TW548255B - Method for heat-treating ceramics and tunnel furnace therefor, method and apparatus for manufacturing ceramic electronic components and carriers for use in heat-treating ceramic electronic components - Google Patents

Description

548255 A7 ____ B7 五、發明說明（1) 【發明所屬之技術領域】 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明是關於對於含陶瓷原料的各種處理品以做成陶 瓷電子零件等的陶瓷製品的陶的燒結處理。 【傳統的技術】 . 舉例來說，疊層型陶瓷電容器、.閘極體、磁鐵鐵心、 壓電體等的利用了陶瓷的陶瓷電子零件或者其他的陶瓷製 品，是先將陶瓷原料成型成預定的形狀之後，再藉由對於 這個成型體進行燒結而得的。傳統上，使用於燒結陶瓷電 子零件的燒結爐是具備：隧道構造的爐本體；和被設在爐 本體上的發熱體；和向著爐內的收納體從側面供給爐內氣 相環境用氣體的爐內氣相環境用氣體供給管；和從爐的側 面排出爐內的氣相環境氣體的氣相環境氣體排出管；和將 收納著許多尙未燒結的陶瓷電子零件的收納體從隧道的入 口運送到出口的推送裝置。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如第6圖所示，收納體100是重疊數個在上面呈開口 狀且在側面上部的中央部呈開口的盒狀的承盤1 〇 1，並且 在最上層的承盤101的上面又疊上一個蓋子102。這種收納 體100是在被放置於支承板103上的狀態下，被導入到隧道 式燒結爐內。尙未燒結的陶瓷電子零件則收納在各承盤1〇1 內。 【發明所欲解決的課題】 在進行陶瓷的燒結時，製品爲了要獲得所期望的特性 -4- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 548255 A7 _____ B7 五、發明說明（2) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ，必須將爐內氣相環境氣體的濃度、流量、爐內的內壓等 等調整成預定的條件。例如：必須將進行燒結時所產生的 不必要的氣體（N 2氣相環境中的C〇2氣體等）迅速地排 出。傳統的燒結爐雖然是從爐的側面排出氣體，但是仍然 有人提出“希望能夠更迅速地排出氣體”的需要。. 此外，以傳統的方式進行陶瓷電.子零件的燒結時，必 須對於收納在收納體100內的尙未燒結的陶瓷電子零件充 分地供給爐內氣相環境用氣體，因此，也有人提出“希望 有能夠比傳統的收納體1 00具有更佳的透氣性的收納體” 的需要。此外，就收納體1 00本身而言，最好是能夠具有 良好的溫度分布且與爐內氣相環境用氣體之間不易發生反 應。 本發明就是有鑒於上述情事而開發完成的，其目的在 於：提供可燒結出良好的陶瓷的陶瓷的燒結方法、隧道式 燒結爐、陶瓷電子零件的製造方法及裝置、陶瓷電子零件 的燒結用收納體。 【用以解決課題的手段】 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 爲了達成上述目的，本申請人提出一種技術方案，其 特徵爲：當利用隧道式燒結爐來燒結含陶瓷原料的尙未燒 結的處理品時，對於通過隧道的處理品的行進方向，從側 方將爐內氣相環境用氣體供給到爐內，並且從爐的底部將 爐內的氣體排出。 根據本發明，從處理品的側方所供給的爐內氣相環境 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 548255 A7 __ B7 五、發明說明（3) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 用氣體，在進行燒結時被使用過後，隨即就從爐的底部排 出。也就是說’可產生從處理品朝向爐的底部的穩定氣流 ，所以可一直對處理品供給新鮮的爐內氣相環境用氣體。 尤其是，因與處理品發生反應而產生的不必要的氣體的比 重較所供給的爐內氣相環境用氣體的比重更大的時候.，能 夠更迅速地將該不必要的氣體排出。.因此，根據本發明， 可在氣相環境中燒結出良好的陶瓷。 此外，本發明所提出的另一個技術方案的特徵爲：從 隧道的入口側的底部排出爐內的氣體。 