KR20010105243A - 세라믹 소성 방법, 터널식 소성 노, 세라믹 전자 부품제조 방법 및 장치, 세라믹 전자 부품 소성용 수납체 - Google Patents
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Abstract
양호한 세라믹 소성이 가능한 세라믹 소성 방법, 터널식 소성 노, 세라믹 전자 부품 제조 방법 및 장치, 세라믹 전자 부품 소성용 수납체를 제공한다.
터널식 소성 노에서 세라믹 원료를 포함하는 소성되지 않은 처리품을 소성할 때, 터널(3)을 통과하는 처리품의 진행방향에 대하여 노의 측면에 설치된 공급 파이프(5)를 통하여 노 내에 분위기 가스를 공급함과 동시에, 노의 바닥부에 설치된 배출 파이프(6)를 통해서 노 내의 가스를 배출한다. 이에 의해, 처리품으로부터 노의 바닥부를 향하여 기류가 안정적으로 흐르기 때문에, 항상 신선한 분위기 가스를 처리품에 공급할 수 있다.
Description
본 발명은 세라믹 원료를 포함하는 각종 처리품을 소성하여 세라믹 전자 부품 등의 세라믹 제품을 생산하는 세라믹의 소성에 관한 것이다.
예컨대, 적층 세라믹 캐패시터, 배리스터(varistor), 페라이트(ferrite), 압전체(piezo-electric body) 등의 세라믹을 이용한 세라믹 전자 부품 및 그 밖의 세라믹 제품은 세라믹 원료를 소정 형상으로 성형한 후, 이 성형체를 소성함으로써 얻어진다. 세라믹 전자 부품의 소성에 이용되는 종래의 소성 노는 터널 구조의 노 본체, 노 본체에 설치된 발열체, 노의 측면에서 노 내의 수납체를 향하여 분위기 가스를 공급하는 분위기 가스 공급 파이프, 노의 측면에 위치하여 노 내의 분위기 가스를 배출하는 분위기 가스 배출 파이프 및 다수의 소성되지 않은 세라믹 전자 부품을 수납하고 있는 수납체를 터널 입구로부터 출구로 반송하는 푸셔 장치(pusher)를 구비하고 있다.
도 6에 도시한 바와 같이, 수납체(100)는 상면과 각 측면의 상측 중앙부를 개구한 상자형상의 외관(101)을 복수 개 겹쳐 쌓고, 최상단의 외관(101) 위에덮개(102)를 겹쳐 쌓음으로써 구성된다. 이 수납체(100)는 지지판(103) 위에 탑재된 상태로 터널식 소성 노 내에 도입된다. 소성 전의 세라믹 전자 부품은 각 외관(101)에 수납된다.
그런데, 세라믹의 소성 시, 바람직한 제품의 특성을 얻기 위해서는 분위기 가스의 농도·유량 및 노 내의 압력 등이 소정 조건으로 조정되어야 한다. 예컨대, 소성 시에 발생하는 불필요 가스(N2분위기 중에서의 CO2가스 등)는 효율적으로 배출되어야 한다. 종래의 소성 노에서는 노의 측면을 통해 이러한 가스를 배출하였으나, 이를 더욱 효율적으로 배출할 필요가 있었다.
종래의 세라믹 전자 부품의 소성 시, 수납체(100)는 수납된 소성 전의 세라믹 전자 부품에 충분한 분위기 가스를 공급할 수 있고, 통풍성이 양호한 것이 바람직하다. 또한, 수납체(100)는 온도 분포가 양호하고 분위기 가스와의 반응성이 작은 것이 요구된다.
