TW523605B - Remote test module for automatic test equipment - Google Patents

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經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 523605 A7 __B7 五、發明説明（I ) 發明之領域 本發明一般係關於測試積體電路之自動測試設備，且 更特別係關於一種用於一自動測試設備之中而與測試中裝 .置之特殊化接腳有介面接觸之遠距測試模組。 發明背景 半導體設備工廠持續致力於製造較小及較快之積體電 路，以滿足對於電子產品之永不滿足之需求。爲了即時以 可信賴的積體電路符合此項需求，設備製造商被迫驗證每 一個裝置之整合性及可操作性。因此，牽涉於積體電路之 成功製造之一個重要的程序係關於每一個積體電路裝置之 功能上及結構上之測試。 爲了實施個別積體電路之功能上及結構上之測試，熟 悉本項技藝之人士通常採用自動測試設備。其通常稱爲A 測試機〃，該設備準確地施加時序訊號態樣或向量至一個 測試中裝置（dev i c e — unde r — t e s t)之 輸入接腳，同時捕捉由該測試中裝置之輸出接腳之輸出訊 號。該輸出訊號與存在於一個記憶體中之期望參數相比較 ，以決定是否該積體電路具有任何功能上或結構上之錯誤 〇 典型地，傳統之測試機包括一個電腦驅動測試控制器 ，該控制器發出命令至一個測試機介面或測試頭。該測試 頭包括接腳電子裝置，該接腳電子裝置產生並送出測試態 樣或向量，沿著複數個連接至該測試中裝置之個別輸入及 輸出接腳之訊號通道前進。爲了實際上與該測試中裝置作 - -------9------—— 本紙張又度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 523605 A7 B7 五、發明説明（> ) 接觸，該測試介面包括一個接點或彈簧接點陣列，其連接 至測試介面板之配對接點。該測試中裝置跨接至設於該測 試介面板上之一個連接器。 雖然傳測測試機對於其既定目的能處理得不錯，然而 ，於積體電路技術之進步傾向於引導測試機技術之進步。 舉例而言，一種超大型積體電路微處理器上之趨勢係牽涉 到實施一個高速的3 0個通道之R a mb u s介面。由於 透過如此之介面而驅動訊號所需之高頻態樣（大約10億 赫芝），傳統測試機欲完成大約5 0X10—12秒之所需 時序準確度係有困難的。於此特定的例子中，當驅動至測 試中裝置或由測試中裝置所接收之脈波寬度係小於由該測 試機之驅動/比較節點至測試中裝置之循環延遲（r 〇 u nd — trip — delay)時，一些由於阻抗不匹配 導致之不精確會產生。 類似的問題產生於其他特殊化之測試中裝置之接腳， 諸如預期外之高或低電壓準位，及相當快或慢之態樣上升 時間。因此，主要問題牽涉到傳統之測試機無法以經濟的 及實際的方式去適應特別的測試中裝置之接腳。 使一個傳統測試機適應於修改過之測試中裝置之一個 傳統及成本低之技術係牽涉到訂做跨接該測試中裝置之裝 置介面板。通常係稱爲一個★負載板〃，該訂做之裝置介 面板採用永久固定於該板之特殊電路且爲使用者所控制， 以作爲特殊之測試中裝置接腳及測試機之介面。雖然此種 解決方案允許傳統測試機測試該測試中裝置，但是裝置介 本紙張尺度適用中81國家標準（CNS ) A4規格（21〇Χ297ϋ) "'-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

523605 A7 B7 五、發明説明（> ) 面板之面積的限制將限制能夠被安裝之訂做電路之數量。 因此，只有一些特殊化之測試中裝置接腳可以以負載板之 技術支援。此外，因爲裝置介面板典型上係由使用者製造 .之控制，所以在負載板上之訂做電路及測試機之間的校準 係會產生問題的。 因此，對於一個不具有訂做個別裝置介面板之負擔而 具有選擇性地測試一個測試中裝置之特殊化接腳之能力的 測試機係有其需要存在。此外，使一個測試機適合於複數 個具有變化之特殊化測試需求之測試中裝置而不需要分離 之測試機之遠距測試模組係有存在之必要。而本發明之遠 距測試模組滿足這些需求。 發明槪要 本發明之遠距測試模組係提供一個便利之介面，以在 測試機之原來設計目的之外延伸其用途，且使測試機適合 於測試具有除了正常期望之接腳之外之特殊化接腳之測試 中裝置。本發明使使用者能夠避免伴隨訂做之裝置介面板 而來之不希望之成本，或者甚至購買額外特殊化測試機之 成本。此外，由於本發明係以測試機實施，校正及除錯的 時間係大幅減少。 