JPH07112166A - 溶剤を用いる洗浄・乾燥装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 電気・電子部品等の被洗浄物を汎用溶剤を用
いて洗浄・乾燥する装置および精密機械部品等の水を含
まぬ溶剤による洗浄を必要とする洗浄・乾燥装置ににお
いて、廉価な運転コストで安全な洗浄および乾燥を行う
ことを可能とする洗浄・乾燥装置を提供する。 【構成】 不燃性のパージガス供給装置を有する被洗浄
物１の搬入搬出用室２、洗浄室６、乾燥室５、パージガ
スに随伴する洗浄溶剤を凝縮する１つ以上の凝縮器８お
よび被洗浄物から除去された汚れ成分を洗浄溶剤から分
離し且つ溶剤を精製濃縮して再使用するための蒸留塔シ
ステム１３からなり、洗浄剤として有機溶剤を用いる洗
浄・乾燥装置にあって、前記パージガスに随伴する洗浄
溶剤用凝縮器を搬入搬出用室内に設置する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電気・電子部品、機械
部品、光学機械部品、医療機器部品、修飾品、樹脂加工
品、印刷用スクリーン等の被洗浄物を汎用溶剤を用いて
洗浄・乾燥する装置および精密電子・電気部品、精密機
械部品、紙を素材とする基板等、水を含まぬ溶剤による
洗浄を必要とする洗浄・乾燥装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】電気・電子部品、機械部品、光学機械部
品、医療機器部品、修飾品、樹脂加工品、印刷用スクリ
ーン等の洗浄操作は従来よりフロン、1,1,1 −トリクロ
ロエタン等の塩素系溶剤が使用されてきた。これら洗浄
溶剤は、不燃性であるため、使用に当たって空気との遮
断を要しなかった。しかしながら、これら不燃性溶剤は
オゾン層の破壊など、地球環境に重大な障害をおよぼす
ことが明らかとなり、今後、フロン、1,1,1 −トリクロ
ロエタン等の代わりに、メタノール、エタノール、イソ
プロピルアルコール、ブタノール、ハロゲン化アルコー
ル等のアルコール系、アセトン、メチルエチルケトン、
メチルイソブチルケトン等のケトン系、ヘキサン、シク
ロヘキサン、ベンゼン、トルエン、キシレン等の石油系
溶剤を用いて上記の洗浄を安全に、経済的に実施せしめ
る洗浄装置が求められている。上記の汎用可燃性溶剤を
洗浄剤として用いて洗浄を行う場合、火災、爆発を未然
に防止するために洗浄装置内部の洗浄雰囲気と外気との
連通の遮断を経済的で且つ確実に実施する必要がある。
しかしながら、従来技術では、これを経済的で且つ確実
に実施しうるものがなかった。即ち、従来の溶剤を洗浄
液とする洗浄装置では、火災や爆発の防止策として溶剤
蒸気と外気との遮断用に窒素ガスによる単純なパージ方
法をとるか、洗浄蒸気を希釈し系外に放出する方法によ
っており、窒素ガスや空気に同伴し洗浄装置外に放出さ
れる溶剤蒸気を凝縮させ回収可能としたり、溶剤を入れ
た洗浄液槽内に外気が混入しない機構を持ち、更に安全
性を向上させたものはなかった。また、従来の洗浄装置
では、超音波洗浄、バブリング洗浄、揺動洗浄またはこ
れら洗浄操作の組み合わせにて洗浄を行う浸漬洗浄槽に
おいて、洗浄性を向上させるために洗浄液に適切な流れ
を発生させる機構や洗浄液温度を適切に調節する機構を
備えたものはなかった。また、蒸気洗浄時に被洗浄物を
事前に冷却するための濃縮精製された清浄な洗浄溶剤に
よる洗浄液浸漬冷却槽を備えたものはなかった。従来の
洗浄・乾燥装置では被洗浄物の溶剤洗浄液による洗浄後
の乾燥操作は、加熱された空気あるいは窒素ガスを乾燥
用媒体として用いる方法や真空乾燥法等が採用されてき
ており、洗浄溶剤液を精密蒸留操作により精製濃縮して
清浄な洗浄溶剤となし、清浄な当該洗浄溶剤の蒸気また
は当該清浄溶剤の蒸気とパージガスとの混合物を乾燥媒
体として用い効率的・経済的に循環加熱使用を可能とし
た循環加熱・乾燥機構を設置したものはなかった。被洗
浄物の洗浄および乾燥後の仕上がりで、ダスト類の付着
が問題とされる精密洗浄・乾燥操作においては従来の洗
浄・乾燥装置では、洗浄液中のダスト除去を目的とした
精密フィルターの設置が行われてきており、洗浄溶剤液
を、精密蒸留操作により精密蒸留して、清浄な洗浄溶剤
となした後の当該清浄洗浄溶剤の蒸気およびパージガス
からのダスト類を除去する機構を設置したものはなかっ
た。また、精密電子・電気部品、精密機械部品等の超精
密洗浄では、洗浄液の被洗浄物の残留イオン量を皆無ま
たは極小とすることを目的として実質上無水の溶剤を用
いる場合がある。また、紙を素材とする基板の洗浄で
は、材質保護のために実質上無水の溶剤を洗浄剤とする
必要があり、無水の溶剤として従来より実質上無水のフ
ロン、1,1,1 −トリクロロエタン等が使用されてきたが
上述の地球環境の保護状況により、無水の汎用のアルコ
ール系、ケトン系、石油系炭化水素溶剤を用いた超精密
洗浄を安全に且つ経済的に実施せしめる洗浄装置が求め
られている。上記の可燃性汎用溶剤を無水の洗浄剤とし
て用いて洗浄を行う場合、火災、爆発を未然に防止し、
外気中の水分が洗浄装置内に混入することを防止すると
ともに、混入した水分を溶剤より分離除去するために洗
浄装置内部の洗浄雰囲気と外気との連通の遮断と洗浄溶
剤からの汚れ成分と水分の分離除去を経済的で且つ確実
に実施する必要がある。しかしながら、従来技術では、
これを経済的で且つ確実に実施しうるものがなかった。
また、従来の洗浄装置には、洗浄によって汚染された洗
浄溶剤を蒸留器で再生する設備を設けていても、洗浄溶
剤を装置内に封じ込めたまま汚れ成分のみを装置外に排
出する機構がなく、いずれは装置を停止して使用済み溶
剤を新溶剤に交換する必要があった。また、従来の洗浄
装置には、溶剤中に混入し蓄積された水分を選択的に分
離し除去する機能がなく、許容量以上の水分を含む溶剤
は使用済み溶剤として実質上無水の溶剤と交換する必要
があった。このため、使用済み溶剤の処理費用と新溶剤
の購入費用を必要とし、運転コストが高価になってい
た。洗浄溶剤中に蓄積される汚れ成分を連続的に濃縮除
去する蒸留操作においては、当該蒸留塔塔底部から汚れ
成分が濃縮され排出される。従来の洗浄・乾燥装置で
は、汚れ成分を塔底より濃縮し、排出する当該蒸留塔の
塔内充填物、リボイラーチューブ等の内部品への汚れ成
分の付着・蓄積を防止する機構を備えたものはなかっ
た。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来技術では、前述の
ように被洗浄物の搬出入に際し、洗浄装置内の溶剤蒸気
と外気との遮断が不十分であり、空気の装置内への混入
あるいは溶剤蒸気の装置外への漏出が避けられなかっ
た。また浸漬洗浄においては、被洗浄物の汚れの性状や
洗浄溶剤の性質に応じ、最適な洗浄条件を与えるための
洗浄液温度の調整および洗浄液の流れを発生し保持する
機構を備えたものはなく、また蒸気洗浄では被洗浄物表
面上に十分な量の溶剤を凝縮させるために事前に被洗浄
物を濃縮精製された清澄な洗浄溶剤で冷却する機構を備
えておらず、十分な蒸気洗浄性を達成し得ない場合が多
かった。また被洗浄物の洗浄後の乾燥は、従来加熱され
た空気または窒素ガスを乾燥媒体として用いる方法や、
真空乾燥法等が採られてきている。これらの方法では空
気を乾燥媒体とする場合では、爆鳴気形成の危険性が高
いこと、窒素ガスを乾燥媒体とする場合では、運転費が
高価となること、さらには蒸発した洗浄溶剤の回収効率
の低下と回収費が嵩むこと、空気による乾燥では洗浄室
と乾燥室の完全隔離が要求されること、および真空乾燥
では、洗浄室と乾燥室の完全隔離が要求されること、お
よび真空乾燥では、真空状態を達成するための密閉構造
および真空発生装置を要するなど経済的にも技術的にも
難しい課題があった。また、被洗浄物の洗浄および乾燥
後の仕上がりで、ダスト類の付着が問題とされる精密洗
浄・乾燥においては、従来技術として洗浄液中から精密
フィルター等により被洗浄物からの汚れ成分など大量の
ダストが含まれており、ダスト除去機構として液循環ポ
ンプおよび大容量の精密フィルター等を要し、高価で且
つフィルターの詰まり除去などの頻度の高い運転保守を
要求するものであった。また洗浄後の被洗浄物上の残留
イオン量を皆無または極小とするため或いは、紙を素材
とする基板の洗浄等のため、実質上無水の溶剤を使用す
る超精密洗浄においては、従来技術では、被洗浄物に同
伴して溶剤中に混入し蓄積される水分を選択的に除去す
る機能がなく規定量以上の水分が蓄積された洗浄溶剤は
使用済み溶剤として交換することが必要であり、溶剤コ
ストが高価なものとなると同時に、溶剤中の水分量につ
いて厳密な監視・管理を要するものであった。また、洗
浄溶剤中の汚れ成分を連続的または断続的に洗浄溶剤よ
り濃縮分離し、排出させる蒸留操作では、蒸留操作の所
定の性能を維持し、蒸留塔システムの保守を容易とする
ために、汚れ成分が当該蒸留塔内の充填物、リボイラー
チューブ等の内部品に付着・蓄積することを防止する必
要がある。従来の洗浄・乾燥装置にはこの機能を持つも
のは無かった。