이를 위하여, 본 발명은 양호한 세라믹 소성이 가능한 세라믹 소성 방법, 터널식 소성 노, 세라믹 전자 부품 제조 방법 및 장치, 세라믹 전자 부품 소성용 수납체를 제공하는 데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 세라믹 원료를 포함하는 소성 전의 처리품을 터널식 소성 노에서 소성할 때, 노를 통과하는 처리품의 진행 방향에 대하여 측방에서 노 내에 분위기 가스를 공급함과 동시에, 노의 바닥부를 통해 노 내의 가스를 배출하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 처리품의 측방에서 공급된 분위기 가스는 소성에 이용된 후, 노의 바닥부를 통해 배출된다. 이에 따라, 처리품으로부터 노의 바닥부를 향하여 기류가 안정적으로 흐르기 때문에, 항상 신선한 분위기 가스를 처리품에 공급할 수 있다. 특히, 공급되는 분위기 가스보다 비중이 큰 불필요 가스가 처리품과의 반응에 의해 발생되는 경우에 해당 불필요 가스가 효율적으로 배출될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따르면, 분위기 가스 내에서 양호한 세라믹의 소성이 가능해진다.
또한, 본 발명은 터널 입구측의 바닥부를 통해 노 내의 가스를 배출하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 처리품과의 반응에 의해 발생된 불필요 가스가 소성 영역에 유입되는 것을 방지할 수 있기 때문에, 소성 영역에서의 분위기의 안정성이 향상되고, 그 결과, 세라믹의 소성 불균일을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명은 분위기 가스가 공급된 소성 노에서 소성 이전의 세라믹 전자 부품을 소성하는 데에 이용되는 세라믹 전자 부품의 소성용 수납체가 서로 일정 간격을 두고 겹쳐 쌓은 복수 개의 제 1 판체와, 그 상면에 소성되지 않은 세라믹 전자 부품을 탑재하며 제 1 판체와 소정 간격을 두고 해당 제 1 판체의 상측에 배치되는 제 2 판체를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 제 2 판체에 탑재된 소성되지 않은 세라믹 전자 부품의 위쪽 공간뿐만 아니라, 제 2 판체와 제 1 판체의 사이에도 분위기 가스의 통로가형성되기 때문에, 분위기 가스의 통풍성이 양호하게 된다. 이에 의해, 세라믹 전자 부품의 소성 불균일을 감소시킬 수 있다.
도 1은 터널식 소성 노의 종단면도,
도 2는 도 1에 있어서의 A-A' 화살표방향의 횡단면도,
도 3은 세라믹 전자 부품 소성용 수납체의 분해 구성도,
도 4는 세라믹 전자 부품 소성용 수납체의 단면도,
도 5는 다른 실시예에 따른 소성용 수납체의 배치를 설명하는 평면도,
도 6은 종래의 세라믹 전자 부품 소성용 수납체의 분해 구성도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 터널식 노 본체 2 : 노벽
3 : 터널 4 : 발열체
5 : 공급 파이프 5a : 밸브
6 : 배출 파이프 7 : 밑판
8 : 바닥판 9 : 집합 파이프
10 : 유량계 11 : 배출 팬
12 : 구동 제어 회로 13 : 압력 센서
20 : 소성용 수납체 31 : 제 1 선반판
41 : 제 2 선반판
본 발명에 따른 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 설명한다. 여기서는 세라믹 원료를 포함하는 처리품, 예를 들어, 적층 세라믹 캐패시터, 적층 인덕터, 배리스터 등의 세라믹 전자 부품을 설명한다.
우선, 소성 처리의 대상품인 소성되지 않은 세라믹 전자 부품의 제조 과정에 대하여 설명한다. 예를 들어, 적층 세라믹 캐패시터 등의 세라믹 전자 부품은 아래와 같이 제조되며, 이하, 일례로서 적층 세라믹 캐패시터의 제조 방법을 설명한다.
우선, 세라믹 원료분에 첨가물 및 유기 바인더 및 유기용제 또는 물을 소정량 혼합·교반하여 세라믹 슬러리를 만든다. 세라믹 원료분은 예를 들어, 티탄산 바륨계(Barium titanate), 티탄산 칼슘계(Calsium titanate), 티탄산 마그네슘계(Magnesium titanate) 등이 사용된다. 또한, 유기 바인더(organic binder)는 예를 들어, 폴리비닐부티랄(polyvinyl butyral), 유기용제(organic solvent)는 예를 들어, 에탄올이 사용될 수 있다.