本發明爲了實現上述之優點，在第一種形式中，本發 明包含一個遠距測試模組，其用以於一個測試機介面及複 數個連接至測試中裝置之特殊化接腳之間選擇性地與複數 個測試通道作介面接觸。該測試機介面係連接至一個用以 產生預先決定測試訊號之測試控制器，該遠距測試模組包 I紙張尺度適用中關家標準（CNS ) A4規格（210X29^公釐） ' (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 523605 A7 __B7 五、發明説明（斗） 括一個回應於該測試控制器之訊號調整器，其用以修改該 預先決定之測試訊號成爲模組測試訊號，且施加該模組測 試訊號至該測試中裝置及一個連接設備之特殊化接腳。該 .連接設備具有複數個導電路徑，以連接該訊號調整器於該 測試機介面及該特殊化接腳之間。 於另一種形式之中，本發明包含一個自動測試設備， 其用以連接至一個裝置介面板，並施加測試訊號至測試中 裝置及由該測試中裝置接收測試訊號。該測試中裝置係跨 接至該裝置介面板且包括特殊化測試接腳。該自動測試設 備包括一個具有設計成儲存複數個主測試訊號之主記憶體 之測試控制器及一個測試機介面。該測試機介面係連接至 該測試控制器，用以設定大多數主測試訊號至該裝置介面 板之路徑。一個遠距測試模組作爲該測試機介面及該特殊 化測試接腳之介面，且包括一個回應於該測試控制器之訊 號調整器，其用以施加複數個模組測試訊號至該裝置介面 板及一個連接設備。該連接設備具有複數個導電路徑，其 用以連接該特殊化通道至該訊號調整器，並連接至裝置介 面板。 在又另一個形式之中，本發明包含一個使一個自動測 試設備適用於一個裝置介面板之方法。該裝置介面板係跨 ‘接於一個測試中裝置之上，該測試中裝置包括用以接收特 殊化測試訊號之特殊化接腳。該方法包括之步驟爲：首先 ，選擇一個具有一個訊號調整器之遠距測試模組，該訊號 調整器係用以接收由測試控制器而來之測試訊號且修改該 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X：^7公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 523605 A7 ___B7_ 五、發明説明（< ) 訊號成爲特殊化訊號；及將該遠距測試模組放置於該測試 機介面及該裝置測試板之間，以施加該特殊化訊號至該特 殊化接腳。 本發明之一個進一步之形式爲，包含一個將一個測試 控制器所控制之高頻訊號上之時序錯誤最小化之方法。該 訊號包含一個預先決定最小脈波寬度之脈波，且施加至於 測試中裝置之上之複數個特殊化接腳。該測試中裝置係設 置於一個裝置介面板上。該方法包括之步驟爲：首先，選 擇一個具有一個訊號調整器之遠距測試模組，用以增加由 該測試控制器所產生之測試訊號之頻率；定位該遠距測試 模組於該測試中裝置附近；及以該遠距測試模組與該特殊 化測試中裝置之接腳作介面接觸，以建立小於預先決定脈 波寬度之循環延遲時間。 當閱讀下列詳細說明及後附圖式時’本發明之上述及 其他特色及優點將會明白。 圖式簡單說明 第1圖係用以跨接於一個測試中裝置之使用者控制之 裝置介面板之方塊圖； 第2圖係一個根據本發明一個實施例之自動測試設備 之方塊圖； 第3圖係一個示於第2圖之測試控制器之方塊圖；及 第4圖係一個根據本發明一個實施例而不於第2圖之 遠距測試模組之方塊圖。 ^^尺度適用中國國家標準（〇奶）八4規格（210、/29^公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 523605 A7 B7 五、發明説明（l；) 發Μ詳細說明 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 典型地，半導體裝置製造商需要所有個別的積體電路 裝置，以進行嚴格的功能測試以驗證可操作性。該項測試 .通常在製造之不同階段下實施，包括於晶圓階段之大量測 試及於最後封裝階段之個別測試。 現在參看第1圖，爲了測試個別封裝之裝置，典型地 ，裝置製造商建構一個用以跨接一個測試中裝置i 2之裝 置介面板（dev i c e-i nt e r f a c e—boa rd) l〇。該裝置介面板l〇通常係爲使用者所控制， 且包括用以與測試該測試中裝置12之自動測試設備20 (示於第2圖）作實際介面接觸之接點1 4。於某些環境 之下，該測試中裝置包括諸如一個3 0個通道之高速R a m b u s介面1 6，其需要用於複數個特殊化測試中裝置 通道或接腳1 8之特殊化測試參數。