TW555902B - Drop tube type grain crystal manufacturing apparatus - Google Patents

Description

555902 五、發明說明（1) 【技術領域】 本發明係關於將無機材料的粒狀熔液，一邊自由落體於 滴官内一邊進行凝固，而製作略球狀結晶體的滴管型粒狀 結晶製造裝置；特別係關於使冷卻落下中熔液的冷卻用氣 體’朝與熔液落下方向相同的方向，依大致相同的速度之 方式進行流動的構造。 【技術背景】 在美國 管上端内 氦氣的氣 管内，並 的淚滴形 阻抗，因 本案發 示可製造 此球狀結 部處’將 熔液自由 態下，利 晶。此球 造，且並 因為係 間將變長 費用的增 导利第4， 部處，將 壓作用於 使在自由 結晶之技 此無法成 明者亦有 粒狀半導 晶製造裝 半導體的 落體於呈 用輻射冷 狀結晶製 非採用冷 利用輻射 ，且因為 加。同時 3 2 2，3 7 9號公報中，記載著於石英製滴 半導體之矽進行加熱而形成熔液，在使 此炼液中，而使粒狀炼液自由落體於滴 洛體中進行凝固’俾製造大致一定尺寸 術。但是，因為承受滴管内的氣體落下 為足夠的微小重力狀態。 在如美國專利第6, 204, 545號公報中揭 體結晶之滴管型球狀結晶製造裝置。在 置中，於長度約1 〇m的滴管上端部分内 粒子在浮游狀態下形成熔液，然後使此 真空的滴管内，在落下中的微小重力狀 部進行凝固，而形成球狀半導體單妗 造裝f的滴管’全長均呈相同直徑：構 部用軋體將熔液予以冷卻的構造。

冷卻將粒狀熔液予以冷卻，因 i 〃 需要高度較大的滴f，因此將 ，頗難將熔液整體表面均勻的予以A

555902 五、發明說明（2) 等溶液之情況時’因為炫液具有在凝固時將膨脹 因此若炼液整體表面之冷卻不均句的話，所凝固 的球狀結晶形狀將容易變凌亂。 在美國專利第6，106,614號公報中，有提案滴塔（dr〇p tower式球狀結晶製造裝置。在此球狀結晶製造裝置中， ΐ ^ Ϊ上端設置石英製钳鍋2，從外部持續對鉗鍋供應粉 體（譬如，半導體石夕），並使半導體在鉗鍋内熔解， 然後對鉗鍋内的熔液利用振動附加機構而施加振動，藉此 使粒狀熔液從前下端的喷嘴處，落下於滴塔内。在滴^中 段處的核產生區内，設有：產生由下朝上方向之冷卻^非 活性氣體流的冷卻用氣體流形成機構；以及使在落下的粒 狀熔液中產生結晶種的結晶種產生機構。落下於滴塔内之 粒狀熔液，若在核產生區内採用冷卻氣體於過冷卻狀態下 進行冷卻，並經由結晶種產生機構對過冷卻狀態的粒&熔 液施加刺激，而產生結晶種的話，粒狀熔液將凝固而形成 球狀結晶。在滴塔的下段處，設有為使球狀結晶的動量消 失用的動量消失區。在此動量消失區中，設有：將球狀結 晶的運動方向從垂直方向變化為水平方向的彎曲通路；以 及產生由下朝上之非活性氣體流的減速用氣體流形成機 構0 但是，在此公報的球狀結 區中’對落下中的粒狀熔液 氣體流，因此呈現不同於自 落下中的粒狀熔液作用外力

91113274,ptd 晶製造裝置中’因為在核產生 作用與落下方向相反的冷卻用 由落體的落下狀態，且因為對 ，因此熔液内的構造將容易產 第6頁

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生變動， 必能獲得 有鑑於 氣體冷卻 狀態之滴 於提供一 擊，而可 本發明 卻，而可 本發明 而減少氣 滴管型粒 【發明揭 且所凝固的 單結晶。 斯，本發明 粒狀熔液， 管型粒狀結 種對經冷卻 產生結晶種 之另一目的 縮短滴管高 之另一目的 體消耗量， 狀結晶體製 示】 球狀結晶形狀亦較容易凌亂，因此未 之目的在 一邊仍可 晶體製造 用氣體而 的滴管型 在於提供 度的滴管 在於提供 同時可控 造裝置。 於提供一種一邊 維持如自由落體 裝置。本發明之 呈過冷卻狀態的 粒狀結晶體製造 一種藉由冷卻用 型粒狀結晶體製 一種使冷卻用氣 制氣體壓力而使 利用冷卻用 的微小重力 另一目的在 炫液施加衝 裝置。 氣體的冷 造裝置。 體產生循環 之安定化的 ❿