이후, 독터 블레이드법(doctor blade method) 등을 이용하여 이 세라믹 슬러리를 시트 형상의 그린 시트로 성형한다. 이어서, 필요에 따라 이 그린 시트에 스루 홀(through hole)을 형성한 후, 스크린 인쇄법(screen print method) 등을 이용하여 부품의 내부 전극을 형성하는 도전성 페이스트를 도포한다. 이때, 이 내부 전극을 구성하는 금속으로서 Pd, Ag 등의 귀금속(noble metal), Ni, Cu 등의 비금속(base metal), 또는 이들의 합금 등이 이용된다. 본 실시예에서는 내부 전극으로서 Ni를 이용했다.
이어서, 소정 순서로 그린 시트를 적층·압착하여 시트 적층체를 만들고, 시트 적층체를 단위 부품 크기로 재단하여 소성 전의 세라믹 캐패시터를 얻는다. 이어서, 소성 전의 세라믹 캐패시터에 외부 전극을 형성하는 도전성 페이스트를 도포한다. 이때, 외부 전극을 구성하는 금속으로서 Pd, Ag 등의 귀금속, Ni, Cu 등의 비금속, 또는 이들의 합금 등이 이용된다. 본 실시예에서는 외부 전극으로서 Ni를 이용했다.
이어서, 후술하는 터널식 소성 노를 이용하여 소성되지 않은 세라믹 캐패시터를 분위기 가스 내에서 소성함으로써, 소성된 세라믹 캐패시터를 얻는다. 이때, 소성 처리는 바인더 성분을 제거하는 탈바인더 처리(calcination process) 및 세라믹의 소성 처리(sintering process)를 모두 포함하며, 이 소성 처리 과정을 통해 세라믹 부분뿐만 아니라 내부 전극 및 외부 전극도 동시에 소성된다. 한편, 본 실시예에서는 내부 전극 및 외부 전극으로 Ni를 사용했기 때문에, 약 환원성 N2분위기 가스를 분위기 가스로 이용했다.
마지막으로, 외부 전극에 도금 처리를 실시하여 적층 세라믹 캐패시터를 생성한다.
다음, 도 1 및 도 2를 참조하여, 상기 소성 처리시 이용되는 터널식 소성노(200)를 설명한다. 도 1은 터널식 소성 노의 종단면도, 도 2는 도 1의 A-A'의 화살표 방향 횡단면도이다.
도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 터널식 소성 노(200)는 노벽(2)에 둘러싸여 형성된 터널(3)을 갖는 노 본체(1), 터널(3)의 상부 및 하부의 노벽(2)을 관통하도록 설치된 발열체(4), 터널(3)에 분위기 가스를 공급하는 복수 개의 공급 파이프(5) 및 터널(3) 내의 가스를 노 밖으로 배출하는 배출 파이프(6)를 구비하고 있다. 소성 전의 세라믹 전자 부품을 수납한 수납체(20)는 밑판(7) 위에 탑재되고, 이 밑판(7)은 바닥판(8) 위에 놓인다. 푸셔 장치(도시하지 않음)는 이 바닥판(8)을 노의 입구에서 출구로 이동시킨다.
공급 파이프(5)는 수납체(20)의 진행방향에 대하여 좌우 측방에서 분위기 가스를 분사하도록 배치되어 있으며, 다단 구성을 갖는 수납체(20)(뒤에서 상술함)의 각 단에 대응하도록 상하로 복수 개가 설치된다. 복수 개의 공급 파이프(5)는 각각 밸브(5a)를 거쳐서 집합 파이프(9)로 연결되며, 집합 파이프(9)는 유량계(10)를 거쳐서 분위기 가스 공급 장치(도시하지 않음)에 연결된다. 또한, 공급 파이프(5)는 터널(3)의 입구에서 출구에 걸쳐 일정 간격을 두고 복수 개소에 설치된다. 각 공급 파이프(5)는 선단부의 노즐부가 가늘게 분기되어 있어서 분위기 가스 공급 장치로부터 공급되는 분위기 가스의 유속을 높여서 수납체(20)로 공급할 수 있게 한다. 공급 파이프(5)를 통해 공급되는 분위기 가스의 유속은 유량계(10)의 검출 결과에 근거하여 각 밸브(5a)를 제어함으로써 조절 가능하다.
