TWI418958B - 光阻剝離廢液再製方法及再製裝置 - Google Patents

光阻剝離廢液再製方法及再製裝置 Download PDF

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Description

光阻剝離廢液再製方法及再製裝置 發明領域
本發明係關於一種光阻剝離廢液再製方法及再製裝置，特別係關於一種於再製包含水、光阻、胺化合物、有機溶劑之光阻剝離廢液之方法中，經濟性良好地再製於使用包含各種特別之胺化合物之剝離液之剝離步驟及使用各種光阻及剝離液之情形所產生之光阻剝離廢液的光阻剝離廢液再製方法及再製裝置。
 發明背景
為了製造積體電路(IC)、高積體電路(LSI)、超高積體電路(VLSI)等半導體元件及液晶顯示元件等顯示器裝置，會反覆地實施多階段的光蝕刻步驟及光阻剝離步驟，藉此產生大量的光阻剝離廢液。特別是因液晶顯示元件等顯示器基板面積的急速大型化，剝離液的使用量大幅增加，關於剝離廢液再利用之要求進而高漲。
於光阻剝離步驟中所使用之剝離液廢液，包含光阻、水分、各種有機胺化合物及有機溶劑。先前用以廢棄處理此種剝離液廢液之方法，一般採用焚燒處理之方法，但此種方法會將焚燒氣體排放至大氣中，不僅對環境帶來不良影響，且連剝離液廢液中之可再利用的成分都廢棄掉，因此由經濟面考量並不佳，故進行有很多關於剝離廢液之再製的研究。
又，最近，由於半導體及顯示器製造步驟中進一步要求精密度及特性化，因此大多進行將最適用於各個步驟之光阻加以細分，於各個剝離步驟中所使用之光阻剝離液之成分亦細分成各種有機胺、有機溶劑之種類及含量而使用。
作為對光阻剝離廢液之再製之試驗之一例，於下述專利文獻1(大韓民國專利申請第10－2002－0075235號)中係揭示有一種光阻剝離廢液之再製裝置，其係用以再製含有烷醇胺、有機溶劑及光阻之光阻剝離廢液者，具有：膜分離裝置，係具有截取分子量100~1500之膜，使用前述膜將前述光阻剝離廢液分離成濃縮液及透過液者；濃度調整槽，係用以貯藏前述透過液，調整前述透過液中之烷醇胺及有機溶劑之濃度者；烷醇胺供給機構，係供給烷醇胺至前述濃度調整槽者；及有機溶劑供給機構，係供給有機溶劑至前述濃度調整槽者。前述方法係利用光阻剝離廢液中所含之烷醇胺及有機溶劑通過奈米膜、光阻未通過之性質，而再製剝離液之方法。
又，除此之外，亦有各種關於光阻剝離廢液之再製之試驗正進行中，但並不適用於為了將有機溶劑及各種胺化合物暫時分離，而再製使用特別之胺化合物之分別細分化之光蝕刻液及於剝離步驟所產生之剝離廢液上，又，於半導體及顯示器製造步驟中使用各種光阻及剝離液之情形，既存之用以將有機溶劑及各種胺化合物暫時分離之光阻剝離廢液再製方法係存有極限，因此進一步需要可將光阻剝離廢液中之光阻、水分及有機胺化合物去除，僅經濟性地再製有機溶劑之方法。
[專利文獻1]大韓民國專利申請第10-2002-0075235號
 發明揭示
為了解決先前技術之問題，本發明之目的係提供一種光阻剝離廢液再製方法及再製裝置，其可無關於光阻剝離液中所包含之胺化合物之種類，再製高價之有機溶劑，作為光阻剝離液再利用，藉此進一步減少因光阻剝離廢液所造成之環境污染，且藉由再利用高價之有機溶劑，可進一步減少費用。
本發明之另一目的係提供一種光阻剝離廢液再製方法及再製裝置，其適用於使用包含各種特別之胺化合物之剝離液之剝離步驟及使用各種光阻及剝離液之情形，經濟性良好地同時再製光阻剝離廢液。