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 現在參看第2圖，一個根據本發明之一個實施例之測 試機通常係標示爲2 0，其包括一個測試控制器2 2及一 個用以連接至該裝置介面板之大部份接點14(示於第1 圖）之測試機介面4 0。用於測試邏輯及/或記憶體裝置 之測試機係更詳細地敘述於美國專利公告號第5，5 2 8 ，136號及5，7 9 4，175號，該兩件美國專利案 係讓與給本案之申請人，且於此倂入作爲參考之用。〜個 遠距測試模組5 0選擇性地連接由該測試機介面之預先決 定之測試通道至該特殊化測試中裝置接腳18(示於第1 圖），以使該測試機在不需要訂做該使用者控制之裝置介 8 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 523605 A7 B7 五、發明説明（y ) 面板10之下能適用於特殊化之測試應用。 參看第及3圖，該測試控制器2 2通常包括一個與 使用者溝通及執行使用者測試程式之電腦。該電腦控制一 個測試訊號產生器3 1，該訊號產生器3 1產生波形，用 .以刺激該測試中裝置且驗證該測試中裝置所反應之輸出。 進一步參看第2及3圖，該測試機介面4 0通常包括接腳 電子裝置3 0，其產生及驅動訊號波形至該測試中裝置1 2，以反應於由該測試控制器2 2而來之命令及資料。該 波形沿著複數個終止於個別輸入/輸出接點端點陣列或彈 簧接點陣列3 2之通道或訊號路徑傳送。每一個端點係設 計成實質上連接至裝置介面板1 0上之一個對應接點。 現在參看第4圖，該遠距測試模組5 0之較佳詳細電 路係包括複數個節點6 2，該節點6 2包含個別的由該測 試控制器2 2而來之輸入端及至該測試控制器2 2之輸出 端。一個時鐘節點6 3由個別的測試機通道饋入個別的時 鐘訊號至一個時鐘訊號調整器6 4。該時鐘訊號調整器6 4較佳地包含一個鎖相振盪器或濾波器6 4，其修正該時 鐘訊號作爲後來之一個時序控制單元6 6之輸入之應用。 該時序控制單元較佳地採用一個特定應用積體電路（A S I C)之形式，且包括用以由一個裝置介面板資料匯流排 節點7 0而來之資料的暫存器6 8。一個校準隨機存取記 憶體7 2係連接至該暫存器6 8之輸出，且亦經由節點6 7而連接至該測試機，以接收相關之資料及時間設定之資 訊。一群相移器7 4接收由振盪器6 4及該校準隨機存取 Q _______ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210〆297公釐〉 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -5-口 Γ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 523605 A7 ____B7 五、發明説明（多） 記憶體7 2而來之資訊，以維持校準過之時鐘訊號。該校 準隨機存取記憶體7 2及該相移器7 4提供資訊至一個遠 距接腳電子介面9 0，以保持其係校準過的及準確的。 該遠距接腳電子介面9 0包括個別的驅動、比較及直 .流測試部份100、102及104,分別監視及控制本 地再鎖住驅動訊號、監視及控制本地選通之比較及影響直 流切換功能。該驅動部分包含複數個用以施加原本由該測 試機產生之再鎖住訊號至該測試中裝置之驅動器91。該 驅動器係以連接至該時鐘訊號調整器6 4之正反器9 4輸 入時鐘訊號，且係反應於一個由多工器8 4饋入之訊號。 以一個單一時鐘源再鎖住該複數個驅動器係提供對於測試 中裝置之應用更精確的一組測試訊號。 該遠距接腳電子介面9 0之比較部份1 0 2包括複數 個具有連接至該測試中裝置輸出之輸入點之比較器9 2。 該比較器實施該期望測試中裝置輸出及真正的測試中裝置 輸出之間的比較，以決定是否該特定之測試中裝置之接腳 係合格的或失敗的。該比較器輸出係饋入複數個正反器， 其反應於該時鐘訊號調整器7 4以再鎖住該比較器之輸出 。然後，由該正反器而來之再鎖住輸出可以被饋入至該非 必要的性的多工/解多工處理器7 8。 爲了使直流參數測試有效，該遠距接腳電子介面9 0 之直流測試部份1 0 4包括一個開關設備，其用以由該測 試中裝置斷開該交流測試元件，同時連接一個直流測試匯 流排7 5至該測試中裝置。該直流測試匯流排沿著一個施 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 523605 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A 7 __ _ _B7_ 五、發明説明（f ) 力線F〇R C E送出一個直流施力訊號，並經由該開關設 備而至該測試中裝置，且經由一個感測線S E N S E而接 收該測試中裝置回應訊號。