本發明之滴管型粒狀結晶體製造裝置係在使無機材料的 粒狀炫液，一邊自由落體於滴管内一邊進行凝固，而製作 略球狀結晶體的滴管型粒狀結晶製造裝置中；其中於上述 滴官内部設有形成從下朝上之冷卻用氣體流的氣體流形成 機構；該滴管係具備有：依使冷卻用氣體流速大致等於上 述粒狀熔液的落下速度之方式，而下方截面積越小的冷卻 用管；以及連接於此冷卻用管下端，且從此冷卻用管下端 起非連續的放大截面積之凝固用管。 & 藉由氣體流形成機構而在滴管内部形成從上方朝下方白勺 冷卻用氣體流。因為上述滴管中的用管係依冷卻用氣體流 速大致等於粒狀熔液的自由落體速度之方式，而使越往^

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555902 五、發明說明（4) 方截面積變得越小，因此在冷卻用管内部中，冷卻用 的流速便大致等於粒狀溶液的落下速度。所以，粒狀炫ς ^落下於冷卻用管内部時，便維持自由落體的微小狀 您’且呈被冷卻用氣體冷卻的過冷卻狀態。 滴管中的凝固用管係連接於上述冷卻用管下端， :卻用管下端起’ €面積呈非連續的擴大。所以，若= 二：體從冷卻用管進入凝固用管的話，流速 二』 卻用氣體的氣體壓力將非連續的增力"以 重力狀悲下的過冷卻狀態熔液，便將在入 内部的瞬間，將衝擊力作用於熔液 用管 球狀結晶體。 使球狀这液辑間早結晶化而形成略 依此方式’因為可利用冷卻用氣體將粒狀熔 球狀氣f阻抗較小的自由落體狀態，因此可製：政 ϋ早結晶之結晶體”b外，藉由冷卻 卜略 =粒狀溶液施力，擊，而產生結晶核：便可f過冷卻 的產生結晶而製造出妗曰 、 更了一軋呵成 冷卻用氣體的冷卻，；：丌二二二=為有效的執行利用 罔s向度，而可節省設備費用。 x 了大幅縮短 (a)上述氣體形成構播於、 狀氣體導二h的上端’設有連接於上述外部通路的環 (C)上述凝固用管的内部係設有供將冷卻用氣體的流動

91113274. 第8頁 外二通路、以，循=具; 555902 五、發明說明（5) 予以急速減速用的減速機構。 構(件〇/::上機人構係具有部分球面狀減速構件；該減速 構件係包含有與冷卻用管内的冷卻用 相交狀並相對向的對向部。 虱體桃呈垂直 (e)上述半導體的粒狀熔液係在落下於 Si擊過固並利用在凝固用管内部中被急二 的卻上裝述置氣體流形成機構係設有將冷卻用氣體予以冷卻 上述無機材料係半導體。上述半導體係矽。

