도록 하여 접합시킨다(단계 ST9). 도 3의 (C)는 상기 상태를 나타내고 있으며 제1 복제 기판 S1과 제2 복제 기판 S2는 일체적으로 R 방향으로 연속 회전함으로써, 자외선 경화 수지(32)의 일부의 잉여 부분(32A)이 외부로 분산하는 것으로, 적절한 양의 자외선 경화 수지(32)이며 또한 소정의 두께의 자외선 경화 수지(32)로 이루어지는 투명 접착층이 제1 복제 기판 S1과 제2 복제 기판 S2를 접착한다(단계 ST10).

도 3의 (D)에서는 자외선(34)이, 각 기판 S1, S2의 내주측에서 외주측으로 향하여 소정의 속도로 반경 방향으로 이동함으로써, 게다가 양 기판 S1, S2가 회전함으로써 자외선 경화 수지(32)가 경화된다. 이 때의 자외선 경화 수지(32)의 두께 d3은 예를 들면 50㎛을 채용할 수 있다(단계 ST10).

이와 같이 하여 다층 구조의 대용량의 디스크형 정보 기록 매체(100)를 얻을 수 있다. 이러한 디스크형 정보 기록 매체(100)로서는 예를 들면 컴팩트 디스크나 CD-ROM(컴팩트 디스크를 사용한 리드 온 메모리)나 그 외의 광 디스크 혹은 디지털 비디오 디스크나 디지털 다용도 디스크(DVD)라고 불리는 고밀도 정보 기록 매체와 같은 광 디스크, 그 외의 광자기 디스크와 같은 정보 기록 매체를 포함하는 것이다.

도 3의 (D)와 같이 자외선(34)을 조사하면서 또한 양 기판 S1, S2를 회전함으로써, 자외선 경화 수지(32)에 대하여 균일하게 자외선(34)을 조사할 수 있어 균일한 투명의 중간층인 투명 접착층을 형성할 수 있다.

자외선 경화 수지(32)의 두께 d3이 10㎛보다도 크고 50㎛보다도 작은 것이 바람직하다. 상기 자외선 경화 수지(32)의 두께 d3이 50㎛보다도 크면 광투과층의 두께에 의한 구면 수차가 증가하고 양호한 신호가 재생할 수 없게 된다. 10㎛보다 작으면 다른쪽 신호층에서의 귀환광이 오버랩핑 처리하여 노이즈로서 관측되며 정확하게 신호가 재생되지 않게 될 우려가 있다.

다음에, 도 4를 참조하여 본 발명에 따른 디스크형 정보 기록 매체의 제조 방법의 다른 예를 설명한다. 도 4의 제조 방법에서는 다이렉트 엠보싱법을 채용하고 있으며, 도 4에 도시하는 제1 기판 작성 단계 SS1이 도 1의 제1 기판 작성 단계 SS1과는 다르다. 제2 기판 작성 단계 SS2와 접합 단계 SS3은 도 2과 도 3에 도시하는 제2 기판 작성 단계 SS2와 접합하여 단계 SS3과 실질적으로 동일하다.

도 4에 도시하는 예에서는 상술한 바와 같이 다이렉트 엠보싱법을 이용하고 있고 최종적으로는 도 4의 (F)에 도시하는 제1 기판으로서의 제1 복제 기판 S1이 얻어진다.

도 4에서의 시트(10)는 도 1의 시트(10)와 마찬가지인 것을 이용할 수 있다. 도 4의 (A)에서는 제1 스탬퍼(12)가 시트(10)에 대응하여 배치되어 있다. 도 4의 (B)에서는 상기 제1 스탬퍼(12)의 신호 기록 패턴이 직접 시트(10)에 대하여 롤(16)에서 압착된다. 시트(10)는 도 4의 (C)에서 냉각된 후에 도 4의 (D)에서 제1 스탬퍼(12)는 시트(10)에서 박리된다. 이에 따라 시트(10)에는 미소한 요철에 의해 신호가 기록된 신호 기록 패턴이 전사된 신호면(10A)이 직접 형성되어 있다.

도 4의 (E)에서는 SiN의 반투명막이 스퍼터링에 의해 신호면(10A)에 대하여 형성된다. 그 후, 도 4의 (F)에 도시한 바와 같이, 시트(10)가 예를 들면 디스크형으로 펀칭되는 것으로, 제1 복제 기판(제1 기판) S1을 얻을 수 있다. 상기 제1 복제 기판 S1에는 미소한 요철에 의해 신호가 기록된 신호 기록 패턴이 형성된 신호면(10A)을 가지고 있다.