為了達成前述目的，本發明係提供一種光阻剝離廢液再製方法，係再製包含水、光阻、胺化合物、有機溶劑之光阻剝離廢液者，其特徵在於包含：(a)添加酸之階段，前述酸係與光阻剝離廢液之胺化合物反應，使胺化合物自剝離廢液中析出作為胺-酸化合物者；(b)自剝離廢液過濾出於前述(a)階段所析出之胺-酸化合物之階段；及(c)分餾前述(b)階段之經去除胺之剝離廢液，僅取得有機溶劑之階段。
又，本發明係提供一種光阻剝離廢液再製裝置，其特徵在於包含：(a)包含水、光阻、胺化合物、有機溶劑之被處理光阻剝離廢液貯藏槽；(b)酸貯藏槽；(c)於自前述被處理光阻剝離廢液貯藏槽移送來之剝離廢液中添加自前述酸貯藏槽移送來之酸，使剝離廢液之胺化合物與酸反應之反應槽；(d)過濾出自前述反應槽移送來之剝離廢液所析出之胺－酸化合物之過濾器；(e)自前述經過濾之剝離廢液分餾有機溶劑之蒸餾槽；及(f)收集於前述蒸餾槽分餾之有機溶劑並貯藏之有機溶劑貯藏槽。
又，本發明係提供一種光阻剝離廢液再製裝置，其特徵在於包含：(a)包含水、光阻、胺化合物、有機溶劑之被處理光阻剝離廢液貯藏槽；(b)使自前述被處理光阻剝離廢液貯藏槽移送來之被處理光阻剝離廢液通過，且於末端設置有過濾器之酸充填管柱；(c)自通過前述酸充填管柱之剝離廢液分餾有機溶劑之蒸餾槽；及(d)收集於前述蒸餾槽分餾之有機溶劑並貯藏之有機溶劑貯藏槽。
依本發明之光阻剝離廢液再製方法及再製裝置，可無關於光阻剝離液中所包含之胺化合物之種類，再製高價之有機溶劑，作為光阻剝離液再利用，藉此進一步減少因光阻剝離廢液所造成之環境污染，且藉由再利用高價之有機溶劑，可進一步減少費用，特別具有適用於使用包含各種特別之胺化合物之剝離液之剝離步驟及使用各種光阻及剝離液之情形，經濟性良好地同時再製光阻剝離廢液之效果。
 發明之較佳實施形態
以下，詳細說明本發明。
本發明者發現，既存之光阻剝離廢液再製方法，即使在使用包含各種特別之胺化合物之剝離液之剝離步驟及使用各種光阻及剝離液之情形，藉由同時取得有機胺化合物及有機溶劑而再製光阻剝離廢液，亦與實際所使用之有機胺化合物不同，無法作為剝離液使用，因此，研究適用之經濟的再製方法，結果確認以經濟的方法將光阻剝離廢液中之光阻、水分及有機胺化合物去除，僅收集有機溶劑後，再度將適用於各種特別之剝離液之有機胺化合物添加於再製之有機溶劑中，製造光阻剝離液時，可解決全部的問題，終完成本發明。
本發明係再製包含水、光阻、胺化合物、有機溶劑之光阻剝離廢液者，其特徵在於包含：(a)添加酸之階段，前述酸係與光阻剝離廢液之胺化合物反應，使胺化合物自剝離廢液中作為胺-酸化合物析出者；(b)自剝離廢液過濾出於前述(a)階段所析出之胺-酸化合物之階段；及(c)分餾前述(b)階段之經去除胺之剝離廢液，僅取得有機溶劑之階段。
前述光阻剝離廢液，依照使用剝離液之各種步驟，可包含各種有機胺化合物或各種有機溶劑。前述有機胺化合物可為一級、二級或三級胺，可為脂肪族胺、脂環族胺、芳香族胺、異環狀胺、羥基胺。又，前述有機溶劑可包含二醇類之乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單丁醚、乙二醇單苯醚、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單丁醚、二丙二醇單甲醚、二丙二醇單乙醚、二丙二醇單丙醚或二丙二醇單丁醚，可包含二甲基亞碸、二甲基乙醯胺、二甲基甲醯胺、二甲基咪唑啉酮、環丁碸或N-甲基吡咯酮等烷基吡咯酮。