Ch)上述冷卻用氣體係氦或氬。 之(二)上述，體流，成機構係具備有：調節上述滴管内部 (:·)在上二Y上體端壓产力與接显度之壓力溫度調節機構。 【貫施發明較佳形態】 =管困式進行說明。 -邊自由落體於滴管内， 狀蝽及使此粒狀熔液 球狀無機材料單社日邊進仃减固，而連續產生由略 ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ·>在本實施例中’係以無機材料採用半導冑… 555902 五、發明說明（6) 管型粒狀結晶體製造裝置1為例進行說明。 如圖1所示，此滴管型粒狀結曰邮制止 熔融矽且將此熔液依定量形成θ3心广仏波置1係具備有： 裝置2 ;滴管3(點滴管）；在滴^溶液並滴落的熔液形成 下方之冷卻t μ ^ ^内部，形成從上方朝向 卜万之令部用轧體/瓜動的氣體流形 滴管3下端處上的回收機構5等。 ’ 认置於 首先，針對熔液形成裝置2進行說明。 此炫液形成裝置2係利用下诚糂彼私战二、· 1 〇 ;從此鉗鍋1 〇下端起，朝下 ·石英製鉗鍋 蓋鉗鍋1〇與噴嘴10a外圍的體延伸的噴嘴10a;覆 休同“ T 發熱體11 ;覆蓋碳發熱體11 圍勺”、、溥片板1 2，形成環狀冷卻水通路J 3之石英玻 Γ〇Γ=形成體14;㈣路形成體14外側，配置於钳鋼 10外圍的第一高頻加熱線圈15 ;在通路形成體14外側，配 於噴嘴1 0 a外圍的第二高頻加熱線圈丨6 ;將矽原料1 7供 應給钳鍋1〇的原料供應漏斗18與原料供應管18a ;對鉗鍋 1 〇内炼融狀態的矽施加上下振動的上下振動器丨9 ;測量钳 内炫融狀態之矽17a溫度的紅外線溫度偵測器21 ;將 氮氣或氫氣專非活性氣體供應給室内的氣體 供應裝置2 3 ;以及將冷卻水供應給冷卻水通路丨3的冷卻水 供應系統24等等。 在原料供應漏斗1 8内收容著粉狀、粒狀、或平板狀半導 體石夕的♦原料1 7，並利用加振機1 8 b施加振動，而將石夕原 料17依既定供應速度，每次小量的從供應管18a供應給钳 鋼1〇 °在供應管18a内設有將室22内非活性氣體導入於原

91113274.ptd 第10頁 555902 五、發明說明（7) 料供應漏斗18内的氣體導路（省略圖示）。 』SI!:配置於氣密構造之室22内，並將從氣體供應裝 ϋ !二非活性氣體填充於室22内，俾不致使矽原料 一 5 * 内/tc<入空氣中之氧。在碳發熱體I 1内，利用第 4妹ί二咼頻加熱線圈15,16所產生的高頻變動磁場而產 二埶然後利用此誘導電流流動時的電阻熱而加熱 心太所板12係由具優越耐熱性與輻射熱反射 盘Ϊ ί ΐ二鋼1 0内的矽原料1 7係利用第-高頻加熱線圈1 5 :夕：ί ;“二，t被加熱至約“『C並炼解。炫融狀態的 外線溫度偵測器21而檢測出，並依維持在 一二皿又耗圍内的方式，利用控制裝置7〇控制著第—、 ::頻加熱線圈15，16。上下振動器19係利用依磁致伸縮 ymagnetostrictor)或電磁線圈（s〇len〇i = 驅動著，藉此上下振動器19對钳二 噴嘴二Λ 施加既定週期的振動或壓力，俾從 若 a則埏，依既定週期點滴下矽之粒狀熔液託。因 、^下振動器19的振動週期變小或將振 大、 ;^狀炼㈣便將小徑化，反之，若將振動週;以 =的振幅變小的話，粒狀炼液便 2 或振幅：便可調整所點熔=二振動㈣ 23二述二體供應裝尸3係具備有：從非活性氣體高壓* 、°至22内的氣體供應管；以及從室22頂部朝下方向 555902 發明說明（8) 延伸並通達落下開始室 從噴嘴l〇a滴落於落下ρ 6/之譬如二根的氣體導入管27。 熔液形成裝置2出口通2 6内的粒狀熔液25，將通過 管3頂部内。落下開如，的細徑通路28，並自由落體於滴 通路28而流入於滴管;=的非活性氣體亦將通過細徑 接：言路如28不並錄導鋼^ 30;依使冷卻^體（Λ·溶液25的上端部分之導入管 U自由落體速度的方々乳乳或氬氣）流速大致等於粒狀熔液 31 .以；5、鱼垃二人式’越往下方截面積越小的冷卻用管 ϋ 1，以及連接於冷卻用技 連螬沾彼i典 用& 31下^且從冷卻用管31下端起非 連1的擴大截面積之凝固用管32。

