TWD212726S - 基板處理裝置用晶舟之部分 - Google Patents

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TWD212726S
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Taiwan
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design
substrate processing
wafer boat
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processing equipment
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TW109302373F
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English (en)
Inventor
村田慧
Original Assignee
日商國際電氣股份有限公司
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Abstract

【物品用途】;本設計的物品是基板處理裝置用晶舟，為一種將複數個基板水平的保持在基板處理裝置的反應室內的晶舟。;【設計說明】;圖式所揭露之虛線部分，為本案不主張設計之部分。;圖式中一點鏈線所圍繞者，為界定本案所欲主張之範圍，該一點鏈線本身為本案不主張設計之部分。;「部分設計之主張部分的放大立體圖」中所繪製的細線，皆為用來表現立體表面的形狀。

Description

基板處理裝置用晶舟之部分
本設計的物品是基板處理裝置用晶舟，為一種將複數個基板水平的保持在基板處理裝置的反應室內的晶舟。
圖式所揭露之虛線部分，為本案不主張設計之部分。
圖式中一點鏈線所圍繞者，為界定本案所欲主張之範圍，該一點鏈線本身為本案不主張設計之部分。
「部分設計之主張部分的放大立體圖」中所繪製的細線，皆為用來表現立體表面的形狀。
TW109302373F 2019-11-28 2020-05-04 基板處理裝置用晶舟之部分 TWD212726S (zh)

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