JP2002131932A

JP2002131932A - レジスト剥離液の再生回収方法及び再生回収装置

Info

Publication number: JP2002131932A
Application number: JP2000324092A
Authority: JP
Inventors: Michio Adachi; 教夫足立; Kensuke Yano; 謙介矢野; Hiroichi Yoshida; 博一吉田; Takahiko Tateno; 隆彦立野; Teruyuki Shibuya; 輝之渋谷; Yoshio Tamaki; 良夫玉木
Original assignee: HAYASHI JUNYAKU KOGYO KK; Kimura Chemical Plants Co Ltd
Current assignee: HAYASHI JUNYAKU KOGYO KK; Kimura Chemical Plants Co Ltd
Priority date: 2000-10-24
Filing date: 2000-10-24
Publication date: 2002-05-09
Also published as: TW575798B

Abstract

(57)【要約】【課題】レジスト成分などの非揮発性不純物、水分な
どの低沸点不純物などとともに、酸性ガス成分又は炭酸
成分を含有する使用済レジスト剥離液から、レジスト成
分、水分、酸性ガス成分又は炭酸成分などをほとんど含
まないレジスト剥離液成分を効率よく回収することが可
能なレジスト剥離液の再生回収方法及び再生回収装置を
提供する。【解決手段】使用済レジスト剥離液に水酸化アルカリ
を添加して、使用済レジスト剥離液中の炭酸成分を炭酸
アルカリとして固定した状態で、蒸留操作を行う。ま
た、炭酸成分を炭酸アルカリとして固定した使用済レジ
スト剥離液を、蒸留回収工程において、連続式又は回分
式に蒸留することにより、炭酸アルカリなどの無機成分
及びレジスト成分を釜残として分離する一方、蒸発ベー
パを精留塔に供給し、水や溶剤などの低沸点不純分を分
離してレジスト剥離液成分を回収する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本願発明は、レジスト剥離液
を再生回収する方法及び装置に関し、詳しくは、レジス
ト成分とともに酸性ガス成分又は炭酸成分（広義には酸
性ガス成分に含まれる）を含む使用済レジスト剥離液か
ら、酸性ガス成分又は炭酸成分をほとんど含まないレジ
スト剥離液を再生回収するための方法及び装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】例え
ば、液晶デバイスなどの電子部品の製造工程で使用され
るレジストを剥離除去する場合、モノエタノールアミン
を主成分とし、それに他の有機溶剤（例えば、ジメチル
スルホキシド（ＤＭＳＯ）、ブチルジグリコール（ＢＤ
Ｇ）、Ｎ−メチルピロリドン（ＮＭＰ）など）を添加し
たレジスト剥離液（以下、単に「剥離液」ともいう）を
用いて、レジストの剥離除去を行う方法が広く実施され
ている。

【０００３】そして、これらのレジスト剥離液を用い
て、繰り返しレジストの剥離除去を行った場合、剥離液
中に、剥離除去されたレジスト成分（例えば、フェノー
ル樹脂の１種であるノボラック樹脂など）や水分が蓄積
して、レジストの剥離除去効率が低下することから、従
来は、ある程度レジスト成分や水分などが蓄積した時点
で、レジスト剥離液を一度に更新したり、あるいは、レ
ジスト剥離液を所定の割合で連続的に更新したりするこ
とにより、安定したレジストの剥離除去を行うことがで
きるようにしている。

【０００４】一方、バッチであるいは連続で排出される
使用済のレジスト剥離液は、これを廃棄する場合には、
環境汚染を招いたり、不経済になったりするという問題
点があり、また、再生工場などに送って再生する場合に
は、輸送などに手間やコストがかかるという問題点があ
る。

【０００５】そこで、近年は、使用済レジスト剥離液を
蒸留して、非揮発物質であるレジスト成分を釜残として
分離するとともに、水分を低沸点不純分として分離する
ことにより、モノエタノールアミンを主成分の１つとし
て含有するレジスト剥離液成分を再生回収して、再使用
することが行われるようになっている。

【０００６】ところで、レジスト剥離液の主成分である
モノエタノールアミンは、アルカリ性物質で、空気中や
環境雰囲気中の炭酸ガスを吸収するため、使用済レジス
ト剥離液にも、通常、０．５〜２質量％程度の炭酸成分
（ＣＯ₃換算）が含有されている。そして、この炭酸成
分は、蒸留工程でレジスト剥離液が蒸発する際に一旦脱
着されるが、蒸留装置内を還流したり流下したりするモ
ノエタノールアミンを含む液と接触して、再び液側に吸
収（吸着）されるため、蒸留操作を経ても除去されず、
大部分は、回収されるレジスト剥離液に残留することに
なる。

