CN109454042A - 工件清洁装置以及工件清洁方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够抑制溶剂蒸气的损失的工件清洁装置。工件清洁装置(1)具备输入输出室(8)、以及配置于输入输出室(8)的下方的处理室(9)，输入输出室(8)的输入输出口(4)由外门(6)封闭，输入输出室(8)与处理室(9)的连通口(50)由作为内门的内门(11)封闭。在处理室(9)内的底侧配置有清洁槽(12)，在清洁槽(12)的上侧形成有蒸气清洁区域(14)，在蒸气清洁区域(14)的上侧形成有具备冷却盘管的冷却干燥区域(16)。对外门(6)和作为内门的内门(11)独立地进行开闭控制，从而，在清洁动作中，不会形成为处理室(9)经由输入输出室(8)而与外部连通的状态。

Description

工件清洁装置以及工件清洁方法

技术领域

本发明涉及用于电子零部件、金属零部件等各种工件的清洁的工件清洁装置及工件清洁方法。

背景技术

作为工件清洁装置，已知专利文献1中公开的单槽式工件清洁装置。在该专利文献1所公开的工件清洁装置中，在其箱主体内的下部配置有供溶剂贮存的清洁槽，在清洁槽的溶剂液面的上侧形成有蒸气清洁区域，在该蒸气清洁区域的上侧形成有配置有冷却盘管(coil)的冷却区域，冷却区域的上侧为干燥区域。在干燥区域形成有工件出入口。

在该结构的工件清洁装置中，仅在进行蒸气清洁时将蒸气溶剂从蒸气发生槽侧向蒸气清洁区域供给，从而，与始终供给溶剂蒸气的情况相比，溶剂消耗量得到抑制。另外，从蒸气清洁区域中的冷却区域侧的部分对蒸气溶剂进行吸引回收，从而，被带到冷却区域的上侧的蒸气溶剂的损失得到抑制。

专利文献

专利文献1：日本特开2005－74319号公报

发明内容

但是，蒸气清洁区域经由冷却区域而与其上侧的干燥室或者工件出入室连通。即便对蒸气清洁区域的溶剂蒸气量进行控制、且对溶剂蒸气进行吸引控制，溶剂蒸气也依然有可能在形成有工件出入口的那侧漏出。另外，由于需要附加设置用于对溶剂蒸气进行供给控制的控制机构、用于吸引溶剂蒸气的吸引机构，因此，制造成本有所提升。

例如，作为工件清洁装置的清洁剂而使用氟系溶剂。氟系溶剂的挥发性较高且干燥性良好，因此，容易经由工件出入口而向大气中漏出。由于氟系溶剂价格昂贵，因此，希望尽可能地抑制伴随着蒸气的产生的损失量。

本发明的目的在于提出一种能够抑制溶剂蒸气的损失的单槽式或者多槽式的工件清洁装置以及清洁方法。

本发明的工件清洁装置的特征在于，其具有：

输入输出室，该输入输出室具备工件的输入输出口；

外门，该外门对所述输入输出口进行开闭；

处理室，该处理室经由连通口而与所述输入输出室连通；

内门，该内门对所述连通口进行开闭；

清洁槽，该清洁槽配置于所述处理室的内部、且供溶剂贮存；

蒸气清洁区域，该蒸气清洁区域在所述处理室的内部设置于所述清洁槽的上侧；

冷却干燥区域，该冷却干燥区域在所述处理室的内部设置于所述蒸气清洁区域的上侧，并与所述连通口对置；

输送机构，该输送机构经由所述连通口而将工件向所述输入输出室以及所述处理室输送；以及

蒸气发生槽，该蒸气发生槽用于向所述蒸气清洁区域供给溶剂蒸气。

另外，本发明是利用上述结构的工件清洁装置的工件清洁方法，其特征在于，

在将所述处理室与所述输入输出室之间的所述连通口关闭的状态下，从所述输入输出口将作为清洁对象的工件输入至所述输入输出室，

在将所述输入输出口关闭之后将所述连通口打开，使工件从所述输入输出室下降至浸渍于在所述处理室内的清洁槽贮存的溶剂中的位置而进行该工件的清洁处理，

在清洁之后，经由所述蒸气清洁区域及所述冷却干燥区域而使工件上升至所述输入输出室，然后将所述连通口关闭，

借助热交换器而使所述输入输出室内的气体循环，由此对所述气体中含有的溶剂进行冷却而使之液化并对其进行回收，

然后，将所述输入输出口打开并将处理后的工件输出。

本发明中，在输入输出口打开的状态下，必须将处理室与其上方的输入输出室之间隔断。阻止存在溶剂蒸气的处理室内部的蒸气清洁区域以及冷却干燥区域变为经由输入输出室而与外部连通的状态。因而，能够可靠地防止溶剂蒸气向外部漏出，从而能够尽可能地减少溶剂蒸气的损失。

仅进行输入输出室的输入输出口的开闭、以及输入输出室与处理室之间的连通口的开闭，便能够降低溶剂蒸气的损失。通过廉价地构成开闭机构，装置成本的提升也得到抑制。

由于仅在工件的输入、输出时使输入输出口敞开即可，因此，从外部经由输入输出口而侵入的空气的侵入量也减少。若从外部侵入的空气中含有的水分经由输入输出室而进入至处理室内，则在冷却干燥区域被冷却而在冷却盘管等的表面产生结露，从而产生其冷却效率降低等弊端。通过本发明还能够消除或者抑制该弊端。

可以将所述输入输出口分为工件的输入口以及工件的输出口，并作为外门而配置对输入口进行开闭的输入侧外门、以及对输出口进行开闭的输出侧外门。还可以将所述连通口分为将工件向处理室输送的输入侧连通口、以及将工件从处理室输出的输出侧连通口，并作为内门而配置对输入侧连通口进行开闭的输入侧内门、以及对输出侧连通口进行开闭的输出侧内门。另外，还可以将所述输入输出口分为工件的输入口以及工件的输出口，并配置对输入口进行开闭的输入侧外门、以及对输出口进行开闭的输出侧外门，与此同时，将所述连通口分为输入侧连通口以及输出侧连通口，并配置对输入侧连通口进行开闭的输入侧内门、以及对输出侧连通口进行开闭的输出侧内门。

在处理室内配置有2个槽或者2个槽以上的清洁槽等处理槽的多槽式工件清洁装置等的情况下，优选地，将所述输入输出室分为输入室以及输出室，并配置对形成于输入室的输入口进行开闭的输入侧外门、以及对形成于输出室的输出口进行开闭的输出侧外门，并且，配置对将输入室和处理室连通的输入侧连通口进行开闭的输入侧内门、以及对将输出口和处理室连通的输出侧连通口进行开闭的输出侧内门。

本发明中，可以采用在处理室内配置有清洁槽和蒸气发生槽的双槽式结构。例如，在处理室的内部将蒸气发生槽配置于与清洁槽在横向上相邻的位置。在该情况下，作为输送机构，可以配置经由输入侧连通口而使工件升降的第一升降机构、经由输出侧连通口而使工件升降的第二升降机构、以及在蒸气清洁区域内对工件进行横向输送且从第一升降机构向第二升降机构交接的横向输送机构。

本发明中，可以采用在处理室内配置有多个清洁槽的多槽式结构。例如，可以采用三槽式结构，其中，作为清洁槽，至少在横向上对第一清洁槽和第二清洁槽进行相邻配置，并在处理室的内部将蒸气发生槽配置为在第一清洁槽的相反侧与第二清洁槽相邻。

在该情况下，例如，将第一清洁槽的正上方的位置设为经由输入侧连通口而将工件输入的输入位置，并将蒸气发生槽的正上方的位置设为经由输出侧连通口而将工件输出的输出位置。另外，例如，作为输送机构而配置有：输入机构，该输入机构将工件从所述输入室经由输入侧连通口而向所述输入位置输入；第一升降机构，该第一升降机构将输入至输入位置的工件向冷却干燥区域、蒸气清洁区域以及第一清洁槽输送；第二升降机构，该第二升降机构将工件向蒸气清洁区域以及第二清洁槽输送；第三升降机构，该第三升降机构将工件向蒸气清洁区域、冷却干燥区域以及输出位置输送；输出机构，该输出机构将工件从输出位置经由输出侧连通口而向输出室输出；以及横向输送机构，该横向输送机构在蒸气清洁区域内沿横向对工件进行输送而将该工件从第一升降机构依次向第二升降机构、第三升降机构交接。

可以在处理室的内部的冷却干燥区域的上侧设置工件输入输出区域。在该情况下，在工件输入输出区域中，可以将第一清洁槽的正上方的位置设为经由输入侧连通口而将工件输入的输入位置，并将蒸气发生槽的正上方的位置设为经由输出侧连通口而将工件输出的输出位置。