在炫液形成裝詈2 Φ π t I 於冷卻用管31内之途中二粒狀熔液25係在自由落下 用輕射冷卻而冷卻呈：A =卻用氣體所冷卻’同時利 内，* W m r — 過冷部狀態，然後落下於凝固用管3 2 力m塾t咼於冷卻用管31内之冷卻用氣體的氣體壓 生結t液到達凝固用管32内之冷卻用氣體時的衝擊而產 長，：彻々之後再利用以此結晶種為起始點的瞬間結晶成 上、f I成由粒狀或球狀單結晶所構成的結晶體25a。 方越：::部用管31係除下端部分以外的部分，形成越往下 形徑化的錐形（taper)構造，而在冷卻用管31下端則 構##致疋直徑的構造。但是，此冷卻用管3 1下端亦可 越在下方越小徑化的錐形狀。 ^ ^管30係配置為與冷卻用管31呈同心狀，而導入管3〇 邠約2/3部分，插入於冷卻用管31的上端部分中，導

555902 五、發明說明（9) 入管30下端則朝=冷卻用管31内部呈開放狀態。 冷卻用管31係高度約5〜8m程度，在冷卻用管31上端部分 的内側中’其與導入管3 〇之間形成有可導入冷卻用氣體的 裱狀的氣體導入部3 3。凝固用管3 2上端係連通連接於冷卻 用管31下端/凝固用管32上半部係構成導入管3〇下端直徑 之約4倍直徑的半球狀。凝固用管3 2上半部係構成與上半 部相同直徑的筒狀，並在凝固用管32下端處設有底壁34。 因為相較於冷卻用管31下端截面積之下，凝固用管32截 面積呈非連續的急遽變大，因此若冷卻用氣體流速進入凝 固用管32中的話，便將非連續的急遽減速。此外，在凝固 用管32下半部的内部中，設有供使冷卻用氣體流動急遽減 速用的減速機構35。此減速機構35係具有部分球面狀的 ^構件36，該減速構件係包含有與冷卻用管31内的冷 =體之氣體流呈垂直相交狀而對向的對向部36a。此減 件36係由厚度〇·；[〜〇· 2mm的不銹鋼板所構成，並彈 t變形的緩衝作用。在凝固用管32上半部内，粒狀：二 凝=的粒狀（球狀）結晶體25a呈柔和地衝撞冷卻用氣 卻田ί ί速構件36下面設有支撐著減速構件36，且妒成Λ 卹用氣體通路的筒體37。. 丘形成冷 ^人☆針對氣體流形成機構4進行說明。 =體机形成機構4係供在滴管3内部形成從上方 :::氣體(氦氣或氬氣)流動者。此氣體 ：：方 =具備卜聯連接於滴管3中的複數(譬如4條)=4 ，以配設於筒體3 7内部的氣體循環風扇4丨。 、路

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複數個外部通路4 0上端係連通連接於氣體導入部3 3上。 外部通路40下端係連通於筒體37内部的氣體通路“。在筒 體3 7的上部形成將凝固用管32下半部内的冷卻用氣體，導 入，氣體通路38内的複數通路開口42。氦氣或氬氣等冷卻 用氣肢係配a而要，便開啟開關閥4 2，並從氣體高壓瓶4 3 經由氣體供應管44而導入於外部通路4〇上端。因為流通於 滴管3内的冷卻用氣體，將徐緩昇溫，因此便設置供將冷 卻用氣體予以冷卻用的冷卻裝置45。此冷卻裝置45係由外

$於外部通路40上的冷水管45a、及將冷卻水供應給冷水 管4 5 a的水供應系統所構成。 β再者，设有調節滴管3内部的冷卻用氣體之氣體壓力的 [力调節裝置4 6 (塵力調節機構）。此壓力調節裝置4 6係由 連接於外部通路40的抽取管47、開關閥48、真空泵49、及 驅動馬達4 9 a等所構成。

其-人針對供回收結晶體2 5 a用的回收機構5進行說明。 此回收機構5係具備有：將凝固用管32底壁34的回收孔 :以開閉的開關快門5 〇、驅動此開關快門5 〇的電磁式致動 器5 1、從回收孔下方朝外部方向延伸的回收配管5 2、將從 回收配g 5 2所排放出的結晶體2 5 a予以回收的回收箱5 4 其次’針對偵測器類與控制系統進行說明。 —首先，偵測器類係設置有：測量剛開始從落下開始室2 6 j下後的粒狀熔液25溫度之紅外線溫度偵測器6〇、測量在 落下於冷部用官3 1途中之粒狀熔液2 5溫度的紅外線溫度偵

