JP5197228B2 - 被処理物洗浄方法及び被処理物洗浄装置 - Google Patents
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Description
この発明の加温手段は、実施例の加温装置5aに対応し、
以下同様に、
冷却手段は、冷却装置9aに対応するも、
この発明は、前記実施例の構成のみに限定されるものではなく、請求項に示される技術思想に基づいて応用することができ、多くの実施の形態を得ることができる。
b…第2工程
c…第3工程
d…第4工程
e…第5工程
A…被処理物
B…炭化水素系溶剤
C…フッ素系溶剤
Ca…蒸気
BC…混合溶剤
D…油分
1…被処理物洗浄装置
2…処理室
3…第1洗浄槽
4…第2洗浄槽
5…蒸留槽
6…凝縮室
7…水分離槽
8…油分分離槽
9…溶剤分離槽
3a,4a…超音波振動子
5a,8a…加温装置
9a…冷却装置
Claims (9)
- 油分が付着する被処理物を炭化水素系溶剤に浸漬し、該被処理物に付着する油分を炭化水素系溶剤に溶解させて分離した後、油分が分離された被処理物をフッ素系溶剤に浸漬し、該被処理物に残着する炭化水素系溶剤をフッ素系溶剤に溶解させて分離する被処理物洗浄方法であって、
前記油分が溶解した炭化水素系溶剤に、該炭化水素系溶剤に対して溶解性のあるフッ素系溶剤を混合し、該炭化水素系溶剤とフッ素系溶剤とからなる混合溶剤を沸点より低い温度で該沸点に近い温度に加温して、
該炭化水素系溶剤をフッ素系溶剤に溶解させ、該炭化水素系溶剤からフッ素系溶剤に対して溶解性がない油分を分離する
被処理物洗浄方法。 - 前記油分が分離された混合溶剤を、前記炭化水素系溶剤及びフッ素系溶剤の沸点より低い温度に冷却して、該炭化水素系溶剤とフッ素系溶剤とに分離する
請求項1に記載の被処理物洗浄方法。 - 前記炭化水素系溶剤とフッ素系溶剤とからなる混合溶剤を、前記炭化水素系溶剤に対するフッ素系溶剤の溶解率が高くなる温度に加温手段で加温する
請求項1又は2に記載の被処理物洗浄方法。 - 前記油分が分離された混合溶剤を、前記炭化水素系溶剤とフッ素系溶剤との分離率が高くなる温度に冷却手段で冷却する
請求項1〜3のいずれか一つに記載の被処理物洗浄方法。 - 前記沸点より低い温度で該沸点に近い温度を、前記炭化水素系溶剤又はフッ素系溶剤のいずれか一方の低沸点の溶剤の沸点より低い温度で該沸点に近い温度に設定する
請求項1〜4のいずれか一つに記載の被処理物洗浄方法。 - 油分が付着する被処理物を第1洗浄槽に貯留された炭化水素系溶剤に浸漬し、該被処理物に付着する油分を炭化水素系溶剤に溶解させて分離する第1工程と、
第1工程にて油分が分離された被処理物を第2洗浄槽に貯留されたフッ素系溶剤に浸漬し、該被処理物に残着する炭化水素系溶剤をフッ素系溶剤に溶解させて分離する第2工程と、
前記第1洗浄槽から供給される油分が溶解した炭化水素系溶剤と、前記第2洗浄槽から供給される炭化水素系溶剤に対して溶解性のあるフッ素系溶剤とを油分分離槽内で混合し、
該油分分離槽に貯留された炭化水素系溶剤とフッ素系溶剤とからなる混合溶剤を沸点より低い温度で該沸点に近い温度に加温して、
該炭化水素系溶剤をフッ素系溶剤に溶解させ、該炭化水素系溶剤からフッ素系溶剤に対して溶解性がない油分を分離する第3工程とを備えた
被処理物洗浄装置。 - 前記油分分離槽にて油分が分離された混合溶剤を溶剤分離槽へ供給し、該溶剤分離槽に貯留された混合溶剤を炭化水素系溶剤及びフッ素系溶剤の沸点より低い温度に冷却して、該炭化水素系溶剤とフッ素系溶剤とに分離する第4工程とを備えた
請求項6に記載の被処理物洗浄装置。 - 前記炭化水素系溶剤とフッ素系溶剤とからなる混合溶剤を、前記炭化水素系溶剤に対するフッ素系溶剤の溶解率が高くなる温度に加温する加温手段を備えた
請求項6又は7に記載の被処理物洗浄装置。 - 前記油分が分離された混合溶剤を、前記炭化水素系溶剤とフッ素系溶剤との分離率が高くなる温度に冷却する冷却手段を備えた
請求項6〜8のいずれか一つに記載の被処理物洗浄装置。
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