TW480547B - Recycling method and device of stripping solution - Google Patents

Description

480547 五 、赞明說明（1) 發明所屬技術領域

本發明係有關於制M 置，詳而言之，係有2 再生方法及剝離液之再生裝 在基板光阻劑層之剝離制將製造例如液晶顯示器之模組時 方法和裝置。 "離氣程發生之已使用之剝離液再生之 習知技術 · 籬梯！ ί液晶顯示器之模組之製造之基板光阻劑層之制 ΜΕΑ)及-甲該剝離液由單乙醇胺（以下簡稱為 液成為以嶋和咖為主體並包括 使用 又有 ，希 而，最近基板大型化，剝離液之處理量也增加， 二廢液處理費用增加和對地球環境有不良影響等問 望將已使用之剝離液再生使用。 發明所欲解決之課題 在該剝離液之為了再使用之再生上，想到利用蒗餾 生、精製處理，但是有到底是否可再生為半導體等級之古 純度、可蒸餾腐蝕性強之剝離液尤其長時間之連續幕館间 配備之機器類可長時間之連續運轉等風險，為了液之 再使用之再生處理無確立之方法及專用之裝置且未實施係 現況。因而，·希望已使用之剝離液之再生方法及再生裝’、 480547 五、發明說明（2) 置。 因此，本發明係為了滿足習知之迫切期待的，其第一 課題在於提供一種剝離液之再生方法，使得在半導體基板 之製造所使用之光阻劑樹脂之剝離液可再使用。 又’本發明之第二課題在於提供一種剝離液之再生裝 置’使得在半導體基板之製造所使用之光阻劑樹脂之剝離 液可再使用。 · 用以解決課題之手段 々用以解決上述第一課題之第1項發明以如申請專利範 圍第1項所記載之構造為主旨。 ，在第1項發明，已使用之剝離液除了剝離液成分以 ，還包括剝離之光阻劑樹脂。若依據第丨項發明之再生 =法，已使用之剝離液被除去樹脂成分後回收剝離液成 :刀"=回收之剝離液成分即剝離液可作為再生剝離液在光 P 脂之剝離製程使用。本發明係 匕 液晶基板之剝離液之再生很好之方法。牛¥體基板尤其 第2項發明以如巾請專利範圍第2項所記載之構造為主 著回項發明’除去已使用之剝離液之樹脂成分後接 者口收剝離液成分之ΜΕΑ和DMS〇。 交接 旨。第3項發明以如中請專利範圍⑼項所記載之構造為主 在第3項發明’在包括水分之情況之剝離液被除去水 第5頁 五、發明說明（3) 分，提高品質 第4項發明以如申請專利範圍 卜 所5己载之構造為主 L第項4:發明，精製剝離液成分，更接▲ 旨。發一申請專利範_項所二 粗大^5,項提發高明剝離^用之^^除去所回收之剝離液所含之 旨。―明以如中請專利範圍第6項所記载之構造為主 無其故障或更x換月不而要达液泵等機械式送液裝置， 用以：不良，適合長時間送液。 圍第7項所記載之主題旨之。第7項發明以如申請專利範 外，ΐΓ括項剝發使Λ?離液除了剝離液成分以 裝置，已使用之4光阻劑樹脂。若依據第7項發明之再生 分。所回收之it離液ΐ除去樹脂成分後回收剝離液成 阻劑樹脂之剝離ϊ液it即剝離液可作為再生剝離液在光 液晶臭柄>1離衣程使用。本發明係對於半導體基板尤其 =板之剝離液之很好之再生裝置。 第8項發明以如申請專利範圍第8項所記載之構造為主 在第8項發明，在包括水分之情況之剝離液被除去水 分 480547 五 發明說明（4) 第9項發明以如申請 。 明專利範圍第9項所々# a々尤載之構造為主 在第9項發明，精製剝離液 主 第1 0項發明以如申往直 我刀’更提高品質。 〇 明專利範圍第10項戶斤々I ^ a所圮載之構造為 在第1 0項發明，用以再 離液成分具有耐腐蝕性， 壯液之各裝置藉著對於剝 第11項發明以如申以f置可連續運轉。 主旨。 4利關第11項所記載之構造為 在第11項發明，利用蒸餾挞 水分和包括剝離液之殘餘之二、已使用之剝離液分離成 力之管理容易。在蒸餾级之和2離蒸餾塔之蒸餾溫度及壓 剝離液成分難腐餘之材質之不鱗鋼S分：接觸面用對於 第12項發明以如申請專Ί無礙連續蒸餾。 主旨。 圍第12項所記載之構造為 在第1 2項發明，利用過滹哈 粗大粒子，提高剝離液之品^ 了 回收之剝離液所含之 第1 3項發明以如申請專利範 主旨。 弟U項所記載之構造為 在第13項發明，利用蒸餾塔精 和剝離液成分之接觸面用對於剝離液成八=二在蒸餾塔之 不銹鋼形成，無礙連續蒸餾。 刀難腐姓之材質之 第14項發明以如申請專利範 主旨。 ㈤第14項所記載之構造為 480547 五、發明說明（5) 在第1 4項發明，利用過濾除去所精製 粗大粒子，提高剝離液之品質。 4離液所含之