도 1의 제1 기판 작성 단계 SS1에서의 도 1의 (F)의 스퍼터링 공정과 도 1의 (E)의 펀칭 공정은 반대로 할 수 있다. 마찬가지로 하여 도 4의 (E)의 스퍼터링 공정과, 도 4의 (F)의 펀칭 공정도 반대로 실시할 수 있다.

이와 같이 만들어진 제1 복제 기판 S1은 도 2에서 도시한 바와 같이 제2 기판 작성 단계 SS2에서 만들어진 제2 복제 기판 S2와 함께 도 3에 도시하는 접합 단계 SS3에서 마찬가지의 방식으로 접합함으로써 도 3의 (D)에 도시하는 다층 구조의 디스크형 정보 기록 매체(100)를 얻을 수 있다. 제2 기판 작성 단계 SS2와 접합 단계 SS3은 도 2의 제2 기판 작성 단계 SS2와 도 3의 접합 단계 SS과 마찬가지이므로, 그 설명을 원용하여 상세한 설명은 생략한다.

도 1의 (G)와 도 2의 (C)의 제1 복제 기판 S1과 제2 복제 기판 S2는 도 3의 (D)와 같이 투명 접착층(32)으로 접합한 후에 일체적으로 디스크형으로 펀칭하도록 해도 된다.

다음에, 본 발명의 다층 구조의 디스크형 정보 기록 매체의 제조 방법의 또 다른 예에 대하여 설명한다.

도 6은 또한 다층의 디스크를 작성하는데 최적인 다층 디스크의 제조 공정을 나타내고 있다. 도 6의 (A)에 도시하는 제1 복제 기판 S1은 도 1의 제1 기판 작성 단계 SS1 혹은 도 4의 제1 기판 작성 단계 SS1에서 얻어진 기판이다. 도 7은 도 6에 도시하는 다층 디스크 제조 공정의 흐름의 일례를 나타내고 있다. 도 7의 단계 ST1 내지 ST10까지는 도 5의 대응하는 단계 ST1 내지 단계 ST10과 동일하기 때문에 이들의 설명을 원용한다. 따라서, 도 7에서는 반투명막 형성 단계 SS4, 단계 ST20과 단계 ST21이 추가되어 있다.

도 7의 단계 ST20에서 도 6의 (A)의 제1 복제 기판 S1의 신호면(14A, 10A)에 반투명막 HR1을 형성하고, 이 반투명막 HR1에 대하여 자외선 경화 수지(50)를 얹어놓음과 함께, 스탬퍼(40)의 신호면을 이 자외선 경화 수지(50)에 압착한다. 이에 따라 스탬퍼(40)에 형성된 미소한 요철로 이루어지는 신호 기록 패턴이 자외선 경화 수지(50)에 전사됨과 동시에, 제1 복제 기판 S1과 스탬퍼(40)를 R 방향으로 회전함으로써 여분의 자외선 경화 수지(50)를 떼내서 외부에 노출한다.

그 회전할 때에 자외선을 내주 방향에서 외주 방향으로 점형으로 조사함으로써 자외선 경화 수지(50)는 소정의 두께로 제어되어 경화한다. 이 경화한 자외선 경화 수지(50)는 반투명막이고, 도 6의 (B)에 도시한 바와 같이, 자외선 경화 수지(50)와 일체가 된 제1 복제 기판 S1을 스탬퍼(40)로부터 착탈한다.

단계 ST21에서 도 6의 (A), 도 6의 (B)의 공정을 복수회 반복함으로써 도 6의 (C)에 도시한 바와 같이 투명 접착층(50B, 50C …)과 반투명막 HR1, HR2, HR3 …을 순차 적층할 수 있다. 이들의 투명 접착층(50B)에는 미소한 요철로 이루어지는 신호 기록 패턴이 형성된 신호면(50A, 50D …)이 각각 형성되어 있다. 즉, 반투명막 HR1과 투명 접착층(50B)의 적층체 다음에, 반투명막 HR2와 투명 접착층(50C)의 적층체를 형성하고 또한 다음의 반투명막과 투명 접착층의 적층체를 순차 적층함으로써, 다층 신호 기록층(60)을 형성한다. 각 적층체에는 미소한 요철로 이루어지는 신호 기록 패턴이 형성된 신호면(50A, 50D)이 형성되어 있다.

