KR100395363B1 - 용제의 정제방법 및 장치 - Google Patents

Abstract

저비점 및 고비점 불순물을 함유하는 용제는 증발부(A) 에 증발하여 고비점 불순물은 탱크 저부폐기물로서 남겨지게 되고 증발부로 부터의 용제증기는 미스트 분리기(2) 를 통하여 응축기(3) 로 유도된다. 응축기(3) 에서 셍성된 응축물은 미스트 포획 액체로서 조력하기 위해 미스트 분리기(2) 로 되돌아간다.

응축기(3) 에서 응축되지 않은 부분은 정류부(B) 로 공급되어 여기서 분별 응축을 수행하여 저비점 불순물이 응축 제거된다. 불순물이 제거된 용제증기의 잔부도 또한 응축되고, 액정장치나 IC의 제조동안 레지스터 세척/박리 단계에 재사용되기 위해 회수되므로, 오염된 용제를 버리거나 먼 장소에서 처리할 필요가 없어 용제를 사용하는 공정이나 단계를 용이하게 한다.

Description

용제의 정제방법 및 장치

발명의 배경

발명의 분야

본 발명은 용제의 재정제 및 회수에 관한 것으로 좀더 구체적으로는, 특정액정장치나 특정 집적회로칩 등의 제조공장에서 사용되고 있고, 상당한 양의 저비점단편과 고비점단편을 함유하는 용제를 정제하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다.

종래기술

여러가지 레지스트는 액정장치나 집적회로(IC)를 제조하는데 사용되고, 후에 그들 레지스트를 제거하기 위해 용제로 세척된다. 용제는 불용성 용제이거나 수용성 용제일 수도 있다. 수용성 용제는 그들 장치나 회로를 세척하고, 뒤이어 그것의 제거에 대하여 편리하다.

액정이나 기타 전자장치를 세척하는데 반복적으로 사용된 경우, 그들 용제는 점차로 그들의 세척효율이나 세척력을 손실한다. 이것은 물과 같은 저비점 단편과 마찬가지로 레지스트 성분과 같은 고비점 단편이 용제에 축적되기 때문이다.

그러므로 이것은 오염되거나 불순한 용제를 새로운 용제로 즉시 교환하거나 아니면 일정속도로 새로운 용제를 첨가하여 통상 실행되고 있다.

따라서, 오염된 용제는 간헐적이나 아니면 연속적으로 상술한 공장으로 부터 버려지고 있으며, 그결과 환경오염 및/또는 경제손실을 일으킨다.

불순한 용제가 상기 제조공장으로 부터 떨어져 위치한 회수공장에서 재생될지라도 높은 이송비용을 초례하게 되어 바람직하지 않게 될 것이다.

발명의 개요

본 발명의 목적은 그들 단점의 관점에서, 액정장치나 IC의 제조를 위한 공장에서 레지스트를 세척 및/또는 제거하는데 사용되고 있는 용제를 재생 및 회수하는 발전된 방법 및 개선된 장치를 제공하는 것이다. 또다른 목적은 배치식이나 일정 속도로 버리거나 먼 회수공장으로 오염된 용제를 이송하는 것이 그들 제조공장에서 더이상 필요없게하여 상기 제조공장에서 용제를 사용하는 공정이 연속적으로 그리고 좀더 효율적으로 조작될 수 있도록 하는 것이다.

목적을 달성하기 위해 여기에 제안된 방법은 하기의 단계들로 이루어진다.

용제를 사용하는 제조공정에서 전자장치의 처리로 인해 저비점 및 고비점 불순물로 오염된 사용된 용제를 증발기내에서 증발하는 단계로, 여기에서 고비점 불순물은 탱크 저부 폐기물로서 증발기에 남겨져 거기에서 제거되며 증발기에서 발생된 따라서 저비점 불순물을 함유하는 용제증기는 증발기 밖으로 내보내는 단계; 다음에, 용제 증기를 미스트(mist)분리기를 통과하여 응축기로 유도하는 단계로, 증기중에 비말동반된 미스트 입자가 분리기에 의해 포획되고 상기 증기를 응축기에서 부분적으로 응축시켜 상기 분리기로 되돌리고 거기에서 미스트 포획액체로서 조력하도록 하며 여전히 용제 증기의 미응축잔부가 저비점 불순물을 함유하는 단계; 그리고 마지막으로 정류 컬럼내에서 미응축 용제 증기의 분별 응축을 실시하여 상기 증기의 부분이 저비점 불순물이 풍부한 액체 폐기물로서 응축하고 컬럼으로 부터 제거되도록 하는 단계로, 상기 용제 증기의 잔부는 응축되나 전자장치의 제조공정에서 재사용을 위해 회수되는 단계, 이로써 상기 단계들에서 조작되는 용제의 전체순도가 규정된 범위내에 들도록 조절될 수 있다.