主t第1 5項發明以如申請專利範圍第1 5項所記 4^ίϊ15項發明’不需要送液泵等機械式逆液裝 無其故障或更換等不良，適合長時間送液,运液裝 發明之實施形態 在本發明使用之剝離液係在半導 =㈣劑樹腊之剝離之已使用之；體反(，液:基板= ίΐίίί JlEA^DMS0^h ? 體。在使用之剝離液包括少量之水分之情況，又 也有包括洗淨水之情況。 &刀之度况，又 除去剥離液包括水分之情況，其特徵在於首先 ^被ί理液中之水分，接著除去樹脂成分後回收剝離 τ先’因除去水分’以後成分易分離，而且有處理埶 Ϊ可少之優點。 …、 t發明方法基本上由將已使用之剝離液在樹脂成分除 衣程除去樹脂成分後得到以MEA *DMS0為主體之再生剝 ^夜之製程構成（這些製程處理和申請專利範圍第i項對 應）。 在已使用之剝離液包括水分之情況，如圖1所示，由 J。在樹脂成分除去製程除去水分，接著在樹脂成分除去 私除去樹脂成分後得到以mea *DMS0為主體之再生剝離

480547 五、發明說明（6) 液之製程構成 在樹脂成分除去製程之處理後，設置將& 及）樹脂成分之剝離液精製之精製製程， ^去了（水分 製處理’可提咼剝離液之品質(本製程處理和申? 圍第4項對應。參照圖1之精製製程）。 明專利乾 如圖2所示’在樹腊成分除去機之後可 程。過遽製程係處理除去了樹脂成分之剝·離液衣 理U專利範圍第5項對應）。利用過濾 咼之剝離液。 I成〇口質 如圖3所示，在精製製程所精製 製程過濾後，彳變更品質更高之剝離；。之到離液經過攄 本發明之剝離液之再生裝置基本 MEA和剛〇、樹脂成分之已使m包括自包括 裝置和申請 括ΜΕΑ和DM》〇用之樹剝r離成液、包括水分之情況，可採用包括自包 裝置和除去谢、成刀、水分之已使用之剝離液除去之 置之處理裝^月曰太成制刀而得到剝離液成分之樹脂成分除去裝 各裝^ (本1耘裝置和申請專利範圍第7項對應）。 成分具^^至少和剝離液成分之接觸面採用對於剝離液 項對應）。蝕性之材質（本製程裝置和申請專利範圍第Θ 23·〇〜^8腐性之材質最好係SUS329等含C 0·08%以下、以 • °、Μο 1·〇〜3.5%以及n 〇·〇2〜〇·〇8%之組成之不 第9頁 480547 五、發明說明（7) 銹鋼。 SUS329係奥氏體和鐵酸鹽磁體之二相不銹鋼，在鋼組 織中例如包括C 〇. 012%、Si 0. 74%、70%、Ni6 3Q%\ Cr 25·00%、Μ〇3·30%、Ν〇·10%。尤其因包括Μ〇，在耐酸 耐孔餘丨生上優異’因包括S i ’在耐熱性、耐氣候性上 優異，很適合作為再生裝置之材質。