【０００４】本発明は、上記課題に鑑み案出されたもの
で、（１）混入した外気（空気）は非凝縮性ガスとして
洗浄装置外に選択的に排出することができ、溶剤の外気
への漏洩を防止し、（２）混入外気と洗浄室内の大量の
溶剤との接触を完全に遮断し、（３）火災、爆発の危険
性の無い、環境保全の要請に合致すると同時に、（４）
被洗浄物の種類毎に洗浄溶剤の温度を最適に制御でき、
洗浄液を適切な流動状態に保持し、（５）必要に応じて
被洗浄物を蒸気洗浄の前に清浄な洗浄溶剤で効果的に冷
却することを可能とし、（６）乾燥用媒体として、蒸留
精製された清澄な洗浄溶剤の蒸気または当該清澄洗浄溶
剤蒸気とパージガスの混合物を用いた安全且つ経済的な
加熱乾燥機構を持ち、（７）超精密洗浄性を要求される
場合は、洗浄および乾燥後の被洗浄物上のダスト付着を
極少とし、（８）実質上無水の溶剤による洗浄および乾
燥を要する場合は、洗浄溶剤を蒸留することにより、汚
れ成分および水分を分離除去し、実質上無水の溶剤とし
て再生使用すると共に、汚れ成分と水分を装置外に排出
させ、補充せる溶剤として汎用且つ通常の品質である含
水溶剤を受け入れ、上記蒸留精製を行うことにより実質
上無水の溶剤となし、本洗浄装置で用いられる無水溶剤
とし、（９）汚れ成分を含む廃液排出量を極めて少量と
し、洗浄操作による環境汚染を防止しまたは極小にし、
（１０）洗浄溶剤を清澄な精製溶剤として再生使用を可
能ならしめる蒸留塔の性能を維持し、蒸留塔の保守を軽
減させ、（１１）汎用で安価な溶剤を洗浄溶剤として可
能ならしめ、（１２）廉価な運転コストで安全な洗浄お
よび乾燥を行うことを可能とする洗浄・乾燥装置を提供
することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題は、以下の洗浄
・乾燥装置を使用することで解決できる。即ち、不燃性
のパージガス供給装置を有する被洗浄物の搬入搬出用
室、乾燥用媒体の加熱循環機構を有することのある乾燥
室、１つ以上の洗浄室、パージガスに随伴する洗浄溶剤
を凝縮する１つ以上の凝縮器および被洗浄物から除去さ
れた汚れ成分を洗浄溶剤から分離し且つ溶剤を精製濃縮
して再使用するための蒸留塔システムを設置した洗浄・
乾燥装置からなり、上記洗浄室は槽内の洗浄溶剤の温度
を調節する温度調節機構、槽内の洗浄溶剤に流れを発生
させる機構およびシャワー洗浄を行うシャワーノズルを
有することのある浸漬洗浄槽、槽内に冷却機構を有する
ことのある浸漬冷却槽、蒸気洗浄室の１つ以上からな
り、蒸留塔システムにて精製された洗浄溶剤もしくはそ
の蒸気を洗浄室に導く機構を有し、乾燥室に乾燥用媒体
として上記の精製された洗浄剤蒸気または洗浄溶剤蒸気
とパージガスの混合物を導く機構を有し、洗浄剤として
有機溶剤を用いる洗浄・乾燥装置にあって、前記パージ
ガスに随伴する洗浄溶剤用凝縮器を搬入搬出用室内に設
置することを特徴とする洗浄・乾燥装置を用いることで
ある。さらに、パージガスおよび蒸留塔システムにて濃
縮精製された洗浄蒸気中のダストを除去する機構を備
え、もしくは蒸留塔システムに、汚れ成分を含む洗浄溶
剤の主供給口以外に、蒸留塔下部に設けた供給口から連
続もしくは断続的に溶剤供給を可能とする機構を設ける
ことにより上記目的をより一層確実なものにすることが
できる。