在该情况下，可以在工件输入输出区域中的输出位置与输出侧连通口之间设置干燥区域，并在利用输出机构将工件从输出位置输送至干燥区域而使其干燥之后将该工件输出。

本发明中，可以借助热交换器而一边对所述输入输出室内的气体进行冷却、一边使其循环。在热交换器中对与从冷却干燥区域拉升至输入输出室(输出室)的工件一起进入输入输出室(输出室)的溶剂蒸气进行冷却而使其液化。由此，能够可靠地回收溶剂蒸气。

本发明中，可以使用氟系溶剂作为溶剂。与其他溶剂相比，氟系溶剂的价格昂贵。根据本发明的方法，由于减少了溶剂向外部泄漏的损失，因此，与以往相比，能够降低运营成本(running cost)。

另外，在处理室内配置有多个清洁槽的情况下，例如，可以将第一清洁槽作为使用烃系清洁剂进行清洁的清洁槽，并将第二清洁槽作为使用氟系清洁剂进行清洁的清洁槽。

为了对经由输入输出口而向处理室输入之前的工件进行清洁，可以配置至少为单槽的前段侧清洁槽而构成多槽式工件清洁装置。在该情况下，例如，可以将前段侧清洁槽作为使用烃系溶剂对工件进行清洁的清洁槽，并将处理室内的清洁槽作为使用氟系溶剂对工件进行清洁的清洁槽。

本发明的装置中，作为对内门进行开闭的内门开闭机构，可以使用能够在将输出输入室(输入室、输出室)与处理室之间的连通口(输入侧连通口、输出侧连通口)隔断的隔断位置以及使连通口敞开的敞开位置之间滑动的内门。在该情况下，优选地，使内门的两侧的边缘部分形成为相对于从敞开位置朝向隔断位置的前进方向以锐角而倾斜的倾斜边缘部分，并使处于隔断位置的内门的倾斜边缘部分所对置的连通口的两侧的开口边缘部分形成为在与倾斜边缘部分抵接的状态下能够跃升至该倾斜边缘部分的互补的倾斜面形状。

当将内门关闭时，内门的两侧的倾斜边缘部分以与连通口的两侧的开口边缘部分抵接的状态而跃升至该开口边缘部分。通过这些边缘部分的倾斜面相互卡合，使得内门的外周边缘部分被可靠地按压于连通口的开口边缘部分。无晃动、且可靠地形成为连通口的隔断状态。

另外，在工件清洁装置中配置有向清洁室补充溶剂的溶剂箱、对冷却干燥区域中冷凝液化的溶剂进行回收并使水分从回收的溶剂中分离而进行再生的水分离器等。

附图说明

图1是示出应用本发明的单槽式工件清洁装置的内部构造的主视结构图、侧视结构图以及俯视结构图。

图2是工件清洁装置的配管系统图。

图3是工件清洁装置的概要结构图、示出清洁动作的一例的说明图以及示出输入输出室和连通口的其他配置例的说明图。

图4A是示出工件清洁装置的升降机构的主视图、侧视图以及俯视图。

图4B是示出升降机构的其他例子的主视图、从箭头b的方向观察时的说明图、从箭头c的方向观察时的说明图、以及从箭头d的方向观察时的说明图。

图5A是示出工件清洁装置的输入输出口的外门开闭机构的俯视图、主视图以及侧视图。

图5B是示出外门开闭机构的其他例子的说明图。

图6是示出工件清洁装置的内门开闭机构的俯视图、主视图以及侧视图。

图7是示出应用本发明的双槽式工件清洁装置的结构图以及动作说明图。

图8是示出应用本发明的三槽式工件清洁装置的结构图以及动作说明图。

图9是示出应用本发明的四槽式工件清洁装置的结构图以及动作说明图。

图10是示出应用本发明的工件清洁装置的结构图。

附图标记说明：

1…工件清洁装置；2…装置壳体；3…操作显示面板；4…输入输出口；5…开闭机构；6…外门；6A…打开位置；6B…关闭位置；7…处理容器；8…输入输出室；9…处理室；10…内门开闭机构；11…内门；11a…内门主体板部分；11b…缘板部分；11A…打开位置；11B…隔断位置；12…清洁槽；13…溶剂液面；14…蒸气清洁区域；15…冷却盘管；16…冷却干燥区域；17…蒸气发生槽；18…水分离器；19…冷却盘管；21…氟系溶剂箱；22…制冷器；23…热交换器；25…升降机构；26…动力缸；27…伸缩杆；28…工件输送筐；29…承载台；31…补充管线；33…泵；34…回流管线；35…过滤器；36…送风风扇；37…循环管线；38…制冷剂循环管线；41…动力缸；42…导轨；43、44…卡合板；45、46…锁定用柱塞；47…弹性部件；50…连通口；50a…开口边缘部分；51…内门安装框；52…导轨；53…齿条；54…小齿轮；55…马达；56…导辊。

具体实施方式

以下，参照附图，对应用本发明的单槽式及多槽式的工件清洁装置的实施方式进行说明。这些实施方式示出了本发明的应用例，并不意图将本发明限定于这些实施方式。另外，以下的各实施方式中，虽然使用氟系溶剂作为溶剂，但是，对于可使用的溶剂，也可以使用氟系溶剂以外的溶剂，可以使用烃系溶剂、醇系溶剂、其他挥发性的非水系溶剂。

[实施方式1]

图1(a)、图1(b)及图1(c)是示出实施方式1所涉及的工件清洁装置的内部结构的主视结构图、侧视结构图及俯视结构图。图2是工件清洁装置的配管系统图。首先，参照图1进行说明，工件清洁装置1具备整体为长方体形状的装置壳体2。在装置壳体2的前表面的一端部安装有操作显示面板3，形成为矩形轮廓的工件的输入输出口4在装置壳体2的前表面的中央上端侧的部分开口。能够利用借助外门开闭机构而执行动作的外门6对输入输出口4进行开闭。

在装置壳体2的内部，在其上部的前侧部分配置有工件的输入输出室8。在输入输出室8的下侧配置有沿上下方向延伸的处理室9。输入输出口4在输入输出室8开口。输入输出室8与处理室9之间借助连通口50而连通。能够利用借助内门开闭机构而执行动作的内门对连通口50进行开闭。本例中，作为内门开闭机构而配置有内门开闭机构10，内门开闭机构10使作为内门配置的内门11滑动而对连通口50进行开闭。

由图2可知：在下侧的处理室9的内部，在其最下侧配置有供溶剂贮存的清洁槽12。清洁槽12的溶剂液面13的上侧为蒸气清洁区域14。在蒸气清洁区域14的上侧为冷却干燥区域16，该冷却干燥区域16由卷绕成矩形框状的冷却盘管15来规定。本例中，作为溶剂而使用氟系清洁液。

在处理室9的装置宽度方向上的一侧配置有兼用作蒸馏装置的蒸气发生槽17。蒸气发生槽17外装于处理室9，其上端侧的部分借助在处理室9的侧面形成的连通口而与处理室内的蒸气清洁区域14连通。在处理室9的蒸气发生槽17的相反侧附加设置有对从清洁槽12溢流的溶剂进行回收的溢流箱63。在溢流箱63的侧方配置有水分离器18。

如图1所示，在装置壳体2内的背面侧，在装置宽度方向上的一侧配置有供作为溶剂的氟系清洁液贮存的氟系溶剂箱21，在该氟系溶剂箱21的下侧配置有制冷器22。在装置宽度方向上的另一侧配置有用于一边对输入输出室8内的气体进行冷却、一边使其循环的热交换器23。

在装置壳体2的顶面安装有升降机构25(工件输送机构)。升降机构25具备相对于装置壳体2的顶面以朝向下方的状态垂直安装的动力缸26。从动力缸26向下方延伸的伸缩杆27将处理容器7贯穿并向输入输出室8内延伸。在伸缩杆27的下端部悬挂有用于供长方体形状的工件输送筐28载置的承载台29。可以使用各种升降机构来代替升降机构25。例如，如后所述(参照图4B)，可以使用由齿条、小齿轮构成的升降机构。

参照图2进一步进行说明，将作为清洁对象的工件置入工件输送筐28(篮子)而从输入输出口4输入至输入输出室8并向升降机构25交接。能够利用升降机构25而使工件输送筐28从输入输出室8内的位置经由连通口50而下降至清洁槽12内的位置。在清洁槽12贮存有恒定量的溶剂。当溶剂液面13低于设定水平时，从氟系溶剂箱21通过补充管线31而补充溶剂，使得溶剂液面13的水平保持恒定。氟系溶剂箱21内的上部空间和处理室9中的清洁槽12的上侧的内部空间经由连通管线68a而连通，从而不会产生内压差。