在再生包括水分之已使用之剝離液之·情況，在剝離液 再生之各製程之襞置，可用第一蒸餾塔除去水分，用樹脂 成分除去機分離樹脂成分和剝離液成分。可是，水分之除 去不只限於蒸餾塔，可使用可除去水分之各種製程裝置， 又樹脂成分和剝離液成分之分離不只限於樹脂 機，可使用各種樹脂成分除去之裝置。 μ 實施例 其次，依照圖面說明本發明之實施例。 首先，說明用於實施剝離液之再生方法之剝離液之再 生裝置（以下簡稱為再生裝置）。

圖4表示再生裝置1之概略。即，積存已使用之剝離液 (以下稱為被處理液）L之被處理液槽2經由第一導管3和第 ~ ^顧塔4(和本發明之水分除去裝置對應，以下有時只稱 為瘵餾塔4)，可經由送液泵P1將被處理液槽2之被處理液L 供給第一蒸餾塔4内。此外，3A、3B係開閉閥，平常關 閉，必要時打開。被處理液L供給第一蒸餾塔4内之下部、 中部、上部之蒸餾架。 如圖5所示，第一蒸餾塔4採用直立型之多段式構造，

第10頁 480547 五、發明說明（8) 在外周部設置利用用以將内部加熱之蒸氣等之加埶 5。在蒸餾塔4之内部設置多片由多孔板構成之‘置 所供給之被處理液L重複的自下方之蒸德架6向^^6 架6依次蒸潑。在蒸顧塔4之適當處安裝用以得知 ^ 餾溫度之溫度計Tm〜TR5。 。I…、 此外，圖5所示第一蒸餾塔4利用外周部之加埶壯 加熱，但是只利用圖4之泵Ρ5之循環及保蕰裝置 = 1 5之蒸氣加熱_，也有視需要可得到加溫效果之情、、兄/ σ 如圖4所示，在第一蒸餾塔4之上部連接導^蒗餾八 後之水分L1之蒸氣之第二導管7及冷卻器8、9，姐、由刀人 :1:和水分貯存槽11連接。水*貯存槽u可經“水集管% 严此外，水分貯存槽11連接具有開閉閥1 3 A之引入空 氣、排氣用之導管13和設置了開閉閥13E之氮氣供仏用 管。第一蒸餾塔4之底部作為貯存所蒸餾分離之;;^處理 液L2(樹脂成分和剝離液成分）之塔内貯存槽14。藉著交互 切換該開閉閥13A、13E及其他之開閉閥13B、13c、13D， 使得可進行來自水分貯藏槽丨丨之該一次處理液。之除去操 作。在塔内貯存槽14附設保溫裝置（再沸器）丨5，將一 理液L2加熱及保溫。 該塔内貯存槽Η利用第三導管16和樹脂成分除去機 17(和本發明之樹脂成分除去裝置對應），利用送液泵“可 供給樹脂成分除去機丨7内槽内之一次處理液L2。丨係插 裝於第三導管16之開閉閥，在供給樹脂成分除去機17一次 480547 五、發明說明（9) 處理液L2時打開。 味如圖6、7所示，樹脂成分除去機1 7利用外周面之蒸氣 等之加熱裝置19可將密閉之筒本體18加熱，筒本體18 :内 周面作為蒸發面21。在筒本體18之内部配置圓筒形之轉動 體20，用設置於筒本體18上部之馬達M可轉動轉動體2〇。 在轉動體20之周面將刷子22裝成放射狀，將一次 成膜狀的分散至蒸發面21。 · 供給樹脂成分除去機1 7之筒本體丨8之上部之一次處理 液Lj飛濺至轉動體20及刷子22後，接觸蒸發面21，剝ς液 L3蒸發’未蒸發之樹脂成分L4流向下方。 ^如圖4所示，樹脂成分除去機17之下端部利用第四導 =25和樹脂成分貯藏槽26之上部連接，可將樹脂成分 機η内之樹脂成分L4引入樹脂成分貯藏槽26。樹脂成又沪 =2。6在底部連接排出管27，可向槽外排出槽内之樹月刀旨^ ，外，樹脂成分貯藏槽26連接設置了開閉閥2 =氣第排管28和設置了開閉闕13£之氮氣供 弟。餾之底部作為貯存所蒸餾分離之一次卢 理液L2(樹脂成分和剝離液成分）之塔内貯存槽14 -人處六 互切換該開閉閥及其他之開閉閥28β、28c、， a又 該樹脂成分貯藏_之樹脂成分L4之除去操作。進仃 而，如圖4所示，樹脂成分除去機17 導管⑽和第二蒸餘塔31連接，可將在機内所^第五 C成)引入第一蒸餾塔（精製塔）31。