또, 투명 접착층(50B, 50C …)은 자외선 경화 수지 대신에, 드라이포토폴리머를 이용하여 형성할 수 있다. 이 경우, 자외선 경화 수지(50)를 얹어놓는 대신에, 시트형의 드라이포토폴리머를 반투명막 HR1에 밀착시켜서 또한 반대측에 스탬퍼(40)를 밀착시켜서 자외선 조사함으로써, 마찬가지로 요철 패턴으로 이루어지는 신호 기록 패턴이 전사된 투명 접착층(신호 기록층)을 형성할 수 있다.

그 후에, 최하층의 신호 기록층에 대하여 도 6의 (C)에 도시한 바와 같이 제2 복제 기판 S2의 신호 기록 패턴이 형성된 신호면(28)측을 중첩하여 일체화한다. 다층의 신호 기록층(60)은 이와 같이 하여 제1 복제 기판 S1과 제2 복제 기판 S2에 사이에 둔 상태에서, 도 6의 (D)에 도시한 바와 같은 다층 대용량의 디스크형 정보 기록 매체(110)를 만들 수 있다. 도 6의 (D)의 예에서는 기판 S1, S2 간에 투명 접착층(50B, 50C, 50F, 50G)과 반투명막 HR1, HR2, HR3 …이 형성되어 있다. 제2 복제 기판 S2는 예를 들면 도 3의 (A)의 공정에서 만들어진 것을 채용할 수 있다. 혹은 신호면이 없는 소위 더미 기판으로 하는 것도 가능하다.

각 신호 기록층(60)의 두께는 예를 들면 10㎛ ∼ 50㎛이다. 두께가 10㎛보다도 작으면, 중첩한 신호 기록층(60)의 상호 간의 광학적인 간섭이 생기므로 바람직하지 못하고, 50㎛보다 크면, 광학 픽업으로부터 광을 조사하면 구면 수차가 생기므로 바람직하지 못하다.

그런데, 도 6의 (A)에서의 스탬퍼(40)의 직경 L1은 제1 복제 기판 S1의 직경 L2와 거의 동등하거나 혹은 약간 작은 것이 바람직하다. 이와 같이 직경 L1이 직경 L2와 동등하거나 혹은 약간 작게 하는 것은 스탬퍼(40)측에 자외선 경화 수지(50)가 남게 되는 것을 막는 것으로, 스탬퍼(40)의 수명을 길게 할 수 있기 때문이다. 직경 L1이 직경 L2보다도 작은 경우에는 L1과 L2의 차는 예를 들면 0.5㎜보다도 작은 값인 것이 바람직하다.

도 8은 일례로서 스탬퍼(70)와 이 스탬퍼(70)에 의해 형성되는 복제 기판 S4를 나타내고 있다. 스탬퍼(70)는 예를 들면 종래의 광 디스크의 제조 프로세스로 작성되는 요령을 채용할 수 있어, 그 신호면(70A)의 트랙 피치는 예를 들면 0.50㎛이고, 선밀도는 0.185㎛/bit이며, 고밀도 정보 기록 매체를 작성하는 경우와 마찬가지인 변조 방식인 EFM(Eight to Fourteen Modulation)으로 행할 수 있다. 이 경우에 컴팩트 디스크 사이즈의 직경이 12㎝인 경우에는 기록 용량이 10GB가 된다.

도 8의 (A), 도 8의 (B)와 같이 하여 만들어진 복제 기판 S4의 신호면(60A)에는 반사막(기록막 ; 60)이 형성된다. 그리고 복제 기판 S4에 대하여 다른 복제 기판 S5가 투명한 접착층(80)에 의해 일체화되어 디스크형 정보 기록 매체가 얻어진다. 이러한 도 8의 (C)의 정보 기록 매체에 있어서, 도 8의 (D)에 도시한 바와 같이 복제 기판 S5측으로부터 대물 렌즈(84)를 통하여 광(86)을 조사한 경우와, 복제 기판 S4를 통하여 대물 렌즈(88)로부터 광(90)을 조사한 경우를 비교해본다. 대물 렌즈(84)를 이용하는 방식은 신호면 재생 방식이라고 불리고, 대물 렌즈(88)를 이용하는 방식은 판독면 재생 방식이라고 불리고 있다.

신호면 재생 방식을 채용함으로써, 판독 시의 지터를 6.5%까지 내릴 수 있지만, 판독면 재생 방식으로는 최량의 지터가 8.0%로 그친다. 이것부터, 신호면 재생 방식 쪽이 판독면 재생 방식보다도 지터에 대해서는 우수하다.