在清洁槽12的底部配置有超声波振子32。能够对处于在清洁槽12的贮存溶剂中浸渍的位置的工件输送筐28中的工件(未图示)实施超声波清洁。从清洁槽12溢流的溶剂被回收至溢流箱63。在溢流箱63中，对从清洁槽12溢流的溶剂进行冷却，利用泵33将该溶剂从在溢流箱63的底面开口的连通口向回流管线34吸引，借助过滤器35将异物(污垢)除去并使其回流至清洁槽12。另外，在溢流箱63的规定的高度位置处形成有回收口63a。从清洁槽12流动降落至溢流箱63的溶剂的一部分通过回收口63a而向蒸气发生槽17供给。

将在蒸气发生槽17中通过加热器的加热而生成的溶剂蒸气向清洁槽12的上侧的蒸气清洁区域14供给。对于进行超声波清洁之后被拉升至比清洁槽12的溶剂液面13更靠上侧的蒸气清洁区域的工件输送筐28中的工件实施蒸气清洁。蒸气溶剂的一部分流入在蒸气清洁区域14的侧方配置的回收区间19a，利用配置于回收区间19a内的冷却盘管19b对该蒸气溶剂进行冷却而使其凝聚液化。液化的溶剂经由在回收区间19a的底面开口的回收管线19c而回收至水分离器18。

对于蒸气清洁后的工件，在其上方的冷却干燥区域16中实施干燥处理。在冷却干燥区域16中，与工件一起拉升的溶剂附着于将冷却干燥区域16的外周包围的冷却盘管15而被冷却、进而凝聚液化。通过将附着于工件的溶剂除去而使工件干燥。液化的溶剂流动降落至回收区间19a，并通过在其底面开口的回收管线19c而回收至水分离器18。

水分离器18被划分为第一槽、第二槽、第三槽18a、18b、18c。从回收管线19c回收至水分离器18的溶剂(氟化氢系溶剂)流动降落至第一槽18a。流动降落至第一槽18a的溶剂中所含有的水因比重差而分离并上浮至液面上。水分分离后的溶剂经由在第一槽18a的底侧形成的连通口而进入第二槽18b，进而从第二槽18b溢流并流动降落至第三槽18c。与水分离且贮存于第三槽18c的溶剂经由在其底部开口的连通管线18d而向溢流箱63返回。

在将工件输送筐28从冷却干燥区域16拉升至上侧的输入输出室8之后，当将内门11关闭时，输入输出室8相对于下侧的处理室9被隔断。在该密闭状态下，利用送风风扇36并借助热交换器23而一边对输入输出室8内的气体进行冷却、一边使该气体在循环管线37循环。利用该循环流，即便存在与工件一同被拉升至输入输出室8的蒸气溶剂，这样的蒸气溶剂也会在热交换器23中冷却冷凝而实现液化并通过回收管线23a及回收管线19c而回收至水分离器18。因而，蒸气溶剂被可靠地除去而不会向外部漏出。此后，当将外门6打开时，能够将搭载有清洁干燥后的工件的工件输送筐28经由输入输出口4而向外部输出。

另外，来自制冷器22的制冷剂循环管线38布设为经由热交换器23、冷却干燥区域16中的冷却盘管15、冷却盘管19b、水分离器18内的冷却盘管、氟系溶剂箱21，从而对上述这些部分进行冷却。

(清洁动作的一例)

图3(a)及图3(b)是用于示出上述结构的工件清洁装置1的清洁动作的一例的结构图及动作说明图。参照这些图进行说明，首先，在利用内门11将输入输出室8与处理室9之间的连通口50隔断的状态下，将外门6打开，经由输入输出口4而将搭载有作为清洁对象的工件的工件输送筐28输入，并将工件输送筐28载置于在输入输出室8内等待的升降机构25的工件承载台29(图3(b)：置入篮子)。

接下来，将外门6关闭(图3(b)：关闭外门)，然后，使内门11滑动而将连通口50的隔断解除，由此将该连通口50打开(图3(b)：打开内门)。然后，利用升降机构25使输入至输入输出室8的、搭载有工件的工件输送筐28经由连通口50而下降至浸渍于在处理室9的底侧配置的清洁槽12的溶剂中的位置(图3(b)：下降)。

在该状态下，在规定时间内对工件进行超声波清洁(图3(b)：超声波清洁)。在超声波清洁之后，利用升降机构25将搭载有工件的工件输送筐28拉升至溶剂液面13的上方的位置(图3(b)：上升)。在蒸气清洁区域14保持规定时间而对工件实施蒸气清洁(图3(b)：蒸气清洁)。

在蒸气清洁之后，利用升降机构25将搭载有工件的工件输送筐28从蒸气清洁区域14拉升至设置于其上侧的冷却干燥区域16(图3(b)：上升)。在冷却干燥区域16中以规定时间对工件进行保持，由此，将溶剂除去而使工件变得干燥(图3(b)：干燥)。

此后，经由连通口50而将工件拉升至输入输出室8内(图3(b)：上升)。然后，使内门11移动而将连通口50关闭，由此使得输入输出室8的内外隔断(图3(b)：关闭内门)。在该状态下，利用送风风扇36并借助热交换器23而以规定时间使输入输出室8内的气体循环。由此，在热交换器23中对气体中所含有的溶剂进行冷却而使之液化并对其进行回收(图3(b)：回收)。

然后，利用外门开闭机构5使外门6滑动而将输入输出口4打开(图3(b)：打开外门)。此后，将搭载有清洁干燥处理后的工件的工件输送筐28从承载台29向前方拉出，并将其从输入输出口4向装置外输出(图3(b)：取出篮子)。

另外，本例中，从同一位置进行工件的输入输出，输入输出室与处理室之间通过1个连通口而连接。如图3(c1)所示，也可以取而代之地将输入输出口分为工件的输入口以及工件的输出口这2个开口，并作为外门而配置对输入口进行开闭的输入侧外门以及对输出口进行开闭的输出侧外门。另外，如图3(c2)所示，可以将连通口分为将工件向处理室输送的输入侧连通口以及将工件从处理室输出的输出侧连通口这2个开口，并作为内门而配置对输入侧连通口进行开闭的输入侧内门、以及对输出侧连通口进行开闭的输出侧内门。并且，如图3(c3)所示，还可以将输入输出口分为工件的输入口以及工件的输出口这2个开口，并配置对输入口进行开闭的输入侧外门以及对输出口进行开闭的输出侧外门，与此同时，将连通口分为输入侧连通口以及输出侧连通口这2个开口，并配置对输入侧连通口进行开闭的输入侧内门以及对输出侧连通口进行开闭的输出侧内门。

(升降机构)

图4A(a)是示出升降机构25(工件输送机构)的一例的主视图，图4A(b)是其侧视图，图4A(c)是示出其承载台29的俯视图。如上所述，升降机构25具备动力缸26、伸缩杆27以及在伸缩杆27的下端安装的承载台29。

承载台29在侧视时呈L形，朝前方及上方开口，且在两侧安装有三角形的侧板。承载台29的底面由在前后方向上隔开恒定间隔、且与宽度方向平行地安装的辊29a而规定。将工件输送筐28载置于辊29a且从前方朝后方将该工件输送筐28压入，由此能够将工件输送筐28设置于承载台29，并且，通过将工件输送筐28向前方拉出而能够将其从承载台29取出。

在承载台29的左右的背面侧的边缘，在上下方向上以恒定间隔而排列有导辊29b。在处理容器7内，在冷却干燥区域16以及输入输出室8、且在左右侧以与上下方向平行的方式配置有辊导轨29c。承载台29被辊导轨29c引导而进行升降。

(升降机构的其他例子)

图4B(a)是示出升降机构25的其他结构例的主视图，图4B(b)～图4B(d)分别是从箭头b～d所示的位置观察时的说明图。本例的升降机构25A为齿条小齿轮式的升降机构，具备：规定长度的齿条101，其垂直安装于承载台29的背面；以及小齿轮102，其与上述齿条101啮合。小齿轮102相对于齿条101在其上下方向的中途的高度位置处与齿条101啮合。小齿轮102同轴地固定于旋转致动器104的输出轴，该旋转致动器104包括安装于装置架台的升降用马达103以及减速器。

当利用旋转致动器104使小齿轮102旋转时，齿条101进行升降，并且安装于齿条101的承载台29随着引导而进行升降。筒状的罩105垂直安装于装置架台的顶面，在上升时，从装置架台的顶面朝上方突出的齿条101在罩105的内部进行升降。