【０００７】レジスト剥離液に残留するこの炭酸成分
は、必ずしもレジスト剥離工程で、液晶デバイスなどの
電子部品に悪影響を与える物質であるとはされていない
が（一部では有害物質であるとする考え方もある）、精
密部品である液晶デバイスなどの電子部品と接触するレ
ジスト剥離液としては、できるだけ不純物の含有量の少
ないものを用いることが望ましく、今後のさらなる精密
化、高性能化に対応するためには炭酸成分を含まないレ
ジスト剥離液を再生回収することが可能な方法及び設備
が必要となることは当然であるといえる。また、炭酸成
分以外の酸性ガス成分についても、炭酸成分と同様に、
できるだけ含有量の少ないものを用いることが望ましい
と認識されるに至っている。

【０００８】本願発明は、上記要請に応えるものであ
り、レジスト成分などの非揮発性不純物、水分などの低
沸点不純物などとともに、酸性ガス成分や炭酸成分を含
有する使用済レジスト剥離液から、レジスト成分や水分
を含まないことはもちろん、酸性ガス成分や炭酸成分を
もほとんど含まないレジスト剥離液成分を効率よく回収
することが可能なレジスト剥離液の再生回収方法及び再
生回収装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願発明（請求項１）のレジスト剥離液の再生回収
方法は、モノエタノールアミンを主成分の１つとして含
有するレジスト剥離液を用いてレジストの剥離除去を行
った後の、使用済レジスト剥離液を再生回収する方法で
あって、使用済レジスト剥離液に水酸化アルカリを添加
して、使用済レジスト剥離液中の酸性ガス成分を塩とし
て固定するアルカリ添加工程と、酸性ガス成分を塩とし
て固定した後の使用済レジスト剥離液を蒸留することに
より、レジスト剥離液成分を分離して回収する蒸留回収
工程とを具備することを特徴としている。

【００１０】使用済レジスト剥離液に水酸化アルカリを
添加して、使用済レジスト剥離液中の酸性ガス成分を塩
として固定した状態で、蒸留操作を行うことにより、例
えば、塩、水酸化アルカリなどの無機成分及びレジスト
成分を釜残として分離するとともに、蒸発ベーパ中の水
などを低沸点不純分として分離することが可能になり、
レジスト成分、水分、酸性ガス成分をほとんど含まな
い、モノエタノールアミンを主成分とするレジスト剥離
液成分を効率よく再生回収することが可能になる。な
お、本願発明において、酸性ガス成分とは、蒸留などの
工程でガス化する酸性の成分を意味する概念であり、亜
硫酸ガス、硫化水素ガス、その他の種々の物質を含む広
い概念である。

【００１１】また、本願発明（請求項２）のレジスト剥
離液の再生回収方法は、モノエタノールアミンを主成分
の１つとして含有するレジスト剥離液を用いてレジスト
の剥離除去を行った後の、使用済レジスト剥離液を再生
回収する方法であって、使用済レジスト剥離液に水酸化
アルカリを添加して、使用済レジスト剥離液中の炭酸成
分を炭酸アルカリとして固定するアルカリ添加工程と、
炭酸成分を炭酸アルカリとして固定した後の使用済レジ
スト剥離液を蒸留することにより、レジスト剥離液成分
を分離して回収する蒸留回収工程とを具備することを特
徴としている。

【００１２】使用済レジスト剥離液に水酸化アルカリを
添加して、使用済レジスト剥離液中の炭酸成分を炭酸ア
ルカリとして固定した状態で、蒸留操作を行うことによ
り、例えば、炭酸アルカリ、水酸化アルカリなどの無機
成分及びレジスト成分を釜残として分離するとともに、
蒸発ベーパ中の水などを低沸点不純分として分離するこ
とが可能になり、レジスト成分、水分、炭酸成分をほと
んど含まない、モノエタノールアミンを主成分とするレ
ジスト剥離液成分を効率よく再生回収することが可能に
なる。

【００１３】なお、本願発明において、炭酸成分を炭酸
アルカリとして固定するとは、炭酸成分を文字どおり炭
酸アルカリとして固定する場合はもちろん、炭酸アルカ
リと炭酸水素アルカリが共存するような態様で固定する
場合をも含む広い概念である。例えば、水酸化アルカリ
として、水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）を用いる場合に
おいて、炭酸成分を炭酸ナトリウム（Ｎａ₂ＣＯ₃）とし
て固定する場合のみではなく、炭酸ナトリウム（Ｎａ₂
ＣＯ₃）と炭酸水素ナトリウム（ＮａＨＣＯ₃）が共存す
るような態様で炭酸成分を固定する場合も、本願発明の
「炭酸成分を炭酸アルカリとして固定する」場合に含ま
れる。

【００１４】また、請求項３のレジスト剥離液の再生回
収方法は、前記水酸化アルカリが、水酸化カリウム及び
／又は水酸化ナトリウムであることを特徴としている。

【００１５】本願発明において、水酸化アルカリとして
は、種々のものを用いることが可能であるが、水酸化カ
リウム及び水酸化ナトリウムのうちの少なくとも１つを
用いることにより、コストの大幅な増大を招くことな
く、酸性ガス成分又は炭酸成分を確実に固定して除去す
ることが可能になり、本願発明をより実効あらしめるこ
とができる。