91113274.ptd 第14頁 555902 五、發明說明（11) 3裔61、測量落下於冷卻用管31下端途中之粒狀熔液2 5溫 & =紅外線溫度偵測器62、測量導入通路33内之冷卻用氣 ^ ’凰度，熱阻器（thermistor)等溫度偵測器63、及偵測出 \固，官32内之冷卻用氣體氣壓之壓力偵測器64等。該等 1、=器類與上述炼液形成裝置2的紅外線溫度偵測器21檢 測信號係輸出於控制裝置7 〇中。 上述熔液形成裝置2的第一、第二高頻加熱線圈1 5，1 6、 力口振機18b、上下振動器19之振動產生部2〇係利用控 置7 0而驅動控制。 ^ 再者，驅動著氣體循環風扇41的驅動馬達41&、 办 泵49用的驅動馬達4ga、雷路斗、占知w ^ 利用㈣裝謂而驅動控電弟& 5快門間53，亦 效ii行=述滴管型粒狀結晶體製造裝置1的作用與 在使用開始前，一邊將非活性氣體 2的，内’-邊利用真空㈣抽取滴管3或： 的:虱，然後藉由從氣體高壓瓶43與供應管“ =’便將内部空氣取代為氦氣或氬氣等冷卻：：：部 ΐίϊΐΓΛ的冷卻用氣體氣壓形成在大氣壓以下的既’ 疋壓力或大氣壓程度的既定壓力。 卜的既 然後，使冷卻水循環於冷卻水通路13中，並 供應給鉗賴内，且在使氣體循環風扇41進行=原料^ 下，對第一、第：高頻加熱線圈i 5，】6供應著 的狀態 開始加熱，在原料17變成炫融狀態 ^頻電流而 從上下振動器i 9

91113274. ptd 第15頁 555902 五、發明說明（12) 依既定週期產生振動，並依序從噴嘴丨〇a滴下粒狀熔液 2 5 °

滴g 3中的冷卻用管31係形成朝向下方截面積漸減的構 造，j使流動於内部之冷卻用氣體流速，與粒狀熔液25的 自〃由洛體速度相當，因此當粒狀熔液25自由落體於冷卻用 s31内之時，因為冷卻用氣體與粒狀熔液25幾乎依相同遠 度朝下方流動，因此自由落體的粒狀熔液25與冷卻用氣韻 之間，便幾乎未產生相對速度，粒狀熔液2 5便可有效的祐 ，卻用氣體所冷卻’且從冷卻用氣體幾乎無作用外力於粒 =熔液25上。當粒狀熔液2 5自由落體於冷卻用管31内之 未又重力或外力的影響，而在維持自由落體的微 態下進行落下’因此利用表面張力而依近乎正球 片^狀進行落下。然後，直到粒狀熔液25到達冷卻用 31 之前，粒狀熔液25將在過冷卻狀態下進行冷卻。 二為相較於冷卻用管31下端截面積之下，凝固用 = = =:急；變大，因此冷卻用氣體流逮: 用官32的③’除將非連續的急遽減速之外，亦 而：二有人冷卻用官31内之冷卻用氣體 ，的減速構件36而急遽減速。因此凝

之遽::，卻咖 在落下於凝固用管32内的粒狀炫液25便二生:因:乂’ 力。如此的話，在粒狀熔液25最初 。粒如，ί搫 生結晶核’並以此結晶核為起始 間處2產 τ j %晶化，且直釗