另外，图4A、图4B所示的升降机构可以用作后述的实施方式2～5的工件清洁装置中的工件输送筐的升降机构。

(筐旋转机构)

在图4B所示的承载台29附加设置有筐旋转机构110。筐旋转机构110是使得用作工件输送筐的筒状的旋转筐28A绕其中心轴线而旋转的机构。另外，图中由假想线还示出了长方体形状的工件输送筐28。筐旋转机构110具备花键轴112，该花键轴112借助轴承111以旋转自如的状态而垂直安装于承载台29的一侧面。花键轴112的下端借助一对锥齿轮113而与旋转轴114连结，该旋转轴114水平配置于承载台29的底面。在承载台29的底面，在后侧配置有旋转轴114，在前侧以与旋转轴114平行的方式而配置有水平轴115。

在后侧的旋转轴114的两端部同轴地安装有链轮116，在前侧的水平轴115的两端部以旋转自如的状态而安装有支承辊117。在工件输送筐28A的两端部安装有卡合环118，该卡合环118在圆周方向上形成有能够与链轮116卡合的卡合孔(槽)。

当将工件输送筐28A载置于承载台29时，形成为链轮116分别与各卡合环118卡合、且各卡合环118分别载置于各支承辊117的状态。

花键轴112的上端部通过花键耦合而与旋转致动器119的输出轴连结，该旋转致动器119包括马达以及减速器。旋转致动器119搭载于装置架台的顶面。另外，在装置架台的顶面垂直安装有圆筒状的细长的罩120，花键轴112在该罩120的内部进行升降。

当驱动旋转致动器119旋转时，该旋转传递至花键轴112而使得花键轴112进行旋转。花键轴112的旋转经由一对锥齿轮113而向承载台29的旋转轴114传递。当旋转轴114旋转时，其链轮116也一体地旋转，从而使得安装有与链轮116啮合的卡合环118的工件输送筐28A进行旋转。在将搭载于工件输送筐的工件浸渍于清洁槽中贮存的清洁液中的状态下，能够一边使工件输送筐28A旋转、一边进行清洁。

(横向输送机构)

此处，在后述的实施方式2～5中，在工件清洁装置的处理室内沿横向对工件输送筐进行输送。作为为此而使用的横向输送机构，可以使用与上述的筐旋转机构相同的机构。

参照图4B进行说明，在横向输送机构的情况下，例如，使用链式输送机作为承载台29。借助一对锥齿轮等传递机构而将链式输送机的链驱动用的链轮与垂直延伸的花键轴112连结。利用旋转致动器119使花键轴112旋转，由此能够沿横向对载置于链式输送机的工件输送筐进行输送。另外，花键轴112能够与链式输送机一同进行升降，因此，能够对借助升降机构而升降的链式输送机进行驱动。

(外门开闭机构)

图5A(a)、5A(b)以及5A(c)是示出输入输出口4的外门开闭机构5的一例的俯视图、主视图以及侧视图。开闭机构5利用动力缸41而使矩形轮廓的外门6沿着在装置壳体2的顶面固定的导轨42而在装置宽度方向上滑动。本例中，使外门6在图中示出的将输入输出口4打开的打开位置6A至将输入输出口4关闭的关闭位置6B之间滑动。在外门6的两侧分别安装有上下一对沿宽度方向延伸的卡合板43、44。在输入输出室8的两侧的外侧面安装有上下一对锁定用柱塞45、46(锁芯)，它们的伸缩杆朝前方水平地突出。

在外门6的侧方的左右的卡合板43、44的前端形成有卡合槽43a、44a，当外门6从打开位置6A向关闭位置6B移动时，锁定用柱塞45、46的伸缩杆的前端部45a、46a从侧方嵌入各卡合槽43a、44a。在使外门6滑动至关闭位置6B之后，通过拉动锁定用柱塞45、46的伸缩杆而将外门6的四周的部分按压于在输入输出口4的四周安装的密封用的弹性部件47。由此，以气密状态将输入输出口4封闭。关于将外门6打开的操作，只要相反地将锁定用柱塞45、46推出而解除锁定，然后利用动力缸41使外门6沿着导轨42返回至打开位置6A即可。

(外门开闭机构的其他例子)

图5B是示出能够代替上述的用于将外门6锁定的、在左右侧分别配置有一对的锁定用柱塞45、46而使用的复动式气缸的一例的说明图。

该图中，作为一例，示出了代替一对锁定用柱塞46而使用的一对复动式气缸130。复动式气缸130具备：缸主体131；以及杆132，其以将缸主体131贯通的方式而延伸。在缸主体131连接有用于供给使杆132前进的方向133上的压缩空气的空气配管135、以及用于供给使杆132后退的方向134上的压缩空气的空气配管136。

在从缸主体131朝前方突出的杆132的前端部，设置有能够从横向与外门6的一方的卡合板44的前端的卡合槽44a卡合的卡合部137。利用杆螺母138而将弹簧支承件139安装于从缸主体131朝后方突出的杆132的后端部。在缸主体131的后侧的端面也安装有弹簧支承件140。压缩螺旋弹簧142以同轴地将杆132包围的状态、且以压缩状态而安装于这些弹簧支承件139、140之间。因此，气缸130的杆132始终被压缩螺旋弹簧142朝后退方向施力。

气缸130例如以下述方式进行动作。在外门6处于打开位置6A的状态下，利用压缩螺旋弹簧142使杆132处于后退至最大限度的状态。在将外门6关闭的情况下，克服压缩螺旋弹簧142的弹簧力而将气缸130的杆132推出至前进位置。当外门6滑动而关闭时，处于突出位置的杆132的前端的卡合部137从横向卡合嵌入于其卡合板44的卡合槽44a。

在外门6滑动至关闭位置6B之后，对气缸130进行驱动而将杆132朝后方拉入。其结果，外门6的四周的部分被按压于在输入输出口4的四周安装的密封用的弹性部件47，输入输出口4被以气密状态而封闭。关于将外门6打开的操作，只要相反地将杆132朝前方推出，然后利用动力缸41使外门6沿着导轨42返回至打开位置6A即可。

对于使用气缸130的锁定机构，在发生停电、故障等紧急状态而导致气缸130无法执行动作的情况下，能够利用压缩螺旋弹簧142的弹簧力而将外门6保持为锁定状态。即，在将外门6关闭并锁定的状态下，有时发生停电、故障等而导致气缸130无法执行动作，从而使得用于对杆132朝拉入方向施力的压缩空气的供给停止。在锁定状态下，除了压缩空气的作用力以外，压缩螺旋弹簧142的弹簧力也作为外门6的锁定用的作用力而作用于杆132。因此，在紧急时能够利用弹簧力的作用力而维持外门6的锁定状态(密闭状态)，从而能够防止溶剂向外部泄漏等。

另外，图5A、图5B所示的外门开闭机构可以用作后述的实施方式2～5的工件清洁装置中的外门开闭机构。

(内门开闭机构)

图6(a)、图6(b)以及图6(c)是示出将处理室9与上侧的输入输出室8之间的连通口50隔断的内门开闭机构10的一例的俯视图、主视图以及侧视图。内门开闭机构10具备能够将矩形的连通口50封闭的大小的内门11作为内门。内门11安装于内门安装框51。

在连通口50的两侧(装置前后方向上的前侧及后侧的边缘)分别安装有与装置宽度方向平行地延伸的一对导轨52。在内门安装框51安装有导辊56，导辊56能够沿着导轨52滚动。另外，在内门安装框51安装有沿内门移动方向(装置宽度方向)延伸的齿条53。小齿轮54与齿条53啮合，利用以朝向下方的姿势安装于装置壳体2侧的内门开闭用的马达55而使小齿轮54旋转。

当小齿轮54借助马达55而旋转时，内门安装框51沿着导轨52滑动。由此，能够使安装于内门安装框51的内门11从打开位置11A向将连通口50隔断的隔断位置11B移动。

内门11具备:矩形轮廓的内门主体板部分11a；以及缘板部分11b，其通过将上述内门主体板部分11a的两侧的边缘向上方折成直角而成。内门主体板部分11a为朝向作为内门11关闭的方向的前进方向以锐角朝上方倾斜的倾斜板。与此相对，在连通口50的两侧形成有开口边缘部分50a，该开口边缘部分50a形成为内门主体板部分11a的两侧的倾斜边缘部分在从上侧与之抵接的状态下跃升至该开口边缘部分50a的互补的倾斜面形状。

另外，导轨52的上下方向上的宽度设定为比导辊56的外径略大的尺寸。由此，在内门11到达隔断位置11B而跃升至两侧的开口边缘部分50a时，与此相伴，内门11的整体能够略微朝上方升起。