상술한 전형적인 구체예에서, 용제를 사용하는 공정중의 하나는 제조되는 액정장치로 부터 레지스트를 세척하고 박리하는 단계이다. 이러한 경우에는, 저비점 불순물의 주된 성분은 물이고, 고비점 불순물은 본질적으로 레지스트 성분으로 구성된다.

상술한 방법을 수행하고 목적을 달성하기 위해 본 발명에 제공된 장치는 (a)증발부와 (b) 거기에 조작적으로 접속된 정류부로 이루어지며, 여기에서 증발부는전자장치를 제조하기 위해 용제를 사용하는 공정동안 실시되는, 전자장치의 처리로 인해 저비점 불순물 및 고비점불순물로 오염된 사용된 용제를 비등하기 위한 증발기로 이루어지고, 고비점 불순물은 증발기에 남겨져 탱크 저부 쓰레기로서 거기에서 제거되고 따라서 저비점 불순물을 함유하는 용제의 혼합증기가 증발기 밖으로 내보내진다.

증발부는 추가로 증발기로 부터 흐르고, 저비점 불순물을 함유하는 혼합된 증기내에 비말동반된 미스트 입자를 포획하기 위해 증발기의 하류에 거기에 접속된 미스트 분리기; 그리고, 여전히 용제 증기의 미응축잔부가 저비점 불순물을 함유하면서 미스트 포획 액체로서 분리기로 되돌아온 응축물을 형성하기 위해 미스트 분리기로부터 흐르는 혼합된 증기를 부분적으로 응축하기 위해 미스트 분리기의 또한 하류에 거기에 접속된 응축기로 이루어지는데, 여기에서, 정류부는 그것의 저비점 불순물이 완전히 응축하여, 컬럼으로부터 제거되도록 하고 용제증기의 잔부가 또한 재생용제로서 응축되고 회수되도록 하는 미응축 용제증기를 분별 응축하는 정류컬럼으로 이루어진다.

바람직하게는, 증발기는 '박막-하향형' 일수도 있고, 미스트 분리기는 응축기에서 제조된 응축물인 미스트 포획액체로 조작되는 충전탑일수도 있다.

여기에서 특징으로서 사용된 정류컬럼은 응축기로부터 거기에서 응축되지 않은 증기 혼합물을 '증기-공급' 방식으로 직접 수용한다.

여기에서 개시된 방법에서, 고비점 불순물 및 저비점 불순물로 오염된 용제는 비등되어 탱크 저부로서 전자의 불순물의 부분이 남겨져 증발기로 부터 제거된다.

혼합증기에 의해 비말동반되고 상기 고비점 불순물의 또다른 부분을 지니는 미스트는 하류의 응축기에서 미스트 분리기로 공급된 응축물에 의해 세척되고 포획된다.

이들 두가지 분리기능으로 인해 그들 고비점 불순물의 부분들은 이 시스템으로 부터 거의 완전히 그리고 확실히 제거될 것이다. 정류컬럼에서 실시된 분별 응축으로 인해, 저비점 불순물의 응축물은 용제의 잔부로 부터 효율적으로 제거될 것이다.

따라서 거의 전부 제거된 저비점 및 고비점 불순물 모두를 갖는 재생된 용제는 액정장치, 집적회로보드(IC)나 기타 전자부품으로부터 레지스트를 세척 및/또는 박리하기 위한 것과 같은 공정에서 재사용될 것이다. 따라서, 그들 공정에서 조작하는 용제의 전체순도는 규정된 범위내에 들도록 조절될 수 있고, 그렇게 하여 상기 공정의 효율을 개선할 수 있다. 처리되는 용제의 어떤 오염된 부분도 더이상 시스템의 외부로 버려지거나 먼 회수공장에서 처리될 필요가 없다.