이 경우의 재생 시의 대물 렌즈(84)의 개구수(NA)는 예를 들면 0.875이고, 광(86, 90)의 파장은 640㎚이다. 이와 같이 차가 생기는 이유로서는 신호면 재생 방식에서의 피트의 폭 W1이 판독면 재생 방식에서의 피트의 폭 W2보다도 작게 할 수 있기 때문에 신호면 재생 방식은 판독면 재생 방식에 비하여 재생 시에서의 부호 간의 간섭이 감소하기 때문이다. 이와 같이 할 수 있는 것은 반사막이 균일하게 성막됨으로써 신호 피트가 작아지기 때문이다.

이와 같이, 복제 기판의 평면측(판독면측)으로부터 신호를 재생하는 것은 요철 전사면측(신호면측)으로부터 재생하는데 비하여 불리해진다.

본 발명에서 얻어지는 도 3의 (D)에 도시한 바와 같은 다층 구조의 디스크형 정보 기록 매체(100)는 복제 기판 S1의 평면측(판독면측)으로부터 재생하는 구조인 것으로, 이러한 판독면 재생 방식에 의해 재생하기 위한 다층 구조의 디스크형 정보 기록 매체로부터 정확하게 신호를 재생할 수 있기 때문에 도 9와 같은 스탬퍼를 작성하는 것이 바람직하다.

도 9의 (D)의 자 스탬퍼(120)는 도 1의 제1 스탬퍼(12)나 도 4의 제1 스탬퍼(12)로서 사용할 수 있는 것이다.

이러한 자 스탬퍼(120)는 도 9의 (A) 내지 (D)의 공정을 거쳐서 만들 수 있다.

도 9의 (A)에서의 마스터 스탬퍼(130)는 도 9의 (B)에서 모 스탬퍼(140)를 작성한다. 모 스탬퍼(140)에는 마스터 스탬퍼(130)에 형성된 신호 기록 패턴이 전사된다. 상기 모 스탬퍼(140)는 반전 스탬퍼라고도 불리고 있고, 이 모 스탬퍼(140)에 대해서는 도 9의 (C)에 도시한 바와 같이 예를 들면 Ni의 스퍼터막(150)이 형성된다. 이와 같이 하여 얻어진 모 스탬퍼(140)는 도 9의 (D)에 도시한 바와 같이 그 신호면이 스탬퍼(120)에 대하여 전사되게 된다.

얻어진 스탬퍼(120)는 도 1과 도 4에 도시하는 제1 스탬퍼(12)로서 이용할 수 있다. 또, 도 9의 (C)의 Ni의 스퍼터막(150)의 두께는 예를 들면 40㎚이다.

마스터 스탬퍼(130)는 남겨두고, 마스터 스탬퍼(130)에서 작성된 스탬퍼(120)를 이용하여 도 1 혹은 도 4와 같은 공정에 의해 얻어진 다층 구조의 디스크형 정보 기록 매체(100 ; 도 3 참조의 S1)에서는 마스터 스탬퍼(130)를 도 1 혹은 도 4의 제1 스탬퍼(12)로서 직접 이용한 경우에 얻어지는 다층 구조의 디스크형 정보 기록 매체(100)의 S1과 대부분 동등한 품질의 신호를 얻을 수 있다.

또한, 도 2의 제2 기판 작성 단계 SS2에서 얻어지는 제2 복제 기판 S2에 대해서는 그 양면에 대하여 신호면을 기록함으로써 양면 구조를 작성할 수 있다.

또한, 재생 시의 다층 구조의 디스크형 정보 기록 매체(100)를 판독하는 경우의 광학 픽업의 대물 렌즈의 개구수는 예를 들면 0.7 이상인 것이 바람직하다. 그리고 개구수 NA와 파장 λ의 비 NA/λ가 1.20 이상인 것이 바람직하다. 이 NA/λ≥1.20과, NA가 0.7 이상인 것은 한쪽 혹은 양쪽 동시에 만족하는 것이 바람직하다.

도 10 내지 도 12는 본 발명의 제조 방법에서의 다른 예를 나타내고 있다.

도 10의 제조 방법의 예에서는 긴 형상의 시트(10)로서는 드라이포토 폴리머(Dry-photo-POLYMER)를 채용하고 있다. 이 드라이포토 폴리머의 필름 혹은 층은 실질적으로 용매가 없는 폴리메릭(고분자)인 층으로, 이 폴리메릭층은 예를 들면 100 내지 200메가포이즈의 범위의 크리프 점성을 가지고 있으며, 이 크리프 점성은 평행 평판형의 유량계로 측정할 수 있다.

