CN113009794A - 一种光阻剥离液废液循环利用系统 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及废液回收处理技术领域，尤其涉及一种光阻剥离液废液循环利用系统，其包括预处理单元、蒸发单元和调制回用单元，所述预处理单元用于将废液中的光阻和金属离子去除，包括依次连通的纳滤膜过滤装置和电渗析装置，废液依次经过所述纳滤膜过滤装置和所述电渗析装置进入所述蒸发单元；所述蒸发单元用于去除废液中的水分，包括依次连通的精馏塔、脱水塔和精馏收集罐，所述精馏塔与所述电渗析装置连通；调制回用单元，包括回用罐和原液罐，所述回用罐和所述原液罐均与所述精馏收集罐连通。本发明能够对剥离液废液进行处理，降低对环境的污染，同时实现资源化、循环利用，控制企业的生产成本。
Description
技术领域
本发明涉及废液回收处理技术领域，尤其涉及一种光阻剥离液废液循环利用系统。
背景技术
光阻剥离液主要用于将涂覆在微电路保护区域上作为掩膜的光阻去除，它是硅基材料晶片进行光阻化学清洗过程所需的常用化学药品，主要由有机胺、极性有机溶剂和或水组成。在使用过程中光阻、少量的金属离子等都积累在废剥离液中，由于废剥离液中含有大量有机分子若直接排放会对环境造成严重影响。
现有技术中，针对剥离液废液，主要还是通过有资质的危废企业处理，这种方式会导致可以回收再利用的物质也会浪费掉，企业的生产成本较高。
因此，需要一种光阻剥离液废液循环利用系统来解决上述技术问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种光阻剥离液废液循环利用系统，能够对剥离液废液进行处理，降低对环境的污染，同时实现回收利用，控制企业的生产成本。
为达此目的，本发明采用以下技术方案：
一种光阻剥离液废液循环利用系统，包括：预处理单元、蒸发单元和调制回用单元；
所述预处理单元用于将废液中的光阻和金属离子去除，包括依次连通的纳滤膜过滤装置和电渗析装置，废液依次经过所述纳滤膜过滤装置和所述电渗析装置进入所述蒸发单元；
所述蒸发单元用于去除废液中的水分，包括依次连通的精馏塔、脱水塔和精馏收集罐，所述精馏塔与所述电渗析装置连通；
所述调制回用单元包括回用罐和原液罐，所述回用罐和所述原液罐均与所述精馏收集罐连通，所述回用罐中设置有第一成分检测装置，用于对所述回用罐中的液体进行检测并控制所述原液罐往所述回用罐中补充原液以使所述回用罐中的液体满足使用要求。
进一步地，所述预处理单元还包括废液收集罐，所述废液收集罐与所述纳滤膜过滤装置的进液口连通。
进一步地，所述纳滤膜过滤装置和所述电渗析装置之间设置有纳滤滤液储液罐，所述纳滤滤液储液罐分别与所述纳滤膜过滤装置和所述电渗析装置连通，所述纳滤滤液储液罐中的液体能够进入所述纳滤膜过滤装置中对所述纳滤膜过滤装置的纳滤膜进行冲洗。
进一步地，所述电渗析装置与所述精馏塔之间设置有电渗析储液罐，所述电渗析储液罐分别与所述电渗析装置和所述精馏塔连通。
进一步地，还包括浓水收集装置，所述浓水收集装置与所述纳滤膜过滤装置和所述电渗析装置均连通，用于回收所述纳滤膜过滤装置和所述电渗析装置产生的浓液。
进一步地，所述精馏塔包括精馏塔釜和精馏塔体，所述精馏塔体设置在所述精馏塔釜的上端，所述精馏塔釜与所述电渗析储液罐连通，所述精馏塔体与所述脱水塔连通。
进一步地，所述精馏塔釜与所述浓水收集装置连通，所述浓水收集装置用于回收所述精馏塔釜中的浓液排出的浓液。
进一步地，所述脱水塔与所述精馏收集罐之间设置有冷却装置，所述冷却装置分别与所述脱水塔和所述精馏收集罐连通。
进一步地，所述原液罐设置有多个，多个所述所述原液罐均与所述回用罐连通。
进一步地，所述回用罐的出液口设置有第二成分检测装置。
本发明的有益效果：
本发明所提供的一种光阻剥离液废液循环利用系统，包括预处理单元、蒸发单元和调制回用单元，其中预处理单元包括依次连通的纳滤膜过滤装置和电渗析装置，能够将废液中的光阻和金属离子去除，通过去除光阻，能够避免光阻对蒸发单元的影响，提高蒸发效率，降低能耗，蒸发单元包括依次连通的精馏塔、脱水塔和精馏收集罐，用于将废液中的水分去除，调制回用单元包括回用罐和原液罐，原液罐可以往回用罐中补充液体以使回用罐中的液体满足再次使用。通过上述方式，能够对废液处理的同时，实现回收利用，从而有利于企业控制生产成本。
附图说明
图1是本发明一种光阻剥离液废液循环利用系统的原理图。
图中：