상술한 바와 같이, 여기에 제공된 장치는 저비점 불순물이 재사용을 위하여 용제를 재생하는 정류 컬럼에 의해 제거되기 전에, 고비점 불순물이 증발기와 미스트 분리기의 기능에 의해 용제로 부터 거의 완전히 제거되도록 서로 조합된 증발부 및 정류부로 이루어진다. 그러므로 본 발명의 방법은 그러한 장치를 사용하여 편리하게 수행될 수 있다.

증발기의 '박막-하향형' 은 더 짧은 기간동안 가열하여 열분해로 부터 용제를 보호할 필요가 있는 용제에 유익하다. 미스트 분리기로서 사용된 충전탑은 미스트 포획액체가 조절된 속도로 어떤 외부공급원으로부터 공급될 필요가 없으며 하류의 응축기에서 생성된 응축물은 어떤 어려운 조절을 필요로 하지 않고, 쉽게 이용된다는 점에서 유리하다.

정류부에 미응축용제를 공급하는 '증기공급' 방식은 전체공정의 효율성을 개선한다.

용제를 재생 및 회수하기 위해 본 발명이 제공하는 방법과 장치 모두는 높은 온도에서 비등하는 고비점 불순물의 주성분이 레지스트 화합물이면서, 낮은 온도에서 비등하는 저비점 불순물의 주성분이 물이고 용제가 액정장치의 레지스트 피복막을 세척 및/또는 박리하는데 사용되는 경우에 특히 유용하다. 그들 불순물이 이미 제거된 재생된 용제의 재이용은 용제시스템의 세척능력을 일정하게 유지하는데 효과적이다.

따라서 본 발명은 재생된 용제시스템과 재생되지 않은 용제시스템 간에 관찰된 세척 능력의 차이가 현저하기 때문에 생기는 문제가 감소한다. 공장의 안팎에서 용제 로트를 운반하고, 그들을 재생처리하기 위하여 시간과 노력을 소비하는 작업은 액정장치의 제조에서 제조효율을 올리는데, 장애중 하나이었다. 세척/박리 단계는 이제 전체효율에 더이상의 손실이 없는 본 발명에 의해 용이해질 것이다.

안정한 세척능력은 용제시스템이 새로운 용제로 전체가 교환되어야만 하는때의 시간간격을 연장하고, 그렇게 하여, 용제시스템의 유지를 위한 조작비용 및 재료를 줄이고, 환경에 해로운 액체폐기물의 양을 감소시킨다.

바람직한 구체예의 상세한 설명

이제, 본 발명은 도면에 나타낸 구체예를 언급하여 좀더 상세히 기술될 것이다.

제 1도에 나타낸 구체예에 제공된 장치는 DMSO(디메틸술폭사이드) 와 NMP(N-메틸-2-피롤리돈) 으로 이루어진 수용성 혼합용제를 정제하기 위해 설계된 것이다.

일반적으로, 액정장치의 제조에서 레지스트층을 세척/박리하는 단계에서 한번 사용된 이 용제는 상당한 양의 물 (저비점 불순물로서) 과 레지스트성분 (고비점 불순물로서)으로 불가피하게 오염되고 그것을 함유할 것이다.

구체예에서 제공된 장치는 증발부 'A' 와 거기에 조작적으로 접속된 정류부 'B'로 이루어진다. 증발부 'A'는 저비점 불순물과 고비점 불순물을 함유하는 사용된 용제를 비등하기 위한 증발기(1) 로 이루어지며, 그렇게 하여 용제 증기가 생성된다.

증발기(1) 에 축적된 탱크저부 폐기물은 고비점 불순물이 많고 그러므로 주기적으로 소모되어야 한다. 또한 습윤형의 미스트 분리기(2) 는 용제증기로 부터 미스트 입자를 분리 또는 포획하기 위한 증발부 'A'를 구성한다.

추가로 부'A'는 미스트 분리기(2) 를 통과한 용제증기의 일부분을 응축하고, 상기 증기의 미응축 잔부는 정류부 'B'로 이송된다. 응축기(3)에서 제조된 응축물은 미스트 분리기로 되돌아가고 미스트 포획 또는 세척액체로서 거기에서 사용된다.

정류부 'B'로 연속적으로 흐르는 적은 부분의 미응축 증기는 저비점 불순물이 풍부하게 되도록 거기에서 응축될 것이고, 그러므로 버려지거나 또는 그렇지 않으면 함께 처리될 것이다. 또한 이부 'B'로 흐르는 상기 미응축 증기의 대부분은 불순물이 없는 재생용제가 되도록 거기에서 응축된다.