【０００６】パージガスとして、スチーム、窒素または
炭酸ガスおよびそれらの１種以上の混合ガスを用い、洗
浄溶剤または洗浄溶剤と水との共沸混合物の沸点が水の
沸点より低い含水溶剤を洗浄溶剤として用いる場合は蒸
留塔システムは１塔の蒸留塔とそのリボイラー等から構
成され、蒸留塔塔頂部からの精製濃縮された含水溶剤が
洗浄溶剤・乾燥用媒体として使用され、蒸留塔塔底部か
ら汚れ成分がパージガス成分として供給されたスチーム
の凝縮水と共に排出される。蒸留塔システムは、洗浄溶
剤または洗浄溶剤と水との共沸混合物の沸点が水の沸点
より高い含水溶剤を洗浄溶剤として用いる場合は、溶剤
より汚れ成分を濃縮分離して塔底より排出する第１蒸留
塔と溶剤より過剰の水分を塔頂部より分離除去し、清澄
な含水溶剤を塔底部より抜き出し濃縮精製する第２蒸留
塔から構成される。第１蒸留塔に洗浄室からの汚れ成分
を含む洗浄溶剤液の供給の他に、洗浄溶剤より沸点が高
く汚れ成分より沸点の低いエチレングリコール等の第２
成分あるいは第２成分の水溶液を供給し、第１蒸留塔塔
底部より汚れ成分と第２成分あるいは汚れ成分と第２成
分水溶液を選択的に排出する。あるいは第１蒸留塔に洗
浄室から汚れ成分を含む洗浄溶剤液のみを供給し第１蒸
留塔塔底部から汚れ成分を濃縮して排出し、第２蒸留塔
塔底部からの濃縮精製された含水溶剤が、洗浄溶剤およ
び／または乾燥用媒体として使用される。パージガスと
して、実質上無水の窒素ガス等の不燃性不活性ガスを用
いる場合、蒸留塔システムが、溶剤より汚れ成分を濃縮
・分離して塔底部より排出する第１蒸留塔と実質上無水
の溶剤を精製する第２蒸留塔から構成される。

【０００７】洗浄溶剤または洗浄溶剤と水との共沸混合
物の沸点が水の沸点より低い場合は、第１蒸留塔に洗浄
室からの汚れ成分を含む洗浄溶剤液の供給の他に水また
は水と溶剤を供給し、第１蒸留塔塔底部から水と共に汚
れ成分を選択的に排出すると共に塔頂部より分離される
水を含む溶剤を第２蒸留塔に供給し、第２蒸留塔塔頂蒸
気の凝縮液が溶剤に富む液層と水に富む液層に分離する
場合は、水に富む液層は排出されるかあるいは第１蒸留
塔への水または水と溶剤の供給部に導かれると共に、溶
剤に富む液層は第２蒸留塔塔頂部へ還流液としてリサイ
クルさせる。第２蒸留塔塔頂蒸気の凝縮液が溶剤に富む
液層と水に富む液層に分離しない場合は、第２蒸留塔に
当該洗浄溶剤および水と共に最低沸共沸化合物を形成
し、その凝縮液が２液層を成す第３成分を供給し、第２
蒸留塔塔頂蒸気の凝縮液中の当該第３成分に富む液層と
水または水と溶剤に富む液層に分離し、水または水と溶
剤に富む液層は排出もしくは第１蒸留塔への水または水
と溶剤の供給部に導き、第３成分に富む液層は第２蒸留
塔塔底部へ還流液としてリサイクルさせ、脱水された濃
縮精製された洗浄溶剤を第２蒸留塔塔底部から回収す
る。

【０００８】一方、洗浄溶剤または洗浄溶剤と水との共
沸混合物の沸点が水の沸点より高い場合には、第１蒸留
塔に洗浄室からの汚れ成分を含む洗浄溶剤液の供給の他
に、洗浄溶剤より沸点が高く汚れ成分より沸点の低いエ
チレングリコール等の第２成分あるいは第２成分の水溶
液を供給し、第１蒸留塔塔底部より汚れ成分と第２成分
水溶液を選択的に排出するか、あるいは第１蒸留塔に、
洗浄室からの汚れ成分を含む洗浄溶剤液のみを供給す
る。汚れ成分を濃縮分離して塔底部より排出すると共
に、塔頂部より汚れ成分が除去された洗浄溶剤を分離さ
せ、当該洗浄溶剤を第２蒸留塔に供給する。第２蒸留塔
塔頂蒸気の凝縮液が溶剤に富む液層と水に富む液層に分
離する場合は、水に富む液層は排出させ、溶剤に富む液
層は第２蒸留塔塔頂部へ還流液としてリサイクルさせ、
第２蒸留塔塔頂蒸気の凝縮液が溶剤に富む液層と水に富
む液層に分離しない場合は、第２蒸留塔塔頂部より水分
を濃縮して排出させる。脱水され濃縮精製された溶剤を
第２蒸留塔塔底部から回収し、無水の洗浄溶剤・乾燥用
媒体として使用する。被洗浄物からの汚れ成分を洗浄溶
剤より分離する蒸留塔に洗浄室からの汚れ成分を含む洗
浄溶剤の主供給口以外に、当該蒸留塔の下部に、溶剤下
部供給口を設置し、溶剤下部供給口から連続または断続
的に溶剤供給を可能とする。

【０００９】本洗浄装置に使用される洗浄溶剤は、メタ
ノール、エタノール、イソプロピルアルコール、ブタノ
ール、ハロゲン化アルコール等のアルコール系、アセト
ン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等の
ケトン系、ペンタン、ヘキサン、シクロヘキサン、ヘプ
タン、オクタン、ノナン、デカン、石油ベンジン、石油
スピリット、ガソリン、石油ナフサ、ベンゼン、トルエ
ン、キシレン、等の石油系炭化水素溶剤単独あるいは複
数種を組み合わせて用いることで良く、汎用で安価な溶
剤を使用することができる。また溶剤として上記の溶剤
に限定されるものではない。洗浄溶剤は、その大部分が
再生・リサイクルして使用される。溶剤ロス分は搬出入
凝縮器、搬入凝縮器、搬出室凝縮器、凝縮器から大気に
放出される微少量の不活性ガスに同伴される溶剤蒸気お
よび第１蒸留塔塔底からの汚れ成分と共に排出される微
少量の廃液および・または第２蒸留塔塔頂蒸気の凝縮液
の水に富む液層として、または第２蒸留塔塔頂にて濃縮
された分離・排出される微少量の排水中に混入して洗浄
装置外に放出される分に過ぎない。