도 10은 이러한 시트(10)를 이용하여 고온 가압 압착법으로, 시트(10)에 대하여 신호 기록 패턴이 형성된 신호면을 기록할 수 있게 되어 있으며 도 10의 (A) 내지 (D)는 도 4의 (A) 내지 (D)의 공정에 대부분 대응한 것이다.

시트(10)에 대해서는 도 10의 (A)에서 제1 스탬퍼(12)가 배치되어 있다. 도 10의 (B)에서는 제1 스탬퍼(12)가 시트(10)에 대하여 롤(16)에 의해 압박되며, 제1 스탬퍼(12)에 형성된 미소한 요철로 이루어지는 신호 기록 패턴이 직접 전사된 신호면(10A)이 형성된다. 그리고 자외선이 도 10의 (C)에서 이 시트(10)에 대하여 조사됨으로써, 이 미소한 요철로 이루어지는 신호 기록 패턴이 형성된 신호면(10A)이 자외선 경화된 후에 도 10의 (D)에서는 제1 스탬퍼(12)가 시트(10)로부터 박리된다. 그 후는 도 4의 (E), 도 4의 (F)와 같이 스퍼터 공정이나 펀칭 공정이 실시되어, 도 4에 도시하는 제1 복제 기판 S1과 마찬가지인 복제 기판을 얻을 수 있다.

도 11은 시트(10)로서, 예를 들면 투명한 폴리카보네이트 등의 필름(10F)에 대하여 상술한 바와 같은 드라이포토폴리머(10G)를 적층하여 형성한 것이다. 이 경우라도 예를 들면 도 10과 마찬가지로 하여 도 11의 (A)에서 제1 스탬퍼(12)를 도 11의 (B)와 같이 롤(16)을 이용하여 압박하고, 그 후 자외선 조사하여 드라이포토폴리머(10G)를 경화시킨다. 그리고 도 11의 (C) 내지 (D)와 같이, 시트(10)를 제1 스탬퍼(12)로부터 박리하여 반투명막의 스퍼터링과 펀칭 공정을 행하면, 역시 제1 복제 기판을 얻을 수 있다.

도 12에서는 시트(10)가 보호 시트(10H)와 감압성 시트(10J)를 적층하여 만들어지고 있다. 보호 시트(10H)는 폴리카보네이트와 같은 필름을 채용할 수 있고, 감압성 시트(10J)로서는 감압성 점착제, 예를 들면 아크릴계의 점착 시트를 채용할 수 있다. 이 감압성 시트(10J)의 굴절율은 예를 들면 폴리카보네이트와 같은 합성 수지의 굴절율과 마찬가지인 것을 채용하는 것이 바람직하다.

도 12의 (A)에서는 제1 스탬퍼(12)가 감압성 시트(10J)에 대면하고 있으며, 도 12의 (B)에서는 감압성 시트(10J)에 대하여 롤(16)을 이용하여 압박된다. 그리고 감압성 시트(10J)에서 제1 스탬퍼(12)가 제거됨과 함께, 보호 시트(10H)가 감압성 시트(10J)로부터 박리된다. 이 감압성 시트(10J)는 제1 스탬퍼(12)로부터 미소한 요철로 이루어지는 신호 기록 패턴이 전사된 신호면(10A)을 가지고 있으며, 그 후, 소정의 반투명막의 스퍼터 처리 및 펀칭 처리가 행해지면, 도 12의 (E)에 도시한 바와 같은 제1 복제 기판 S1가 얻어진다.

한편, 제2 복제 기판 S2는 이미 만들어지고 있고, 제2 복제 기판 S2와 제1 복제 기판 S1은 자외선 경화 수지(32)를 이용하여 롤(166)에 의해 도 12의 (F)와 같이 압착됨으로써 다층 구조의 디스크형 정보 기록 매체(100)를 얻을 수 있다.

도 13은 본 발명의 제조 방법에 의해 만들어진 2층 구조의 대용량의 디스크형 정보 기록 매체(100)의 예를 나타내고 있다. 이 정보 기록 매체(100)는 성형 기판(225 ; 제2 복제 기판)과, 시트형 기판(202 ; 제1 복제 기판)을 구비하고 성형 기판(225)과 시트형 기판(202)은 광투과층(224 ; 자외선 경화 수지)에 의해 일체가 되고 있다. 성형 기판(225)의 정보면(232)은 기록층(또는 반사막 ; 222)이 형성되고 시트형 기판(202)에는 기록막(반투명 기록막 ; 213)이 형성되어 있다.