1、废液收集罐；2、纳滤膜过滤装置；3、纳滤滤液储液罐；4、电渗析装置；5、电渗析储液罐；6、精馏塔釜；7、精馏塔体；8、脱水塔；9、冷却装置；10、精馏收集罐；11、回用罐；12、原液罐；13、浓水收集装置。
具体实施方式
下面结合附图和实施方式进一步说明本发明的技术方案。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
为了能够对剥离液废液进行处理，降低对环境的污染，同时实现回收利用，控制企业的生产成本，如图1所示，本发明提供一种光阻剥离液废液循环利用系统。本光阻剥离液废液循环利用系统包括：预处理单元、蒸发单元和调制回用单元。
其中，预处理单元用于将废液中的光阻和金属离子去除，包括依次连通的纳滤膜过滤装置2和电渗析装置4，废液依次经过纳滤膜过滤装置2和电渗析装置4进入蒸发单元；蒸发单元用于去除废液中的水分，包括依次连通的精馏塔、脱水塔8和精馏收集罐10，精馏塔与电渗析装置4连通；调制回用单元包括回用罐11和原液罐12，回用罐11和原液罐12均与精馏收集罐10连通，回用罐11中设置有第一成分检测装置(图中未示出)，用于对回用罐11中的液体进行检测并控制原液罐12往回用罐11中补充原液以使回用罐11中的液体满足使用要求。
通过纳滤膜过滤装置2和电渗析装置4能够将废液中的金属离子和光阻去除，然后通过蒸发单元将水分去除，将有机胺和极性有机溶剂回收再次利用。能够对废液处理的同时，实现回收利用，从而有利于企业控制生产成本。
进一步地，预处理单元还包括废液收集罐1，废液收集罐1与纳滤膜过滤装置2的进液口连通。通过设置废液收集罐1，能够首先将废液收集起来，防止由于纳滤膜过滤装置2处理废液的能力有限导致废液溢流，造成环境污染。
进一步地，废液收集罐1中的废液经泵进入纳滤膜过滤装置2中进行过滤，纳滤膜的挑选应根据光刻胶分子量来确定，可以为纳滤或超滤。过滤方式采用错流过滤，因此在废液收集罐1与纳滤膜过滤装置2之间存在一个循环，从而保证经过纳滤膜过滤装置2后的液体中光阻被有效拦截。为了保证纳滤膜具有足够长的使用寿命，在本实施例中，纳滤滤液储液罐3中的液体能够进入纳滤膜过滤装置2中对纳滤膜过滤装置2的纳滤膜进行冲洗，通过过滤后的部分纳滤滤液对纳滤膜进行反冲，从而将附着在纳滤膜上的光阻去除。
进一步地，纳滤膜过滤装置2和电渗析装置4之间设置有纳滤滤液储液罐3，纳滤滤液储液罐3分别与纳滤膜过滤装置2和电渗析装置4连通。通过设置纳滤滤液储液罐3能够先对进入电渗析装置4的纳滤滤液进行存储，从而防止由于电渗析装置4处理能力有限导致无法有效去除金属离子。
进一步地，电渗析装置4与精馏塔之间设置有电渗析储液罐5，电渗析储液罐5分别与电渗析装置4和精馏塔连通。通过设置电渗析储液罐5能够对进入精馏塔中的液体进行缓冲，保证进入精馏塔中的液体的流量，从而保证精馏的效果。
进一步地，本光阻剥离液废液循环利用系统还包括浓水收集装置13，浓水收集装置13与纳滤膜过滤装置2和电渗析装置4均连通，用于回收纳滤膜过滤装置2和电渗析装置4产生的浓液。具体地，浓水收集装置13为浓水收集罐，通过设置浓水收集装置13能够将经过纳滤膜过滤装置2和电渗析装置4处理后剩余的浓液回收，然后交给其他处理污水处理单位进行处理。
进一步地，精馏塔包括精馏塔釜6和精馏塔体7，精馏塔体7设置在精馏塔釜6的上端，精馏塔釜6与电渗析储液罐5连通，精馏塔体7与脱水塔8连通。通过对精馏塔釜6进行加热，使得进入到精馏塔釜6中的液体加热，使得水、有机胺和极性有机溶剂气化进入到精馏塔体7中，精馏塔体7可依据实际情况设一个或多个串联，单个精馏塔体7包括多个用法兰盘进行衔接的塔节，有利于提高精馏纯度。
进一步地，精馏塔釜6与浓水收集装置13连通，浓水收集装置13用于回收精馏塔釜6中的浓液排出的浓液。液体中除去水、有机胺和极性有机溶剂后其余的液体排入到浓水收集装置13中，保证精馏塔釜6能够有效对进入其内的液体进行加热精馏。脱水塔8中填充分子筛或者其他具有吸附水分子作用的功能填料，能够将水分去除干净，从而保证进入到精馏收集罐10中的液体的纯度。
进一步地，脱水塔8与精馏收集罐10之间设置有冷却装置9，冷却装置9分别与脱水塔8和精馏收集罐10连通。通过设置冷却装置9，能够将经过脱水塔8的气体快速冷却变为液体，便于存储和使用。