【００１０】この溶剤ロス分は、汎用溶剤を図１、２、
３、４の実施例のメークアップ供給管43を介して浸漬洗
浄槽または第１蒸留塔に、あるいは図３、４の第２塔供
給管33または添加成分供給管40を介して第２蒸留塔に供
給することで良く、清澄な精製・濃縮された洗浄溶剤が
蒸留塔システムにて製造され、洗浄乾燥操作に供され
る。また、搬入室入口から搬出室出口まで移動する被洗
浄物の移動手段には、ローラーコンベア、チェーンコン
ベア、ベルトコンベア等の水平搬送装置およびバーチカ
ルコンベア、リフター等の上下搬送装置を組み合わせて
用いることが可能であって、任意の移動手段を選定する
ことが可能である。外気と、洗浄液として用いられる溶
剤の蒸気との混合による可燃性気体の形成および溶剤蒸
気の外気への漏出を防止するために、図２、３の搬入室
30並びに搬出室31および図１、４の搬出入室２に、パー
ジガスノズル３を設置している。混合気体パージ管14、
搬出入凝縮器27および非凝縮性ガス排出管17を設け、被
洗浄物１の搬入後および搬出前に、パージガスを搬入室
30並びに搬出室31または搬出入室２に導入しこれら室内
の混合ガスをパージし、搬出入凝縮器27に導き溶剤を凝
縮・回収する。搬出入凝縮器27を設置せず、凝縮器８に
て兼用する場合は、混合気体パージ管14は、凝縮器８に
接続され、混合気体中の溶剤を凝縮させ回収することも
可能である。また、搬出入凝縮器27は、図２、３の搬入
室および搬出室それぞれに専用に設置することも可能で
あり、特に搬出入室または搬入室および搬出室のそれぞ
れの室内に設置することにより外気への臭気の漏洩を防
止するためより好ましい。浸漬洗浄効果向上のために、
図１、２、３および４の実施例のごとく浸漬洗浄槽９に
冷却または加温を可能とするコイルを設置することも可
能である。洗浄液をポンプ12および洗浄液温調器28およ
び循環量を調整する循環流量調整弁29を設置した洗浄液
循環管19を介して浸漬洗浄槽９に循環させ、浸漬洗浄槽
９内に適切なる温度の洗浄液の好ましい流動状態を可能
としている。浸漬洗浄槽９内の好ましい洗浄状態は、槽
内にピストン流れまたは旋回流れを形成することで達成
できる。被洗浄物の性状および汚れ成分に応じた好まし
い洗浄流動状態はピストン流れ、旋回流れの選択と流れ
線速度を調節することで得られる。更に洗浄効果向上の
ため洗浄室６にシャワー洗浄を可能とするため図３、４
のごとくシャワーノズル45を設けることも可能である。
シャワー洗浄を行うときには、シャワー液量調節弁46で
液量を調節して、シャワーノズル５から温度調節された
洗浄液を噴出させ被洗浄物１のシャワー洗浄の効率を向
上させることができる。洗浄室６に浸漬洗浄槽９を設け
ずに単にシャワーノズルのみを設けて、シャワー洗浄の
みとする事も可能である。また浸漬洗浄槽９内に温度調
節機構、洗浄液を流動状態に保つ機構、バブリング洗浄
用に不活性ガスを噴出させるバブリング機構、被洗浄物
の浸漬揺動を可能とする揺動機構を単独もしくは組み合
わせて使用することも可能である。浸漬冷却槽11では回
収された清澄な溶剤液を冷媒にて冷却するためのコイル
を設置する。蒸気洗浄直前に、被洗浄物１の温度を十分
低くするために冷却された清澄な溶剤液に浸漬する。蒸
気洗浄操作において、多量の洗浄溶剤蒸気を冷却された
被洗浄物１の表面上にて凝縮するため洗浄効率が高くな
る。図１、図２の実施例では、第１蒸留塔13にて汚れお
よび不純物が除去されて濃縮精製された溶剤蒸気を濃縮
溶剤蒸気管21から蒸気洗浄室７に導き蒸気洗浄に供した
後、過剰の溶剤蒸気は溶剤蒸気管15を通して凝縮器８に
導き、凝縮せしめ、凝縮溶剤管16を経て浸漬冷却槽11に
回収する。洗浄溶剤は、蒸気洗浄室７、浸漬冷却槽11、
浸漬洗浄槽９の順に汚染度が高くなる。浸漬洗浄槽９か
らの汚れ成分と外気より同伴された水分をふくむ洗浄溶
剤は蒸留塔システムによって再生される。蒸留塔システ
ムは、洗浄溶剤の性状と洗浄条件に従い図１および図２
の実施例の蒸留塔ユニットから構成されるか、図３およ
び図４の実施例に示される２塔式蒸留塔ユニットから構
成される。洗浄溶剤または洗浄溶剤と水との共沸混合物
の沸点が水の沸点より低く、洗浄操作において含水洗浄
溶剤を使用し得る場合には１塔式蒸留塔ユニットを用い
る。

【００１１】被洗浄物から除去された汚れ成分を含んだ
洗浄溶剤は、浸漬洗浄槽９よりポンプ12にて第１蒸留塔
13に導かれ、当該蒸留塔の気液接触部分48での上記操作
にて汚れ成分は塔底液中に濃縮されて排出される。当該
蒸留塔の塔頂部からは、汚れ成分が除去され精製された
溶剤蒸気が回収され、濃縮溶剤蒸気管21を通して蒸気洗
浄室７に供給される。この場合、蒸気洗浄操作を必要と
しない場合には、濃縮溶剤蒸気管21は直接、溶剤蒸気管
15に接続することも可能である。又、当該蒸留塔塔頂部
からの精製溶剤蒸気を図５の実施例のごとく蒸留塔塔頂
凝縮器60にて凝縮させ、凝縮液中の水分層を凝縮液分離
槽61で分離除去した後、溶剤液層を再蒸発器62で再蒸発
させて蒸気洗浄室７に導くか、当該溶剤液層をそのまま
浸漬冷却槽11または浸漬洗浄槽９に導くことも可能であ
る。一方、洗浄溶剤として無水の溶剤が必要とされる場
合、あるいは洗浄溶剤または洗浄溶剤と水との共沸混合
物の沸点が水の沸点より高い場合には、図３、図４の実
施例のごとき２塔式蒸留塔ユニットを用いる。この場
合、図３、図４の実施例に示されるように、被洗浄物か
ら除去された汚れ成分を含む洗浄溶剤は第１蒸留塔13に
導かれ、第１蒸留塔気液接触部分48での蒸留操作にて汚
れ成分は塔底液中に濃縮されて排出される。第１蒸留塔
塔頂蒸気として汚れ成分が除去された洗浄溶剤蒸気が分
離され、第１蒸留塔凝縮器34にて液化後、第２蒸留塔35
に供給される。この場合、第１蒸留塔凝縮器34を設置せ
ず、第１蒸留塔塔頂蒸気をそのまま、第２蒸留塔35に供
給することも可能である。第２蒸留塔35では、第１蒸留
塔13から供給された汚れ成分を含まぬ溶剤中に含まれる
水分を第２蒸留塔35の気液接触部分49、52での蒸留操作
にて第２蒸留塔塔頂部から排出させ、所定の水分濃度あ
るいは、実質的に無水の精製溶剤を塔底部から回収す
る。精製回収された洗浄溶剤は蒸気洗浄室７に導入され
る。第２蒸留塔35からの塔頂蒸気の凝縮液が溶剤に富む
液層と水に富む液層に分離する場合は、水に富む層は第
２塔凝縮液分離槽39から分離液排出管42を通して排出さ
れ、溶剤に富む液層は第２蒸留塔塔頂部へ還流液として
第２蒸留塔還流管41を通してリサイクルされる。第２蒸
留塔塔頂蒸気の凝縮液が溶剤に富む液層と水に富む液層
に分離しない場合は、溶剤および水と最低沸共沸混合物
を形成する第３成分を添加成分供給管40より添加し、共
沸蒸留操作により塔頂より水と第３成分と洗浄溶剤の混
合蒸気として抜き出し第２蒸留塔凝縮器37にて凝縮液化
し、第２蒸留塔凝縮液分離槽39に導き、この分離槽にて
２液層に分離せしめ、第３成分に富む液層は第２蒸留塔
35に還流し、溶剤を含む水に富む層は、分離排出管42を
経て排出される。最低沸共沸混合物を形成するための第
３成分は洗浄溶剤と水と共に最低沸共沸混合物を形成
し、凝縮液が第３成分に富む液層と水に富む層の２液層
を形成するものから選定すれば良く、エタノール、イソ
プロパノール等の洗浄溶剤に対してはベンゼン、シクロ
ヘキサン等を使用できる。分離液排出管42を経て排出さ
れるこの溶剤を含む水に富む液層は第１蒸留塔13のメー
クアップ供給管43より水または水と溶剤が供給される場
合には、当該メークアップ供給管43に接続し、第１蒸留
塔13に供給され、水は第１蒸留塔13塔底より汚れ成分と
共に排出することも可能である。