【００１６】また、請求項４のレジスト剥離液の再生回
収方法は、前記水酸化アルカリを、固体、水溶液及び有
機溶媒溶液のうちの少なくともいずれか１つとして添加
することを特徴としている。

【００１７】水酸化アルカリは、種々の態様で添加する
ことが可能であり、具体的には、固体、水溶液又は有機
溶媒溶液として添加することが可能である。なお、通常
は、水酸化アルカリを水溶液として添加することによ
り、容易に所定量の水酸化アルカリを添加することがで
きる。

【００１８】また、レジスト剥離液の主成分であるモノ
エタノールアミンは吸水性を有しており、このモノエタ
ノールアミンの吸水性や、電子部品への付着水分などに
起因する水分が、使用済レジスト剥離液に相当量含有さ
れているような場合には、固形の水酸化アルカリを添加
して使用済レジスト剥離液に溶解させることができる。
また、水分を添加することが、後の蒸留回収工程などに
おいて望ましくない場合には、アルコールなどの有機溶
媒溶液として添加することも可能である。

【００１９】また、請求項５のレジスト剥離液の再生回
収方法は、使用済レジスト剥離液への前記水酸化アルカ
リの添加量を、前記酸性ガス成分を塩として固定するの
に必要な理論量、又は前記炭酸成分を炭酸アルカリとし
て固定するのに必要な理論量の１〜１．５倍の範囲とす
ることを特徴としている。

【００２０】水酸化アルカリの添加量を、酸性ガス成分
を塩として固定するのに必要な理論量、又は炭酸成分を
炭酸アルカリとして固定するのに必要な理論量の１〜
１．５倍の範囲とすることにより、確実に酸性ガス成分
又は炭酸成分を固定することが可能になるとともに、過
剰の水酸化アルカリ量が多くなりすぎることを抑制し
て、レジスト剥離液成分への水酸化アルカリの悪影響を
回避することが可能になり、信頼性を向上させることが
できるようになる。

【００２１】また、請求項６のレジスト剥離液の再生回
収方法は、前記酸性ガス成分を塩として固定した使用済
レジスト剥離液、又は前記炭酸成分を炭酸アルカリとし
て固定した使用済レジスト剥離液を、前記蒸留回収工程
において、連続式又は回分式に蒸留することにより、塩
又は炭酸アルカリなどの無機成分及びレジスト成分を釜
残として分離する一方、蒸発ベーパを精留塔に供給し、
水などの低沸点不純分を分離して、レジスト剥離液成分
を回収することを特徴としている。

【００２２】酸性ガス成分を塩として固定した使用済レ
ジスト剥離液、又は炭酸成分を炭酸アルカリとして固定
した使用済レジスト剥離液を、蒸留回収工程において、
連続式又は回分式に蒸留することにより、塩又は炭酸ア
ルカリなどの無機成分及びレジスト成分を釜残として分
離する一方、蒸発ベーパを精留塔に供給し、水や溶剤な
どの低沸点不純分を分離してレジスト剥離液成分を回収
することにより、効率よくレジスト剥離液成分を再生回
収することが可能になる。なお、連続式に蒸留する場合
には、設備の小型化、低コスト化を図ることが可能にな
り、また、回分式に蒸留する場合には、レジスト剥離液
の組成変更などに対応しやすくなる。

【００２３】また、請求項７のレジスト剥離液の再生回
収方法は、前記蒸発ベーパを精留塔に供給し、水などの
低沸点不純分を分離して、レジスト剥離液成分を回収す
るにあたって、精留塔回収部の途中から、レジスト剥離
液成分を抜き出すようにしたことを特徴としている。

【００２４】精留塔において、水や溶剤などの低沸点不
純分を分離して、レジスト剥離液を回収するにあたっ
て、精留塔回収部の途中からレジスト剥離液成分を抜き
出すことにより、例えば、蒸留操作時の熱などで重合物
などが生成するような場合においても、有害な高沸点成
分（重合物）が混入することを抑制、防止できるように
なり、本願発明をより実効あらしめることができる。

【００２５】また、本願発明（請求項８）のレジスト剥
離液の再生回収装置は、モノエタノールアミンを主成分
の１つとして含有するレジスト剥離液を用いてレジスト
の剥離除去を行った後の、使用済レジスト剥離液を再生
回収するための装置であって、使用済レジスト剥離液に
水酸化アルカリを添加して、使用済レジスト剥離液中の
酸性ガス成分を塩として固定し、又は炭酸成分を炭酸ア
ルカリとして固定するアルカリ添加機構部と、酸性ガス
成分を塩として固定した後の酸性ガス成分固定剥離液、
又は炭酸成分を炭酸アルカリとして固定した後の炭酸成
分固定剥離液を蒸留することにより、レジスト剥離液成
分を分離して回収する蒸留機構部とを具備することを特
徴としている。

