JP2006297371A - 被精密洗浄物の洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体ウエハ等の被精密洗浄物を収容した洗浄槽1にワーキングタンク(液化炭酸ガス貯槽)2から液化炭酸ガスを洗浄液3として供給して高圧下で洗浄する半導体ウエハ等の被精密洗浄物の洗浄方法であって、洗浄後に洗浄槽1から洗浄液3を取り出してワーキングタンク2に回収するようにした洗浄方法である。
【選択図】図1
Description
2 ワーキングタンク
3 洗浄液
Claims (4)
- 被精密洗浄物を収容した洗浄槽に液化炭酸ガス貯槽から液化炭酸ガスを洗浄液として供給して高圧下で洗浄する被精密洗浄物の洗浄方法であって、洗浄後に洗浄槽から洗浄液を取り出して液化炭酸ガス貯槽に回収するようにしたことを特徴とする被精密洗浄物の洗浄方法。
- 上記洗浄液として、液化炭酸ガスのみを洗浄槽に供給するようにした請求項1記載の被精密洗浄物の洗浄方法。
- 洗浄成分を含む液化炭酸ガスからなる洗浄成分含有液を、これを貯留する第1液化炭酸ガス貯槽から洗浄槽に供給して高圧下で洗浄し、この洗浄後に洗浄槽から洗浄成分含有液を取り出して上記第1液化炭酸ガス貯槽に回収する工程と、液化炭酸ガスを主体とするリンス液を、これを貯留する第2液化炭酸ガス貯槽から洗浄槽に供給して高圧下で洗浄し、この洗浄後に洗浄槽からリンス液を取り出して上記第2液化炭酸ガス貯槽に回収する工程と、液化炭酸ガスのみを、これを貯留する第3液化炭酸ガス貯槽から洗浄槽に供給して高圧下で洗浄し、この洗浄後に洗浄槽から液化炭酸ガスを取り出して上記第3液化炭酸ガス貯槽に回収する工程とを備えている請求項1記載の被精密洗浄物の洗浄方法。
- 洗浄成分を含む液化炭酸ガスからなる洗浄成分含有液を、これを貯留する第1液化炭酸ガス貯槽から洗浄槽に供給して高圧下で洗浄し、この洗浄後に洗浄槽から洗浄成分含有液を取り出して上記第1液化炭酸ガス貯槽に回収する第1工程と、この第1工程ののち、液化炭酸ガスを主体とするリンス液を、これを貯留する第2液化炭酸ガス貯槽から洗浄槽に供給して高圧下で洗浄し、この洗浄後に洗浄槽からリンス液を取り出して上記第2液化炭酸ガス貯槽に回収する第2工程と、この第2工程ののち、液化炭酸ガスを主体とするリンス液を、これを貯留する第3液化炭酸ガス貯槽から洗浄槽に供給して高圧下で洗浄し、この洗浄後に洗浄槽からリンス液を取り出して上記第3液化炭酸ガス貯槽に回収する第3工程と、この第3工程ののちに、液化炭酸ガスのみを、これを貯留する第4液化炭酸ガス貯槽から洗浄槽に供給して高圧下で洗浄し、この洗浄後に洗浄槽から液化炭酸ガスを取り出して上記第4液化炭酸ガス貯槽に回収する第4工程とを備えている請求項1記載の被精密洗浄物の洗浄方法。
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