배출 파이프(6)는 터널(3)의 입구 측의 바닥부에 배치되어 있다. 배출 파이프(6)에는 배출 팬(11)이 설치되어 있다. 이 배출 팬(11)은 인버터 회로와 같은 구동 제어 회로(12)의 제어 하에 회전수, 즉, 분위기 가스의 배출량을 제어한다. 구동 제어 회로(12)는 터널(3)의 출구 부근에 설치된 압력 센서(13)에 의해 검출된 터널(3) 내부 압력에 근거하여, 해당 내부 압력을 일정하게 유지하도록 배출 팬(11)의 회전수를 피드백 제어한다. 그런데, 터널(3)의 내부 압력이 지나치게 낮으면 터널(3)의 입구 또는 출구로부터 외부의 공기가 침입하여 노의 분위기를 파괴하는 경우가 있다. 반대로, 터널(3)의 내부 압력을 과도하게 높게 설정하면 탈바인더 처리시 불량이 발생할 수 있다. 그러므로, 양자의 균형을 고려하여, 터널(3)의 내부 압력을 외부 기압보다 약간 높게 유지하도록 제어하는 것이 바람직하다.
다음, 도 3 및 도 4를 참조하여, 전술한 세라믹 전자 부품의 소성용 수납체(20)를 설명한다. 도 3은 세라믹 전자 부품 소성용 수납체의 분해 구성도이고, 도 4는 세라믹 전자 부품 소성용 수납체의 단면도이다.
수납체(20)는 제 1 선반판(31) 및 2개의 제 2 선반판(41)을 1 세트로 구성하여 복수 세트의 선반을 겹쳐 쌓고, 그 위에 덮개(21)를 겹쳐 쌓음으로써 구성된다. 제 1 선반판(31)은 직사각형의 판형상 부재로 이루어지며, 제 1 선반판(31)의 네 모서리에는 각각 상단의 제 1 선반판(31)과 소정 간격을 유지하도록 상면 또는 하면(도면에서는 상면)에 지주(32)를 설치한다. 또한, 제 1 선반판(31)의 지주(32)가 설치되어 있는 측의 표면에는 제 2 선반판(41)과 소정 간격을 유지하도록 직방체 형상의 지지 블럭(33)을 복수 개 설치한다. 제 2 선반판(41)에도 직사각형의 판형상 부재가 사용되며, 그 상면 둘레부에는 부품의 비산을 방지하기 위한 블럭(42)이설치된다. 이 수납체(20)는 도 4에 도시한 바와 같이, 제 2 선반판(41)의 상면에 소성 전의 세라믹 전자 부품(50)을 수납한다.
여기서, 제 1 선반판(31)의 재질은 열용량이 작고, 열전도율이 높아 온도가 균일하게 분포될 수 있는 것이 바람직하다. 또한, 수납체(20)의 통풍성이 향상되도록 제 1 선반판(31) 상호의 간격 및 제 1 선반판(31)과 제 2 선반판(41)과의 간격을 넓게 하는 것이 바람직하다. 이 때문에 제 1 선반판(31)은 두께가 얇으면서도 고온에서 고강도인 것이 바람직하다. 이에 따라, 본 실시예에서는 제 1 선반판(31)의 재질로서 SiC를 이용했다. 또한, 제 1선반판(31)은 산화에 의해 표면에 SiO2스케일이 생성되면, 세라믹 전자 부품 표면의 오염 원인이 되기 때문에, 고온의 약(弱)환원성 분위기에서 산화되기 어려운 것이 바람직하다. 본 실시예에서는 제 1 선반판(31)으로서 재결정 SiC나 Si함침 SiC(Si-impregnated SiC)를 이용했다.