根據本發明，能夠防止因與處理品發生反應而產生的 不必要的氣體侵入到正在進行燒結的區域，所以可提高正 在進行燒結的區域的氣相環境的穩定性，其結果可防止燒 結出品質不一的陶瓷。 此外，本發明所提出的另一個技術方案是在於被供給 爐內氣相環境用氣體的燒結爐中燒結尙未燒結的陶瓷電子 零件所使用的陶瓷電子零件的燒結用收納體，其特徵爲： 該陶瓷電子零件的燒結用收納體具備： 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 互相隔著間隔重疊設置的複數個第一板體；和 被配置於各第一板體的上面側與該第一板體隔著間隔 ，且在上面供放置尙未燒結的陶瓷電子零件的第二板體。 根據本發明，不僅是在於被放置在第二板體上面的尙 未燒結的陶瓷電子零件的上方空間，就連第二板體與第一 板體之間的間隙也形成氣相環境氣體的通路，所以氣相環 境氣體的透氣性變得很好。如此一來，可降低陶瓷電子零 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 548255 A7 B7 五、發明說明（4) 件的燒結品質的不一。 【發明的實施形態】 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 茲佐以圖面，說明本發明的第一實施形態如下。 此處的含陶瓷原料的處理品，是舉出：疊層型陶.瓷電 容器、疊層型電感器、閘極體等的陶.瓷電子零件爲例加以 說明。 首先，說明本實施形態中作爲燒結處理的對象品也就 是尙未燒結的陶瓷電子零件。例如：疊層型陶瓷電容器這 一類的陶瓷電子零件是以下面說明的方式來製造的。因此 ，在以下的說明中，是舉疊層型陶瓷電容器爲例加以說明 〇 首先，將添加物及有機結合劑以及有機溶劑或水依預 定比例混入陶瓷原料粉內，進行攪拌而獲得陶瓷漿液。至 於陶瓷原料粉，可舉例出：鈦酸鋇系；鈦酸鈣系；鈦酸鎂 系等。此外，有機結合劑則可舉例出：聚乙烯醇縮丁醛。 有機溶劑則可舉例出：乙醇。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 接下來，將這個陶瓷漿液，採用“布雷德博士法”等 來製作成薄片狀的胚片。其次，在這個胚片上，因應必要 來形成通孔之後，使用網版印刷法等，塗敷上將會成爲零 件的內部電極的導電性金屬膏。用來構成內部電極的金屬 是採用：Pa、Ag等的貴金屬；出、Cu等的一般金屬，或 者這些金屬的合金。而在本實施形態中，內部電極是使用 Ni 。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 548255 A7 B7 五、發明說明（5) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 接下來，以預定的順序對於胚片進行疊層壓合以製作 成薄片疊層體。其次，將這種薄片疊層體裁斷成單位零件 的大小，而形成尙未燒結的陶瓷電子零件。其次，在這個 尙未燒結的陶瓷電子零件上，塗敷用來形成外部電極的導 電性金屬膏。用來構成外部電極的金屬是採用：Pa、. Ag等 的貴金屬；Ni、Cu等的一般金屬，或者這些金屬的合金。 而在本實施形態中，外部電極是使用Ni。 接下來，使用後述的隧道式燒結爐將這種尙未燒結的 陶瓷電子零件在於氣相環境中進行燒結，以製作出經過燒 結後的陶瓷電容器。此處的燒結處理是同時包含：用來去 除掉結合劑成分的脫結合劑處理（預燒結處理）以及陶瓷 的燒結處理（真正燒結處理）的兩者。此外，在這個燒結 處理中，在於燒結出陶瓷部分的同時，也燒結出內部電極 以及外部電極。在本實施形態中，因爲是採用Ni作爲內部 電極以及外部電極，所以是採用N 2弱還原性氣相氣體。 最後，再對於外部電極實施電鍍處理而製得疊層型陶 瓷電容器。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 接下來，參考第1圖和第2圖來說明上述燒結處理所 用的隧道式燒結爐。第1圖是隧道式燒結爐的縱剖面圖； 第2圖是沿著第1圖中的A-A剖面線而從箭頭方向觀察時 的橫剖面圖。 如第1圖和第2圖所示，隧道式燒結爐是具備：具有 被爐壁2所圍繞而形成的隧道3的隧道爐本體1 ;在隧道3 的上部與下部，被設置成貫穿過爐壁2的發熱體4 ;和用來 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 548255 A7 B7 五、發明說明（6) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 對於隧道3供給爐內氣相環境用氣體的複數個供給管5 ;和 用來將隧道3內的氣體排出到爐外的排出管6。