該直流測試匯流排連接至一個 計算該感測到訊號之參數測量單元（未示出）。 該非必要的多工/解多工處理器7 8係連接至該時序 控制單元6 6及該遠距接腳電子介面9 0，且經由節點6 9及7 1接收測試訊號。由該測試中裝置1 2而來之捕捉 輸出訊號，係經由節點7 3而饋入該測試控制器。舉例而 言，於節點6 9之測試機通道0至3係連接至一個定序器 8 2，該定序器8 2係回應於由該測試控制器而來之結構 指令而控制於處理器7 8中之多工及解多工。該定序器8 2驅動一個實施測試向量訊號真正的多工之多工器8 4。 舉例而言，假如希望之測試速度係8 0 0百萬赫芝， 而且該測試控制器2 2僅能在1 0 0百萬赫芝之速度下傳 送測試訊號，則該定序器8 2接受指令，將由該測試控制 器而來之8條線多工，以驅動資料沿著複數個通道而至該 測試中裝置1 2。這是藉由設定該定序器以設計該多工器 8 4或爲8 : 1之比率而達成。然後，當該測試訊號傳送 至該多工器時，該輸出至該測試中裝置介面7 6之插入之 測試訊號係8 0 0百萬赫芝。基於由該時序控制單元6 6 而來之校準時鐘及電壓準位資訊，該遠距接腳電子介面9 0之驅動部份1 0 0施加這些測試訊號至該測試中裝置。 此結果對於該測試中裝置係一個正確計時之高速測試訊號 序列。 ϋϋ- ϋ-— —^^^1 ϋϋ ϋ—·— Hr— ϋϋ «—>—.4« 1^^^ UBIBi I m (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、11 線： 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 523605 A7 B7 五、發明説明（v〇 ) 此外，該遠距測試模組5 0捕捉由該測試中裝置1 2 而來之輸出訊號。這些訊號係透過該遠距接腳電子介面9 0之比較部份1 0 2而接收及計時。假如有特別的取樣時 間以取樣該測試中裝置之輸出或者一個特別的取樣序列， 則該定序器8 2可以被程式設計成設定複數個正反器8 6 ，以於該特定時間或序列而捕捉該訊號。此外，該測試中 裝置之輸出亦可能對於該測試控制器2 2係太快的，需要 一個由該正反器實施之解多工之步驟，以減少該訊號速度 並分配該訊號至複數個測試控制器端點。舉例而言，假如 該測試中裝置資料速率係8 0 0百萬赫芝且該測試控制器 之資料速率係1 0 0百萬赫芝，則該解多工比係爲1 : 8 〇 於上述任何之實施例之中，該測試控制器2 2在該遠 距測試模組5 0測試該測試中裝置時，能夠同時測試該測 試中裝置。可以預期的是，此種同時測試之架構係測試一 個具有局速及低速測試需求之測試中裝置之最佳方式。舉 例而言，該測試控制器能夠測試該測試中裝置之關於相當 低速率之部份，且該遠距測試模組能夠測試該測試中裝置 之關於相當高速率之部份。在許多電子設備之中，功率消 耗係一個重要考量，諸如靜電流I D D Q，且此可能夠以 該測試控制器測試出來。然而，其他諸如資料輸入及輸出 速率等方面需要高速測試，且這些特色能夠以該遠距測試 模組測試出。 於本發明之一個觀點之中，該遠距測試模組5 0包含 __'_u-- m. m is— 1 ---- I-I If - 1-1士^- I m (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -線： 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 523605 A7 B7 五、發明説明（（丨） 一個可移動單元，其能夠容易地在該測試機介面接點4 2 及該裝置介面板接點1 4之間插入及移出（未不於第2圖 )。該遠距測試模組係設置於非常接近該測試中裝置12 .，較佳地係在大約1 · 5至4英吋之範圍內，或者是短到 足以使得由於傳輸路徑不完整所造成之反射在一個脈波寬 度之內穩定至所需之準確度。此對於特殊化之高速測試係 爲一個重要的參數。藉由將該遠距測試模組及該測試中裝 置之間的相對距離予以最小化，該循環延遲（r 〇 u n d _t r i p_d e 1 a y )之訊號係比該最小脈波寬度大 約3奈秒爲少，其減去部份之上升時間，使得由一端之振 鈴/反射在下一個步驟之前穩定至所需之準確度。如此減 少由於阻抗不匹配之反射造成之時序錯誤-於本文中，本 發明可以被認爲係具有一種阻抗不匹配控制之形式。 根據該測試中裝置所包含之技術之型態或者該測試中 裝置設計成實施之何種功能，該遠距測試模組能夠載入量 身訂做之模組測試訊號，或者以設計成測試該特定測試中 裝置之特定能力而量身建造。