JP2011205145A - 基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】制御部97は、基板Wを純水で洗浄する純水洗浄処理の後、溶剤を注入して純水を溶剤で置換する置換処理を行い、処理液の流れを第1の分岐配管49に切り換え、油水分離フィルタ51によって純水を処理液から除去する分離除去処理の後、処理液の流れを第2の分岐配管53に切り換え、吸着フィルタ55により吸着除去処理を行う。したがって、分離除去処理によっても除去しきれない微量の純水だけを吸着フィルタ55によって吸着除去することができ、溶剤中の純水濃度を極力低くすることができる。その結果、溶剤中の純水に起因する乾燥不良を防止できる。
【選択図】図1
Description
すなわち、従来の装置は、純水による洗浄を終えた基板を純水から引き上げ、IPA雰囲気中に移動することにより、基板の乾燥をある程度は促進することができる一方、基板に形成された細かいパターンの間に付着している純水を充分に乾燥することができず、基板の乾燥不良が生じる恐れがある。
すなわち、請求項1に記載の発明は、基板を処理液で処理する基板処理方法において、純水を供給して処理槽内の基板を純水で洗浄する純水洗浄処理と、溶剤を注入して前記処理槽内の純水を溶剤で置換する置換処理と、処理液中の純水と溶剤とを分離して、純水を排出する分離手段により、処理液から純水を除去する分離除去処理と、処理液中の純水を吸着除去する純水除去手段により、処理液中の純水を吸着して除去する吸着除去処理と、を実施することを特徴とするものである。
図1は、実施例に係る基板処理装置の概略構成を示すブロック図である。
制御部97は、三方弁15を循環側に切り換えるとともに、三方弁19を供給配管11側に切り換え、制御弁27を開放するとともに流量制御弁31を調整して、純水供給源25から注入管23及び供給配管11を介して純水を所定流量で内槽3へ供給する。内槽3及び外槽5並びに供給配管11を純水で満たした後、ポンプ17及びインラインヒータ21を作動させて所定の温度(例えば、60℃)に純水を加熱する。所定温度になった後、保持アーム7を待機位置から処理位置へ下降させ、これを所定時間だけ維持して、所定温度に加熱した純水で基板Wを洗浄処理する。
制御部97は、インラインヒータ21及びポンプ17を停止させるとともに、三方弁15を排液側へ切り換えるとともに、流量制御弁31を閉止する。そして、流量制御弁41を所定流量に調節して、供給配管11へHFEを供給する。内槽3及び外槽5がHFEで満たされた後、三方弁15を供給配管11側へ切り換えるとともにポンプ17を作動させる。これにより、処理液のうち純水の大半が排出され、処理液にHFEが混合されて純水が溶剤で置換される。
制御部97は、制御弁63,67,69を開放するとともに、三方弁19を第1の分岐管49側へ切り換える。これにより、スタティックミキサ57で非水溶性のHFEと純水とが充分に混合された後、処理液が油水分離フィルタ51を通ることになる。
制御部97は、上記のステップS3を所定時間だけ行った後、制御弁59を開放して流路を第3の分岐管58へ切り換え、処理液の流れがスタティックミキサ57を通らないようにバイパスする。これにより、純水濃度が低くされた処理液が油水分離フィルタ51だけを通るようになる。
制御部97は、濃度計95からの純水濃度が第1の所定値以下であるか否かに応じて処理を分岐する。具体的には、純水濃度が第1の所定値を越える場合には、ステップS4を繰り返し、第1の所定値以下である場合には、ステップS5へ処理を移行する。
制御部97は、制御弁65を開放するとともに、制御弁67,69を閉止する。これにより、純水濃度が第1の所定値以下とされた処理液(大半がHFE)が第2の分岐管53へ流れる。これにより、処理液中に僅かに残った純水が吸着フィルタ55によって吸着除去される。制御部97は、純水濃度が第2の所定値以下になるまで、ステップS6の処理を継続し、第2の所定値以下となった時点でステップS8へ処理を移行する。
制御部97は、振動付与部47を駆動して、内槽3に貯留している処理液に対して超音波振動を所定の出力で所定時間だけ付与する。これにより、基板Wの微細構造に入り込んだ純水を処理液、つまりHFEで置換させることができる。しかも、処理液中の純水濃度が極めて低くされているので、基板Wの微細構造に対してダメージを与えることがない。
1 … 処理槽
3 … 内槽
5 … 外槽
7 … 保持アーム
9 … 噴出管
11 … 供給配管
29 … ミキシングバルブ
47 … 振動付与部
49 … 第1の分岐配管
51 … 油水分離フィルタ
53 … 第2の分岐配管
55 … 吸着フィルタ
57 … スタティックミキサ
58 … 第3の分岐配管
97 … 制御部
Claims (4)
- 基板を処理液で処理する基板処理方法において、
純水を供給して処理槽内の基板を純水で洗浄する純水洗浄処理と、
溶剤を注入して前記処理槽内の純水を溶剤で置換する置換処理と、
処理液中の純水と溶剤とを分離して、純水を排出する分離手段により、処理液から純水を除去する分離除去処理と、
処理液中の純水を吸着除去する純水除去手段により、処理液中の純水を吸着して除去する吸着除去処理と、
を実施することを特徴とする基板処理方法。 - 請求項1に記載の基板処理方法において、
溶剤が水溶性である場合には、処理液の流れを、純水と溶剤とを混合するミキサに通さず、溶剤が非水溶性である場合には、処理液の流れを、純水と溶剤とを混合するミキサに通すミキシング処理を前記分離除去処理前に行うことを特徴とする基板処理方法。 - 請求項1または2に記載の基板処理方法において、
前記吸着除去処理により処理液中の純水濃度が所定値以下になった場合には、処理液に超音波を付与することを特徴とする基板処理方法。 - 請求項1から3のいずれかに記載の基板処理方法において、
前記置換処理において注入される溶剤は、HFE(ハイドロフロオロエーテル)またはIPA(イソプロピルアルコール)であることを特徴とする基板処理方法。
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