第12頁 480547 五、發明說明（ίο) 此外，該樹脂成分除去機1 7可使用構和樹脂成分除去 機17相同之日本車輛製造株式會社製造販賣之「薄膜蒸發 裝置」。 、…" 如圖8所示，第二蒸德塔31和上述之第一蒸館塔$ 一 樣，由直立型之多段式構造構成。在第二蒸餾塔3丨之内部 在上下配置多片由多孔板構成之蒸餾架3 2，使得利用外周 部之加熱裝置33加熱。剝離液成分L3在自·下方往上方之各 蒸餾架32依次蒸餾。 此外’在圖8 ’記載利用外周部之加熱裝置3 3加熱之 情況’但是在樹脂成分除去機1 7也充分加熱，只是該加 熱，也視需要有加溫效果。 如圖4所示，在第二蒸德塔31之上部自第六導管經 由冷卻器36或者再經由冷卻器37，再經由集合部38及開閉 閥35A、35B和第一處理液槽4〇及第二處理液槽41連接，在 第一處理液槽40或第二處理液槽41之一貯存剝離液成分， 當所貯存之處理液槽變滿時使用另一方之處理液槽。 第處理液槽40及第二處理液槽41利用第七導管42和 濃度調整槽43連接。 产在，第一處理液槽40連接設置了開閉閥35C之引入空 ^二f氣用之導管和設置了開閉閥35F之氮氣供給用管， 藉^父互切換該開閉閥及其他之開閉閥35A、35B、35E， 使知可進行剝離液對濃度調整槽43之供給操作。 -μ ί 4所不’、濃度調整槽43利用第八導管45經由過濾 W 口樂液貯藏槽48連接。在過濾器46内裝鐵氟龍之過濾

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五、發明說明（11) 件，除去通過之剝離液L3中之粗大粒子。 在該再生裝置1，和一次處理液L2、二次處理液 液成分L3)接觸之裝置部、各導管、以及各貯藏槽用對於 被處理液L尤其係剝離液成分具有耐腐蝕性之材質形成。' 例如，用不銹鋼規格之SUS329形成第一蒸餾塔4、脂 分除去機17、第二蒸餾塔31、第一處理液槽4〇、第二處王 液槽41、濃度調整槽43、過濾器46以及藥·液貯藏槽48处1 連接管用SUS329或鐵氟龍形成。 曰 而，在該再生裝置1設置抽氣裝置和&(氮氣）供給裝 置，在第一蒸餾塔4、水分貯藏槽丨丨、樹脂成分貯藏槽、 26、第一處理液槽4〇、第二處理液槽41配管成可抽氣，第 一蒸館塔4、樹脂成分除去機17以及第二蒸餾塔31在接近 真空之減壓狀態可蒸餾。 接著，說明該再生裝置1之作用與本發明之剝離液之 再生方法。該已使用之剝離液由包括水分之成分組成構 成。

、 可是’現在利用再生裝置1將已使用之剝離液（被處理 液）L再生時，預先抽氣裝置5〇之抽氣泵仃動作，又圖上未 不之別的抽氣裝置動作，將第一蒸餾塔4、樹脂成分除去 機1 7、第二蒸餾塔31内各自保持在接近真空之減壓狀態。 又’第一蒸餾塔4、樹脂成分除去機1 7以及第二蒸餾塔3 1 内之各加熱裝置5、19、33加熱至既定之設定溫度。 _ 然後’開閉閥3A、3B打開，利用送液泵pi經由第一導 官3將被處理液槽2之被處理液L送至第一蒸餾塔4内。被送