도 14는 제2 복제 기판에 상당하는 성형 기판(301) 상에 시트형 기판(302)을 다층 적층한 다층 광 디스크의 예이다.

성형 기판(301)은 앞의 도 2에 도시하는 공정에 의해 형성됨으로써, 한쪽 면이 신호면(301A)이 되며 반사막이나 기록막이 형성된다.

한편, 시트형 기판(302)은 도 1 혹은 도 4에 도시하는 공정에 의해 제작되며 성형 기판(301)과 대향하는 면이 신호면(302A)이 된다.

상기 시트형 기판(302)은 두께 5 ∼ 20㎛ 정도의 감압성 수지 등을 투명 접착층(303)으로 하고, 복수 적층되어 있는 다층 광 디스크가 구성되어 있다. 즉, 시트형 기판(302)과 투명 접착층(303)을 기본 단위로 하고, 이것이 복수 적층되어 다층 광 디스크가 구성되어 있다.

성형 기판(301)은 소위 더미 기판이라도 좋으며 이러한 예를 나타내는 것이 도 15이다.

상기 예에서는 제2 기판으로서 신호면이 없는 더미 기판(304)이 이용되고 있다. 따라서, 신호면의 층수는 시트형 기판(302)의 수가 된다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 다층 구조의 디스크형 정보 기록 매체의 제조 방법을 이용함으로써, 2층 구조 혹은 3층 이상의 다층 구조의 대용량의 디스크형 정보 기록 매체, 예를 들면 광 디스크를 대량으로 또한 용이하게 생산할 수 있다.

상술한 예에서는 필름형 혹은 박판형 시트에 대하여 미소한 요철로 이루어지는 신호 기록 패턴을 스탬퍼로부터 전사시켜서, 시트에 대하여 신호 기록 패턴을 패터닝할 때에는 딱딱한 스탬퍼로부터 비교적 부드러운 시트에 대하여 그와 같은 전사 작업을 행하므로 용이하게 전사 작업을 행할 수 있다.

도 6의 (A) 내지 (D)에 도시한 바와 같은 다층의 반투명막(60)을 형성하는 경우에 제1 복제 기판 S1에 대하여 순차 형성해가는 반투명막(50B, 50C, 50F, 50G)에서의 관계는 반투명막(50B) 측에서 반투명막(50C)에 걸쳐서, 순차 반사율이 커지도록 설정되어 있다. 즉 반투명막(50B)의 반사율이 제일 낮고 다음에 반투명막(50C, 50F, 50G)의 순서로 반사율이 커진다. 이 때문에, 제1 복제 기판 S1에서 자외선을 조사하여 순차 반투명막을 경화해가는 경우에 이러한 중간층인 다층의 반투명막(60)을 형성하는 것을 용이하게 행할 수 있다. 즉, 낮은 자외선 조사량으로 각 반투명막을 순차 경화시킬 수 있다.

이러한 반투명막 등의 자외선 경화 수지를 자외선을 조사하여 경화시킬 때, 자외선이 디스크의 중앙부에서 외주부에 걸쳐서 순차 스캔하면서 또한 디스크를 회전시킴으로써 전역에 걸쳐서 균일한 조사량을 제공할 수 있고, 따라서 균일한 두께의 전사층(중간층)을 만들 수 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 제1 스탬퍼에 형성된 신호 기록 패턴이 전사되어 신호면에 반투명막이 형성된 시트를 펀칭하여 형성된 제1 기판과, 합성 수지 재료를 사출 성형하여 형성되어, 사출 성형 장치에 설치한 제2 스탬퍼에 형성된 신호 기록 패턴이 전사됨과 동시에, 신호 기록 패턴이 전사된 신호면에 반사막이 형성된 제2 기판을 신호 기록면측을 투명 접착층에서 접합하여 정보 기록 매체를 형성하기 때문에, 대용량의 디스크형 정보 기록 매체를 용이하게 또한 대량으로 제조할 수 있다.