此外，該遠距測試模組係以 一個控制程式校準、診斷或者載入，或者當裝設於該測試 機之上時，載入測試訊號。此使得該模組成爲該測試機之 延伸，而不是該裝置介面板之延伸。再者，移除及取代遠 距測試模組之能力係有益的，這是因爲其允許使用者以一 個遠距測試模組取代另一個遠距測試模組，且新的結構則 進入該測試控制器。此種特色減少在該測試中裝置之上改 變實施之測試型態之時間（例如，模組測試訊號測試相較 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、τ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 523605 A7 B7 五、發明説明（u>0 " 於多工主測試訊號測試。因此，全部的成本係大幅下降） 〇 熟悉本項技藝之人士應可瞭解本發明所提供之許多優 .點及益處。舉例而言，一個重要的優點係牽涉到該自動測 試設備及測試中裝置之間之最小時間延遲。此係透過該遠 距測試模組之實施而完成。該模組亦致能該自動測試設備 及該測試中裝置之間之高速及高準確度之訊號通訊。此外 ，該遠距測試模組提供一個增進使測試機適用於特殊化測 試中裝置之能力的有彈性工具。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ________U- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X297公董）

Claims (1)

1. 523605 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1、 一種遠距測量模組’其係用以選擇性地在一個測 試機介面及複數個連接至一個測試中裝置之特殊化接腳之 間作爲複數個測試通道之介面，該測試機介面係連接至— 個用以產生預先決定之測試訊號的測試控制器，該遠距測 試模組包含： 一個訊號調整器，其用以回應該測試控制器，以修改; 該預先決定之測試訊號成爲模組測試訊號，且施加該模組 測試訊號至該測試中裝置之該特殊化接腳；及 一個連接裝置，其具有複數個導電路徑，以連接該訊 號調整器於該測試機介面及該特殊化接腳之間。 2、 如申請專利範圍第1項之遠距測量模組，其中： 該脈波具有預先決定之最小脈波寬度；且 該導電路徑具有個別的路徑長度，且其建立之該訊號 調整器及該測試中裝置之間的循環延遲係小於該預先決定 之最小脈波寬度。 3、 如申請專利範爵第2項之遠距測量模組，其中： 介於該測試中裝置及該模組之間的導電路徑係小於大 約2英吋。 4、 如申請專利範圍第1項之遠距測量模組，其中： 該特殊化接腳包含高速輸入及輸出。 5、 如申請專利範圍第4項之遠距測量模組，其中： 該特殊化接腳包含一個R a m b u s介面。 6、 如申請專利範圍第1項之遠距測量模組，其中： 該訊號調整器包括一個多通道加速器，其用以增加施 本紙張尺度逋用中國國家梂準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 、τ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 523605 A8 B8 S__ 六、申請專利範圍 加至該特殊化接腳之訊號之頻率。 7、 如申請專利範圍第6項之遠距測量模組，其中： 該加速器包含複數個多工器，該複數個多工器具有各 別的第一頻率輸入及各別插入（interleaved )之輸出，以產生高於該第一頻率之頻率。 8、 如申請專利範圍第1項之遠距測試模組，其進一 步包括： 一個校準電路，其回應於由該測試控制器而來之校準 命令。 9、 如申請專利範圍第8項之遠距測試模組，其中， 該校準電路包括： 複數個相移器，其用以校準送至該測試中裝置及由該 測試中裝置而來之端點時序。 1 〇、如申請專利範圍第9項之遠距測試模組，其中 ，該校準電路進一步包括： 一個記憶體，其回應於由該測試控制器而來之校準訊 號，且 該相移器係連接至該記憶體，且回應於該校準訊號。 1 1、如申請專利範圍第9項之遠距測試模組，其中 該相移器係連接至一個時鐘源，以接收一個調整過之 訊號，且可操作於延遲該調整過之時鐘訊號。 