由于剥离液由几种有效成分组成，进一步地，原液罐12设置有多个，每一个原液罐12对应一种成分，多个原液罐12均与回用罐11连通。在本实施例中，通过第一成分检测装置(如折光仪)检测回用罐11中的液体的纯度然后反馈给原液罐12，根据回用罐11中的液体的需要泵入对应需要的成分，使得回用罐11中的液体满足使用要求。
进一步地，回用罐11的出液口设置有第二成分检测装置。通过设置第二成分检测装置，便于对液体进行二次检测，保证待工作的液体满足使用要求。
显然，本发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种光阻剥离液废液循环利用系统，其特征在于，包括：预处理单元、蒸发单元和调制回用单元；
所述预处理单元用于将废液中的光阻和金属离子去除，包括依次连通的纳滤膜过滤装置(2)和电渗析装置(4)，废液依次经过所述纳滤膜过滤装置(2)和所述电渗析装置(4)进入所述蒸发单元；
所述蒸发单元用于去除废液中的水分，包括依次连通的精馏塔、脱水塔(8)和精馏收集罐(10)，所述精馏塔与所述电渗析装置(4)连通；
所述调制回用单元包括回用罐(11)和原液罐(12)，所述回用罐(11)和所述原液罐(12)均与所述精馏收集罐(10)连通，所述回用罐(11)中设置有第一成分检测装置，用于对所述回用罐(11)中的液体进行检测并控制所述原液罐(12)往所述回用罐(11)中补充原液以使所述回用罐(11)中的液体满足使用要求。
2.根据权利要求1所述的一种光阻剥离液废液循环利用系统，其特征在于，所述预处理单元还包括废液收集罐(1)，所述废液收集罐(1)与所述纳滤膜过滤装置(2)的进液口连通。
3.根据权利要求1所述的一种光阻剥离液废液循环利用系统，其特征在于，所述纳滤膜过滤装置(2)和所述电渗析装置(4)之间设置有纳滤滤液储液罐(3)，所述纳滤滤液储液罐(3)分别与所述纳滤膜过滤装置(2)和所述电渗析装置(4)连通，所述纳滤滤液储液罐(3)中的液体能够进入所述纳滤膜过滤装置(2)中对所述纳滤膜过滤装置(2)的纳滤膜进行冲洗。
4.根据权利要求1所述的一种光阻剥离液废液循环利用系统，其特征在于，所述电渗析装置(4)与所述精馏塔之间设置有电渗析储液罐(5)，所述电渗析储液罐(5)分别与所述电渗析装置(4)和所述精馏塔连通。
5.根据权利要求4所述的一种光阻剥离液废液循环利用系统，其特征在于，还包括浓水收集装置(13)，所述浓水收集装置(13)与所述纳滤膜过滤装置(2)和所述电渗析装置(4)均连通，用于回收所述纳滤膜过滤装置(2)和所述电渗析装置(4)产生的浓液。
6.根据权利要求5所述的一种光阻剥离液废液循环利用系统，其特征在于，所述精馏塔包括精馏塔釜(6)和精馏塔体(7)，所述精馏塔体(7)设置在所述精馏塔釜(6)的上端，所述精馏塔釜(6)与所述电渗析储液罐(5)连通，所述精馏塔体(7)与所述脱水塔(8)连通。
7.根据权利要求6所述的一种光阻剥离液废液循环利用系统，其特征在于，所述精馏塔釜(6)与所述浓水收集装置(13)连通，所述浓水收集装置(13)用于回收所述精馏塔釜(6)中的浓液排出的浓液。
8.根据权利要求1所述的一种光阻剥离液废液循环利用系统，其特征在于，所述脱水塔(8)与所述精馏收集罐(10)之间设置有冷却装置(9)，所述冷却装置(9)分别与所述脱水塔(8)和所述精馏收集罐(10)连通。
9.根据权利要求1所述的一种光阻剥离液废液循环利用系统，其特征在于，所述原液罐(12)设置有多个，多个所述所述原液罐(12)均与所述回用罐(11)连通。
10.根据权利要求1所述的一种光阻剥离液废液循环利用系统，其特征在于，所述回用罐(11)的出液口设置有第二成分检测装置。
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|---|---|---|---|---|
| CN113620385A (zh) * | 2021-09-06 | 2021-11-09 | 苏州晶洲装备科技有限公司 | 一种有机废液处理装置 |
| CN116351151A (zh) * | 2023-03-07 | 2023-06-30 | 昆山欣谷微电子材料有限公司 | 一种剥离液散化离纯并复配的设备及工艺 |
| CN116351151B (zh) * | 2023-03-07 | 2023-09-05 | 昆山欣谷微电子材料有限公司 | 一种剥离液散化离纯并复配的设备及工艺 |
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