本發明之光阻剝離廢液再製方法中之於前述(a)階段所使用之酸，只要是與剝離廢液中之胺化合物反應，可使剝離廢液之胺化合物自剝離廢液析出之酸即可，並無特別限定，可使用苯甲酸、檸檬酸、甲酸、馬來酸、蘋果酸、水楊酸、酒石酸、乙酸、草酸、磷酸、硝酸、鹽酸、硫酸、過氯酸等。使用量係至少添加與剝離廢液中所含之胺化合物之當量相同當量以上之酸，以未有殘留之胺化合物之方式添加過量的酸為佳。更佳為，使用於分餾有機溶劑時殘存之酸不會混合之酸。
藉由前述(a)階段，被處理光阻剝離廢液之成分包含光阻、水分、胺與酸之反應物、殘存之酸及有機溶劑。
本發明之光阻剝離廢液再製方法包含階段(b)，係過濾出於前述(a)階段所析出之胺－酸化合物之階段。於前述過濾所使用之過濾器可使用可由一般液體中過濾出固體成分之過濾器。藉由本階段，自剝離廢液分離去除胺化合物。
又，本發明之光阻剝離廢液再製方法包含階段(c)，係分餾經過濾胺化合物之剝離廢液，僅收集有機溶劑之階段。於本階段可藉由分餾分餾水分與有機溶劑，僅收集有機溶劑，可將未蒸餾之光阻與未參與反應而未分解之酸分離排出。
前述分別收集之有機溶劑可藉由冷凝器再度液體化，可於前述有機溶劑中添加特別需求之胺化合物，再度利用作為剝離液。
本發明之剝離廢液再製方法，可無關於胺化合物之種類，再製高價之有機溶劑，作為光阻剝離液再利用，藉此進一步減少因光阻剝離廢液所造成之環境污染，且藉由再利用高價之有機溶劑，可進一步減少費用。
以下，作為本發明之具體之一實施形態，說明再製由包含使用草酸(C2 H2 O4 )作為酸成分之於各種光阻剝離步驟中產生之MEA、MIPA、n－MEA之胺化合物、包含二醇及烷基吡咯酮之有機溶劑、水分及光阻構成之剝離廢液之方法。前述草酸因為於常溫下作為二水合物存在，故使用草酸二水合物(C2 H2 O4 H2 O)。
於由包含MEA、MIPA、n－MEA之胺化合物、包含二醇及烷基吡咯酮之有機溶劑、水分及光阻構成之剝離廢液中添加較前述胺化合物之總當量過量之草酸二水合物。添加草酸二水合物時，草酸二水合物與胺化合物反應，以固體狀態析出胺－草酸反應物。固體狀態之胺－草酸反應物藉由過濾自剝離廢液中過濾出。然後，光阻、水分、有機溶劑之混合物藉由分餾，水分最先被蒸餾，其次有機溶劑之二醇及烷基吡咯酮被蒸餾而與殘留之光阻分離，藉此可僅收集目標之有機溶劑。之後，於收集之有機溶劑中選擇性地添加特別要求之胺化合物之MEA、MIPA或n－MEA等，可作為剝離液再利用。
又，本發明係提供一種光阻剝離廢液再製裝置，其特徵在於包含：(a)包含水、光阻、胺化合物、有機溶劑之被處理光阻剝離廢液貯藏槽；(b)酸貯藏槽；(c)於自前述被處理光阻剝離廢液貯藏槽移送來之剝離廢液中添加自前述酸貯藏槽移送來之酸，使剝離廢液之胺化合物與酸反應之反應槽；(d)過濾出自前述反應槽移送來之剝離廢液所析出之胺－酸化合物之過濾器；(e)自前述經過濾之剝離廢液分餾有機溶劑之蒸餾槽；及(f)收集於前述蒸餾槽分餾之有機溶劑並貯藏之有機溶劑貯藏槽。
以下，透過本發明之光阻剝離廢液再製裝置之一實施形態之第1圖所示模式圖，具體說明本發明。於各光阻剝離步驟中回收之被處理光阻剝離液貯藏於被處理光阻剝離廢液貯藏槽110。前述被處理光阻剝離廢液包含光阻、MEA、MIPA、n－MEA等之各種胺化合物、水分及有機溶劑。貯藏於前述被處理光阻剝離廢液貯藏槽10之被處理光阻剝離廢液經由泵111沿著配管被移送至反應槽130。為了於移送前述剝離廢液時調節剝離廢液之量，可於配管之特定部分具有自動調節閥112。又，另外具有酸貯藏槽120，其係貯藏用以與光阻剝離廢液中所含之胺化合物反應之酸。前述酸以單獨或二種以上混合使用苯甲酸、檸檬酸、馬來酸、蘋果酸、水楊酸、酒石酸、草酸等為佳。