该结构的内门开闭机构10中，当使内门11从打开位置11A朝向隔断位置11B滑动时，形成为如下状态：其两侧的倾斜边缘部分与连通口50的两侧的开口边缘部分50a接触并跃升至该开口边缘部分50a。由此，内门11的两侧的倾斜边缘部分被按压而可靠地与连通口50的两侧的开口边缘部分50a接触。能够利用内门11而在上下方向上可靠地将处理容器7的内部隔断。另外，即便在内门11与连通口50之间存在例如上下方向上的组装误差，也能够通过双方的倾斜面的卡合而将由该组装误差所引起的晃动除去，从而能够可靠地将连通口50隔断。

[实施方式2]

图7(a)是示出本发明的实施方式2所涉及的工件清洁装置的概要结构图，图7(b)是示出其动作的一例的说明图。这些图所示的工件清洁装置为双槽式工件清洁装置，其在处理室内配置有：第一槽，其具备清洁槽；以及第二槽，其具备蒸气发生槽。

(整体结构)

参照图7(a)，对工件清洁装置200的结构进行说明。工件清洁装置200具备：输入室201，将作为清洁对象的工件向该输入室201输入；以及输出室202，将清洁干燥后的工件向该输出室202输出。输入室201及输出室202例如在装置宽度方向上相邻配置。

输入室201具备输入口204。输入口204形成于输入室201的输出室202的相反侧的侧面。能够经由输入口204而将搭载有工件的工件输送筐203(篮子)从水平方向朝输入室201输入。输入口204由输入侧外门205封闭。能够利用未图示的外门开闭机构对输入侧外门205进行开闭。

在输出室202的输入室201的相反侧的侧面形成有输出口206，能够借助该输出口206而在水平方向上将搭载有工件的工件输送筐203输出。输出口206由输出侧外门207封闭。能够利用未图示的外门开闭机构对输出侧外门207进行开闭。作为输入侧外门205、输出侧外门207的外门开闭机构，例如可以使用图5A所示的外门开闭机构。

在输入室201及输出室202的下侧配置有处理室208。输入室201与处理室208之间经由能够在上下方向上对工件输送筐203进行输送的输入侧连通口209而连通。输入侧连通口209由输入侧内门210封闭。能够利用未图示的内门开闭机构对输入侧内门210进行开闭。

同样地，输出室202与处理室208之间经由能够在上下方向上对工件输送筐203进行输送的输出侧连通口211而连通。输出侧连通口211由输出侧内门212封闭。能够利用未图示的内门开闭机构对输出侧内门212进行开闭。作为内门开闭机构，例如可以使用图6所示的内门开闭机构。

在处理室208的内部的底面侧的部分，在输入侧连通口209的下方的位置配置有供溶剂贮存的清洁槽213。在与清洁槽213相邻的位置，在输出侧连通口211的下方的位置处配置有蒸气发生槽214。从清洁槽213溢流的溶剂流动降落至蒸气发生槽214。在蒸气发生槽214中，利用内部的加热器215对溶剂进行加热而生成蒸气溶剂。

在处理室208的内部，在距清洁槽213、蒸气发生槽214的溶剂液面的高度为规定高度的位置处沿处理室内周面而配置有在上下方向上卷绕成筒状的冷却盘管217。在处理室208的内部，从溶剂液面至冷却盘管217的下端附近位置之间的区域为蒸气清洁区域218。向蒸气清洁区域218供给在下侧的蒸气发生槽214中生成的蒸气溶剂而对工件实施蒸气清洁。

在蒸气清洁区域218的上侧，从冷却盘管217的下端附近位置至形成有输入侧连通口209以及输出侧连通口211的处理室208的顶面之间的区域为冷却干燥区域219。从下侧的蒸气清洁区域218上升至上侧的冷却干燥区域219的蒸气溶剂附着于冷却盘管217并被冷却而液化。附着于工件的蒸气溶剂移动至冷却盘管217侧而被冷却，因此，工件在冷却干燥区域内变得干燥。与实施方式1的情况相同，液化的溶剂被回收至水分离器220而再生。再生的溶剂向清洁槽213返回。

另外，在输出室202附加设置有溶剂回收器221，该溶剂回收器221一边对内部的气体进行冷却、一边使其循环而对气体中含有的溶剂蒸气进行回收。与实施方式1的情况相同，溶剂回收器221可以设为具备热交换器以及送风风扇的结构。另外，此处回收的溶剂被向水分离器220回收而再生。

另一方面，工件清洁装置200中具备：承载台223，其用于对搭载有工件的工件输送筐203进行输送；以及输送机构，其沿着设定的输送路径而对承载台223进行输送。输送机构可以设为例如具备输入侧升降机构、横向输送机构及输出侧升降机构的结构。

输入侧升降机构使由例如链式输送机构成的承载台223沿着箭头232、233所示的路径而升降。横向输送机构使工件输送筐203在蒸气清洁区域218内沿着箭头234所示的路径进行水平移动，从而从输入侧升降机构侧的承载台223将所述工件输送筐203向输出侧升降机构侧的由例如链式输送机构成的承载台224交接。输出侧升降机构使承载台224如箭头235所示那样在蒸气发生槽214的正上方的蒸气清洁区域218的位置至输出室202之间升降。

本例中，通过手动的方式而进行如下动作：使工件输送筐203如图7(a)中箭头231所示那样地进行水平移动，并经由输入口204而将该工件输送筐203向在输入室201内等待的承载台223交接。也可以配置链式输送机等输入机构而进行输入动作。同样地，本例中，通过手动的方式而进行如下动作：对在输出室202内载置于承载台224的工件输送筐203如箭头236所示那样进行水平输送而将其从输出口206输出。也可以配置链式输送机等输出机构而进行输出动作。

(动作的一例)

图7(b)是示出上述结构的工件清洁装置200的清洁动作顺序的一例的说明图。以不会形成为处理室208经由输入室201、输出室202而与外部连通的状态、且不会在将工件输送筐从第一槽侧向第二槽侧交接时产生时间损失的方式，适当地设定间歇时间，在第一槽、第二槽各自的那侧并行地进行处理。另外，以下的动作顺序示出了一例，但并不限定于该动作顺序。

首先，在输入侧内门210关闭后的状态下，将输入侧外门205打开，经由输入口204而将搭载有作为清洁对象的工件的工件输送筐203输入，并将工件输送筐203载置于在输入室201内等待的承载台223(第一槽：利用篮子供给工件)。

接下来，将输入侧外门205关闭(第一槽：外门关闭)，然后，将输入侧内门210打开(第一槽：内门打开)。然后，使输入至输入室201的工件输送筐203经由输入侧连通口209而下降至浸渍于在处理室208的底侧配置的清洁槽213的溶剂中的位置(第一槽：下降)。在该状态下，以规定时间对工件进行超声波清洁(第一槽：超声波清洁)。

在超声波清洁之后，将工件输送筐203拉升至溶剂液面216的上方的蒸气清洁区域218(第一槽：上升)，在蒸气清洁区域218中以规定时间保持该工件输送筐203而对工件实施蒸气清洁(第一槽：蒸气清洁)。接下来，沿横向将工件输送筐203从第一槽侧朝第二槽侧输送，并将其向在蒸气发生槽214的正上方的位置等待的承载台224交接(第一槽：下方横向输送、第二槽：下方横向输送)。在该位置处以规定时间保持工件输送筐203而对工件继续实施蒸气清洁(第二槽：蒸气清洁)。

在蒸气清洁区域218中清空的承载台223被拉升至上侧的冷却干燥区域219(第一槽：上升)，并在此处以规定时间对该承载台223进行保持而使其干燥(第一槽：承载台干燥)。接下来，将承载台从处理室208拉升至上侧的输入室201(第一槽：上升)，将输入侧内门210关闭(第一槽：内门关闭)，将输入侧外门205打开(第一槽：外门打开)，并恢复为接下来的工件输送筐的接收等待状态。

在第二槽侧，将在蒸气清洁区域218中实施蒸气清洁之后的工件输送筐203从蒸气清洁区域218拉升至其上侧的冷却干燥区域219(第二槽：上升)。在冷却干燥区域219以规定时间对工件进行保持，由此将溶剂除去而使工件变得干燥(第二槽：干燥)。

在工件干燥之后，将工件输送筐203从处理室208向输出室202拉升(第二槽：上升)。然后，将输出侧内门212关闭，由此将输出室202的内外隔断(第二槽：内门关闭)。在该状态下，以规定时间对溶剂回收器221进行驱动，使输出室202内的气体循环而对其中含有的溶剂的进行回收(第二槽：回收)。