尙未燒結的 陶瓷電子零件是被收納在放置在台板7上的收納體20，該 台板7受到推送裝置（省略其圖示）的推送而在地板8上面 從入口移動到出口。 . 供給管5是被配置成對收納體2 Q的行進方向從左右側 方噴吹爐內氣相環境用氣體。此外，供給管5是相對於具 有多層結構的收納體20 (容後詳述），而被上下配置複數 個以對應於收納體20的各層。複數個供給管5分別經由閥 5a連接到集合管9。集合管9又經由流量計10而連接到爐 內氣相環境用氣體供給裝置（省略其圖示）。這個供給管5 ，是在於隧道3的入口至出口的範圔內，隔著間隔設置在 複數個地方。各供給管5的前端部的噴嘴部是前頭尖細的 形狀，可提高從爐內氣相環境用氣體供給裝置所供給的爐 內氣相環境用氣體的流速，供給到收納體20的方向。又， 由供給管5所供給的氣體的流速是可藉由依據流量計1 0的 偵知結果來控制各閥5a而能夠調整。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 排出管6是被配置在隧道3的入口側的底面。在排出管 6也設有排氣風扇11。這個排氣風扇11受到變頻器電路等 的驅動控制用電路1 2來控制其迴轉數’也就是，氣相環境 氣體的排出量。驅動控制用電路1 2是依據由設置在隧道3 的出口附近的壓力察覺器1 3所偵知的隧道3的內壓，來對 於排氣風扇11的迴轉數進行回饋控制’以使得該隧道3的 內壓保持一定。如果隧道3的內壓太過於低的話，外氣將 -9 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 548255 A7 B7 五、發明說明（7) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 會從隧道3的入口或出口侵入近來而破壞爐內的氣相環境 。另一方面，如果將隧道3的內壓設定得太過於高的話， 在進行脫結合劑處理時’有時候會導致發生不良狀況。因 此，考量到兩者的平衡點’最好是控制成將險道3的內壓 維持成稍微高於外氣的大氣壓力。 · 接下來，參考第3圖和第4圖來J兌明前述的陶瓷電子 零件的燒結用收納體20。 第3圖是陶瓷電子零件的燒結用收納體的分解結構圖 ;第4圖是陶瓷電子零件的燒結用收納體的剖面圖。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 收納體20是以第一層板3 1及第二層板4 1兩個爲一組 ，將其重疊複數組，並且將蓋子21重疊上去而構成的。第 一層板3 1是由矩形的板狀構件所構成的。在第一層板3 1的 四個角落，在上面或下面（圖中顯示的位置是上面）附設 有支柱32，以便將第一層板3 1保持成與位於上層的第一層 板3 1隔開預定的間隔。此外，在於第一層板3 1之設置了支 柱32的這一側的表面上，設置著複數個方形體形狀的支承 塊33。第二層板41是由矩形的板狀構件所構成的。再第二 層板41的上面緣部，設置有防止零件散落用的方塊42。這 個收納體20是可如第4圖所示般地，將尙未燒結的陶瓷電 子零件50收納在第二層板41的上面。 此處’第一層板3 1的材質最好是熱容量小且熱傳導率 高的材質’才不容易讓溫度分布產生差異。另外，爲了提 高收納體20的透氣性，最好加大第一層板3丨彼此之間的間 隔以及第一層板3 1與第二層板4 1之間的間隔。因此，第一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 川_ 548255 A7 B7 i、發明說明（8 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 層板3 1是以板厚度較薄的爲佳。因此，第一層板3 1是以在 高溫下具有高強度的材質爲佳。基於以上的觀點，本實施 形態中，是採用碳化矽（S i C )作爲第一層板31的材質 。此外，第一層板3 1是以在高溫的弱還原性氣相環境中不 易氧化的爲佳。這是因爲如果因氧化而在於表面產生.二氧 化矽氧化膜的話，將會成爲污染了陶.瓷電子零件表面的原 因。因此，在本實施形態中，第一層板3 1的材質是採用再 結晶碳化矽、浸含矽的碳化矽。 又，第二層板41的材質，最好是採用不會與陶瓷電子 零件發生反應的在高溫下的化學性穩定的材質。