Claims

디스크형 다층 정보 기록 매체에 있어서,

제1 스탬퍼에 형성된 신호 기록 패턴이 밀착 전사되어 신호면에 반투명막이 형성된 시트를 펀칭하여 형성된 제1 기판과,

합성 수지 재료를 사출 성형하여 형성되며, 사출 성형 장치에 설치한 제2 스탬퍼에 형성된 신호 기록 패턴이 전사됨과 동시에 상기 신호 기록 패턴이 전사된 신호면에 반사막이 형성된 제2 기판을 포함하고,

상기 제1 기판과 상기 제2 기판이 신호 기록면측을 투명 접착층에 의해 접합하여 일체화되어 이루어지는 디스크형 다층 정보 기록 매체.
제1항에 있어서, 상기 투명 접착층으로서 광경화형 수지를 이용하여 이루어지는 디스크형 다층 정보 기록 매체.
제1항에 있어서, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판은 감압성 점착제를 이용하여 접합되어 이루어지는 디스크형 다층 정보 기록 매체.
제1항에 있어서, 상기 투명 접착층이 드라이포토폴리머인 디스크형 다층 정보 기록 매체.
제1항에 있어서, 상기 시트는 감압성 시트에 의해 형성되며, 상기 감압성 시트에 신호 기록 패턴이 전사되어 이루어지는 디스크형 다층 정보 기록 매체.
제1항에 있어서, 상기 시트의 기록 재생용 레이저광의 입사면측에는 보호제가 코팅되어 있는 디스크형 다층 정보 기록 매체.
신호 기록 패턴이 형성된 복수의 층을 포함하는 다층 구조의 디스크형 정보 기록 매체의 제조 방법에 있어서,

시트측에 제1 스탬퍼에 형성된 신호 기록 패턴을 밀착 전사한 신호면을 형성하고, 상기 신호면에 반투명막을 형성하여 펀칭함으로써 제1 기판을 얻는 제1 기판 작성 단계와,

사출 성형에 의해 제2 스탬퍼에 형성된 신호 기록 패턴을 전사하고, 그 신호면에 반사막을 형성함으로써 제2 기판을 얻는 제2 기판 작성 단계와,

상기 제1 기판과 제2 기판을 투명 접착층에서 접합시키는 접합 단계

를 포함하는 다층 정보 기록 매체의 제조 방법.
제7항에 있어서, 상기 제1 기판 작성 단계에서는, 상기 시트에 대향하는 면의 제1 스탬퍼에 수지를 공급함과 동시에, 상기 시트에 대하여 상기 제1 스탬퍼를 가압하여 수지에 제1 스탬퍼에 형성된 신호 기록 패턴을 전사하는 다층 정보 기록 매체의 제조 방법.
제7항에 있어서, 상기 제1 기판 작성 단계에서는 합성 수지제의 시트에 대하여 제1 스탬퍼를 가압하고, 상기 시트에 제1 스탬퍼의 신호 기록 패턴을 직접 전사하는 다층 정보 기록 매체의 제조 방법.
제7항에 있어서, 상기 접합 단계에서는 투명 접착층으로서 광경화형의 수지를 이용하고, 상기 제1 기판과 제2 기판을 회전함으로써 투명 접착층의 두께를 제어하는 다층 정보 기록 매체의 제조 방법.
제10항에 있어서, 점형 광원의 자외선 조사원을 상기 제1 기판과 제2 기판의 내주측에서 외주측으로 향하여 이동하면서 자외선을 투명 접착층에 조사하는 다층 정보 기록 매체의 제조 방법.
제7항에 있어서, 상기 제1 스탬퍼는 모 스탬퍼에 금속을 스퍼터링하고, 그 반전 패턴으로서 형성되어 있는 다층 정보 기록 매체의 제조 방법.
제7항에 있어서, 상기 제1 기판과 제2 기판을 감압성 점착제를 이용하여 접합하는 다층 정보 기록 매체의 제조 방법.
제7항에 있어서, 투명 접착층이 드라이포토폴리머인 다층 정보 기록 매체의 제조 방법.
제8항에 있어서, 상기 신호 기록 패턴이 전사되는 수지는 드라이포토폴리머인 다층 정보 기록 매체의 제조 방법.
제7항에 있어서, 상기 시트는 감압성 시트에 보호 시트를 접합시키는 것으로 구성되며, 상기 감압성 시트에 신호 기록 패턴을 전사한 후에 보호 시트를 박리하여 상기 제1 기판을 얻고, 상기 제1 기판에 대하여 상기 제2 기판을 접합시키는 다층 정보 기록 매체의 제조 방법.
제7항에 있어서, 상기 시트의 기록 재생용 레이저광의 입사면측에는 보호제가 코팅되어 있는 다층 정보 기록 매체의 제조 방법.
신호 기록 패턴이 형성된 복수의 층을 포함하는 다층 구조의 디스크형 정보 기록 매체에 있어서,