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至塔内之被處理液L在真空狀態在各蒸餾架6基餾後， 水分L1之蒸氣和-次處理液L2。一次處理液u包括樹脂成 分L4和剝離液成分L3。蒸氣由塔内上部之第二導管7 引，利用冷卻器8或再利用冷卻器9液化後，貯存^水分貯 藏槽11。 此外’往水分貯藏槽n之水分以藉著打開開閉閥m 及13D而貯存，在水分貯藏㈣内變滿時·，關和閉間m 及13D ’打開開閉閥13A而回至常壓。然後，關閉開閉閥 13A，打開開閉閥i3c及13£：，利用氮氣加壓，水分貯藏槽 11之水分L1經由排水管12適當的排水除去。排了完 曰， 關閉13C及13E ’再打開13A，令降低至大氣壓為止，以備 而，第一蒸餾塔4之一次處理液L2流向蒸餾塔4之底 ^貯存於塔内貯存槽Η。塔内貯存槽14之一次處理液[2 利用保溫裝置（再沸器）15加熱及保溫。 , 接著’樹脂成分除去機17之轉動體20之馬達Μ動作 後二塔Ϊ，存槽14所貯存之一次處理液L2利用送液泵Ρ2經 由第二導官16被送至樹脂成分除去機17之筒本體18内（參 照圖1、6)。

此外’將塔内貯存槽1 4之一次處理液L2送至樹脂成分 1去機時，打開開閉閥28D、28Β、35Α，還打開開閉閥 々泵Ρ 2動作。樹脂成分除去機1 7動作時，打開開閉 閥35Α、35Ε ’將樹脂成分L4貯存於樹脂成分貯藏槽26。 如圖6、7所示，進入樹脂成分除去機17之筒本體18之

第15頁 五、發明說明（13) —------ 上部之-次處理液L2^T至真^狀態之筒本⑽内。落下 之一次處理液L2利用轉動體20之刷子22飛濺至筒本體18之 蒸發面21，利用筒内之加熱環境及在蒸發面21之加熱，分 離成所蒸發之剝離液成分L3和未蒸發之樹脂成分u。樹脂 成分L4落下至筒本體之下部。 ^下部之樹脂成分114利用第四導管25貯存於樹脂成分貯 藏槽2 6。所貯存之樹脂成分u經由排出管· 2 7適當排出至槽 外之既定處。

關於在樹脂成分貯藏槽26之樹脂成分L4之排出，關閉 開閉閥2 8 B、2 8 D，打開開閉閥2 8 A，回到大氣壓。然後， 關閉28A，接著打開開閉閥28C、28E，藉著自開閉閥28E側 运入氮氣可排出。排出完了時，關閉開閉閥28E、28C，打 開28A，回到大氣壓。接著，打開開閉閥28]B、28D，以備 貯存。 樹脂成分除去機1 7之筒本體1 8内之蒸發之剝離液成分 L3經由第五導管30被引入第二蒸餾塔3j。 在第二蒸餾塔31内之各蒸餾架32，剝離液成分L3在真 空狀態之約1 00 °C之環境重複蒸餾而精製。所精製之剝離' 液成分L3之蒸氣經由第六導管35，被送至冷卻器36或者再 到冷卻器3 7，變成液化之三次處理液即剝離液L 3。該剝離 液L3貯存於第一處理液槽40或第二處理液槽41。 然後，第一處理液槽4 0或第二處理液槽41之剝離液l 3 利用第七導管42被送至濃度調整槽43。 第一處理液槽40變滿時，關閉開閉閥35A、35E，打開