在本實施 形態中，第二層板41的材質是採用二氧化锆（Z r〇2 ) 。又，如果是純二氧化锆（Z r〇2 )的話，在11 〇〇 °C時 ，結晶會發生變態而體積產生變化，很容易產生應力破壞 。因此，在本實施形態中，是採用穩定化處理過的锆 (C a 〇穩定化；Y 2〇3穩定化）。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在本實施形態中，從上下並排設置的各供給管5供給 進去的爐內氣相環境用氣體是噴吹到收納體20的各第二層 板4 1。如此一來，可對於被放置在第二層板4 1上的尙未燒 結的陶瓷電子零件均勻地供給新鮮的爐內氣相環境用氣體 。因此，可減少因爲陶瓷電子零件的燒結不均勻所導致的 特性上的不一致。又，在第二層板4 1的緣部，設置有塊體 42，所以可防止噴吹爐內氣相環境用氣體時，零件被吹落 〇 被供給到隧道3內的爐內氣相環境用氣體，於燒結過 -11 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 548255 A7 B7 五、發明說明（9) (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 程中與尙未燒結的陶瓷電子零件發生反應之後’將會產生 比重較N 2弱還原性爐內氣相丨哀境用氣體的比重更重的一氧 化碳（C 0 2 )氣體。這種對於燒結處理沒有助益的二氧化 碳氣體，因爲其比重較重，所以會流到隧道3的底部’經 由設於底部的排出管6而被排出到爐外。因爲是將排出管6 設於隧道3的底部’所以可迅速地排出無用的氣體。特別 是，本實施形態中，是將排出管6設置於隧道3的入口側的 底部，所以可防止前述的無用氣體侵入到爐的中心部的主 要燒結區域。如此一來，燒結區域的氣相環境維持穩定， 所以可防止發生燒結不均勻’可達成良好的燒結。此外’ 利用驅動用控制電路1 2將隧道3內的內壓控制成稍微高於 外部大氣壓且保持一定値，所以可達成良好的燒結。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 此外，本實施形態中，尙未燒結的陶瓷電子零件的收 納體20是採用··具有第一層板3 1及第二層板4 1的透氣性 良好的收納體，所以可防止因除碳不足所導致的耐濕性的 惡化。而且，尙未燒結的陶瓷電子零件的收納體20是採用 :熱容量小且熱傳導性高的收納體，所以可將收納體20上 的溫度分布保持均勻一致。如此一來，可降低陶瓷電子零 件的特性的差異。 又，本實施形態中，雖然是在台板7上面放置一個收 納體20，將其運送到隧道3內，但是本發明並不侷限於這 種方式。例如：第5圖所示般地，亦可將複數個小型的收 納體20a互相隔著間隔放置在台板7上面。如此一來，在各 收納體20之間可形成氣相環境氣體的流通路徑’所以透氣 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 548255 A7 ____B7___ _ 五、發明說明（10) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 性趨於良好。此外，採用這種配置方式的情況下，除了本 實施形態所說明過的收納體20之外，即使是採用前述的傳 統的收納體也可以獲得同樣的效果。 此外，本實施形態中，雖然是將排出管6設在隧道3的 入口側的底部，但是只要能夠製作成可從隧道3的底部將 氣體排出的話，即使設置在其他的位.置亦無妨。例如：亦 可將排出管6設置在隧道3內的行進方向的中央部或出口部 。此外，本實施形態中，雖然是將一個排出管6設在隧道3 的入口側底部，但是亦可設置複數個排出管6。 此外，本實施形態中，構成收納體20的第一層板3 1雖 然是採用由碳化矽（SiC )所製作的矩形的板狀構件，但 是亦可採用具有其他材質和構造的構件。例如：第一層板 31的材質亦可採用氧化鋁或富鋁紅柱石（mullite )。又， 第一層板3 1的構造亦可採用例如：多孔質構造、竹簾狀構 造、纖維質構造、蜂巢構造等。再者，亦可對於第一層板 3 1實施鍍覆二氧化鉻膜，而可免去使用第二層板4 1。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 此外，本實施形態中，雖然是舉出還原性氣體爲例來 說明爐內氣相環境用氣體，但是，中性的爐內氣相環境用 氣體亦可適用於本發明。 