【００２６】本願発明（請求項８）のレジスト剥離液の
再生回収装置は、使用済レジスト剥離液に水酸化アルカ
リを添加して、使用済レジスト剥離液中の酸性ガス成分
を塩として固定し、又は炭酸成分を炭酸アルカリとして
固定するアルカリ添加機構部と、酸性ガス成分を塩とし
て固定した後の酸性ガス成分固定剥離液、又は炭酸成分
を炭酸アルカリとして固定した後の炭酸成分固定剥離液
を蒸留することにより、レジスト剥離液成分を分離して
回収する蒸留機構部とを備えているので、本願発明のレ
ジスト剥離液の再生回収方法を確実に実施して、本願発
明を実効あらしめることができる。

【００２７】また、請求項９のレジスト剥離液の再生回
収装置は、前記アルカリ添加機構部は、酸性ガス成分を
塩として固定し、又は炭酸成分を炭酸アルカリとして固
定するために必要な水酸化アルカリの量を求めるため
に、使用済レジスト剥離液中の酸性ガス成分濃度を検出
する酸性ガス成分検出手段、又は炭酸成分濃度を検出す
る炭酸成分検出手段を備えており、前記蒸留機構部は、
(a)水などの低沸点不純分、及び、レジスト剥離液成分
を蒸発させ、塩又は炭酸アルカリなどの無機成分及びレ
ジスト成分を釜残として分離する蒸発機構部と、(b)蒸
発機構部で発生した蒸発ベーパを精留して、水などの低
沸点不純分と、レジスト剥離液成分を分離する精留機構
部とを備えていることを特徴としている。

【００２８】アルカリ添加機構部が酸性ガス成分検出手
段、又は炭酸成分検出手段を備えており、蒸留機構部が
蒸発機構部と、蒸発機構部で発生した蒸発ベーパを精留
して、水などの低沸点不純分と、レジスト剥離液成分を
分離する精留機構部とを備えている構成とした場合、本
願発明のレジスト剥離液の再生回収方法をより確実に実
施して、本願発明をさらに実効あらしめることができ
る。

【００２９】

【発明の実施の形態】以下、本願発明の実施の形態を示
して、その特徴とするところをさらに詳しく説明する。

【００３０】この実施形態では、液晶デバイスの製造工
程において、レジストの剥離除去（洗浄）に用いられた
使用済レジスト剥離液から、レジスト成分、水分、炭酸
成分を除去してレジスト剥離液を再生回収する場合を例
にとって説明する。

【００３１】なお、この実施形態における処理対象液で
ある使用済レジスト剥離液は、モノエタノールアミン
（ＭＥＡ）を主成分とし、これにジメチルスルホキシド
（ＤＭＳＯ）を所定の割合（ＭＥＡ：ＤＭＳＯ＝７：３
（重量比））となるように配合したものである。

【００３２】また、上記レジスト剥離液により剥離除去
されたレジストは、フェノール樹脂の１種であるノボラ
ック樹脂を主成分とするレジスト（フォトレジスト）で
ある。

【００３３】また、使用済レジスト剥離液の概略組成
は、以下の通りである。ＭＥＡ：６０〜８０質量％ＤＭＳＯ：２０〜４０質量％レジスト成分：０．５〜５質量％水分：２〜８質量％炭酸成分（ＣＯ₃換算）：０．５〜２質量％

【００３４】また、図１は、この実施形態において用い
たレジスト剥離液の再生回収装置の構成を示す図であ
る。このレジスト剥離液の再生回収装置は、使用済レジ
スト剥離液（以下、単に「使用済剥離液」ともいう）に
水酸化アルカリを添加して、使用済剥離液中の炭酸成分
を炭酸アルカリとして固定する水酸化アルカリ添加機構
部Ａと、炭酸成分を炭酸アルカリとして固定した後の使
用済レジスト剥離液を蒸留して、レジスト剥離液成分を
分離、回収する蒸留機構部Ｂとを具備している。

【００３５】水酸化アルカリ添加機構部Ａは、添加槽
１、撹拌手段２、使用済剥離液供給ライン３，ＮａＯＨ
水溶液供給ライン４を備えているとともに、使用済剥離
液中の炭酸成分濃度を検出するための炭酸成分検出手段
５を備えており、使用済剥離液に、所定量の水酸化アル
カリ（この実施形態ではＮａＯＨを水に溶解したＮａＯ
Ｈ水溶液（ＮａＯＨ濃度＝４８質量％））を添加するこ
とにより、使用済剥離液中の炭酸成分を炭酸アルカリと
して固定することができるように構成されている。な
お、ＮａＯＨ濃度は、上記の濃度に限定されるものでは
なく、適宜好ましい濃度を選択することが可能である。

【００３６】なお、添加槽１の構造や攪拌手段２の構成
などには特別の制約はなく、種々の構造や構成のものを
用いることが可能であり、また、添加槽を設けず、ライ
ンミキサーを配設して、使用済剥離液供給ライン３中で
ＮａＯＨ水溶液の添加、混合を行うように構成すること
も可能である。また、添加槽１とは別に、水酸化アルカ
リが添加され、炭酸成分が炭酸アルカリとして固定され
た使用済剥離液を貯めるためのクッションタンク（図示
せず）を設け、このクッションタンクに貯められた使用
済剥離液を蒸留機構部Ｂに供給するように構成すること
も可能である。