555902 五、發明說明（13) 到達對向部36a之前均維持過 液託 將形成由單結晶所構成的球狀結晶㈣a。 ，外，當稍微大型的粒狀熔液2 5等，在未充分結晶化的 狀，下，衝撞於減速構件36之對向部36a的情況時，將隨 $衝撞的衝擊而進行結晶成長，並單結晶的 結晶體25a。 其中，根據紅外線溫度偵測器6 〇〜6 2的檢測信號，分別 才：測出粒狀熔液25的溫度’當必須降低冷卻用氣體溫度之 情況時，便將提高冷卻裝置45的冷卻能力。 再者，因為根據紅外線溫度偵測器6〇, 62的檢測信號， η出粒狀熔液25的落下速度，因此當粒狀熔液25的落 J二較快於自由落體速度的情況時，便依降低氣體循 風扇41紋轉數的方式，控制著驅動馬達4ia。 、如此的言舌’便可利用冷卻用氣體將粒狀熔液25予以冷 =，並在維持自由落體狀態係進行過冷卻，而製造出略球 狀的結晶體2 5 a。此外，對呈過；/v μ " .lt κ , ^ ^ 耵主迺冷部狀態的粒狀熔液25， j用冷部用氣體賦予衝撞而產生結晶核，而促進結晶的成 長田，可J造結晶體25a。同時，因為有效的執行利用冷 :用古氣體的冷卻^此可縮短冷卻時間，並可大幅縮短滴 b 3同度’而可節省設備費用。 ，二：為使冷卻用氣體進行循環，因此除可減少冷卻 :::的消耗量之外’因為可控制冷卻用氣體的 充1或溫度，因此可使冷卻用氣體壓力安定化 丹 其次，針對部分變更上述實施例的變化=進行說明。

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1〕上述熔液形成裝置2僅不過例示農 亦可採用利用電阻加熱、紅外線聚光^ 一例而已，此外 而熔解無機材才斗，並產生此粒狀熔，、晋電聚或雷二光 加熱機構的熔液形成裝置。 反的4置，具備有其他 2〕因為粒狀熔液直徑越大的話，冷卻時間將越長，因 ，滴管3中的冷卻用管31高度，最好屬於可配合所製造結 晶體的尺寸而變更的構造。 3〕上述滴管3形狀亦可如圖2所示形狀。

如圖2所示，將熔液25落下於滴管3内的距離設定為y， 將落下距離y位置處的滴管3半徑設定為r，而將y軸與R軸 設定如圖所示。譬如將滴管3上端位置設定為y = 〇的位置 將重力加速度設定為g、將開始落下後的經過時間設定 為t、將熔液25的落下速度設定為Vs、將y位置處的滴管3 内朝下方流動之冷卻用氣體流速設定為V。 (1) (2) (3) (4) (5) (6)

Y = (l/2)gx t2 Vs = g x t 由（1)、（2)式得Vs = (2gy)i/2 若將冷卻用氣體流量設定為C〇( —定值）的話 (7Γ /4)R2 X V = C0 故，V = c 1 / R2 (其中，C1係一定的常數） 由（3)、（5)式中，若將κ設定為一定的常數， R2 χ yl/2 = K2 上述（6 )式所示滴管3截面形狀係如圖2所示。 4〕在上述滴管3中的冷卻用管3 1下端附近、或凝固用管

9lll3274.ptd 第18頁 555902 五、發明說明05) 3 2上端附近處，亦可設置賦予粒狀熔液2 5各種刺激的機 構。此刺激可任意採用如：超音波、雷射光、電場、磁場 等。 5〕取代上述半導體矽的結晶體，可製造除矽之外的各 種半導體或各種無機材料的結晶體。各種無機材料係可舉 例如：介電質、磁性體、絕緣體、螢光體、玻璃、寶石 等。 【元件編號說明】 1 滴 管 型 粒 狀 結 晶 體製造裝置 2 熔 液 形 成 裝 置 3 滴 管 4 氣 體 流 形 成 機 構 5 回 收 機 構 10 鉗 銷 10a 喷 嘴 11 碳 發 熱 體 12 軌 薄 片 板 13 冷 卻 水 通 路 14 通 路 形 成 體 15 第 _ 一 高 頻 加 熱 線 圈 16 第 頻 加 熱 線 圈 17 矽 原 料 17a 矽 18a 供 應 管 ❿