또한, 제 2 선반판(41)의 재질은 세라믹 전자 부품과 반응하지 않도록 고온에서 화학적으로 안정적인 것이 바람직하다. 본 실시예에서는 제 2 선반판(41)의 재질로서 ZrO2를 이용했다. 이때, Pure-ZrO2는 대략 1100℃에서 결정이 변형되어 체적에 변화가 일어나기 때문에 응력 파괴가 발생하기 쉽다. 따라서, 본 실시예에서는(안정화를 위하여, CaO 및 Y2O3와 혼합한) 안정화 지르코니아(stabilized zirconia)를 이용했다.
본 실시예에 따르면, 분위기 가스가 터널의 상측 내지 하측에 설치된 각 공급 파이프(5)로부터 수납체(20)의 각 제 2 선반판(41)을 향하여 분사되므로, 신선한 분위기 가스가 제 2 선반판(41)에 탑재된 세라믹 전자 부품으로 균일하게 공급될 수 있고, 세라믹 전자 부품의 소성 불균일에 의한 특성 격차가 감소될 수 있다. 또한, 제 2 선반판(41)의 둘레부에는 블럭(42)이 설치되어 있어서, 분위기 가스가 분사될 때, 부품의 비산을 방지한다.
소성 시, 터널(3)에 공급된 분위기 가스가 세라믹 전자 부품과 반응하면, 소성에 불필요한 CO2가스가 발생한다. 이 CO2가스는 약환원성 N2분위기 가스보다 무겁기 때문에, 비중 차에 의해 터널(3)의 바닥부에 모이게 되고, 바닥부에 설치된 배출 파이프(6)를 통해서 노 밖으로 배출된다. 이와 같이, 본 발명에 따르면, 배출 파이프(6)가 터널(3)의 바닥부에 설치되어 있기 때문에, 불필요 가스가 효율적으로 배출될 수 있다. 특히, 본 실시예에서는 배출 파이프(6)를 터널(3) 입구측의 바닥부에 설치했기 때문에, 상기 불필요 가스가 노의 중심부인 소성 영역으로 유입되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 소성 영역의 분위기가 안정되므로, 세라믹의 소성 불균일이 방지되어 양호한 세라믹 소성이 가능하다. 또한, 구동 제어 회로(12)가 터널(3)의 내부 압력을 외기압보다 약간 높은 값으로 일정하게 제어하기 때문에, 양호한 세라믹 소성이 가능하다.
또한, 본 실시예에 따르면, 세라믹 전자 부품의 수납체(20)로 제 1 선반판(31) 및 제 2 선반판(41)을 이용하므로, 통풍성이 양호해져서 탈탄 부족(decarbonization) 등에 의한 내습성의 악화 등을 방지할 수 있다. 또한, 세라믹 전자 부품의 수납체(20)로서 열용량이 작고, 고열전도성인 재질을 이용하기 때문에, 수납체 (20)에서의 온도 분포를 균일하게 할 수 있다. 이에 따라, 세라믹 전자 부품의 특성 격차가 감소될 수 있다.
또, 본 실시예는 밑판(7) 위에 하나의 수납체(20)를 탑재하고, 이것을 터널(3)내에 반송하도록 하였으나, 본 발명은 이것만으로 한정되지는 않는다. 예를 들어, 도 5에 도시한 바와 같이, 복수 개의 소형 수납체(20a)를 서로 일정 간격을 두고 밑판(7) 위에 탑재하면, 수납체(20a) 사이에 분위기 가스의 유통 경로가 형성되어 통풍성이 양호해진다. 또한, 이러한 배치를 하는 경우에는 본 실시예에서 설명한 수납체(20) 이외에, 전술한 종래의 수납체를 사용하여도 동일한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본 실시예에서는 배출 파이프(6)를 터널(3) 입구측의 바닥부에 설치했지만, 터널(3)의 바닥부를 통해 가스를 배출한다면 다른 위치에 설치하여도 무방하다. 예를 들어, 터널(3)에서 수납체(20)의 진행 방향에 대하여 중앙부나 출구측에 배출 파이프(6)를 설치하여도 무방하다. 또한, 본 실시예에서는 하나의 배출 파이프(6)를 터널(3) 입구측의 바닥부에 설치했지만, 복수 개의 배출 파이프(6)를 설치하여도 무방하다.