【００３７】また、使用済剥離液中の炭酸成分濃度を検
出するための炭酸成分検出手段５の構成についても、特
に制約はなく、中和滴定、電位差滴定、ｐＨ測定などの
原理を利用した、連続式あるいは非連続式の種々の測定
方法を採用することが可能である。また、水酸化アルカ
リ添加機構部Ａに供給する前に予め炭酸成分濃度を測定
しておく方法をとることも可能である。

【００３８】また、蒸留機構部Ｂは、水や溶剤などの低
沸点不純分、及び、モノエタノールアミンを主成分の１
つとして含有するレジスト剥離液成分を蒸発させ、炭酸
アルカリなどの無機成分及びレジスト成分を釜残として
分離する蒸発機構部Ｂ１と、蒸発機構部Ｂ１で発生した
蒸発ベーパを精留して、水や溶剤などの低沸点不純分
と、モノエタノールアミンを主成分の１つとして含有す
るレジスト剥離液成分を分離する精留機構部Ｂ２を備え
ている。なお、蒸発機構部Ｂ１と精留機構部Ｂ２は、そ
れぞれが、蒸留機構部Ｂの前段と後段を構成している。

【００３９】前段である蒸発機構部Ｂ１は、供給された
使用済剥離液を減圧下においてスチームにより間接加熱
し、沸騰させて不純分である低沸点不純分とともに、回
収すべきレジスト剥離液成分（溶剤）を蒸発ベーパとす
る機構部であり、使用済剥離液を加熱蒸発させる加熱蒸
発部（ヒータ）１１と、加熱蒸発部１１で発生した、未
蒸発の使用済剥離液のミストを含む蒸発ベーパ（低沸点
不純分及びレジスト剥離液成分のベーパ）を導き、レジ
ストなどの非揮発性不純分を含むミストを分離除去する
セパレータ１２とを備えている。

【００４０】なお、炭酸アルカリ、過剰の水酸化アルカ
リなどの無機成分及びレジスト成分は、その他の非揮発
性の成分とともに蒸発しないで釜残として液（レジスト
廃液）側に残り、レジスト廃液は、ポンプで装置外へ取
り出される。このときのレジスト廃液には、流動性を保
つためにいくらかのレジスト剥離液成分が含まれるよう
に蒸発量が制御される。

【００４１】また、この実施形態のレジスト剥離液の再
生回収装置においては、加熱蒸発部１１に、液膜降下式
蒸発器が用いられており、供給された使用済剥離液は，
この液膜降下式蒸発器（のチューブ１１ａの内面）を膜
状に自然落下する間に，チューブ１１ａの外側に供給さ
れたスチームの潜熱によって間接加熱され、濃縮され
る。なお、チューブ１１ａの長さや本数は処理能力に合
わせて選択決定する。また、セパレータ１２内には、ミ
スト分離性能に優れた充填物（ミストキャッチャ）１３
が配設されている。

【００４２】蒸留機構部Ｂの後段である精留機構部Ｂ２
は，水分を主体とした低沸点不純分を除去するために連
続精留を行う機構部であり、精留塔２１と、リボイラ２
２と、凝縮器２３を備えている。

【００４３】この精留機構部Ｂ２において、水とレジス
ト剥離液成分からなる混合蒸気は、前段である蒸発機構
部Ｂ１のセパレータ１２から、精留塔２１の中央部に蒸
気のままで供給され、水分を主体とした低沸点不純分が
塔頂側から取り出されて凝縮器２３により凝縮されると
ともに、低沸点不純分が除去されたレジスト剥離液成分
（再生液）が塔底側から取り出されるように構成されて
いる。

【００４４】なお、この実施形態のレジスト剥離液の再
生回収装置において、精留塔２１の上部の濃縮部２１ａ
及び下部の回収部２１ｂはいずれも充填物２４が充填さ
れた充填塔となっている。また、リボイラ２２は前段で
ある蒸発機構部Ｂ１の加熱蒸発部（ヒータ）１１と同様
の構成の液膜降下式蒸発器が使用されており、凝縮器２
３としては、縦型の多管式熱交換器が使用されている。

【００４５】次に、このように構成されたレジスト剥離
液の再生回収装置を用いてレジスト剥離液を再生回収す
る方法について説明する。

【００４６】まず、水酸化アルカリ添加機構部Ａにお
いて、使用済剥離液中の炭酸成分がＮａ₂ＣＯ₃として固
定され、かつ、過剰のＮａＯＨがほとんど存在しないよ
うに、炭酸成分１モルに対して、２モルのＮａＯＨを添
加して炭酸成分をＮａ₂ＣＯ₃として固定する。それから、蒸留機構部Ｂの前段である蒸発機構部Ｂ１
において、炭酸成分が固定された使用済剥離液を連続的
に蒸発処理することにより、Ｎａ₂ＣＯ₃やレジスト成分
を釜残として分離する一方、レジスト剥離液成分や水な
どの低沸点不純分を蒸発させる。そして、蒸発機構部Ｂ１で蒸発させた蒸発ベーパを、
蒸留機構部Ｂの後段である精留機構部Ｂ２の精留塔２１
に供給し、水分を主体とした低沸点不純分を塔頂側から
取り出して分離するとともに、モノエタノールアミンを
主成分の１つとして含有するレジスト剥離液成分を塔底
側から回収する。