제1 스탬퍼에 형성된 신호 기록 패턴이 압착 전사되어 신호면에 반투명막이 형성된 시트에 의해 형성된 제1 기판과,

상기 제1 기판의 반투명막 상에 또한 투명 접착층을 통하여 하나 또는 복수의 신호 기록 패턴이 전사된 반투명막으로 이루어지는 디스크형 다층 정보 기록 매체.
제18항에 있어서, 사출 성형에 의해 제2 스탬퍼에 형성된 신호 기록 패턴이 전사된 신호면에 반사막이 형성된 제2 기판이 상기 제1 기판에 하나 또는 복수의 반투명막을 끼워서 투명 접착층에서 접합된 디스크형 다층 정보 기록 매체.
제18항에 있어서, 상기 제1 기판은 더미 기판에 대하여 하나 또는 복수의 반투명막을 끼워서 투명 접착층에서 접합하여 형성되어 이루어지는 디스크형 다층 정보 기록 매체.
제18항에 있어서, 상기 투명 접착층의 막 두께는 10㎛ 내지 50㎛인 디스크형 다층 정보 기록 매체.
제18항에 있어서, 상기 투명 접착층으로서 광경화형의 수지를 이용하여 이루어지는 디스크형 다층 정보 기록 매체.
제18항에 있어서, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판과는 감압성 점착제를 이용하여 접합되어 이루어지는 다층 정보 기록 매체.
제18항에 있어서, 상기 투명 접착층이 드라이포토폴리머인 디스크형 다층 정보 기록 매체.
제18항에 있어서, 상기 시트는 감압성 시트에 의해 형성되며, 상기 감압성 시트에 신호 기록 패턴이 전사되어 이루어지는 디스크형 다층 정보 기록 매체.
제18항에 있어서, 상기 시트의 기록 재생용 레이저광의 입사면측에는 보호제가 코팅되어 있는 디스크형 다층 정보 기록 매체.
신호 기록 패턴이 형성된 복수의 층을 포함하는 다층 구조의 디스크형 정보 기록 매체의 제조 방법에 있어서,

시트측에 제1 스탬퍼에 설치된 신호 기록 패턴을 형성하고, 그 신호 기록 패턴이 형성된 신호면에 반투명막을 형성함으로써 제1 기판을 얻는 제1 기판 작성 단계와,

상기 제1 기판의 반투명막 상에 또한 신호 기록 패턴이 전사된 반투명막을 투명 접착층을 통하여 하나 또는 복수 형성하는 반투명막 형성 단계

를 포함하는 다층 정보 기록 매체의 제조 방법.
제27항에 있어서, 사출 성형에 의해 제2 스탬퍼에 형성된 신호 기록 패턴이 전사된 신호면에 반사막을 형성함으로써 제2 기판을 얻는 제2 기판 작성 단계와,

상기 제1 기판과 제2 기판을 하나 또는 복수의 반투명막을 끼워서 투명 접착층에서 접합시키는 접합 단계

를 포함하는 다층 정보 기록 매체의 제조 방법.
제27항에 있어서, 상기 제1 기판을 더미 기판에 대하여 하나 또는 복수의 반투명막을 끼워서 투명 접착층에서 접합시키는 접합 단계를 포함하는 다층 정보 기록 매체의 제조 방법.
제27항에 있어서, 제1 스탬퍼는 모 스탬퍼에 금속을 스퍼터하여, 그 반전 패턴으로서 형성되어 있는 다층 정보 기록 매체의 제조 방법.
제27항에 있어서, 상기 반투명막 형성 단계에서 형성된 각 투명 접착층의 막 두께는 10㎛ 내지 50㎛인 다층 정보 기록 매체의 제조 방법.
제27항에 있어서, 상기 반투명막 형성 단계에서 형성된 투명 접착층은 광경화형의 수지이며, 상기 제1 기판을 회전함으로써 형성되는 다층 정보 기록 매체의 제조 방법.
제32항에 있어서, 점형광원의 자외선 조사원을 상기 제1 기판의 내주측에서 외주측으로 향하여 이동하면서 자외선을 상기 투명 접착층에 조사하는 다층 정보 기록 매체의 제조 방법.
제27항에 있어서, 상기 투명 접착층은 드라이포토폴리머인 다층 정보 기록 매체의 제조 방법.
제32항에 있어서, 상기 시트는 감압성 시트에 보호 시트를 접합시킴으로써 구성되며, 상기 감압성 시트에 신호 기록 패턴을 전사 후에 보호 시트를 박리하여 상기 제1 기판을 얻는 다층 정보 기록 매체의 제조 방법.
제27항에 있어서, 상기 시트의 기록 재생용 레이저광의 입사면측에는 보호제가 코팅되어 있는 다층 정보 기록 매체의 제조 방법.