JP1728712S - インレットアダプタ - Google Patents
インレットアダプタInfo
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- JP1728712S JP1728712S JP2022013029F JP2022013029F JP1728712S JP 1728712 S JP1728712 S JP 1728712S JP 2022013029 F JP2022013029 F JP 2022013029F JP 2022013029 F JP2022013029 F JP 2022013029F JP 1728712 S JP1728712 S JP 1728712S
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- JP
- Japan
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- inlet adapter
- inlet
- processing chamber
- semiconductor processing
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Links
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
Abstract
本願に係る物品（以下、「本物品」という。）は、例えば、半導体処理チャンバーが備える処理ガスの導入口であるインレットに装着して用いられるインレットアダプタである。処理ガスはインレットアダプタを介して、半導体処理チャンバー内に配送される。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US202129819868 | 2021-12-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP1728712S true JP1728712S (ja) | 2022-10-31 |
Family
ID=83846028
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2022013029F Active JP1728712S (ja) | 2021-12-17 | 2022-06-17 | インレットアダプタ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP1728712S (ja) |
| TW (1) | TWD225934S (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USD748759S1 (en) | 2014-07-25 | 2016-02-02 | Guide Valve Limited | Valve flange with bleed port |
-
2022
- 2022-06-15 TW TW111302893F patent/TWD225934S/zh unknown
- 2022-06-17 JP JP2022013029F patent/JP1728712S/ja active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TWD225934S (zh) | 2023-06-21 |
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