【００４７】上記のようにして、使用済レジスト剥離液
を処理することにより、炭酸成分をほとんど含まないレ
ジスト剥離液（成分）を効率よく再生回収することがで
きた。なお、具体的には、上述のように、炭酸成分（Ｃ
Ｏ₃換算）を、０．５〜２質量％含有する使用済レジス
ト剥離液から、炭酸成分（ＣＯ₃換算）を、０．０５〜
０．１質量％程度しか含有しないレジスト剥離液（成
分）を回収することができた。また、上記実施形態で
は、蒸留機構部Ｂが連続式に構成されていることから、
設備の大型化を抑制することができた。

【００４８】なお、上記実施形態では、精留機構部Ｂ２
において、精留塔２１の塔頂から水分を主体とした低沸
点不純分を取り出すとともに、低沸点不純分が除去され
たレジスト剥離液成分（再生液）を塔底から取り出すよ
うに構成しているが、精留塔２１の回収部２１ｂの途中
から、低沸点不純分が除去されたレジスト剥離液成分
（再生液）を取り出すように構成することも可能であ
る。このように、回収部２１ｂの途中から、レジスト剥
離液成分（再生液）を取り出すようにした場合、例え
ば、蒸留操作時の熱などで重合物などが生成するような
場合に、重合物（高沸点不純分）の混入を抑制、防止す
ることが可能になる。

【００４９】また、上記実施形態では、連続式のレジス
ト剥離液の再生回収装置を例にとって説明したが、本願
発明においては、炭酸成分を炭酸アルカリとして固定す
るアルカリ添加工程、及び炭酸成分を炭酸アルカリとし
て固定した後の使用済レジスト剥離液を蒸留する蒸留回
収工程のそれぞれを回分式とすることも可能であり、ま
た、いずれか一方のみを回分式とすることも可能であ
る。

【００５０】また、上記実施形態では、炭酸成分を固定
するための水酸化アルカリとして、ＮａＯＨを用いた場
合について説明したが、ＮａＯＨの代わりにＫＯＨなど
の他の水酸化アルカリを用いることも可能である。

【００５１】また、上記実施形態では、加熱蒸発部（ヒ
ータ）１１と、リボイラ２２に、液膜降下式蒸発器を用
いているが、他のタイプの蒸発器を用いることも可能で
ある。

【００５２】また、上記実施形態では、精留塔２１の濃
縮部２１ａ及び回収部２１ｂが充填塔である場合を例に
とって説明したが、棚段塔、濡れ壁等、他の型式とする
ことも可能である。

【００５３】また、上記実施形態では、レジストの剥離
除去（洗浄）に用いられた使用済レジスト剥離液から、
レジスト成分、水分、炭酸成分を除去してレジスト剥離
液を再生回収する場合を例にとって説明したが、本願発
明は、炭酸成分（広義には酸性ガス成分に含まれる）以
外の酸性ガス成分を含む使用済レジスト剥離液から、レ
ジスト成分、水分、酸性ガス成分などを除去して、レジ
スト剥離液を再生回収する場合にも、同様に適用するこ
とが可能であり、その場合にも、上記実施形態の場合と
同様の効果が得られる。

【００５４】本願発明は、さらにその他の点においても
上記実施形態に限定されるものではなく、炭酸成分を炭
酸アルカリとして固定するアルカリ添加機構部や、剥離
液を蒸留する蒸留機構部などの構成に関し、発明の要旨
の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可
能である。

【００５５】

【発明の効果】上述のように、本願発明（請求項１）の
レジスト剥離液の再生回収方法は、使用済レジスト剥離
液に水酸化アルカリを添加して、使用済レジスト剥離液
中の酸性ガス成分を塩として固定した状態で、蒸留操作
を行うことにより、例えば、塩、水酸化アルカリなどの
無機成分及びレジスト成分を釜残として分離するととも
に、蒸発ベーパ中の水などを低沸点不純分として分離す
るようにしているので、レジスト成分、水分、酸性ガス
成分をほとんど含まない、モノエタノールアミンを主成
分とするレジスト剥離液成分を効率よく再生回収するこ
とができる。

