TWD215922S - 基板處理裝置用氣體導入管 - Google Patents
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Abstract
【物品用途】;本設計的物品是基板處理裝置用氣體導入管，係在處理晶圓的基板處理裝置的處理室內，直立地支撐著氣體供給噴嘴，並且將氣體導入到該氣體供給噴嘴。;【設計說明】;(無)
Description
本設計的物品是基板處理裝置用氣體導入管，係在處理晶圓的基板處理裝置的處理室內，直立地支撐著氣體供給噴嘴，並且將氣體導入到該氣體供給噴嘴。
(無)
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