再者，本實施形態中，構成收納體20的第二層板4 1雖 然是採用矩形的板狀構件，但是亦可採用具有其他材質或 構造的構件。例如：亦可採用纖維質的構件或表面形成凹 凸的結構。這些都是對於提高收納體20的透氣性具有效果 〇 1本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21G X 297公爱)十3 "~' 548255 A7 B7 五、發明說明（11) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 此外，本實施形態中，雖然針對於陶瓷電子零件的一 個例子是舉出疊層型陶瓷電容器的例子，但是也可以其他 種類的零件。例如：陶瓷電感器；閘極體；陶瓷壓電變壓 器等的陶瓷型壓電體；陶瓷型濾波器等的具有陶瓷燒結製 程的物品都可以適用本發明。此外，本實施形態中，·具有 陶瓷燒結製程的處理品雖然是舉出陶.瓷電子零件的例子， 但是亦可爲其他的處理品。例如：針對於陶瓷電路板等的 製造，也可以應用本發明的陶瓷的燒結方法以及隧道式燒 結爐。 此外，本實施形態中，是將用來測定隧道3的內壓的 壓力察覺器1 3設在隧道3的出口側，但是亦可設在其他的 地方。 【實施例】 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 使用本實施形態的隧道式燒結爐來製造陶瓷電容器， 並且測定靜電容量、靜電容量的分布偏差、耐電壓、耐電 壓的分布偏差之後，製成表1。此處，實施例1〜3是表 示使用本發明的隧道式燒結爐的結果，分別是將排出管的 排出口設置於隧道的底部的入口附近、出口附近和中央附 近的結果。此外，比較例則是將排出管的排出口設置於隧 道的上部入口附近。 -14 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 548255 A7 B7 五、發明說明（12) 【表1】 排出口 位置 靜電容量 (β F ) 靜電容量 分布偏差 (% ) 耐電壓 (V ) 耐電壓 分布偏差 (% ) 實施例1 底部入口 10.1 0.Q59 350 9.8 實施例2 底部出口 10.4 0.082 345 12.2 實施例3 底部中央 10.2 0.074 360 11.8 比較例 上部入口 9.8 0.460 298 71.2 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 從這個測定結果可知，使用實施例1〜3的隧道式燒 結爐所製造出來的陶瓷電容器相對於比較例而言，無論是 在於靜電容量分布偏差或耐電壓分布偏差都明顯降低。這 是被認爲：因爲本發明的隧道式燒結爐，其爐內的氣相環 境良好，所以其結果可以獲得燒結不均勻度較少的良好的 陶瓷的原因。 【發明的效果】 經由以上的說明可知，根據本發明所進行的陶瓷的燒 結工作，從處理品的側方所供給的爐內氣相環境用氣體， 在進行燒結時被使用過之後，隨即從爐的底部排出。也就 是說，可以產生從處理品流向爐的底部的穩定的氣流，所 以一直可將新鮮的爐內氣相環境用氣體供給到處理品。特 別是與處理品發生反應所產生的無用的氣體的比重大於所 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -VD - 548255 A7 __ B7 五、發明說明（13) 供給的爐內氣相環境用氣體的比重的時候，可迅速地排出 該無用的氣體。因此，根據本發明可在氣相環境氣體中燒 結出良好的陶瓷。 此外，根據本發明的陶瓷電子零件的燒結用收納體， 氣相環境氣體的透氣性變得很好，所以可減少陶瓷電·子零 件的燒結不均勻。藉此，可降低陶瓷.電子零件的特性的不 一致。 【圖面之簡單說明】 第1圖是隧道式燒結爐的縱剖面圖。 第2圖是沿著第1圖中的A-A剖面線而從箭頭方向觀 察時的橫剖面圖。 第3圖是陶瓷電子零件的燒結用收納體的分解結構圖 〇 第4圖是陶瓷電子零件的燒結用收納體的剖面圖。 第5圖是用來說明其他例子的陶瓷電子零件的燒結用 收納體的配置的上表面圖。 第6圖是傳統的陶瓷電子零件的燒結用收納體的分解 結構圖。 【圖號說明】 1 :隧道式燒結爐本體 2 :爐壁 3 :隧道 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂·- --線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -id - 548255 A7 B7 五、發明說明（14) 4 :發熱體 5 :供給管 5 a :閥 6 :排出管 7 :台板 8 :地板 9 :集合管 10 :流量計 11 :排氣風扇 1 2 :驅動用控制電路 13 :壓力察覺器 20 :燒結用收納體 3 1 :第一層板 41 :第二層板 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） _ -