酸自前述酸貯藏槽120沿著配管被移送至反應槽130。為了於移送前述酸時調節酸之量，可於配管之特定部分具有自動調節閥122。所移送之酸之量宜比剝離廢液中所包含之胺化合物之總當量至少相同或過量。自被處理光阻剝離廢液貯藏槽110移送之剝離廢液與自酸貯藏槽120移送之酸於反應槽130反應，析出胺－酸反應物(一例為胺－草酸反應物)，此時，於剝離廢液中包含光阻、酸－鹼析出物、水分、有機溶媒。前述反應完成之剝離廢液自反應槽130移送、通過過濾器140，去除剝離廢液內之固體成分(胺－草酸反應物)。為了於移送前述剝離廢液時調節剝離廢液之量，可於配管之特定部分具有自動調節閥132。通過前述過濾器140被去除固體成分之剝離廢液沿著配管移送至蒸餾槽150。於蒸餾槽150藉由溫度上升，剝離廢液中所含之成分被分餾、收集。較好的是，前述蒸餾槽150可分別設置用以收集水分之一次蒸餾槽153、用以收集有機溶劑之二次蒸餾槽154、殘留成分排出槽155。使用草酸二水合物作為酸時，剝離廢液內所含之水分經由一次蒸餾槽153被收集，有機溶劑經由二次蒸餾槽154被收集，光阻不被蒸餾而排出至殘留成分排出槽155。較佳的是，前述蒸餾槽150可另外具有減壓裝置156，此時可以降低蒸餾溫度。經由前述二次蒸餾槽154收集之有機溶劑移送至有機溶劑貯藏槽160。前述有機溶劑貯藏槽160具有冷凝器163，可使收集之有機溶劑成為液體狀態。於前述有機溶劑貯藏槽160宜連結有可添加特定之胺化合物之胺化合物槽170，可藉由添加特定之胺化合物，僅添加適於個別光阻剝離步驟之胺化合物，製造再製剝離液。
又，本發明係提供一種光阻剝離廢液再製裝置，其特徵在於包含：(a)包含水、光阻、胺化合物、有機溶劑之被處理光阻剝離廢液貯藏槽；(b)使自前述被處理光阻剝離廢液貯藏槽移送來之被處理光阻剝離廢液通過，且於末端設置有過濾器之酸充填管柱；(c)自通過前述酸充填管柱之剝離廢液分餾有機溶劑之蒸餾槽；及(d)收集於前述蒸餾槽分餾之有機溶劑並貯藏之有機溶劑貯藏槽。
以下，透過本發明之光阻剝離廢液再製裝置之一實施形態之第2圖所示模式圖，具體說明本發明。於各光阻剝離步驟中回收之被處理光阻剝離液貯藏於被處理光阻剝離廢液貯藏槽210。前述被處理光阻剝離廢液包含光阻、MEA、MIPA、n－MEA等之各種胺化合物、水分及有機溶劑。貯藏於前述被處理光阻剝離廢液貯藏槽210之被處理光阻剝離廢液經由泵211沿著配管被移送至酸充填管柱220。為了於移送前述剝離廢液時調節剝離廢液之量，可於配管之特定部分具有自動調節閥212。前述酸充填管柱220係充填有可與光阻剝離廢液中所含之胺化合物反應，使胺－酸之反應物自剝離廢液中析出之酸之管柱。前述酸以單獨或二種以上混合使用苯甲酸、檸檬酸、馬來酸、蘋果酸、水楊酸、酒石酸、草酸等為佳。一面通過前述酸充填管柱220，一面與剝離廢液中所含之胺化合物反應，自剝離廢液析出胺－酸之反應物，藉由酸充填管柱220末端所設置之過濾器221過濾，僅去除胺化合物之剝離廢液通過過濾器221。通過前述過濾器221經去除固體成分之剝離廢液，沿著配管被移送至蒸餾槽230。
於前述蒸餾槽230藉由溫度上升，剝離廢液中所含之成分被分餾、收集。較好的是，前述蒸餾槽230可分別設置用以收集水分之一次蒸餾槽233、用以收集有機溶劑之二次蒸餾槽234、殘留成分排出槽235。使用草酸二水合物作為酸時，剝離廢液內所含之水分經由一次蒸餾槽233被收集，有機溶劑經由二次蒸餾槽234被收集，光阻不被蒸餾而排出至殘留成分排出槽235。較佳的是，前述蒸餾槽230可另外具有減壓裝置236，此時可以降低蒸餾溫度。經由前述二次蒸餾槽234收集之有機溶劑移送至有機溶劑貯藏槽240。前述有機溶劑貯藏槽240具有冷凝器243，可使收集之有機溶劑成為液體狀態。於前述有機溶劑貯藏槽240宜連結有可添加特定之胺化合物之胺化合物槽250，可藉由添加特定之胺化合物，僅添加適於個別光阻剝離步驟之胺化合物，製造再製剝離液。