然后，将输出侧外门207打开，经由输出口206而将搭载有清洁干燥处理后的工件的工件输送筐203输出(第二槽：利用篮子清除工件)。此后，将输出侧外门207关闭(第二槽：外门关闭)，将输出侧内门212打开(第二槽：内门打开)，使清空后的承载台224从输出室202下降至处理室208内的蒸气清洁区域218(第二槽：下降)，并恢复为从第一槽侧针对工件输送筐的接收等待状态。

[实施方式3]

图8(a)是示出本发明的实施方式3所涉及的工件清洁装置的概要结构图，图8(b)是示出其动作的一例的说明图。这些图所示的工件清洁装置300为三槽式工件清洁装置，其在处理室内配置有：第一槽，其具备第一清洁槽；第二槽，其具备第二清洁槽；以及第三槽，其具备蒸气发生槽。

(整体结构)

参照图8(a)，对工件清洁装置300的结构进行说明。工件清洁装置300在处理室308的上侧部分的两侧具备：输入室301，将作为清洁对象的工件向该输入室301输入；以及输出室302，将清洁干燥后的工件向该输出室302输出。

输入室301具备输入口304。输入口304形成于输入室301的处理室308的相反侧的侧面。能够经由输入口304而从水平方向将搭载有工件的工件输送筐303向输入室301输入。输入口304由输入侧外门305封闭。能够利用未图示的外门开闭机构对输入侧外门305进行开闭。输入室301与处理室308之间经由能够在水平方向上对工件输送筐303进行输送的输入侧连通口309而连通。输入侧连通口309由输入侧内门310封闭。能够利用未图示的内门开闭机构对输入侧内门310进行开闭。

输出室302侧也以同样方式构成。在输出室302的处理室308的相反侧的侧面形成有输出口306，通过该输出口306而能够在水平方向上将搭载有工件的工件输送筐303输出。输出口306由输出侧外门307封闭。能够利用未图示的外门开闭机构对输出侧外门307进行开闭。输出室302与处理室308之间经由能够在水平方向上对工件输送筐303进行输送的输出侧连通口311而连通。输出侧连通口311由输出侧内门312封闭。能够利用未图示的内门开闭机构对输出侧内门312进行开闭。

作为输入侧外门305、输出侧外门307的外门开闭机构，例如可以使用图5A所示的外门开闭机构。作为输入侧内门310、输出侧内门312的内门开闭机构，例如可以使用图6所示的内门开闭机构。

对处理室308的内部构造进行说明。在处理室308的内部的底面侧的部分配置有供溶剂贮存的第一清洁槽313。在与第一清洁槽313相邻的位置处配置有同样供溶剂贮存的第二清洁槽314。相对于第二清洁槽314，在第一清洁槽313的相反侧相邻配置有蒸气发生槽315。本例中，第一、第二清洁槽313、314均为超声波清洁槽，第一清洁槽313为粗清洁槽，第二清洁槽314为精清洁槽，从第二清洁槽314溢流的溶剂向第一清洁槽313流入。另外，经由在第一清洁槽313的规定的溶剂液面316的高度位置处设置的连通口而向蒸气发生槽315供给溶剂。

在处理室308的内部的上下方向上的中间的高度位置的部位，沿处理室内周面而配置有在上下方向上卷绕成筒状的冷却盘管317。在处理室308的内部，从第一、第二清洁槽313、314的溶剂液面至冷却盘管317的下端附近位置之间的区域为蒸气清洁区域318。向蒸气清洁区域318供给在下侧的蒸气发生槽315生成的蒸气溶剂而对工件实施蒸气清洁。

在蒸气清洁区域318的上侧，从冷却盘管317的下侧附近位置至冷却盘管317的上侧附近位置之间的区域为冷却干燥区域319。从下侧的蒸气清洁区域318上升至上侧的冷却干燥区域319的蒸气溶剂附着于冷却盘管317并被冷却而液化。附着于工件的蒸气溶剂移动至冷却盘管317侧而被冷却，因此，工件在冷却干燥区域内变得干燥。另外，与实施方式1的情况相同，液化的溶剂被向水分离器320回收而再生。再生的溶剂向第二清洁槽314返回。

在处理室308的内部，配置有冷却盘管317的冷却干燥区域319的上侧的区域为输入输出区域321。输入侧连通口309位于输入输出区域321中的输入室301侧的侧面部分，输出侧连通口311位于相反侧的侧面部分。

接下来，本例中，在输入室301、输出室302分别附加设置有溶剂回收器322、323，该溶剂回收器322、323一边对内部的气体进行冷却、一边使其循环并对气体中含有的溶剂蒸气进行回收。与实施方式1的情况相同，溶剂回收器322、323可以设为具备热交换器以及送风风扇的结构。另外，此处回收的溶剂被向水分离器320回收而再生。

另一方面，工件清洁装置300中具备输送机构，该输送机构沿着设定的输送路径而对搭载有工件的工件输送筐303进行输送。输送机构例如由以下的输送机构构成。

输入机构：如图8(a)中的箭头341所示，将工件输送筐303从装置外的由链式输送机等构成的承载台361经由输入口304而向承载台362送入，该承载台362规定了输入室301的底面、且由链式输送机等构成。另外，如箭头342所示，从输入室301经由输入侧连通口309而将工件输送筐303向在处理室308内的输入输出区域321内的第一清洁槽313的上方位置、亦即输入位置等待的由链式输送机等构成的承载台331交接。

第一升降机构：在处理室308内的第一槽的部分，使承载台331如箭头343、344所示那样进行升降。

横向输送机构：在蒸气清洁区域318内，如箭头345、346所示，将工件输送筐303从第一升降机构依次向第二升降机构及第三升降机构交接。

第二升降机构：在处理室308内的第二槽的部分，使由链式输送机等构成的承载台332如箭头347、348所示那样进行升降。

第三升降机构：在处理室308内的第三槽的部分，使由链式输送机等构成的承载台333如箭头349所示那样在蒸气发生槽315的正上方的蒸气清洁区域318的位置至输入输出区域321内的输出位置之间进行升降。

输出机构：如箭头350所示，将工件输送筐303从处于处理室308内的输出位置的承载台333经由输出侧连通口311而向规定输出室302的底面的由链式输送机等构成的承载台363送出。另外，如箭头351所示，经由输出侧外门307而水平地将工件输送筐303向装置外的由链式输送机、自由辊输送机等构成的承载台364输出。

(动作的一例)

图8(b)是示出上述结构的工件清洁装置300的清洁动作顺序的一例的说明图。以不会形成为处理室308经由输入室301、输出室302而与外部连通的状态、且不会在将工件输送筐从第一槽侧向第二槽交接、从第二槽侧向第三槽侧交接时产生时间损失等的方式，适当地设定间歇时间而在各部分并行进行处理。另外，以下的动作顺序示出了一例，但并不限定于该动作顺序。

在输入室301侧，首先，在输入侧内门310关闭后的状态下，将输入侧外门305打开而将搭载有作为清洁对象的工件的工件输送筐303输入(输入室：利用篮子供给工件)，将输入侧外门305关闭(输入室：外门关闭)。接下来，将输入侧内门310打开(输入室：内门打开)，对工件输送筐303进行横向输送，并将该工件输送筐303向在处理室308内的输入输出区域321的输入位置等待的承载台331交接(输入室：横向输送、第一槽：上方横向输送)，将输入侧内门310关闭(输入室：内门关闭)。在此后的输入室301中，利用溶剂回收器322一边对密闭状态的输入室301内的气体进行冷却、一边使其循环并对气体中含有的溶剂进行回收(输入室：回收)。此后，将输入侧外门305打开而恢复为用于接收接下来的工件的等待状态(输入室：外门打开)。

在第一槽侧，在接收到工件输送筐303之后(第一槽：上方横向输送)，使工件输送筐303下降至浸渍于第一清洁槽313的溶剂中的位置(第一槽：下降)。在该状态下，以规定时间对工件进行粗超声波清洁(第一槽：粗超声波清洁)。在粗超声波清洁之后，将工件输送筐303拉升至溶剂液面316的上方的蒸气清洁区域318(第一槽：上升)，并将工件输送筐303向在第二槽侧等待的承载台332交接(第一槽：下方横向输送、第二槽：下方横向输送)。使清空的承载台331上升至上方的输入输出区域321的输入位置，并将输入侧内门310打开而恢复为接下来的工件输送筐的接收等待状态(第一槽：上升、内门打开)。