【００１２】第１蒸留塔13および第２蒸留塔35のリボイ
ラーは、スチーム、加熱油、電気ヒーター等を熱源とす
る事ができ、第１蒸留塔凝縮器34および第２蒸留塔凝縮
器３７は、冷却水、ブライン等を冷媒として使用でき
る。また、凝縮器８および搬出入凝縮器２７および浸漬
洗浄槽９と浸漬冷却槽11の冷却用コイルの冷媒としては
冷却水、ブライン等が使用できる。浸漬洗浄槽９の加温
用コイルおよび洗浄液温調器28の熱媒としては、スチー
ム、加熱油、熱水等が使用できる。乾燥室には、乾燥用
媒体の加熱操作および被洗浄物表面上の洗浄溶剤の蒸発
乾燥操作が迅速且つ効率的に実施可能とするため、図９
の実施例に示す乾燥用媒体に適切な流れと効率的な熱移
動を可能ならしめる機構を設置する。

【００１３】

【実施例】

実施例１ 図１に本発明の実施の１例を示す。被洗浄物１は洗浄装
置内と外気を区切る境界シャッター４を開とし、搬出入
室２に搬入される。搬入後、該境界シャッター４を閉と
しスチーム、スチームと窒素、スチームと炭酸ガスなど
の不活性ガスがパージガスノズル３より放出され、搬出
入室２内の外気からの空気が混入した混合気体は混合気
体パージ管14を経て搬出入凝縮器27に導かれる。混合気
体中の溶剤蒸気とスチームは搬出入凝縮器27にて凝縮さ
れ、回収されて第１蒸留塔13に導かれる。一方、混合気
体中の空気は非凝縮性ガスとして他不活性ガスと共に非
凝縮ガス排出管17を経て選択的に大気に放出される。搬
出入室２でのパージガスパージは上述のごとく被洗浄物
１搬入後のみ実施することでも良いが、洗浄装置の運転
時間中継続実施しても良い。また、蒸気のパージガスパ
ージの所要時間を短縮するために被洗浄物１搬入後のパ
ージ流量を増大することも良い。パージガスパージ操作
が終了した後、乾燥室５との境界シャッター４を開とし
被洗浄物１を乾燥室５へ搬入する。乾燥室５への搬入が
終了したら境界シャッター４を閉とし、続いて洗浄室６
との境界シャッター４を開とした後被洗浄物を洗浄室６
に搬入する。搬入が終了したら当該境界シャッター４は
閉となる。浸漬洗浄槽９内の洗浄液は、槽内コイル内に
熱媒または冷媒を流してあるいは洗浄液をポンプ12およ
び洗浄液温調器28を通して望ましい温度条件に保持す
る。且つ、ポンプ12、洗浄液温調器28および洗浄液循環
管19を介して槽内に好ましい洗浄液流動状態を保持して
おく。好ましい洗浄液流動状態は、浸漬洗浄槽９に設置
された図７に例示するピストン流れ形成機構または図８
に例示する旋回流れ形成機構などの循環液分散機構32、
および洗浄液循環管19に設置された流れ線速度を調節可
能とする循環流量調節弁29の作動により達成される。洗
浄室６に搬入された被洗浄物１は浸漬洗浄槽９内で上述
のごとく適切な温度条件下で好ましい液流れ状態を保持
された洗浄液内に浸漬され、超音波振動子10による超音
波洗浄または不活性ガス供給管50から供給される不活性
ガスによるバブリング洗浄、揺動洗浄またはこれら洗浄
操作の組み合わせ洗浄が行われる。浸漬洗浄が終了した
被洗浄物は、蒸気洗浄室７との境界シャッター４を開と
した後蒸気洗浄室７に搬入され、該境界シャッター４は
閉とされる。搬入された被洗浄物は浸漬冷却槽11内の冷
却された清澄溶剤に浸漬され、被洗浄物上に残留する成
分を極少にすると同時に冷却される。冷却操作が完了し
た被洗浄物１は蒸気洗浄室７に保持され、蒸留塔13から
濃縮溶剤蒸気管21を通して供給される濃縮精製された溶
剤蒸気にて蒸気洗浄される。蒸留塔13からの溶剤蒸気は
蒸気洗浄用として使用され、その過剰分および蒸気洗浄
時以外の全蒸気量は溶剤蒸気管15を通し凝縮器８に導か
れ凝縮されて凝縮溶剤管16を経て浸漬冷却槽11に溜めら
れる。浸漬冷却槽11は、清澄な溶剤を冷却するために冷
媒による冷却コイルが設置される。過剰の凝縮溶剤は浸
漬冷却槽11からオーバーフローして浸漬洗浄槽９に送ら
れる。蒸気洗浄が終了した被洗浄物１は、洗浄室６との
境界シャッター４を開とし洗浄室６に搬送された後、該
境界シャッター４を閉とし、続いて、乾燥室との境界シ
ャッター４を開とし乾燥室５に搬入後該境界シャッター
４を閉とする。乾燥室で被洗浄物は外部からの熱源によ
り所定時間の乾燥操作が行われる。乾燥室５内には、図
９の実施例で示されるごとき循環加熱乾燥機構を設置す
る。洗浄された被洗浄物１は、循環ファン65と循環路側
板66にて形成される乾燥用媒体の循環路内に設置され、
加熱用コイルにて乾燥用媒体を加熱し、被洗浄物表面上
の溶剤を蒸発させ、乾燥させる。蒸発した溶剤蒸気は、
凝縮器接続ノズル６８より凝縮器８に導かれて凝縮し回
収される。乾燥操作の効率向上のため、パージガスを乾
燥媒体供給ノズル６７より供給することも可能である。
また、加熱用コイルは循環ファン直下には設置せず、被
洗浄物の下部にのみ設置することでも良い。乾燥操作の
終了後、搬出入室２との境界シャッター４を開として搬
出入室２に搬入される。搬入後該境界シャッター４を閉
として、パージガスノズル３からパージガスが放出さ
れ、搬出入室２内の混合気体を混合気体パージ管14を通
して搬出入凝縮器27に押し出す。当該混合気体中の溶剤
蒸気とスチームは搬出入凝縮器27にて回収される。搬出
入室２のパージガスパージが終了した後外気との境界シ
ャッター４が開とされ、被洗浄物１が洗浄装置から搬出
される。搬出後該境界シャッター４は閉とされ、一連の
被洗浄物の洗浄乾燥操作が完了する。パージガスパージ
は、被洗浄物１の洗浄装置外への搬出直前にのみ実施し
ても良いが洗浄装置の運転時間中継続実施しても良い。
また、上記のパージガスパージの所要時間を短縮するた
めに、被洗浄物１の洗浄装置外への搬出直前のパージ流
量を増大することも良い。上記では搬出入凝縮器27と凝
縮器８を別々に設置しているが、両者の機能を共有し、
凝縮された回収溶剤とスチームの凝縮水を凝縮溶剤管16
を通して浸漬冷却槽11に送る凝縮器８のみを設置しても
良い。また、搬出入凝縮器27を図６に示す如く搬出入室
内に設置することも可能である。