480547 五、發明說明（14) 開閉閥35C，回到大氣壓。然後，關閉35C。其次打開 35F、35D，供給濃度調整槽43第一處理液槽40之剝離液成 分L3。供給完了後關閉開閉閥35F、35D，打開35C，回到 大氣壓。然後，關閉35C，接著打開開閉閥35A、35E，變 成可貯存。第一處理液槽40、第二處理液槽41交互切換開 閉閥35A 、 35B 。 第二處理液槽41變滿時，關閉開閉閥·35Β、351，打開 開閉閥35G，回到大氣壓。然後，關閉35G，接著打開開閉 閥35Η、35J，自35J侧送入氮氣，供給濃度調整槽43第二 處理液槽41之剝離液成分L3。完了後關閉開閉閥35H、 35J ’打開35G，回到大氣壓。接著打開開閉閥35I、35b， 就可貯存。 濃度後，視需要加上 濃度。 濃度之剝離液L3，利 藥液貯藏槽48貯存， 粗大粒子，在藥液貯 〇 係使用了光阻劑樹脂 及樹脂成分。剝離液 液成分L 3係Μ E A和 加上MEA或DMSO，調 離液L3之 至既定之 已調整了 4 6，供給 液L3中之 剝離液L3 板之製程 液成分以 整之剝離 因而，新 在濃度調整槽43調查剝 水或所準備之剝離液，微調 接著，濃度調整槽43之 用第八導管45令通過過濾器 以備下次使用。 在過濾器4 6，除去剝離 藏槽4 8貯存固定粒子品質之 該被處理液在半導體基 之剥離液，包括水分、剝離 成分係MEA和DMSO之混合體· 在〉辰度調整槽43之未調 DMSO之某一方稍少的混合。

第17頁 五、發明說明（15) _ =了 MEA和DMSO之比例。該調整後 動的在半導體基板之製程再使用。之刻離液以後可原封不 發明之效果 若依據如申請專利範圍第〗項 之剝離液回數剝離液成分，可到 項發明，自已使用 若依據如申請專利範圍第2項之第2 =之剝離液: 離液成分之MEA和DMSO。 、發明’回收係剝 八若依據如申請專利範圍第3項之第3頊旅hb 刀之已使用之剝離液除去水分，可 ^月，自包括水 液。 于】可再使用之剝離 若依據如申請專利範圍第4項 精製之剝離液。 弟4項發明，可得到所 若：據如申請專利範圍第5項之第 去了粗大粒子之剝離液。 、毛月，可侍到除 若依據如申請專利範圍第6項之第 :式达液裝置之情況之故 Π丄無使用機 液。 艮適合長時間送 夕车丨Ϊ依據如巾晴專利範圍第7項之第7項發明a 之剝離液回數剝離液成分，可得到可再使^ ’自已使用 八若依據如申請專利範圍第8項之第8項發明剝離液。 :之已使用之剝離液除去水分，可得到可用：包括水 液。 便用之剝離 若依據如申請專利範圍第9項之第9項發明 \月，可得到所 480547

精製之剝離液。 之苐1 0項發明，各裝置 ，可連續運轉的再生已 若依據如申請專利範圍第1 0項 藉著對於剝離液成分具有耐腐蝕性 使用之剝離液。 若依據如申請專利範圍 和剝離液成分之接觸面採用 塔’蒸餾溫度及壓力之管理 理。 第11項之第11項發明，因使用 具有耐腐蝕性之不銹鋼之蒗餾 容易，又可進·行連續蒸餾處 若依據如申請專利範圍第12項之第12項 除去了粗大粒子之剝離液。 了付到 若依據如申請專利範圍第1 3項之第1 3項發明，可在具 有耐腐蝕性之不銹鋼之蒸餾塔連續的精製。 /、 若依據如申請專利範圍第1 4項之第1 4項發明，可得到 斤精製之除去了粗大粒子之高品質之剝離液。 若依據如申請專利範圍第丨5項之第丨5項發明，無使用 」械式送液裝置之情況之故障或更換等不良，適合 迗液。 焚町u 利用以上之發明，可提高再生已使用之剝離液之效 二，可降低已使用之剝離液量、其處理費用，可減輕對地 壞環境之不良影響。 _式簡單說明 • 圖1係表示在本發明方法之實施形態之各處理製程之 製程圖。 —_