在第二槽侧，在蒸气清洁区域318内从第一槽侧接收到工件输送筐303之后(第二槽：下方横向输送)，使工件输送筐303下降至浸渍于第二清洁槽314的溶剂中的位置(第二槽：下降)。在该状态下，以规定时间对工件进行精超声波清洁(第二槽：精超声波清洁)。在精超声波清洁之后，将工件输送筐303拉升至上方的蒸气清洁区域318(第二槽：上升)，在蒸气清洁区域318内以规定时间保持工件输送筐303而对工件实施蒸气清洁(第二槽：蒸气清洁)。接下来，将工件输送筐303从第二槽侧沿横向朝第三槽侧输送而向在蒸气发生槽315的正上方的位置等待的承载台333交接(第二槽：下方横向输送、第三槽：下方横向输送)。清空的承载台332在该位置处等待接下来的工件输送筐的交接。

在第三槽侧，将承载台333接收到的工件输送筐303从蒸气清洁区域318拉升至其上侧的冷却干燥区域319(第三槽：上升)。在冷却干燥区域319以规定时间对工件进行保持，由此将溶剂除去而使工件变得干燥(第三槽：干燥)。在工件干燥之后，在工件输送筐303被拉升至上侧的输入输出区域321的输出位置之后，将输出侧内门312打开(第三槽：上升、内门打开)。此后，对工件输送筐303进行横向输送而将其向输出室302输出。使清空的承载台333下降至蒸气清洁区域318而恢复为接下来的工件输送筐303的等待状态，并将输出侧内门312关闭(第三槽：下降、内门关闭)。

在输出室302侧，在接收到工件输送筐303并将输出侧内门312关闭之后，利用溶剂回收器323而从输出室302内对溶剂进行回收(输出室：回收)。此后，将输出侧外门307打开(输出室：外门打开)，将清洁干燥后的工件输送筐303输出(输出室：利用篮子清除工件)，并在输出之后将输出侧外门307关闭(输出室：外门关闭)。

另外，在本例中进行粗超声波清洁和精超声波清洁。当然也可以采用超声波清洁以外的清洁方法。另外，本例中，清洁槽设为2个槽，但是，也可以设为3个槽以上。例如，可以配置3个槽的清洁槽，在第一清洁槽中进行煮沸清洁，在第二清洁槽中进行超声波清洁，在第三清洁槽中进行浸渍清洁，然后进行蒸气清洁及干燥。

[实施方式4]

图9(a)是示出本发明的实施方式4所涉及的工件清洁装置的概要结构图，图9(b)是示出其动作的一例的说明图。这些图所示的工件清洁装置为四槽式工件清洁装置，其在处理室内配置有：第一槽，其具备第一清洁槽；第二槽，其具备第二清洁槽；第三槽，其具备蒸气发生槽；以及第四槽部分，其具备干燥区域。

(整体结构)

参照图9(a)，对工件清洁装置400的结构进行说明。工件清洁装置400的基本结构与图8(a)所示的实施方式3的情形同样。因此，对于对应的部位标记相同的附图标记并将其说明省略。

工件清洁装置400中，在处理室308的上侧部分的输入输出区域321，在蒸气发生槽315的正上方的输出位置与输出室302之间设置有干燥槽401的区域，该干燥槽401的区域能够供一个工件输送筐303滞留并对其实施干燥处理。

(动作的一例)

如图9(b)所示，上述结构的工件清洁装置400的第一槽、第二槽中的动作顺序与实施方式3相同，因此，将其说明省略。在第三槽侧，在蒸气清洁区域318以规定时间对承载台333中接收到的工件输送筐303进行保持，并对工件实施蒸气清洁(第三槽：蒸气清洁)。接下来，工件输送筐303经由其上侧的冷却干燥区域319而被拉升至上侧的输入输出区域321的输出位置(第三槽：上升)。此后，对工件输送筐303进行横向输送而将其向在干燥槽401的区域等待的、由链式输送机等构成的承载台402交接(第三槽：上方横向输送)。清空的承载台333下降至蒸气清洁区域318，并恢复为接下来的工件输送筐303的等待状态(第三槽：下降)。

移动至干燥槽401的区域的工件输送筐303以规定时间保持于该位置而被实施干燥处理(干燥槽：干燥)。在干燥之后，将输出侧内门312打开(干燥槽：内门打开)，对工件输送筐303进行横向输送而向输出室302输出。

在输出室302侧，在接收到工件输送筐303之后，利用溶剂回收器323从输出室302内对溶剂进行回收(输出室：回收)。此后，将输出侧外门307打开(输出室：外门打开)，将清洁干燥后的工件输送筐303输出(输出室：利用篮子清除工件)，并在输出之后将输出侧外门307关闭(输出室：外门关闭)。

[实施方式5]

图10是示出应用本发明的实施方式5的工件清洁系统的概要结构图。该图所示的工件清洁系统500具备：结构与实施方式1的工件清洁装置基本相同的工件清洁装置501；以及配置于上述工件清洁装置501的前段的双槽式前段侧清洁装置502。

本例中，前段侧清洁装置502具备：第一清洁槽503，其使用油分的分解去除能力较高的烃系溶剂并通过超声波清洁而进行工件的粗清洁；以及第二清洁槽504，其同样使用烃系溶剂并通过超声波清洁而进行工件的精清洁。后段侧的工件清洁装置501使用氟系溶剂对清洁后的附着有烃系溶剂的工件实施精清洁。

工件清洁装置501的基本结构与实施方式1的工件清洁装置1相同，因此，对于对应的部位标记相同的附图标记并将其说明省略。在工件清洁装置501中，在蒸气发生槽附加设置有用于通过清洁而将混入至氟系溶剂中的烃系溶剂分离去除的烃分离单元505。

在前段侧清洁装置502中，从作为精清洁槽的第二清洁槽504溢流的烃系溶剂流入至溢流箱506，并经由其底侧的连通口而向作为粗清洁槽的第一清洁槽503供给。从第一清洁槽503溢流的烃系溶剂向溢流箱507流入。对于回收至溢流箱507的烃系溶剂，利用循环泵508从其底面的回收口经由具备过滤器509的循环管线510而将污垢除去，并使其再次向第一清洁槽503返回。在作为精清洁槽的第二清洁槽504也附加设置有具备循环泵511、过滤器512的循环管线513。

另外，回收至溢流箱507的烃系溶剂例如定期地经由循环管线510以及回收管线514而被真空蒸馏机515回收，并经由此处而再生并贮存于再生液箱516。从再生液箱516向作为精清洁槽的第二清洁槽504供给再生烃系溶剂。

Claims (18)

1.一种工件清洁装置，其中，

所述工件清洁装置具有：

输入输出室，该输入输出室具备工件的输入输出口；

外门，该外门对所述输入输出口进行开闭；

处理室，该处理室经由连通口而与所述输入输出室连通；

内门，该内门对所述连通口进行开闭；

清洁槽，该清洁槽配置于所述处理室的内部、且供溶剂贮存；

蒸气清洁区域，该蒸气清洁区域在所述处理室的内部设置于所述清洁槽的上侧；

冷却干燥区域，该冷却干燥区域在所述处理室的内部设置于所述蒸气清洁区域的上侧，并与所述连通口对置；

输送机构，该输送机构经由所述连通口而将工件向所述输入输出室以及所述处理室输送；以及

蒸气发生槽，该蒸气发生槽用于向所述蒸气清洁区域供给溶剂蒸气。

2.根据权利要求1所述的工件清洁装置，其中，

所述输入输出口分为工件输入口以及工件输出口，

作为所述外门而具备对所述输入口进行开闭的输入侧外门、以及对所述输出口进行开闭的输出侧外门。

3.根据权利要求1所述的工件清洁装置，其中，

所述连通口分为将工件向所述处理室输送的输入侧连通口、以及将工件从所述处理室输出的输出侧连通口，

作为所述内门而具备对所述输入侧连通口进行开闭的输入侧内门、以及对所述输出侧连通口进行开闭的输出侧内门。

4.根据权利要求1所述的工件清洁装置，其中，

所述输入输出口分为工件输入口以及工件输出口，

作为所述外门而具备对所述输入口进行开闭的输入侧外门、以及对所述输出口进行开闭的输出侧外门，

所述连通口分为将工件向所述处理室输送的输入侧连通口、以及将工件从所述处理室输出的输出侧连通口，

作为所述外门而具备对所述输入口进行开闭的输入侧外门、以及对所述输出口进行开闭的输出侧外门，

作为所述内门而具备对所述输入侧连通口进行开闭的输入侧内门、以及对所述输出侧连通口进行开闭的输出侧内门。

5.根据权利要求1所述的工件清洁装置，其中，

所述输入输出室分为输入室以及输出室，

所述输入输出口分为形成于所述输入室的工件输入口、以及形成于所述输出室的工件输出口，

作为所述外门而具备对所述输入口进行开闭的输入侧外门、以及对所述输出口进行开闭的输出侧外门，

所述连通口分为将所述输入室和所述处理室连通的输入侧连通口、以及将所述输出口和所述处理室连通的输出侧连通口，

作为所述内门而具备对所述输入侧连通口进行开闭的输入侧内门、以及对所述输出侧连通口进行开闭的输出侧内门。

6.根据权利要求5所述的工件清洁装置，其中，

所述蒸气发生槽在所述处理室的内部配置于与所述清洁槽在横向上相邻的位置，

所述输送机构具备：第一升降机构，其使工件经由所述输入侧连通口而升降；第二升降机构，其使工件经由所述输出侧连通口而升降；以及横向输送机构，其在所述蒸气清洁区域内沿横向对工件进行输送、且将该工件从所述第一升降机构向所述第二升降机构交接。