【００１４】実施例２ 図２は、実施例１に比し、被洗浄物の搬入室と搬出室を
別々に設置する場合の実施例である。この場合には、乾
燥室５は蒸気洗浄室７と搬出室31の間に設置される。被
洗浄物の洗浄および乾燥の一連の操作は、実施例１と同
様である。実施例１と同様に、搬出入凝縮器27は凝縮器
８に統合し、混合気体パージ管14を凝縮器８と接続した
凝縮器８のみを設置しても良く、搬出入凝縮器27の代わ
りに搬入室30および搬出室31のそれぞれに専用の凝縮器
をそれぞれの室内または室外に設置することでも良い。

【００１５】実施例３ 実施例３は実質上無水の洗浄溶剤による洗浄装置の例で
ある。図３によりこの例を説明する。図３は、実施例２
に比し、洗浄溶剤を実質上無水の溶剤として使用するた
めにパージガスとして窒素または炭酸ガスなどの実質上
無水の不活性ガスを用い、被洗浄物の洗浄装置内への搬
入に同伴して混入する微少量の水分と汚れ成分を溶剤か
ら分離除去するための２塔式蒸留塔ユニットと洗浄室６
にシャワーノズルを設置する場合の実施例である。被洗
浄物の洗浄および乾燥の一連の操作は、望ましい温度条
件に調整された洗浄溶剤をシャワー流量調節弁46にて適
正流量に調節し、シャワー液供給管47を通してシャワー
ノズル45に供給せしめ、洗浄室６にてシャワー洗浄を可
能にしている以外は、実施例２と同様である。洗浄溶剤
からの汚れ成分および水分の除去・分離に付いては、２
塔式蒸留塔ユニットで実施される。洗浄室６の浸漬洗浄
槽９は、洗浄液給入管18、ポンプ12、洗浄送液管20を介
して、第１蒸留塔13および第２蒸留塔35および付随する
凝縮器、凝縮液分離槽から成る蒸留塔システムに接続さ
れる。被洗浄物１から除去された汚れ成分と外気より同
伴された微少量の水分を含む洗浄溶剤は当該蒸留塔シス
テムにて処理される。汚れ成分は使用される溶剤の沸点
より高いので、蒸留塔システムでは、第１蒸留塔13に汚
染された洗浄溶剤を受け入れ、洗浄溶剤中の汚れ成分を
第１蒸留塔13塔頂蒸気として汚れ成分を含まぬ洗浄溶剤
を分離させ第１蒸留塔凝縮器34にて凝縮した後、第２蒸
留塔35に供給せしめる。この場合、第１蒸留塔凝縮器34
を設置せず、第１蒸留塔塔頂蒸気をそのまま第２蒸留塔
に供給せしめてもよい。第２蒸留塔35では、第１蒸留塔
13から供給された汚れ成分を含まぬ溶剤中に存在する外
気から被洗浄物の搬入と共に混入した水分あるいは溶剤
ロス分の補充用としてメークアップされた溶剤中に含ま
れる水分または両者の水分を、当該塔の気液接触部分4
9、52での蒸留操作にて第２蒸留塔35塔頂部から排出さ
せ、実質的に無水の汚れ成分を含まない精製溶剤は、第
２蒸留塔35の塔底気相部と蒸気洗浄室７とが濃縮溶剤蒸
気管21を介して接続され、蒸気洗浄室７に導入される。
第１蒸留塔13では、塔底の液留部に加熱源によるリボイ
ラーを持ち、汚れ成分が濃縮された液を再沸させて上昇
蒸気流を形成し、第１蒸留塔13内の気液接触部分48で塔
頂から流下する処理供給液と気液接触させ蒸留操作によ
り塔頂より汚れ成分の含まれない溶剤蒸気を得ると共
に、塔底からは汚れ成分を濃縮した微少量の溶剤廃液を
排液管22を経由して排出させ、ロス分の溶剤量をメーク
アップ供給管43から補充する。この場合、溶剤として、
水より沸点の低い溶剤が使用される場合には、メークア
ップ供給管43または、洗浄送液管20に少量の水またはロ
ス分の補充用としての微少量の溶剤または少量の水と補
充用溶剤の両者を供給することにより、第１蒸留塔13塔
頂からは、汚れ成分を含まない溶剤蒸気を得ると共に、
塔底からは水と汚れ成分と極微少量の溶剤を含む廃液を
排出させる。また、使用される溶剤が水より沸点の高い
場合において、汚れ成分より沸点が低く且つ、溶剤より
沸点の高い第２成分または第２成分混合物をメークアッ
プ供給管43より、ロス分の補充溶剤と共に供給し、第１
蒸留塔13塔頂より汚れ成分を含まぬ溶剤蒸気を得ると共
に塔底からは汚れ成分と第２成分または第２成分混合物
と微少量の溶剤を廃液として排出させる。この第２成分
または第２成分混合物としては、アルコール系、石油系
等の有機溶剤で適切な沸点範囲を持ち、入手し易く安価
なものを選定すれば良いが、安全性、取扱い易さの面か
らエチレングリコール等の水溶性または水への可溶性の
ものが好ましい。第１蒸留塔13塔頂からの汚れ成分を含
まぬ溶剤蒸気は、第１蒸留塔凝縮器34にて凝集・液化さ
れ、あるいは当該凝縮器を経由することなく溶剤蒸気の
ままで第２蒸留塔35へ処理原料として供給される。第２
蒸留塔35では、塔底部のリボイラー部にて再沸しこの処
理原料である汚れ成分は含まぬが微少量の水分を含む溶
剤を、共沸蒸留操作にて、塔底部からの実質的に無水の
精製溶剤と塔底部からの水に富む液層とに分離する。水
および溶剤と最低沸共沸混合物を形成する第３成分を添
加成分供給管40より供給し、第２塔還流管41から第２蒸
留塔35塔頂に導き、共沸蒸留操作により塔頂より水と第
３成分と溶剤成分の混合蒸気として抜き出し第２蒸留塔
37にて凝縮・液化させ、第２塔凝縮液分離層39に導き、
当該液分離槽39で第３成分に富む液層と溶剤を含む水に
富む液層に分離させる。第３成分に富む液層は第２蒸留
塔35に還流し、溶剤を含む水に富む液層は分離液排出管
42を通して排出させる。この溶剤を含む水に富む液層
は、第１蒸留塔13のメークアップ供給管43より水または
水と溶剤が供給される場合には、当該メークアップ供給
管43に接続されて、第１蒸留塔13に供給され、水は第１
蒸留塔13塔底より汚れ成分と共に排出することも可能で
ある。また、第２蒸留塔35では、処理原料である汚れ成
分は含まぬが微少量の水分を含む洗浄溶剤を、第２蒸留
塔35塔頂からの洗浄溶剤と水との最低沸共沸混合物また
はその共沸組成近傍の混合物の蒸気の凝縮液が溶剤に富
む液層と水に富む液層に分離する場合は、溶剤と水と共
に最低沸共沸混合物を形成する第３成分を供給すること
なく、溶剤に富む液層を還流液として第２塔還流管41を
経て第２蒸留塔塔頂に導き、水に富む液層を分離排出管
42から排出すると共に塔底部より脱水された洗浄溶剤を
得る。また、この水に富む液層は、第１蒸留塔13のメー
クアップ供給管43より水または水と溶剤が供給される場
合には、当該メークアップ供給管43に接続されて第１蒸
留塔13に供給しても良い。また、第２蒸留塔35では、処
理原料供給部より下方の気液接触部52での蒸留操作にて
溶剤成分の脱水・濃縮がなされ、塔底部に実質的に無水
の汚れ成分を含まぬ精製された溶剤が得られる。この精
製溶剤は、蒸気洗浄を行うために第２蒸留塔35塔底気相
部から取り出すことも、また蒸気洗浄を行わず浸漬洗
浄、シャワー洗浄、超音波洗浄、揺動洗浄を行う場合
は、第２蒸留塔35塔底液を第２塔底液抜き出し管44より
抜き出し、浸漬冷却槽11または浸漬洗浄槽９に送液する
事も可能である。搬出入凝縮器27は、実施例２と同様、
凝縮器８と兼用することも、あるいは搬入室及び搬出室
それぞれに専用の凝縮器としてそれぞれの室内または室
外に設置することも可能である。これら凝縮器にてパー
ジガス中から回収される溶剤は微少量の水分を含む可能
性があり、第２蒸留塔35の凝縮液分離槽39に導くことも
良いし、第１蒸留塔13のメークアップ供給管43に接続
し、第１蒸留塔に供給し精製しても良い。