第19頁 480547 五、發明說明（17) 圖2係本發明方法變更例之處理製程圖。 圖3係本發明方法之另外之變更例之處理製程圖。 圖4係在本發明方法之實施形態之剝離液之再生裝置 之簡圖。 圖5係第一蒸餾塔之放大之剖面圖。 圖6係部分剖開之樹脂成分除去機之構造圖。 圖7係在圖6之IV-IV線之剖面圖。 Λ 圖8係第二蒸餾塔之放大剖面圖。 符號說明 1 再生裝置 2 被處理液槽 4 第一蒸德塔 8、9、36、37 冷卻器 11水分貯存槽 1 4 塔内貯存槽 1 7樹脂成分除去機 2 6樹脂成分貯存槽 3 1第二蒸餾塔 40第一處理液槽 41第二處理液槽 43濃度調整槽 46過濾器 48 藥液供給槽

Claims (1)

1. 六、申請專利範圍 1· 一種剝離液之再生方法， 阻劑樹脂之剝離製程發士 t括在和基板重疊之光 以再生， 之樹月曰成分之已使用之剝離液予 其特徵在於： 包括除去樹脂成分而得到 製程。 到離液成分之樹脂成分除去 2·如申請專利範圍第丨項之 已使用之剝離液由包括來自離液之再生方法，其中 醇胺以及二甲基亞媒之剝離液成；之成分、單乙 3.如申請專利範圍第丨項 ，構成。 法，其中已使用之杳丨 — 、之剝離液之再生方 除去製程。 ；^水分，具有除去水分之水分 、去4皇^請專利範圍第1項或第2項之剝離液之再生方 5、 = = =製程之後設置精製製程。 ^甲明專利粑圍第1項或第2項之剝離液之属 6、 ：Πΐ成分除去製程之後設置過滤製程。一 利用= =之剝離液之再生方法，其* =自貯藏槽及或處理液槽供給不一製程液體。 阻二：Γ離液之再生裝置1包括在和基板重疊之光 阻劑樹脂之剝離製程發生之槲匕 且心尤 以再生，雕衣枉生之树知成分之已使用之剝離液予 其特徵在於： 裝置包括除去樹脂成分而得到剝離液成分之樹脂成分除去 IH 第21頁 穴、萌寻刊範圍 8·如申請專利範圍第7項之 具有除去水分之裝置。 / 、<之再生裝置，其_ 9·如申請專利範圍第7項或 法，其令在樹脂成分除去裝置連、4之:制離液之再生方 得到之剝離液成分精製之精製裝置。：错著除去樹脂成分所 10. 如申請專利範圍第9項^剝離 各裝置之至少和剥離液成分之接艏之之再生裝置，其中 具有耐腐蝕性之材質形成。 彳用對於剝離液成分 11. 如申請專利範圍第8項 刀 除去已使用之剝離液之水分之裝署之再生裝置，其中 剝離液成分之接觸面用含C 〇 〇直係瘵餾塔，蒸餾塔之 Mo 1.0 〜3.5% 以及 N 0.〇2 〜〇 〇8% 之0、Cr 23.0〜28〇%、 1 2.如申請專利範圍第7項、、成之不銹鋼形成。 在樹脂成分除去裝置連接將、2離液之再生裝置，龙 剝離液成分過濾之過濾装置。，液之再生裝置所得^之 13.如申請專利範圍第9項 在樹脂成分除去裝置連接將自離液之再生裝置，其 剝離液成分過濾之過濾裝置。d罐液之再生裝置所得到之 1 4.如申請專利範圍第9項 精製裝置係蒸餾塔，蒸餾级之離液之再生裝置，其 c o.m以下、Cr 23.0〜28.η、σ:離液成分之接觸面用 0.02〜0.08%之組成之不錄麵开彡Μο 1.〇〜3.5%以及ν 15.如申請專利範圍第9^成。 在精製裝置連接將自精製萝、之剝離液之再生裝置， $置所得到之剥離液成分過ς中 480547 六、申請專利範圍 過濾裝置。 1 6 ·如申請專利範圍第1 5項之剝離液之再生裝置，其 中在貯藏槽及或處理液槽設置將槽内之液體供給下一製程 之氮氣之壓送裝置。