以下，為理解本發明，說明較佳實施例，但以下實施例只不過是本發明之一例，本發明之範圍不限定於下述實施例。
[實施例] 實施例1
於包含於各種光阻剝離步驟中回收之光阻3重量份、胺化合物MEA5重量份、MIPA5重量份、n－MEA5重量份、水分10重量份、有機溶劑72重量份(二醇50重量份及烷基吡咯酮22重量份)之剝離廢液中，添加草酸二水合物10.6重量份，形成胺－草酸化合物析出。未參與反應之草酸二水合物作為固體成分殘留於剝離廢液中。以過濾器過濾經形成有前述胺－草酸化合物之剝離廢液，去除固體成分。藉由前述過濾器去除經析出之胺－草酸化合物及未參與反應之草酸二水合物，相對於經過濾之剝離廢液100重量份，總胺化合物未滿0.1重量份。分餾前述過濾之剝離廢液，收集水分及有機溶劑，分離排出殘留之光阻及胺－草酸與未分解之草酸二水合物。將前述收集之有機溶劑冷卻，加以液體化，分析經液體化之有機溶劑之成分，結果有機溶劑100重量份中之二醇為67.4重量份，烷基吡咯酮為32.6重量份，水分為未滿0.1重量份，總胺化合物為未滿0.1重量份，樹脂則未檢測出。
實施例2
於包含於各種光阻剝離步驟中回收之光阻3重量份、胺化合物MEA4重量份、MIPA4重量份、n－MEA4重量份、水分20重量份、有機溶劑65重量份(二醇45重量份及烷基吡咯酮20重量份)之剝離廢液中，添加草酸二水合物8.5重量份，形成胺－草酸化合物析出。未參與反應之草酸二水合物作為固體成分殘留於剝離廢液中。以過濾器過濾經形成有前述胺－草酸化合物之剝離廢液，去除固體成分。藉由前述過濾器去除經析出之胺－草酸化合物及未參與反應之草酸二水合物，相對於經過濾之剝離廢液100重量份，總胺化合物未滿0.1重量份。分餾前述過濾之剝離廢液，收集水分及有機溶劑，分離排出殘留之光阻及胺－草酸與未分解之草酸二水合物。將前述收集之有機溶劑冷卻，加以液體化，分析經液體化之有機溶劑之成分，結果有機溶劑100重量份中之二醇為66.5重量份，烷基吡咯酮為33.5重量份，水分為未滿0.1重量份，總胺化合物為未滿0.1重量份，樹脂則未檢測出。
實施例3
於包含於各種光阻剝離步驟中回收之光阻2重量份、胺化合物MEA3重量份、MIPA3重量份、n－MEA3重量份、水分30重量份、有機溶劑59重量份(二醇41重量份及烷基吡咯酮18重量份)之剝離廢液中，添加草酸二水合物6.4重量份，形成胺－草酸化合物析出。未參與反應之草酸二水合物作為固體成分殘留於剝離廢液中。以過濾器過濾經形成有前述胺－草酸化合物之剝離廢液，去除固體成分。藉由前述過濾器去除經析出之胺－草酸化合物及未參與反應之草酸二水合物，相對於經過濾之剝離廢液100重量份，總胺化合物未滿0.1重量份。分餾前述過濾之剝離廢液，收集水分及有機溶劑，分離排出殘留之光阻及胺－草酸與未分解之草酸二水合物。將前述收集之有機溶劑冷卻，加以液體化，分析經液體化之有機溶劑之成分，結果有機溶劑100重量份中之二醇為67.5重量份，烷基吡咯酮為32.5重量份，水分為未滿0.1重量份，總胺化合物為未滿0.1重量份，樹脂則未檢測出。
實施例4