【００５６】また、本願発明（請求項２）のレジスト剥
離液の再生回収方法は、使用済レジスト剥離液に水酸化
アルカリを添加して、使用済レジスト剥離液中の炭酸成
分を炭酸アルカリとして固定した状態で、蒸留操作を行
うようにしているので、例えば、炭酸アルカリ、水酸化
アルカリなどの無機成分及びレジスト成分を釜残として
分離するとともに、蒸発ベーパ中の水などを低沸点不純
分として分離するようにしているので、レジスト成分、
水分、炭酸成分をほとんど含まない、モノエタノールア
ミンを主成分とするレジスト剥離液成分を効率よく再生
回収することが可能になる。

【００５７】また、本願発明においては、水酸化アルカ
リとして、種々のものを用いることが可能であるが、請
求項３のレジスト剥離液の再生回収方法のように、水酸
化カリウム及び水酸化ナトリウムのうちの少なくとも１
つを用いることにより、コストの大幅な増大を招くこと
なく、酸性ガス成分又は炭酸成分を確実に固定して除去
することが可能になり、本願発明をより実効あらしめる
ことができる。

【００５８】また、請求項４のレジスト剥離液の再生回
収方法のように、水酸化アルカリは、種々の態様で添加
することが可能であり、具体的には、固体、水溶液又は
有機溶媒溶液として添加することが可能である。

【００５９】また、請求項５のレジスト剥離液の再生回
収方法のように、水酸化アルカリの添加量を、酸性ガス
成分を塩として固定するのに必要な理論量、又は炭酸成
分を炭酸アルカリとして固定するのに必要な理論量の１
〜１．５倍の範囲とした場合、確実に酸性ガス成分又は
炭酸成分を固定することが可能になるとともに、過剰の
水酸化アルカリ量が多くなりすぎることを抑制して、レ
ジスト剥離液成分への水酸化アルカリの悪影響を回避す
ることが可能になり、信頼性を向上させることが可能に
なる。

【００６０】また、請求項６のレジスト剥離液の再生回
収方法のように、酸性ガス成分を塩として固定した使用
済レジスト剥離液、又は炭酸成分を炭酸アルカリとして
固定した使用済レジスト剥離液を、蒸留回収工程におい
て、連続式又は回分式に蒸留することにより、塩又は炭
酸アルカリなどの無機成分及びレジスト成分を釜残とし
て分離する一方、蒸発ベーパを精留塔に供給し、水や溶
剤などの低沸点不純分を分離してレジスト剥離液成分を
回収するようにした場合、効率よくレジスト剥離液成分
を再生回収することが可能になる。

【００６１】また、請求項７のレジスト剥離液の再生回
収方法のように、精留塔において、水や溶剤などの低沸
点不純分を分離して、レジスト剥離液を回収するにあた
って、精留塔回収部の途中からレジスト剥離液成分を抜
き出すようにした場合、例えば、蒸留操作時の熱などで
重合物などが生成するような場合においても、有害な高
沸点成分（重合物）が混入することを抑制、防止できる
ようになり、本願発明をより実効あらしめることができ
る。

【００６２】また、本願発明（請求項８）のレジスト剥
離液の再生回収装置は、使用済レジスト剥離液に水酸化
アルカリを添加して、使用済レジスト剥離液中の酸性ガ
ス成分を塩として固定し、又は炭酸成分を炭酸アルカリ
として固定するアルカリ添加機構部と、酸性ガス成分を
塩として固定した後の酸性ガス成分固定剥離液、又は炭
酸成分を炭酸アルカリとして固定した後の炭酸成分固定
剥離液を蒸留することにより、レジスト剥離液成分を分
離して回収する蒸留機構部とを備えているので、本願発
明のレジスト剥離液の再生回収方法を確実に実施して、
本願発明を実効あらしめることが可能になる。

【００６３】また、請求項９のレジスト剥離液の再生回
収装置のように、アルカリ添加機構部が酸性ガス成分検
出手段、又は炭酸成分検出手段を備えており、蒸留機構
部が蒸発機構部と、蒸発機構部で発生した蒸発ベーパを
精留して、水などの低沸点不純分と、レジスト剥離液成
分を分離する精留機構部とを備えている構成とした場
合、本願発明のレジスト剥離液の再生回収方法をより確
実に実施して、本願発明をさらに実効あらしめることが
可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本願発明の一実施形態にかかるレジスト剥離液
の再生回収方法を実施するために用いた装置の構成を示
す図である。

【符号の説明】

Ａ水酸化アルカリ添加機構部Ｂ蒸留機構部Ｂ１蒸発機構部Ｂ２精留機構部１添加槽２撹拌手段３使用済剥離液供給ライン４ＮａＯＨ水溶液供給ライン５炭酸成分検出手段１１加熱蒸発部（ヒータ）１１ａチューブ１２セパレータ１３充填物（ミストキャッチャ）２１精留塔２１ａ濃縮部２１ｂ回収部２２リボイラ２３凝縮器２４充填物