1 2、一種自動測試設備，其用以連接至一個裝置介 面板，且施加測試訊號至一個測試中裝置及接收由一個測 --------_2_ 本紙張尺度逋用中國國家梂準（CNS ) A4規格（210X：297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1Τ 線： 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 523605 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 試中裝置而來之測試訊號，該測試中裝置跨接至該裝置介 面板並包括特殊化測試接腳，該自動測試設備包括： 一個測試控制器，其產生複數個主測S式訊號， 一個測試機介面，其連接至該測試控制器，以設定大 部分該主測試訊號至該裝置介面板之路徑；及 一個遠距測試模組，其用以作爲該測試機介面至該特 殊化測試接腳之介面，該遠距測試模組包括： 一個訊號調整器，其回應於該測試控制器，以施加該 複數個模組測試訊號至該裝置介面板；及 一個連接裝置，其具有複數個導電路徑，用以連接該 特殊化通道至該訊號調整器，且連接至該裝置介面板。 1 3、如申請專利範圍第1 2項之自動測試設備，其 中·· 該脈波具有預先決定之最小脈波寬度；且 該導電路徑具有個別的路徑長度，且其建立之該訊號 調整器及該測試中裝置之間的循環延遲係小於該預先決定 之最小脈波寬度。 1 4、如申請專利範圍第1 3項之自動測試設備，其 中： 介於該測試中裝置及該模組之間的導電路徑係小於大 約2英吋。 1 5、如申請專利範圍第1 2項之自動測試設備，其 中： 該特殊化接腳包含高速接腳。 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ------ - -- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 言 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 523605 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1 6、如申請專利範圍第1 5項之自動測試設備，其 中： 該特殊化接腳包含一個R a mb u s介面。 1 7、如申請專利範圍第1 2項之自動測試設備，其 中： 該訊號調整器包括一個多通道加速器，其用以增加施 加至該特殊化接腳之訊號之頻率。 1 8、如申請專利範圍第.1 7項之自動測試設備，其 中： 該加速器包含複數個多0：器，該複數個多工器具有各 別的第一頻率輸入及各別插入（i n t e r 1 e ave d )之輸出，以產生高於該第〜頻率之頻率。 1 9、如申請專利範圍第1 2項之自動測試設備，其 進一步包括： 一個校準電路’其回應於由該測試控制器而來之校準 命令。 2 0、如申請專利範圍第1 9項之自動測試設備，其 中該校準電路包括： 複數個相移器，其用以校準送至該測試中裝置及由該 測試中裝置而來之端點時序。 2 1、如申請專利範圍第1 9項之自動測試設備，其 中該校準電路包括： 一個記憶體，其回應於由該測試控制器而來之校準訊 號；且 本紙張尺度逋用中國國家摞率（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、v't» 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 523605 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 該相移器係連接至該記憶體，且回應於該校準訊號。 2 2、如申請專利範圍第1 9項之自動測試設備，其 中： 該相移器係連接至一個時鐘源，以接收一個調整過之 訊號，且可操作於延遲該調整過之時鐘訊號。 2 3、一種使一個自動測試設備適用於一個測試中裝 置之方法，該測試中裝置包括用以接收特殊化測試訊號之 特殊化接腳，該方法包含之步驟爲： 選擇一個具有一訊號調整器之遠距測試模組，該訊號 調整器用以接收由該測試控制器而來之測試訊號，且修改 該訊號成爲該特殊化訊號；及 將該遠距測試模組放置於該測試機介面及該裝置測試 板之間，以施加該特殊化訊號至該特殊化接腳。 2 4、一種減少於一個測試控制器所控制之高頻訊號 上之時序錯誤之方法，該態樣包含具有預先決定最小脈波 寬度且施加至複數個於測試中裝置之特殊化接腳之脈波， 該方法包含之步驟爲： 選擇一個具有一個訊號調整器之遠距測試模組，用以 增加由該測試控制器所產生之測試訊號之頻率； 定位該遠距測試模組於該測試中裝置附近；及 以該遠距測試模組與該特殊化測試中裝置之接腳作介 面接觸，以建立小於預先決定脈波寬度之循環延遲時間。 ______ ^_ 本紙张尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)