於包含於各種光阻剝離步驟中回收之光阻2重量份、胺化合物MEA2重量份、MIPA2重量份、n－MEA2重量份、水分40重量份、有機溶劑52重量份(二醇36重量份及烷基吡咯酮16重量份)之剝離廢液中，添加草酸二水合物4.3重量份，形成胺－草酸化合物析出。未參與反應之草酸二水合物作為固體成分殘留於剝離廢液中。以過濾器過濾經形成有前述胺－草酸化合物之剝離廢液，去除固體成分。藉由前述過濾器去除經析出之胺－草酸化合物及未參與反應之草酸二水合物，相對於經過濾之剝離廢液100重量份，總胺化合物未滿0.1重量份。分餾前述過濾之剝離廢液，收集水分及有機溶劑，分離排出殘留之光阻及胺－草酸與未分解之草酸二水合物。將前述收集之有機溶劑冷卻，加以液體化，分析經液體化之有機溶劑之成分，結果有機溶劑100重量份中之二醇為67.4重量份，烷基吡咯酮為32.6重量份，水分為未滿0.1重量份，總胺化合物為未滿0.1重量份，樹脂則未檢測出。
實施例5
令包含於各種光阻剝離步驟中回收之光阻3重量份、胺化合物MEA5重量份、MIPA5重量份、n－MEA5重量份、水分10重量份、有機溶劑72重量份(二醇50重量份及烷基吡咯酮22重量份)之剝離廢液，通過充填有草酸二水合物19.5重量份且於末端設置有過濾器之管柱，將胺化合物作為胺－草酸化合物析出且過濾掉。相對於前述過濾之剝離廢液100重量份，總胺化合物未滿0.1重量份。分餾前述過濾之剝離廢液，收集水分及有機溶劑，分離排出殘留之光阻及胺－草酸與未分解之草酸二水合物。將前述收集之有機溶劑冷卻，加以液體化，分析經液體化之有機溶劑之成分，結果有機溶劑100重量份中之二醇為67.0重量份，烷基吡咯酮為33.0重量份，水分為未滿0.1重量份，總胺化合物為未滿0.1重量份，樹脂則未檢測出。
實施例6
令包含於各種光阻剝離步驟中回收之光阻3重量份、胺化合物MEA4重量份、MIPA4重量份、n－MEA4重量份、水分20重量份、有機溶劑65重量份(二醇45重量份及烷基吡咯酮20重量份)之剝離廢液，通過充填有草酸二水合物15.6重量份且於末端設置有過濾器之管柱，將胺化合物作為胺－草酸化合物析出且過濾掉。相對於前述過濾之剝離廢液100重量份，總胺化合物未滿0.1重量份。分餾前述過濾之剝離廢液，收集水分及有機溶劑，分離排出殘留之光阻及胺－草酸與未分解之草酸二水合物。將前述收集之有機溶劑冷卻，加以液體化，分析經液體化之有機溶劑之成分，結果有機溶劑100重量份中之二醇為66.7重量份，烷基吡咯酮為33.3重量份，水分為未滿0.1重量份，總胺化合物為未滿0.1重量份，樹脂則未檢測出。
實施例7
令包含於各種光阻剝離步驟中回收之光阻2重量份、胺化合物MEA3重量份、MIPA3重量份、n－MEA3重量份、水分30重量份、有機溶劑59重量份(二醇41重量份及烷基吡咯酮18重量份)之剝離廢液，通過充填有草酸二水合物11.7重量份且於末端設置有過濾器之管柱，將胺化合物作為胺－草酸化合物析出且過濾掉。相對於前述過濾之剝離廢液100重量份，總胺化合物未滿0.1重量份。分餾前述過濾之剝離廢液，收集水分及有機溶劑，分離排出殘留之光阻及胺－草酸與未分解之草酸二水合物。將前述收集之有機溶劑冷卻，加以液體化，分析經液體化之有機溶劑之成分，結果有機溶劑100重量份中之二醇為67.2重量份，烷基吡咯酮為32.8重量份，水分為未滿0.1重量份，總胺化合物為未滿0.1重量份，樹脂則未檢測出。
實施例8