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者矢野謙介兵庫県尼崎市杭瀬寺島２丁目１番２号木村化工機株式会社内 (72)発明者吉田博一兵庫県尼崎市杭瀬寺島２丁目１番２号木村化工機株式会社内 (72)発明者立野隆彦兵庫県尼崎市杭瀬寺島２丁目１番２号木村化工機株式会社内 (72)発明者渋谷輝之大阪市中央区内平野町３−２−12 林純薬工業株式会社内 (72)発明者玉木良夫大阪市城東区東中浜３−21−７林純薬工業株式会社城東工場内Ｆターム(参考） 2H096 AA27 LA02 LA25 4D076 AA12 AA22 AA24 BA13 BB04 BC02 FA31 HA05 JA10 4G075 AA04 AA13 AA65 CA51 DA01

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】モノエタノールアミンを主成分の１つとし
て含有するレジスト剥離液を用いてレジストの剥離除去
を行った後の、使用済レジスト剥離液を再生回収する方
法であって、使用済レジスト剥離液に水酸化アルカリを添加して、使
用済レジスト剥離液中の酸性ガス成分を塩として固定す
るアルカリ添加工程と、酸性ガス成分を塩として固定した後の使用済レジスト剥
離液を蒸留することにより、レジスト剥離液成分を分離
して回収する蒸留回収工程とを具備することを特徴とす
るレジスト剥離液の再生回収方法。
【請求項２】モノエタノールアミンを主成分の１つとし
て含有するレジスト剥離液を用いてレジストの剥離除去
を行った後の、使用済レジスト剥離液を再生回収する方
法であって、使用済レジスト剥離液に水酸化アルカリを添加して、使
用済レジスト剥離液中の炭酸成分を炭酸アルカリとして
固定するアルカリ添加工程と、炭酸成分を炭酸アルカリとして固定した後の使用済レジ
スト剥離液を蒸留することにより、レジスト剥離液成分
を分離して回収する蒸留回収工程とを具備することを特
徴とするレジスト剥離液の再生回収方法。
【請求項３】前記水酸化アルカリが、水酸化カリウム及
び／又は水酸化ナトリウムであることを特徴とする請求
項１又は２記載のレジスト剥離液の再生回収方法。
【請求項４】前記水酸化アルカリを、固体、水溶液及び
有機溶媒溶液のうちの少なくともいずれか１つとして添
加することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載
のレジスト剥離液の再生回収方法。
【請求項５】使用済レジスト剥離液への前記水酸化アル
カリの添加量を、前記酸性ガス成分を塩として固定する
のに必要な理論量、又は前記炭酸成分を炭酸アルカリと
して固定するのに必要な理論量の１〜１．５倍の範囲と
することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の
レジスト剥離液の再生回収方法。
【請求項６】前記酸性ガス成分を塩として固定した使用
済レジスト剥離液、又は前記炭酸成分を炭酸アルカリと
して固定した使用済レジスト剥離液を、前記蒸留回収工
程において、連続式又は回分式に蒸留することにより、
塩又は炭酸アルカリなどの無機成分及びレジスト成分を
釜残として分離する一方、蒸発ベーパを精留塔に供給
し、水などの低沸点不純分を分離して、レジスト剥離液
成分を回収することを特徴とする請求項１〜５のいずれ
かに記載のレジスト剥離液の再生回収方法。
【請求項７】前記蒸発ベーパを精留塔に供給し、水など
の低沸点不純分を分離して、レジスト剥離液成分を回収
するにあたって、精留塔回収部の途中から、レジスト剥
離液成分を抜き出すようにしたことを特徴とする請求項
６記載のレジスト剥離液の再生回収方法。
【請求項８】モノエタノールアミンを主成分の１つとし
て含有するレジスト剥離液を用いてレジストの剥離除去
を行った後の、使用済レジスト剥離液を再生回収するた
めの装置であって、使用済レジスト剥離液に水酸化アルカリを添加して、使
用済レジスト剥離液中の酸性ガス成分を塩として固定
し、又は炭酸成分を炭酸アルカリとして固定するアルカ
リ添加機構部と、酸性ガス成分を塩として固定した後の酸性ガス成分固定
剥離液、又は炭酸成分を炭酸アルカリとして固定した後
の炭酸成分固定剥離液を蒸留することにより、レジスト
剥離液成分を分離して回収する蒸留機構部とを具備する
ことを特徴とするレジスト剥離液の再生回収装置。
【請求項９】前記アルカリ添加機構部は、酸性ガス成分
を塩として固定し、又は炭酸成分を炭酸アルカリとして
固定するために必要な水酸化アルカリの量を求めるため
に、使用済レジスト剥離液中の酸性ガス成分濃度を検出
する酸性ガス成分検出手段、又は炭酸成分濃度を検出す
る炭酸成分検出手段を備えており、前記蒸留機構部は、(a)水などの低沸点不純分、及び、
レジスト剥離液成分を蒸発させ、塩又は炭酸アルカリな
どの無機成分及びレジスト成分を釜残として分離する蒸
発機構部と、(b)蒸発機構部で発生した蒸発ベーパを精
留して、水などの低沸点不純分と、レジスト剥離液成分
を分離する精留機構部とを備えていることを特徴とする
請求項８記載のレジスト剥離液の再生回収装置。