JP1713813S - 半導体処理装置用シャワーヘッド - Google Patents
半導体処理装置用シャワーヘッドInfo
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title abstract 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract 1
Abstract
本願に係る物品（以下、「本物品」という。）は、例えば、半導体の製造に用いられる半導体処理装置において処理ガスを放出するシャワーヘッドである。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021023600F JP1713813S (ja) | 2021-10-28 | 2021-10-28 | 半導体処理装置用シャワーヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021023600F JP1713813S (ja) | 2021-10-28 | 2021-10-28 | 半導体処理装置用シャワーヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP1713813S true JP1713813S (ja) | 2022-04-27 |
Family
ID=81388390
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2021023600F Active JP1713813S (ja) | 2021-10-28 | 2021-10-28 | 半導体処理装置用シャワーヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP1713813S (ja) |
-
2021
- 2021-10-28 JP JP2021023600F patent/JP1713813S/ja active Active
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