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기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 박막 증착 장치와 기판 처리 장치
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기판 표면 내에 형성된 오목부를 충진하기 위한 주기적 증착 방법 및 장치
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
실리콘 질화물 층을 선택적으로 증착하는 방법, 및 선택적으로 증착된 실리콘 질화물 층을 포함하는 구조체
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(ko)
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2019-03-08 |
2020-09-17 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
SiOCN 층을 포함한 구조체 및 이의 형성 방법
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(ko)
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2020-10-08 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
도어 개방기 및 이를 구비한 기판 처리 장치
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(ko)
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
반도체 소자를 제조하는 방법
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(ko)
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2020-10-29 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
층 형성 방법 및 장치
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(ko)
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기상 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
딥 튜브가 있는 화학물질 공급원 용기
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(ko)
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
표면 상에 재료를 증착하는 방법 및 본 방법에 따라 형성된 구조
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2019-05-16 |
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エーエスエム アイピー ホールディング ビー．ブイ． |
ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
가스 감지기를 포함하는 기상 반응기 시스템
|
|
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(ko)
|
2019-06-11 |
2020-12-23 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
개질 가스를 사용하여 전자 구조를 형성하는 방법, 상기 방법을 수행하기 위한 시스템, 및 상기 방법을 사용하여 형성되는 구조
|
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(en)
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2019-06-14 |
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Asm Ip Holding B.V. |
Shower plate
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(ko)
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2019-07-03 |
2021-01-14 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 처리 장치용 온도 제어 조립체 및 이를 사용하는 방법
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(ja)
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2019-07-09 |
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エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー |
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Asm Ip私人控股有限公司 |
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(ko)
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Asm Ip Holding B.V. |
Gas flow control plate for substrate processing apparatus
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USD990441S1
(en)
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2021-09-07 |
2023-06-27 |
Asm Ip Holding B.V. |
Gas flow control plate
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USD997111S1
(en)
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2021-12-15 |
2023-08-29 |
Applied Materials, Inc. |
Collimator for use in a physical vapor deposition (PVD) chamber
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