이 구체예에서, 증발부 'A'에서 증발기(1) 는 용제가 단시간내에 빠르게 가열되고 열분해로 부터 보호받도록 박막-하향형이다.

이 구체예에서 미스트 분리기(2) 는 조절된 방법으로 충전재로 채워진 충전탑 (소위 '습윤형 데미스터(demister)')이다. 응축기(3) 는 다중 관형이고, 증기의 응축된 양은 미스트 세척/포획 액체로서 분리기에서 조력하도록 미스트 분리기에 되돌아가도록 한다.

분별 응축을 위해 정류부 'B'는 본질적으로 정류화 컬럼(7) 및 재비기(再沸器: reboiler)(9) 로 구성된다. 컬럼(7) 은 응축역(5) 및 회수역(6) 으로 이루어지고, 재비기(9) 는 박막-하향형의 가열용기로서 형성된다.

회수역(6) 은 저비점 불순물의 함량을 원하는 수준이하로 억제하는 것이 어렵지 않다면, 용제회수에 대한 보통의 장치들에서 사용한 것과 같이 필요없게 될 수도 있다.

용제증기는 정류화 컬럼(7) 에는 분별 응축에 제공될 것이다.

상세하게는, 상기 증기의 대부분 또는 실질적인 부분이 저비점 불순물로 부터 분리된 후에, 재생된 용제를 제공하기 위해, 상기 컬럼에서 응축되고, 재비기(9) 의 저부에서 추출된다. 그렇게 회수된 용제는 구역(12)에 공급되고, 레지스트를 세척 (박리)하기 위해 거기에서 재사용될 것이다.

정류화 컬럼(7) 의 최상단에 접속된 파이프(10)는 주성분이 수증기인 저비점 불순물의 증기를 거기에서 추출하도록 작동한다. 파이프(10)로 연결된 응축기(11)는 수증기를 응축시킬 것이다. 상술된 장치의 조작에서, 용제증기는 고비점 불순물이 증발되지 않고 탱크 저부폐기물로 제거되기 위해 남아 있게 되는 증발부 'A'의 증발기(1) 로 연속적으로 공급될 것이고, 다른 부분은 다음의 공정을 위해 증발된다.

증발부 'A'로 부터 용제증기를 수용하는 미스트 분리기(2) 에서, 고비점 불순물의 미스트 입자는 용제증기로 부터 분리된다. 분리기(2) 의 외부로 흐르는 이 증기는 응축기(3) 로 들어가 거기에서 부분적으로 응축될때는 상기 불순물이 없다. 상기 응축기에서 생성된 응축물은 미스트 포획액체로서 조력하도록 분리기에 되돌아갈 것이다.

응축기(3) 에서 응축되지 않은 용제증기는 정류부 'B'로 '증기공급' 되고 정류화 컬럼(7) 에서 분별 응축을 겪게될 것이다. 저비점 불순물은 응축기(11)내에서 응축되고, 대부분의 증기부분에서 추출되어질 것이고, 또한 응축되어 재비기(9)의 저부에서 추출된다. 응축기(11)로부터 유출하는 응축물의 일부분은 파이프(13)를 통하여 컬럼(7)의 최상단으로 되돌아가고 잔부는 이 시스템으로 부터 방출된다.

그렇게 재생되고 회수된 용제는 레지스터 세척(박리)공정(12)으로 연속적으로 재순환될 것이다. 용제의 어떤 오염된 부분을 버리거나 아니면 재생하기 위해 시스템 밖으로 꺼내올 필요가 없고, 이제, 레지스트 세척(박리)공정을 효과적으로 작동하기에 충분히 높은 용제순도를 유지하는 것이 가능하다. 제 2도는 용제에 함유된 물의 함량에서 시간의 경과에 따른 변화를 나타내는데, 그것을 정제하는 장치가 한 경우에서는 작동되어 있고 다른 경우에서는 작동하지 않고 정지되어 있다.

유사하게, 제 3도는 두가지 경우에서, 용제중의 레지스트 성분의 함량의 변화를 나타낸다. 본 발명의 더 쉽고 더 빠른 이해를 위해서, 구체예에서 예시되는 용제는 수용성이며, 여기에서 저비점 및 고비점 불순물은 물과 레지스트성분이다.

그러나 대신에 용제가 수불용성일수도 있고 또한 본 발명은 거기에도 적용된다.