【００１６】実施例４ 図４は、実施例３に比し、被洗浄物の搬入室と搬出室を
同一として設置する場合の実施例である。被洗浄物の洗
浄および乾燥、洗浄、溶剤の蒸留に関する一連の操作は
実施例３と同様である。

【００１７】実施例５ 図５は、溶剤と水との共沸混合物の沸点が水の沸点より
低く、洗浄溶剤として過剰の遊離水を除去して使用する
場合の実施例である。実施例１と比し、第１蒸留塔13の
塔頂蒸気として精製された溶剤中の過剰の水分を分離除
去するため、蒸留塔塔頂凝縮器60、凝縮液分離槽61およ
び再蒸発器62を設置した以外は同様である。第１蒸留塔
13の塔頂蒸気として精製された溶剤は、蒸留塔塔頂凝縮
器60にて凝縮・液化され、凝縮液分離槽61にて水に富む
層と溶剤に富む層に分離され、水に富む層は凝縮液管51
にて第１蒸留塔塔底部へ導かれ、溶剤に富む層は再蒸発
器62にて蒸発され、蒸気乾燥室７に導かれる。蒸気洗浄
を要しない場合は、再蒸発器62を設置せず、溶剤に富む
層はそのまま浸漬冷却槽11または浸漬洗浄槽９に送られ
る。

【００１８】実施例６ 図６は、実施例１に比し、洗浄乾燥器後の仕上がりでダ
スト付着を極小となし、第１蒸留塔13の塔下部に溶剤供
給を可能として、蒸留塔内の充填物、リボイラーチュー
ブ等の内部品に付着した汚れ等を洗浄可能とし、搬出入
凝縮器27を搬出入室内に設置した実施例である。搬出入
室２および／または乾燥室５へのパージガス中のダスト
除去および第１蒸留塔塔頂部からの精製溶剤蒸気中のダ
スト除去用にダストフィルター59を設備し、ダストを除
去して蒸気洗浄、乾燥およびパージガスパージの各操作
での被洗浄物へのダスト付着を防止する。第１蒸留等13
には、洗浄溶剤の処理原料としての主供給口に加えて、
溶剤下部供給管69にて微少量の溶剤が断続的または連続
的に供給され、蒸留塔内部品の洗浄を可能ならしめてい
る。また、搬出入凝縮器27は搬出入室内に設置されてい
る。被洗浄物１の洗浄・乾燥および蒸留の操作は、上記
を除き実施例１と同様である。

【００１９】

【発明の効果】

（１）本発明は、被洗浄物の洗浄装置への搬出入に伴
い、洗浄装置内に侵入する空気を不活性ガスパージ機構
にて強制的に各種の凝縮器に排出し、溶剤を凝縮分離
し、空気は非凝縮性ガスとして系外に排出されるように
してあるため、溶剤を洗浄溶剤として用いる洗浄装置に
おいて空気と洗浄装置内の溶剤蒸気との混合による可燃
性気体の形成を防止し、火災爆発の危険性を消滅できた
と共に、洗浄装置内からの溶剤蒸気の漏洩を防止でき、
安全と環境保全の要請に合致する。 （２）洗浄室にシャワー洗浄機構を設けたことと、浸漬
洗浄操作において、洗浄液の温度調節機構により洗浄溶
剤の汚れ成分である切削油、機械油、脂肪等に対する溶
解性を高く保ち、且つ浸漬洗浄槽内の洗浄液を好ましい
流れ状態に保持する機構を設けたことにより超音波洗
浄、バブリング洗浄、揺動洗浄またはこれら洗浄操作の
組み合わせによって被洗浄物からの汚れ成分の剥離性を
向上させることが可能となった。 （３）冷却された清澄な溶剤の浸漬冷却槽を設置し被洗
浄物を効果的に冷却できるようにしたため、被洗浄物上
に残留する汚れ成分を極少にした上で多量の溶剤蒸気が
被洗浄物上に凝縮するため蒸気洗浄性を向上できた。 （４）蒸気洗浄操作は、本洗浄操作を構成する蒸留塔で
の溶剤蒸気の冷却による凝集操作を代行するものであ
る。即ち、蒸気洗浄操作を実施しない場合は、この蒸気
洗浄で被洗浄物の表面で凝縮液化した溶剤蒸気量分だ
け、凝縮器での冷媒の消費量が増加することになる。従
い、本装置による蒸気洗浄操作は総合的エネルギー有効
利用の面でも寄与している。 （５）蒸留塔システムにて精製される蒸気洗浄用の精製
溶剤蒸気およびパージガス中よりダスト類を除去する機
構を設置したので、洗浄・乾燥の仕上げで被洗浄物への
ダスト類の付着を極少とする事が可能となった。 （６）乾燥用媒体として蒸留精製された清澄な溶剤蒸気
またはこの溶剤蒸気とパージガスとの混合物を用いたリ
サイクル乾燥機構を設置したので、安全且つ経済的な乾
燥操作を行うことが可能となった。 （７）無水の洗浄溶剤による洗浄、乾燥操作を要する場
合においては、本発明では、実質的に無水の洗浄溶剤を
精製・回収・再利用するために、２塔の蒸留塔システム
を採用したため、洗浄溶剤の消費量を著しく削減できた
と共に被洗浄物からの汚れ成分と外気から混入する大気
中の水分およびメークアップの溶剤中の水分を濃縮分離
することを可能としており、汚れ成分が濃縮された廃液
・排水を極少量にすることができた。特に、汎用溶剤と
して溶剤の沸点あるいは溶剤と水との共沸混合物の沸点
が水の沸点より低いエタノール、イソフロパノール、シ
クロヘキサン、ベンゼン、トルエン、キシレン、メチル
エチルケトン等を使用する場合には、第１蒸留塔に洗浄
室からの汚れ成分を含んだ洗浄溶剤の他に、水または水
とメークアップ溶剤を供給することにより、第１蒸留塔
塔底から汚れ成分を微少量の溶剤を含む水と共に選択的
に排出させることが可能となり、廃液量を著しく削減で
きると共に廃液処理を著しく容易なものとなった。ま
た、本発明の洗浄装置内で水分除去を達成することがで
きるため、メークアップの汎用溶剤は、特別に水分濃度
を低下させた高品質のものを要せず、総合的に経済的に
も有利となった。さらに、蒸気洗浄用の無水溶媒は、第
２蒸留塔塔底部のリボイラーにて常時発生させることが
でき、このため特別な蒸気発生装置を要せず簡潔で経済
的な設備とし得た。 （８）洗浄溶剤を清澄な精製溶剤としてリサイクル使用
することを可能ならしめる蒸留塔に断続的または連続的
に蒸留塔内部品を洗浄可能とする機構を設置したので蒸
留塔の性能を維持し、保守を容易なものとなし得た。 （９）本発明は以上の如く、電子部品、電気部品、機械
部品、医療機器部品、樹脂加工品、印刷用スクリーン等
の精密洗浄、光学部品、装飾品などに要求されるダスト
付着を極少とする洗浄、電気・電子部品、精密機械部品
などの超精密洗浄においての残留イオン量を極少とする
ためや紙を素材とする基板などの洗浄においての材質保
護のために無水の溶剤による洗浄を必要とする場合に、
従来より使用されてきたフロン、1,1,1 −トリクロロエ
タン等に代替し、メタノール、エタノール、イソプロパ
ノール、ブタノール、ペンタン、ヘキサン、シクロヘキ
サン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン、石油ベン
ジン、石油スピリット、ガソリン、石油ナフサ、アセト
ン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、ベ
ンゼン、トルエン、キシレン等の汎用の炭化水素溶剤を
使用し溶剤がリサイクル使用され、且つ被洗浄物からの
汚れ成分を含む廃液排出量は極めて少量であるため環境
保全に資すると共に、安価な溶剤を用いた廉価な運転コ
ストを実現できる安全で経済的な洗浄・乾燥操作を可能
とした。