또한, 본 실시예에서는 수납체(20)를 구성하는 제 1 선반판(31)으로서 SiC로 구성된 직사각형의 판형상 부재를 이용했지만, 다른 재질·구조를 갖는 부재이어도 무방하다. 즉, 제 1 선반판(31)의 재질로서, 예를 들어, 알루미나(alumina) 또는 멀라이트(mullite) 등을 이용하여도 무방하다. 또한, 제 1 선반판(31)의 구조는, 예를 들어, 다공질(porous) 구조, 메쉬(mesh) 구조, 섬유질(fiber) 구조,허니콤(honeycomb) 구조 등을 이용할 수 있다. 또한, 제 1 선반판(31)에 ZrO2코팅을 실시하면, 제 2 선반판(41)을 사용하지 않아도 무방하다.
또한, 본 실시예에서는 분위기 가스로서 환원성인 것을 이용하였으나, 중성 분위기 가스도 본 발명에 적용할 수 있다.
또한, 본 실시예에서는 수납체(20)를 구성하는 제 2 선반판(41)으로서 직사각형의 판형상 부재를 이용했지만, 다른 재질·구조를 갖는 부재이어도 무방하다. 예컨대, 섬유질인 것이나 표면에 요철이 형성된 것이어도 무방하다. 이들은 모두 수납체(20)의 통풍성 향상이라는 효과를 갖는다.
또한, 본 실시예에서는 세라믹 전자 부품의 일례로서 적층 세라믹 캐패시터를 예시했지만, 다른 종류의 부품이어도 무방하다. 예컨대, 세라믹 인덕터, 배리스터, 세라믹 압전 트랜스미터 등의 세라믹 압전체, 세라믹 필터 등 세라믹 소성 공정이 요구되는 것에 대하여 본 발명을 적용할 수 있다. 또한, 본 실시예에서는 세라믹의 소성 공정을 갖는 처리품으로서 세라믹 전자 부품을 예시했지만, 다른 처리품이어도 무방하다. 예컨대, 세라믹 기판 등의 제조에도 본 발명에 따른 세라믹의 소성 방법 및 터널식 소성 노를 이용할 수 있다.
또한, 본 실시예에서는 터널(3)의 내부 압력을 측정하는 압력 센서(13)를 터널(3)의 출구측에 설치했지만, 다른 장소에 설치하여도 무방하다.
(실시예)
표 1은 본 실시예에 따른 터널식 소성 노에서 제조된 세라믹 캐패시터의 정전 용량, 정전 용량의 분산, 내전압(withstand voltage) 및 내전압의 분산을 나타낸다. 여기서, 실시예 1 내지 3은 본 발명에 따른 터널식 소성 노에서 배출 파이프의 배출구를 터널 바닥부의 입구 부근·출구 부근·중앙 부근에 각각 형성한 경우를 나타낸다. 또한, 비교예는 배출 파이프의 배출구를 터널의 상부 입구 부근에 형성한 것이다.
| 배출구 위치 | 정전용량(㎌) | 정전용량분산(%) | 내전압(V) | 내전압분산(%) | |
| 실시예 1 | 바닥부 입구 | 10.1 | 0.059 | 350 | 9.8 |
| 실시예 2 | 바닥부 출구 | 10.4 | 0.082 | 345 | 12.2 |
| 실시예 3 | 바닥부 중앙 | 10.2 | 0.074 | 360 | 11.8 |
| 비교예 | 상부 입구 | 9.8 | 0.460 | 298 | 71.2 |
이 측정 결과로부터 알 수 있는 바와 같이, 실시예 1 내지 3의 터널식 소성 노에서 제조된 세라믹 캐패시터는 비교예에 비하여 정전 용량의 분산이나 내전압의 분산이 작다. 즉, 본 발명에 따른 터널식 소성 노에서는 노 내의 분위기 상태가 양호하기 때문에, 불균일 소성이 감소하여 양호한 세라믹 제품을 생성할 수 있다.