그러므로 불순물 및 다른 세부적인 것은 예시된 것에 제한되지 않는다.

증발부의 구조, 거기에 포함된 증발기의 유형, 습윤 미스트-분리기의 유형 (충전재의 유형 및 그것을 장전하는 방법 포함), 상기 증발부에서 응축기의 유형 및 구조, 그리고 정류부에서 단계들의 구조와 수가 본 발명의 범위내에서 모두 변형가능하다. 정류부에서 회수역은 바람직하지 않거나 필요없다면 없앨수도 있다.

요약하면, 여기에서 개시된 방법에서, 고비점 불순물 및 저비점 불순물로 오염된 용제는, 비등되어 탱크저부로서 전자의 불순물의 부분을 남겨서 증발기로 부터 제거된다.

혼합증기에 의해 동반되고 상기 고비점 불순물의 또다른 부분을 지니는 미스트는 하류의 응축기에서 미스트 분리기로 공급된 응축물에 의해 세척되고 포획된다.

이들 두가지 분리기능으로 인해 그들 고비점 불순물의 부분들은 이 시스템으로 부터 거의 완전히 그리고 확실히 제거될 것이다. 정류컬럼에서 실시된 분별 응축으로 인해, 저비점 불순물의 응축물은 용제의 잔부로 부터 효율적으로 제거될 것이다. 따라서 거의 전부 제거된 저비점 및 고비점 불순물 모두를 갖는 재생된 용제는 레지스트를 세척 및/또는 박리하기 위한 것과 같은 공정에서 재사용될 것이다.

따라서, 그들 공정에서 조작하는 용제의 전체 순도는 규정된 범위내에 들도록 조절될 수 있다. 결론적으로 액정장치, IC나 기타로부터 그것의 제조동안 레지스트를 세척/박리하는 상기 공정의 효율성에서 처리되는 용제의 어떤 오염된 부분도 더이상 시스템의 외부로 버려지거나 먼 회수공장에서 처리될 필요가 없어 제조효율성을 개선한다.

상술한 바와 같이, 여기에 제공된 장치는 저비점 불순물이 재사용을 위하여 용제를 재생하는 정류 컬럼에 의해 제거되기 전에, 고비점 불순물이 증발기와 미스트 분리기의 기능에 의해 용제로부터 거의 완전히 제거되도록 서로 조합된 증발부 및 정류부로 이루어진다. 그러므로 본 발명의 방법은 그러한 장치를 사용하여 편리하게 수행될 수 있다.

증발기의 '박막-하향형' 은 더 짧은 기간동안 가열하여 열분해로 부터 용제를 보호할 필요가 있는 용제에 유익하다. 미스트 분리기로서 사용된 충전탑은 미스트 포획액체가 조절된 속도로 어떤 외부공급원으로부터 공급될 필요가 없으며 하류식 응축기에서 제조된 응축물은 어떤 어려운 조절을 필요로 하지 않고, 쉽게 이용된다는 점에선 유리하다.

정류부에 미응축 용제를 공급하는 '증기공급' 방식은 전체 공정의 효율성을 개선한다. 용제를 재생 및 회수하기 위해 본 발명이 제공하는 방법과 장치 모두는높은 온도에서 비등하는 고비점 불순물의 주성분이 레지스트 화합물이면서, 낮은 온도에서 비등하는 저비점 불순물의 주성분이 물이고 용제가 액정장치의 레지스터 피복막을 세척 및/또는 박리하는데 사용되는 경우에 특히 유용하며, 그들 불순물이 이미 제거된 제거된 재생된 용제의 재이용은 용제 시스템의 세척능력을 일정하게 유지하는데 효과적이다. 따라서 본 발명은 재생된 용제시스템과 재생되지 않은 용제시스템 간에 관찰된 세척능력의 차이가 현저하기 때문에 생기는 문제가 감소한다.

공장의 안팎에서 용제로트를 운반하고, 그들을 재생처리하기 위하여 시간과 노력을 소비하는 작업은 액정장치의 제조에서 제조효율을 올리는데, 장애중 하나이었다.

세척/박리 단계는 이제 전체 효율이 더이상의 손실이 없는 본 발명에 의해 용이해질 것이다. 안정한 세척능력은 용제시스템이 새로운 용제로 전체가 교환되어야만 하는 때의 시간 간격을 연장하고, 그렇게 하여 용제시스템의 유지를 위한 조작비용 및 재료를 줄이고, 환경에 해로운 액체폐기물의 양을 감소시킨다.