91113274.ptd 第19頁 555902 五、發明說明 (16) 18b 加 振 機 19 上 下 振 動 器 20 振 動 產 生 部 21 紅 外 線 溫 度 偵 測 器 22 室 23 氣 體 供 應 裝 置 23a 非 活 性 氣 體 高 壓 瓶 24 冷 卻 水 供 應 系 統 25 粒 狀 熔 液 26 落 下 開 始 室 27 氣 體 導 入 管 28 細 徑 通 路 30 導 入 管 31 冷 卻 用 管 32 凝 固 用 管 33 氣 體 導 入 部 34 底 壁 35 減 速 機 構 36 減 速 構 件 3 6a 對 向 部 37 筒 體 38 氣 體 通 路 40 外 部 通 路 41 氣 體 循 環 風 扇

91113274.ptd 第20頁 555902 五、發明說明 (17) 41a 驅 動 馬 達 42 複 數 通 路 開 Π 43 氣 體 壓 瓶 44 氣 體 供 應 管 45 冷 卻 裝 置 45a 冷 水 管 46 壓 力 調 /r/r 即 裝 置 47 抽 取 管 48 開 關 閥 49 真 空 泵 49a 驅 動 馬 達 50 開 關 快 門 51 電 磁 式 致 動 器 52 回 收 配 管 53 快 門 閥 54 回 收 箱 60 紅 外 線 溫 度 偵 測 器 61 紅 外 線 溫 度 偵 測 器 62 紅 外 線 溫 度 偵 測 器 63 溫 度 偵 測 器 64 壓 力 偵 測 器 70 控 制 裝 置

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Claims (1)

1. 一種滴管型粒 粒狀溶液， 略球狀結晶 在上述滴 體流形成機 上述滴管 粒狀熔液的 管；以及連 非連續的放 2·如申請 置，其中上 的外部通路 3·如申請 置，其中在 的環狀氣體 4·如申請 置，其中在 的流動予以 5·如申請 置，其中上 減速構件係 垂直相交狀 6·如申請 置，其中上 一邊自 體的滴 管内部 構； 係具備 落下速 接於此 大截面 專利範 述氣體 ;以及 專利範 上述滴 導入部 專利範 上述凝 急速減 專利範 述減速 包含有 而對向 專利範 述粒狀

   91113274.ptd 第23頁 狀，晶體製造裝置，係在使無機材料的 ，落體於滴管内一邊進行凝固，而製作 管型粒狀結晶製造裝置中；其中 設有形成從下朝上之冷卻用氣體流的氣 有：依使冷卻用氣體流速大致等於上述 度之方式，而下方截面積越小的冷卻用 冷卻用管下端，且從此冷卻用管下端 積之凝固用管。 、 圍第1項之滴管型粒狀結晶體製造裝 形成機構係具備有：並聯連接於滴管 氣體循環風扇。 ，第2項之滴管型粒狀結晶體製造裝 管的上端，係設有連接於上述外部通路 〇 圍第1項之滴管型粒狀結晶體製造裝 固用管的内部，係設有供將冷卻用氣體 速用的減速機構。 ~ 圍第4項之滴管型粒狀結晶體製造裝 機構係具有部分球面狀減速構件；而該 與冷卻用管内的冷卻用氣體之氣體流^ 的對向部。 圍第1項之滴管型粒狀結晶體製造裴 、溶液係在落下於冷卻用管内中便形成過 六、申請專利範圍 態，並利用在凝固 ~~ 而心速凝固。 用官内部中被急速加速時的衝擊 7.:申請專利範圍 置，其中上述氣體流形、之滴管型粒狀結晶體製造裝 卻的冷卻裝置。 ’機構係設有將冷卻用氣體予以冷 8·:申請專利範圍 置’其中上述無機材料係车之*滴管型粒狀結晶體製造裝 9.如申請專利範 v體。 置，其中上述半導體：石夕頁。之滴管型粒狀結晶體製造裝 置，a φ申广+專利乾圍第1項之滴管型粒狀結晶體製造裝 卻用氣體係氦或氬。 置，i申明專^利範圍第1項之滴管型粒狀結晶體製造裝 内部^ A ^述，體流形成機構，係具備有：調節上述滴管 構。、部用氣體的氣體壓力與溫度之壓力溫度調節機 置12 ·如申清專利範圍第1項之滴管型粒狀結晶體製造裝 作4，其中在上述滴管上端處所連接的熔液形成裝置，係製 沒狀炫液並滴落於滴管内的熔液形成裝置。