본 발명에 따르면, 세라믹의 소성시 처리품의 측방으로 공급된 분위기 가스는 소성에 이용된 후, 노의 바닥부를 통해 배출된다. 이때, 처리품으로부터 노의 바닥부를 향하여 기류가 안정적으로 흐르게 되므로, 항상 신선한 분위기 가스를 처리품에 공급할 수 있다. 특히, 공급되는 분위기 가스보다 비중이 큰 불필요 가스가 처리품과의 반응에 의해 발생되는 경우에 해당 불필요 가스가 효율적으로 배출될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따르면, 분위기 가스 내에서 양호한 세라믹의 소성이가능하다.
또한, 본 발명에 따른 세라믹 전자 부품의 소성용 수납체는 분위기 가스의 통풍성을 양호하게 만들기 때문에, 세라믹 전자 부품의 소성 불균일을 줄일 수 있어 세라믹 전자 부품의 특성 격차를 감소시킬 수 있다.
Claims (9)
- 분위기 가스가 공급된 터널식 소성 노 내에서 세라믹 원료를 포함하는 처리품을 소성하는 세라믹의 소성 방법에 있어서,노를 통과하는 처리품의 진행방향에 대하여 측방에서 노 내에 분위기 가스를 공급함과 동시에, 노의 바닥부를 통해 노 내의 가스를 배출하는 것을 특징으로 하는 세라믹의 소성 방법.
- 제 1 항에 있어서,터널 입구측의 바닥부를 통해 노 내의 가스를 배출하는 것을 특징으로 하는 세라믹의 소성 방법.
- 세라믹 원료를 포함하는 처리품을 분위기 가스 내에서 소성하는 터널식 소성 노에 있어서,노를 통과하는 처리품의 진행방향에 대하여 측방에서 노 내에 분위기 가스를 공급하는 분위기 가스 공급 수단과,노의 바닥부를 통해 노 내의 가스를 배출하는 가스 배출 수단을 포함한 것을 특징으로 하는 터널식 소성 노.
- 제 3 항에 있어서,상기 분위기 가스 배출 수단은 터널 입구측의 바닥부를 통해 노 내의 가스를 배출하는 것을 특징으로 하는 터널식 소성 노.
- 분위기 가스가 공급된 터널식 소성 노 내에서 소성 전의 세라믹 전자 부품을 소성하는 공정을 갖는 세라믹 전자 부품의 제조 방법에 있어서,상기 소성 공정에서는 상기 소성 노를 통과하는 소성 전의 세라믹 전자 부품의 진행방향에 대하여 측방에서 노 내에 분위기 가스를 공급함과 동시에, 노의 바닥부를 통해 노 내의 가스를 배출하는 것을 특징으로 하는 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
- 제 5 항에 있어서,터널 입구측의 바닥부를 통해 노 내의 가스를 배출하는 것을 특징으로 하는 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
- 소성 전의 세라믹 전자 부품을 분위기 가스 중에서 소성하는 세라믹 전자 부품의 제조 장치에 있어서,터널 구조의 소성 노 본체,터널 입구로부터 출구에 걸쳐서 소성 전의 세라믹 전자 부품을 반송하는 반송 수단,노를 통과하는 소성 전의 세라믹 전자 부품의 진행방향에 대하여 측방에서노 내에 분위기 가스를 공급하는 분위기 가스 공급 수단, 및노의 바닥부를 통해 노 내의 가스를 배출하는 가스 배출 수단을 포함한 것을 특징으로 하는 세라믹 전자 부품의 제조 장치.
- 제 7 항에 있어서,터널 입구측의 바닥부를 통해 노 내의 가스를 배출하는 것을 특징으로 하는 세라믹 전자 부품의 제조 장치.
- 분위기 가스가 공급된 소성 노에서 소성 전의 세라믹 전자 부품을 소성하는 데에 이용되는 세라믹 전자 부품의 소성용 수납체에 있어서,서로 간격을 두고 겹쳐 쌓은 복수 개의 제 1 판체, 및각 제 1 판체의 상면측에 상기 제 1 판체와 간격을 두고 배치되고, 상면에 소성 전의 세라믹 전자 부품을 탑재하는 제 2 판체를 포함한 것을 특징으로 하는 세라믹 전자 부품의 소성용 수납체.
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