令包含於各種光阻剝離步驟中回收之光阻2重量份、胺化合物MEA2重量份、MIPA2重量份、n－MEA2重量份、水分40重量份、有機溶劑52重量份(二醇36重量份及烷基吡咯酮16重量份)之剝離廢液，通過充填有草酸二水合物7.8重量份且於末端設置有過濾器之管柱，將胺化合物作為胺－草酸化合物析出且過濾掉。相對於前述過濾之剝離廢液100重量份，總胺化合物未滿0.1重量份。分餾前述過濾之剝離廢液，收集水分及有機溶劑，分離排出殘留之光阻及胺－草酸與未分解之草酸二水合物。將前述收集之有機溶劑冷卻，加以液體化，分析經液體化之有機溶劑之成分，結果有機溶劑100重量份中之二醇為66.5重量份，烷基吡咯酮為33.5重量份，水分為未滿0.1重量份，總胺化合物為未滿0.1重量份，樹脂則未檢測出。
110．．．被處理光阻剝離廢液貯藏槽
111．．．泵
112．．．自動調節閥
120．．．酸貯藏槽
122．．．自動調節閥
130．．．反應槽
131．．．泵
132．．．自動調節閥
140．．．過濾器
150．．．蒸餾槽
153．．．一次蒸餾槽
154．．．二次蒸餾槽
155．．．殘留成分排出槽
156．．．減壓裝置
160．．．有機溶劑貯藏槽
163．．．冷凝器
170．．．胺化合物槽
210．．．被處理光阻剝離廢液貯藏槽
211．．．泵
212．．．自動調節閥
220．．．酸充填管柱
221．．．過濾器
230．．．蒸餾槽
233．．．一次蒸餾槽
234．．．二次蒸餾槽
235．．．殘留成分排出槽
236．．．減壓裝置
240．．．有機溶劑貯藏槽
243．．．冷凝器
250．．．胺化合物槽
第1圖係本發明之一實施形態之利用反應槽之光阻剝離廢液再製裝置之模式圖。
第2圖係本發明之另一實施形態之利用酸充填管柱之光阻剝離廢液再製裝置之模式圖。
110．．．被處理光阻剝離廢液貯藏槽
111．．．泵
112．．．自動調節閥
120．．．酸貯藏槽
122．．．自動調節閥
130．．．反應槽
131．．．泵
132．．．自動調節閥
140．．．過濾器
150．．．蒸餾槽
153．．．一次蒸餾槽
154．．．二次蒸餾槽
155．．．殘留成分排出槽
156．．．減壓裝置
160．．．有機溶劑貯藏槽
163．．．冷凝器
170．．．胺化合物槽

Claims (5)

  1. 一種光阻剝離廢液再製方法，係再製包含水、光阻、胺化合物、有機溶劑之光阻剝離廢液者，其特徵在於包含：(a)添加酸之階段，前述酸係與光阻剝離廢液之胺化合物反應，使胺化合物自剝離廢液中析出作為胺-酸化合物者；(b)自剝離廢液過濾出於前述(a)階段所析出之胺-酸化合物之階段；及(c)分餾前述(b)階段之經去除胺之剝離廢液，僅取得有機溶劑之階段。
  2. 如申請專利範圍第1項之光阻剝離廢液再製方法，其中前述酸之添加量係使用相較於剝離廢液中所包含之胺化合物之當量至少相同或過量之當量。
  3. 如申請專利範圍第1項之光阻剝離廢液再製方法，其中前述酸係選自由苯甲酸、檸檬酸、甲酸、馬來酸、蘋果酸、水楊酸、酒石酸、乙酸、草酸、磷酸、硝酸、鹽酸、硫酸及過氯酸所構成之群中之一種以上者。
  4. 一種光阻剝離廢液再製裝置，其特徵在於包含有：(a)包含水、光阻、胺化合物、有機溶劑之被處理光阻剝離廢液貯藏槽；(b)使自前述被處理光阻剝離廢液貯藏槽移送來之被處理光阻剝離廢液通過，且於末端設置有過濾器之酸充填管柱；(c)自通過前述酸充填管柱之剝離廢液分餾有機溶 劑之蒸餾槽；及(d)收集於前述蒸餾槽分餾之有機溶劑並貯藏之有機溶劑貯藏槽。
  5. 如申請專利範圍第4項之光阻剝離廢液再製裝置，其中前述酸充填管柱中所使用之酸係選自由苯甲酸、檸檬酸、馬來酸、蘋果酸、水楊酸、酒石酸及草酸所構成之群中之一種以上者。
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