제 1도는 본 발명의 구체예에서 제공되는 장치인 용제정제용 장치를 개략적으로 나타낸다.

제 2도는 제 1도의 장치의 작동중일때와 작동하지 않을때의 용제내에 함유된 물의 함량에 있어서 시간의 경과에 따라 관찰된 변화를 나타내는 그래프이다.

제 3도는 마찬가지로 장치의 작동중일때와 작동하지 않을때의 용제내의 함유된 레지스트 (resist) 화합물의 함량에 있어서 시간의 경과에 따라 또한 관찰된 변화를 나타내는 그래프이다.

Claims (5)

1. 용제를 사용하는 제조공정에서 전자장치의 처리로 인해 저비점 및 고비점 불순물로 오염된 사용된 용제를 증발기내에서 증발시키는 단계로, 여기에서 고비점 불순물은 탱크 저부폐기물로서 증발기에 남겨져 거기에서 제거되며, 증발기에서 발생되고 저비점 불순물을 함유하는 용제증기가 증발기밖으로 내보내지는 단계;

   다음에, 용제증기를 미스트 분리기를 통하여 응축기로 유도하는 단계로, 증기에 비말동반하는 미스트 입자가 분리기에 포획되고, 상기 증기가 상기 분리기로 되돌아가 미스트 포획 액체로서 거기에서 조력하도록 응축기에서 부분적으로 응축하며 용제 증기의 미응축 잔부는 여전히 저비점 불순물을 함유하는 단계; 및

   마지막으로, 정류화 컬럼내에서 미응축 용제증기의 분별 응축을 실시하는 단계로, 상기 증기의 부분이 저비점 불순물이 풍부한 액체폐기물로서 응축되고 컬럼에서 제거되도록 하며, 상기 용제 증기의 잔부가 응축되나 전자장치의 제조공정에서의 재사용을 위해 회수되는 단계들로 이루어져, 이로써 상기 단계들에서 조작되는 용제의 전체 순도가 규정된 범위내에 들도록 조절될 수 있는 것을 특징으로 하는 용제의 정제방법.
2. 제 1항에 있어서, 용제를 사용하는 공정이 제조되는 액정장치로부터 레지스트를 세척 및 박리하는 단계이며, 저비점 불순물의 주된 성분은 물이고 고비점 불순물은 본질적으로 레지스트 성분으로 구성되는 것을 특징으로 하는 방법.
3. (a) 전자장치의 제조에 용제를 사용하는 공정동안 실시되는 전자장치의 처리로 인해 저비점 불순물과 고비점 불순물로 오염된 사용된 용제를 비등하기 위한 증발기, 여기서 고비점 불순물은 증발기에 남겨져 탱크 저부폐기물로서 거기에서 제거되고 저비점 불순물은 증발기 밖으로 나오며;

   저비점 불순물을 함유하는 증발기로 부터 흐르는 혼합된 증기내에 비말동반된 미스트 입자를 포획하기 위해 증발기의 하류에 거기에 접속된 미스트 분리기; 그리고

   미스트 포획액체로서 거기에 되돌아간 응축물을 형성하도록 미스트 분리기로 부터 흐르는 혼합된 증기를 부분적으로 응축하고 용매증기의 미응축 잔부는 여전히 저비점 불순물을 함유하게 되는 미스트 분리기의 또한 하류에 거기에 접속된 응축기로 이루어지는 증발부; 및

   (b) 미응축용제증기 저비점 불순물이 완전히 응축하여 컬럼에서 제거되도록 미응축 용제증기를 분별 응축하기 위한 정류화 컬럼으로 이루어져, 용제증기의 잔부가 또한 응축되고 재생용제로서 회수되는 증발부와 조작적으로 접속된 정류부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 용제의 정제장치.
4. 제 3항에 있어서, 증발기가 '박막-하향형' 이고, 미스트 분리기가 응축기에서 제조된 응축물인 미스트 포획액체로 조작하는 충전탑인 것을 특징으로 하는 장치.
5. 제 3항 또는 4항에 있어서, 정류화 컬럼이 응축기로부터 거기에서 응축되지 않은 증기혼합물을 '증기-공급' 방식으로 직접 수용하도록 제작된 것을 특징으로 하는 장치.