Claims (1)

1. A8 B8 C8 D8 利範圍 第90 1 1 003 9號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國92年6月1*7日修正 1 一*種陶瓷的燒結方法’是在被供給氣相環境氣體 的隧道式燒結爐內燒結含陶瓷原料的處理品的陶瓷的燒結 方法，其特徵在於： 氣相環境氣體爲中性或速原性氣相垣境氣體^該氣相 環境氣體係藉由被單一或上下配置複數個’而且從隧道的 入口至出口隔著間隔被裝設在複數個地方之供給管，對於 通過爐內的處理品的行進方向，從左右側方所供給的，並 且從爐的底部將爐內的氣體排出。 2 .如申請專利範圍第1項所述的陶瓷的燒結方法， 其中是從隧道的入口側的底部排出爐內的氣體。 3 . —種隧道式燒結爐，是在於氣相環境氣體中燒結 含陶瓷原料的處理品的隧道式燒結爐，其特徵在於： 具備= 對於通過爐內的處理品的行進方向從左右側方將氣相 環境氣體供給到爐內之被單一或上下配置複數個，而且從 隧道的入口至出口隔著間隔被裝設在複數個地方的氣相環 境氣體供給機構； 用以從爐的底部排出爐內的氣體的氣體排出機構。 4 .如申請專利範圍第3項所述的隧道式燒結爐，其 中前述氣體排出機構是從隧道的入口側的底部排出爐內的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I i m - - r I i^i I I ϋϋ -- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 548255 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 氣體。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 5 . —種陶瓷電子零件的製造方法，是具有在被供給 了氣相環境氣體的隧道式燒結爐內燒結尙未燒結的陶瓷電 子零件的過程的陶瓷電子零件的製造方法，其特徵在於： 前述的燒結過程係藉由被單一或上下配置複數個，而 且從隧道的入口至出口隔著間隔被裝設在複數個地方之供 給管，對於通過爐內的處理品的行進方向，從左右側方供 給中性或還原性氣相環境氣體，並且從爐底部排出爐內的 氣體。 6 .如申請專利範圍第5項所述的陶瓷電子零件的製 造方法，其中是從隧道入口側的底部排出爐內的氣體。 7 ·—種陶瓷電子零件的製造裝置，是在氣相環境氣 體中燒結尙未燒結的陶瓷電子零件的陶瓷電子零件的製造 裝置，其特徵在於： 具備： 隧道構造的燒結爐本體；和 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 用來從隧道的入口至出口運送尙未燒結的陶瓷電子零 件的運送機構；和 被單一或上下配置複數個，而且從隧道的入口至出口 隔著間隔被裝設在複數個地方，對於通過爐內的尙未燒結 的陶瓷電子零件的行進方向從左右側方供給氣相環境氣體 到爐內的氣相環境氣體供給機構；和 從爐的底部排出爐內的氣體的氣體排出機構·。 8 .如申請專利範圍第7項所述的陶瓷電子零件的製 本^張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公嫠） : ^ -2- 548255 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 造裝置，其中是從隧道入口側的底部排出爐內的氣體。 9 . 一種陶瓷電子零件的燒結用收納體，是在被供給 了氣相環境氣體的燒結爐中燒結尙未燒結的陶瓷電子零件 所使用的陶瓷電子零件的燒結用收納體，其特徵在於： 具備： 第一板體；和 被配置於該第一板體上，且在上面供放置尙未燒結的 陶瓷電子零件的第二板體， 目丨j述弟一板體是利用支承塊隔者間隔地配置於前述第 一板體上， 而配置有前述第二板體的前述第一板體，是利用支柱 隔著間隔地，複數個重疊在一起。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -3 -