7.根据权利要求5所述的工件清洁装置，其中，

作为所述清洁槽，至少具备在横向上相邻配置的第一清洁槽以及第二清洁槽，

所述蒸气发生槽在所述处理室的内部配置为：在所述第一清洁槽的相反侧与所述第二清洁槽相邻，

所述第一清洁槽的正上方的位置为经由所述输入侧连通口而将工件输入的输入位置，所述蒸气发生槽的正上方的位置为经由所述输出侧连通口而将工件输出的输出位置，

所述输送机构具备：

输入机构，该输入机构将工件从所述输入室经由所述输入侧连通口而向所述输入位置输入；

第一升降机构，该第一升降机构将输入至所述输入位置的工件向所述冷却干燥区域、所述蒸气清洁区域以及所述第一清洁槽输送；

第二升降机构，该第二升降机构将工件向所述蒸气清洁区域以及所述第二清洁槽输送；

第三升降机构，该第三升降机构将工件向所述蒸气清洁区域、所述冷却干燥区域以及所述输出位置输送；

输出机构，该输出机构将工件从所述输出位置经由所述输出侧连通口而向所述输出室输出；以及

横向输送机构，该横向输送机构在所述蒸气清洁区域内沿横向对工件进行输送、且将该工件从所述第一升降机构依次向所述第二升降机构、第三升降机构交接。

8.根据权利要求5所述的工件清洁装置，其中，

还具有工件输入输出区域，该工件输入输出区域形成于所述处理室的内部的所述冷却干燥区域的上侧，

作为所述清洁槽，至少具备在横向上相邻配置的第一清洁槽以及第二清洁槽，

所述蒸气发生槽在所述处理室的内部配置为：在所述第一清洁槽的相反侧与所述第二清洁槽相邻，

在所述工件输入输出区域中，所述第一清洁槽的正上方的位置为经由所述输入侧连通口而将工件输入的输入位置，所述蒸气发生槽的正上方的位置为经由所述输出侧连通口而将工件输出的输出位置，

所述输送机构具备：

输入机构，该输入机构将工件从所述输入室经由所述输入侧连通口而向所述输入位置输入；

第一升降机构，该第一升降机构将输入至所述输入位置的工件向所述冷却干燥区域、所述蒸气清洁区域以及所述第一清洁槽输送；

第二升降机构，该第二升降机构将工件向所述蒸气清洁区域以及所述第二清洁槽输送；

第三升降机构，该第三升降机构将工件向所述蒸气清洁区域、所述冷却干燥区域以及所述输出位置输送；

输出机构，该输出机构将工件从所述输出位置经由所述输出侧连通口而向所述输出室输出；以及

横向输送机构，该横向输送机构在所述蒸气清洁区域内沿横向对工件进行输送、且将该工件从所述第一升降机构依次向所述第二升降机构、第三升降机构交接。

9.根据权利要求8所述的工件清洁装置，其中，

在所述工件输入输出区域中的所述输出位置与所述输出侧连通口之间配置有干燥区域，

所述输出机构将工件从所述输出位置经由所述干燥区域而输出。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的工件清洁装置，其中，

还具有溶剂回收机构，该溶剂回收机构借助热交换器而使所述输入输出室内的气体循环，由此对所述气体中含有的溶剂进行冷却而使之液化并对其进行回收。

11.根据权利要求7、8或9所述的工件清洁装置，其中，

所述第一清洁槽为供烃系清洁剂贮存的清洁槽，

所述第二清洁槽为供氟系清洁剂贮存的清洁槽。

12.根据权利要求1～4中任一项所述的工件清洁装置，其中，

还具有至少单槽的前段侧清洁槽，以便对经由所述输入输出口而向所述处理室输入之前的工件进行清洁。

13.根据权利要求12所述的工件清洁装置，其中，

所述前段侧清洁槽为使用烃系溶剂对工件进行清洁的清洁槽，

所述处理室内的所述清洁槽为使用氟系溶剂对工件进行清洁的清洁槽。

14.根据权利要求1～9中任一项所述的工件清洁装置，其中，

所述内门为能够在将所述处理室与所述输入输出室之间的所述连通口隔断的隔断位置、以及使所述连通口敞开的敞开位置之间滑动的内门，

所述内门的两侧的边缘部分形成为相对于从所述敞开位置朝向所述隔断位置的前进方向以锐角而倾斜的倾斜面，

与处于所述隔断位置的所述内门的所述边缘部分对置的所述连通口的两侧的开口边缘部分，形成为在与所述边缘部分抵接的状态下能够跃升至所述边缘部分的互补的倾斜面形状。

15.一种工件清洁方法，其使用了权利要求1所述的工件清洁装置，其中，

在将所述处理室与所述输入输出室之间的所述连通口关闭的状态下，将作为清洁对象的工件从所述输入输出口向所述输入输出室输入，

在将所述输入输出口关闭之后，将所述连通口打开，使工件从所述输入输出室下降至浸渍于在所述处理室内的清洁槽贮存的溶剂中的位置，由此进行该工件的清洁处理，

在清洁之后，经由所述蒸气清洁区域以及所述冷却干燥区域而使工件上升至所述输入输出室，然后将所述连通口关闭，

借助热交换器而使所述输入输出室内的气体循环，由此对所述气体中含有的溶剂进行冷却而使之液化并对其进行回收，

然后，将所述输入输出口打开，将处理后的工件输出。

16.一种工件清洁方法，其使用了权利要求6所述的工件清洁装置，其中，

在将所述输入侧连通口关闭的状态下，将作为清洁对象的工件从所述输入口向所述输入输出室输入，

在将所述输入口关闭之后，将所述输入侧连通口打开，使工件从所述输入室下降至浸渍于在所述处理室内的所述清洁槽贮存的溶剂中的位置，由此对该工件实施清洁处理，

将清洁后的工件拉升至所述蒸气清洁区域，在所述蒸气清洁区域内沿横向将该工件输送至所述蒸气发生槽的正上方的位置，在该蒸气清洁区域内对工件实施蒸气清洁，

将蒸气清洁后的工件拉升至所述冷却干燥区域而实施干燥处理，

在将干燥后的工件输出至所述输出室之后，将所述输出侧连通口关闭，

借助热交换器而使所述输出室内的气体循环，由此从该气体对溶剂进行冷却液化并对其进行回收，

然后，将所述输出口打开，将所述工件输出。

17.一种工件清洁方法，其使用了权利要求9所述的工件清洁装置，其中，

在将所述输入侧连通口关闭的状态下，将作为清洁对象的工件从所述输入口向所述输入输出室输入，

在将所述输入口关闭之后，将所述输入侧连通口打开，使工件从所述输入室下降至浸渍于在所述处理室内的所述第一清洁槽贮存的溶剂中的位置，由此对该工件实施粗清洁处理，

将清洁后的工件拉升至所述蒸气清洁区域，在所述蒸气清洁区域内沿横向将该工件输送至所述第二清洁槽的正上方的位置，

使工件从所述蒸气清洁区域下降至浸渍于在所述第二清洁槽贮存的溶剂中的位置，由此对该工件实施精清洁处理，

将清洁后的工件拉升至所述蒸气清洁区域，并沿横向将该工件输送至所述蒸气发生槽的正上方的位置，在该蒸气清洁区域内对工件实施蒸气清洁，

在将蒸气清洁后的工件拉升至所述工件输入输出区域的所述输出位置之后，沿横向将该工件输送至所述干燥区域，

在所述干燥区域对工件实施干燥处理，

在将干燥后的工件输出至所述输出室之后，将所述输出侧连通口关闭，

借助热交换器而使所述输出室内的气体循环，由此从该气体对溶剂进行冷却液化并对其进行回收，

然后，将所述输出口打开，将所述工件输出。

18.根据权利要求15、16或17所述的工件清洁方法，其中，

所述溶剂为氟系清洁剂。