【図面の簡単な説明】

【図１】 搬入室と搬出室を兼用する搬出入室２を有
し、１塔式蒸留塔ユニットにて洗浄溶剤を精製し、リサ
イクル使用する本発明のフローシートである。

【図２】 搬入室30と搬出室31とを別々に有し、１塔式
蒸留塔ユニットにて洗浄溶剤を精製し、リサイクル使用
する本発明のフローシートである。

【図３】 搬入室30と搬出室31とを別々に有し、２塔式
蒸留塔ユニットにて洗浄溶剤を精製し、リサイクル使用
する本発明のフローシートである。

【図４】 搬入室と搬出室を兼用する搬出入室２を有
し、２塔式蒸留塔ユニットにて洗浄溶剤を精製し、リサ
イクル使用する本発明のフローシートである。

【図５】 図１のフローに、蒸留塔システムにて得られ
る精製溶剤から過剰の遊離水を除去した洗浄溶剤として
使用する機構を加えた本発明のフローシートである。

【図６】 図１のフローに、被洗浄物の洗浄乾燥仕上が
りでダスト類の付着を極少とし、蒸留塔システムの塔内
部品の洗浄を可能ならしめ、搬出入凝縮器27を搬出入室
内２に設置した場合の本発明のフローシートである。

【図７】 浸漬洗浄槽９のピストン流れ形成機構を説明
する図で、（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図である。

【図８】 浸漬洗浄槽９の旋回流れ形成機構を説明する
図で、（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図である。

【図９】 乾燥室５の循環加熱乾燥機構を説明する図
で、（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図である。

【符号の説明】

１ 被洗浄物 ２ 搬出入室 ３ パージガスノズル ４ シャッター ５ 乾燥室 ６ 洗浄室 ７ 蒸気洗浄室 ８ 凝縮器 ９ 浸漬洗浄槽 10 超音波振動子 11 浸漬冷却槽 12 ポンプ 13 第１蒸留塔 14 混合気体パージ管 15 溶剤蒸気管 16 凝縮溶剤管 17 非凝縮ガス排出管 18 洗浄液吸入管 19 洗浄液循環管 20 洗浄送液管 21 濃縮溶剤蒸気管 22 排液管 23 冷媒供給管 24 冷媒排出管 25 熱媒供給管 26 熱媒排出管 27 搬出入凝縮器 28 洗浄液温調器 29 循環流量調節弁 30 搬入室 31 搬出室 32 循環液ノズルまたは分散機構 33 第２塔供給管 34 第１塔凝縮器 35 第２蒸留塔 36 第２塔頂蒸気管 37 第２塔凝縮器 38 第２塔凝縮液管 39 第２塔凝縮液分離槽 40 添加成分供給管 41 第２塔還流管 42 分離液排出管 43 メークアップ供給管 44 第２塔底液抜き出し管 45 シャワーノズル 46 シャワー液量調節弁 47 シャワー液供給管 48 第１蒸留塔気液接触部分 49 第２蒸留塔気液接触部分 50 不活性ガス供給管 51 凝縮液管 52 第２蒸留塔下部気液接触部 53 循環液供給口 54 循環液排出口 55 均一分散管 56 均一分散層 57 整流板 58 パージガス供給管 59 ダストフィルター 60 蒸留塔塔頂凝縮器 61 凝縮液分離槽 62 再蒸発器 63 加熱用コイル 64 コンベア 65 循環ファン 66 循環路側板 67 乾燥媒体供給ノズル 68 凝縮器接続ノズル 69 溶剤下部供給管

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 不燃性のパージガス供給装置を有する被
   洗浄物の搬入搬出用室、洗浄室、乾燥室、パージガスに
   随伴する洗浄溶剤を凝縮する１つ以上の凝縮器および被
   洗浄物から除去された汚れ成分を洗浄溶剤から分離し且
   つ溶剤を精製濃縮して再使用するための蒸留塔システム
   からなり、洗浄剤として有機溶剤を用いる洗浄・乾燥装
   置にあって、前記パージガスに随伴する洗浄溶剤用凝縮
   器を搬入搬出用室内に設置することを特徴とする溶剤を
   用いる洗浄・乾燥装置。
2. 【請求項２】 パージガスおよび蒸留塔システムにて精
   製濃縮された洗浄溶剤蒸気中のダストを除去する機構を
   備えたことを特徴とする請求項１記載の溶剤を用いる洗
   浄・乾燥装置。
3. 【請求項３】 請求項１又は２記載の蒸留塔システム
   に、汚れ成分を含む洗浄溶剤の主供給口以外に、蒸留塔
   下部に設けた供給口から連続もしくは断続的に溶剤供給
   を可能とする機構を設けたことを特徴とする請求項１又
   は２記載の溶剤を用いる洗浄・乾燥装置。
4. 【請求項４】 水の沸点より高い沸点を有する洗浄溶媒
   もしくは水との共沸混合物の沸点が水の沸点より高い沸
   点を有する洗浄溶媒を用いて請求項１〜３の何れか１項
   記載の洗浄・乾燥装置にて被洗浄物を洗浄するにあた
   り、２塔の蒸留塔を用いて、第１蒸留塔に汚れ成分を含
   む洗浄溶剤と洗浄溶剤より沸点が高く汚れ成分より沸点
   が低い水を含むことある第２成分を供給し、第１蒸留塔
   塔底部より濃縮された汚れ成分および水を含むことのあ
   る第２成分を排出し、第１蒸留塔塔頂部より溶剤中の過
   剰の水分を分離し、残余の溶剤を第２蒸留塔に導入し、
   第２蒸留塔塔底部から濃縮精製された洗浄溶剤を回収す
   ることを特徴とする洗浄・乾燥装置の運転方法。