TWD218093S - 基板處理裝置用晶舟之部分 - Google Patents
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Abstract
【物品用途】;本設計的物品是基板處理裝置用晶舟，係用來將複數個基板呈水平地保持在基板處理裝置的反應室內的晶舟。;【設計說明】;圖式所揭露之虛線部分，為本案不主張設計之部分。;圖式中一點鏈線所圍繞者，為界定本案所欲主張之範圍，該一點鏈線本身為本案不主張設計之部分。
Description
本設計的物品是基板處理裝置用晶舟，係用來將複數個基板呈水平地保持在基板處理裝置的反應室內的晶舟。
圖式所揭露之虛線部分，為本案不主張設計之部分。
圖式中一點鏈線所圍繞者，為界定本案所欲主張之範圍，該一點鏈線本身為本案不主張設計之部分。
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